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JP2003121227A - Thermal flow meter - Google Patents

Thermal flow meter

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JP2003121227A
JP2003121227A JP2001319712A JP2001319712A JP2003121227A JP 2003121227 A JP2003121227 A JP 2003121227A JP 2001319712 A JP2001319712 A JP 2001319712A JP 2001319712 A JP2001319712 A JP 2001319712A JP 2003121227 A JP2003121227 A JP 2003121227A
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flow rate
heater element
flow
time interval
time
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Masami Seo
雅己 瀬尾
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Azbil Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B60T2201/00Particular use of vehicle brake systems; Special systems using also the brakes; Special software modules within the brake system controller
    • B60T2201/08Lane monitoring; Lane Keeping Systems
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 流量計測の精度に悪影響を与えることなく、
ヒータ素子Rhでの消費電力を大幅に低減してその省電
力化を図ることのできる熱式流量計を提供する。 【解決手段】 ヒータ素子とこのヒータ素子を間にして
流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2の
温度センサとを備えた流量センサと、所定の時間間隔毎
にヒータ素子を通電加熱する(サンプリング手段21)
と共に、該ヒータ素子の通電加熱時に第1および第2の
温度センサによりそれぞれ検出される温度の差から流量
センサを通流する流体の流量を求める流量検出手段22
とを備え、特に所定の単位時間内における流量センサを
通流する流体の通流頻度に応じて(使用回数積算手段2
3)、流量センサに流体が通流していないときのヒータ
素子の通電時間間隔を可変設定する時間間隔設定手段2
4を備える。
(57) [Abstract] [Problem] Without adversely affecting the accuracy of flow measurement,
Provided is a thermal flow meter capable of significantly reducing power consumption by a heater element Rh and saving power. SOLUTION: A flow sensor including a heater element and first and second temperature sensors provided in a flow direction of a fluid with the heater element interposed therebetween, and energizing the heater element at predetermined time intervals. Heat (sampling means 21)
At the same time, the flow rate detecting means 22 for obtaining the flow rate of the fluid flowing through the flow rate sensor from the difference between the temperatures detected by the first and second temperature sensors when the heater element is energized and heated.
In particular, according to the frequency of flow of the fluid flowing through the flow rate sensor within a predetermined unit time (the number-of-times
3) Time interval setting means 2 for variably setting the energization time interval of the heater element when fluid is not flowing through the flow sensor.
4 is provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体が通流してい
ないときの消費電力を抑えることのできる熱式流量計に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal type flow meter capable of suppressing power consumption when a fluid is not flowing.

【0002】[0002]

【関連する背景技術】熱式流量計を構成するマイクロフ
ローセンサは、例えば図4に示すようにシリコン基台B
上に設けた発熱抵抗体からなるヒータ素子Rhを間にし
て、流体の通流方向Fに測温抵抗体からなる一対の温度
センサRu,Rdを設けた素子構造を有する。そして熱
式流量計は、上記ヒータ素子Rhから発せられる熱の拡
散度合い(温度分布)が前記流体の通流によって変化す
ることを利用し、前記温度センサRu,Rdの熱による
抵抗値変化から前記流体の流量Qを検出する如く構成さ
れる。
2. Related Background Art A micro flow sensor constituting a thermal type flow meter has a silicon base B as shown in FIG.
It has an element structure in which a pair of temperature sensors Ru and Rd formed of temperature measuring resistors are provided in the fluid flow direction F with a heater element Rh formed of a heating resistor provided therebetween. The thermal flow meter utilizes the fact that the diffusion degree (temperature distribution) of the heat emitted from the heater element Rh changes due to the flow of the fluid, and based on the resistance change due to the heat of the temperature sensors Ru and Rd, It is configured to detect the flow rate Q of the fluid.

【0003】具体的にはヒータ素子Rhから発せられた
熱が流体の流量Qに応じて下流側の温度センサRdに加
わることで、該温度センサRdの熱による抵抗値の変化
が上流側の温度センサRuよりも大きいこと利用して上
記流量Qを計測するものとなっている。尚、図中Rr
は、前記ヒータ素子Rhから離れた位置に設けられた測
温抵抗体からなる温度センサであって、周囲温度の計測
に用いられる。
Specifically, the heat generated from the heater element Rh is added to the temperature sensor Rd on the downstream side according to the flow rate Q of the fluid, so that the resistance value change due to the heat of the temperature sensor Rd causes the temperature on the upstream side to change. The flow rate Q is measured by utilizing the fact that it is larger than the sensor Ru. Rr in the figure
Is a temperature sensor including a resistance temperature detector provided at a position distant from the heater element Rh, and is used for measuring the ambient temperature.

【0004】図5は上述したマイクロフローセンサを用
いた熱式流量計の概略構成を示している。即ち、ヒータ
素子Rhの駆動回路は、該ヒータ素子Rhと周囲温度計
測用の温度センサRr、および一対の固定抵抗R1,R
2を用いてブリッジ回路1を形成し、所定の電源から供
給される電圧VccをトランジスタQを介して前記ブリッ
ジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1のブリッ
ジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリッジ出力
電圧がゼロ(0)となるように前記トランジスタQを帰
還制御して前記ブリッジ回路1に加えるヒータ駆動電圧
を調整するように構成される。このように構成されたヒ
ータ駆動回路により、前記ヒータ素子Rhの発熱温度
が、その周囲温度よりも常に一定温度差だけ高くなるよ
うに制御される。
FIG. 5 shows a schematic structure of a thermal type flow meter using the above-mentioned micro flow sensor. That is, the drive circuit of the heater element Rh includes the heater element Rh, a temperature sensor Rr for measuring the ambient temperature, and a pair of fixed resistors R1, R.
2 is used to form a bridge circuit 1, a voltage Vcc supplied from a predetermined power source is applied to the bridge circuit 1 via a transistor Q, and the bridge output voltage of the bridge circuit 1 is applied to a differential amplifier 2. Then, the transistor Q is feedback-controlled so that the bridge output voltage becomes zero (0), and the heater driving voltage applied to the bridge circuit 1 is adjusted. The heater driving circuit configured as described above controls the heat generation temperature of the heater element Rh to be always higher than the ambient temperature by a constant temperature difference.

【0005】一方、前記一対の温度センサRu,Rdの
熱による抵抗値変化から前記マイクロフローセンサに沿
って通流する流体の流量Qを検出する流量検出回路は、
上記一対の温度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,
Ryを用いて流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温
度センサRu,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出
力電圧を差動増幅器4を介して検出するように構成され
る。そして前記ヒータ駆動回路によりヒータ素子Rhの
発熱量を一定化した条件下において、差動増幅器4を介
して検出されるブリッジ出力電圧から前記マイクロフロ
ーセンサに沿って通流する流体の流量Qを求めるものと
なっている。
On the other hand, the flow rate detection circuit for detecting the flow rate Q of the fluid flowing along the microflow sensor from the change in resistance value of the pair of temperature sensors Ru and Rd due to heat is
The pair of temperature sensors Ru, Rd and the pair of fixed resistors Rx,
The Ry is used to form the bridge circuit 3 for flow rate measurement, and the bridge output voltage according to the change in the resistance value of the temperature sensors Ru and Rd is detected via the differential amplifier 4. Then, under the condition that the amount of heat generated by the heater element Rh is made constant by the heater drive circuit, the flow rate Q of the fluid flowing along the microflow sensor is obtained from the bridge output voltage detected via the differential amplifier 4. It has become a thing.

【0006】この流量Qの算出は、例えば上記ブリッジ
出力電圧(センサ出力)を演算処理装置(CPU)に取
り込むことによって行われる。
The flow rate Q is calculated, for example, by incorporating the bridge output voltage (sensor output) into the arithmetic processing unit (CPU).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところでこの種の熱式
流量計を家庭用ガスメータとして用いた場合、その省電
力化を図ることが重要な課題となる。そこで前記ヒータ
素子Rhを所定の時間間隔毎に通電し、そのときの流量
Qをサンプリングして検出することでヒータ素子Rhの
通電に要する電力を低減することが考えられている。
By the way, when this type of thermal flow meter is used as a household gas meter, it is an important problem to save power. Therefore, it is considered that the heater element Rh is energized at predetermined time intervals and the flow rate Q at that time is sampled and detected to reduce the power required for energizing the heater element Rh.

【0008】また特開平10−82670号公報には、
流量変化が大きいときには流量Qの計測周期(サンプリ
ング周期)を短くし、流量変化が小さいときには流量Q
の計測周期を長くすることでヒータ素子Rhの通電回数
を減らし、これによってその省電力化を図ることが提唱
されている。しかしながらこのようにしてヒータ素子R
hの通電時間間隔(流量の計測周期)を可変しても、ヒ
ータ素子Rhの消費電力を低減するには限界がある。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 10-82670 discloses that
When the flow rate change is large, the measurement cycle (sampling cycle) of the flow rate Q is shortened, and when the flow rate change is small, the flow rate Q is small.
It has been proposed that the number of energizations of the heater element Rh be reduced by prolonging the measurement cycle of 1 to reduce the power consumption. However, in this way the heater element R
Even if the energization time interval of h (flow rate measurement cycle) is varied, there is a limit in reducing the power consumption of the heater element Rh.

【0009】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、流量計測の精度に悪影響を与え
ることなしに、ヒータ素子Rhでの消費電力を大幅に低
減してその省電力化を図ることのできる熱式流量計を提
供することにある。
The present invention has been made in consideration of such circumstances, and an object thereof is to significantly reduce the power consumption in the heater element Rh without adversely affecting the accuracy of flow rate measurement, and to save the power consumption. It is to provide a thermal type flow meter capable of achieving electric power conversion.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係る熱式流量計は、例えば家庭用ガスメー
タとして用いるような場合、流量センサに流体が通流し
ていない期間が相当あることに着目したもので、ヒータ
素子を所定の時間間隔毎に通電して流量計測を行うに際
し、流体が通流していないときのヒータ素子の通電時間
間隔を長く設定し、これによって省電力化を図るように
したものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the thermal type flow meter according to the present invention has a considerable period in which the fluid does not flow through the flow rate sensor when it is used as a household gas meter, for example. When measuring the flow rate by energizing the heater element at predetermined time intervals, set the energization time interval of the heater element to be long when the fluid is not flowing, thereby saving power. It was done like this.

【0011】即ち、本発明に係る熱式流量計は、ヒータ
素子と、このヒータ素子を間にして流体の通流方向にそ
れぞれ設けられた第1および第2の温度センサとを備え
た流量センサと、所定の時間間隔毎に前記ヒータ素子を
通電加熱すると共に、該ヒータ素子の通電加熱時に前記
第1および第2の温度センサによりそれぞれ検出される
温度の差から前記流量センサを通流する流体の流量を求
める流量検出手段とを備え、特に所定の単位時間内にお
ける前記流量センサを通流する流体の通流頻度に応じて
前記流量センサに流体が通流していないときの前記ヒー
タ素子の通電時間間隔を可変設定する時間間隔設定手段
を備えることを特徴としている。
That is, the thermal type flow meter according to the present invention is provided with a heater element and a flow sensor having a first temperature sensor and a second temperature sensor provided in the fluid flow direction with the heater element interposed therebetween. And a fluid flowing through the flow rate sensor from the difference in temperature detected by the first and second temperature sensors while electrically heating the heater element at predetermined time intervals. Flow rate detection means for determining the flow rate of the heater element, and in particular, energization of the heater element when the fluid is not flowing through the flow rate sensor according to the flow frequency of the fluid flowing through the flow rate sensor within a predetermined unit time. It is characterized in that it comprises a time interval setting means for variably setting the time interval.

【0012】好ましくは前記時間間隔設定手段は、前記
流量センサに流体が通流していないとき(ガス未使用
時)の前記ヒータ素子の通電時間間隔を、前記流量セン
サに流体が通流しているとき(ガス使用時)の前記ヒー
タ素子の通電時間間隔(基本サンプリング周期)よりも
長い時間幅の範囲において可変設定するように構成され
る。
[0012] Preferably, the time interval setting means sets an energization time interval of the heater element when a fluid is flowing through the flow rate sensor (when gas is not used) when a fluid is flowing through the flow rate sensor. The heater element is configured to be variably set in a time width range longer than the energization time interval (basic sampling period) of the heater element (when gas is used).

【0013】本発明の好ましい態様は、前記時間間隔設
定手段は、前記所定の単位時間内において所定のサンプ
リング周期毎に前記流量検出手段により検出される流量
がゼロでないときの回数を前記流通頻度として求める計
数手段と、この計数手段により求められた計測回数が予
め設定した設定回数よりも多いときには前記ヒータ素子
の通電時間間隔を短く設定し、上記計測回数が上記設定
回数よりも少ないときには前記ヒータ素子の通電時間間
隔を長く設定する時間間隔変更手段として実現される。
In a preferred aspect of the present invention, the time interval setting means sets the number of times when the flow rate detected by the flow rate detecting means is not zero in each predetermined sampling period within the predetermined unit time as the distribution frequency. The counting means to be obtained and the energization time interval of the heater element is set short when the number of times of measurement obtained by the counting means is larger than a preset number of times, and the heater element is set when the number of times of measurement is less than the preset number of times. It is realized as a time interval changing means for setting a longer energization time interval.

【0014】この際、流量検出手段においては、前記ヒ
ータ素子の通電時間間隔の制御に連動して前記第1およ
び第2の温度センサによる温度検出のタイミングを可変
することが望ましい。また前記所定の単位時間を、例え
ば1日を複数の時間帯に区分して設定した場合、この時
間帯に応じて前記第1および第2の温度センサによる温
度検出のタイミングを可変するようにしても良い。
At this time, in the flow rate detecting means, it is desirable that the timing of temperature detection by the first and second temperature sensors be varied in association with the control of the energization time interval of the heater element. When the predetermined unit time is set by dividing one day into a plurality of time zones, the temperature detection timings of the first and second temperature sensors are changed according to the time zones. Is also good.

【0015】また前記時間間隔設定手段は、複数の時間
帯毎に前記流量検出手段により検出される流量がゼロで
ないときの回数を学習値として記憶する共に、前記流量
検出手段により検出される流量がゼロのとき、現在の時
間帯と同じ時間帯における過去の流量がゼロでないとき
の回数に応じて前記ヒータ素子の通電時間間隔を設定す
るように構成される。
Further, the time interval setting means stores the number of times when the flow rate detected by the flow rate detecting means is not zero as a learning value for each of a plurality of time zones, and the flow rate detected by the flow rate detecting means is stored. When it is zero, the energization time interval of the heater element is set according to the number of times when the past flow rate is not zero in the same time zone as the current time zone.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る熱式流量計について、家庭用ガスメータとして用いる
場合を例に説明する。図1はこの実施形態に係る熱式流
量計の要部概略構成図で、10は図4に示したようにヒ
ータ素子Rhを間にして流体の通流方向Fに一対の温度
センサRu,Rdを設けた素子構造を有するマイクロフ
ローメータである。また図中11は図5に示したように
ヒータ素子Rhと周囲温度計測用の温度センサRr、お
よび一対の固定抵抗R1,R2を用いてブリッジ回路1
を形成して、上記ヒータ素子Rhの発熱温度がその周囲
温度よりも常に一定温度差だけ高くなるように駆動する
ヒータ駆動回路である。更に図中12は、図5に示した
ように一対の温度センサRu,Rdと一対の固定抵抗R
x,Ryを用いて流量計測用のブリッジ回路3を形成
し、温度センサRu,Rdの抵抗値の変化に応じたブリ
ッジ出力電圧を、前記温度センサRu,Rdによりそれ
ぞれ検出される温度の差に相当するセンサ出力Voutと
して検出する検出回路である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A thermal type flow meter according to the present invention will be described below with reference to the drawings, taking a case where it is used as a household gas meter as an example. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a main part of a thermal type flow meter according to this embodiment. Reference numeral 10 denotes a pair of temperature sensors Ru and Rd in a fluid flow direction F with a heater element Rh interposed therebetween as shown in FIG. It is a micro flow meter having an element structure provided with. Reference numeral 11 in the drawing uses the heater element Rh, the temperature sensor Rr for measuring the ambient temperature, and the pair of fixed resistors R1 and R2 as shown in FIG.
To drive the heater element Rh so that the heat generation temperature of the heater element Rh is always higher than the ambient temperature by a constant temperature difference. Further, as shown in FIG. 5, 12 is a pair of temperature sensors Ru and Rd and a pair of fixed resistors R as shown in FIG.
The bridge circuit 3 for flow rate measurement is formed by using x and Ry, and the bridge output voltage corresponding to the change in the resistance value of the temperature sensors Ru and Rd is used as the difference between the temperatures detected by the temperature sensors Ru and Rd. It is a detection circuit for detecting the corresponding sensor output Vout.

【0017】このようなセンサ出力を入力するCPU
(演算処理回路)20は、基本的には前記ヒータ駆動回
路11を所定の時間間隔毎に作動させて前記ヒータ素子
Rhを発熱駆動するサンプリング手段21と、このサン
プリング手段21により駆動されて前記ヒータ素子Rh
の発熱駆動に同期して前記検出回路12からのセンサ出
力Voutを取り込み、該センサ出力Voutに相当する流体
の流量Qを求める流量算出手段22を備える。この際、
マイクロフローセンサ10に印加する駆動電源を前記サ
ンプリング手段21により制御し、マイクロフローセン
サ10への通電自体を制御することも勿論可能である。
CPU for inputting such sensor output
The (arithmetic processing circuit) 20 is basically a sampling means 21 which drives the heater driving circuit 11 at predetermined time intervals to drive the heater element Rh to generate heat, and the heater which is driven by the sampling means 21. Element Rh
A flow rate calculating means 22 is provided which takes in the sensor output Vout from the detection circuit 12 in synchronism with the heat generation driving of 1 and obtains the flow rate Q of the fluid corresponding to the sensor output Vout. On this occasion,
It is of course possible to control the driving power applied to the microflow sensor 10 by the sampling means 21 to control the power supply to the microflow sensor 10 itself.

【0018】即ち、CPU20は、基本的には図2に示
すようにヒータ素子Rhを所定の周期T毎に通電して発
熱駆動し、このヒータ素子Rhの発熱駆動に同期して前
記センサ出力Voutをサンプリング入力する。そして前
記流量算出手段22にてサンプリングしたセンサ出力V
outに相当する流量Qを求め、その流量値を次のサンプ
リングタイミングまで保持することで前記マイクロフロ
ーセンサ10を通流する流体(ガス)の流量を連続的に
計測するものとなっている。尚、上記サンプリング周期
Tは、サンプリングによる計測誤差を実質的に無視し得
る基本的な時間間隔として、例えば1秒程度に設定され
る。
That is, the CPU 20 basically energizes the heater element Rh every predetermined period T to drive heat generation as shown in FIG. 2, and the sensor output Vout is synchronized with the heat generation drive of the heater element Rh. Input by sampling. Then, the sensor output V sampled by the flow rate calculating means 22
The flow rate Q corresponding to out is obtained, and the flow rate value is held until the next sampling timing, whereby the flow rate of the fluid (gas) flowing through the microflow sensor 10 is continuously measured. The sampling period T is set to, for example, about 1 second as a basic time interval at which a measurement error due to sampling can be substantially ignored.

【0019】このようにしてマイクロフローセンサ10
を所定の周期でサンプリング駆動して流量計測を行う機
能を備えたCPU20において、この実施形態が特徴と
するところは、図1に示すように上述した如く計測され
る流量Qに応じてマイクロフローセンサを通流する流体
の所定の単位時間における通流頻度を計測する手段とし
ての使用回数積算手段(計数手段)23と、この使用回
数積算手段23にて求められた通流頻度に応じて流量セ
ンサに流体が通流していないとき(ガス未使用時)の前
記ヒータ素子の通電時間間隔を可変設定するサンプリン
グ間隔設定手段(時間間隔設定手段)24とを備えてい
る点にある。更にこれらの使用回数積算手段23および
サンプリング間隔設定手段24は、24時間タイマ25
の管理の下で後述するように所定の単位時間を規定する
時間帯毎に、その作動が制御されるようになっている。
In this way, the microflow sensor 10
In a CPU 20 having a function of performing sampling and driving at a predetermined cycle to measure a flow rate, a feature of this embodiment is that a microflow sensor is provided according to the flow rate Q measured as described above as shown in FIG. A use frequency integrating means (counting means) 23 as a means for measuring the flow frequency of the fluid flowing through it in a predetermined unit time, and a flow rate sensor according to the flow frequency obtained by the use frequency integrating means 23. And a sampling interval setting means (time interval setting means) 24 for variably setting the energization time interval of the heater element when the fluid is not flowing (when gas is not used). Further, the number-of-uses accumulating means 23 and the sampling interval setting means 24 are provided with a 24-hour timer 25.
Under the control of, the operation is controlled for each time zone that defines a predetermined unit time as described later.

【0020】尚、CPU20は、例えばEEPROMか
らなるメモリ30を備えている。このメモリ30は、前
記流量算出手段22における流量Qの算出に用いる為の
流体(ガス)の流量Qとセンサ出力Voutとの関係を示
す流量変換テーブル(図示せず)を記憶すると共に、前
記使用回数積算手段23により求められる所定の時間帯
毎の流体の通流頻度の情報を記憶する使用回数テーブル
31を記憶したものである。
The CPU 20 has a memory 30 composed of, for example, an EEPROM. The memory 30 stores a flow rate conversion table (not shown) showing the relationship between the flow rate Q of the fluid (gas) and the sensor output Vout for use in the calculation of the flow rate Q in the flow rate calculation means 22 and the use thereof. The number-of-uses table 31 for storing the information on the flow frequency of the fluid for each predetermined time period obtained by the number-of-times accumulating means 23 is stored.

【0021】ここで前記使用回数積算手段23について
説明すると、この使用回数積算手段23は、前述した所
定の単位時間内において前記流量算出手段22が流量計
測を実行する都度、その流量Qがゼロであるか否かを判
定している。そして流量Qがゼロでない場合にはマイク
ロフローセンサ10を流体(ガス)が通流している、つ
まりガスが使用されている状態であると判断し、この状
態をガスの使用状態検出回数として累積している。そし
て上記所定の単位時間内における全サンプリング回数に
対する上記使用状態検出回数を流体の通流頻度として求
めている。より簡単には、上記使用状態検出回数自体を
前記所定の単位時間内におけるガスの使用回数と看做し
て、その使用状況を監視している。このようにして求め
られる回数(使用状態検出回数)が、その計測時間帯毎
に前記メモリ30における使用回数テーブル31に記憶
され、その後の前記サンプリング間隔設定手段24によ
るサンプリング間隔の可変設定の制御に用いられる。
The use number accumulating means 23 will now be described. The use number accumulating means 23 keeps the flow rate Q at zero each time the flow rate calculating means 22 executes the flow rate measurement within the above-mentioned predetermined unit time. It is determined whether or not there is. If the flow rate Q is not zero, it is determined that the fluid (gas) is flowing through the microflow sensor 10, that is, the gas is in use, and this state is accumulated as the number of times of use detection of gas. ing. Then, the number of times of use state detection with respect to the total number of times of sampling within the predetermined unit time is obtained as the fluid flow frequency. More simply, the number of times of use state detection itself is regarded as the number of times of use of the gas within the predetermined unit time, and the state of use is monitored. The number of times obtained in this way (the number of times of use state detection) is stored in the number-of-uses table 31 in the memory 30 for each measurement time period, and thereafter the sampling interval setting means 24 controls the variable setting of the sampling interval. Used.

【0022】一方、前記サンプリング間隔設定手段24
は、前記流量算出手段22にて求められる流体の流量Q
がゼロであるとき、つまりマイクロフローセンサ10に
ガスが流れていないとき、前記サンプリング手段21に
よるヒータ素子Rhの通電時間間隔(サンプリング間
隔)を、マイクロフローセンサ10に流体が通流してい
るとき(ガス使用時)の前記ヒータ素子Rhの通電時間
間隔(基本サンプリング周期)Tよりも長く設定する共
に、前記使用回数積算手段23にて求められるガスの使
用回数(使用状態検出回数)に従って上記ヒータ素子R
hの通電時間間隔(サンプリング間隔)を可変設定する
役割を担う。
On the other hand, the sampling interval setting means 24
Is the flow rate Q of the fluid calculated by the flow rate calculating means 22.
Is zero, that is, when no gas is flowing in the microflow sensor 10, when the fluid flows through the microflow sensor 10 for the energization time interval (sampling interval) of the heater element Rh by the sampling means 21 ( The heater element Rh is set longer than the energization time interval (basic sampling period) T of the heater element Rh (when gas is used), and the heater element is set according to the number of times of use of gas (use state detection number) obtained by the number-of-uses integrating means 23. R
It plays the role of variably setting the energization time interval (sampling interval) of h.

【0023】即ち、サンプリング間隔設定手段24は、
ガスの未使用時におけるマイクロフローセンサ10のサ
ンプリング駆動周期(ヒータ素子Rhの通電駆動間隔)
を長く設定すると共に、ガスの使用頻度(回数)に応じ
て、その間隔を可変するものとなっている。特にガスの
使用頻度(回数)が所定の回数(設定回数)よりも多く
なった場合には、ヒータ素子Rhの通電駆動間隔を短く
し、逆にガスの使用頻度(回数)が所定の回数(設定回
数)よりも少なくなった場合には、ヒータ素子Rhの通
電駆動間隔を長くすることで、その通電駆動間隔(サン
プリング間隔)を可変している。
That is, the sampling interval setting means 24 is
Sampling drive cycle of the microflow sensor 10 when gas is not used (energization drive interval of the heater element Rh)
Is set to be long, and the interval is changed according to the frequency of use (number of times) of gas. In particular, when the gas usage frequency (number of times) becomes greater than the predetermined number (set number), the energization drive interval of the heater element Rh is shortened, and conversely, the gas usage frequency (number of times) is set to the predetermined number (set number). When it is less than the set number of times, the energization drive interval (sampling interval) of the heater element Rh is changed by lengthening the energization drive interval.

【0024】このような通電駆動間隔(サンプリング間
隔)の可変設定は、前記24時間タイマ25の管理の下
で前述した時間帯毎にそれぞれ実行される。より詳しく
は前述した時間帯毎に求められて前記使用回数テーブル
31に記憶されたガスの使用頻度(回数)に従い、該当
する時間帯における過去のガスの使用頻度(回数)に従
ってヒータ素子Rhの通電駆動間隔(サンプリング間
隔)を設定するものとなっている。このようなヒータ素
子Rhの通電駆動間隔(サンプリング間隔)の可変設定
は、例えば1秒、2秒、5秒、10秒等として予め設定
されている複数種の通電時間間隔の中から、その1つを
選択することによってなされる。
The variable setting of the energization drive interval (sampling interval) is executed for each time zone described above under the control of the 24-hour timer 25. More specifically, the heater element Rh is energized in accordance with the gas usage frequency (number of times) obtained for each time zone and stored in the usage frequency table 31 according to the past gas usage frequency (number of times) in the corresponding time zone. The drive interval (sampling interval) is set. The variable setting of the energization drive interval (sampling interval) of the heater element Rh is performed by selecting one of a plurality of kinds of energization time intervals which are preset as 1 second, 2 seconds, 5 seconds, 10 seconds, and the like. Made by choosing one.

【0025】図3は上述したヒータ素子Rhの通電駆動
間隔(サンプリング間隔)を可変設定する上での、CP
U20における概略的な処理手順の一例を示している。
この処理手順について説明すると、先ずマイクロフロー
センサ10の駆動に伴い、該マイクロフローセンサ10
から検出されるセンサ出力Voutに従ってそのときの流
量Qを計測する[ステップS1]。そして計測した流量
Qがゼロ(0)であるか否かを調べることでガス使用中
であるか否かを判定する[ステップS2]。
FIG. 3 shows the CP for variably setting the energization drive interval (sampling interval) of the heater element Rh described above.
It shows an example of a schematic processing procedure in U20.
The processing procedure will be described. First, as the microflow sensor 10 is driven, the microflow sensor 10 is driven.
The flow rate Q at that time is measured according to the sensor output Vout detected from [step S1]. Then, it is determined whether the gas is being used by checking whether the measured flow rate Q is zero (0) [step S2].

【0026】そしてガス使用中である場合には、前記使
用回数積算手段23において現在の時間帯におけるガス
の使用回数をインクリメントし[ステップS3]、サン
プリング間隔を、前述したサンプリングによる計測誤差
を実質的に無視し得る基本的な時間間隔である1秒とし
て設定する[ステップS4]。そして設定したサンプリ
ング間隔に従って前記マイクロフローセンサ10を次に
駆動するタイミングを管理し、所定時間後にマイクロフ
ローセンサ10が駆動されたならば、ステップS1から
の処理手順を繰り返し実行する。
When the gas is being used, the number of times of use of the gas in the present time zone is incremented by the number-of-uses accumulating means 23 [step S3], and the sampling interval is substantially reduced by the above-mentioned sampling measurement error. Is set as 1 second, which is a basic time interval that can be ignored (step S4). Then, the timing for driving the microflow sensor 10 next is managed according to the set sampling interval, and if the microflow sensor 10 is driven after a predetermined time, the processing procedure from step S1 is repeatedly executed.

【0027】この際、ガスが継続的に使用されている場
合には、次の計測タイミングにおいてもガス使用中であ
ると判定されるので、これによってその使用回数が累積
される。これに対して次の計測タイミングにおいて流量
Qがゼロである場合には、ガスの未使用状態であると判
定される[ステップS2]。この場合には、ガスの使用
停止から一定時間が経過したか否かが判定され[ステッ
プS5]、一定時間経過前である場合には、再度、前記
サンプリング間隔を1秒に設定する[ステップS6]。
この処理は、ガスの使用停止後、直ぐにマイクロフロー
センサ10の駆動条件を変更しない為の処置であり、上
記一定時間は、例えば1分程度に設定される。この処理
によってガスの使用停止した後、直ぐにガスを使用する
ような場合の検出遅れが防止される。
At this time, when the gas is continuously used, it is determined that the gas is being used even at the next measurement timing, so that the number of times of use is accumulated. On the other hand, when the flow rate Q is zero at the next measurement timing, it is determined that the gas is unused (step S2). In this case, it is determined whether or not a fixed time has passed since the gas was stopped [Step S5], and if the fixed time has not passed, the sampling interval is set again to 1 second [Step S6]. ].
This process is a process for not changing the driving conditions of the microflow sensor 10 immediately after the use of the gas is stopped, and the above-mentioned fixed time is set to, for example, about 1 minute. This process prevents a detection delay when the gas is used immediately after the gas is stopped.

【0028】一方、ガスの使用停止から一定時間が経過
している場合には[ステップS5]、次に前記使用回数
テーブル31を参照して現在の時間帯における過去の使
用回数が求められる。尚、上記時間帯は、例えば1日を
2時間単位に区分する等して設定される。そして使用回
数テーブル31から求めた過去の同じ時間帯における使
用回数が、例えば[5]を越えるか[ステップS8]、
[4]または[5]であるか[ステップS9]、或いは[1]
〜[3]であるか[ステップS10]をそれぞれ判定す
る。
On the other hand, when a certain period of time has passed since the gas was stopped to be used [step S5], the number of times of past use in the present time zone is obtained by referring to the number of times of use table 31. The time zone is set, for example, by dividing one day into two hours. Whether the number of times of use in the same past time zone obtained from the number of times of use table 31 exceeds, for example, [5] [step S8],
[4] or [5], [step S9], or [1]
To [3], [step S10] is determined.

【0029】そして過去の同じ時間帯における使用回数
が[5]を越える場合には[ステップS8]、サンプリン
グ間隔(ヒータ素子Rhの通電駆動間隔)を、ガスの使
用時と同じ1秒に設定する[ステップS11]。また使
用回数が[4]または[5]である場合には[ステップS
9]、前記サンプリング間隔(ヒータ素子Rhの通電駆
動間隔)を2秒に設定する[ステップS12]。更に使
用回数が[4]または[5]である場合には[ステップS
9]、前記サンプリング間隔を2秒に設定する[ステッ
プS12]。使用回数が[1]〜[3]である場合には[ス
テップS10]、前記サンプリング間隔を5秒に設定し
[ステップS13]、いずれにも該当しない場合、つま
り使用回数が[0]の場合には、前記サンプリング間隔を
10秒に設定する[ステップS14]。
If the number of times of use in the same time zone in the past exceeds [5] [step S8], the sampling interval (energization drive interval of the heater element Rh) is set to 1 second, which is the same as when gas is used. [Step S11]. If the number of times of use is [4] or [5], [Step S
9], the sampling interval (the energization drive interval of the heater element Rh) is set to 2 seconds [step S12]. Further, when the number of times of use is [4] or [5], [Step S
9], the sampling interval is set to 2 seconds [step S12]. When the number of times of use is [1] to [3] [step S10], the sampling interval is set to 5 seconds [step S13], and when neither of them is met, that is, when the number of times of use is [0] In step S14, the sampling interval is set to 10 seconds.

【0030】即ち、流量Qがゼロであることが検出され
たならば、過去の同じ時間帯の実績データ(使用回数)
に従って、ヒータ素子Rhの通電時間間隔(サンプリン
グ間隔)を可変設定する。このようにしてヒータ素子R
hの通電時間間隔(サンプリング間隔)を可変設定すれ
ば、ガスの使用回数を計測する単位時間を規定する時間
帯の最初の時点においてガスの未使用状態が検出されて
も、その時点でのガスの使用回数の累積値に拘わること
なく、過去の同じ時間帯におけるガスの使用状況に応じ
てガス未使用時におけるヒータ素子Rhの通電時間間隔
を長く設定することができる。つまり時間帯毎のガスの
使用状況を学習しながら、適切な時間間隔でヒータ素子
Rhを駆動することが可能となる。
That is, if it is detected that the flow rate Q is zero, the actual result data (number of times of use) in the same time zone in the past
Accordingly, the energization time interval (sampling interval) of the heater element Rh is variably set. In this way, the heater element R
If the energization time interval (sampling interval) of h is variably set, even if the unused state of the gas is detected at the beginning of the time zone that defines the unit time for measuring the number of times of use of the gas, the gas at that time is detected. Regardless of the cumulative value of the number of times of use of the heater element Rh, the energization time interval of the heater element Rh when the gas is not used can be set long according to the usage state of the gas in the same past time period. That is, it is possible to drive the heater element Rh at appropriate time intervals while learning the gas usage status for each time period.

【0031】かくしてこのようにしてサンプリング間隔
を可変設定し、これによってヒータ素子Rhの通電駆動
間隔を可変するようにした熱式流量計によれば、ガスの
未使用状態が検出されたとき、ヒータ素子Rhを通電駆
動する時間間隔を長く設定することができるので、ヒー
タ素子Rhに通電駆動に要する電力を大幅に削減するこ
とができる。またガスの未使用時に長く設定されるヒー
タ素子Rhを通電駆動間隔が、過去の使用状況に応じて
可変設定され、ガスの使用開始が予想される場合には、
上記通電時間間隔が比較的短く設定されるので、流量計
測の開始遅れを十分に少なくすることができる。従って
その計測精度を損なう虞が殆どない等の効果が奏せられ
る。
Thus, according to the thermal type flow meter in which the sampling interval is variably set and the energization driving interval of the heater element Rh is changed by this, when the unused state of the gas is detected, the heater Since the time interval for energizing the element Rh can be set long, the electric power required for energizing the heater element Rh can be greatly reduced. Further, when the energization drive interval of the heater element Rh, which is set to be long when the gas is not used, is variably set according to the past usage situation, and when the use of the gas is expected to start,
Since the energization time interval is set to be relatively short, it is possible to sufficiently reduce the start delay of the flow rate measurement. Therefore, there is an effect that there is almost no possibility of impairing the measurement accuracy.

【0032】ちなみに上述したサンプリング間隔の制御
によれば、例えばガスの使用頻度の最も高い時間帯、次
に使用頻度の高い時間帯、また殆どガスを使用すること
のない時間帯、その他の時間帯に分けて、ガス未使用時
におけるヒータ素子Rhの通電時間間隔(サンプリング
間隔)を個別に設定することが可能となる。従って、例
えば次表に例示するように、各時間帯におけるガスの使
用状況に応じサンプリング間隔を設定し、深夜における
ヒータ素子Rhの通電駆動回数を減らしてマイクロフロ
ーセンサ10の省電力化を図ることが可能となる。
By the way, according to the control of the sampling interval described above, for example, the time zone in which the gas is most frequently used, the time zone in which the gas is most frequently used, the time zone in which the gas is rarely used, and other time zones. It is possible to separately set the energization time interval (sampling interval) of the heater element Rh when the gas is not used. Therefore, as illustrated in the following table, for example, the sampling interval is set according to the usage status of gas in each time zone, and the number of energization driving of the heater element Rh at the middle of the night is reduced to save power of the microflow sensor 10. Is possible.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】特に上述したようにしてヒータ素子Rhの
通電駆動回数を制御する場合、これに連動して温度セン
サRu,Rdへの通電も制御すれば、即ち、マイクロフ
ローセンサ10自体の駆動を制御するようにすれば、更
なる省電力化を図ることが可能となる。また前述したよ
うにして時間帯毎にガスの使用状況を調べてマイクロフ
ローセンサ10の通電駆動回数を制御するに際して、そ
の時間帯に応じてマイクロフローセンサ10の通電駆動
の頻度(サンプリング間隔)を可変するようにしても良
い。具体的には特定の時間帯におけるガスの使用回数の
みならず、その使用時間に応じてそのサンプリング回数
を可変設定するようにしても良い。このような制御を併
用すれば、例えば深夜におけるサンプリング間隔を1分
単位と長く設定することも可能となるので、更にその省
電力化を図り得る。
In particular, when the number of energization driving of the heater element Rh is controlled as described above, the energization of the temperature sensors Ru and Rd is also controlled in conjunction with this, that is, the driving of the microflow sensor 10 itself is controlled. By doing so, it is possible to further reduce power consumption. When controlling the number of times of energization driving of the microflow sensor 10 by checking the usage status of gas for each time zone as described above, the frequency (sampling interval) of energization driving of the microflow sensor 10 is determined according to the time zone. It may be variable. Specifically, not only the number of times the gas is used in a specific time period, but also the number of sampling times may be variably set according to the time of use. If such control is also used, it is possible to set the sampling interval at midnight as long as one minute, so that power saving can be further achieved.

【0035】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではない。例えば流体の通流頻度を求めるに際し
ては、1分以上継続してガスを使用しているとき、これ
を1回の使用として検出(計数)するようにしたり、ガ
スの使用回数そのものを検出(計数)するようにしても
良い。但し、この場合には、1時間に亘って連続してガ
スを使用した場合と、1分間に亘って1回だけガスを使
用した場合との区別ができなくなる虞がある。しかしこ
のような状況が連続して毎日続くことは希なので、時間
帯毎にその使用回数を学習し、平均的な使用回数を求め
るようにすれば、その使用頻度に応じたサンプリング間
隔の制御を効果的に行うことが可能となる。また時間帯
の区分についても1時間単位とすることも可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, when determining the flow frequency of a fluid, if the gas is continuously used for 1 minute or more, it may be detected (counted) as one use, or the number of times the gas has been used is detected (counted). ). However, in this case, it may not be possible to distinguish between the case where the gas is continuously used for 1 hour and the case where the gas is used only once for 1 minute. However, since such a situation rarely continues every day, if the number of times of use is learned for each time period and the average number of times of use is obtained, the sampling interval can be controlled according to the frequency of use. It becomes possible to do effectively. It is also possible to divide the time zone into hour units.

【0036】更にはガス未使用時におけるサンプリング
間隔を、更に大きな幅に亘って可変設定することも勿論
可能である。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範
囲で種々変形して実施することができる。
Furthermore, it is of course possible to variably set the sampling interval when the gas is not used, over a wider width. In addition, the present invention can be variously modified and implemented without departing from the scope of the invention.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、流
量がゼロのときのヒータ素子の通電時間間隔を十分に長
く設定することができるので、その分、ヒータ素子の発
熱駆動に要する電力を少なくすることができ、その省電
力化を図り得る。しかも流体の通流頻度に応じてヒータ
素子の発熱駆動間隔を可変設定するので、流体の通流が
開始した際のヒータの発熱駆動の遅れを十分に短くする
ことができ、その計測精度を殆ど損なうことがない等の
実用上多大なる効果が奏せられる。
As described above, according to the present invention, the energization time interval of the heater element when the flow rate is zero can be set to be sufficiently long. Can be reduced and the power can be saved. Moreover, since the heat generation drive interval of the heater element is variably set according to the flow frequency of the fluid, the heat generation drive delay of the heater when the flow of the fluid is started can be sufficiently shortened, and the measurement accuracy thereof is almost the same. There are practically great effects such as no damage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る熱式流量計の要部概
略構成図。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a main part of a thermal type flow meter according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す熱式流量計の基本動作を示すタイミ
ング図。
FIG. 2 is a timing diagram showing a basic operation of the thermal type flow meter shown in FIG.

【図3】図1に示す熱式流量計における概略的な処理動
作の一例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a schematic processing operation in the thermal type flow meter shown in FIG.

【図4】マイクロフローセンサの概略構成図。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a microflow sensor.

【図5】従来の一般的なヒータ駆動回路と流量検出回路
の構成例を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of a conventional general heater drive circuit and a flow rate detection circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Rh ヒータ素子 Ru 温度センサ(上流側) Rd 温度センサ(下流側) Rr 温度センサ(周囲温度計測用) 1 ブリッジ回路(ヒータ駆動用) 2 差動増幅器 3 ブリッジ回路(流量計測用) 4 差動増幅器 10 マイクロフローセンサ 11 ヒータ駆動回路 12 検出回路 20 CPU 21 サンプリング手段 22 流量検出手段 23 使用回数積算手段 24 サンプリング間隔設定手段 25 24時間タイマ 30 メモリ 31 使用回数テーブル Rh heater element Ru temperature sensor (upstream side) Rd temperature sensor (downstream side) Rr temperature sensor (for ambient temperature measurement) 1 bridge circuit (for driving the heater) 2 differential amplifier 3 bridge circuit (for flow rate measurement) 4 differential amplifier 10 Micro flow sensor 11 Heater drive circuit 12 Detection circuit 20 CPU 21 Sampling means 22 Flow rate detection means 23 Usage count integration means 24 Sampling interval setting means 25 24 hour timer 30 memory 31 Usage count table

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヒータ素子と、このヒータ素子を間にし
て流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2
の温度センサとを備えた流量センサと、 所定の時間間隔毎に前記ヒータ素子を通電加熱すると共
に、該ヒータ素子の通電加熱時に前記第1および第2の
温度センサによりそれぞれ検出される温度の差から前記
流量センサを通流する流体の流量を求める流量検出手段
と、 所定の単位時間内における前記流量センサを通流する流
体の通流頻度に応じて前記流量センサに流体が通流して
いないときの前記ヒータ素子の通電時間間隔を可変設定
する時間間隔設定手段とを具備したことを特徴とする熱
式流量計。
1. A heater element and first and second heater elements provided in the fluid flow direction with the heater element interposed therebetween.
And a temperature sensor for electrically heating the heater element at predetermined time intervals, and a difference in temperature detected by each of the first and second temperature sensors when electrically heating the heater element. Flow rate detection means for determining the flow rate of the fluid flowing through the flow rate sensor, and when the fluid does not flow through the flow rate sensor according to the flow frequency of the fluid flowing through the flow rate sensor within a predetermined unit time And a time interval setting means for variably setting an energization time interval of the heater element.
【請求項2】 前記時間間隔設定手段は、前記流量セン
サに流体が通流していないときの前記ヒータ素子の通電
時間間隔を、前記流量センサに流体が通流しているとき
の前記ヒータ素子の通電時間間隔よりも長い時間幅の範
囲において可変設定するものである請求項1に記載の熱
式流量計。
2. The time interval setting means sets an energization time interval of the heater element when a fluid is not flowing through the flow rate sensor, and an energization of the heater element when a fluid is flowing through the flow rate sensor. The thermal flow meter according to claim 1, wherein the thermal flow meter is variably set within a range of a time width longer than the time interval.
【請求項3】 前記時間間隔設定手段は、前記所定の単
位時間内において前記流量検出手段により検出される流
量がゼロでないときの回数を前記流通頻度として求める
計数手段と、 この計数手段により求められた計測回数が予め設定した
設定回数よりも多いときには前記ヒータ素子の通電時間
間隔を短く設定し、上記計測回数が上記設定回数よりも
少ないときには前記ヒータ素子の通電時間間隔を長く設
定する時間間隔変更手段とからなる請求項2に記載の熱
式流量計。
3. The time interval setting means is a counting means for calculating, as the distribution frequency, the number of times when the flow rate detected by the flow rate detecting means is not zero within the predetermined unit time, and the counting means. When the number of measurements is greater than a preset number of times, the energization time interval of the heater element is set short, and when the number of measurements is less than the set number of times, the energization time interval of the heater element is set long. The thermal flow meter according to claim 2, further comprising:
【請求項4】 前記流量検出手段は、前記ヒータ素子の
通電時間間隔の制御に連動して前記第1および第2の温
度センサによる温度検出のタイミングを可変するもので
ある請求項1に記載の熱式流量計。
4. The flow rate detection means varies the timing of temperature detection by the first and second temperature sensors in association with control of the energization time interval of the heater element. Thermal flow meter.
【請求項5】 前記所定の単位時間は、1日を複数の時
間帯に区分して設定されるものである請求項1に記載の
熱式流量計。
5. The thermal type flow meter according to claim 1, wherein the predetermined unit time is set by dividing one day into a plurality of time zones.
【請求項6】 前記流量検出手段は、区分設定された時
間帯に応じて前記第1および第2の温度センサによる温
度検出のタイミングを可変するものである請求項5に記
載の熱式流量計。
6. The thermal type flow meter according to claim 5, wherein the flow rate detecting means varies the timing of temperature detection by the first and second temperature sensors in accordance with a time zone set by division. .
【請求項7】 前記時間間隔設定手段は、複数の時間帯
毎に前記流量検出手段により検出される流量がゼロでな
いときの回数を記憶する共に、前記流量検出手段により
検出される流量がゼロのとき、現在の時間帯と同じ時間
帯における過去の計測回数に応じて前記ヒータ素子の通
電時間間隔を設定するものである請求項1に記載の熱式
流量計。
7. The time interval setting means stores the number of times when the flow rate detected by the flow rate detection means is not zero for each of a plurality of time zones, and the flow rate detected by the flow rate detection means is zero. At this time, the thermal type flow meter according to claim 1, wherein the energization time interval of the heater element is set according to the number of past measurements in the same time zone as the current time zone.
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