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JP2003202240A - 回転センサと回転角度の検出方法 - Google Patents

回転センサと回転角度の検出方法

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Publication number
JP2003202240A
JP2003202240A JP2002083535A JP2002083535A JP2003202240A JP 2003202240 A JP2003202240 A JP 2003202240A JP 2002083535 A JP2002083535 A JP 2002083535A JP 2002083535 A JP2002083535 A JP 2002083535A JP 2003202240 A JP2003202240 A JP 2003202240A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
exciting coil
rotation angle
rotation sensor
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002083535A
Other languages
English (en)
Inventor
Toji Kin
東治 金
Fumihiko Abe
文彦 安倍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP2002083535A priority Critical patent/JP2003202240A/ja
Publication of JP2003202240A publication Critical patent/JP2003202240A/ja
Priority to US10/674,571 priority patent/US7053602B2/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
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    • G01D5/204Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
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    • GPHYSICS
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
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    • G01D2205/775Tapered profiles

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Steering Mechanism (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型で安価な回転センサと回転角度の検出方
法を提供する。 【解決手段】 回転するシャフトShの軸線方向所定位
置に取り付けられ、周方向に沿って幅が変化するセンシ
ング部2bを有するロータ2、励磁コイル3b1と、絶
縁磁性材から成形され、励磁コイルを保持するコア3a
とを有し、固定部材に取り付けて、ロータに対してシャ
フトの軸線方向に間隔を置いて対向配置される固定コア
3及び励磁コイル3b1と接続され、特定周波数の発振
信号を発信する発振手段を有する回転角度測定装置4を
備えた回転センサ1と回転角度の検出方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転センサと回転
角度の検出方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】自動車
のステアリング装置においては、ハンドルの回転角度を
検出して様々な走行制御を行うため、電磁誘導方式の回
転センサが用いられている(例えば、特開2001−0
99680号公報参照)。ところで、上記回転センサ
は、第1のロータ、固定コア及び第2のロータを回転す
るシャフトの半径方向に配置する構造で、第1及び第2
のロータには周方向に所定間隔で金属層が設けられてい
る。
【0003】このように構成部材を半径方向に配置し、
金属層を設ける構造のため、従来の回転センサは、小型
化、特に厚さ方向における小型化が難しいうえ、構造が
複雑なことから高価になるという問題があった。また、
同じセンシング部に対して複数のピックアップコイルを
設けて、差動信号処理、リニアリティ補正等を行うこと
が非常に困難であった。
【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、小型で安価な回転センサと回転角度の検出方法を提
供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の回転センサにおいては、回転するシャフトの軸
線方向所定位置に取り付けられ、周方向に沿って幅が変
化するセンシング部を有するロータ、励磁コイルと、絶
縁磁性材から成形され、前記励磁コイルを保持するコア
とを有し、固定部材に取り付けて、前記ロータに対して
前記シャフトの軸線方向に間隔を置いて対向配置される
固定体及び前記励磁コイルと接続され、特定周波数の発
振信号を発振する発振手段を有する回転角度測定装置を
備えた構成としたのである。
【0006】好ましくは、更に、前記ロータを挟んでサ
ブコアが前記励磁コイルと対向配置されている構成とす
る。また好ましくは、更に、他の励磁コイルを保持する
他の固定コアが、前記ロータを挟んで前記固定コアと対
向配置されている構成とする。また、上記目的を達成す
るため本発明の回転角度の検出方法においては、励磁コ
イルと、回転角度に対応して幅が変化するセンシング部
とを回転するシャフトの軸線方向に間隔をおいて対向配
置し、前記シャフトの回転による前記励磁コイルのイン
ピーダンス変動に基づいて前記シャフトの回転角度を検
出する構成としたのである。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の回転センサと回転
角度の検出方法に係る一実施形態を図1乃至図16に基
づいて詳細に説明する。先ず、第1の実施形態について
説明すると、回転センサ1は、図1に示すように、ロー
タ2、固定コア3及び回転角度測定装置(以下、単に
「測定装置」という)4を備え、ロータ2及び固定コア
3はケース5に収納されている。回転センサ1は、回転
するシャフト、例えば、自動車のステアリング装置にお
いて、ハンドルの回転角度を検出する際等に使用され
る。
【0008】ロータ2は、回転するシャフトShの軸線
方向所定位置にダンパ2cを介して取り付けられる。ロ
ータ2は、図2に示すように、円盤状の本体2aに周方
向に沿ってセンシング部2bが設けられている。センシ
ング部2bは、位置P1の幅が最小で、180°回転し
た位置P2で最大の幅を有し、ロータ2の回転角度に対
応して半径方向の幅が変化するように形成され、後述す
る交流磁界によって回転に伴う幅に対応した大きさの渦
電流が誘起される。
【0009】本体2a及びセンシング部2bは、異なる
材料で構成する必要があり、次に挙げる種々の材料を使
用することができ、例えば、本体2aは、導電性材料,
絶縁磁性材,絶縁材或いは非磁性金属(導電性材料)
を、センシング部2bは非磁性金属(導電性材料),絶
縁磁性材,絶縁材或いは導電性材料を、それぞれ適宜組
み合わせて使用することができる。
【0010】導電性材料としては、アルミニウム,銅,
銀,鉄等の導電性を有する金属や、導電性カーボン(炭
素繊維を含む)入り合成樹脂等を使用することができ
る。絶縁磁性材としては、Ni−Zn系、Mn−Zn
系、Mg−Zn系のフェライトに、ナイロン,ポリプロ
ピレン(PP),ポリフェニレンスルフィド(PP
S),ABS樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成
樹脂を10〜70体積%混合したものを使用することが
できる。絶縁材としては、ナイロン,ポリフェニレンス
ルフィド(PPS),ABS樹脂等,ガラス繊維にエポ
キシ樹脂を含浸させたFRP(繊維強化プラスチック)
あるいはセラミック等を使用することができる。非磁性
金属(導電性材料)としては、アルミニウム,銅等を使
用することができる。
【0011】但し、図1に示す回転センサ1において
は、本体2aに絶縁材を、センシング部2bに導電性材
料を、それぞれ使用している。この組み合わせにする
と、回転センサ1を最も薄く、安価に提供することがで
きる。一方、センシング部2bの素材として絶縁磁性材
を用いる場合、ロータ2は、図3に示すように、本体2
aにセンシング部2bを埋設した構成とし、後述するサ
ブコア6aを使用せずに励磁コイル3b1とセンシング
部2bと協働して磁気回路Cmgを形成する。このよう
に、絶縁磁性材で構成したセンシング部2bと固定コア
3と励磁コイル3b1により磁気回路Cmgを形成する
(サブコア6aの必要がなくなる)ため、センシング部
2bの厚みを固定コア3の厚みと実質的に同じ厚さにす
る必要がある。ここで、図3において、磁気回路Cmgの
固定コア3とセンシング部2bとの間がエアギャップと
なる。
【0012】このとき、ロータ2が回転すると、ロータ
2上のセンシング部2bの幅が回転角度に比例して変動
し、更に、センシング部2bの絶縁磁性材部と固定コア
3との間のエアギャップの大きさがそれに伴って変動す
る。この結果、励磁コイル3b1のインピーダンスの変
動を生じ、後述する測定装置4が励磁コイル3b1のイ
ンピーダンスの変動を検出して、ロータ2の角度信号に
変換する。
【0013】即ち、励磁コイル3b1におけるインピー
ダンスの変動は、センシング部2bに発生する渦電流の
大きさによるものだけでなく、センシング部2bの絶縁
磁性材部と固定コア3との間のエアギャップの大きさよ
って変動するものもある。ダンパ2cは、ロータ2とシ
ャフトShとの間に周方向に沿って4箇所設けられ、ロ
ータ2の半径方向の振動を抑制する。
【0014】固定コア3は、図1に示すように、測定装
置4を構成する基板上に搭載され、シャフトSh近傍の
固定部材に取り付けられるケース5に収納されている。
固定コア3は、シャフトShの軸線方向にロータ2と数
mm程度の僅かなギャップG(図4参照)をおいて対向
配置される。固定コア3は、ロータ2と同一の絶縁磁性
材からなるコア本体3aとコア本体3a内に収容される
励磁コイル3b1とを有している。励磁コイル3b1は、
ケース5にコア本体3aと共に少なくとも1つ設けら
れ、ケース5内で測定装置4の基板と電気的に接続さ
れ、交流励磁電流が流されている。励磁コイル3b1
は、流される交流励磁電流により周囲に交流磁界を形成
し、後述するサブコア6aと協働して、図4に示すよう
に、磁気回路Cmgを形成する。
【0015】測定装置4は、図1に示すように、基板が
絶縁体Ibを介して後述する下ケース7に固定されてい
る。測定装置4は、ケース5から外部へ延出させた電線
3cを介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続
されると共に、ケース5の外部に設けられた外部装置と
接続される。また、測定装置4は、基板上に後述する各
種の回路と信号処理手段が配置され、励磁コイル3b1
が1つの場合とそれ以上の場合とで若干構成が異なる。
【0016】先ず、励磁コイル3b1が1つの場合、測
定装置4は、図5に示すように、回転センサ1の発振手
段を構成し、発振信号を発信する発振回路4a、発振信
号を分周して特定周波数の発振信号を出力する分周回路
4b、センシング部2bに発生する渦電流の大きさに応
じ、分周回路4bから入力された発振信号の位相をシフ
トする位相シフト部4c1、後述する位相シフト量を検
出する位相シフト量検出部4d1、検出された前記位相
シフト量を対応する電圧値に変換するコンバータ4e
1、コンバータ4e1から出力される位相シフト量に対応
する電圧を増幅する増幅回路4f1及び増幅された電圧
から回転角度を測定する測定部4gを有している。
【0017】発振回路4aは、分周回路4bを介して特
定周波数の発振信号を、図5に示す抵抗R1、励磁コイ
ル3b1及びコンデンサC1からなる位相シフト部4c1
に出力する。このとき、コンデンサC1両端における電
圧信号の位相は、励磁コイル3b1の後述するインピー
ダンスの変動によって変化する。コンデンサC1両端の
電圧信号は、位相シフト量検出部4d1へ出力される。
【0018】位相シフト量検出部4d1は、コンデンサ
C両端の電圧信号の位相シフト量を検出する。コンバー
タ4e1は、検出された前記位相シフト量を対応する電
圧値に変換する。増幅回路4f1は、コンバータ4e1か
ら出力された信号電圧レベルを増幅し、測定部4gに出
力する。
【0019】測定部4gは、演算処理手段として、例え
ば、ワンチップマイクロプロセッサが使用され、増幅回
路4f1から入力される信号(電圧値)に基づき、ロー
タ2の回転角度を測定する。ケース5は、シャフトSh
近傍に位置する固定部材(図示せず)に取り付けられ、
それぞれ交流磁界の遮蔽性を有する、即ち、アルミニウ
ム,銅等の導電性を有する金属或いは前記絶縁磁性材か
らリング状に成形され、上ケース6と下ケース7を備え
ている。
【0020】上ケース6は、下ケース7と組み合わされ
てロータ2,固定コア3及び測定装置4を収容する環状
の空間を形成する板状の部材で、励磁コイル3b1と対
向する位置にサブコア6aが配置されている。下ケース
7は、コア本体3aを収容する凹部7aが励磁コイル3
b1の数に応じて形成されている。上記のように構成さ
れる回転センサ1は、ダンパ2cを介してロータ2をシ
ャフトShに、ケース5をシャフトSh近傍の固定部材
に、それぞれ取り付けて使用される。回転センサ1にお
いては、センシング部2bの幅はロータ2の回転角度に
比例するように設定されている。このため、ロータ2の
回転に伴い、センシング部2bに生ずる渦電流によって
誘起される交流磁界は、励磁コイル3b1のインピーダ
ンスを変動させる。励磁コイル3b1のインピーダンス
の変動量は、ロータ2の回転角度に比例する。従って、
励磁コイル3b1におけるインピーダンスの変動量を測
定することでロータ2の回転角度を測定することが本発
明の回転センサ1の基本原理である。
【0021】即ち、回転センサ1においては、ロータ2
の回転角度に応じて励磁コイル3b1のインピーダンス
が変動し、位相シフト部4c1のコンデンサC1両端の電
圧信号の位相が変化する。測定装置4は、コンデンサC
1両端の電圧信号を、位相シフト量検出部4d1,コンバ
ータ4e1及び増幅回路4f1を経て測定部4gへ出力す
る。このとき、測定部4gへは、図6に示す出力信号S
1が出力される。
【0022】ここで、図6において、角度0°は、図2
に示すロータ2において、センシング部2bの位置P1
が励磁コイル3b1の位置に一致しているときをいう。
また、図6に示す出力信号S1の特性上、45°〜13
5°及び225°〜315°の範囲が直線性に近い感度
が得られる測定精度に優れた領域である。これは、後述
する出力信号S2の場合も同様である。
【0023】従って、シャフトShの回転方向が左方向
なのか、あるいは右方向なのか何れかが分かっていれ
ば、回転センサ1においては、出力信号S1の値に基づ
いて測定装置4がシャフトShの回転角度を決定するこ
とができる。以上のように、回転センサ1は、従来の回
転センサと異なり、励磁コイル3b1とロータ2とを対
向する平面対向形としたので、大幅なダウンサイジング
が可能となる。例えば、従来の回転センサでは直径10
0mm、厚さ22mm、重量150gであったのに対
し、本発明の回転センサ1では直径70mm、厚さ8m
m、重量40gと、大幅に小型化できたうえ、価格も従
来の1/6以下に低減することができた。
【0024】ここで、回転センサ1においては、励磁コ
イル3b1とコア本体3a端面の交流磁界のシャフトSh
方向の分布は不均一である。このため、ロータ2のセン
シング2aと固定コア3との間のギャップG(図4参
照)が、何らかの原因で変動すると、センシング部2b
に誘起される渦電流の量が前記交流磁界の不均一度によ
って変動する。この変動量は、ロータ2の回転と無関係
に生じる一種のノイズである。このノイズを抑えるた
め、回転センサ1は、図1及び図4に示すように、サブ
コア6aが設けられている。回転センサ1は、サブコア
6aにより前記交流磁界の不均一度を大幅に改善するこ
とができ、従って、その複数の均一度によるノイズを抑
えることができる。
【0025】更に、回転センサ1は、自動車で使用する
場合等、環境温度の変動による影響,周囲電磁ノイズ等
の影響により、回転角度の測定精度に悪影響を及ぼす。
従って、上記のようなノイズの影響を抑制するため、固
定コアをケース5の上ケース6に2つ設ける。このと
き、2つの固定コアは、ロータ2の回転中心に対して対
称となるように、励磁コイル3b1を有する固定コア3
に対して中心角180°の位置に励磁コイル3b2を有
する固定コア3を配置する。即ち、図2に示すように、
励磁コイル3b1と励磁コイル3b2とを中心角180°
隔てて配置する。
【0026】また、2つの励磁コイルを使用する場合、
図7に示す測定装置10を使用する。ここで、以下に説
明する測定装置は、主要構成部分が測定装置4と共通し
ている。このため、以下の測定装置において、測定装置
4と構成が同一の部分には説明並びに図面において同一
の符号を使用することで重複した説明を省略する。
【0027】図7に示す測定装置10は、図5に示す測
定装置4を変形したもので、分周回路4bと測定部4g
との間に、位相シフト部4c1、位相シフト量検出部4
d1及びコンバータ4e1と、位相シフト部4c2、位相
シフト量検出部4d2及びコンバータ4e2とが並列に接
続され、コンバータ4e1の出力信号Sc1とコンバータ
4e2の出力信号Sc2は、差動アンプ4h1で差分された
後、増幅されて測定部4gのA/Dコンバータへ電圧信
号の出力Po1(図6参照)として出力される他、直接測
定部4gへと出力される。また、差動アンプ4h1に
は、増幅された電圧値の電圧レベルを調整するシフトレ
ベル調整部4j1が接続されている。
【0028】励磁コイル3b1,3b2を上記のように配
置し、図7に示す測定装置10を用いると、測定部4g
へは、図6に示す出力信号S1の他に出力信号S2が出力
される。このとき、励磁コイル3b1と励磁コイル3b2
とは中心角180°隔てて配置されているため、出力信
号S1,S2の位相も180°異なっている。従って、回
転センサ1においては、回転に伴うセンシング部2bの
幅の変化による励磁コイル3b1,3b2のインピーダン
スの変動の方向が逆になる。これに対して、回転センサ
1は、振動等の外部要因による励磁コイル3b1,3b2
のインピーダンスの変動の方向は同じである。
【0029】このため、コンバータ4e1,4e2の出力
信号Sc1,Sc2は、差動アンプ4h1で差分をとると、
出力Po1は倍になるが、ノイズが互いに打ち消される。
このため、測定装置10を用いると、回転センサ1は、
S/N比が大幅に改善される。ここで、図6から分かる
ように、出力信号S1,S2は、左右対称である。このた
め、前記のようにシャフトShの回転方向が左方向なの
か、あるいは右方向なのか何れかが分かっていれば、回
転センサ1においては、出力信号S1の値に基づいて測
定装置4がシャフトSh、従ってロータ2の回転角度を
決定することができる。しかし、シャフトShの回転方
向が分からない場合には、ロータ2の回転角度の検出範
囲は、0°〜180°に限定されてしまう。
【0030】しかし、回転センサ1は、実用上、0°〜
360°の範囲で測定できることが望まれる。このよう
な場合には、固定コア3を3つ、測定装置4を構成する
基板上に設ける。このとき、3つの固定コアのうち2つ
の固定コアは、前記と同様に、図2に示すように、励磁
コイル3b1と励磁コイル3b2とを中心角180°隔て
て配置し、残る1つの励磁コイル3b3を励磁コイル3
b1,3b2に対して中心角90°隔てて配置する。
【0031】また、測定装置は、図8に示す測定装置1
2を使用する。測定装置12は、分周回路4bと測定部
4gとの間に、位相シフト部4c1,位相シフト量検出
部4d1,コンバータ4e1、位相シフト部4c2,位相
シフト量検出部4d2,コンバータ4e2並びに位相シフ
ト部4c3,位相シフト量検出部4d3,コンバータ4e
3,増幅回路4f3が並列に接続され、測定装置10と同
様に、差動アンプ4h1とシフトレベル調整部4j1が接
続されている。
【0032】従って、測定装置12を用いた回転センサ
1では、励磁コイル3b3の出力信号S3は、図9に示す
ように、出力信号S1,S2(図6参照)に対して90°
位相がずれている。この結果、測定装置12を用いた回
転センサ1では、励磁コイル3b3からの出力信号S3の
レベルの判別(任意のレベルに対し、そのレベル以上か
以下か)によってロータ2の回転角度が0°〜180°
の範囲内であるのか、或いは180°〜360°の範囲
内であるのかを測定装置12が判別することができる。
【0033】このとき、言うまでもないが、図2に示す
ように、励磁コイル3b4を励磁コイル3b1,3b2に対
して中心角90°隔てると共に、励磁コイル3b3と中
心角180°隔てて配置する。このように4個の励磁コ
イル3b1〜3b4を用いた主な目的は、回転センサ1の
リニアリティの改善である。図6及び図9に示すよう
に、各励磁コイル3b1〜3b4の出力信号とロータ2の
回転角度との相対関係は正弦波になっている。即ち、各
励磁コイル3b1〜3b4は、ロータ2のセンシング部2
bにおける位置P1,P2と対向しているときには、出力
信号の正弦波の山或いは谷に相当し、リニアリティは最
も悪くなる。これに対し、各励磁コイル3b1〜3b4
が、センシング部2bの位置P1,P2から90°異なる
位置と対向しているときにはリニアリティが最も良くな
る。
【0034】このとき、回転センサ1は、図10に示す
測定装置14を用いる。測定装置14は、位相シフト部
4c3,位相シフト量検出部4d3,コンバータ4e3及
び位相シフト部4c4,位相シフト量検出部4d4,コン
バータ4e4側に、差動アンプ4h2とシフトレベル調整
部4j2が接続され、差動アンプ4h2から測定部4gの
A/Dコンバータへ電圧信号の出力Po2(図9参照)が
出力される。
【0035】本発明では、例えば、ワンチップマイクロ
プロセッサ等を用いた測定部4gにに、図10に示すよ
うに、増幅された2つの差分信号である出力Po1,Po2
及び4つのコンバータ4e1〜4e4からの出力信号Sc1
〜Sc4が入力される。すると、測定部4gは、先ず、4
つの出力信号Sc1〜Sc4のレベルの大小関係を比較する
ことによって、ロータ2のセンシング部2bにおいて、
励磁コイル3b1〜3b4が配置された位置を判別する。
その後、その位置に従い、リニアリティが優れている励
磁コイル3b1〜3b4の差分信号を用いて適当な信号処
理を行い、処理された信号を角度信号としてワンチップ
マイクロプロセッサから出力する。本実施例では、ワン
チップマイクロプロセッサから出力する角度信号は、一
定周期のパルス信号で、そのデューティー比はロータ2
の回転角度に比例する。
【0036】具体的には、ロータ2の回転角度位置をα
1〜α4とし、出力信号Sc1〜Sc4のレベルの大小関係及
び出力信号Sc1と出力信号Sc2の差分信号並びに出力信
号Sc3と出力信号Sc4の差分信号の特徴に基づき、ロー
タ2の以下に示す角度位置α1〜α4を判別する。 1) 角度位置α1:−45°≦α1<45° 特徴:|Sc2−Sc1|≧|Sc4−Sc3|,Sc2>Sc1, 出力Po2のリニアリティが優れている。 2) 角度位置α2:45°≦α2<135° 特徴:|Sc4−Sc3|>|Sc2−Sc1|,Sc4>Sc3, 出力Po1のリニアリティが優れている。 3) 角度位置α3:135°≦α2<225° 特徴:|Sc2−Sc1|≧|Sc4−Sc3|,Sc2<Sc1, 出力Po2のリニアリティが優れている。 4) 角度位置α4:225°≦α2<315°(=−45
°) 特徴:|Sc4−Sc3|>|Sc2−Sc1|,Sc4<Sc3, 出力Po1のリニアリティが優れている。
【0037】ここで、図1に示す回転センサ1において
は、測定装置4の基板と下ケース7との間には、電気的
な接続を回避するため隙間が形成されているが、例え
ば、この隙間に絶縁シート等の絶縁体を配置してもよ
い。更に、回転センサ1は、測定装置4をケース5の外
に設け、固定コア3をケース5の内側に取り付けてもよ
い。
【0038】次に、自動車において変換ジョイント(ト
ーションバー)を介して主動シャフトから従動シャフト
へ伝達されるステアリングシャフトの回転トルクと回転
角度を検出する回転センサの第2の実施形態を以下に説
明する。回転センサ20は、図11に示すように、第1
ロータ21、固定コア22、第2ロータ23、第3ロー
タ24、ケース25及び角度測定装置28を備えてい
る。ここで、主動シャフトSdiは、従動シャフトSdnに
対して±8°の範囲内で相対回転する。
【0039】第1ロータ21は、ナイロン,ポリプロピ
レン(PP),ポリフェニレンスルフィド(PPS),
ABS樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂
に、Ni−ZnやMn−Zn系のフェライトからなる軟
磁性材粉を、軟磁性材の含有量が10〜70体積%で混
合した絶縁磁性材によって円筒状に成形され、従動シャ
フトSdnの軸線方向所定位置に取り付けられる。第1ロ
ータ21は、図1に示すように、外周下部に周方向に所
定間隔、例えば、中心角30°間隔で複数の銅箔21a
が設けられている。
【0040】ここで、銅箔21aは、上側あるいは下側
のみに所定間隔で設けたり、上側あるいは下側に所定間
隔で設けると共に、下側あるいは上側に全周に亘って設
けてもよい。また、導体層であれば、例えば、アルミニ
ウム,銀等の素材を使用することができ、銅箔21aを
含むこれら導体層は絶縁磁性材の内部に埋め込んでもよ
い。また、これら導体層は、高周波磁界を遮蔽するうえ
で、第1ロータ21と固定コア22との半径方向のギャ
ップに基づく磁気抵抗を考慮すると、0.1〜0.5mm程
度の厚さが望ましい。更に、銅箔21aは、理論上、中
心角を小さくして配置間隔を小さくする程、前記導体層
としての数が多くなり、誘導されるトータル渦電流の変
化量(導体層の数に比例する)が大きくなって、相対回
転角度の検出感度が高くなるが、測定できる相対回転角
度範囲が小さくなる。
【0041】固定コア22は、第1ロータ21と半径方
向に数mm程度の僅かなギャップをおいて配置され、ス
テアリングシャフト近傍に位置する固定部材(図示せ
ず)に固定される。固定コア22は、図11に示すよう
に、第1ロータ21と同一の絶縁磁性材からなる2つの
第1コア本体22a、各第1コア本体22a内に収容さ
れる第1励磁コイル22b1,22b2、第3ロータ24
の後述するセンシング部24cと対向配置される第2コ
ア本体22c、第2コア本体22c内に収容される第2
励磁コイル22d及び第1コア本体22aと第2コア本
体22cを収容する遮蔽ケース(以下、単に「ケース」
という)22eとを有している。第1励磁コイル22b
1,22b2は、ケース22eから外部へ延出させた電線
22f(図1参照)によって角度測定装置28と接続さ
れ、角度測定装置28から交流励磁電流が流されてい
る。ケース22eは、アルミニウム,銅等の交流磁界の
遮蔽性を有する金属によってリング状に形成されてい
る。
【0042】このとき、固定コア22は、従動シャフト
Sdnの軸に直交する面に関して、図11に示すように、
第1励磁コイル22b1,22b2を収容した2つの第1
コア本体22aを面対称に配置する。第2ロータ23
は、電気絶縁性を有し、成型性に優れた合成樹脂によっ
て成形されたフランジ23aに、図11に示すように、
フランジ23aに従動シャフトSdnの軸と並行する導電
性金属からなる複数の羽板23bが周方向に均等に配置
されている。フランジ23aは、外周下面にケース22
eの上面に当接する突起23cが設けられている。
【0043】このとき、第2ロータ23は、絶縁材で製
作された筒体の内表面や内部に一定の厚さの導体層(例
えば0.2mmの銅箔,或いはアルミニウム,銀等の素材
のもの)を銅箔21aに対応させて均等に配置して羽板
23bを形成してもよい。第2ロータ23は、第1ロー
タ21と固定コア22との間に配置され、主動シャフト
Sdiに取り付けられる。
【0044】第3ロータ24は、回転する従動シャフト
Sdnの第1ロータ21下部に複数のダンパ24aを介し
て取り付けられている。第3ロータ24は、ロータ2と
同様の素材によって円盤状の本体24bに周方向に沿っ
てセンシング部24cが形成されている。センシング部
24cは、最小幅の位置から180°回転した位置で最
大幅となるように、第3ロータ24の回転角度に対応し
て半径方向の幅が変化するように形成され、後述する交
流磁界によって回転に伴う幅に対応した大きさの渦電流
が誘起される。
【0045】ケース25は、ケース22eの上部に取り
付けられる上ケース26とケース22eの下部に取り付
けられる下ケース27を有している。上ケース26は、
第2ロータ23を収容する凹部26aが形成されてい
る。下ケース27は、第3ロータ24と数mm程度の僅
かなギャップをおいて対向配置され、第2励磁コイル2
2dと対向する位置にサブコア27aが配置されてい
る。
【0046】角度測定装置28は、図11に示すよう
に、下ケース27の下部に配置され、前記第1の実施形
態における測定装置と同一の原理に基づいて回転角度を
測定する。一方、相対回転角度は、以下のようにして主
動シャフトSdiと従動シャフトSdnとの間の相対回転角
度を測定する。角度測定装置28は、図12に示すよう
に、発振信号を発振する発振回路28aと、発振信号を
分周して特定周波数の発振信号を出力する分周回路28
bと、励磁コイル22b1,22b2にそれぞれ生じる前
記発振信号の位相をシフトする位相シフト部28cと、
前記検出された各位相シフト量を検出する第1及び第2
シフト量検出部28d,28eと、前記検出されたシフ
ト量を対応する電圧値に変換する第1及び第2コンバー
タ28f,28gと、前記電圧値のシフトレベルを調整
する第1及び第2シフトレベル調整部28h,28i
と、第1コンバータ28fからのシフト量に対応する電
圧と第2シフトレベル調整部28iからの調整された電
圧との差分を求める第1差動アンプ28jと、第1シフ
トレベル調整部28hからの調整された電圧と第2コン
バータ28gからのシフト量に対応する電圧との差分を
求める第2差動アンプ28kと、求められた各差分の電
圧から相対回転角度を測定する相対回転角度測定部28
mとを有している。
【0047】発振回路28aは、分周回路28bを介し
て特定周波数の発振信号を位相シフト部28cに出力す
る。位相シフト部28cは、図12に示すように、A点
とB点の間が励磁コイル22b1、A点とC点の間が励
磁コイル22b2、B点とC点の間がコンデンサC11,
抵抗R11,抵抗R12及びコンデンサC12で、それぞれ直
列接続され、それぞれが位相シフト回路を形成してい
る。励磁コイル22b1,22b2は、交流励磁電流が流
されて周囲に交流磁界を形成し、2つの第1コア本体2
2a及び第1ロータ21と協働して磁気回路を形成して
いる。位相シフト部28cは、第2ロータ23及び第1
ロータ21の銅箔21aに発生する渦電流の大きさに応
じて、励磁コイル22b1,22b2に接続された分周回
路28bから入力される発振信号の位相をシフトする。
【0048】第1及び第2シフト量検出部28d,28
eは、位相シフト部28cのB点,C点にそれぞれ接続
されている。第1シフト量検出部28dは、A点とB点
との間における発振信号の位相ずれ量を、第2のシフト
量検出部28dはA点とC点との間における発振信号の
位相ずれ量を、それぞれ検出する。第1及び第2のコン
バータ28f,28gは、検出された各位相ずれ量を対
応する電圧値S11,S12に変換する。このとき、第1ロ
ータ21と第2ロータ23とが相対回転すると、複数の
銅箔21aと複数の羽板23bとによって磁束を遮蔽す
る全面積の変化は、上側の励磁コイル22b1と下側の
励磁コイル22b2とで逆になるため、出力勾配が逆と
なる。
【0049】シフトレベル調整部28h,28iは、コ
ンバータ28f,28gから出力される電圧レベル信号
S11,S12のシフトレベルを調整して、第1及び第2差
動アンプ28j,28kに出力する。第1差動アンプ2
8jは、コンバータ28fからの電圧レベル信号S11と
シフトレベル調整部28iからの出力信号との差分T1
を求め、相対回転角度測定部28mに出力する。また、
第2差動アンプ28kは、コンバータ28gからの電圧
レベル信号S12とシフトレベル調整部28hからの出力
信号との差分T2を求めて、相対回転角度測定部28m
に出力する。このとき、電圧レベル信号S11と電圧レベ
ル信号S12との出力勾配は逆なので、差分T1と差分T2
の勾配は、それぞれ電圧レベル信号S11,S12の勾配の
2倍となる。
【0050】相対回転角度測定部28mは、これら信号
T1,T2の電圧値に基づき、2つのロータ21,23、
従って主動シャフトSdiと従動シャフトSdnとの間の相
対回転角度を−8°〜+8°の範囲で高精度に測定す
る。従って、回転センサ20は、この相対回転角度に基
づき、予め求めてある主動シャフトSdiと従動シャフト
Sdnとの間に作用するトルクと、両シャフト間の相対回
転角度との関係に基づき、作用しているトルクを求める
ことができる。
【0051】ここで、上記実施形態で説明した回転セン
サ1は、図13に示すように、ロータ2を挟んで固定コ
ア3と対向し、固定コア3との間が距離Lとなる位置に
更に固定コア8を配置してもよい。固定コア8は、配置
される固定コア3に合わせて対抗配置すればいくつ設け
てもよい。このとき、ロータ2は、絶縁磁性材からなる
本体2aの表裏両面に導電性材料からなる図2に示す形
状のセンシング部2bが形成されている。
【0052】固定コア8は、上ケース6の下面に固定コ
ア3と同様に取り付けられる。固定コア8は、ロータ2
と同一の絶縁磁性材からなるコア本体8aとコア本体8
a内に収容される励磁コイル8b1とを有している。励
磁コイル8b1は、ロータ2を挟んで励磁コイル3b1と
対向配置され、励磁コイル8b1と励磁コイル3b1とは
直列に接続されている。そして、これらの励磁コイル3
b1,8b1は、ケース5内で測定装置4の基板と電気的
に接続され、流される交流励磁電流によって周囲に交流
磁界を形成し、図13に示すように、それぞれの磁気回
路Cmgを形成する。
【0053】尚、図15においては、各々のコア本体8
a内の励磁コイル8b1〜8b4と各々のコア本体3a内
の励磁コイル3b1〜3b4とは、ロータ2を挟んでそれ
ぞれ対向配置されている。このとき、それぞれの励磁コ
イル8b1〜8b4と励磁コイル3b1〜3b4とは、それ
ぞれ直列に接続され、流される交流励磁電流により、周
囲に交流磁界を形成し、それぞれの磁気回路Cmgを形成
する。
【0054】このように、ロータ2を挟んで固定コア3
と固定コア8とを対向配置すると、回転センサ1は、固
定コア3,8との間が常に距離Lに保持される。このた
め、ロータ2が回転軸方向に振動すると、ロータ2は、
固定コア3,8間で振動する際、固定コア3や固定コア
8との距離がそれぞれ変動する。しかし、一方の距離が
短くなった分、他方の固定コアとの距離が長くなると共
に、変動方向が逆となる。よって、ロータ2と固定コア
3や固定コア8との距離の変動に伴うコイルインピーダ
ンスの変動も、相互に補完されて互いに打ち消し合うこ
とになる。
【0055】従って、図13に示す回転センサ1は、振
動に起因したノイズが図1に示す回転センサ1よりも更
に低減されて、回転角度の検出誤差が大幅に小さく抑え
られ、回転角度を検出する精度が一層向上する。例え
ば、図1に示す回転センサ1の場合、ロータ2の直径が
55mmで、固定コア3とサブコア6aとの間のギャッ
プ1.6mmの場合、ロータ2が外縁部で軸方向に±0.2
mm振動した場合、回転角度の検出誤差は±5%であっ
た。これに対して、サイズが同じで、固定コア3と固定
コア8との距離LをL=1.6mmに設定して対向配置し
た図13に示す回転センサ1の場合、回転角度の検出誤
差は1/25の±0.2%まで飛躍的に低減された。
【0056】このとき、図13に示す回転センサ1にお
いては、ロータ2に代えて図14に示すように、固定コ
ア3と固定コア8との間に導電性材料からなるメタルロ
ータ9を配置してもよい。メタルロータ9は、センシン
グ部2bと同じ導電性金属を打ち抜き加工して製造さ
れ、図15に示すように、取付リング9aの外周に形成
される2ヶ所のブリッジ部9bを介してセンシング部9
cが形成されている。メタルロータ9は、取付リング9
aで回転するシャフトShの所定位置に取り付けられる。
センシング部9cは、回転角度に対応して半径方向の幅
が変化するように、ロータ2のセンシング部2bと同様
に、位置P1の幅が最小で、180°回転した位置P2で
最大の幅を有するように形成されている。
【0057】メタルロータ9を用いた回転センサ1は、
前記のように導電性金属を打ち抜き加工して製造される
ので、ロータ2よりも薄くすることができ、距離Lを置
いた固定コア3と固定コア8との間への配置が容易なう
え、ロータ2に比べて非常に安価となる。従って、ロー
タを挟んで2つの固定コアを対向配置する構造の回転セ
ンサは、図16に示す回転センサ30のように構成して
もよい。
【0058】即ち、図16に示す回転センサ30は、メ
タルロータ31、固定コア32,33及び測定装置34
を備え、メタルロータ31及び固定コア32,33はケ
ース35に収納されている。メタルロータ31は、メタ
ルロータ9と同一の素材から打ち抜き加工によって同一
形状に形成され、取付リング31a、2ヶ所のブリッジ
部31b及びセンシング部31cを有している。
【0059】固定コア32は、測定装置34を構成する
プリント基板上に搭載され、メタルロータ31を挟んで
固定コア33との間に距離Lを置いて対向配置されてい
る。固定コア32,33は、ロータ2と同一の絶縁磁性
材からなるコア本体32a,33aとコア本体32a,
33a内に収容される励磁コイル32b1〜32b4と励
磁コイル33b1〜33b4を有している。ここで、図1
6においては、励磁コイル32b1と励磁コイル33b1
のみが図示され、他は省略されている。励磁コイル32
b1〜32b4と励磁コイル33b1〜33b4は、それぞ
れ直列に接続され、ケース35内で測定装置34のプリ
ント基板と電気的に接続され、交流励磁電流が流されて
いる。これらの励磁コイルは、流される交流励磁電流に
より周囲に交流磁界を形成し、図16に示すように、磁
気回路Cmgを形成する。
【0060】測定装置34は、図16に示すように、ケ
ース35の後述する下ケース37に固定されている。測
定装置34は、ケース35から外部へ延出させた複数の
電線34acを介して電源や信号伝送用のワイヤハーネ
スと接続されると共に、ケース35の外部に設けられた
外部装置と接続される。ケース35は、回転するシャフ
ト近傍に位置する固定部材(図示せず)に取り付けら
れ、それぞれ交流磁界の遮蔽性を有するアルミニウム,
銅等の導電性を有する金属或いは前記絶縁磁性材からリ
ング状に成形され、上ケース36と下ケース37を備え
ている。
【0061】上記のように構成される回転センサ30
は、メタルロータ31を挟んで固定コア32と固定コア
33とが対向配置され、固定コア32,33の間が常に
距離Lに保持される。このため、回転センサ30は、メ
タルロータ31が回転軸方向に振動しても、メタルロー
タ31は、固定コア32,33との距離Lの間を振動す
るだけで、振動に起因した影響が固定コア32,33に
よって相互に補完される。このため、回転センサ30
は、振動に起因した回転角度の検出誤差が大幅に小さく
抑えられる。
【0062】上記実施形態の回転センサは、自動車のス
テアリング装置に使用する場合について説明した。しか
し、本発明の回転センサは、例えば、ロボットアームの
ように互いに回転する回転軸間の相対回転角度,回転角
度,回転トルクを求めるものであれば、どのようなもの
にも使用できる。
【0063】
【発明の効果】請求項1,4の発明によれば、小型で安
価な回転センサと回転角度の検出方法を提供することが
できる。請求項2の発明によれば、回転センサが振動し
てロータと励磁コイルを有する固定体との間のギャップ
が変動しても、ロータと固定体との間に発生する磁界を
安定させて磁界の変動に起因するノイズを小さく抑える
ことができる。このため、回転センサは、回転角度を検
出する精度が向上する。
【0064】請求項3の発明によれば、振動に起因した
ノイズが更に低減されて、回転角度の検出誤差が大幅に
小さく抑えられ、回転角度を検出する精度が一層向上す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転角度の検出方法を適用した回転セ
ンサの第1の実施形態を示す断面図である。
【図2】図1の回転センサで用いるロータの平面図であ
る。
【図3】図1の回転センサで用いるロータの変形例を固
定コアと共に示した断面図である。
【図4】図1の回転センサのロータの要部を、対応する
固定体及びサブコアと共に示した断面図である。
【図5】図1の回転センサで使用する回転角度測定装置
の一例を示す回路図である。
【図6】図1の回転センサにおける励磁コイルの出力信
号と回転角度測定装置の測定部へ出力される電圧信号の
出力特性図である。
【図7】回転角度測定装置の変形例を示す回路図であ
る。
【図8】回転角度測定装置の他の変形例を示す回路図で
ある。
【図9】図1の回転センサにおける励磁コイルの出力信
号と回転角度測定装置の測定部へ出力される電圧信号の
出力特性図である。
【図10】回転角度測定装置の更に他の変形例を示す回
路図である。
【図11】本発明の回転センサの第2の実施形態を示す
断面図である。
【図12】図11の回転センサで使用する角度測定装置
の一例を示す回路図である。
【図13】図1の回転センサの変形例を示す断面図であ
る。
【図14】図1の回転センサの他の変形例を示す断面図
である。
【図15】図14の回転センサで用いるメタルロータの
平面図である。
【図16】図1の回転センサの更に他の変形例を示すも
ので、左半側の断面図である。
【符号の説明】
1 回転センサ 2 ロータ 2b センシング部 3 固定コア 3a コア本体 3b1〜3b4 励磁コイル 4 回転角度測定装置 4a 発振回路 4b 分周回路 4c1〜4c4 位相シフト部 4d1〜4d4 位相シフト量検出部 4e1〜4e4 コンバータ 4f1,4f3 増幅回路 4g 測定部 4h1,4h2 差動アンプ 4j1,4j2 シフトレベル調整部 5 ケース 6 上ケース 6a サブコア 7 下ケース 8 固定コア 8a コア本体 8b1〜8b4 励磁コイル 9 メタルロータ 9a 取付リング 9b ブリッジ部 9c センシング部 10,12 回転角度測定装置 14 回転角度測定装置 20 回転センサ 21 第1ロータ 22 固定コア 22d 励磁コイル 23 第2ロータ 24 第3ロータ 24c センシング部 25 ケース 26 上ケース 27 下ケース 27a サブコア 28 角度測定装置 30 回転センサ 31 メタルロータ 32,33 固定コア 34 測定装置 35 ケース 36 上ケース 37 下ケース Cmg 磁気回路 Sh シャフト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F077 CC02 FF02 FF03 FF13 FF31 VV02 VV11 3D033 CA29 DB05

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転するシャフトの軸線方向所定位置に
    取り付けられ、周方向に沿って幅が変化するセンシング
    部を有するロータ、 励磁コイルと、絶縁磁性材から成形され、前記励磁コイ
    ルを保持するコアとを有し、固定部材に取り付けて、前
    記ロータに対して前記シャフトの軸線方向に間隔を置い
    て対向配置される固定コア及び前記励磁コイルと接続さ
    れ、特定周波数の発振信号を発信する発振手段を有する
    回転角度測定装置を備えたことを特徴とする回転セン
    サ。
  2. 【請求項2】 更に、前記ロータを挟んでサブコアが前
    記励磁コイルと対向配置されている、請求項1の回転セ
    ンサ。
  3. 【請求項3】 更に、他の励磁コイルを保持する他の固
    定コアが、前記ロータを挟んで前記固定コアと対向配置
    されている、請求項1の回転センサ。
  4. 【請求項4】 励磁コイルと、回転角度に対応して幅が
    変化するセンシング部とを回転するシャフトの軸線方向
    に間隔をおいて対向配置し、前記シャフトの回転による
    前記励磁コイルのインピーダンス変動に基づいて前記シ
    ャフトの回転角度を検出することを特徴とする回転角度
    の検出方法。
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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005257663A (ja) * 2004-02-12 2005-09-22 Furukawa Electric Co Ltd:The 変位センサ
JP2006126113A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサ
WO2006080325A1 (ja) 2005-01-25 2006-08-03 The Furukawa Electric Co., Ltd. 回転センサ
JP2007024556A (ja) * 2005-07-13 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサ
US7183761B2 (en) 2004-02-20 2007-02-27 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation sensor
JP2007051909A (ja) * 2005-08-17 2007-03-01 Tamagawa Seiki Co Ltd レゾルバ
JP2007263617A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサのアニール処理方法及びアニール処理冶具
JP2007271457A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 変位センサ及び回転センサ
WO2008010338A1 (en) * 2006-07-19 2008-01-24 Tamagawa Seiki Kabushiki Kaisha Angle detector
WO2008056793A1 (en) 2006-11-10 2008-05-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle determining apparatus
WO2008056792A1 (fr) 2006-11-10 2008-05-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Appareil de détermination de l'angle de rotation
JP2009128312A (ja) * 2007-11-27 2009-06-11 Sumida Corporation 回転角度検出用センサ
JP2010181269A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Toyota Motor Corp 磁気レゾルバ
JP2011007796A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Robert Bosch Gmbh 軸の回転モーメント及び/又は回転角度を検出するための装置
JP2011099837A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Aisan Industry Co Ltd 回転角センサ
US8729887B2 (en) 2009-11-09 2014-05-20 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Rotation angle sensor
WO2022244471A1 (ja) * 2021-05-19 2022-11-24 株式会社アイシン 回転電機

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005257663A (ja) * 2004-02-12 2005-09-22 Furukawa Electric Co Ltd:The 変位センサ
US7183761B2 (en) 2004-02-20 2007-02-27 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation sensor
CN100365387C (zh) * 2004-02-20 2008-01-30 古河电气工业株式会社 旋转传感器
JP2006126113A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサ
WO2006080325A1 (ja) 2005-01-25 2006-08-03 The Furukawa Electric Co., Ltd. 回転センサ
US7999534B2 (en) 2005-01-25 2011-08-16 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation sensor with detection signal timing cycle features
JP2007024556A (ja) * 2005-07-13 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサ
JP2007051909A (ja) * 2005-08-17 2007-03-01 Tamagawa Seiki Co Ltd レゾルバ
JP2007263617A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転センサのアニール処理方法及びアニール処理冶具
JP2007271457A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 変位センサ及び回転センサ
US7852069B2 (en) 2006-07-19 2010-12-14 Tamagawa Seiki Kabushiki Kaisha Rotary angle detector
WO2008010338A1 (en) * 2006-07-19 2008-01-24 Tamagawa Seiki Kabushiki Kaisha Angle detector
WO2008056793A1 (en) 2006-11-10 2008-05-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle determining apparatus
EP2080992A4 (en) * 2006-11-10 2011-06-08 Furukawa Electric Co Ltd APPARATUS FOR DETERMINING THE ROTATION ANGLE
WO2008056792A1 (fr) 2006-11-10 2008-05-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Appareil de détermination de l'angle de rotation
JP2009128312A (ja) * 2007-11-27 2009-06-11 Sumida Corporation 回転角度検出用センサ
JP2010181269A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Toyota Motor Corp 磁気レゾルバ
JP2011007796A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Robert Bosch Gmbh 軸の回転モーメント及び/又は回転角度を検出するための装置
JP2011099837A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Aisan Industry Co Ltd 回転角センサ
US8729887B2 (en) 2009-11-09 2014-05-20 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Rotation angle sensor
WO2022244471A1 (ja) * 2021-05-19 2022-11-24 株式会社アイシン 回転電機

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