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JP2003134790A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2003134790A
JP2003134790A JP2001317566A JP2001317566A JP2003134790A JP 2003134790 A JP2003134790 A JP 2003134790A JP 2001317566 A JP2001317566 A JP 2001317566A JP 2001317566 A JP2001317566 A JP 2001317566A JP 2003134790 A JP2003134790 A JP 2003134790A
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JP
Japan
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teeth
armature
linear motor
moving direction
permanent magnets
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JP2001317566A
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Inventor
Toru Shikayama
透 鹿山
Tadahiro Miyamoto
恭祐 宮本
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Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2001317566A priority Critical patent/JP3824060B2/ja
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】左右の電機子巻線を並列結線した場合でも、電
機子巻線内での循環電流による銅損および粘性制動力を
無くすことができるリニアモータを提供する。 【解決手段】複数の永久磁石113を固着した左右平行
な固定子111,112と、左右のティース125を有
する電機子コア129に電機子巻線123,124を巻
装した可動子120を備えたリニアモータにおいて、電
機子コア129の左右のティース125のうち、片側の
ティースの数をN(3の倍数とする奇数)、ティース数
Nに対面した永久磁石113の磁極数をP(2以上の偶
数)とし、左右の固定子111、112に設けた永久磁
石113の移動方向位置は互いに電気角で、δ=((−
P)×1/2+N)×P/N×180度ずらした。ま
た、電機子巻線123、124の移動方向位置を、M=
(−P)×1/2+N スロット分ずらし、左右の電機
子巻線123、124の同相同士を並列接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば半導体製造装
置などのFA機器に用いられると共に、高速・高精度位
置決めを要求されるリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体製造装置などのFA機器に
用いられると共に、高速・高精度位置決めを要求される
リニアモータは図8、図9のようになっている。図8は
従来のリニアモータの正断面図、図9は図8のA−A線
に沿う断面図である。リニアモータは相数が3、毎極毎
相のスロット数が3/8の可動コイル形のものであり、
ティース数がN=9、ティース数N=9に対向する永久
磁石の磁極数P=8で構成されている。図において、2
11は左側固定子、212は右側固定子、213は永久
磁石、220は可動子、221は第1の可動子取付部
材、222は第2の可動子取付部材、223は左側電機
子巻線、224は右側電機子巻線、225はティース、
226は継鉄、227は貫通穴、228はボルト、22
9は電機子コアである。リニアモータは複数の永久磁石
213を移動方向に沿って交互に順次異極となるように
内側に固着された左右平行な固定子(左側固定子211
および右側固定子212)が設けられている。また、永
久磁石213の磁石列と磁気的空隙を介して対向する面
には左右のティース225を有する電機子コア229に
左側電機子巻線223、右側電機子巻線224を集中巻
により巻装してなる可動子220が設けられている。さ
らに、固定子は図示しない他の固定子取付プレートによ
って剛に固定されている。可動子はティース225およ
び継鉄226の上下方向を第1の可動子取付材221と
第2の可動子取付部材222により挟み込み、貫通穴2
27に通したボルト228で締め付けられ、互いに剛に
固定されている。そして、第1の可動子取付部材121
の上面は図示しない負荷テーブルに固定され、可動子2
20は図示しないガイドによって長手方向に移動自在と
なっている。このような構成において、リニアモータは
可動子220の左右側面に左側固定子211および右側
固定子212が配置される構造であるため、可動子22
0と固定子211,212間に発生する磁気吸引力が左
右で相殺される。その結果、可動子220にかかる磁気
吸引力を考慮する必要が無く、可動子220を取り付け
るテーブルの軽量化、テーブルを支持するガイドの長寿
命化をはかることができる。また、永久磁石213を配
置した2個の固定子を半ピッチずらし、可動子220と
固定子211,212間に発生するコギング力(基本周
期が磁極ピッチλ)が左右で相殺されることから、コギ
ング力による速度リプルが無く、一定速送り高精度化を
はかることができる(例えば、特開平11―26223
6号公報)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来技術では
リニアモータの移動速度に比例した誘起電圧の増加によ
る駆動電圧不足を避けるために、左右の電機子巻線を並
列結線する必要があるが、次のような問題が生じた。 (1)可動子をある速度で移動させた場合、2個の固定
子に対面した左右の電機子巻線が鎖交する磁束に位相差
が生じると共に、左右の電機子巻線を並列結線すると、
左右の電機子巻線内で循環電流が流れて銅損が発生し、
その結果、電機子コアの温度上昇、可動子取付部の熱変
形などを生じていた。 (2)また、循環電流は可動子の速度に比例した粘性制
動力を発生させるため、可動子の移動速度が速い場合に
は大きな粘性制動力に打ち勝つために電流を増やす必要
があることから、従来に比べて電流の増加による多大な
銅損が発生した。本発明は、上記課題を解決するために
なされたものであり、左右の電機子巻線を並列結線した
場合でも、電機子巻線内での循環電流による銅損および
粘性制動力を無くすことができるリニアモータを提供す
ることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項1の本発明は、複数の永久磁石を移動方向に
沿って交互に順次異極となるように内側に固着された左
右平行な固定子と、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙
を介して対向する面に左右のティースを有する電機子コ
アに電機子巻線を巻装してなる可動子とを備えたリニア
モータにおいて、前記電機子コアの左右のティースのう
ち、片側のティースの数をN(3の倍数とする奇数)、
前記ティース数Nに対面した前記永久磁石の磁極数をP
(2以上の偶数)としたときに、左右の前記固定子に設
けられた前記永久磁石の移動方向位置は互いに電気角
で、δ=((−P)×1/2+N)×P/N×180度
ずらしてあり、前記電機子コアの左右に巻回した電機子
巻線の移動方向位置を、M=(−P)×1/2+N ス
ロット分ずらしてあり、前記左右の電機子巻線の同相同
士を並列接続したものである。また、請求項2の本発明
は、請求項1に記載のリニアモータにおいて、略長方形
状に打ち抜いた電磁鋼板の両側面に凹凸状の係合部を設
けて積層してなるコアを順次移動方向に複数並べて連結
したものである。また、請求項3の本発明は、複数の永
久磁石を移動方向に沿って交互に順次異極となるように
内側に固着された左右平行な固定子と、前記永久磁石の
磁石列と磁気的空隙を介して対向する面に左右のティー
スを有する電機子コアに電機子巻線を巻装してなる可動
子とを備えたリニアモータにおいて、前記電機子コアの
左右のティースのうち、片側のティースの数をN(3の
倍数とする偶数)、前記ティース数Nに対面した前記永
久磁石の磁極数をP(2以上の偶数)としたときに、左
右の前記固定子に設けられた前記永久磁石の移動方向位
置は互いに電気角で、δ=(P×3/2−N)×P/N
×180度ずらしてあり、左右の前記電機子巻線の移動
方向位置を、M=P×3/2−N+P スロット分ずら
してあり、左右の前記電機子巻線の同相同士を並列接続
したものである。請求項4の本発明は。請求項3に記載
のリニアモータにおいて、略長方形状に打ち抜いた電磁
鋼板の両側面に凹凸状の係合部を設けて積層してなるコ
アを順次移動方向に複数並べて連結したものである。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に基づいて説明
する。図1は本発明の第1実施例を示すリニアモータで
あって、図8のA−A線に沿うリニアモータの上部から
見た断面図に相当する。このリニアモータは、従来技術
と同じく相数が3、毎極毎相のスロット数が3/8の可
動コイル形リニアモータであって、ティース数がN=
9、ティース数N=9に対向する永久磁石の磁極数P=
8で構成されている。図において、111は左側固定
子、112は右側固定子、113は永久磁石、120は
可動子、123は左側電機子巻線、124は右側電機子
巻線、125はティース、126は継鉄、127は貫通
穴、129は電機子コアである。本発明のうち、複数の
永久磁石113を移動方向に沿って内側に等ピッチλに
て固着された左右平行な固定子と、永久磁石113の磁
石列と磁気的空隙を介して対向する面に電機子巻線12
3、124を巻装した電機子コア129を有する可動子
120とを設けた構成、固定子を図示しない固定子取付
プレートによって固定し、可動子を2つの可動子取付材
により挟み込んで固定する構成、については従来技術と
基本的には同じである。本発明が従来技術と異なる点は
以下のとおりである。すなわち、電機子コア129の左
右のティース125のうち、片側のティースの数をN
(3の倍数とする奇数)、ティース数Nに対面した永久
磁石113の磁極数をP(2以上の偶数)としたとき
に、左右の固定子111、112に設けられた永久磁石
113の移動方向位置は互いに電気角で、δ=((−
P)×1/2+N)×P/N×180度ずらしてあり、
電機子コア129の左右に巻回した電機子巻線123、
124の移動方向位置を、M=(−P)×1/2+N
スロット分ずらしてあり、左右の電機子巻線123、1
24の同相同士を並列接続した点である。
【0006】本実施例の左側固定子111と右側固定子
112においては、ティース数がN=9、ティース数N
=9に対向する永久磁石の磁極数P=8の条件の下で、
左側固定子111の永久磁石113に対して右側固定子
112の永久磁石113を、電気角で次の角度だけずら
していることになる。 δ=((−P)×1/2+N)×P/N×180度 =(−8×1/2+9)×8/9×180度=800度 このとき、電気角800度は、800度−360度×2
=80度であるため、寸法で表せば80/180×λ=
4/9×λとなる。
【0007】次に、電機子巻線の結線方法を図2、図3
に基づいて説明する。図2は第1の実施例による左右の
電機子巻線の各スロット位置におけるコイルル結線図、
図3は第1の実施例における各相ごとに並列接続された
左右の電機子巻線の結線図を示したものである。ここ
で、図2における1〜10までの数字はスロット番号、
スロット番号下の角度はあるスロット位置を電気角0度
とした場合の各スロット位置における電気角を表してい
る。そして、右側電機子巻線124において、U相はU
R、XR端子、V相はVR、YR端子、W相はWR、Z
R端子を持っており、左側電機子巻線123において、
U相はUL、XL端子、V相はYL、VL端子、W相
はWL、ZL端子を持っている。これら端子は、図3に
おいて、URとUL,XRとXL,VRとVL 、YR
とYL、WRとWL、ZRとZLが接続され、右側電機
子巻線124と左側電機子巻線123は各相ごとに並列
接続されている。同図に示されているように、右側電機
子巻線124は左側電機子巻線123に対し、Mスロッ
ト分 M=(−P)×1/2+N=−8×1/2+9=5 ずらしている。これを電気角で表すと M×P/N×180度=5×8/9×180度=800
度 すなわち、800度−2×360度=80度となってい
る。
【0008】次に、推力発生原理について説明する。左
側電機子巻線123のU相は、3つのコイルから構成さ
れ、電気角160度間隔に直列接続されている。従っ
て、可動子120を左側固定子111に対し相対移動さ
せれば、3つのコイルに磁束が鎖交し、誘起電圧が発生
する。同様に、U相に対し電気角120度、240度に
配置されたV相、W相のコイルにも、U相に対し電気角
120度、240度の位相差を持つ誘起電圧が発生す
る。従って、この誘起電圧に応じた所定の電流を与える
ことにより、左側電機子巻線123に推力が発生する。
一方、右側電機子巻線124は、左側電機子巻線123
に対し5スロット分ずらしている。左側固定子111と
右側固定子112にずれが無い場合、可動子120を右
側固定子112に対し相対移動させれば、左側電機子巻
線123に対し電気角80度遅れた誘起電圧が発生す
る。しかしながら、右側固定子112は左側固定子11
1に対し電気角δ=80度ずらしているため、右側電機
子巻線124に発生する誘起電圧には位相差が生じな
い。従って、図3に示すごとく、左側電機子巻線123
と右側電機子巻線124を並列結線しても、そこには循
環電流が生じないことになる。
【0009】次に、コギング力の低減効果について図4
に基づいて説明する。図4はコギング波形の低減効果の
説明図であって、(a)は第1の実施例によるコギング
力波形、(b)は2個の固定子をずらしていない従来構
造のリニアモータによるコギング力波形である。図4
(b)の従来のものによると、左右の固定子と可動子間
に発生する各々のコギング力は、磁極ピッチλ(電気角
180度)を基本周期とし同位相である。よって、左右
足し合わせによって大きなコギング力が発生している。
一方、図4(a)の本実施例のものによると、左右の固
定子と可動子間に発生するコギング力は電気角80度の
位相差が生じるため、合成されたコギング力は大幅に低
減されている。
【0010】このように、第1の実施例は上記の構成に
したので、左右の電機子巻線を並列結線した場合ても、
循環電流が発生することはなく、これにより従来発生し
ていた循環電流による銅損や粘性制動力を無くすことが
可能なリニアモータを提供することができる。また、左
右の固定子と可動子間に発生するコギング力(基本周期
が磁極ピッチλ(電気角180度))がδ=80度のず
れによって相殺され、合成されたコギング力を大幅に低
減することができる。
【0011】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図5は本発明の第2実施例を示すリニアモータで
あって、図8のA−A線に沿うリニアモータの上部から
見た断面図に相当する。図6は左側電機子巻線123お
よび右側電機子巻線124のコイル結線図である。図7
は第2の実施例におけるコギング力波形を示す図であ
る。なお、このリニアモータは、相数が3、毎極毎相の
スロット数が2/5の可動コイル形リニアモータであ
る。つまり、ティース数がN=12、ティース数N=1
2に対向する永久磁石の磁極数P=10で構成されてい
る。第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、以下の
とおりである。 すなわち、電機子コア129の左右のティース125の
うち、片側のティースの数をN(3の倍数とする偶
数)、ティース数Nに対面した永久磁石113の磁極数
をP(2以上の偶数)としたときに、左右の固定子11
1、112に設けられた永久磁石113の移動方向位置
は互いに電気角で、δ=(P×3/2−N)×P/N×
180度ずらしてあり、左右の電機子巻線123,12
4の移動方向位置を、M=P×3/2−N+P スロッ
ト分ずらしてあり、左右の電機子巻線123,124の
同相同士を並列接続した点である。 本実施例においては、左側固定子111の永久磁石11
3と右側固定子112の永久磁石113のずれ分δ、左
側電機子巻線123と右側電機子巻線124のずれスロ
ット分Mは、N=12、P=10の条件のもとで、次の
ように計算される。 δ=(P×3/2−N)×P/N×180度 =(10×3/2−12)×10/12×180度=450度 =450度−360度=90度 M=P×3/2−N =10×3/2−12=3 左側固定子111の永久磁石113に対して右側固定子
112の永久磁石113を、90/180×λ=1/2
×λだけずらしている。また、左側電機子巻線123と
右側電機子巻線124を、3×10/12×180=9
0度だけずらしている。
【0012】このように、第2の実施例は上記の構成に
したので、第1の実施例同様、左側電機子巻線123と
右側電機子巻線124の誘起電圧の位相は一致し、並列
接続した場合にも循環電流が生じないことになる。ま
た、左側固定子111の永久磁石113に対して右側固
定子112の永久磁石113を電気角δ=90度ずらし
ているため、図7に示すごとく、左右の固定子と可動子
間に発生するコギング力の合成を無くすことができる。
第1の実施例のδ=80度よりさらにコギング力を低減
することができる。
【0013】なお、以上の実施例では、可動コイル形リ
ニアモータとして説明したが、可動マグネット形リニア
モータとして構成しても構わず、本発明の可動コイル形
と同等の効果を得ることができる。よって、設計変更の
範疇として容易に実施できることは言うまでもない。ま
た、電機子コアは、電磁鋼鈑から複数のティースと継鉄
を一体化する構成のものに打ち抜いコアの例で説明した
が、略長方形状に打ち抜いた電磁鋼板の両側面に凹凸状
の係合部を設けて積層してなるコアを順次移動方向に複
数並べて連結したものであっても構わない。また、ティ
ース数N=9の場合にはP=8、ティース数N=12の
場合にはP=10として説明したが、ティース数N=9
の場合にはP=10、ティース数N=12の場合にはP
=14としても同様の効果を得ることができる。
【0014】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば以下
のような効果がある。第1の実施例によれば、電機子コ
アの左右のティースのうち、片側のティースの数をN
(3の倍数とする奇数)、ティース数Nに対面した永久
磁石の磁極数をP(2以上の偶数)としたときに、左右
の固定子に設けられた永久磁石の移動方向位置は互いに
電気角で、δ=((−P)×1/2+N)×P/N×1
80度ずらしてあり、電機子コアの左右に巻回した電機
子巻線の移動方向位置を、M=(−P)×1/2+N
スロット分ずらしてあり、左右の電機子巻線の同相同士
を並列接続したため、左右の電機子巻線を並列結線して
も循環電流を生じることが無い。よって、循環電流によ
る銅損や粘性制動力が発生しない。また、基本周期を電
気角180度とするコギング力がδ=80度によって相
殺され、コギング力を低減することができる。
【0015】第2の実施例によれば、電機子コアの左右
のティースのうち、片側のティースの数をN(3の倍数
とする偶数)、ティース数Nに対面した永久磁石の磁極
数をP(2以上の偶数)としたときに、左右の固定子に
設けられた永久磁石の移動方向位置は互いに電気角で、
δ=(P×3/2−N)×P/N×180度ずらしてあ
り、左右の電機子巻線の移動方向位置を、M=P×3/
2−N+P スロット分ずらしてあり、左右の電機子巻
線の同相同士を並列接続したため、第1の実施例同様、
循環電流を無くすことができる。また、基本周期を電気
角180度とするコギング力がδ=90度となることに
より、第1の実施例におけるコギング力よりもさらに低
減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すリニアモータであ
って、図8のA−A線に沿うリニアモータの上部から見
た断面図に相当する。
【図2】本発明の第1の実施例による左右の電機子巻線
の各スロット位置におけるコイル結線図である。
【図3】本発明の第1の実施例における各相ごとに並列
接続された左右の電機子巻線の結線図を示したものであ
る。
【図4】コギング波形の低減効果の説明図であって、
(a)は第1の実施例によるコギング力波形、(b)は
2個の固定子をずらしていない従来構造のリニアモータ
によるコギング力波形である。
【図5】本発明の第2の実施例を示すリニアモータであ
って、図8のA−A線に沿うリニアモータの上部から見
た断面図に相当する。
【図6】本発明の第2の実施例における左側電機子巻線
123および右側電機子巻線124のコイル結線図であ
る。
【図7】本発明の第2の実施例におけるコギング力波形
を示す図
【図8】従来のリニアモータの正断面図である。
【図9】図8のA−A線に沿うリニアモータの上部から
見た断面図である。
【符号の説明】
111 左側固定子(固定子) 112 右側固定子(固定子) 113 永久磁石 120 可動子 121 第1の可動子取付部材 122 第2の可動子取付部材 123 左側電機子巻線(電機子巻線) 124 右側電機子巻線(電機子巻線) 125 ティース 126 継鉄 127 貫通穴 128 ボルト 129 電機子コア

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の永久磁石を移動方向に沿って交互に
    順次異極となるように内側に固着された左右平行な固定
    子と、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向
    する面に左右のティースを有する電機子コアに電機子巻
    線を巻装してなる可動子とを備えたリニアモータにおい
    て、前記電機子コアの左右のティースのうち、片側のテ
    ィースの数をN(3の倍数とする奇数)、前記ティース
    数Nに対面した前記永久磁石の磁極数をP(2以上の偶
    数)としたときに、左右の前記固定子に設けられた前記
    永久磁石の移動方向位置は互いに電気角で δ=((−P)×1/2+N)×P/N×180 度ずらしてあり、前記電機子コアの左右に巻回した電機
    子巻線の移動方向位置を、 M=(−P)×1/2+N スロット分ずらしてあり、前記左右の電機子巻線の同相
    同士を並列接続したことを特徴とするリニアモータ。
  2. 【請求項2】前記電機子コアは、略長方形状に打ち抜い
    た電磁鋼板の両側面に凹凸状の係合部を設けて積層して
    なるコアを順次移動方向に複数並べて連結したものであ
    ることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
  3. 【請求項3】複数の永久磁石を移動方向に沿って交互に
    順次異極となるように内側に固着された左右平行な固定
    子と、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向
    する面に左右のティースを有する電機子コアに電機子巻
    線を巻装してなる可動子とを備えたリニアモータにおい
    て、 前記電機子コアの左右のティースのうち、片側のティー
    スの数をN(3の倍数とする偶数)、前記ティース数N
    に対面した前記永久磁石の磁極数をP(2以上の偶数)
    としたときに、左右の前記固定子に設けられた前記永久
    磁石の移動方向位置は互いに電気角で δ=(P×3/2−N)×P/N×180 度ずらしてあり、左右の前記電機子巻線の移動方向位置
    を、 M=P×3/2−N+P スロット分ずらしてあり、左右の前記電機子巻線の同相
    同士を並列接続したことを特徴とするリニアモリニアモ
    ータ。
  4. 【請求項4】前記電機子コアは、略長方形状に打ち抜い
    た電磁鋼板の両側面に凹凸状の係合部を設けて積層して
    なるコアを順次移動方向に複数並べて連結したものであ
    ることを特徴とする請求項3に記載のリニアモータ。
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