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JP2003160348A - 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 - Google Patents

情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法

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Publication number
JP2003160348A
JP2003160348A JP2001356468A JP2001356468A JP2003160348A JP 2003160348 A JP2003160348 A JP 2003160348A JP 2001356468 A JP2001356468 A JP 2001356468A JP 2001356468 A JP2001356468 A JP 2001356468A JP 2003160348 A JP2003160348 A JP 2003160348A
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JP
Japan
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base plate
glass substrate
glass base
glass
information recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001356468A
Other languages
English (en)
Inventor
Kanki Horisaka
環樹 堀坂
Kazuya Fujino
一也 藤野
Kensuke Matsuno
賢介 松野
Eiji Okuda
栄次 奥田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Priority to US10/281,495 priority patent/US20030096078A1/en
Priority to MYPI20024330A priority patent/MY131181A/en
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Priority to US11/149,510 priority patent/US20050223744A1/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 化学強化処理を施さなくてもガラス基板の強
度を確保することができるとともに、化学強化処理によ
って発生する弊害を解消することができる情報記録媒体
用ガラス基板及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 情報記録媒体用ガラス基板は、中心に円
孔を有する円盤状をなし、その内周端面及び外周端面の
少なくとも一方に滑面１９が形成されている。滑面１９
は、シート状をなすガラス素板から円盤状に加工された
ガラス素板１７の端面にレーザー光を照射するレーザー
加工工程によって形成されている。レーザー加工工程の
前工程では、ガラス素板１７の端面には微小クラックが
形成されている。このレーザー加工工程によって、ガラ
ス素板１７の端面は加熱溶融されるとともに微小クラッ
クは融着されている。そして、製造されたガラス基板の
端面は平滑になっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スク等のような情報記録装置の磁気記録媒体である磁気
ディスク、光磁気ディスク、光ディスク等といった情報
記録媒体に用いるための情報記録媒体用ガラス基板及び
その製造方法に関するものである。より詳しくは、化学
強化処理を施さなくてもガラス基板の強度を確保するこ
とができるとともに、化学強化処理によって発生する弊
害を解消することができる情報記録媒体用ガラス基板及
びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁気ディスク、光磁気ディス
ク、光ディスク等の情報記録媒体用ガラス基板は、円盤
状をなし、主表面に磁性膜が形成され、情報記録媒体と
して使用されるものである。
【０００３】この情報記録媒体用ガラス基板は、円盤加
工、端面・面取加工、端面研磨加工、粗研磨加工、第１
研磨、第２研磨、化学強化処理、洗浄処理等の製造工程
によって製造される。
【０００４】円盤加工は、シート状をなすガラス素板を
ホイールカッターによって切断し、中心に円孔を有する
円盤状のガラス素板を形成する工程である。端面・面取
加工は、ガラス素板の内周端面及び外周端面をダイヤモ
ンド砥石によって研削しつつ、端面を面取してガラス素
板の外径及び内径を所定の寸法に調整する工程である。
【０００５】端面研磨加工は、ガラス素板の内周端面及
び外周端面に酸化セリウムスラリーを供給しながら回転
ブラシを当てることにより研磨し、両端面を平滑化する
工程である。粗研磨加工は、ガラス素板の表面をアルミ
ナ砥粒のスラリーによって研磨し、ガラス素板の厚みの
調整等を行う工程である。
【０００６】第１研磨は、ガラス素板の表面を研磨材ス
ラリー含浸パッドによって研磨する工程である。第２研
磨は、ガラス素板の表面を第１研磨より粒径の小さい研
磨材のスラリーを含浸させたパッドによって精密に研磨
する工程である。
【０００７】化学強化処理は、ガラス素板に情報記録媒
体用ガラス基板としての使用に耐え得る強度を付与する
ために施される。具体的には、硝酸カリウム、硝酸ナト
リウム等の化学強化塩の加熱溶融液によってガラス素板
を処理する。これによって、ガラス素板の組成中に含ま
れる例えばリチウム、ナトリウム等の一価の金属イオン
は、これと比較してそのイオン半径が大きな、例えばカ
リウム等の一価の金属イオンに置き換えられる。そし
て、ガラス素板の表面に圧縮応力を作用させて特にガラ
ス素板の端面を強化することができる。
【０００８】洗浄処理は、化学強化処理によってガラス
素板に付着した化学強化塩等を温水等で洗浄する工程で
ある。前記円盤加工及び端面・面取加工において、図７
に示すように、ガラス素板４１の内周端面及び外周端面
には図７の２点鎖線で示す深さ１〜６０μｍの微細なク
ラック（以下、微小クラックという）が形成される。そ
して、前記端面研磨加工により端面が研磨されることに
よって、微小クラック４２のうち、深さの浅い微小クラ
ック４２ａは消失するが、深さが約２０μｍ以上の微小
クラック４２ｂは消失することはなく、ガラス素板４１
の端面に残存している。また、微小クラック４２ｂが消
失するまで端面を研磨すると、ガラス素板４１の寸法精
度が悪化するため、端面研磨加工によってすべての微小
クラック４２ｂを消失させることは困難である。
【０００９】ガラス素板４１の端面に残存する微小クラ
ック４２によって、ガラス素板４１の強度が不足し、情
報記録媒体用ガラス基板として使用した場合の高速回転
等に耐えられないおそれがある。そこで、ガラス素板４
１の端面に微小クラック４２が残存している状態でも、
情報記録媒体用ガラス基板としての使用に耐え得る強度
を得るために、前記化学強化処理を行っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
情報記録媒体用ガラス基板においては、化学強化処理に
よって障害が生ずるという問題があった。具体的に述べ
ると、この化学強化処理で使用する硝酸カリウムは、熱
分解によって微量の亜硝酸カリウムを生成する。この亜
硝酸カリウムによってガラス素板の主表面が侵食され、
ガラス素板主表面の表面粗さが増大するという問題があ
った。また、化学強化処理の前工程において、ガラス素
板の表面に研磨材、塵埃等の微粒子、各処理を施すため
の装置から生ずる金属粒子等の付着物が固着することが
ある。付着物が固着した状態のガラス素板に化学強化処
理を行うことにより、表面に微細な凹部（ピット）が形
成されることによって平滑性が失われてしまうという問
題があった。さらに、化学強化処理工程において、ガラ
ス素板を操作する際、ガラス素板に欠け及び割れが発生
する問題があった。さらに、化学強化処理はガラス転移
点付近の温度で行うイオン交換反応による処理であるた
め、ガラス素板が熱変形を起こし、平坦度が悪化すると
いう問題があった。
【００１１】加えて、端面研磨加工を行ってもガラス素
板の両端面には微小クラックが残存している。各工程に
おいて、微小クラックには特に１μｍ以下の研磨材、塵
埃等の微粒子、各処理を施すための装置から生ずる異物
が入り込むことがあった。各工程で微小クラックに入り
込んだ異物は、ガラス素板とともに後工程に持ち込まれ
る。そして、微小クラックから異物が排出されることに
よって後工程を汚染し、異物によってガラス基板の表面
に傷等の障害を与えるという問題があった。
【００１２】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
に着目してなされたものである。その目的とするところ
は、化学強化処理を施さなくてもガラス基板の強度を確
保することができるとともに、化学強化処理によって発
生する弊害を解消することができる情報記録媒体用ガラ
ス基板及びその製造方法を提供することにある。また、
その他の目的とするところは、異物による汚染を減少す
ることができるとともに異物に起因する障害を減少する
ことができる情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方
法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項１に記載の発明の情報記録媒体用ガラス基板
は、中心に円孔を有する円盤状をなし、その内周端面及
び外周端面の少なくとも一方には加熱溶融によって得ら
れる滑面が形成されているものである。
【００１４】請求項２に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板は、請求項１に記載の発明において、前記滑面
はレーザー光照射によって形成されているものである。
請求項３に記載の発明の情報記録媒体用ガラス基板は、
請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記滑面
が内周端面及び外周端面の両方に形成されているもので
ある。
【００１５】請求項４に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の製造方法は、請求項１から請求項３のいずれ
か一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法で
あって、シート状をなすガラス素板を中心に円孔を有す
る円盤状に加工する円盤加工工程と、円盤状に加工され
たガラス素板の内周端面及び外周端面の少なくとも一方
の端面にレーザー光を照射するレーザー加工工程とを有
し、前記レーザー加工工程によってガラス素板の内周端
面及び外周端面の少なくとも一方の端面は加熱溶融さ
れ、レーザー加工工程の前工程で前記端面に形成された
微細なクラックを消失させるものである。
【００１６】請求項５に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の製造方法は、請求項４に記載の発明におい
て、前記レーザー加工の前又は加工時にガラス素板の全
体又は一部を抵抗加熱ヒーターにより加熱するものであ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態を、図１〜図６に従って説明する。なお、これ以降は
情報記録媒体用ガラス基板を単にガラス基板と記載す
る。図１に示すように、ガラス基板はガラス素板から円
盤加工１１、端面・面取加工１２、レーザー加工１３、
第１研磨１４、第２研磨１５、洗浄１６等の工程によっ
て作製される。
【００１８】ガラス素板１７は、図２（ａ）及び（ｂ）
に示すように、中心に円孔を有する円盤状に形成され、
例えば外径８４ｍｍ、内径２５ｍｍの大きさを有してい
る。このガラス素板１７は円盤加工１１の工程におい
て、厚さ１．０ｍｍのシート状をなすガラス素板を超硬
合金又はダイヤモンド製のホイールカッターを用いて切
断することにより形成される。このガラス素板１７の材
質としては、フロート法、ダウンドロー法、リドロー法
又はプレス法で製造されたソーダライムガラス、アルミ
ノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガ
ラス等が挙げられる。
【００１９】円盤加工１１後のガラス素板１７の内周端
面及び外周端面には、加工時の衝撃等によって図４に示
すように微細なクラックとしての微小クラック１８が形
成されている。
【００２０】次に、円盤状に形成されたガラス素板１７
には、端面・面取加工１２が施される。この工程では、
ガラス素板１７の内周端面及び外周端面が研削され、ガ
ラス素板１７の外形寸法及び内径寸法が調整される。こ
の研削としては、例えばダイヤモンド砥石を使用して、
ガラス素板１７の１枚ずつに対して＃３２４砥石（粗）
で第１段研削が行われ、次に＃５００砥石（細）で第２
段研削が行われる。これらの研削に伴って、内周端面及
び外周端面の角部は研磨され、図３に示すように角部は
約４５度の角度に面取りされる。そして、端面・面取加
工１２後には端面は、図４の二点鎖線で示す位置まで研
削され、円盤加工１１によって形成された微小クラック
１８は浅くなる。また、研削による衝撃によって端面に
は新たに微小クラック１８が形成されることがある。こ
のように、端面・面取加工１２後のガラス素板１７の端
面には微小クラック１８が残存している。
【００２１】続いて、ガラス素板１７の内周端面及び外
周端面にはレーザー加工１３が施される。まず、ガラス
素板１７全体又は一部は抵抗加熱ヒーターによって軟化
点以下の温度まで予備加熱される。次に、ガラス素板１
７の両端面にレーザー光を照射する。使用されるレーザ
ー光の種類は、炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザー等、
特に限定されないがガラスに対する吸収率の点から炭酸
ガスレーザーが好ましい。また、レーザー光の波長は、
ガラスに対する吸収率が優れることから、主波長におい
て２５０ｎｍ〜２０μｍであるのが好ましく、９００ｎ
ｍ〜１２μｍであるのがより好ましい。レーザー光のエ
ネルギー密度は、１〜２０Ｗ／ｍｍ2が好ましく、１〜
１０Ｗ／ｍｍ2であるのがより好ましい。このエネルギ
ー密度が１Ｗ／ｍｍ2未満であると、ガラス素板１７の
温度を十分に上昇させることができない。一方、２０Ｗ
／ｍｍ2を超えて照射してもガラス素板１７の溶融速度
の向上は望めない。
【００２２】レーザー光を照射することによって両端面
はガラスの軟化点以上の温度に加熱溶融される。このと
き、ガラス素板１７全体又は一部は所定の温度まで予備
加熱されているため、ガラス素板１７の両端面とそれら
の中間部分との間に温度差が生ずるのを抑制することが
できる。続いて、両端面において加熱溶融されたガラス
が流動し、前工程で形成された微小クラック１８はそれ
らの周囲のガラスによって徐々に融着されるとともに、
図５に示すように両端面から消失する。続いて、レーザ
ー光の照射を止めると、加熱溶融されたガラスは周囲へ
の熱拡散によって凝固される。そして、図５に示すよう
に両端面には表面が平滑な滑面１９が形成される。
【００２３】次に、ガラス素板１７の主表面（情報記録
媒体用ガラス基板としたときの情報記録面）を平滑にす
るために、第１研磨１４が施される。この第１研磨１４
は、酸化セリウムと酸化ランタンを主成分とする平均粒
径３μｍ程度の研磨材を用い、研磨材の濃度を２０重量
％程度になるように水に分散させスラリー状としたもの
が使用される。そして、研磨材のスラリーを含浸させた
発泡ウレタン樹脂系の研磨パッドによってガラス表面は
研磨される。このとき、ガラス素板１７の両端面には平
滑な滑面１９が形成され、微小クラック１８は消失して
いる。従って、特に１μｍ以下の研磨材、塵埃等の微粒
子、各処理を施すための装置から生ずる金属粒子等の異
物がこれらの微小クラック１８に入り込むことを防ぐこ
とができる。
【００２４】続いて、ガラス素板１７の主表面を情報記
録媒体として使用される際に要求される平滑面にするた
めに第２研磨１５を施される。この第２研磨１５は第１
研磨１４で使用された研磨材より小さい粒径の研磨材か
らなる研磨材のスラリーとスウェード等の材質からなる
研磨パッドを用いて行われる。
【００２５】洗浄１６の工程は、ガラス素板１７に付着
した研磨材、塵埃等の微粒子等を除去するために行われ
る。この洗浄１６は、水、界面活性剤、有機溶剤、酸性
水溶液、アルカリ性水溶液等の洗浄液、スウェード等の
材質からなる洗浄パッド等を用いて行われる。このガラ
ス素板１７が乾燥されることによってガラス基板が製造
される。そして、このガラス基板の表面に、例えば磁気
特性を付与するための下地層、磁性層、保護層及び潤滑
層等を順次設けることにより、例えば磁気ディスク、光
磁気ディスク等の情報記録媒体が作製される。
【００２６】次に、レーザー加工１３工程で使用される
レーザー照射装置２０について説明する。図６に示すよ
うに、レーザー照射装置２０は、円盤状をなすワークテ
ーブル２１とレーザー光を発振するためのレーザー発振
器２２等から構成されている。
【００２７】レーザー照射装置２０を構成するワークテ
ーブル２１は、円盤状をなし、その下面中央に垂直軸２
３が連結されている。この垂直軸２３には図示しないモ
ーターが連結されており、回転可能に構成されている。
そして、この垂直軸２３が回転することによってワーク
テーブル２１が回転するようになっている。ワークテー
ブル２１の上面には、環状の２つの台座２４が固定さ
れ、これらの台座２４の上面にはガラス素板１７が載置
可能となっている。また、ワークテーブル２１の上面に
は、断面視Ｕ字状の溝部が円環状に形成され、この溝部
の内壁には断熱材２５が敷設されている。断熱材２５の
内側には抵抗加熱ヒーターとしての電気ヒーター２６が
設けられ、台座２４上に載置されたガラス素板１７の全
体又は一部を予備加熱できるようになっている。
【００２８】ワークテーブル２１の近傍にはレーザー発
振器２２が備えられている。このレーザー発振器２２の
レーザー光が出射される方向にはコリメーター２７が備
えられ、出射されたレーザー光を平行なレーザー光２８
にすることができる。レーザー光２８は、スキャンミラ
ー２９を介して水平方向のレーザー光３０と、垂直方向
下方のレーザー光３１とに交互に振り分けられる。水平
方向のレーザー光３０は、２つの静止ミラー３２、３３
によってガラス素板１７の内周端面３４に照射される。
また、垂直方向下方のレーザー光３１は１つの静止ミラ
ー３５によってガラス素板１７の外周端面３６に照射さ
れる。
【００２９】ワークテーブル２１の回転速度は、ガラス
素板１７の内周端面の周速が０．０２〜５．０ｍｍ／分
になるように設定されている。この周速が０．０２ｍｍ
／分未満であると、ガラス素板１７の一枚当たりのタク
トタイムが長くなる。一方、５．０ｍｍ／分を超える
と、ガラス素板１７が不安定となり、ガラス素板１７の
端面にレーザー光を的確に照射するのが困難となる。
【００３０】さて、ガラス素板１７をレーザー加工１３
するには、ワークテーブル２１の台座２４上に円盤加工
１１後又は端面・面取加工１２後の端面に微小クラック
１８が形成されているガラス素板１７を載置する。この
とき、ガラス素板１７は垂直軸２３によって回転すると
ともに、電気ヒーター２６によってガラス素板１７の全
体又は一部は所定の温度に予備加熱される。次に、レー
ザー発振器２２によって射出されたレーザー光はコリメ
ーター２７、スキャンミラー２９及び静止ミラーを介し
てガラス素板１７の内周端面３４及び外周端面３６に照
射される。このとき、レーザー光は指向性に優れている
ため、ガラス素板１７の両端面にはレーザー光３０、３
１が的確に照射される。そして、レーザー光３０、３１
が照射されている端面の微小クラック１８はそれらの周
囲のガラスによって徐々に融着されるとともに、両端面
から消失する。続いて、ガラス素板１７が回転すること
によって端面にレーザー光３０、３１が照射されなくな
ると、加熱溶融されたガラスは周囲への熱拡散によって
凝固されるとともに滑面１９が形成される。そして、ガ
ラス素板１７が一回転すると、端面全体に渡って滑面１
９が形成される。このとき、ガラス素板１７の端面には
微小クラック１８が存在しない。従って、特にガラス素
板１７の曲げ方向に外力が加わった場合、微小クラック
１８を原因とする強度低下を抑制することができる。
【００３１】本実施形態によって発揮される効果につい
て、以下に記載する。 ・ この実施形態の情報記録媒体用ガラス基板は、少な
くとも一方の端面には、表面が平滑な滑面１９が形成さ
れ、滑面１９には円盤加工１１及び端面・面取加工１２
によってガラス素板１７の端面に形成された微小クラッ
ク１８は存在しない。この構成によると、化学強化処理
を施さなくてもガラス基板の強度を確保することができ
るとともに、化学強化処理によって発生するピット、欠
け、割れ、熱変形等の弊害を解消することができる。ま
た、すべての微小クラック１８を完全に消失できなくて
も、深い鋭利なクラックは、浅くかつ曲率を有する滑ら
かな窪みにすることにより、端面の強度を確保すること
ができる。さらに、この構成によると、微小クラック１
８に研磨材、塵埃等の微粒子、各処理を施すための装置
から生ずる金属粒子等の異物が入り込むことを減少する
ことができる。従って、異物による後工程の汚染を減少
することができ、これらの異物に起因するガラス基板の
障害を減少することができる。
【００３２】・ この実施形態の情報記録媒体用ガラス
基板においては、滑面１９はレーザー光の照射によって
形成されている。この構成によると、レーザー光は指向
性に優れているため、ガラス素板１７の端面にはレーザ
ー光３０、３１が的確に照射される。従って、ガラス素
板１７の端面を容易に加熱溶融することができるため、
滑面１９を容易に形成することができる。
【００３３】・ この実施形態の情報記録媒体用ガラス
基板においては、内周端面及び外周端面の両方に滑面１
９が形成されている。この構成によると、両端面には微
小クラック１８が存在しないため、ガラス基板の強度を
一層確保することができる。さらに、この構成による
と、微小クラック１８に研磨材、塵埃等の微粒子、各処
理を施すための装置から生ずる金属粒子等の異物が入り
込むことを防ぐことができる。従って、異物による後工
程の汚染をより減少することができ、これらの異物に起
因するガラス基板の障害をより減少することができる。
従って、微小クラック１８に入り込んだ異物による後工
程の汚染をより減少することができ、これらの異物によ
るガラス基板の障害をより減少することができる。
【００３４】・ この実施形態の情報記録媒体用ガラス
基板の製造方法においては、シート状をなすガラス素板
を中心に円孔を有する円盤状に加工する円盤加工１１の
工程を有している。さらに、内周端面及び外周端面の少
なくとも一方の端面にレーザー光を照射するレーザー加
工１３の工程を有している。そして、レーザー加工１３
の工程によってガラス素板１７の内周端面及び外周端面
の少なくとも一方の端面は加熱溶融され、レーザー加工
１３の工程の前工程で該端面に形成された微小クラック
１８を消失させている。この製造方法によれば、化学強
化処理工程を省いてもガラス基板の強度を確保すること
ができるとともに、化学強化処理工程によって発生する
ピット、欠け、割れ、熱変形等の弊害を解消することが
できる。さらに、この製造方法によると、微小クラック
１８に研磨材、塵埃等の微粒子、各処理を施すための装
置から生ずる金属粒子等の異物が入り込むことを減少す
ることができる。従って、異物による後工程の汚染を減
少することができ、これらの異物に起因するガラス基板
の障害を減少することができる。
【００３５】・ この実施形態の情報記録媒体用ガラス
基板の製造方法においては、レーザー加工１３の前又は
加工時に前記ガラス素板１７の全部又は一部を抵抗加熱
ヒーターにより予備加熱している。この製造方法によれ
ば、ガラス素板１７の端面にレーザー光を照射してから
端面が加熱溶融するまでの時間（タクトタイム）を短縮
することができる。さらに、この製造方法によれば、ガ
ラス素板１７全体又は一部は所定の温度まで予備加熱さ
れているため、ガラス素板１７の両端面とそれらの中間
部分との間に温度差が生ずるのを抑制することができ
る。従って、ガラス基板に生じる歪みを抑制することが
できる。
【００３６】なお、前記実施形態を次のように変更して
具体化することも可能である。 ・ 前記実施形態では、円盤加工１１が施されるシート
状をなすガラス素板は、厚さのばらつきが小さく、平坦
度等が良好である。しかし、シート状をなすガラス素板
は、第１研磨１４の前工程として、ガラス素板１７の表
面を粗研磨することによって製品の要求レベルにするた
めの粗研磨加工（ラップ研磨加工）工程を設けてもよ
い。粗研磨加工を施す場合には、♯１０００又は♯１２
００のアルミナ砥粒を研磨材とし、これを水に２０重量
％前後の濃度で分散させスラリー状としたものが使用さ
れる。
【００３７】・ 前記円盤加工１１の工程において、円
盤状をなすガラス素板１７の寸法精度が良好である場合
は、端面・面取加工１２を省略してもよい。 ・ 前記レーザー加工１３の工程の前工程として、特に
ガラス素板１７の端面を洗浄するための洗浄工程を設け
てもよい。この構成によると、ガラス素板１７の端面は
清浄な状態となることから、レーザー加工１３によって
滑面１９を形成した際、端面をより平滑にすることがで
きる。
【００３８】・ 前記実施形態では、ガラス素板１７の
端面にレーザー光を照射することによって、滑面１９を
形成している。しかし、ガラス素板１７を軟化点付近ま
で加熱し、端部に火炎バーナーを照射することにより、
端面の微小クラック１８を埋めるようにして滑面１９を
形成してもよい。
【００３９】次に、上記実施形態から把握できる技術的
思想について以下に記載する。 （１） 前記滑面によって、端面に形成されていた微細
なクラックは融着されるとともに、消失されている請求
項１から請求項３のいずれか一項に記載の情報記録媒体
用ガラス基板。この構成によると、微細なクラックを要
因とする強度低下を抑制することができる。
【００４０】（２） さらに、前記ガラス素板の端面を
研削及び面取りするための端面・面取工程を有する請求
項４又は請求項５に記載の情報記録媒体用ガラス基板の
製造方法。この製造方法によると、端面を一層平滑に形
成することができる。
【００４１】（３） さらに、前記ガラス素板の表面を
粗研磨するラップ研磨加工工程を有する請求項４、請求
項５及び上記（２）のいずれか一項に記載の情報記録媒
体用ガラス基板の製造方法。
【００４２】（４） 前記レーザー光は炭酸ガスレーザ
ーである請求項１から請求項３及び上記（１）のいずれ
か一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板。この構成に
よると、ガラスに対する吸収率を良好にすることがで
き、滑面を容易に形成することができる。また、タクト
タイムをより短縮することができる。
【００４３】（５） 前記レーザー光は炭酸ガスレーザ
ーである請求項４、請求項５、上記（２）及び（３）の
いずれか一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造
方法。この製造方法によると、ガラスに対する吸収率を
良好にすることができ、滑面を一層容易に形成すること
ができる。また、タクトタイムをより短縮することがで
きる。
【００４４】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１及び請求項
４に記載の情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法
によれば、化学強化処理を施さなくてもガラス基板の強
度を確保することができるとともに、化学強化処理によ
って発生する弊害を解消することができる。
【００４５】請求項２に記載の情報記録媒体用ガラス基
板によれば、請求項１に記載の発明の効果に加えて、ガ
ラス基板の端面に滑面を容易に形成することができる。
請求項３に記載の情報記録媒体用ガラス基板によれば、
請求項１又は請求項２に記載の発明の効果に加えて、ガ
ラス基板の強度を一層確保することができるとともに、
異物に起因するガラス基板の障害をより減少することが
できる。
【００４６】請求項５に記載の情報記録媒体用ガラス基
板の製造方法によれば、請求項４に記載の発明の効果に
加えて、歪みを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態におけるガラス基板の製造工程を示
すフロー図。
【図２】 （ａ）はガラス基板又はガラス素板を示す平
面図、（ｂ）はそれらの断面図。
【図３】 ガラス素板の端面を示す部分拡大断面図。
【図４】 ガラス素板の端面に形成される微小クラック
を示す拡大断面図。
【図５】 ガラス素板の端面に形成される滑面を示す拡
大断面図。
【図６】 レーザー照射装置を示す部分断面図。
【図７】 従来のガラス基板又はガラス素板の端面を示
す拡大断面図。
【符号の説明】
１１…円盤加工、１３…レーザー加工、１７…ガラス素
板、１８…微細なクラックとしての微小クラック、１９
…滑面、２６…抵抗加熱ヒーターとしての電気ヒータ
ー、２８…レーザー光、３０…レーザー光、３１…レー
ザー光、３４…内周端面、３６…外周端面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松野 賢介 大阪府大阪市中央区北浜四丁目７番28号 日本板硝子 株式会社内 (72)発明者 奥田 栄次 大阪府大阪市中央区北浜四丁目７番28号 日本板硝子 株式会社内 Ｆターム(参考） 4G015 DA05 5D006 CB04 CB07 DA03 5D029 KA24 5D112 AA02 AA24 BA03 BA09 5D121 AA02 DD13 GG07 GG30

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 中心に円孔を有する円盤状をなし、その
    内周端面及び外周端面の少なくとも一方には加熱溶融に
    よって得られる滑面が形成されている情報記録媒体用ガ
    ラス基板。
  2. 【請求項２】 前記滑面はレーザー光照射によって形成
    されていることを特徴とする請求項１に記載の情報記録
    媒体用ガラス基板。
  3. 【請求項３】 前記滑面が内周端面及び外周端面の両方
    に形成されている請求項１又は請求項２に記載の情報記
    録媒体用ガラス基板。
  4. 【請求項４】 シート状をなすガラス素板を中心に円孔
    を有する円盤状に加工する円盤加工工程と、円盤状に加
    工されたガラス素板の内周端面及び外周端面の少なくと
    も一方の端面にレーザー光を照射するレーザー加工工程
    とを有し、前記レーザー加工工程によってガラス素板の
    内周端面及び外周端面の少なくとも一方の端面は加熱溶
    融され、レーザー加工工程の前工程で前記端面に形成さ
    れた微細なクラックを消失させることを特徴とする請求
    項１から請求項３のいずれか一項に記載の情報記録媒体
    用ガラス基板の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記レーザー加工の前又は加工時にガラ
    ス素板の全体又は一部を抵抗加熱ヒーターにより加熱す
    ることを特徴とする請求項４に記載の情報記録媒体用ガ
    ラス基板の製造方法。
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