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JP2003262873A - Color liquid crystal display device and method of manufacturing color liquid crystal display device - Google Patents

Color liquid crystal display device and method of manufacturing color liquid crystal display device

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Publication number
JP2003262873A
JP2003262873A JP2002063470A JP2002063470A JP2003262873A JP 2003262873 A JP2003262873 A JP 2003262873A JP 2002063470 A JP2002063470 A JP 2002063470A JP 2002063470 A JP2002063470 A JP 2002063470A JP 2003262873 A JP2003262873 A JP 2003262873A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spacer
liquid crystal
display device
crystal display
substrate
Prior art date
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Application number
JP2002063470A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4057820B2 (en
Inventor
Takeshi Yamamoto
武志 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2002063470A priority Critical patent/JP4057820B2/en
Publication of JP2003262873A publication Critical patent/JP2003262873A/en
Application granted granted Critical
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  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラー液晶表示装置において、カラーフィル
タを構成する各色の着色層を利用して、これと同じ材料
を使用した積層型スペーサ、もしくは単層型のスペーサ
を単独で使用した場合には、各スペーサ間で高さに不揃
いが発生してスペーサの均一性が阻害され、液晶パネル
のギャップムラに起因する表示不良が発生していたが、
これらの不都合を解消して所定の均一なギャップを確保
することができ、液晶パネルのギャップムラに起因する
表示不良を抑制したカラー液晶表示装置及びその製造方
法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ20を形成する着色層2
0R,20B,20G材を積層して形成した積層型スペ
ーサ21と、単層型スペーサ23とを混在させてスペー
サ群24を構成し、このスペーサ群24をアレイ基板1
7と対向基板18間に介在配置する。
(57) Abstract: In a color liquid crystal display device, using a colored layer of each color constituting a color filter, a laminated spacer using the same material or a single-layered spacer is used alone. In this case, the heights of the spacers were uneven, the uniformity of the spacers was hindered, and a display defect due to gap unevenness of the liquid crystal panel occurred.
The present invention provides a color liquid crystal display device capable of eliminating these inconveniences, securing a predetermined uniform gap, suppressing display defects due to gap unevenness of a liquid crystal panel, and a method of manufacturing the same. SOLUTION: A colored layer 2 forming a color filter 20 is provided.
A spacer group 24 is formed by mixing a laminated spacer 21 formed by laminating materials 0R, 20B, and 20G, and a single-layer spacer 23.
7 and the opposing substrate 18.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置及びその製造方法に係り、特にスペーサ群をカラーフ
ィルタ用の着色層材料を順次積層して形成した積層型ス
ペーサと、単一材によって形成した単層型スペーサとの
混合体から構成することによって、スペーサ群の高さを
略均一にすることが可能なカラー液晶表示装置及びカラ
ー液晶表示装置の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a spacer group in which a spacer group is formed by sequentially stacking colored layer materials for a color filter, and a single material. The present invention relates to a color liquid crystal display device and a method for manufacturing the color liquid crystal display device, which are capable of making the heights of the spacer groups substantially uniform by being composed of a mixture with the single layer type spacer.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在のカラー液晶表示装置としては、隣
接画素間でのクロストークがなく、良好な表示画像の実
現が可能なことから、アクティブマトリクス型カラー液
晶表示装置が主流となっている。このアクティブマトリ
クス型カラー液晶表示装置は、図5に示すように、透明
なガラス材からなる基板51上にマトリクス状にスイッ
チング素子、例えばアモルファスシリコンを半導体層と
した薄膜トランジスタ(TFT)52を設け、このTF
T52を覆うように絶縁層53が形成されている。この
絶縁層53に夫々スルーホール部54を形成してTFT
52と接続される複数の透明な画素電極55を絶縁層5
3上に配置し、更にこの画素電極55面上にポリイミド
等から構成される配向膜56を形成したアレイ基板57
を有している。
2. Description of the Related Art As a current color liquid crystal display device, an active matrix type color liquid crystal display device is predominant because there is no crosstalk between adjacent pixels and a good display image can be realized. In this active matrix type color liquid crystal display device, as shown in FIG. 5, switching elements, for example, thin film transistors (TFTs) 52 having a semiconductor layer of amorphous silicon are provided in a matrix on a substrate 51 made of a transparent glass material. TF
An insulating layer 53 is formed so as to cover T52. Through holes 54 are formed in the insulating layer 53 to form TFTs.
A plurality of transparent pixel electrodes 55 connected to the insulating layer 5
3 on which the alignment film 56 made of polyimide or the like is further formed on the surface of the pixel electrode 55.
have.

【0003】このアレイ基板57と対向して配置される
対向基板58は、同様に透明なガラス材にて形成された
基板59を有し、この基板59のアレイ基板57と対向
する対向面上には、アクリル材等から構成される青、
緑、赤の3色カラーフィルタ60を形成する複数の着色
層60B,60G,60Rが設けられ、この着色層60
B,60G,60Rの面上には、ITO等から構成され
る透明な対向電極61が設けられている。そしてこの対
向電極61上には、ポリイミド等から構成される配向膜
62が設けられ、更に、表示領域の外周部分には、黒色
の遮光膜によって形成された額縁部63が設けられ、こ
の額縁部63によって非表示領域を覆い隠すようにして
いる。
The counter substrate 58, which is arranged so as to face the array substrate 57, has a substrate 59 which is also formed of a transparent glass material, and is provided on the face of the substrate 59 which faces the array substrate 57. Is blue composed of acrylic material,
A plurality of colored layers 60B, 60G, and 60R that form the green and red three-color color filters 60 are provided.
A transparent counter electrode 61 made of ITO or the like is provided on the surfaces of B, 60G, and 60R. An alignment film 62 made of polyimide or the like is provided on the counter electrode 61, and a frame portion 63 formed of a black light-shielding film is provided on the outer peripheral portion of the display area. The non-display area is covered by 63.

【0004】更に、このアレイ基板57上から対向基板
58へ電圧を印加する電極転移材として、銀ペースト
(図示せず)等が画面周辺部に配置され、この電極転移
材によってアレイ基板57と対向基板58間を電気的に
接続するようになされている。
Further, silver paste (not shown) or the like is arranged in the peripheral portion of the screen as an electrode transfer material for applying a voltage from the array substrate 57 to the counter substrate 58, and the electrode transfer material opposes the array substrate 57. The boards 58 are electrically connected to each other.

【0005】このアレイ基板57と対向基板58間は、
両基板57,58間に介在されるスペーサ64によって
そのギャップが規定されており、両基板57,58は所
定の間隙を持って対向配置されるとともに、その周辺部
を熱または紫外線硬化型のアクリル系あるいはエポキシ
系の接着剤から構成されるシール材65を介して貼合わ
されており、この間隙部分には液晶部材66が封止され
て液晶パネル67が構成されている。
Between the array substrate 57 and the counter substrate 58,
The gap is defined by a spacer 64 interposed between the two substrates 57 and 58. The two substrates 57 and 58 are opposed to each other with a predetermined gap, and the peripheral portions thereof are heat- or ultraviolet-curing acrylic. They are adhered to each other via a sealing material 65 composed of a system or epoxy adhesive, and a liquid crystal member 66 is sealed in this gap to form a liquid crystal panel 67.

【0006】このスペーサ64は、カラーフィルタ60
を構成する着色層60B,60G,60Rと同じ材料を
使用して積層形成することが可能なので、着色層60
B,60G,60Rの形成時にスペーサ64を同時に同
じ材料を使用してフォトリソグラフィ法によって作り込
むことで工程の削減を図っている。
The spacer 64 is a color filter 60.
Since the same material as the colored layers 60B, 60G, and 60R constituting the
At the time of forming B, 60G, and 60R, the spacer 64 is simultaneously formed by using the same material by a photolithography method, thereby reducing the number of steps.

【0007】更に、この液晶パネル67の両外表面に
は、偏光板68が接着剤によって貼付され、アレイ基板
57側の偏光板68の外方には、必要に応じてバックラ
イトもしくは反射板(図示せず)等が配置されてカラー
液晶表示装置を構成している。
Further, polarizing plates 68 are attached to both outer surfaces of the liquid crystal panel 67 with an adhesive, and a backlight or a reflection plate (if necessary) is provided outside the polarizing plates 68 on the array substrate 57 side. (Not shown) and the like are arranged to form a color liquid crystal display device.

【0008】このように構成されたカラー液晶表示装置
は、例えば光源となるバックライトを点灯し、TFT5
2を駆動することによって画素電極55をスイッチング
制御して、画素電極55電圧と対向する対向電極61に
供給される電圧との電位差により、各々の画素電極55
上の液晶部材66を制御して光シャッターの役目を行わ
せることにより、所定のカラー画像を表示している。
In the color liquid crystal display device configured as described above, for example, a backlight serving as a light source is turned on, and the TFT 5
The pixel electrodes 55 are switching-controlled by driving the pixel electrodes 55, and each pixel electrode 55 is controlled by the potential difference between the voltage of the pixel electrode 55 and the voltage supplied to the opposing electrode 61.
A predetermined color image is displayed by controlling the upper liquid crystal member 66 to function as an optical shutter.

【0009】このカラー液晶表示装置を構成している積
層型のスペーサ64は、カラーフィルタ60のパターン
形成時に併せて形成されるが、2色目と3色目の着色材
を塗布するときには、基板59上に既に形成されている
着色層、例えば赤用の着色層60Rによって塗布面が凹
凸状になっているために、各スペーサ64を形成する設
置場所毎に着色層60G,60Bを塗布したときのレベ
リング性が異なり、最上層もしくは中間層の厚さが設置
場所に応じて変動してしまうために、図6に示すよう
に、形成されたスペーサ64の高さが設置場所毎に変動
してしまい、スペーサ64の高さにバラツキを発生して
いる。
The laminated spacer 64 constituting this color liquid crystal display device is also formed at the time of forming the pattern of the color filter 60, but when the second and third color materials are applied, it is formed on the substrate 59. Leveling when the colored layers 60G and 60B are applied at each installation location where each spacer 64 is formed because the coating surface is uneven due to the colored layer already formed on the substrate, for example, the red colored layer 60R. Since the thickness of the uppermost layer or the intermediate layer varies depending on the installation location, the height of the formed spacer 64 varies depending on the installation location, as shown in FIG. The height of the spacer 64 varies.

【0010】即ち、スペーサ64の1層目は、基板59
上に1色目の着色材を塗布してパターニングし着色層6
0Rを形成するが、2色目の着色材を1色目の着色層6
0Rの上から塗布し、パターニングして1層目の着色層
60R上に、スペーサ64を構成する2層目となる突部
69を形成し、次いで3色目の着色材を塗布した後にパ
ターニングして、突部69上に更に突部70を形成する
ことで、積層型のスペーサ64を形成している。この
際、突部69もしくは70の両側の底面の高さは、スペ
ーサ64を形成する場所によって、即ち、隣接する部分
が2色目もしくは3色目の着色層60G,60Bとなる
かによって段差が大きくなっている箇所があり、このた
めに塗布された着色材は、段差の大きい方向に大きく引
っ張られ、2色目あるいは3色目をパターニングして順
次突部69,70を積層していっても、段差が小さな箇
所に形成されるスペーサ64よりも必然的に高さが低く
形成されることになる。
That is, the first layer of the spacer 64 is the substrate 59.
The coloring layer 6 is formed by applying the first color material on the top and patterning.
0R is formed, but the second color coloring material is used as the first color coloring layer 6
0R coating and patterning to form the second layer projections 69 constituting the spacer 64 on the first colored layer 60R, then coating the third color material and then patterning. By further forming the protrusion 70 on the protrusion 69, the laminated spacer 64 is formed. At this time, the height of the bottom surface on both sides of the protrusion 69 or 70 becomes large depending on the place where the spacer 64 is formed, that is, whether the adjacent portions are the second or third colored layers 60G and 60B. However, even if the protrusions 69 and 70 are sequentially laminated by patterning the second color or the third color, the colorant applied for this purpose is greatly pulled in the direction of the large step. The height is inevitably lower than that of the spacer 64 formed in a small area.

【0011】このスペーサ64の高さにバラツキが生じ
る要因としては、上記のようなスペーサ64の中間層や
最上層を塗布する時のレベリング性の問題の他にも、積
層パターンの大きさや積層する下層パターンの厚さ等が
考えられる。
Factors that cause variations in the height of the spacers 64 are, in addition to the problem of the leveling property when applying the intermediate layer and the uppermost layer of the spacers 64, the size of the lamination pattern and the lamination. The thickness of the lower layer pattern is considered.

【0012】このように、積層型スペーサ64で表示パ
ネル67のギャップを規定した場合には、表示パネル6
7のギャップが4.9±0.5μmとなって均一性が低
く、このギャップムラに起因する表示不良が発生してい
る。
As described above, when the gap of the display panel 67 is defined by the laminated spacer 64, the display panel 6
The gap of No. 7 is 4.9 ± 0.5 μm and the uniformity is low, and a display defect due to the gap unevenness occurs.

【0013】また、液晶表示装置に使用されるスペーサ
64の形態としては、このような積層型のスペーサ64
の他に単層型のスペーサも知られている。この単層型の
スペーサは、図7に示すように、対向基板58の対向電
極61面上に、例えば額縁部63を形成する際に、同時
にこの額縁材を使用して形成することも行われている。
なお、図5と同じ構成部分については同じ符号を付し
て、その詳細な説明は省略する。
As a form of the spacer 64 used in the liquid crystal display device, such a laminated type spacer 64 is used.
Besides, a single-layer type spacer is also known. As shown in FIG. 7, this single-layer type spacer is also formed by using this frame material at the same time when the frame portion 63 is formed on the surface of the counter electrode 61 of the counter substrate 58. ing.
The same components as those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0014】このような単層型のスペーサ71では、例
えば額縁材をスピンナーを用いて塗布する際の膜厚のバ
ラツキが、そのままスペーサ71の高さのバラツキとし
て発生してしまうことになる。即ち、スピン塗布時の回
転によって遠心力が発生し、基板59中央部分の膜厚が
厚く周辺部分の膜厚が薄くなるために、図8に示すよう
に、スペーサ71としては、基板59中央部分の高さが
高く、周辺部分で低くなる傾向を呈する。従って、この
単層型のスペーサ71の場合でも、スペーサ71の高さ
にバラツキが生じている。実際にこの単層型スペーサ7
1を使用した液晶パネル67のギャップを実測したとこ
ろ、5.1±0.45μmとなって均一性が低く、特に
基板59中央部分でのギャップは5.5μmとより悪化
していた。このギャップの不均一性によって、ギャップ
ムラによる表示不良が発生していた。
In such a single-layer type spacer 71, for example, the variation in the film thickness when the frame material is applied by using the spinner directly occurs as the variation in the height of the spacer 71. That is, the centrifugal force is generated by the rotation during spin coating, and the film thickness of the central portion of the substrate 59 is large and the film thickness of the peripheral portion is thin. Therefore, as shown in FIG. Has a high height and tends to be low in the surrounding area. Therefore, even in the case of this single-layer type spacer 71, the height of the spacer 71 varies. Actually, this single layer type spacer 7
When the gap of the liquid crystal panel 67 using No. 1 was measured, it was 5.1 ± 0.45 μm and the uniformity was low, and the gap at the central portion of the substrate 59 was 5.5 μm, which was worse. Due to this nonuniformity of the gap, display defects due to unevenness in the gap have occurred.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】このように、表示領域
のようなカラーフィルタ60パターンを有する領域に、
カラーフィルタ60を形成する各着色層60R,60
G,60Bの材料を使用して積層させた構造の積層型ス
ペーサ64を作り込むと、各スペーサ64の高さが、夫
々のスペーサ64を形成する場所に依存して決定されて
しまうために不揃いとなり、アレイ基板57と対向基板
58との間隔の均一性を損なうおそれがある。このよう
な現象はレベリング性の高いカラーフィルタ60材料を
使用した場合に特に顕著に現れるものである。
As described above, in the area having the color filter 60 pattern such as the display area,
Colored layers 60R, 60 forming the color filter 60
When the laminated spacer 64 having a structure in which the materials of G and 60B are laminated is manufactured, the height of each spacer 64 is determined depending on the place where each spacer 64 is formed. Therefore, the uniformity of the distance between the array substrate 57 and the counter substrate 58 may be impaired. Such a phenomenon is particularly remarkable when a color filter 60 material having a high leveling property is used.

【0016】また、単層型のスペーサ71でもスピン塗
布によって形成されるために遠心力が発生し、基板59
中央部分の方が周辺部分よりも高さが高くなり、同様に
スペーサ71の高さがばらついてしまい、均一な高さ分
布を呈するスペーサ71を得ることができないでいた。
The single layer type spacer 71 is also formed by spin coating, so that centrifugal force is generated and the substrate 59
The height of the central portion is higher than that of the peripheral portion, and the height of the spacers 71 also varies, so that it is impossible to obtain the spacers 71 exhibiting a uniform height distribution.

【0017】これらスペーサ64,71は、液晶部材6
6の厚さを規定しているものなので、各スペーサ64も
しくは71の高さが変動することによって、液晶部材6
6の厚さムラという致命的な欠陥を引起こす要因となっ
ている。
These spacers 64 and 71 are formed by the liquid crystal member 6.
Since the thickness of the liquid crystal member 6 is regulated, the height of each of the spacers 64 or 71 varies, so that the liquid crystal member 6
This is a factor that causes a fatal defect such as thickness unevenness of No. 6.

【0018】本発明は、このような課題に対処してなさ
れたものであり、積層型スペーサと単層型スペーサのよ
うに高さのバラツキの発生要因が異なるスペーサを混在
して使用することにより、スペーサ群としてのバラツキ
を抑制し、表示品位の良好なカラー液晶表示装置及びカ
ラー液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in response to such a problem, and by using mixed spacers such as a laminated spacer and a single-layer spacer which cause different height variations, they are mixed. It is an object of the present invention to provide a color liquid crystal display device having a good display quality and a method for manufacturing the color liquid crystal display device in which variations in the spacer group are suppressed.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板の一平面
上に配置されたスイッチング素子と、このスイッチング
素子に接続される画素電極とを有するアレイ基板と、こ
のアレイ基板と対向して配置され、その対向する面に対
向電極を備えた対向基板と、この対向基板とアレイ基板
間のいずれかの対向面に形成され青、緑、赤の3色の着
色層からなるカラーフィルタと、アレイ基板と対向基板
間のギャップを規定する複数のスペーサと、アレイ基板
と対向基板間に挟持された液晶部材とを備えたカラー液
晶表示装置において、スペーサを着色層材を積層して形
成した積層型スペーサと、単一材によって形成した単層
型スペーサとを混在させたスペーサ群によって構成する
ようにした。
According to the present invention, an array substrate having a switching element arranged on one plane of a substrate and a pixel electrode connected to the switching element, and arranged so as to face the array substrate. A counter substrate having counter electrodes on its facing surfaces, a color filter formed on any of the facing surfaces between the counter substrate and the array substrate, and including three colored layers of blue, green, and red, and an array. In a color liquid crystal display device including a plurality of spacers defining a gap between a substrate and a counter substrate, and a liquid crystal member sandwiched between the array substrate and the counter substrate, the spacer is formed by laminating colored layer materials. The spacer and the single-layer type spacer formed of a single material are mixed to form a spacer group.

【0020】また、基板の一平面上に配置されたスイッ
チング素子と、このスイッチング素子に接続される画素
電極とを有するアレイ基板と、このアレイ基板と対向し
て配置されその対向する面に対向電極を備えた対向基板
と、この対向基板とアレイ基板間のいずれかの対向面に
形成され青、緑、赤の3色の着色層からなるカラーフィ
ルタと、アレイ基板と対向基板間のギャップを規定する
複数のスペーサと、アレイ基板と対向基板間に挟持され
た液晶部材とを備えたカラー液晶表示装置の製造方法に
おいて、スペーサを着色層材を積層して形成した積層型
スペーサと、単一材によって形成した単層型スペーサと
によってスペーサ群として形成し、この積層型スペーサ
と単層型スペーサを夫々別々に形成するようにした。
Further, an array substrate having a switching element arranged on one plane of the substrate and a pixel electrode connected to the switching element, and a counter electrode arranged so as to face the array substrate and facing the opposite surface. Defining a gap between the array substrate and the counter substrate, and a color filter formed of a colored layer of three colors of blue, green, and red formed on any of the facing surfaces between the counter substrate and the array substrate. In a method of manufacturing a color liquid crystal display device including a plurality of spacers, and a liquid crystal member sandwiched between an array substrate and a counter substrate, a stacked spacer formed by stacking colored layer materials, and a single material. The single-layer type spacers formed as described above are formed as a spacer group, and the laminated type spacers and the single-layer type spacers are separately formed.

【0021】このように、積層型スペーサと単層型スペ
ーサとを混在させたスペーサ群とすることで、スペーサ
群全体としての高さの均一性を確保し、表示品位の良好
なカラー液晶表示装置及びその製造方法とすることがで
きる。
By thus forming the spacer group in which the laminated type spacer and the single layer type spacer are mixed, the uniformity of the height of the entire spacer group is ensured, and the color liquid crystal display device of good display quality is obtained. And its manufacturing method.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明に係るカラー液晶表示装置は、図1
に示すように、透明なガラス材から構成される基板11
の主面上には、成膜、パターニング等の微細技術を駆使
して電極配線とスイッチング素子、例えばTFT12が
設けられる。このTFT12及び電極配線は、例えば次
のようにして構成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. The color liquid crystal display device according to the present invention is shown in FIG.
As shown in, a substrate 11 composed of a transparent glass material
Electrode wiring and a switching element such as the TFT 12 are provided on the main surface of the device by making full use of fine techniques such as film formation and patterning. The TFT 12 and the electrode wiring are configured as follows, for example.

【0023】即ち、基板11の主面上にスパッタリング
法を用いてモリブデン・タングステン(MoW)膜を堆
積させた後にパターニングして、TFT12を構成する
ゲート電極並びに走査信号を供給する走査線を配置す
る。このゲート電極や走査線を覆うようにして、基板1
1上に酸化シリコン、窒化シリコンからなるゲート絶縁
膜を設け、このゲート絶縁膜上のゲート電極が配置され
た面上に、CVD法を用いてアモルファス・シリコン膜
を堆積させた後にパターニングして、TFT12を構成
する半導体層を配置する。更にこの半導体層には、モリ
ブデン(Mo)/アルミニウム(Al)/モリブデン
(Mo)を順次堆積させてパターニングすることで、3
層構造としたTFT12を構成するソース電極、ドレイ
ン電極、及び映像信号を供給する信号線を形成するよう
にして構成されている。
That is, a molybdenum-tungsten (MoW) film is deposited on the main surface of the substrate 11 by a sputtering method and then patterned to arrange a gate electrode constituting the TFT 12 and a scanning line for supplying a scanning signal. . The substrate 1 covers the gate electrode and the scanning line.
1, a gate insulating film made of silicon oxide or silicon nitride is provided, and an amorphous silicon film is deposited by a CVD method on the surface of the gate insulating film on which the gate electrode is arranged, and then patterned. A semiconductor layer forming the TFT 12 is arranged. Further, by sequentially depositing molybdenum (Mo) / aluminum (Al) / molybdenum (Mo) and patterning on this semiconductor layer, 3
A source electrode, a drain electrode, and a signal line for supplying a video signal, which form the layered TFT 12, are formed.

【0024】このTFT12上及び周囲には絶縁膜13
が形成され、更にこの絶縁膜13上には、ITO等を1
500Åの厚さにスパッタリング法によって成膜し、フ
ォトリソグラフィ法によってパターニングすることによ
り透明な画素電極14を形成している。この画素電極1
4の一端は、TFT12のソース・ドレイン通路と各ス
ルーホール部15を介して接続されている。なお、TF
T12は、マトリクス状に配置された信号線及び走査線
の交差部分毎に配置されているものである。この画素電
極15上には、ポリイミド等からなる600Åの膜厚の
配向膜16を設けてXGA形アレイ基板17を構成して
いる。
An insulating film 13 is formed on and around the TFT 12.
Is formed, and ITO or the like is further formed on the insulating film 13.
A transparent pixel electrode 14 is formed by forming a film with a thickness of 500Å by a sputtering method and patterning it by a photolithography method. This pixel electrode 1
One end of 4 is connected to the source / drain passage of the TFT 12 through each through hole portion 15. In addition, TF
T12 is arranged at each intersection of signal lines and scanning lines arranged in a matrix. An XGA type array substrate 17 is formed by providing an alignment film 16 made of polyimide or the like with a thickness of 600 Å on the pixel electrode 15.

【0025】一方、このアレイ基板17に対向して対向
基板18が配置される。この対向基板18は、同じく透
明なガラス材から構成される基板19の対向面上に、赤
(R)、青(B)、緑(G)に夫々色分けされたカラー
フィルタ20の役目を担うRGB着色層20R,20
G,20Bが夫々の色毎にストライプ状に設けられる。
この着色層20R,20G,20Bは、例えば第1色を
赤で構成する場合には、まず赤色の顔料を分散させた紫
外線硬化型アクリル樹脂レジストをスピンナーにて基板
19の全面に均一になるように塗布し、次いで赤を着色
したい部分に光が照射されるようなフォトマスクパター
ンを介して、365nmの波長で100mJ/cm
強度の紫外線を照射して露光する。このフォトマスクパ
ターンには、1色目に対応するストライプ形状のパター
ン部分と、積層型スペーサ用の四角形状のパターン部分
とを有している。
On the other hand, a counter substrate 18 is arranged so as to face the array substrate 17. The counter substrate 18 is an RGB substrate that also functions as a color filter 20 that is color-coded into red (R), blue (B), and green (G) on the facing surface of a substrate 19 that is also made of a transparent glass material. Colored layers 20R, 20
G and 20B are provided in stripes for each color.
For example, when the first color is composed of red, the colored layers 20R, 20G, and 20B are formed by first using a spinner to make an ultraviolet curable acrylic resin resist in which a red pigment is dispersed evenly over the entire surface of the substrate 19. Then, it is exposed by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm and an intensity of 100 mJ / cm 2 through a photomask pattern that irradiates the portion to be colored with red. This photomask pattern has a stripe-shaped pattern portion corresponding to the first color and a square-shaped pattern portion for the laminated spacer.

【0026】その後、KOHの1%水溶液で20秒間現
像し、当該パターン部分に膜厚3.2μmの赤の着色層
20Rを形成する。引続き緑の着色層20G及び青の着
色層20Bを同様にして夫々形成する。このカラーフィ
ルタ20材料をパターニングする際に、カラーフィルタ
20を構成する着色層20R,20G,20B材を順次
積層させて形成した積層型スペーサ21を、選択された
各色の画素パターン間に配置するように、夫々着色層2
0R,20G,20Bの形成と同時に形成する。そのス
ペーサ21の大きさは、例えば1層目となる赤の着色層
20R部分が30×30μm、2層目となる緑の着色層
20G部分が26×26μmに、そして3層目の青の着
色層20B部分が22×22μmで、スペーサ21全体
の高さが5μmとなるように設定されている。
After that, it is developed with a 1% aqueous solution of KOH for 20 seconds to form a red colored layer 20R having a film thickness of 3.2 μm on the pattern portion. Subsequently, the green colored layer 20G and the blue colored layer 20B are formed in the same manner. When patterning the material of the color filter 20, the laminated spacer 21 formed by sequentially laminating the colored layers 20R, 20G, 20B constituting the color filter 20 is arranged between the pixel patterns of the selected colors. And colored layer 2 respectively
It is formed simultaneously with the formation of 0R, 20G, and 20B. The size of the spacer 21 is, for example, 30 × 30 μm for the first red colored layer 20R portion and 26 × 26 μm for the second green colored layer 20G portion, and the third blue colored layer. The layer 20B portion is 22 × 22 μm, and the height of the entire spacer 21 is set to 5 μm.

【0027】この積層型スペーサ21を形成した後に、
カラーフィルタ20面上にITO膜を1500Åの厚さ
にスパッタリング法を用いて成膜して対向電極22を形
成するとともに、感光性アクリル性透明樹脂をスピンナ
ー塗布し、90℃で10分間乾燥させた後に、単層型ス
ペーサ用のパターンを有するフォトマスクを介して36
5nmの波長で100mJ/cmの強度の紫外線を照
射して露光する。その後にpH11.5のアルカリ水溶
液にて現像し、200℃で60分間焼成させて積層型ス
ペーサ21の隣接する画素ストライプ上に30×30μ
mの大きさの単層型スペーサ23を形成している。この
積層型スペーサ21と単層型スペーサ23とは、表示領
域以外の画素パターン間に交互に配設してスペーサ群2
4を構成している。
After forming the laminated spacer 21,
An ITO film having a thickness of 1500 Å was formed on the surface of the color filter 20 by a sputtering method to form the counter electrode 22, and a photosensitive acrylic transparent resin was applied by spinner and dried at 90 ° C. for 10 minutes. Later, through a photomask having a pattern for the single-layer spacer, 36
Exposure is performed by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 5 nm and an intensity of 100 mJ / cm 2 . After that, it is developed with an alkaline aqueous solution having a pH of 11.5 and baked at 200 ° C. for 60 minutes to form 30 × 30 μ on the adjacent pixel stripe of the laminated spacer 21.
A single-layer spacer 23 having a size of m is formed. The laminated type spacers 21 and the single layer type spacers 23 are alternately arranged between the pixel patterns other than the display region to form the spacer group 2.
Make up 4.

【0028】また、カラーフィルタ20の外周囲部分、
即ち、表示領域の外周部分には、黒色の遮光膜からなる
額縁部25をフォトリソグラフィ法によって設けてい
る。更に、対向電極22上には、ポリイミド等を600
Åの厚さに塗布して形成した配向膜26を配置して、対
向基板18を構成している。
Further, the outer peripheral portion of the color filter 20,
That is, the frame portion 25 made of a black light-shielding film is provided on the outer peripheral portion of the display area by the photolithography method. Further, 600 or the like is formed on the counter electrode 22 with polyimide or the like.
The counter substrate 18 is configured by arranging the alignment film 26 formed by applying it to a thickness of Å.

【0029】この対向基板18とアレイ基板17とは、
積層型スペーサ21と単層型スペーサ23を混在させた
スペーサ群24によって所定の間隙を保ちながら、例え
ば注入口を除いて熱硬化型エポキシ系接着剤からなるシ
ール材27によって周辺部を加熱接着して固定してい
る。またアレイ基板17から対向基板18に電圧を印加
するための電極転移材を、シール材27の周辺の電極転
移電極(図示せず)上に形成している。この間隙部分に
は、例えばフッ素系液晶化合物からなる液晶部材28が
注入口を介して注入され、その後にこの注入口を紫外線
硬化樹脂によって封止して液晶パネル29を形成してい
る。更に、この液晶パネル29のアレイ基板17及び対
向基板18の外表面には、夫々偏光板30が接着固定さ
れるとともに、アレイ基板17側の偏光板30の外側に
は、必要に応じてバックライトや反射板(図示せず)等
が配置されて、カラー液晶表示装置が構成されている。
The counter substrate 18 and the array substrate 17 are
While maintaining a predetermined gap by the spacer group 24 in which the laminated type spacer 21 and the single layer type spacer 23 are mixed, the peripheral portion is heated and adhered by the sealing material 27 made of a thermosetting epoxy adhesive except for the injection port. Fixed. Further, an electrode transition material for applying a voltage from the array substrate 17 to the counter substrate 18 is formed on an electrode transition electrode (not shown) around the sealing material 27. A liquid crystal member 28 made of, for example, a fluorinated liquid crystal compound is injected into the gap portion through an injection port, and then the injection port is sealed with an ultraviolet curable resin to form a liquid crystal panel 29. Further, a polarizing plate 30 is adhered and fixed to the outer surfaces of the array substrate 17 and the counter substrate 18 of the liquid crystal panel 29, and a backlight is provided outside the polarizing plate 30 on the array substrate 17 side if necessary. A color liquid crystal display device is configured by arranging a reflective plate (not shown) and the like.

【0030】こうして形成したアクティブマトリクス型
カラー液晶表示装置においては、積層型スペーサ21を
形成した後に単層型スペーサ23を形成し、これら積層
型スペーサ21と単層型スペーサ23とが隣接する画素
上に交互に配置してスペーサ群24を構成することによ
り、積層型スペーサ21と単層型スペーサ23とを交互
に配置し、使用個数を略均等となるようにバランスさ
せ、且つ両スペーサ21,23の大きさを略同じ大きさ
に形成することで、積層型スペーサ21単独及び単層型
スペーサ23単独使用の場合の不具合点を補完し合っ
て、図2に示すように、スペーサ群24としては、個々
の高さのバラツキを相殺して、全体としての高さの均一
性を向上させている。即ち、液晶パネル29のギャップ
は、4.90±0.19μmとすることができ、非常に
均一性が高くなるばかりでなく、表示領域と額縁部25
近傍のギャップムラも見られず、液晶部材28の厚さム
ラに起因する表示不良をなくすことが可能となった。
In the active matrix type color liquid crystal display device thus formed, the single layer spacer 23 is formed after the single layer spacer 21 is formed, and the single layer spacer 23 and the single layer spacer 23 are formed on adjacent pixels. By alternately arranging the spacers 24 to form the spacer group 24, the laminated spacers 21 and the single-layer spacers 23 are alternately arranged, and the numbers of the used spacers are balanced so as to be substantially equal, and both spacers 21 and 23 are used. By making the sizes of the spacers approximately the same, the disadvantages in the case of using the stacked spacer 21 alone and the single-layer spacer 23 alone are complemented, and as shown in FIG. , The individual height variations are offset to improve the overall height uniformity. That is, the gap of the liquid crystal panel 29 can be set to 4.90 ± 0.19 μm, and not only the uniformity becomes very high but also the display area and the frame portion 25.
No gap unevenness was observed in the vicinity, and it became possible to eliminate display defects due to uneven thickness of the liquid crystal member 28.

【0031】なお、上記説明では、カラーフィルタ20
及びスペーサ群24を対向基板18側に形成した場合に
ついて説明しているが、このカラーフィルタ20とスペ
ーサ群24とをアレイ基板17側に形成するように構成
することも可能である。
In the above description, the color filter 20 is used.
Although the case where the spacer group 24 is formed on the counter substrate 18 side has been described, the color filter 20 and the spacer group 24 may be formed on the array substrate 17 side.

【0032】即ち、上記実施の形態で説明したと同じ部
分には同じ符号を付して、その詳細な説明は省略する
が、図3に示すように、透明なガラス材から構成される
基板11の主面上には、成膜、パターニング等の微細技
術を駆使して電極配線とTFT12が設けられる。この
TFT12の周囲には、少なくともその一部を覆うよう
に赤、緑、青に夫々色分けされたカラーフィルタ20の
役目を担う着色層20R,20G,20Bが夫々の色毎
にストライプ状に設けられる。この着色層20R,20
G,20Rは、例えば第1色を赤で構成する場合には、
まず赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂
レジストをスピンナーにて基板11の全面に均一になる
ように塗布し、次いで赤を着色したい部分に光が照射さ
れるようなフォトマスクパターンを介して、365nm
の波長で100mJ/cmの強度の紫外線を照射して
露光する。このフォトマスクパターンには、1色目に対
応するストライプ状のパターン部分と、画素電極14と
TFT12との接続のためのスルーホール部15のパタ
ーン部分と、積層型スペーサ21用の四角形状のパター
ン部分とを有している。
That is, the same parts as those described in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted, but as shown in FIG. 3, the substrate 11 made of a transparent glass material is used. On the main surface of, the electrode wiring and the TFT 12 are provided by making full use of fine techniques such as film formation and patterning. Around the TFT 12, colored layers 20R, 20G, and 20B, each of which has a role of a color filter 20 that is color-coded into red, green, and blue so as to cover at least a part thereof, are provided in stripes for each color. . This colored layer 20R, 20
G, 20R, for example, when the first color is composed of red,
First, an ultraviolet-curable acrylic resin resist in which a red pigment is dispersed is uniformly applied to the entire surface of the substrate 11 by a spinner, and then a photomask pattern that irradiates the portion to be red-colored with light is applied. 365 nm
At a wavelength of 100 mJ / cm 2 and irradiating with ultraviolet rays. In this photomask pattern, a stripe-shaped pattern portion corresponding to the first color, a pattern portion of a through hole portion 15 for connecting the pixel electrode 14 and the TFT 12, and a square-shaped pattern portion for the stacked spacer 21. And have.

【0033】その後、KOHの1%水溶液で20秒間現
像し、当該パターン部分に膜厚3.2μmの赤の着色層
20Rとスルーホール部15を形成する。引続き緑の着
色層20G、及び青の着色層20B並びに各スルーホー
ル部15を同様にして夫々形成する。このカラーフィル
タ20材料をパターニングする際に、カラーフィルタ2
0を構成する着色層20R,20G,20B材を順次積
層させた積層型スペーサ21を画素パターン間に配置す
るように、夫々の着色層20R,20G,20Bの形成
と同時に形成する。
After that, it is developed with a 1% aqueous solution of KOH for 20 seconds to form a red colored layer 20R and a through hole portion 15 having a film thickness of 3.2 μm on the pattern portion. Subsequently, the green colored layer 20G, the blue colored layer 20B, and the through holes 15 are formed in the same manner. When patterning this color filter 20 material, the color filter 2
Simultaneously with the formation of the respective colored layers 20R, 20G, 20B, the laminated spacer 21 in which the colored layers 20R, 20G, 20B constituting 0 are sequentially laminated is arranged between the pixel patterns.

【0034】更に、このカラーフィルタ20上には、I
TO等を1500Åの厚さにスパッタリング法によって
成膜し、フォトリソグラフィ法によってパターニングす
ることにより、透明な画素電極14を形成し、この画素
電極14の一端はTFT12のソース・ドレイン通路と
各スルーホール部15を介して接続されている。このT
FT12は、マトリクス状に配置された信号線と走査線
との交差部分毎に配置されている。更に、画素電極14
上には、感光性アクリル性透明樹脂をスピンナー塗布し
て90℃で10分間乾燥させた後に、単層型スペーサ2
3用のパターンを有するフォトマスクを介して、365
nmの波長で100mJ/cmの強度の紫外線を照射
して露光する。その後にpH11.5のアルカリ水溶液
にて現像し、200℃で60分間の焼成を行って、積層
型スペーサ21に隣接する画素ストライプ上に、高さ
5.0μmの単層型スペーサ23を形成する。次いで、
ポリイミド等を600Åの厚さに塗布して形成した配向
膜16を配置してアレイ基板17を構成している。
Further, on the color filter 20, I
A transparent pixel electrode 14 is formed by depositing TO etc. to a thickness of 1500 Å by a sputtering method and patterning by a photolithography method. One end of this pixel electrode 14 has a source / drain passage of the TFT 12 and each through hole. It is connected via the section 15. This T
The FT 12 is arranged at each intersection of a signal line and a scanning line arranged in a matrix. Furthermore, the pixel electrode 14
A photosensitive acrylic transparent resin is applied on the top by spinner and dried at 90 ° C. for 10 minutes.
365 through a photomask having a pattern for 3
Exposure is performed by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of nm and an intensity of 100 mJ / cm 2 . After that, it is developed with an alkaline aqueous solution having a pH of 11.5 and baked at 200 ° C. for 60 minutes to form a single-layer spacer 23 having a height of 5.0 μm on the pixel stripe adjacent to the laminated spacer 21. . Then
An array substrate 17 is formed by arranging an alignment film 16 formed by applying polyimide or the like to a thickness of 600 Å.

【0035】一方、このアレイ基板17に対向して対向
基板18を配置する。この対向基板18は、同じく透明
なガラス材から構成される基板19の対向面上に、IT
O等からなる透明な対向電極22と、この対向電極22
上にポリイミド等からなる600Åの膜厚の配向膜26
を順次積層して構成されている。
On the other hand, a counter substrate 18 is arranged so as to face the array substrate 17. The counter substrate 18 is provided on the counter surface of the substrate 19 which is also made of a transparent glass material, and
A transparent counter electrode 22 made of O or the like, and the counter electrode 22.
An alignment film 26 made of polyimide or the like and having a thickness of 600 Å
Are sequentially laminated.

【0036】このようにして形成されたカラー液晶表示
装置では、液晶パネル29のギャップが4.8±0.1
8μmとなって非常に均一性が高く、優れた表示品位を
得ることができるばかりでなく、アレイ基板17上にカ
ラーフィルタ20を形成しているので、カラーフィルタ
20を対向基板18側に設けた図1に示す実施の形態の
場合に比較して、開口率を約5%向上させることができ
た。また、積層型スペーサ21と単層型スペーサ23の
大きさを30×30μmに統一することで、更に均一性
の高い4.8±0.15μmという値を得ることができ
た。
In the color liquid crystal display device thus formed, the gap of the liquid crystal panel 29 is 4.8 ± 0.1.
The color filter 20 is provided on the counter substrate 18 side because the color filter 20 is formed on the array substrate 17 as well as the display quality is 8 μm and the uniformity is very high and excellent display quality can be obtained. The aperture ratio could be improved by about 5% as compared with the case of the embodiment shown in FIG. Further, by unifying the sizes of the laminated type spacer 21 and the single layer type spacer 23 to 30 × 30 μm, a more uniform value of 4.8 ± 0.15 μm could be obtained.

【0037】また、上記説明では、単層型スペーサ23
を別の材料を使用して個別に形成した場合について説明
しているが、この単層型スペーサ23を、図4に示すよ
うに、額縁材を用いて額縁部25を形成する際に同時に
形成させることも可能である。
Further, in the above description, the single-layer type spacer 23
In the above description, the single-layer spacer 23 is formed at the same time when the frame portion 25 is formed by using a frame material, as shown in FIG. It is also possible to let.

【0038】即ち、上記実施の形態で説明したと同じ部
分には同じ符号を付して、その詳細な説明は省略する
が、カラーフィルタ20の外周部分、即ち、画素電極1
4の集合によって形成されている表示領域の外周部分に
遮光膜となる額縁部25をフォトリソグラフィ法によっ
て形成する際に、単層型スペーサ23も併せて作り込む
ことによって、額縁材をそのまま利用することが可能と
なり、製造工程の削減を図ることができる。
That is, the same parts as those described in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted, but the outer peripheral part of the color filter 20, that is, the pixel electrode 1 is omitted.
The frame material is used as it is by forming the single-layer spacer 23 together when the frame portion 25 serving as the light-shielding film is formed on the outer peripheral portion of the display region formed by the assembly of 4 by the photolithography method. This makes it possible to reduce the number of manufacturing processes.

【0039】このように形成されたカラー液晶表示装置
では、液晶パネル29のギャップが4.9±0.21μ
mと均一性に優れ、また製造工程の簡略化が図れるもの
として形成され、しかも表示領域と額縁部25近傍のギ
ャップムラも見られず、表示不良も発生していない。
In the color liquid crystal display device thus formed, the gap of the liquid crystal panel 29 is 4.9 ± 0.21 μm.
m, the uniformity is excellent, and the manufacturing process can be simplified. Further, no unevenness in the gap between the display region and the frame portion 25 is observed, and no display defect occurs.

【0040】また、積層型スペーサ21の高さ分布を、
基板11の中央部分が低くなるようにするために、例え
ば14インチから15インチ程度で使用される300×
200mmの基板11の中央部分100mmの直径の範
囲内に存在する積層型スペーサ21を、1層目の大きさ
を25×25μmに、2層目の大きさを20×20μm
に、3層目の大きさを17×17μmと、周辺部分に形
成される積層型スペーサ21の大きさ、即ち1層目を3
0×30μm、2層目を26×26μm、3層目を22
×22μmに設定した場合よりも小さく形成することに
よって、積層型スペーサ21の高さ分布を、単層型スペ
ーサ23の高さ分布と略逆の分布傾向となるように、周
辺部分と中央部分との高さを意識的に不揃いに形成する
ことで、液晶パネル29のギャップを4.9±0.12
μmと非常に高い均一性を得ることができる。
The height distribution of the laminated spacer 21 is
In order to lower the central portion of the substrate 11, for example, 14 inches to 15 inches is used.
The laminated spacer 21 existing within the diameter range of the central portion 100 mm of the 200 mm substrate 11 has a size of the first layer of 25 × 25 μm and a size of the second layer of 20 × 20 μm.
In addition, the size of the third layer is 17 × 17 μm, and the size of the laminated spacer 21 formed in the peripheral portion, that is, the first layer is 3
0 × 30 μm, 2nd layer is 26 × 26 μm, 3rd layer is 22
By forming it smaller than when it is set to × 22 μm, the height distribution of the laminated spacer 21 is divided into a peripheral portion and a central portion so that the height distribution of the laminated spacer 21 has a distribution tendency substantially opposite to that of the height distribution of the single-layer spacer 23. By consciously forming the heights of the liquid crystal panels to be uneven, the gap of the liquid crystal panel 29 is 4.9 ± 0.12
It is possible to obtain a very high uniformity of μm.

【0041】これらの本発明に係るカラー液晶表示装置
と従来のカラー液晶表示装置の比較を纏めて表1に示
す。
Table 1 summarizes the comparison between the color liquid crystal display device according to the present invention and the conventional color liquid crystal display device.

【表1】 この表1からも解るように、本発明に係るカラー液晶表
示装置及びその製造方法によれば、従来のカラー液晶表
示装置に比して各段に優れたギャップの均一性を得るこ
とができ、液晶パネル29のギャップムラに起因する表
示不良を改善することができるものである。
[Table 1] As can be seen from Table 1, according to the color liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention, it is possible to obtain excellent gap uniformity in each step as compared with the conventional color liquid crystal display device. It is possible to improve the display failure due to the gap unevenness of the liquid crystal panel 29.

【0042】なお、本発明は、上述した各実施の形態に
とらわれることなく種々の変形が可能であり、例えば積
層型スペーサと単層型スペーサとを同一基板側に設ける
代わりに、積層型スペーサをカラーフィルタが形成され
る一方の基板側に設け、単層型スペーサを他方の基板側
に形成して、これらスペーサを夫々別々に形成した基板
同士を合体させて製造することも可能で、この場合に
は、各スペーサの形成作業が両基板側で分業できるの
で、製造効率を向上させることが可能となるばかりでな
く、スペーサ形成時に先に形成した積層型スペーサが支
障となるようなこともなくなる等の製造上の利点も有し
ている。また、TFTやその他の構成及び大きさ等は、
自由に設計し得ることは言うまでもない。
The present invention can be variously modified without being limited to the above-described embodiments. For example, instead of providing the laminated spacer and the single-layer spacer on the same substrate side, the laminated spacer is used. It is also possible to provide it on one substrate side where the color filter is formed, form a single-layer type spacer on the other substrate side, and combine the substrates on which these spacers have been formed separately, to manufacture. In addition, since the work of forming each spacer can be divided between both substrates, not only manufacturing efficiency can be improved, but also the laminated spacer previously formed at the time of spacer formation does not hinder. It also has manufacturing advantages such as. Also, regarding the TFT and other configurations and sizes,
It goes without saying that it can be designed freely.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上述べてきたように本発明によれば、
スペーサを積層型スペーサと単層型スペーサとの混在に
よるスペーサ群として形成することにより、スペーサ群
全体としての高さを均一化することが可能となり、これ
に伴って確実にギャップムラを抑制することができ、表
示不良の発生を改善することができる。
As described above, according to the present invention,
By forming the spacers as a spacer group by mixing the laminated spacers and the single-layer spacers, it becomes possible to make the heights of the entire spacer group uniform, and to suppress the gap unevenness accordingly. It is possible to improve the occurrence of display defects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るカラー液晶表示装置を示す断面
図。
FIG. 1 is a sectional view showing a color liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】本発明に係るカラー液晶表示装置のスペーサ群
の配置状況を説明するための説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining an arrangement state of a spacer group of the color liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】同じく本発明に係るカラー液晶表示装置の他の
構成を示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view showing another configuration of the color liquid crystal display device according to the present invention.

【図4】同じく本発明に係るカラー液晶表示装置の別の
構成を示す断面図。
FIG. 4 is a sectional view showing another structure of the color liquid crystal display device according to the present invention.

【図5】従来のカラー液晶表示装置を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional color liquid crystal display device.

【図6】従来のカラー液晶表示装置を構成するスペーサ
の配置状況を説明するための説明図。
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining an arrangement state of spacers included in a conventional color liquid crystal display device.

【図7】従来のカラー液晶表示装置の他の構成例を示す
断面図。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing another configuration example of a conventional color liquid crystal display device.

【図8】従来のカラー液晶表示装置を構成するスペーサ
の配置状況を説明するための説明図。
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining an arrangement state of spacers included in a conventional color liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,19:基板 12:薄膜トランジスタ(スイッチング素子) 14:画素電極 17:アレイ基板 18:対向基板 20:カラーフィルタ 20R,20G,20B:着色層 21:積層型スペーサ 22:対向電極 23:単層型スペーサ 24:スペーサ群 28:液晶部材 11, 19: Substrate 12: Thin film transistor (switching element) 14: Pixel electrode 17: Array substrate 18: Counter substrate 20: Color filter 20R, 20G, 20B: Colored layer 21: Stacked spacer 22: Counter electrode 23: Single layer type spacer 24: Spacer group 28: Liquid crystal member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H088 FA01 FA02 FA20 FA21 HA01 HA02 HA03 HA04 HA06 HA08 HA12 HA14 HA15 HA18 HA21 HA28 MA04 MA17 MA20 2H089 LA09 NA01 NA37 NA44 NA45 QA14 QA16 TA01 TA02 TA04 TA05 TA07 TA09 TA12 TA13 TA14 TA15 TA17 TA18 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FA14Y FA14Z FC10 FC22 FC23 GA01 GA02 GA03 GA08 GA13 LA30    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2H088 FA01 FA02 FA20 FA21 HA01                       HA02 HA03 HA04 HA06 HA08                       HA12 HA14 HA15 HA18 HA21                       HA28 MA04 MA17 MA20                 2H089 LA09 NA01 NA37 NA44 NA45                       QA14 QA16 TA01 TA02 TA04                       TA05 TA07 TA09 TA12 TA13                       TA14 TA15 TA17 TA18                 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FA14Y                       FA14Z FC10 FC22 FC23                       GA01 GA02 GA03 GA08 GA13                       LA30

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の一平面上に配置されたスイッチン
グ素子と、このスイッチング素子に接続される画素電極
とを有するアレイ基板と、 このアレイ基板と対向して配置され、その対向する面に
対向電極を備えた対向基板と、 この対向基板と前記アレイ基板間のいずれかの対向面に
形成され青、緑、赤の3色の着色層からなるカラーフィ
ルタと、 前記アレイ基板と対向基板間のギャップを規定する複数
のスペーサと、 前記アレイ基板と対向基板間に挟持された液晶部材とを
備えたカラー液晶表示装置において、 前記スペーサは、前記着色層材を積層して形成された積
層型スペーサと単一材によって形成された単層型スペー
サとを混在させたスペーサ群によって構成されているこ
とを特徴とするカラー液晶表示装置。
1. An array substrate having a switching element arranged on one plane of the substrate and a pixel electrode connected to the switching element, and arranged so as to face the array substrate and to face the facing surface. A counter substrate provided with electrodes, a color filter formed on any of the facing surfaces between the counter substrate and the array substrate, the color filter including three colored layers of blue, green, and red, and between the array substrate and the counter substrate. In a color liquid crystal display device including a plurality of spacers defining a gap and a liquid crystal member sandwiched between the array substrate and a counter substrate, the spacer is a laminated spacer formed by laminating the colored layer materials. A color liquid crystal display device, comprising a spacer group in which a single-layer spacer formed of a single material and a single-layer spacer are mixed.
【請求項2】 前記スペーサ群をアレイ基板側に形成し
たことを特徴とする請求項1記載のカラー液晶表示装
置。
2. The color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the spacer group is formed on the array substrate side.
【請求項3】 前記単層型スペーサをアレイ基板もしく
は対向基板のいずれかに設けた額縁材によって形成され
ていることを特徴とする請求項1記載のカラー液晶表示
装置。
3. The color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the single-layer type spacer is formed of a frame material provided on either the array substrate or the counter substrate.
【請求項4】 前記スペーサ群は、単層型スペーサと積
層型スペーサの高さ分布を互いに補完するように配置し
たことを特徴とする請求項1記載のカラー液晶表示装
置。
4. The color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the spacer group is arranged so as to complement the height distributions of the single-layer spacer and the laminated spacer.
【請求項5】 前記スペーサ群の単層型スペーサと積層
型スペーサの割合を略等しく設定したことを特徴とする
請求項1記載のカラー液晶表示装置。
5. The color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the ratios of the single layer type spacer and the laminated type spacer of the spacer group are set to be substantially equal to each other.
【請求項6】 基板の一平面上に配置されたスイッチン
グ素子と、このスイッチング素子に接続される画素電極
とを有するアレイ基板と、 このアレイ基板と対向して配置されその対向する面に対
向電極を備えた対向基板と、 この対向基板と前記アレイ基板間のいずれかの対向面に
形成され青、緑、赤の3色の着色層からなるカラーフィ
ルタと、 前記アレイ基板と対向基板間のギャップを規定する複数
のスペーサと、 前記アレイ基板と対向基板間に挟持された液晶部材とを
備えたカラー液晶表示装置の製造方法において、 前記スペーサを、前記着色層材を積層して形成された積
層型スペーサと、単一材によって形成された単層型スペ
ーサとの混在されたスペーサ群として構成し、この積層
型スペーサと単層型スペーサとを夫々別々に形成するこ
とを特徴とするカラー液晶表示装置の製造方法。
6. An array substrate having a switching element arranged on one plane of the substrate and a pixel electrode connected to the switching element, and a counter electrode arranged so as to face the array substrate and facing the opposite surface. And a color filter formed on one of the facing surfaces between the counter substrate and the array substrate, the color filter including three colored layers of blue, green, and red, and a gap between the array substrate and the counter substrate. In the method for manufacturing a color liquid crystal display device, which comprises a plurality of spacers that define the above, and a liquid crystal member sandwiched between the array substrate and a counter substrate, the spacer is formed by laminating the colored layer material. It is configured as a mixed spacer group of a mold spacer and a single-layer spacer formed of a single material, and the laminated spacer and the single-layer spacer are separately formed. Method of manufacturing a color liquid crystal display device characterized and.
【請求項7】 前記スペーサ群を同一基板上に積層型ス
ペーサを形成した後に単層型スペーサを形成することを
特徴とする請求項6記載のカラー液晶表示装置の製造方
法。
7. The method of manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 6, wherein the spacer group is formed on the same substrate and then the single layer spacer is formed.
【請求項8】 前記アレイ基板と対向基板のいずれか一
方側に積層型スペーサを形成するとともに、他方側に単
層型スペーサを形成し、これらスペーサを形成した後に
両基板を合体させることを特徴とする請求項6記載のカ
ラー液晶表示装置の製造方法。
8. A laminate type spacer is formed on one side of the array substrate and the counter substrate, and a single-layer type spacer is formed on the other side, and after the spacers are formed, both substrates are united. The method for manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 6.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009128123A1 (en) * 2008-04-14 2009-10-22 シャープ株式会社 Liquid crystal display panel

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