JP2003119034A - ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス微粒子堆積体製造装置内へ安定してク
リーンなエアを供給でき、不純物ガスの混入を防ぎ、ガ
ラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減することが
できる製造方法及びそのための装置を提供すること。 【解決手段】 製造建屋内に設置されたガラス微粒子堆
積体製造装置を使用し、ガラス微粒子合成用バーナで生
成させたガラス微粒子を出発ロッドに堆積させてガラス
微粒子堆積体を製造する方法において、前記建屋外に開
口する吸気口から空気を取り入れて浄化するクリーンエ
ア発生器で発生させたクリーンエアを前記装置内へ導入
しながらガラス微粒子の堆積を行うことを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。
リーンなエアを供給でき、不純物ガスの混入を防ぎ、ガ
ラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減することが
できる製造方法及びそのための装置を提供すること。 【解決手段】 製造建屋内に設置されたガラス微粒子堆
積体製造装置を使用し、ガラス微粒子合成用バーナで生
成させたガラス微粒子を出発ロッドに堆積させてガラス
微粒子堆積体を製造する方法において、前記建屋外に開
口する吸気口から空気を取り入れて浄化するクリーンエ
ア発生器で発生させたクリーンエアを前記装置内へ導入
しながらガラス微粒子の堆積を行うことを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は気相合成法によるガ
ラス微粒子堆積体の製造方法及び装置、特に製造装置内
への不純物ガスの流入を防止したガラス微粒子堆積体の
製造方法及び装置に関する。
ラス微粒子堆積体の製造方法及び装置、特に製造装置内
への不純物ガスの流入を防止したガラス微粒子堆積体の
製造方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＯＶＤ法（外付け法）などの気相合成法
によるガラス微粒子堆積体の製造方法においては、ガラ
ス微粒子合成用バーナにガラス原料となるＳｉＣｌ4 や
ＧｅＣｌ4 を供給し、火炎加水分解反応により生成する
ＳｉＯ2 やＧｅＯ2 などのガラス微粒子を回転する出発
ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する。こ
のような製造方法においては、ガラス微粒子の堆積を行
う製造装置内にダストや金属を腐食する不純物ガスを含
む外気が流入すると、装置内部の金属が腐食して装置内
部雰囲気中の金属系のダスト数が増加し、このような雰
囲気下でガラス微粒子の堆積を行うと、ガラス微粒子堆
積体中に金属系異物が混入する。このようなガラス微粒
子堆積体を脱水、透明ガラス化して得られる光ファイバ
母材は前記の気泡や異物に基づく異常点が存在し、線引
き後のファイバ強度試験時に断線が多発する。
によるガラス微粒子堆積体の製造方法においては、ガラ
ス微粒子合成用バーナにガラス原料となるＳｉＣｌ4 や
ＧｅＣｌ4 を供給し、火炎加水分解反応により生成する
ＳｉＯ2 やＧｅＯ2 などのガラス微粒子を回転する出発
ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する。こ
のような製造方法においては、ガラス微粒子の堆積を行
う製造装置内にダストや金属を腐食する不純物ガスを含
む外気が流入すると、装置内部の金属が腐食して装置内
部雰囲気中の金属系のダスト数が増加し、このような雰
囲気下でガラス微粒子の堆積を行うと、ガラス微粒子堆
積体中に金属系異物が混入する。このようなガラス微粒
子堆積体を脱水、透明ガラス化して得られる光ファイバ
母材は前記の気泡や異物に基づく異常点が存在し、線引
き後のファイバ強度試験時に断線が多発する。
【０００３】ガラス微粒子堆積中に堆積体微粒子に異物
が付着するのを防止する方法は種々検討されており、ガ
ラス微粒子の堆積中に反応装置内へクリーンエアを導入
する方法も提案されている。例えば特開平５−１１６９
７９号公報には、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の
製造時に、コア用ガラス棒の全長にわたって清浄ガス流
を吹き付けて火炎が当たっていない部分に異物が付着す
るのを防止する方法が開示されている。
が付着するのを防止する方法は種々検討されており、ガ
ラス微粒子の堆積中に反応装置内へクリーンエアを導入
する方法も提案されている。例えば特開平５−１１６９
７９号公報には、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の
製造時に、コア用ガラス棒の全長にわたって清浄ガス流
を吹き付けて火炎が当たっていない部分に異物が付着す
るのを防止する方法が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなクリーエア
を使用する方法の場合、通常は高性能フィルターを有す
るクリーンエア発生器を用いてダスト数を低減した空気
が使用される。ガラス微粒子堆積体の製造装置は、通
常、後工程のガラス微粒子堆積体を高温加熱して、透明
ガラス化を行う焼結装置などの関連装置と同一建屋内に
設置されている。これらの装置では塩素系ガス、ＳｉＣ
ｌ4 、ＧｅＣｌ4 、Ｃｌ2 、ＳｉＦ4 などの金属を腐食
させるガスが多用されており、何らかのトラブルが生じ
た場合にはこれらの特殊ガスが漏れ出す場合もあり、そ
れらがクリーンエア発生器に吸気されてクリーンエア発
生器を損傷させたり、クリーンエアに含まれた形でガラ
ス微粒子堆積体製造装置内へ混入し、該装置の内部の金
属材を腐食させて異物発生の原因となる場合がある。
を使用する方法の場合、通常は高性能フィルターを有す
るクリーンエア発生器を用いてダスト数を低減した空気
が使用される。ガラス微粒子堆積体の製造装置は、通
常、後工程のガラス微粒子堆積体を高温加熱して、透明
ガラス化を行う焼結装置などの関連装置と同一建屋内に
設置されている。これらの装置では塩素系ガス、ＳｉＣ
ｌ4 、ＧｅＣｌ4 、Ｃｌ2 、ＳｉＦ4 などの金属を腐食
させるガスが多用されており、何らかのトラブルが生じ
た場合にはこれらの特殊ガスが漏れ出す場合もあり、そ
れらがクリーンエア発生器に吸気されてクリーンエア発
生器を損傷させたり、クリーンエアに含まれた形でガラ
ス微粒子堆積体製造装置内へ混入し、該装置の内部の金
属材を腐食させて異物発生の原因となる場合がある。
【０００５】本発明はこのような従来技術における問題
を解決し、ガラス微粒子堆積体製造装置が設置された建
屋内において金属腐食性ガスの漏洩があった場合でも、
ガラス微粒子堆積体製造装置内への不純物ガスの混入を
防ぎ、ガラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減す
ることができるガラス微粒子堆積体の製造方法及びその
ための装置を提供しようとするものである。
を解決し、ガラス微粒子堆積体製造装置が設置された建
屋内において金属腐食性ガスの漏洩があった場合でも、
ガラス微粒子堆積体製造装置内への不純物ガスの混入を
防ぎ、ガラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減す
ることができるガラス微粒子堆積体の製造方法及びその
ための装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
する手段として次の（１）及び（２）の方法及び装置を
提供するものである。 （１）建屋内に設置されたガラス微粒子堆積体製造装置
を使用し、ガラス微粒子合成用バーナにガラス原料を供
給して火炎加水分解し生成するガラス微粒子を回転する
出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する
方法において、前記建屋外に開口する吸気口から空気を
取り入れて浄化するクリーンエア発生器で発生させたク
リーンエアを前記装置内へ導入しながらガラス微粒子の
堆積を行うことを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造
方法。
する手段として次の（１）及び（２）の方法及び装置を
提供するものである。 （１）建屋内に設置されたガラス微粒子堆積体製造装置
を使用し、ガラス微粒子合成用バーナにガラス原料を供
給して火炎加水分解し生成するガラス微粒子を回転する
出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する
方法において、前記建屋外に開口する吸気口から空気を
取り入れて浄化するクリーンエア発生器で発生させたク
リーンエアを前記装置内へ導入しながらガラス微粒子の
堆積を行うことを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造
方法。
【０００７】（２）建屋内に設置されたガラス微粒子堆
積体製造装置であって、ガラス微粒子合成用バーナにガ
ラス原料を供給して火炎加水分解し生成するガラス微粒
子を回転する出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積
体を製造する装置において、前記建屋外に開口する吸気
口から空気を取り入れて浄化するクリーンエア発生器で
発生させたクリーンエアを導入するクリーンエア導入管
が接続されていることを特徴とするガラス微粒子堆積体
の製造装置。
積体製造装置であって、ガラス微粒子合成用バーナにガ
ラス原料を供給して火炎加水分解し生成するガラス微粒
子を回転する出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積
体を製造する装置において、前記建屋外に開口する吸気
口から空気を取り入れて浄化するクリーンエア発生器で
発生させたクリーンエアを導入するクリーンエア導入管
が接続されていることを特徴とするガラス微粒子堆積体
の製造装置。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の方法及び装置をＯ
ＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を製造する場合を例に
とって、図面を参照して説明する。図１は本発明の１実
施態様に係る装置構成の概要を模式的に示す説明図であ
る。図１のガラス微粒子堆積体製造装置（以下、単に堆
積体製造装置とも記載する）１の主要部は、複数本（こ
の例では３本）のバーナ５と排気管６を有する反応容器
２と、上部にガラス微粒子堆積体１５の出し入れを行う
ための上蓋を有する上煙突３と、ガラス微粒子堆積体１
５を往復運動させるための下煙突４で構成されている。
上煙突３及び下煙突４にはクリーンエア（ＣＡ）発生器
７からのクリーンエア（ＣＡ）を導入するＣＡ導入管９
が取付けられている。ＣＡ導入管９は上煙突３又は下煙
突４のどちらか一方に取付ける形とすることもできる。
ＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を製造する場合を例に
とって、図面を参照して説明する。図１は本発明の１実
施態様に係る装置構成の概要を模式的に示す説明図であ
る。図１のガラス微粒子堆積体製造装置（以下、単に堆
積体製造装置とも記載する）１の主要部は、複数本（こ
の例では３本）のバーナ５と排気管６を有する反応容器
２と、上部にガラス微粒子堆積体１５の出し入れを行う
ための上蓋を有する上煙突３と、ガラス微粒子堆積体１
５を往復運動させるための下煙突４で構成されている。
上煙突３及び下煙突４にはクリーンエア（ＣＡ）発生器
７からのクリーンエア（ＣＡ）を導入するＣＡ導入管９
が取付けられている。ＣＡ導入管９は上煙突３又は下煙
突４のどちらか一方に取付ける形とすることもできる。
【０００９】ＣＡ発生器７は要求されるクリーンエア中
のダスト数に応じたダスト除去能力を有する高性能フィ
ルタを備えた空気浄化装置であり、吸気口８から取り入
れた空気をろ過してダストを除去し、クリーンエアとし
て接続管１０、ＣＡ導入管９を経由して装置内へ供給す
る装置であり、一般にクリーンルーム用として使用され
ているものが使用できる。この例においてＣＡ発生器７
の吸気口８は堆積体製造装置１が設置されている建屋の
外に開口している。
のダスト数に応じたダスト除去能力を有する高性能フィ
ルタを備えた空気浄化装置であり、吸気口８から取り入
れた空気をろ過してダストを除去し、クリーンエアとし
て接続管１０、ＣＡ導入管９を経由して装置内へ供給す
る装置であり、一般にクリーンルーム用として使用され
ているものが使用できる。この例においてＣＡ発生器７
の吸気口８は堆積体製造装置１が設置されている建屋の
外に開口している。
【００１０】この装置においてガラスロッド１３の上下
にそれぞれダミーロッド１４を溶着して作製した出発ロ
ッドを、支持棒１１で保持して昇降装置１２により回転
させつつ上下に往復運動させながら、周囲にバーナ５で
合成されるガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積
体１５を製造する。バーナ５としてはＳｉＣｌ4 などの
ガラス原料噴出ポート、Ｈ2 などの可燃性ガス噴出ポー
ト、Ｏ2 などの助燃性ガス噴出ポート及びＡｒなどの不
活性ガス噴出ポートを備えたガラス微粒子合成用バーナ
が好適に使用できる。
にそれぞれダミーロッド１４を溶着して作製した出発ロ
ッドを、支持棒１１で保持して昇降装置１２により回転
させつつ上下に往復運動させながら、周囲にバーナ５で
合成されるガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積
体１５を製造する。バーナ５としてはＳｉＣｌ4 などの
ガラス原料噴出ポート、Ｈ2 などの可燃性ガス噴出ポー
ト、Ｏ2 などの助燃性ガス噴出ポート及びＡｒなどの不
活性ガス噴出ポートを備えたガラス微粒子合成用バーナ
が好適に使用できる。
【００１１】ガラス微粒子が堆積している期間を通し
て、ＣＡ発生器７から堆積体製造装置１が設置されてい
る建屋外から吸気した空気をろ過したクリーンエアを堆
積体製造装置１内へ供給するようにする。これにより何
らかのトラブルにより堆積体製造装置１が設置されてい
る建屋内にガラス原料ガスやガラス微粒子堆積体の脱
水、透明ガラス化などの際に発生する腐食性ガスなどが
漏洩した場合でも、これらのガスがＣＡ発生器７に吸気
され、ＣＡ発生器７自体あるいは堆積体製造装置１の内
部を腐食させることがなく、クリーンな環境下でガラス
微粒子の堆積を行うことができる。
て、ＣＡ発生器７から堆積体製造装置１が設置されてい
る建屋外から吸気した空気をろ過したクリーンエアを堆
積体製造装置１内へ供給するようにする。これにより何
らかのトラブルにより堆積体製造装置１が設置されてい
る建屋内にガラス原料ガスやガラス微粒子堆積体の脱
水、透明ガラス化などの際に発生する腐食性ガスなどが
漏洩した場合でも、これらのガスがＣＡ発生器７に吸気
され、ＣＡ発生器７自体あるいは堆積体製造装置１の内
部を腐食させることがなく、クリーンな環境下でガラス
微粒子の堆積を行うことができる。
【００１２】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものでは
ない。 （実施例１）図１に示す構成のガラス微粒子堆積体製造
装置１を使用してガラス微粒子堆積体の製造を行った。
コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍ、長さ５００ｍ
ｍのコアロッド（ガラスロッド１３）を用い、両側に石
英ガラス製のダミーロッド１４を溶着して出発ロッドを
作製した。該出発ロッドを４０ｒｐｍで回転させながら
鉛直に設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００
ｍｍトラバース運動させながらガラス微粒子合成用のバ
ーナ５から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体１５を作製した。ガラス微粒子の堆積の
間、吸気口８が建屋外に開口するＣＡ発生器７から大き
さ０．３μｍ以上ののダスト数が１００個／ＣＦ（約
０．００３５個／ｃｍ3 ）のクリーンエア（ダスト数は
レーザパーティクルカウンタを用いて粒子からの散乱光
強度により測定）を導入し、反応容器２内を−２０Ｐａ
の負圧に保持した。
説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものでは
ない。 （実施例１）図１に示す構成のガラス微粒子堆積体製造
装置１を使用してガラス微粒子堆積体の製造を行った。
コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍ、長さ５００ｍ
ｍのコアロッド（ガラスロッド１３）を用い、両側に石
英ガラス製のダミーロッド１４を溶着して出発ロッドを
作製した。該出発ロッドを４０ｒｐｍで回転させながら
鉛直に設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００
ｍｍトラバース運動させながらガラス微粒子合成用のバ
ーナ５から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体１５を作製した。ガラス微粒子の堆積の
間、吸気口８が建屋外に開口するＣＡ発生器７から大き
さ０．３μｍ以上ののダスト数が１００個／ＣＦ（約
０．００３５個／ｃｍ3 ）のクリーンエア（ダスト数は
レーザパーティクルカウンタを用いて粒子からの散乱光
強度により測定）を導入し、反応容器２内を−２０Ｐａ
の負圧に保持した。
【００１３】バーナ５としては直径３０ｍｍのバーナを
１５０ｍｍの間隔で３本設置し、それぞれのバーナ５に
は原料となるＳｉＣｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリッ
トル／分）、火炎を形成するためのＨ2 ：８０ＳＬＭ及
びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ：２
ＳＬＭを供給し、目標の堆積重量（６．０ｋｇ）のガラ
ス微粒子堆積体１５を製造する操作を繰り返し行った。
連続製造の途中で建屋内の堆積体製造装置１でＳｉＣｌ
4 ガスの漏れが発生したが、ＣＡ導入管９などの各種装
置部品が腐食することはなく、操業を続行することがで
きた。製造したガラス微粒子堆積体１５を高温加熱して
透明ガラス化させた後、ファイバ化を順次行ったが、ガ
ス漏れ前後のプリフォームで、スクリーニング試験（フ
ァイバ長手方向で約２％の引き伸び率となる荷重を負荷
（１．９ｋｇで１秒間）して低強度部を除去するための
ファイバ強度試験）の断線頻度は変化せず、平均で１０
０ｋｍで１回という頻度であった。
１５０ｍｍの間隔で３本設置し、それぞれのバーナ５に
は原料となるＳｉＣｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリッ
トル／分）、火炎を形成するためのＨ2 ：８０ＳＬＭ及
びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ：２
ＳＬＭを供給し、目標の堆積重量（６．０ｋｇ）のガラ
ス微粒子堆積体１５を製造する操作を繰り返し行った。
連続製造の途中で建屋内の堆積体製造装置１でＳｉＣｌ
4 ガスの漏れが発生したが、ＣＡ導入管９などの各種装
置部品が腐食することはなく、操業を続行することがで
きた。製造したガラス微粒子堆積体１５を高温加熱して
透明ガラス化させた後、ファイバ化を順次行ったが、ガ
ス漏れ前後のプリフォームで、スクリーニング試験（フ
ァイバ長手方向で約２％の引き伸び率となる荷重を負荷
（１．９ｋｇで１秒間）して低強度部を除去するための
ファイバ強度試験）の断線頻度は変化せず、平均で１０
０ｋｍで１回という頻度であった。
【００１４】（比較例１）ＣＡ発生器７の設置位置を、
吸気口８が堆積体製造装置１と同じ建屋内で、該装置上
蓋より１ｍ上方に開口するようにした他は実施例１と同
様にして、ガラス微粒子堆積体１５の製造を繰り返し行
った。連続製造の途中で建屋内の堆積体製造装置１でＳ
ｉＣｌ4 ガスの漏れが発生した結果、ＣＡ導入管９等の
各種装置部品に腐食が発生した。製造したガラス微粒子
堆積体１５を高温加熱して透明ガラス化させた後、ファ
イバ化を順次行ったところ、ガス漏れ前後のプリフォー
ムでスクリーニング試験時の断線頻度が変化し、ガス漏
れ前で１００ｋｍで１回、ガス漏れ後では１００ｋｍで
１０回という結果となった。
吸気口８が堆積体製造装置１と同じ建屋内で、該装置上
蓋より１ｍ上方に開口するようにした他は実施例１と同
様にして、ガラス微粒子堆積体１５の製造を繰り返し行
った。連続製造の途中で建屋内の堆積体製造装置１でＳ
ｉＣｌ4 ガスの漏れが発生した結果、ＣＡ導入管９等の
各種装置部品に腐食が発生した。製造したガラス微粒子
堆積体１５を高温加熱して透明ガラス化させた後、ファ
イバ化を順次行ったところ、ガス漏れ前後のプリフォー
ムでスクリーニング試験時の断線頻度が変化し、ガス漏
れ前で１００ｋｍで１回、ガス漏れ後では１００ｋｍで
１０回という結果となった。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、ガラス微粒子堆積体製
造装置内への不純物ガスの混入を防ぎ、ガラス微粒子堆
積体中に混入する異物数を低減することができ、ガラス
微粒子堆積体製造装置が設置されている建屋内におい
て、何らかのトラブルにより塩素系ガス、ＳｉＣｌ4 、
ＧｅＣｌ4 、Ｃｌ2 、ＳｉＦ4 などの腐食性ガスが漏洩
が生じた場合でもガラス微粒子堆積体中に混入する異物
数が増加することがないガラス微粒子堆積体の製造方法
及びそのための装置が提供される。
造装置内への不純物ガスの混入を防ぎ、ガラス微粒子堆
積体中に混入する異物数を低減することができ、ガラス
微粒子堆積体製造装置が設置されている建屋内におい
て、何らかのトラブルにより塩素系ガス、ＳｉＣｌ4 、
ＧｅＣｌ4 、Ｃｌ2 、ＳｉＦ4 などの腐食性ガスが漏洩
が生じた場合でもガラス微粒子堆積体中に混入する異物
数が増加することがないガラス微粒子堆積体の製造方法
及びそのための装置が提供される。
【図１】本発明の１実施態様に係る装置構成の概要を模
式的に示す説明図。
式的に示す説明図。
Claims (2)
- 【請求項１】 建屋内に設置されたガラス微粒子堆積体
製造装置を使用し、ガラス微粒子合成用バーナにガラス
原料を供給して火炎加水分解し生成するガラス微粒子を
回転する出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を
製造する方法において、前記建屋外に開口する吸気口か
ら空気を取り入れて浄化するクリーンエア発生器で発生
させたクリーンエアを前記装置内へ導入しながらガラス
微粒子の堆積を行うことを特徴とするガラス微粒子堆積
体の製造方法。 - 【請求項２】 建屋内に設置されたガラス微粒子堆積体
製造装置であって、ガラス微粒子合成用バーナにガラス
原料を供給して火炎加水分解し生成するガラス微粒子を
回転する出発ロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を
製造する装置において、前記建屋外に開口する吸気口か
ら空気を取り入れて浄化するクリーンエア発生器で発生
させたクリーンエアを導入するクリーンエア導入管が接
続されていることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001315279A JP2003119034A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001315279A JP2003119034A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003119034A true JP2003119034A (ja) | 2003-04-23 |
Family
ID=19133471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001315279A Pending JP2003119034A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003119034A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170040740A (ko) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재의 제조 장치 |
| US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
-
2001
- 2001-10-12 JP JP2001315279A patent/JP2003119034A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
| KR20170040740A (ko) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재의 제조 장치 |
| JP2017071513A (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
| CN106986534A (zh) * | 2015-10-05 | 2017-07-28 | 信越化学工业株式会社 | 多孔玻璃预制件的制造设备 |
| CN106986534B (zh) * | 2015-10-05 | 2021-06-08 | 信越化学工业株式会社 | 多孔玻璃预制件的制造设备 |
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