[go: up one dir, main page]

JP2003139761A - Chemical micro-device, and using method therefor - Google Patents

Chemical micro-device, and using method therefor

Info

Publication number
JP2003139761A
JP2003139761A JP2001331865A JP2001331865A JP2003139761A JP 2003139761 A JP2003139761 A JP 2003139761A JP 2001331865 A JP2001331865 A JP 2001331865A JP 2001331865 A JP2001331865 A JP 2001331865A JP 2003139761 A JP2003139761 A JP 2003139761A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical
gas
solution
sample
reaction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001331865A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Inaga
隆史 伊永
Akira Shimoma
昌 下間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Starlite Co Ltd
Original Assignee
Starlite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Starlite Co Ltd filed Critical Starlite Co Ltd
Priority to JP2001331865A priority Critical patent/JP2003139761A/en
Publication of JP2003139761A publication Critical patent/JP2003139761A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To restrain a sample from being sucked to remain in a portion contacting with the sample for reaction and/or analysis, to enhance reaction efficiency thereby, and to attain quick and highly sensitive analysis, in a chemical micro-device used for the reaction and the analysis using a very small amount, such as a micro-chip, a micro-array and a micro-reactor. SOLUTION: In this micro-device, a portion contacting with at least one sample is treated with a fluoro-polymer material.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、微小な反応器内
において微少な量で分析や反応等を行うのに用いるマイ
クロチップ,マイクロリアクター等の化学用マイクロデ
バイス及びその使用方法に係り、特に、分析や反応等を
行うのに用いる試料がこの化学用マイクロデバイスに接
触して残留するのを抑制し、微少な量で分析や反応等が
安定して効率よく行えるようにした点に特徴を有するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical microdevice such as a microchip, a microreactor or the like used for conducting an analysis or a reaction in a microreactor in a minute amount, and a method of using the same. It is characterized in that it suppresses the sample used for analysis and reaction etc. from contacting and remaining on this chemical microdevice, and enables stable and efficient analysis and reaction with a minute amount. It is a thing.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、反応効率を高めると共に迅速かつ
高感度な分析等を行えるようにし、また多数の反応や分
析等を効率よく行うために、マイクロチップ,マイクロ
リアクター等の化学用マイクロデバイスを用い、微少な
量で分析や反応等を行うことが試みられている。
2. Description of the Related Art In recent years, chemical microdevices such as microchips and microreactors have been used in order to improve reaction efficiency and perform rapid and highly sensitive analysis, etc., and efficiently perform a large number of reactions and analyzes. It has been attempted to carry out analysis and reaction with a minute amount by using it.

【0003】ここで、上記のような化学用マイクロデバ
イスを用いて微少な量で分析や反応等を行う場合に、反
応や分析を行う試料と接触する化学用マイクロデバイス
の部分に試料が吸着されて残留し、反応効率が悪くなっ
たり、迅速かつ高感度な分析が行えなくなるという問題
があった。
Here, when an analysis or reaction is performed in a minute amount using the above-described chemical microdevice, the sample is adsorbed to the portion of the chemical microdevice which is in contact with the sample to be reacted or analyzed. However, there are problems that the reaction efficiency is deteriorated and that rapid and highly sensitive analysis cannot be performed.

【0004】また、近年においては、大気中における有
害物質、例えば、NOx の量を測定するのに、上記のよ
うな化学用マイクロデバイスを用いることが検討され、
NO x を含むガスを化学用マイクロデバイスにおける多
孔質板を通してNOx を捕集する捕集溶液に接触させ、
この捕集溶液にNOx を捕集させた後、NOx を捕集し
た捕集溶液を蛍光試薬溶液と反応させて蛍光物質を生成
し、この蛍光物質による蛍光強度を蛍光検出器により検
出して、NOx の量を測定することが検討されている。
In recent years, the presence in the atmosphere has
Harmful substances, eg NOxTo measure the amount of
The use of una chemical microdevices has been studied,
NO xGases containing chemicals in chemical microdevices
NO through the porous platexIs contacted with a collecting solution for collecting
NO in this collection solutionxNO after collectingxCollect
Reacting the collected solution with the fluorescent reagent solution to produce a fluorescent substance
Then, the fluorescence intensity of this fluorescent substance is detected by a fluorescence detector.
Put it out, NOxIt has been considered to measure the amount of

【0005】しかし、このようにNOx の量を測定する
場合においても、化学用マイクロデバイスにおける多孔
質板に、捕集溶液に捕集されたNOx が吸着されて残留
し、NOx の量を正確に測定することができないという
問題があった。
However, the amount of the thus in the case of measuring the amount of the NO x well, the porous plate in the chemical micro devices, collected in the collecting solution was NO x may remain adsorbed, NO x There was a problem that it could not be measured accurately.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、マイクロ
チップ,マイクロアレイ,マイクロリアクター等の微少
な量で反応や分析を行うのに使用する化学用マイクロデ
バイスにおける上記のような問題を解決することを課題
とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above problems in chemical microdevices used for conducting reactions and analyzes in minute amounts such as microchips, microarrays and microreactors. This is an issue.

【0007】すなわち、この発明においては、微少な量
で分析や反応等を行うにあたり、反応や分析を行う試料
と接触する化学用マイクロデバイスの部分に試料が吸着
されて残留するのを抑制し、試料が効率よく反応に利用
されるようにして、反応効率を向上させると共に、迅速
で高感度な分析が行えるようにすることを課題とするも
のである。
That is, according to the present invention, when performing an analysis or a reaction in a minute amount, it is possible to prevent the sample from being adsorbed and remaining on the portion of the chemical microdevice which comes into contact with the sample to be reacted or analyzed, It is an object of the present invention to improve the reaction efficiency by allowing the sample to be efficiently used in the reaction and to perform the rapid and highly sensitive analysis.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明における化学用
マイクロデバイスにおいては、上記のような課題を解決
するため、少なくとも1つの試料と接触する部分をフッ
素系高分子材料で処理するようにしたのである。
In the chemical microdevice of the present invention, in order to solve the above problems, at least one portion in contact with the sample is treated with a fluoropolymer material. is there.

【0009】そして、この発明における化学用マイクロ
デバイスのように、少なくとも1つの試料と接触する部
分をフッ素系高分子材料で処理すると、このフッ素系高
分子材料により接触した部分に試料が吸着されるのが防
止され、試料が効率よく反応に利用されて反応効率が向
上すると共に、迅速で高感度な分析が行えるようにな
る。
Then, like the chemical microdevice of the present invention, when the portion contacting with at least one sample is treated with the fluorine-based polymer material, the sample is adsorbed to the portion contacted with this fluorine-based polymer material. Is prevented, the sample is efficiently used for the reaction, the reaction efficiency is improved, and rapid and highly sensitive analysis can be performed.

【0010】ここで、上記のフッ素系高分子材料として
は、例えば、デムナムシラン等のフッ素エーテル系オリ
ゴマーシランカップリング剤を用いることが好ましく、
特に、デムナムシランを用いて処理した場合には、捕集
溶液に捕集されたNOx が吸着して残留するのが抑制さ
れるようになる。
As the above-mentioned fluorine-based polymer material, it is preferable to use a fluorine ether-based oligomer silane coupling agent such as demnum silane.
In particular, when treated with Demunamushiran is collected in the collecting solution was NO x is to be inhibited from remaining adsorbed.

【0011】[0011]

【実施例】以下、この発明の実施例に係る化学用マイク
ロデバイス及びその使用方法を添付図面に基づいて具体
的に説明すると共に、この発明の実施例に係る化学用マ
イクロデバイスが優れている点を比較例を挙げて明らか
にする。但し、この発明に係る化学用マイクロデバイス
及びその使用方法は、特に、下記の実施例に示したもの
に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲
において適宜変更して実施できるものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The chemical microdevice according to the embodiments of the present invention and the method of using the same will be specifically described below with reference to the accompanying drawings, and the chemical microdevices according to the embodiments of the present invention are excellent. Will be clarified by giving a comparative example. However, the chemical microdevice and the method of using the same according to the present invention are not particularly limited to those shown in the following examples, and can be appropriately modified and implemented within the scope of the invention. .

【0012】ここで、この実施例においては、NO2
量を測定するのに用いる化学用マイクロデバイスについ
て説明する。
Now, in this embodiment, a chemical microdevice used for measuring the amount of NO 2 will be described.

【0013】この実施例の化学用マイクロデバイスにお
いては、図1に示すように、石英ガラスで構成された横
50mm,縦26mm,厚さ1mmのチップ基板10の
片面に、散乱光の影響を抑制するためのSiを蒸着させ
た後、Siが蒸着されたチップ基板10の片面に化学エ
ッチングを行い、物質の反応に必要なマイクロチャンネ
ルを構築し、NO2 ガスを捕集するトリエタノールアミ
ンを含有する捕集溶液を案内する第1流路11を設ける
と共に、この第1流路11の途中においてNO 2 ガスを
上記の捕集溶液に捕集させる捕集部12を設ける一方、
NO2 ガスを捕集した捕集溶液と反応して蛍光物質を生
成する蛍光試薬溶液を案内する第2流路13を上記の捕
集部12よりも下流側において第1流路11と合流する
ように設け、さらにこのように合流された合流流路14
を長く形成して、NO2 ガスを捕集した捕集溶液と蛍光
試薬溶液とが十分に反応できるようにしている。
In the chemical microdevice of this embodiment,
In addition, as shown in FIG.
50 mm, 26 mm in height, and 1 mm in thickness of the chip substrate 10
Si is deposited on one surface to suppress the influence of scattered light.
After that, chemical etching is performed on one surface of the chip substrate 10 on which Si is deposited.
Microchannels required for reaction of substances
Build NO, NO2Triethanolamine that collects gas
A first flow path 11 for guiding the collecting solution containing the nitrogen
Along with this, NO 2Gas
While providing the collecting unit 12 for collecting the above-mentioned collecting solution,
NO2Reacts with the collection solution that collects the gas to produce a fluorescent substance.
The second channel 13 for guiding the fluorescent reagent solution to be formed is trapped as described above.
Merges with the first flow passage 11 on the downstream side of the collecting portion 12.
And the merging flow path 14 merged in this way.
Form long, NO2Gas-collecting solution and fluorescence
It is designed so that it can sufficiently react with the reagent solution.

【0014】また、この実施例の化学用マイクロデバイ
スにおいては、図2に示すように、上記のチップ基板1
0の片面における捕集部12の上に、NO2 ガスを捕集
部12における捕集溶液と接触させるようにガラス製の
多孔質板15を配置させると共に、捕集部12以外の他
の部分においては、NO2 ガスが接触しないように透明
な被覆板16でチップ基板10を被覆している。
Further, in the chemical microdevice of this embodiment, as shown in FIG.
The porous plate 15 made of glass is arranged on the collecting section 12 on one side of No. 0 so that the NO 2 gas is brought into contact with the collecting solution in the collecting section 12, and the other parts than the collecting section 12 are arranged. In the above, the chip substrate 10 is covered with the transparent covering plate 16 so that NO 2 gas does not come into contact therewith.

【0015】ここで、この実施例の化学用マイクロデバ
イスにおいては、下記の化1に示すデムナムシランをパ
ーフルオロヘキサンで希釈した0.1wt%溶液を上記
の多孔質ガラス板15に滴下し、これを風乾させて、デ
ムナムシランで処理した多孔質板15を用いるようにし
ている。
Here, in the chemical microdevice of this example, a 0.1 wt% solution of demnum silane represented by the following chemical formula 1 diluted with perfluorohexane was dropped on the porous glass plate 15 described above. The porous plate 15 which has been air-dried and treated with demnum silane is used.

【0016】[0016]

【化1】 [Chemical 1]

【0017】一方、上記の被覆板16においては、上記
の捕集溶液を第1流路11に供給する第1供給口16a
と、上記の蛍光試薬溶液を第2流路13に供給する第2
供給口16bと、上記の合流流路14の最終部分におい
て液を回収する回収口16cとを設けている。
On the other hand, in the coating plate 16 described above, the first supply port 16a for supplying the above-mentioned trapping solution to the first flow path 11 is provided.
And a second supplying the above fluorescent reagent solution to the second flow path 13.
A supply port 16b and a recovery port 16c for recovering the liquid in the final part of the confluent channel 14 are provided.

【0018】そして、この実施例の化学用マイクロデバ
イスを用いてNO2 の量を測定するにあたっては、NO
2 ガスを捕集する捕集溶液を上記の被覆板16に設けた
第1供給口16aを通して第1流路11に供給し、この
第1流路11の途中に設けられた捕集部12において、
上記の捕集溶液に上記の多孔質板15を通して導かれた
NO2 ガスを接触させてNO2 ガスを捕集させる。
When measuring the amount of NO 2 using the chemical microdevice of this embodiment, NO
2 A collection solution for collecting gas is supplied to the first flow path 11 through the first supply port 16a provided in the above-mentioned coating plate 16, and in the collection section 12 provided in the middle of the first flow path 11. ,
Contacting the NO 2 gas introduced through the porous plate 15 above the collecting solution is collected NO 2 gas.

【0019】一方、NO2 ガスを捕集した捕集溶液と反
応して蛍光物質を生成する蛍光試薬溶液を、上記の被覆
板16に設けた第2供給口16bを通して第2流路13
に供給し、この第2流路13を通して上記の蛍光試薬溶
液を捕集部12よりも下流側における合流流路14に導
き、この合流流路14において、上記のNO2 ガスを捕
集した捕集溶液と蛍光試薬溶液とを合流させる。
On the other hand, the fluorescent reagent solution that reacts with the trapping solution that traps NO 2 gas to produce a fluorescent substance passes through the second supply port 16b provided in the above-mentioned covering plate 16 and the second flow path 13
And guides the fluorescent reagent solution through the second flow path 13 to the merging flow path 14 on the downstream side of the collection unit 12, and collects the NO 2 gas in the merging flow path 14. Combine the collecting solution and the fluorescent reagent solution.

【0020】そして、この合流流路14において、NO
2 ガスを捕集した捕集溶液と蛍光試薬溶液とを反応させ
て蛍光物質を生成し、図3に示すように、この合流流路
14の適当な位置において、励起用光源20から励起光
を蛍光物質に照射し、この蛍光物質から発する蛍光の強
度をセンサー21によって測定し、NO2 ガスの量を検
出するようにしている。なお、上記の励起用光源20と
しては、波長370nmの紫外光を発するLED(日亜
化学工業社製)を用いるようにし、蛍光強度について
は、中心波長420nmにおける蛍光強度を求めるよう
にする。
Then, in this confluence channel 14, NO
2 The collection solution obtained by collecting the gas and the fluorescent reagent solution are reacted with each other to generate a fluorescent substance, and the excitation light is emitted from the excitation light source 20 at an appropriate position of the confluent channel 14 as shown in FIG. The fluorescent substance is irradiated, and the intensity of the fluorescence emitted from this fluorescent substance is measured by the sensor 21 to detect the amount of NO 2 gas. An LED (manufactured by Nichia Corporation) that emits ultraviolet light having a wavelength of 370 nm is used as the excitation light source 20, and the fluorescence intensity at the center wavelength of 420 nm is obtained.

【0021】そして、上記のようしてNO2 ガスの量を
検出した後は、上記の溶液を合流流路14の最終部分に
おいて、被覆板16に設けられた回収口16cを通して
回収するようにしている。
After the amount of NO 2 gas is detected as described above, the solution is recovered in the final portion of the confluent channel 14 through the recovery port 16c provided in the covering plate 16. There is.

【0022】次に、上記のようにNO2 ガスを捕集部1
2における捕集溶液と接触させるガラス製の多孔質板1
5にデムナムシランで処理したものを用いた実施例の化
学用マイクロデバイスと、デムナムシランによる処理を
行わなかったものを用いた比較例の化学用マイクロデバ
イスとを使用し、上記のようにしてNO2 ガスの量を検
出する実験を行った。
Next, as described above, the NO 2 gas collecting section 1 is used.
Porous plate 1 made of glass to be brought into contact with the collecting solution in 2
No. 2 gas was used as described above, using the chemical microdevices of Examples using the ones treated with demnum silane and the chemical microdevices of Comparative Examples using the ones not treated with demnamsilane. An experiment was conducted to detect the amount of

【0023】ここで、実施例及び比較例の各化学用マイ
クロデバイスを使用してNO2 ガスの量を検出する実験
においては、風洞内に上記の各化学用マイクロデバイス
をセットし、この風洞内にNO2 ガスを供給してNO2
濃度を10ppbから200ppbに変化させた後、N
2 ガスの供給を停止してNO2 濃度を10ppbに変
化させ、所定時間毎に上記のように励起用光源20から
励起光を蛍光物質に照射し、この蛍光物質から発する蛍
光強度をセンサー21によって測定した。
Here, in an experiment for detecting the amount of NO 2 gas using each chemical microdevice of the examples and comparative examples, each of the above chemical microdevices was set in the wind tunnel, Supply NO 2 gas to NO 2
After changing the concentration from 10 ppb to 200 ppb, N
The supply of O 2 gas is stopped, the NO 2 concentration is changed to 10 ppb, the excitation light is emitted from the excitation light source 20 to the fluorescent substance at predetermined time intervals, and the fluorescence intensity emitted from this fluorescent substance is measured by the sensor 21. Measured by

【0024】そして、実施例の化学用マイクロデバイス
を用いて測定した結果を図4に、比較例の化学用マイク
ロデバイスを用いて測定した結果を図5に示した。
The result of measurement using the chemical microdevice of the example is shown in FIG. 4, and the result of measurement using the chemical microdevice of the comparative example is shown in FIG.

【0025】この結果、比較例の化学用マイクロデバイ
スを用いた場合には、風洞内にNO 2 ガスが供給されて
NO2 濃度が増加するのに伴って蛍光強度が増加した
が、NO2 ガスの供給が停止されてNO2 濃度が低下し
た場合においても、しばらくの間は蛍光強度が減少しな
かった。これは、捕集溶液に捕集されたNO2 が上記の
ガラス製の多孔質板15の孔内に残留し、この影響が残
ったためであると考えられる。
As a result, the chemical microdevice of Comparative Example
If you use 2Gas is supplied
NO2Fluorescence intensity increased with increasing concentration
But no2Gas supply is stopped and NO2The concentration decreases
The fluorescence intensity does not decrease for a while even when
won. This is the NO collected in the collection solution.2Is above
It remains in the holes of the glass porous plate 15 and this effect remains.
It is believed that this is because

【0026】これに対して、実施例の化学用マイクロデ
バイスを用いた場合には、風洞内にNO2 ガスが供給さ
れてNO2 濃度が増加するのに伴って蛍光強度が増加す
ると共に、NO2 ガスの供給が停止されてNO2 濃度が
低下するのに伴って蛍光強度が減少しており、風洞内に
おけるNO2 濃度に対応して蛍光強度が変化し、NO 2
濃度の測定が適切に行えるようになる。
On the other hand, the chemical microdevice of the embodiment is used.
When using a vise, NO in the wind tunnel2Gas supplied
Is NO2Fluorescence intensity increases with increasing concentration
And NO2Gas supply is stopped and NO2Concentration
As the fluorescence intensity decreases, it decreases in the wind tunnel.
NO in2The fluorescence intensity changes depending on the concentration, and NO 2
The concentration can be measured properly.

【0027】なお、上記の実施例の化学用マイクロデバ
イスにおいては、捕集部12における捕集溶液とNO2
ガスとを接触させるガラス製の多孔質板15をデムナム
シランで処理するようにしただけであるが、必要に応じ
て、各流路等に対して同様の処理を行うことも可能であ
る。
In the chemical microdevice of the above embodiment, the trapping solution in the trap 12 and the NO 2
The glass porous plate 15 that is brought into contact with gas is only treated with demnum silane, but the same treatment can be performed for each flow path and the like, if necessary.

【0028】さらに、この実施例においては、化学用マ
イクロデバイスをNO2 の検出に用いるようにしたが、
ガス成分のみならず、他のあらゆる状態の物質の検出や
反応等に用いることも可能である。
Further, in this embodiment, a chemical microdevice is used for detecting NO 2 .
It is possible to use not only for gas components but also for detection and reaction of substances in all other states.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上詳述したように、この発明における
化学用マイクロデバイスにおいては、少なくとも1つの
試料と接触する部分をフッ素系高分子材料で処理するよ
うにしたため、このフッ素系高分子材料によって接触し
た部分に試料が吸着されるのが防止され、試料が効率よ
く反応に利用されて反応効率が向上すると共に、迅速で
高感度な分析が行えるようになった。
As described above in detail, in the chemical microdevice according to the present invention, at least one portion which comes into contact with the sample is treated with the fluorine-based polymer material. The sample was prevented from being adsorbed to the contacted portion, the sample was efficiently used in the reaction, the reaction efficiency was improved, and the rapid and highly sensitive analysis became possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例に係る化学用マイクロデバ
イスにおけるチップの概略平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view of a chip in a chemical microdevice according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施例に係る化学用マイクロデバイスの概略
平面図である。
FIG. 2 is a schematic plan view of a chemical microdevice according to the example.

【図3】同実施例に係る化学用マイクロデバイスを用い
てNO2 ガスの検出を行う状態を示した概略平面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic plan view showing a state in which NO 2 gas is detected using the chemical microdevice according to the example.

【図4】風洞内におけるNO2 濃度の変化に伴って蛍光
強度が変化するのを、同実施例の化学用マイクロデバイ
スを用いて測定した結果を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing the results of measurement of change in fluorescence intensity with changes in NO 2 concentration in the wind tunnel using the chemical microdevice of the same example.

【図5】風洞内におけるNO2 濃度の変化に伴って蛍光
強度が変化するのを、比較例の化学用マイクロデバイス
を用いて測定した結果を示した図である。
FIG. 5 is a diagram showing the results of measurement of change in fluorescence intensity with changes in NO 2 concentration in the wind tunnel using a chemical microdevice of a comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 チップ基板 11 第1流路 12 捕集部 13 第2流路 14 合流流路 15 多孔質板 16 被覆板 20 励起用光源 21 センサー 10 chip substrate 11 First flow path 12 Collection Department 13 Second channel 14 Confluence channel 15 Porous plate 16 Cover plate 20 Excitation light source 21 sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下間 昌 大阪府大阪市旭区大宮4丁目23番7号 ス ターライト工業株式会社内 Fターム(参考) 2G042 AA01 BB07 CA01 CB01 DA09 FA11 FA20 HA02 2G054 AA01 CA06 CE08 EA03 FA06   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Masa Shimoma             4-23-7 Omiya, Asahi-ku, Osaka-shi, Osaka             Within Turlite Industry Co., Ltd. F term (reference) 2G042 AA01 BB07 CA01 CB01 DA09                       FA11 FA20 HA02                 2G054 AA01 CA06 CE08 EA03 FA06

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1つの試料と接触する部分が
フッ素系高分子材料で処理されていることを特徴とする
化学用マイクロデバイス。
1. A chemical microdevice, characterized in that at least one portion in contact with a sample is treated with a fluoropolymer material.
【請求項2】 請求項1に記載した化学用マイクロデバ
イスにおいて、上記のフッ素系高分子材料が、フッ素エ
ーテル系オリゴマーシランカップリング剤であることを
特徴とする化学用マイクロデバイス。
2. The chemical microdevice according to claim 1, wherein the fluoropolymer material is a fluoroether oligomer silane coupling agent.
【請求項3】 請求項1又は2に記載した化学用マイク
ロデバイスにおいて、上記のフッ素系高分子材料が、デ
ムナムシランであることを特徴とする化学用マイクロデ
バイス。
3. The chemical microdevice according to claim 1, wherein the fluorine-based polymer material is demnum silane.
【請求項4】 請求項1〜3の何れか1項に記載した化
学用マイクロデバイスをNOx の計測用に用いることを
特徴とする化学用マイクロデバイスの使用方法。
4. A method of using a chemical microdevice, wherein the chemical microdevice according to claim 1 is used for measuring NO x .
JP2001331865A 2001-10-30 2001-10-30 Chemical micro-device, and using method therefor Pending JP2003139761A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001331865A JP2003139761A (en) 2001-10-30 2001-10-30 Chemical micro-device, and using method therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001331865A JP2003139761A (en) 2001-10-30 2001-10-30 Chemical micro-device, and using method therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003139761A true JP2003139761A (en) 2003-05-14

Family

ID=19147365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001331865A Pending JP2003139761A (en) 2001-10-30 2001-10-30 Chemical micro-device, and using method therefor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003139761A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014038018A (en) * 2012-08-14 2014-02-27 Alps Electric Co Ltd Channel chip

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014038018A (en) * 2012-08-14 2014-02-27 Alps Electric Co Ltd Channel chip

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101221168B (en) Microfluidic chip based on microsphere biological detection
Ouellet et al. Parallel microfluidic surface plasmon resonance imaging arrays
US10670559B2 (en) Nanofluidic channels with integrated charge sensors and methods based thereon
US7386199B2 (en) Providing light to channels or portions
CA2745580C (en) Assay device and method for performing biological assays
CN105181658B (en) Sensing device, sensing system using same and sensing method
KR101135084B1 (en) Microfluidic device and microfluidic analysis equipment
US20170333898A1 (en) Self-flowing microfluidic analytical chip
CN102448602B (en) Microfluidic chip and gas-liquid phase separation method using the microfluidic chip
JP2005181095A (en) Chip, reaction analyzer, reaction analysis method
EP2565616B1 (en) Chemical sensor
US10859499B2 (en) Apparatus and method for quantitative molecular sensing based on raman peak shift
JP6063603B2 (en) Device for detecting a substance and method for manufacturing the device
KR101066598B1 (en) Multiple Detection Method in Microfluidic Chips
JP2003139761A (en) Chemical micro-device, and using method therefor
JP3933959B2 (en) Chemical microdevices
KR20130117301A (en) Lateral flow device and method for analyzing sample
JP6487190B2 (en) Molecular detection system
JP7279791B2 (en) Analyzer and method
KR101048858B1 (en) Open groove channel chip
JP4617654B2 (en) Bioassay substrate manufacturing method using amphiphilic processing and bioassay substrate
CN101078708B (en) Microfluidic detection device and manufacturing method thereof
JP2015139373A (en) Biomolecule analysis device and biomolecule analyzer
KR100594545B1 (en) Calix compound, method for analyzing metal ions and metal ion analysis device using the same
Karthikeyan et al. Fabrication and study of fluidic MEMS device for toxic heavy metal ion sensing in water

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040806

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060111

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060829