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JP2003291241A - プレート積層材の製造方法、プレート積層材を用いる中空積層材の製造方法、および中空積層材を用いる部品の製造方法 - Google Patents

プレート積層材の製造方法、プレート積層材を用いる中空積層材の製造方法、および中空積層材を用いる部品の製造方法

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JP2003291241A
JP2003291241A JP2002100409A JP2002100409A JP2003291241A JP 2003291241 A JP2003291241 A JP 2003291241A JP 2002100409 A JP2002100409 A JP 2002100409A JP 2002100409 A JP2002100409 A JP 2002100409A JP 2003291241 A JP2003291241 A JP 2003291241A
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JP
Japan
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plate
hollow
laminated material
laminate
manufacturing
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JP2002100409A
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English (en)
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Kinji Saijo
謹二 西條
Kazuo Yoshida
一雄 吉田
Shinji Osawa
真司 大澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Kohan Co Ltd
Original Assignee
Toyo Kohan Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】複数枚のプレート材を積層接合してなるプレー
ト積層材の製造方法で、少なくともいずれか一対の対向
するプレート材間に所定のパターンで接合抑止部を形成
し、接合抑止部の1箇所または複数箇所を開口予定部と
するプレート積層材の製造方法、およびプレート積層材
を用いる中空積層材の製造方法、および中空積層材を用
いる部品の製造方法の提供。 【解決手段】複数枚のプレート材12の対向面に所定の
パターンに接合抑止部を形成してプレート積層材20と
し、プレート積層材20の接合抑止部を膨らませて中空
部11を有する中空積層材10とし、中空積層材の中空
部の一部を開口部として部品を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、複数枚のプレート
材を積層接合し、少なくともいずれか一対の対向するプ
レート材間に所定のパターンで接合抑止部を形成し、接
合抑止部の1箇所または複数箇所を開口予定部とするよ
うなプレート積層材の製造方法、およびプレート積層材
を用いる中空積層材の製造方法、および中空積層材を用
いる部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】パーソナルコンピュータなどのコンピュ
ータ機器においては、その高性能化が急速に進められて
おり、この高性能化を実現していくために、MPUなど
から発生する熱を効率よく放熱させる放熱器や熱交換器
などの冷却装置部品が必要とされている。
【0003】このような冷却装置部品の1つとして、例
えば特開平10−185465号報で開示されているよ
うなプレート型ヒートパイプなどが提案されている。こ
のプレート型ヒートパイプは、アルミニウム合金材を複
数枚積層圧着し、積層境界面に蛇行した細径のトンネル
をロールボンド法により形成し、そのトンネル内にヒー
トパイプ作動液としてフロン134a等を封入してい
る。図1および図2に示すように、このプレート型ヒー
トパイプ1は2枚の金属薄板3、4を積層し熱間圧延に
て接合して、予め圧着防止剤を所定のパターンで塗布し
未圧着となった境界面のパターン部を膨管して前記蛇行
した細径のトンネル2を形成しており、単位幅あたりの
蛇行ターン数を格段に増加させることにより放熱性能を
向上させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のロールボンド法により形成した冷却装置部
品では、熱間圧延により金属薄板を接合するため母材の
変形が大きく、トンネルの形状を精度良く形成できない
ばかりでなく、接合面における異種金属間の合金化等に
より接合強度が低下する等の問題点も生じている。
【0005】本発明は、上記のような技術的背景に鑑
み、軽量化や薄型化を可能とするプレート積層材の製造
方法、およびプレート積層材を用いる中空積層材の製造
方法、および中空積層材を用いる部品の製造方法を提供
することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記課題に対する第1の
解決手段として本発明のプレート積層材の製造方法は、
複数枚のプレート材を積層接合してなるプレート積層材
の製造方法であって、少なくともいずれか一対の対向す
るプレート材間に所定のパターンで接合抑止部を形成
し、前記接合抑止部の1箇所または複数箇所を開口予定
部とする方法とした。また好ましくは、前記積層接合
が、前記プレート材の接合面を予め活性化処理した後、
活性化処理面同士が対向するように当接して重ね合わせ
て冷間圧接する方法とした。さらに好ましくは、前記活
性化処理が、不活性ガス雰囲気中でグロー放電を行わせ
て、前記プレート材の接合予定面側をそれぞれスパッタ
エッチング処理する方法とした。
【0007】前記課題に対する第2の解決手段として本
発明の中空積層材の製造方法は、前記プレート積層材の
接合抑止部に所定形状の中空部を形成する方法とした。
【0008】前記課題に対する第3の解決手段として本
発明の部品の製造方法は、1箇所または複数箇所の開口
部を有する前記中空積層材を用いる方法とした。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の製造方法を説明
する。図3は、本発明の製造方法を用いた中空積層材の
一実施形態を示す概略平面図であり、一本の細長いトン
ネル状の中空部11が蛇行した例を示す。なお図中11
aは、開口部である。図4は、本発明の製造方法を用い
た中空積層材の一実施形態を示す概略断面図であり、2
枚のプレート材12、13の少なくともいずれか一方例
えばプレート材12に凹部16を設けることにより中空
部を形成した例を示す。図5は、本発明の製造方法を用
いた中空積層材の他の実施形態を示す概略断面図であ
り、2枚のプレート材12、13の少なくともいずれか
一方例えばプレート材12に薄肉加工を施すことにより
凹部16を設けて中空部を形成した例を示す。図6は、
本発明の製造方法を用いた中空積層材のさらに他の実施
形態を示す概略断面図であり、3枚のプレート材12、
13、14のうち中間に位置するプレート材12に貫通
部17を設けることにより中空部を形成した例を示す。
図7は、本発明の製造方法を用いた中空積層材のさらに
他の実施形態を示す概略断面図であり、中空部を形成す
るプレート材のいずれか一方の側をプレート材12、1
4からなる2層の積層材で構成した例を示す。図8は、
本発明の製造方法を用いた中空積層材のさらに他の実施
形態を示す概略断面図であり、中空部を形成するプレー
ト材の双方の側をプレート材12、14およびプレート
材13、15からなるそれぞれ2層の積層材で構成した
例を示す。図9は、本発明の製造方法を用いた中空積層
材のさらに他の実施形態を示す概略断面図であり、2重
構造の中空部を有する形態を示す。
【0010】プレート材12の材質としては、中空積層
材を製造可能な素材であれば特にその種類は限定され
ず、中空積層材の用途により適宜選択して用いることが
できる。例えば、常温で固体である金属(例えば、A
l、Fe、Ni、Cu、Zn、Pd、Ag、Sn、P
t、Auなど)やこれらの金属のうち少なくとも1種類
を含む合金(例えば、JISに規定の合金など)あるい
はこれらの金属や合金を少なくとも1層有する積層体
(例えば、クラッド材、メッキ材、蒸着膜材など)など
を適用することができる。さらに上記の金属や合金は、
アモルファス体であっても構わない。また高分子材料や
高分子材料に上記の金属や合金を積層した積層体なども
用いることができる。中空積層材の用途が熱交換器など
であれば、熱伝導性に優れた金属であるCu、Al、N
iなどやこれらの金属のうち少なくとも1種類を含む合
金あるいはこれらの金属や合金を少なくとも1層有する
積層体などを適用することができる。
【0011】JISに規定の合金としては、例えば、鉄
鋼材料では、合金鉄、構造用鋼、圧力容器鋼、薄鋼板、
ステンレス鋼、耐熱鋼、超合金、磁気材料など、Cu系
合金では、例えばJIS H 3100に記載の無酸素
銅、タフピッチ銅、りん脱酸銅、丹銅、黄銅、快削黄
銅、すず入り黄銅、アドミラルティ黄銅、ネーバル黄
銅、アルミニウム青銅、りん青銅、白銅など、Al系合
金では、例えばJIS H4000あるいは4160に
記載の1000系、2000系、3000系、5000
系、6000系、7000系など、Ni系合金では、例
えばJIS H4551に記載の常炭素ニッケル、低炭
素ニッケル、ニッケル−銅合金、ニッケル−銅−アルミ
ニウム−チタン合金、ニッケル−モリブデン合金、ニッ
ケル−モリブデン−クロム合金、ニッケル−クロム−鉄
−モリブデン−銅合金、ニッケル−クロム−モリブデン
−鉄合金、ニッケル−鉄合金、ニッケル−クロム−鉄合
金などを適用することができる。
【0012】またプレート材12の厚みも中空積層材の
用途により適宜選定して用いることができる。例えば、
5〜1000μmである。5μm未満の場合にはプレー
ト材としての製造が難しくなり、1000μmを超える
と中空積層材しての製造が難しくなる。好ましくは、1
0〜500μmである。なおプレート材12は概略平板
であればよく多少の凹凸や湾曲などがあってもよい。
【0013】プレート材13、14、15の材質や厚み
などの寸法や形状は、プレート材12に適用できるもの
であれば特に限定されず、中空積層材の用途により適宜
選定して用いることができ、プレート材12と同じでも
よいし異なっていてもよいし、互いに同じでも異なって
いてもよい。
【0014】本発明の中空積層材の製造方法は、例えば
図4に示すような、2枚のプレート材12、13の対向
面に所定のパターンの接合抑止部を形成するように、接
合抑止剤などを塗布して活性化処理を行った後積層接合
してプレート積層材20を製造した後、必要により所定
の大きさに切り出し、このプレート積層材の接合抑止部
をエアーなどによる金型膨管などにより膨らませて中空
部11を形成するものである。
【0015】本発明の中空積層材の製造方法について以
下に説明する。まず図7、図8で用いられる2層の積層
材、すなわちプレート材12、14やプレート材13、
15からなる積層材の製造方法について説明する。図1
0に示す積層材製造装置50において、巻き戻しリール
62から巻き戻されたプレート材12を、活性化処理装
置70で活性化処理する。同様にして巻き戻しリール6
4から巻き戻されたプレート材14を、活性化処理装置
80で活性化処理する。活性化処理された面同士が当接
するように、プレート材12、14を圧接ユニット60
で冷間圧接して積層接合してプレート積層材20を製造
し、巻き取りロール66で巻き取る。また必要により、
巻き取りロール部の代わりに所定の大きさに切り出す切
り出し工程を設けても良い。このようにして2層の積層
材を製造することができる。
【0016】活性化処理は、以下のようにして実施す
る。すなわち、活性化処理装置70に投入されたプレー
ト材12をアース接地した一方の電極A(電極ロール7
2)と接触させ、絶縁支持された他の電極B(電極7
4)との間でスパッタエッチングによる活性化処理を行
う。同様にして活性化処理装置80に投入されたプレー
ト材14をアース接地した一方の電極A(電極ロール8
2)と接触させ、絶縁支持された他の電極B(電極8
4)との間でスパッタエッチングによる活性化処理を行
う。活性化処理は、10〜1×10−3Paの極低圧不
活性ガス雰囲気好ましくはアルゴンガス中で、電極A、
B間に1〜50MHzの交流を印加してグロー放電を行
わせ、グロー放電によって生じたプラズマ中に露出され
る電極Aの面積が、実効的に電極Bの面積の1/3以下
となるように、スパッタエッチング処理する。なお不活
性ガス圧力が1×10−3Pa未満では安定したグロー
放電が行いにくく高速エッチングが困難であり、10P
aを超えると活性化処理効率が低下する。印加する交流
は、1MHz未満では安定したグロー放電を維持するの
が難しく連続エッチングが困難であり、50MHzを超
えると発振し易く電力の供給系が複雑となり好ましくな
い。また効率よくエッチングするためには電極Aの面積
を電極Bの面積より小さくする必要があり、実効的に1
/3以下とすることにより充分な効率でエッチング可能
となる。
【0017】積層接合は、以下のようにして実施する。
すなわち、プレート材12、14の活性化処理された面
が対向するようにして両者を当接して重ね合わせて圧接
ユニット60で冷間圧接することにより積層接合を達成
することできる。この際の積層接合は、低温度・低圧延
率下で可能であり、熱間圧接や高圧延率の圧接における
ようなプレート材ならびに積層接合部に組織変化や合金
化、破断等といった悪影響を軽減または排除することが
可能である。このときプレート材の温度T(℃)は、0
℃<T≦300℃であることが好ましい。0℃以下では
大掛かりな冷却装置が必要となり、300℃を超えると
接合部が合金化し接合強度が低下するため好ましくな
い。また圧延率R(%)は、0.1%≦R≦30%であ
ることが好ましい。0.1%未満では充分な接合強度が
得られず、30%を超えると変形が大きくなり加工精度
上好ましくない。
【0018】次に図3に示す中空積層材の製造方法につ
いて、接合抑止剤を用いた場合を例に取り説明する。図
3に示される中空積層材10において、11は中空部で
ある。この中空部11は、次のようにして形成すること
ができる。図4に示すように、まず2枚のプレート材1
2、13の対向面に中空部形状に対応した所定のパター
ンの接合抑止部を形成するように、少なくとも一方のプ
レート材に接合抑止剤などを塗布する。例えば図10に
示した積層材製造装置50において、プレート材14の
代わりにプレート材13を用い、積層材20の代わりに
プレート積層材として、活性化処理装置70、80の少
なくともいずれか一方の前に、すなわち巻き戻しリール
と活性化処理装置の間に、所定パターンの接合抑止剤を
印刷する工程や装置を設けることにより、巻き戻された
プレート材に接合抑止剤を所定パターンで塗布すること
が可能となる。接合抑止剤の塗布はパターン印刷などに
より行うことができる。接合抑止剤としては、例えばコ
ロイド状グラファイトを主成分とするインキなどを用い
ることができる。接合抑止剤の塗布厚さは、その後に施
す活性化処理により消失しない程度の厚さか、または積
層接合時に接合抑止部が接合されない程度にしておくこ
とができる。
【0019】その後プレート材12、13の対抗面に活
性化処理装置70、80で活性化処理を行い、プレート
材12、13の活性化処理された面が対向するようにし
て両者を当接して重ね合わせて圧接ユニット60で冷間
圧接して積層接合し、プレート積層材20を製造するこ
とができる。このように積層接合することにより、接合
抑止剤の付着していなかった部分のみが圧接され、接合
抑止剤の付着していた部分には接合抑止部が形成され
る。その後、必要により所定の大きさに切り出して本発
明の接合抑止部を有するプレート積層材20を製造する
ことができる。またプレート積層材20の接合部に表裏
面を貫くような貫通孔を設けてもよい。なお接合抑止剤
の印刷工程や装置は、活性化処理装置の後に、すなわち
活性化処理装置と圧接ユニットの間に設置してもよい。
【0020】本発明の中空積層材の製造方法は、上記の
ようにして製造されたプレート積層材を、必要により切
り出して、プレート積層材の接合抑止部に開口部11a
から圧縮空気などを送り込み、必要により金型などを用
いて、プレート材の少なくとも一方の面を膨らませるも
のである。このようにして中空部11を形成する。また
必要により、中空部内を洗浄し余分な接合抑止剤を除去
してもよい。以上のようにして本発明の製造方法を用い
て、中空部11を有する中空積層材10を製造すること
ができる。なお複数の開口部は膨管の後に形成してもよ
いし、膨管前にプレート積層材の状態で開口予定部を有
していてもよい。
【0021】また前記の圧接ユニットを、プレス加工装
置などと置き換えることによっても積層接合が達成され
る。さらに接合抑止剤印刷後またはスパッタエッチング
処理後に、プレート材などを所定の大きさに切り出した
後積層し、プレス加工を行うことも可能である。また先
にプレート材などを所定の大きさに切り出した後に、ス
パッタエッチング処理・接合抑止剤印刷を行って、積層
しプレス加工を行うことも可能である。なお切り出した
後にスパッタエッチング処理をする場合は、プレート材
を絶縁支持された一方の電極Aとし、アース接地した他
の電極Bとの間で活性化処理を行うこともできる。
【0022】図4に示す中空積層材は、図10に示す積
層材製造装置50において、圧接ユニット60の圧接ロ
ール面に接合抑止部の所定パターンに対応した例えば窪
みなどの非圧接部を設けることによってプレート積層材
20を製造し、このプレート積層材20を膨管すること
によっても製造することができる。なお接合抑止剤など
を併用してもよい。
【0023】図5に示すような中空積層材は、少なくと
もいずれか一方のプレート材に所定パターンの薄肉加工
を施すことによって凹部を形成することで、接合抑止部
となすものである。すなわち予め薄肉部が形成されたプ
レート材を図10に示す積層材製造装置に装填して積層
接合を施すか、あるいは巻き戻しリールと活性化処理装
置の間に薄肉加工の工程や装置を設けることにより、巻
き戻されたプレート材に薄肉加工を施したうえで積層接
合を施して中空積層材を製造することができる。さらに
このようにして製造された中空積層材に、必要により膨
管などの加工を施してもよい。
【0024】図6に示すような中空積層材は、所定パタ
ーンの貫通孔を有するプレート材の貫通孔を、他のプレ
ート材で塞ぐことにより中空部を形成するものであり、
この貫通孔が接合抑止部となる。さらにこのようにして
製造された中空積層材に、必要により膨管などの加工を
施してもよい。
【0025】図7、8に示すような中空積層材は、図1
0に示す積層材製造装置50において、プレート材1
2、13の代わりに2層のプレート積層材20を用いる
ことにより製造することができる。例えば、図8に示す
ような中空積層材では、中空部の両側に用いる積層材と
して銅板12、13にそれぞれアルミニウム板14、1
5を積層接合した2層の積層材を用いてもよい。これに
より中空部内に水などの液体や気体が存在する場合に銅
板を内側に用いて耐食性を高めたり、銅−アルミニウム
の積層材を用いて銅板のみの場合よりも軽量化を図った
り比強度を高めたりすることができる。また銅板の厚さ
を0.01〜0.1mmとすることが好ましい。0.0
1mm未満では充分な耐食性が得られず、0.1mmよ
り厚くなれば重くなりすぎるとともに強度面から積層接
合して補強する必要もなくなる。またアルミニウム板の
厚さは0.05〜1.0mmとすることが好ましい。
0.05mm未満では充分な強度を得られず、1.0m
mより厚くなれば重くなりすぎるため好ましくない。
【0026】本発明の製造方法を用いた中空積層材で
は、図9に示すように、中空部の一部が多重構造を有し
ていてもよい。このような中空部は、内側の中空部を膨
管した後外側の中空部を膨管する多段膨管であってもよ
いし、同時に膨管してもよい。このとき内側の中空部の
膨管圧力を外側より高くすることにより達成することが
可能である。また中空部は同形状であってもよいし異形
状であってもよいし、内側と外側の開口部は同一箇所ま
たは別々の箇所のいずれに設けてもよい。
【0027】さらに本発明の部品の製造方法は、1箇所
または複数箇所の開口部を有する中空積層材を用いるも
のである。複数箇所の開口部を有する部品では、中空部
内部で部分的に連通している形態や非連通である形態な
どとすることができる。例えば、2つの開口部を有し、
中空部内部で連通しているものは、一体型の配管などと
して利用することができる。このような一体型の配管を
用いることで、通常の配管よりも中空部を形成する部分
に加わる振動を抑制することなどが可能である。多重構
造の中空部を有する部品は熱交換器部品などにも用いる
ことができる。また2つの開口部を有していても中空部
内部で非連通であるものは、2系統のプレート型ヒート
パイプなどに用いることができる。なお1箇所の開口部
を有する部品は、1系統のプレート型ヒートパイプなど
に用いることができる。
【0028】プレート型ヒートパイプは、中空積層材を
作成した後、中空積層材の開口部11aを通じてヒート
パイプ作動体を所定量封入し、内部を所定の圧力、例え
ば真空状態、減圧状態または大気圧程度などにして開口
部を溶接等の方法を用いて密封することにより製造する
ことができる。ヒートパイプ作動体としては取り扱いの
容易な液体、特に脱フロン化の観点等から、水、純水ま
たは超純水を用いることができる。またこのようにして
製造されたヒートパイプにおいては、中空部11内の幅
方向両側部に毛細管力によるヒートパイプ作動体の引き
込み部などが形成できるため、保持姿勢に影響されるこ
となく放熱性能を発揮することが可能となる。
【0029】
【実施例】以下に、実施例を図面に基づいて説明する。
プレート材12、13として厚み150μmの無酸素銅
板を用いた。無酸素銅板に所定のパターンでインキを塗
布し、無酸素銅板とともに積層材製造装置50にセット
し、真空槽52内の活性化処理ユニット70および80
でスパッタエッチング法によりそれぞれ活性化処理し
た。次に圧接ユニット60を用いて、これら活性化処理
された無酸素銅板を、活性化処理面同士を重ね合わせて
圧接して積層接合してプレート積層材20を製造した。
次にプレート積層材20を所定の大きさに切り出して2
カ所の開口予定部を形成し、エアー膨管を行って2カ所
の開口部が連通する中空積層材10を製造した。さらに
中空積層材10の接合部18に部分的に貫通孔を設けて
一体型配管を製造した。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明のプレート積
層材の製造方法は、複数枚のプレート材を積層接合して
なるプレート積層材の製造方法であって、少なくともい
ずれか一対の対向するプレート材間に所定のパターンで
接合抑止部を形成し、接合抑止部の1箇所または複数箇
所を開口予定部とするものである。また本発明の中空積
層体の製造方法は、接合抑止部を中空部とするものであ
る。さらに本発明の部品の製造方法は、1箇所または複
数箇所の開口部を有する中空積層材を用いるものであ
る。このため接合部に悪影響を及ぼすことがなく、薄い
金属板を低圧延率で接合が可能であるので形状の高精度
化および軽量薄形化を実現でき、各種の部品製造に好適
に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のプレート型ヒートパイプの概略平面図の
一実施例である。
【図2】従来のプレート型ヒートパイプの概略断面の一
実施例である。
【図3】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略平
面図の一実施形態である。
【図4】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図の一実施形態である。
【図5】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図の他の一実施形態である。
【図6】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図のさらに他の一実施形態である。
【図7】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図のさらに他の一実施形態である。
【図8】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図のさらに他の一実施形態である。
【図9】本発明の製造方法を用いた中空積層体の概略断
面図のさらに他の一実施形態である。
【図10】本発明の製造方法に用いるプレート積層材の
製造装置の概略断面図の一実施形態である。
【符号の説明】
1 中空体 2 トンネル 3 金属薄板 4 金属薄板 5 接合部 6 膨管部 10 中空積層材 11 中空部(トンネル) 11a 開口部 12 プレート材 13 プレート材 14 プレート材 15 プレート材 16 凹部 17 貫通孔 18 接合部 19 接合部 20 プレート積層材 21 中空部(トンネル) 50 積層材製造装置 52 真空槽 60 圧接ユニット 62 巻き戻しリール 64 巻き戻しリール 66 巻き取りロール 70 活性化処理装置 72 電極ロール 74 電極 80 活性化処理装置 82 電極ロール 84 電極 A 電極A B 電極B
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F28D 15/02 106 F28D 15/02 106G Fターム(参考) 4E067 AA05 AA07 AB08 AC06 AD07 BB01 DA05 DA12 DA17 DB03 DD02 EA04 EB01 EC03 4F100 AB17 AR00A AR00C BA03 BA07 BA10A BA10C DB00B DD27B EC01 EJ64A EJ64C GB41 JJ01 JJ10 JL14B

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数枚のプレート材を積層接合してなる
    プレート積層材の製造法であって、少なくともいずれか
    一対の対向するプレート材間に所定のパターンで接合抑
    止部を形成し、前記接合抑止部の1箇所または複数箇所
    を開口予定部とすることを特徴とするプレート積層材の
    製造方法。
  2. 【請求項2】 前記積層接合が、前記プレート材の接合
    面を予め活性化処理した後、活性化処理面同士が対向す
    るように当接して重ね合わせて冷間圧接することを特徴
    とする請求項1に記載のプレート積層材の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記活性化処理が、不活性ガス雰囲気中
    でグロー放電を行わせて、前記プレート材の接合予定面
    側をそれぞれスパッタエッチング処理することを特徴と
    する請求項2に記載のプレート積層材の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記プレート積層材の接合抑止部に所定
    形状の中空部を形成することを特徴とする中空積層材の
    製造方法。
  5. 【請求項5】 1箇所または複数箇所の開口部を有する
    前記中空積層材を用いることを特徴とする部品の製造方
    法。
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