JP2003169461A

JP2003169461A - リニアモータ電機子およびリニアモータ

Info

Publication number: JP2003169461A
Application number: JP2001367067A
Authority: JP
Inventors: Shusaku Yoshida; 秀作吉田; Akio Sakai; 明雄坂井; Yuji Nitta; 裕治新田; Takao Fujii; 崇男藤井
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2001-11-30
Filing date: 2001-11-30
Publication date: 2003-06-13
Anticipated expiration: 2021-11-30
Also published as: WO2003047075A1; US20040262999A1; US7345384B2; JP4038652B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の不活性冷媒を使用しつつ、冷媒流路に改
良を加えることにより、キャンの変形を防止し、リニア
モータの温度上昇を大幅に低減することができる冷却能
力の高いリニアモータ電機子およびリニアモータを提供
する。【解決手段】リニアモータにおいて、キャンを内側キャ
ン２と外側キャン３とからなる２層構造とし、各々のキ
ャンにより、電機子巻線９と内側キャン２の間に形成さ
れる内側流路７と、内側キャン２と外側キャン３の間に
形成される外側流路８とを構成する。各々のキャン２、
３における冷媒供給口５の近傍には、冷媒供給口５から
供給された冷媒が内側流路７と外側流路８とに分岐して
流れるように、内側流路７と外側流路８とを連通する連
通部７Ａ、８Ａが設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造用の投影露光装置、形状計測装置あるいは高精度加工
機などに使用されるリニアモータ電機子およびリニアモ
ータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子、液晶表示素子等を製造する
ためのファトリソグラフィー工程で使用される投影露光
装置（ステッパー）、ウェハ等被加工物を計測するため
の形状計測装置、あるいは高精度加工機などの精密位置
決めが要求される装置では、それらの駆動源であるリニ
アモータからの発熱が装置性能に悪影響を及ぼす。詳し
く説明すると、該リニアモータの電機子巻線から発生し
た熱によって、電機子巻線の支持体や周囲の構造体、雰
囲気が加熱されて昇温し、リニアモータにより駆動され
るＸＹステージの位置決め精度が著しく低下する。この
ようなリニアモータの電機子巻線の温度変化を防止する
ため、電機子巻線を強制冷却する冷却機構を備えたリニ
アモータは、例えば本出願人により出願された実開平６
−０４１３８１号公報、実開平６−７０４８４号公報の
なかで開示されている。

【０００３】図７は従来技術の一例を示すリニアモータ
の全体斜視図で、界磁側を可動子に、電機子側を固定子
とした可動磁石形リニアモータの例である。図７におい
て、１２は可動子、１３は可動子ベース、１４はヨー
ク、１５は永久磁石、２１は固定子、２２は固定子ベー
ス、２４はヘッダ、２５は冷媒供給口、２６は冷媒排出
口、２７はキャンである。固定子２１は、固定子ベース
２２と、ヘッダ２４と、キャン２７と、電機子巻線（不
図示）とより構成される。キャン２７の両端に配置され
るヘッダ２４は、キャン２７両端のうち何れか一方端に
冷媒を供給するための冷媒供給口２５と、他方端に冷媒
を排出するための冷媒排出口２６を有している。また、
可動子１２は、可動子ベース１３と、ヨーク１４と、永
久磁石１５とより構成される。可動子１２は、図示しな
いリニアガイド等によって固定子２１に対して一定のク
リアランスを確保するよう支持されている。

【０００４】次に、固定子２１について詳しく説明す
る。図８は図７のＡ−Ａ線に沿う正断面図である。図８
において、２８は流路、２９は電機子巻線、３０は巻線
固定枠である。固定子２１は全体的に逆Ｔ字の形状を成
しており、固定子ベース２２の窪みに対して上向きにキ
ャン２７が支持されている。このキャン２７を密封して
いるヘッダ（不図示）、キャン２７およびヘッダ（不図
示）で作られる空間内には巻線固定枠３０が配置される
と共に、巻線固定枠３０の長手方向に沿って電機子巻線
２９が固定されている。そして、このキャン２７の中を
冷媒が通過するための流路２８が設けられている。それ
から、キャン２７は磁界内に配置されることから、非磁
性材料例えばステンレス、樹脂、セラミックスが使用さ
れる。

【０００５】このような構成において、所定の電流を電
機子巻線２９に通電することにより、永久磁石１５の作
る磁界と作用して可動子１２には推力が発生する。そし
て、図7に示すように可動子１２は矢印で示す進行方向
に移動可能となる。

【０００６】それから、冷媒を固定子２１に設けた冷媒
供給口２５から供給し、冷媒排出口２６から排出するこ
とにより、冷媒は電機子巻線２９とキャン２７によって
形成される流路２８を流れ、銅損によって発熱した電機
子巻線２９の発熱を回収しモータ表面の温度上昇を低く
抑えるようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の技術
では、冷媒流量を一定にして電機子巻線２９の冷却能力
を上げるためには、冷媒に高い熱吸収効率が要求され
る。しかし、電機子巻線２９の絶縁特性を確保するた
め、冷媒は化学的に不活性であることが望まれるが、一
般的に不活性冷媒は熱吸収効率が悪い。

【０００８】また、冷媒流量を増すことで冷却能力を上
げることも可能であるが、冷媒の圧力によりキャンが変
形すること、熱吸収効率の悪い不活性冷媒であること、
装置制約を受けることにより限界があった。

【０００９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、従来の不活性冷媒を使用しつつ、冷媒
流路に改良を加えることにより、キャンの変形を防止
し、リニアモータの温度上昇を大幅に低減することがで
きる冷却能力の高いリニアモータ電機子およびリニアモ
ータを提供することを目的とする。

【００１０】

【問題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１の本発明は、電機子巻線と、前記電機子巻
線を覆うように設けられたキャンとを備え、前記電機子
巻線の周囲に冷媒を流して冷却するようにしたリニアモ
ータ電機子であって、前記キャンは、内側キャンと外側
キャンとからなる２層構造で構成されると共に、前記電
機子巻線と前記内側キャンの間に形成される内側流路
と、前記内側キャンと前記外側キャンの間に形成される
外側流路とを備えており、前記キャンの両端部は、一方
端が冷媒供給口となり、他方端が冷媒排出口となるよう
に配設されたヘッダを有しており、前記キャンの冷媒供
給口近傍には、前記冷媒供給口から供給された冷媒が前
記内側流路と前記外側流路とに分岐して流れるように、
前記内側流路と前記外側流路とを連通する連通部を設け
てある。

【００１１】また、請求項２の本発明は、電機子巻線
と、前記電機子巻線を覆うように設けられたキャンとを
備え、前記電機子巻線の周囲に冷媒を流して冷却するよ
うにしたリニアモータ電機子であって、前記キャンは、
内側キャンと外側キャンとからなる２層構造で構成され
ると共に、前記電機子巻線と前記内側キャンの間に形成
される内側流路と、前記内側キャンと前記外側キャンの
間に形成される外側流路とを備えており、前記キャンの
一方端には、少なくとも冷媒供給口および冷媒排出口を
有したヘッダが設けてあり、前記内側キャンには、前記
冷媒供給口が配設される側と反対側の他方端に、前記冷
媒供給口から供給された冷媒が前記外側流路を介して前
記内側流路に折り返して流れるように、前記外側流路と
前記内側流路とを連通する連通部を設けてある。

【００１２】請求項３の本発明は、請求項１記載のリニ
アモータ電機子において、前記ヘッダの冷媒排出口に、
前記内側流路用の冷媒排出口と接続するように設けた内
側排出配管と、該内側排出配管の外側を覆うように配設
されると共に前記外側流路用の冷媒排出口と接続するよ
うに外側キャン２および内側キャン３設けた外側排出配
管とが備えられ、冷媒を二層の状態で排出するようにし
たものである。

【００１３】また、請求項４の本発明は、請求項１、２
または３記載のリニアモータ電機子において、前記外側
キャンおよび前記内側キャンを矩形筒状に成形したもの
である。

【００１４】また、請求項５の発明は、請求項１、２ま
たは３記載のリニアモータ電機子において、前記外側キ
ャンおよび前記内側キャンを円筒状に成形したものであ
る。

【００１５】さらに、請求項６の本発明は、請求項１乃
至５の何れか１項に記載のリニアモータ電機子と、当該
電機子と空隙を介して互いに対向配置させた界磁部とを
備え、前記界磁部は、ヨークと、前記ヨーク上に交互に
極性が異なるように隣り合わせに複数個並べて配置させ
た永久磁石とで構成され、前記電機子と前記界磁部の何
れか一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とする
リニアモータとしたものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図に基づいて説
明する。図１は本発明の第１実施例を示す固定子に電機
子巻線を配置したリニアモータの部分側断面図、図２は
図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。図１および
図２において、１は固定子、２は内側キャン、３は外側
キャン、４はヘッダ、５は冷媒供給口、６は冷媒排出
口、７は内側流路、８は外側流路、９は電機子巻線、１
０は巻線固定枠、１１は端子台、１２は可動子、１３は
可動子ベース、１４はヨーク、１５は永久磁石である。
なお、電機子巻線９が巻線固定枠１０の長手方向に複数
個配置された点、可動子１２がヨーク１４と永久磁石１
５とで構成されると共に、図示しないリニアガイド等に
より支持された点は従来と同じである。

【００１７】本発明が従来技術と異なる点は、以下のと
おりである。すなわち、図８に示した従来技術のキャン
に替えて、図２に示すごとく当該キャンを内側キャン２
と外側キャン３とからなる２層構造とすると共に、この
外側キャン２および内側キャン３を矩形筒状に成形して
いる点である。そして、外側キャン２、内側キャン３は
電機子巻線９と内側キャン２の間に形成される内側流路
７と、内側キャン２と外側キャン３の間に形成される外
側流路８とを備えてある。なお、各々のキャン２、３
は、冷媒の漏れが無いよう溶接あるいはシール剤等で密
封締結されている。

【００１８】それから、図１に示すように各々のキャン
２、３における冷媒供給口５の近傍には、冷媒供給口５
から供給された冷媒が内側流路７と外側流路８とに分岐
して流れるように、内側流路７と外側流路８とを連通す
る連通部７Ａ、８Ａが設けられている。

【００１９】次に、リニアモータの冷却機構の動作につ
いて説明する。冷媒供給口５より供給された冷媒は連通
部７Ａ、８Ａに流れ込んだ後、内側流路７、外側流路８
にそれぞれ分岐され、固定子１のほぼ全長にわたり流れ
る。このとき、内側流路７に流れる冷媒は、従来技術と
同様に電機子巻線９を直接冷却し大半の熱回収を行な
う。一方、外側流路８を流れる冷媒は、内側流路７を流
れる冷媒で回収できなかった熱のみを同等の熱回収率で
回収するため、モータ表面に現れる温度上昇は格段に低
減される。

【００２０】第１実施例は上記の構成にしたので、内側
流路７と外側流路８を流れる冷媒は、固定子１のほぼ全
長においてお互い混ざり合うことはなく、内側流路７を
流れる冷媒は電機子巻線９を直接冷却し熱回収し、外側
流路８を流れる冷媒は、内側流路７での未回収分につい
て再度熱回収することから、不活性冷媒を使用しつつ、
冷媒流路に簡単な改良を加えることにより、リニアモー
タの表面温度上昇を大幅に低減することができる。ま
た、キャン内部に形成される冷媒流路を二層構造とし、
冷媒を内部で分岐させる構成にしたことで、冷却能力は
従来に比べて上がっているため、本発明は、従来に対し
て冷媒流量を制限（減少）させても、温度上昇の効果は
従来と等しく、結果としてキャンの変形を軽減すること
ができる。

【００２１】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図３は本発明の第２実施例を示す固定子に電機子巻
線を配置したリニアモータの部分側断面図である。な
お、図３におけるリニアモータのＡ−Ａ線に沿う正断面
図は、図２と同じである。また、第２実施例の構成要素
が第１実施例と同じものについては同一符号を付してそ
の説明を省略し、異なる点のみ説明する。

【００２２】第２実施例のうち、キャンが内側キャン２
と外側キャン３の２層構造で構成すると共に、電機子巻
線９と内側キャン２の間に形成される内側流路７と、内
側キャン２と外側キャン３の間に形成される外側流路８
とを備えた点は、第１実施例と同じである。これに対し
て、第２実施例が第１実施例と異なる点は、図３に示す
ごとくキャンの一方端に冷媒供給口５および冷媒排出口
６を有したヘッダ４が設けてあり、また、内側キャン２
には、冷媒供給口５が配設される側と反対側の他方端
に、冷媒供給口５から供給された冷媒が外側流路８を介
して、内側流路７に向かって折り返して流れるように、
外側流路８と内側流路７とを連通する、例えば冷媒折り
返し用穴１６などの連通部を設けた点である。

【００２３】次に、リニアモータの冷却機構の動作につ
いて説明する。冷媒供給口５から供給された冷媒は、内
側キャン２と外側キャン３で囲まれた外側流路８を通
り、固定子１のほぼ全長にわたり流れる。内側キャン２
には、冷媒供給口５が配設される側と反対側の他方端に
冷媒折返し用穴１６が形成されているため、冷媒が冷媒
折返し穴１６を通り、内側キャン２と電機子巻線９とか
らなる内側流路７へ流れ込む。このとき、冷媒折返し用
穴１６以外での内側流路７と外側流路８の冷媒の行き来
はなく、先に流れた外側流路８内の冷媒は、初期温度の
ままモータ表面を温度保護することになり、この後、内
側流路７に流れ込んだ冷媒は、電機子巻線９を直接冷却
しながら熱回収し、冷媒排出口６より排出される。

【００２４】第２実施例は上記の構成にしたので、冷媒
供給口５の反対端で折返した冷媒は内側流路に流れ込
み、熱回収を行ないながら冷媒排出口６より排出される
が、常に外側流路には新鮮な冷媒が供給され温度的に保
護していることから、第１実施例同様に不活性冷媒を使
用しつつ、冷媒流路に簡単な改良を加えることにより、
リニアモータの表面温度上昇を大幅に低減することがで
きる。また、キャン内部に形成される冷媒流路を二層構
造とし、冷媒を内部で折り返す構成にしたことで、冷却
能力は従来に比べて上がっているため、本発明は、従来
に対して冷媒流量を制限（減少）させても、温度上昇の
効果は従来と等しく、結果としてキャンの変形を軽減す
ることができる。

【００２５】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。図４は本発明の第３実施例を示すリニアモータ電機
子の側断面図であって、円筒形リニアモータの適用例で
ある。図４において、３１は第１内側キャン、３２は第
２内側キャン、３３は外側キャン、３４はヘッダ、３５
は冷媒供給口、３６は冷媒排出口、３７は第１内側流
路、３８は第２内側流路、３９は外側流路である。

【００２６】第３実施例の特徴は以下のとおりである。
すなわち、第１および第２実施例で示した矩形筒状に成
形された外側キャンおよび内側キャンに替えて、円筒状
に成形された第１内側キャン３１、第２内側キャン３２
および外側キャン３３とよりなるキャンを構成した点で
ある。また、各々のキャン３１、３２、３３における冷
媒供給口３５の近傍には、図４に示すごとく、冷媒供給
口３５から供給された冷媒が第１内側キャン３１、第２
内側キャン３２および外側キャン３３とよりなるキャン
に分岐するように連通させた構造となっている。なお、
冷却機構の動作については、第１実施例と基本的に同じ
であるため、説明を省略する。

【００２７】第３実施例は上記の構成にしたので、キャ
ン形状を円筒形としたことで、冷媒流量の圧力によって
応力分布が円周方向に均等化するため、第１および第２
実施例に比べて圧力変形耐力を一層向上することができ
る。また、圧力変形耐力が向上しているため、真空環境
や外的圧力が加わる環境下での使用も良好である。

【００２８】次に、本発明の第４実施例について説明す
る。図５は、本発明の第４実施例を示すリニアモータ電
機子の側断面図であって、円筒形リニアモータの適用例
である。なお、第４実施例の構成要素については基本的
に第３実施例と同じであるため、同一符号を付してその
説明を省略する。

【００２９】第４実施例は第３実施例と同じく、円筒状
に成形された第１内側キャン３１、第２内側キャン３２
および外側キャン３３とよりなるキャンを構成した点で
あり、図５に示すことく冷媒を供給口の反対側の端部で
折返す構造とした点で異なっている。なお、冷却機構の
動作については、第２実施例と基本的に同じであるた
め、説明を省略する。

【００３０】第４実施例は上記の構成にしたので、キャ
ン形状を円筒形としたことで、冷媒流量の圧力によって
応力分布が円周方向に均等化するため、第３実施例と同
様に圧力変形耐力を一層向上することができる。また、
圧力変形耐力が向上しているため、真空環境や外的圧力
が加わる環境下での使用も良好である。

【００３１】なお、第１実施例においては、キャンの他
方端に冷媒排出口６を有するヘッダを設けて、内側流路
７、外側流路８に対応した冷媒排出口６、６を介して外
部の図示しない配管に排出する構成を示したが、内側流
路７用の冷媒排出口６と、外側流路８用の冷媒排出口６
の端部に、冷媒を二層の状態で排出させる配管構成にし
ても構わない。図６は、本発明の別の実施例を示す冷媒
排出用の配管の取付状態を示した断面図である。すなわ
ち、図６において、ヘッダ４の冷媒排出口６に、内側流
路７用の冷媒排出口６と接続するように設けた内側排出
配管４１と、該内側排出配管４１の外側を覆うように配
設されると共に外側流路８用の冷媒排出口６と接続する
ように設けた外側排出配管４２とが備えられ、冷媒を二
層の状態で排出するようにする、内側排出配管４１と外
側排出配管４２とでなる空間には、外側流路８を流れる
比較的温度上昇が少ない冷媒が流れ、内側流路７を流れ
た熱回収済の冷媒を覆いながら図示しない冷媒循環装置
へ排出する。これにより、キャン内部で熱交換された冷
媒が、モータ本体以外の排出配管部の温度上昇をも大幅
低減することができる。このような手段は、第３実施例
に適用することも可能である。

【００３２】また、第２実施例において、連通部の一例
として冷媒折返し用穴１６を挙げているが、穴に限定す
るものではなく、冷媒供給側の反対端で冷媒が外側から
内側へ折返すことを特徴とする。

【００３３】また、リニアモータは、固定子あるいは可
動子の何れかの一方に電機子巻線、界磁部を配置する点
は、適宜選択が可能であることは言うまでもない。ま
た、通電方式についても直流通電、交流通電方式の限定
をするものではない。

【００３４】

【発明の効果】本発明の実施例によれば、以下のような
効果がある。（１）第１実施例は上記の構成にしたので、内側流路と
外側流路を流れる冷媒は、固定子のほぼ全長においてお
互い混ざり合うことはなく、内側流路を流れる冷媒は電
機子巻線を直接冷却し熱回収し、外側流路を流れる冷媒
は、内側流路での未回収分について再度熱回収すること
から、不活性冷媒を使用しつつ、冷媒流路に簡単な改良
を加えることにより、リニアモータの表面温度上昇を大
幅に低減することができる。また、キャン内部に形成さ
れる冷媒流路を二層構造とし、冷媒を内部で分岐させる
構成にしたことで、冷却能力は従来に比べて上がってい
るため、本発明は、従来に対して冷媒流量を制限（減
少）させても、温度上昇の効果は従来と等しく、結果と
してキャンの変形を軽減することができる。

【００３５】（２）第２実施例は上記の構成にしたの
で、冷媒供給口の反対端で折返した冷媒は内側流路に流
れ込み、熱回収を行ないながら冷媒排出口より排出され
るが、常に外側流路には新鮮な冷媒が供給され温度的に
保護していることから、第１実施例同様に不活性冷媒を
使用しつつ、冷媒流路に簡単な改良を加えることによ
り、リニアモータの表面温度上昇を大幅に低減すること
ができる。また、キャン内部に形成される冷媒流路を二
層構造とし、冷媒を内部で折り返す構成にしたことで、
冷却能力は従来に比べて上がっているため、本発明は、
従来に対して冷媒流量を制限（減少）させても、温度上
昇の効果は従来と等しく、結果としてキャンの変形を軽
減することができる。

【００３６】（３）第３実施例は上記の構成にしたの
で、キャン形状を円筒形としたことで、冷媒流量の圧力
によって応力分布が円周方向に均等化するため、第１お
よび第２実施例に比べて圧力変形耐力を一層向上するこ
とができる。また、圧力変形耐力が向上しているため、
真空環境や外的圧力が加わる環境下での使用も良好であ
る。

【００３７】（４）第４実施例は上記の構成にしたの
で、キャン形状を円筒形としたことで、冷媒流量の圧力
によって応力分布が円周方向に均等化するため、第３実
施例と同様に圧力変形耐力を一層向上することができ
る。また、圧力変形耐力が向上しているため、真空環境
や外的圧力が加わる環境下での使用も良好である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す固定子に電機子巻線
を配置したリニアモータの部分側断面図である。

【図２】図１におけるリニアモータのＡ−Ａ線に沿う正
断面図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す固定子に電機子巻線
を配置したリニアモータの部分側断面図である。

【図４】本発明の第３実施例を示すリニアモータ電機子
の側断面図であって、円筒形リニアモータの適用例であ
る。

【図５】本発明の第４実施例を示すリニアモータ電機子
の側断面図であって、円筒形リニアモータの適用例であ
る。

【図６】本発明の別の実施例を示す冷媒排出用の配管の
取付状態を示した断面図である。

【図７】従来技術の一例を示すリニアモータの全体斜視
図である。

【図８】図７のＡ−Ａ線に沿う正断面図である。

【符号の説明】

１固定子２内側キャン３外側キャン４ヘッダ５媒供給口６冷媒排出口７内側流路７Ａ、８Ａ連通部８外側流路９電機子巻線１０巻線固定枠１１端子台１２可動子１３可動子ベース１４ヨーク１５永久磁石１６冷媒折返し用穴（連通部）３１第１内側キャン３２第２内側キャン３３外側キャン３４ヘッダ３５冷媒供給口３６冷媒排出口３７第１内側流路３８第２内側流路３９外側流路４０電機子巻線４１内側排出配管４２外側排出配管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤井崇男福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号株式会社安川テクノサポート内Ｆターム(参考） 5F046 CC03 CC18 DA26 5H609 BB08 PP02 PP04 PP06 PP08 PP09 QQ08 QQ10 QQ13 RR26 5H641 BB03 BB06 BB14 BB19 GG02 GG05 GG07 HH03 JB04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電機子巻線と、前記電機子巻線を覆うよう
に設けられたキャンとを備え、前記電機子巻線の周囲に
冷媒を流して冷却するようにしたリニアモータ電機子で
あって、前記キャンは、内側キャンと外側キャンとからなる２層
構造で構成されると共に、前記電機子巻線と前記内側キ
ャンの間に形成される内側流路と、前記内側キャンと前
記外側キャンの間に形成される外側流路とを備えてお
り、前記キャンの両端部は、一方端が冷媒供給口となり、他
方端が冷媒排出口となるように配設されたヘッダを有し
ており、前記キャンの冷媒供給口近傍には、前記冷媒供給口から
供給された冷媒が前記内側流路と前記外側流路とに分岐
して流れるように、前記内側流路と前記外側流路とを連
通する連通部を設けてあることを特徴とするリニアモー
タ電機子。
【請求項２】電機子巻線と、前記電機子巻線を覆うよう
に設けられたキャンとを備え、前記電機子巻線の周囲に
冷媒を流して冷却するようにしたリニアモータ電機子で
あって、前記キャンは、内側キャンと外側キャンとからなる２層
構造で構成されると共に、前記電機子巻線と前記内側キ
ャンの間に形成される内側流路と、前記内側キャンと前
記外側キャンの間に形成される外側流路とを備えてお
り、前記キャンの一方端には、少なくとも冷媒供給口および
冷媒排出口を有したヘッダが設けてあり、前記内側キャンには、前記冷媒供給口が配設される側と
反対側の他方端に、前記冷媒供給口から供給された冷媒
が前記外側流路を介して前記内側流路に折り返して流れ
るように、前記外側流路と前記内側流路とを連通する連
通部を設けてあることを特徴とするリニアモータ電機
子。
【請求項３】前記ヘッダの冷媒排出口に、前記内側流路
用の冷媒排出口と接続するように設けた内側排出配管
と、該内側排出配管の外側を覆うように配設されると共
に前記外側流路用の冷媒排出口と接続するように設けた
外側排出配管とが備えられ、冷媒を二層の状態で排出す
るようにしたことを特徴とする請求項１記載のリニアモ
ータ電機子。
【請求項４】前記外側キャンおよび前記内側キャンを矩
形筒状に成形したことを特徴とする請求項１、２または
３に記載のリニアモータ電機子。
【請求項５】前記外側キャンおよび前記内側キャンを円
筒状に成形したことを特徴とする請求項１、２または３
に記載のリニアモータ電機子。
【請求項６】請求項１乃至５の何れか１項に記載のリニ
アモータ電機子と、当該電機子と空隙を介して互いに対
向配置させた界磁部とを備え、前記界磁部は、ヨーク
と、前記ヨーク上に交互に極性が異なるように隣り合わ
せに複数個並べて配置させた永久磁石とで構成され、前
記電機子と前記界磁部の何れか一方を相対移動する可動
子に、他方を固定子とすることを特徴とするリニアモー
タ。