JP2003298385A - Ａｔカット水晶振動子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドライブ特性の安定したＡＴカット水晶振動
子を提供する。 【解決手段】 フォトリソエッチング加工によるＡＴカ
ット水晶振動子の振動片１の切り離し部４を取り付け電
極１３側の2箇所に配置し、水晶クラック片の付着が無
いようにその部分を導電性接着剤で覆うことにより、切
り離し部４からのクラック片の発生を防止し、クラック
片の電極への付着を無くすことによりドライブ特性の劣
化を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明に属する技術分野】本発明は、携帯情報機器に用
いられる水晶振動子に関し、特にフォトリソエッチング
加工により製造されるＡＴカット水晶振動子に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は、従来の水晶振動子を示す平面図
である。水晶振動子１０は、水晶ウエハからの切り離し
部４が1ヶ所で、振動片１の支持部の中央にあった。支
持部は、導電性接着剤３により、ケース２に固定され、
励振電極と電気的に導通している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の方法には次のような課題があった。従来の切り離し
部４が1ヶ所しかないものでは、振動片１を水晶ウエハ
から切り離したときに切り離し部４にクラックが発生す
ることがある。そして、切り離し部４の微小な水晶片
が、ケース２に支持された振動片１の電極表面に付着し
てドライブ特性の劣化を生じていた。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、振動片の一辺
に一対の取り出し電極を有し、取り出し電極から振動片
の外周方向に延設された一対の切り離し部を有し、切り
離し部を導電接着剤でケースに固定したＡＴカット圧電
振動子とした。ここで切り離し部の間隔を、圧電振動片
の取り出し電極を有する辺の幅をＷとしたとき、0.５Ｗ
から0.9Ｗとすると良い。ここで、振動片の幅一杯に切
り離し部の間隔を広げると、切り離し時に振動片の側面
に大きなクラックが発生する。また、切り離し部の間隔
を狭めると、導電接着剤の塗布時に電気的にショートを
発生することがある。

【０００５】本発明では振動片の水晶ウエハからの切り
離し部を２ヶ所にして、切り欠きノッチをつけることで
容易に振動片を切り離し、ケースに支持する際に支持部
表面を水晶クラック片の発生が無いように導電性接着剤
で覆うように塗布し、接着することでケースと振動子を
電気的機械的に接続することができ、クラック片の発生
や飛散を接着剤により防止することにより、ドライブ特
性の安定した振動子の製造が可能となり、上記課題を解
決できる。

【０００６】

【発明の実施形態】以下に本発明の実施例を図面により
説明する。図1は本発明の振動片切り離し形状を説明す
る図である。セラミックパッケージで大きさが3.2×2.5
ｍｍのケース２に搭載される振動片１は長さ（Ｌ）が2.
0ｍｍ程度、幅（Ｗ）が1.0〜1.3ｍｍ程度の大きさであ
る。振動片１の表面には励振電極１２と、励振電極１２
に接続された一対の取り付け電極１３が一つの片上にあ
る。切り離し部４の形状は2ヶ所のピッチ（ｐ）が0.8ｍ
ｍ程度、切り欠きノッチ寸法（ａ）が0.1ｍｍ程度の大
きさである。このような振動片を水晶ウエハから切り離
した後、図２に示すようにケース２に支持し、切り離し
部４表面に導電性接着剤３を塗布することで、水晶クラ
ック片の脱落・電極表面への付着が無くなり、ドライブ
特性の安定した振動子が製造できる。

【０００７】

【発明の効果】このように本発明によれば、水晶の小片
が振動片の表面に付着することがなく、水晶振動子のド
ライブ特性の向上が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動片形状を説明する図である。

【図２】本発明の支持形態を説明する図である。

【図３】従来の振動子支持形態を説明する図である。

【符号の説明】

１ 振動片 ２ ケース ３ 導電性接着剤 ４ 切り離し部 １２ 励振電極 １３ 取り付け電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０３Ｈ 9/02 Ｈ０１Ｌ 41/18 １０１Ａ 9/10 41/22 Ｚ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動片の一辺に一対の取り出し電極を有
   し、前記一対の取り出し電極から前記振動片の外周方向
   に延設された一対の切り離し部を有し、前記切り離し部
   を導電接着剤でケースに固定したＡＴカット圧電振動
   子。
2. 【請求項２】 前記切り離し部の間隔が、前記圧電振動
   片の前記取り出し電極を有する辺の幅をＷとすると、0.
   ５Ｗから0.9Ｗである請求項１記載のＡＴカット圧電振
   動子。
3. 【請求項３】 フォトリソエッチング加工により製造さ
   れたＡＴカット水晶振動子において、水晶片の切り離し
   部が2箇所もつことを特徴とするＡＴカット水晶振動
   子。
4. 【請求項４】 上記切り離し部に切り欠きノッチを有
   し、容易に振動片を切り離せることが特徴とするＡＴカ
   ット水晶振動子。
5. 【請求項５】 上記水晶片の切り離し部2ヶ所の表面に
   導電性接着剤を塗布することを特徴とするＡＴカット水
   晶振動子。
6. 【請求項６】 圧電振動子ウエハ上に一対の切り離し部
   を介して振動片を形成し、前記振動片に励振電極と、励
   振電極に接続され前記切り離し部に接する取り出し電極
   を形成し、ケース上に前記振動子を配置し、前記取り出
   し電極と前記切り離し部に導電性接着剤により前記ケー
   スと前記振動片を電気的機械的に接続するＡＴカット水
   晶振動子の製造方法。