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JP2003274679A - Thin servo motor - Google Patents

Thin servo motor

Info

Publication number
JP2003274679A
JP2003274679A JP2002067522A JP2002067522A JP2003274679A JP 2003274679 A JP2003274679 A JP 2003274679A JP 2002067522 A JP2002067522 A JP 2002067522A JP 2002067522 A JP2002067522 A JP 2002067522A JP 2003274679 A JP2003274679 A JP 2003274679A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic motor
encoder
motor
capacitance type
thin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002067522A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinji Hama
信治 濱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamagawa Seiki Co Ltd
Original Assignee
Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tamagawa Seiki Co Ltd filed Critical Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority to JP2002067522A priority Critical patent/JP2003274679A/en
Publication of JP2003274679A publication Critical patent/JP2003274679A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 制御モータの低容量化・低重量化・コンパク
ト化・省スペース化を実現することのできる、薄型のサ
ーボモータを提供すること。 【解決手段】 サーボモータを、発振子(2)、ステー
タ(3)、ロータ(4)、および軸(10)を備えた超
音波モータ部(1)と、軸(10)を軸とし、基板(8
A)、基板(8B)、ディスク(7)を備えた静電容量
型エンコーダ部(6)と、から構成し、超音波モータ部
(1)および静電容量型エンコーダ部(6)は、ともに
ケース(5)に収容する構造とする。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a thin servomotor capable of realizing low capacity, low weight, compactness, and space saving of a control motor. SOLUTION: An ultrasonic motor unit (1) including an oscillator (2), a stator (3), a rotor (4), and a shaft (10); a shaft (10) as a shaft; (8
A), a substrate (8B), and a capacitive encoder section (6) provided with a disk (7). The ultrasonic motor section (1) and the capacitive encoder section (6) are both It is structured to be stored in the case (5).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は超音波モータを用い
たサーボモータに関し、特に、省スペース化を実現でき
る薄型サーボモータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servomotor using an ultrasonic motor, and more particularly to a thin servomotor capable of realizing space saving.

【0002】[0002]

【従来の技術】超音波モータは、圧電セラミックス等圧
電素子と金属などの弾性体からなる振動体(ステータ)
の表面に移動体(ロータ)を加圧し、接触させることに
よって作動させるモータである。作動原理は、圧電素子
への高周波電圧の印加により振動体に進行波が発生し、
これにより駆動部に振動が発生し、駆動部に接触する移
動体(ロータ)にはその振動が摩擦力として伝達され
る、というものである。係る作動原理により超音波モー
タは、回転型モータの他にリニア型モータを構成するこ
とも容易である。
2. Description of the Related Art An ultrasonic motor is a vibrating body (stator) made of a piezoelectric element such as piezoelectric ceramics and an elastic body such as metal.
It is a motor that is activated by pressing a moving body (rotor) on the surface of and contacting it. The operating principle is that a traveling wave is generated in the vibrating body by applying a high frequency voltage to the piezoelectric element,
As a result, vibration is generated in the drive unit, and the vibration is transmitted to the moving body (rotor) contacting the drive unit as frictional force. Due to such an operating principle, the ultrasonic motor can be easily configured as a linear motor in addition to the rotary motor.

【0003】超音波モータは、ギヤ等の減速機構を用い
ずに低速・高トルクが得られ、ダイレクトドライブが可
能、作動音が静か、速度制御が容易、保持トルクが大き
く制動の考慮が不要、高い応答性、構造が簡単で機器の
コンパクト化が容易、中空構造が可能、磁界がほとんど
発生しない、など多くの優れた特徴を有する。係る特徴
を活かして超音波モータは、たとえばロボットの駆動関
節、医療機器、カメラのオートフォーカス、光学機器の
レンズミラーの駆動、ロールスクリーン巻き上げ、自動
車のハンドルポジション・ヘッドレスト、部品搬送、高
磁場内アクチュエータ、衛星受信装置の位置制御、など
の制御用モータとして用いられ、今後、その用途のさら
なる拡大が予想される。
The ultrasonic motor can obtain a low speed and a high torque without using a reduction mechanism such as a gear, can be directly driven, has a quiet operation sound, is easy in speed control, has a large holding torque, and does not require consideration of braking. It has many excellent features such as high responsiveness, simple structure, easy device compaction, hollow structure, almost no magnetic field. Taking advantage of these characteristics, ultrasonic motors are used in robot drive joints, medical equipment, camera autofocus, optical equipment lens mirror drive, roll screen hoisting, automobile handle position / headrest, component transfer, high magnetic field actuators. It is used as a control motor for position control of satellite receivers, and its applications are expected to further expand in the future.

【0004】超音波モータのフィードバック制御には、
軸の回転を検出するエンコーダ等の回転検出器が用いら
れるが、従来は光学式のエンコーダ等が用いられてい
る。
In the feedback control of the ultrasonic motor,
A rotation detector such as an encoder that detects the rotation of the shaft is used, but conventionally, an optical encoder or the like is used.

【0005】図4は、光学式エンコーダの基本構成の一
つを示す側方視の説明図である。図において光学式のエ
ンコーダは、多数のスリット41が列設された回転板4
2を挟んで、光を該回転板42に投光するための発光ダ
イオード(以下「LED」という。)等の発光部43、
および該回転板42上のスリット41を通し、さらに固
定スリット46により処理された光を受光するためのフ
ォトダイオード等の受光部44(二基設けられる)とが
設けられ、該回転板42はモータの軸45の端部に設け
られることを、基本的な構成とする。係る構成により光
学式のエンコーダにおいては、発光部43から投光され
た光Lは、モータの回転を顕現する回転板42に照射さ
れ、該回転板42上のスリットの作用により回転角の変
位情報を有するパルス信号とされ、さらに、固定スリッ
ト46を通して二基設けられた受光部44において位相
の異なる二種のパルス信号として取り打され、該二種の
パルス信号が演算処理されることにより、モータの回転
の変位量と方向を検出することができる。
FIG. 4 is an explanatory side view showing one of the basic constructions of the optical encoder. In the figure, an optical encoder has a rotary plate 4 in which a large number of slits 41 are arranged.
A light emitting portion 43 such as a light emitting diode (hereinafter, referred to as "LED") for projecting light on the rotary plate 42 with the two in between,
And a light receiving portion 44 (two groups are provided) such as a photodiode for receiving the light processed by the fixed slit 46 through the slit 41 on the rotary plate 42, and the rotary plate 42 is a motor. The basic structure is that it is provided at the end of the shaft 45. In the optical encoder having such a configuration, the light L emitted from the light emitting unit 43 is applied to the rotary plate 42 that reveals the rotation of the motor, and the displacement information of the rotation angle is generated by the action of the slit on the rotary plate 42. And pulsed as two types of pulse signals having different phases in the two light receiving portions 44 provided through the fixed slit 46, and the two types of pulse signals are arithmetically processed to obtain the motor. It is possible to detect the displacement amount and direction of rotation of the.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、光学式エンコ
ーダはその構造上、一定の空間を占有しなくてはなら
ず、これを超音波モータに用いてサーボモータとする場
合、超音波モータが有する構造のコンパクト化の容易性
を充分に活かすのには限界があった。特に、軸方向に薄
型化を図る必要がある場合、あるいは薄型化が望ましい
場合には、光学式エンコーダのコンパクト化の限界が直
接サーボモータの薄型化には制限となっており、ファク
トリー・オートメーション(FA)、オフィス・オート
メーション(OA)、医療分野を始めとした各種産業分
野における機器の低容量・低重量・コンパクト化の要請
の中、サーボモータの薄型化を図るための解決策が求め
られていた。
However, the optical encoder has to occupy a certain space due to its structure, and when this is used as an ultrasonic motor and used as a servo motor, the ultrasonic motor has it. There was a limit to fully utilize the ease of making the structure compact. In particular, when it is necessary to reduce the thickness in the axial direction, or when it is desired to reduce the thickness, the limit of downsizing the optical encoder is directly limited to the reduction of the servomotor. FA), office automation (OA), medical fields, and other industrial fields require low capacity, low weight, and compact equipment, and solutions for thinner servo motors are required. It was

【0007】図3は、従来の超音波モータを用いたサー
ボモータの構成を示す断面図である。図において従来の
サーボモータは、発振子32、ステータ33、ロータ3
4、および軸30を備えた超音波モータ部31と、該軸
30を軸とし、基板38A、38B、回転板(以下、
「ディスク」とも言う。)37を備えた光学式エンコー
ダ部36と、から主として構成され、該超音波モータ部
31はケース35に収容され、一方該光学式エンコーダ
部36はケース39に収容されており、両ケース35、
39は相互に固設されている。
FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a servo motor using a conventional ultrasonic motor. In the figure, the conventional servomotor includes an oscillator 32, a stator 33, and a rotor 3.
4, an ultrasonic motor unit 31 having a shaft 30 and substrates 38A, 38B, a rotary plate (hereinafter,
Also called a "disk". ) 37 and an optical encoder section 36, and the ultrasonic motor section 31 is housed in a case 35, while the optical encoder section 36 is housed in a case 39.
39 are fixed to each other.

【0008】図のように、光学式エンコーダを用いたサ
ーボモータでは、そのエンコーダの構造上、エンコーダ
部36は超音波モータ部31と同程度にも及ぶ軸方向厚
さを有しており、サーボモータの薄型化には限界があ
る。しかもエンコーダ部36には、上述のディスク37
の他、図示しない発光部や受光部、固定スリット等を設
ける必要があるため、ケース39の形状・構造は複雑で
あり、部品点数も多く、組み立て工数も多く、相当の製
造コストがかかるものとなっている。
As shown in the figure, in the servo motor using the optical encoder, the encoder portion 36 has a thickness in the axial direction which is almost the same as that of the ultrasonic motor portion 31 due to the structure of the encoder. There are limits to how thin the motor can be made. Moreover, the encoder unit 36 includes the above-mentioned disc 37.
In addition, since it is necessary to provide a light emitting unit, a light receiving unit, a fixed slit, and the like (not shown), the shape and structure of the case 39 is complicated, the number of parts is large, the number of assembling steps is large, and considerable manufacturing cost is required. Has become.

【0009】また、光学式エンコーダにおいては、LE
D等の発光部には常に電流を流す必要があり、これを賄
う補助電源には相当の消費電力を要するため、電力コス
ト低減に限界があり、かつ余計な電力の消費は地球環境
保護上も避けたいところであり、改善が求められてい
た。
Further, in the optical encoder, LE
Since it is necessary to constantly supply a current to the light-emitting part such as D, and the auxiliary power supply to cover this requires a considerable amount of power consumption, there is a limit to the reduction of the power cost, and the extra power consumption is also in terms of protecting the global environment. It was something I wanted to avoid, and there was a need for improvement.

【0010】本発明の課題は、上記従来技術の欠点を除
き、ファクトリー・オートメーション(FA)、オフィ
ス・オートメーション(OA)、医療分野を始めとした
各種産業分野における制御モータの低容量・低重量・コ
ンパクト化・省スペース化を実現することのできる、薄
型のサーボモータを提供することである。
The object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the prior art described above, and to reduce the capacity and weight of control motors in various industrial fields such as factory automation (FA), office automation (OA) and medical fields. It is an object of the present invention to provide a thin servo motor capable of realizing compactness and space saving.

【0011】また本発明の他の課題は、回転検出器部分
の形状・構造を改善することにより、より部品点数およ
び工程数を削減して製造コストを低減できる、サーボモ
ータを提供することである。
Another object of the present invention is to provide a servo motor which can reduce the number of parts and the number of steps to reduce the manufacturing cost by improving the shape and structure of the rotation detector portion. .

【0012】さらに本発明の他の課題は、回転検出器部
分の消費電力を低減することのでき、かつ全体構造を薄
型化できる、薄型のサーボモータを提供することであ
る。
Still another object of the present invention is to provide a thin servomotor which can reduce the power consumption of the rotation detector portion and can be made thin in its overall structure.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本願発明者は上記課題に
つき鋭意検討した結果、従来の光学式の回転検出器に替
えて静電容量型の回転検出器を用いることにより、上記
課題を解決できることを見出した。すなわち、上記課題
を解決するための手段として、本願で特許請求される発
明は以下のとおりである。
Means for Solving the Problems As a result of extensive studies on the above problems, the present inventor can solve the above problems by using a capacitance type rotation detector instead of the conventional optical rotation detector. Found. That is, the invention claimed in the present application as means for solving the above problems is as follows.

【0014】(1)超音波モータと、該超音波モータの
回転角度を検出するためにこれに取り付けられた回転検
出器とを備えたサーボモータにおいて、該回転検出器を
静電容量型の回転検出器とすることを特徴とする、薄型
サーボモータ。
(1) In a servomotor having an ultrasonic motor and a rotation detector attached to the ultrasonic motor for detecting the rotation angle of the ultrasonic motor, the rotation detector is rotated by a capacitance type. A thin servomotor characterized by being used as a detector.

【0015】(2)前記静電容量型の回転検出器が、静
電容量型エンコーダであることを特徴とする、(1)の
薄型サーボモータ。
(2) The thin servomotor according to (1), wherein the capacitance type rotation detector is a capacitance type encoder.

【0016】(3)前記超音波モータが回転型の超音波
モータであり、前記静電容量型の回転検出器が回転型の
静電容量型エンコーダであることを特徴とする、(1)
の薄型サーボモータ。
(3) The ultrasonic motor is a rotary ultrasonic motor, and the electrostatic capacitance type rotation detector is a rotary electrostatic capacitance type encoder. (1)
Thin servo motor.

【0017】(4)前記超音波モータがリニア型の超音
波モータであり、前記静電容量型の回転検出器がリニア
型の静電容量型エンコーダであることを特徴とする、
(1)の薄型サーボモータ。
(4) The ultrasonic motor is a linear ultrasonic motor, and the electrostatic capacitance type rotation detector is a linear electrostatic capacitance type encoder.
The thin servomotor of (1).

【0018】すなわち本発明は、超音波モータを用いた
サーボモータにおいて、そのフィードバック制御を担う
回転検出器として、その構造により一定の空間を占有せ
ざるを得ない従来の光学式回転検出器に替えて、薄型の
構造を有し、空間の占有がより少なくより省スペースで
あり、かつ消費電力も少ないという特徴を有する静電容
量型の回転検出器を用いることによって、サーボモータ
全体を薄型化、コンパクト化、省スペース化して、上記
課題に解決手段を提供するものである。
That is, in the present invention, in a servomotor using an ultrasonic motor, as a rotation detector responsible for its feedback control, a conventional optical rotation detector which has no choice but to occupy a certain space due to its structure is replaced. The servo motor is thinned by using a capacitance type rotation detector which has a thin structure, occupies less space, saves space, and consumes less power. The object of the present invention is to provide a solution to the above problems by making it compact and saving space.

【0019】静電容量型の回転検出器としては、静電容
量型エンコーダが挙げられる。図2は、静電容量型エン
コーダの原理を説明する説明図である。図において静電
容量型エンコーダでは、ロータ20が回転軸22に設け
られて回転し、該ロータ20にはロータ電極27が設け
られている。ステータ21は該ロータ20のハウジング
等に固定され、該ステータ21には送信電極26と受信
電極28が設けられている。該ステータ21と該ロータ
20との間にはわずかな空隙(以下、「ギャップ」とい
う。)23が存在するように両者が設けられ、該ギャッ
プ23を介して該送信電極26および該受信電極28
と、該ロータ電極27とが互いに静電結合している。交
流電源29から該送信電極26に交流電圧を印加する
と、信号は、(a)送信電極26、(b)ロータ電極2
7、(c)受信電極28、の経路に沿って伝達される。
該受信電極28により受信された信号に基づき、静電容
量計算器24により、各時点での静電容量が検出され
る。静電容量型エンコーダでは、該静電容量が該ロータ
20の回転角に応じて変化するように各電極26、2
7、28が配置されるため、検出された静電容量から、
該ロータ20の回転角度を求めることができる。
An example of the electrostatic capacitance type rotation detector is an electrostatic capacitance type encoder. FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating the principle of the capacitance type encoder. In the capacitance type encoder shown in the figure, a rotor 20 is provided on a rotating shaft 22 for rotation, and a rotor electrode 27 is provided on the rotor 20. The stator 21 is fixed to the housing of the rotor 20 and the like, and the stator 21 is provided with a transmission electrode 26 and a reception electrode 28. The stator 21 and the rotor 20 are provided with a small gap (hereinafter referred to as “gap”) 23 between them, and the transmitter electrode 26 and the receiver electrode 28 are provided through the gap 23.
And the rotor electrode 27 are electrostatically coupled to each other. When an AC voltage is applied from the AC power supply 29 to the transmitting electrode 26, signals are (a) transmitting electrode 26 and (b) rotor electrode 2
7, (c) the receiving electrode 28 is transmitted along the path.
Based on the signal received by the receiving electrode 28, the capacitance calculator 24 detects the capacitance at each time point. In the capacitance type encoder, the electrodes 26, 2 are arranged so that the capacitance changes according to the rotation angle of the rotor 20.
Since 7, 28 are arranged, from the detected capacitance,
The rotation angle of the rotor 20 can be obtained.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面により詳細に
説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるも
のではない。以下、図中、同一の構成要素に対しては同
一の符号を付して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. The present invention is not limited to the examples below. Hereinafter, in the drawings, the same components will be denoted by the same reference numerals for description.

【0021】[0021]

【構成】図1は、本発明の薄型サーボモータについて、
静電容量型の回転検出器を静電容量型エンコーダとした
場合の例につき、その側方断面図を示すものである。図
において本薄型サーボモータは、発振子2、ステータ
3、ロータ4、および軸10を備えた超音波モータ部1
と、該軸10を軸とし、基板8A、8B、ディスク7を
備えた静電容量型エンコーダ部6と、から主として構成
され、該超音波モータ部1および該静電容量型エンコー
ダ部6は、ともにケース5に収容されている構造を有す
る。
[Structure] FIG. 1 shows a thin servo motor of the present invention.
FIG. 4 is a side sectional view showing an example in which the capacitance type rotation detector is a capacitance type encoder. In the figure, the thin servo motor is an ultrasonic motor unit 1 including an oscillator 2, a stator 3, a rotor 4, and a shaft 10.
And an electrostatic capacity type encoder section 6 having the shaft 10 as an axis and provided with substrates 8A, 8B and a disk 7, and the ultrasonic motor section 1 and the electrostatic capacity type encoder section 6 are Both have a structure housed in the case 5.

【0022】[0022]

【作用】図において、静電容量型エンコーダを用いた本
発明の薄型サーボモータにおいては、前記静電容量エン
コーダ部6は前記超音波モータ部1と比較してその軸方
向厚さが相当程度薄く、該モータ部1の厚さの約50%
程度の厚さにまで、あるいはそれ以下の厚さにまで薄く
することができる。
In the figure, in the thin servomotor of the present invention using an electrostatic capacity type encoder, the electrostatic capacity encoder section 6 has a considerably small axial thickness as compared with the ultrasonic motor section 1. , About 50% of the thickness of the motor unit 1
It can be thinned to a moderate thickness or even less.

【0023】また、従来技術ではモータ部およびエンコ
ーダ部それぞれにケースが必要であり、ケースの厚さも
サーボモータ全体の軸方向厚さに影響していたところ、
本発明のサーボモータではモータ部1とエンコーダ部6
とでケースを共通化することができ(5)、両部間にケ
ースによる境界が設けられないため、その分ケース厚を
低減することができ、サーボモータの薄型化に効果を有
する。
Further, in the prior art, a case is required for each of the motor section and the encoder section, and the thickness of the case affects the axial thickness of the entire servo motor.
In the servo motor of the present invention, the motor unit 1 and the encoder unit 6
The case can be shared by (5), and since no boundary is provided between the two parts by the case, the case thickness can be reduced correspondingly, which is effective in reducing the thickness of the servomotor.

【0024】これらの結果、サーボモータ全体の軸方向
厚さを約25%程度薄くし、約75%程度の厚さにまで
薄くすることができる(図1、図3参照)。あるいは、
該エンコーダ部6の薄型化等の結果、サーボモータ全体
の軸方向厚さを約25%程度以上薄くし、約75%以下
の厚さにまで薄くすることができる。
As a result, the axial thickness of the entire servo motor can be reduced by about 25%, and can be reduced to about 75% (see FIGS. 1 and 3). Alternatively,
As a result of thinning the encoder unit 6 and the like, the axial thickness of the entire servo motor can be reduced by about 25% or more, and can be reduced to about 75% or less.

【0025】図1に示すように、本発明の薄型サーボモ
ータは、前記超音波モータ部1に回転型の超音波モータ
を用いる場合は、前記静電容量型エンコーダ部6として
回転型の静電容量型エンコーダを用いるが、該超音波モ
ータ部1としてリニア型の超音波モータを用いる場合
は、該静電容量型エンコーダ部6としてリニア型の静電
容量型エンコーダを用いることとすることができる。い
ずれの場合においても、エンコーダ部に静電容量型エン
コーダを用いることにより、エンコーダ部の厚さを薄く
し、モータ部とエンコーダ部のケースを共通化できるこ
とによって、サーボモータを薄型化することができる。
As shown in FIG. 1, in the thin servomotor of the present invention, when a rotary ultrasonic motor is used as the ultrasonic motor unit 1, a rotary electrostatic motor is used as the electrostatic capacity encoder unit 6. Although a capacitive encoder is used, when a linear ultrasonic motor is used as the ultrasonic motor unit 1, a linear electrostatic encoder can be used as the electrostatic encoder unit 6. . In any case, by using a capacitance type encoder for the encoder unit, the thickness of the encoder unit can be reduced and the case of the motor unit and the encoder unit can be shared, so that the servo motor can be made thinner. .

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明の薄型サーボモータは上述のよう
に構成されているため、ファクトリー・オートメーショ
ン(FA)、オフィス・オートメーション(OA)、医
療分野を始めとした各種産業分野における制御モータの
低容量・低重量・コンパクト化、省スペース化を実現す
ることができる。
Since the thin servo motor of the present invention is configured as described above, it can be used as a control motor in various industrial fields such as factory automation (FA), office automation (OA) and medical fields. It is possible to realize capacity, low weight, compactness, and space saving.

【0027】また本発明によれば、回転検出器部分の形
状・構造が改善され、ケースを共通化することができる
ため、より部品点数および工程数を削減して製造コスト
を低減することができる。
Further, according to the present invention, since the shape and structure of the rotation detector portion can be improved and the case can be made common, the number of parts and the number of steps can be further reduced to reduce the manufacturing cost. .

【0028】さらに本発明によれば、回転検出器部分の
消費電力を低減することができ、かつ全体構造を薄型化
することができる。
Furthermore, according to the present invention, the power consumption of the rotation detector portion can be reduced and the overall structure can be made thin.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の薄型サーボモータについて、静電容量
型の回転検出器を静電容量型エンコーダとした場合の例
につき、その側方断面図を示すものである。
FIG. 1 is a side sectional view of an example in which a capacitance type rotation detector is a capacitance type encoder in a thin servomotor of the present invention.

【図2】静電容量型エンコーダの原理を説明する説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating the principle of a capacitive encoder.

【図3】従来の超音波モータを用いたサーボモータの構
成を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of a servo motor using a conventional ultrasonic motor.

【図4】従来のサーボモータに用いられている、光学式
エンコーダの基本構成の一つを示す側方視の説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory side view showing one of basic configurations of an optical encoder used in a conventional servo motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、31…超音波モータ部、 2、32…発振子、
3、33…ステータ、 4、34…ロータ(超音波モー
タ)、 5、35、39…ケース、 6、36…エンコ
ーダ部、 7…ロータ(静電容量型エンコーダ)、 8
A、8B、38A、38B…基板、 10、30…軸、
37…回転板 〈図2:静電容量型エンコーダ〉 20…ロータ、 21…ステータ、 22…回転軸、
23…ギャップ、 24…静電容量計算器、 26…送
信電極、 27…ロータ電極、 28…受信電極、 2
9…交流電源 〈図4:光学式エンコーダ〉 41…スリット、 42…回転板、 43…発光部、
44…受光部、 45…軸、 46…固定スリット、
L…光
1, 31 ... Ultrasonic motor section, 2, 32 ... Oscillator,
3, 33 ... Stator, 4, 34 ... Rotor (ultrasonic motor), 5, 35, 39 ... Case, 6, 36 ... Encoder section, 7 ... Rotor (capacitance type encoder), 8
A, 8B, 38A, 38B ... Substrate, 10, 30 ... Axis,
37 ... Rotating plate <Fig. 2: Capacitance encoder> 20 ... Rotor, 21 ... Stator, 22 ... Rotating shaft,
23 ... Gap, 24 ... Capacitance calculator, 26 ... Transmission electrode, 27 ... Rotor electrode, 28 ... Reception electrode, 2
9 ... AC power supply <Fig. 4: Optical encoder> 41 ... Slit, 42 ... Rotating plate, 43 ... Light emitting part,
44 ... Light receiving part, 45 ... Shaft, 46 ... Fixed slit,
L ... light

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F077 AA49 NN02 NN14 PP01 QQ03 RR02 5H680 AA19 BB01 BB12 BB15 BB17 BC01 BC08 BC10 CC01 DD01 DD11 DD23 DD27 DD35 DD65 DD87 DD88 EE22 FF24 GG01   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2F077 AA49 NN02 NN14 PP01 QQ03                       RR02                 5H680 AA19 BB01 BB12 BB15 BB17                       BC01 BC08 BC10 CC01 DD01                       DD11 DD23 DD27 DD35 DD65                       DD87 DD88 EE22 FF24 GG01

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 超音波モータと、該超音波モータの回転
角度を検出するためにこれに取り付けられた回転検出器
とを備えたサーボモータにおいて、該回転検出器を静電
容量型の回転検出器とすることを特徴とする、薄型サー
ボモータ。
1. A servo motor comprising an ultrasonic motor and a rotation detector attached to the ultrasonic motor for detecting a rotation angle of the ultrasonic motor, wherein the rotation detector is a capacitance type rotation detector. A thin servo motor characterized by being used as a container.
【請求項2】 前記静電容量型の回転検出器が、静電容
量型エンコーダであることを特徴とする、請求項1に記
載の薄型サーボモータ。
2. The thin servomotor according to claim 1, wherein the capacitance type rotation detector is a capacitance type encoder.
【請求項3】 前記超音波モータが回転型の超音波モー
タであり、前記静電容量型の回転検出器が回転型の静電
容量型エンコーダであることを特徴とする、請求項1に
記載の薄型サーボモータ。
3. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the ultrasonic motor is a rotary ultrasonic motor, and the electrostatic capacitance type rotation detector is a rotational electrostatic capacitance type encoder. Thin servo motor.
【請求項4】 前記超音波モータがリニア型の超音波モ
ータであり、前記静電容量型の回転検出器がリニア型の
静電容量型エンコーダであることを特徴とする、請求項
1に記載の薄型サーボモータ。
4. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the ultrasonic motor is a linear ultrasonic motor, and the electrostatic capacitance type rotation detector is a linear electrostatic capacitance type encoder. Thin servo motor.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076654A (en) * 2006-09-20 2008-04-03 Pentax Corp Ultrasonic rotary drive

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