JP2003158170A - 基板用カセットのスロット検出装置 - Google Patents
基板用カセットのスロット検出装置Info
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 2
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- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/02—Sensing devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/0084—Programme-controlled manipulators comprising a plurality of manipulators
- B25J9/0087—Dual arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G61/00—Use of pick-up or transfer devices or of manipulators for stacking or de-stacking articles not otherwise provided for
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】基板用カセットを取り替えても基板搬送ロボッ
トに対して面倒なティーチングを行わなく済むようにす
ること。 【解決手段】ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、基
板用カセット１００のスロット１０１を検出する装置を
備え、このスロット検出装置は、基板用カセット１００
の内外へ進退可能でかつ基板用カセット１００内の多数
のスロット１０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ
５１〜５３を備え、基板用カセット１００内においてセ
ンサ５１〜５３をスロット配列方向に沿って移動させた
ときのセンサ出力信号に基づいて基板用カセット１００
内の各スロット位置を検出する。
トに対して面倒なティーチングを行わなく済むようにす
ること。 【解決手段】ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、基
板用カセット１００のスロット１０１を検出する装置を
備え、このスロット検出装置は、基板用カセット１００
の内外へ進退可能でかつ基板用カセット１００内の多数
のスロット１０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ
５１〜５３を備え、基板用カセット１００内においてセ
ンサ５１〜５３をスロット配列方向に沿って移動させた
ときのセンサ出力信号に基づいて基板用カセット１００
内の各スロット位置を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや、
ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＦＥＤ等ＦＰＤ（フラットパネルディ
スプレイ）のガラス基板など各種基板を収納する基板用
カセットのスロットを検出する基板用カセットのスロッ
ト検出装置に関する。
ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＦＥＤ等ＦＰＤ（フラットパネルディ
スプレイ）のガラス基板など各種基板を収納する基板用
カセットのスロットを検出する基板用カセットのスロッ
ト検出装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】基板用カセットは、横
置きタイプの場合、例えば図８に示すように構成され、
基板用カセット１００の内部に、基板２００を収納する
ためのスロット１０１が上下方向に多数配列されてい
る。
置きタイプの場合、例えば図８に示すように構成され、
基板用カセット１００の内部に、基板２００を収納する
ためのスロット１０１が上下方向に多数配列されてい
る。
【０００３】しかし、同一サイズの基板２００を収納す
る基板用カセット１００であっても、各基板用カセット
メーカー毎に仕様が異なっており、スロット形状及びス
ロット間ピッチはメーカー毎にまちまちであり、また、
同一メーカーの基板用カセット１００であっても公差範
囲内でスロット間ピッチが異なるのが現状である。
る基板用カセット１００であっても、各基板用カセット
メーカー毎に仕様が異なっており、スロット形状及びス
ロット間ピッチはメーカー毎にまちまちであり、また、
同一メーカーの基板用カセット１００であっても公差範
囲内でスロット間ピッチが異なるのが現状である。
【０００４】そのため、従来は、基板搬送ロボットによ
って基板２００を基板用カセット１００に搬入、搬出す
る場合、基板用カセット１００を取り替えるたびに、基
板搬送ロボットに対してティーチングを行っていた。
って基板２００を基板用カセット１００に搬入、搬出す
る場合、基板用カセット１００を取り替えるたびに、基
板搬送ロボットに対してティーチングを行っていた。
【０００５】本発明は、上記のような従来の問題点にか
んがみなされたものであり、基板用カセットのスロット
を検出することにより、基板用カセットを取り替えても
基板搬送ロボットに対して面倒なティーチングを行わな
く済むようにすることを目的とする。
んがみなされたものであり、基板用カセットのスロット
を検出することにより、基板用カセットを取り替えても
基板搬送ロボットに対して面倒なティーチングを行わな
く済むようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による基板用カセ
ットのスロット検出装置は、基板用カセットの内外へ進
退可能でかつ該基板用カセット内の多数のスロットの配
列方向に沿って移動可能なセンサを備え、前記基板用カ
セット内において前記センサを前記スロット配列方向に
沿って移動させたときのセンサ出力信号に基づいて前記
基板用カセット内の各スロット位置を検出するよう構成
されることを特徴とする。
ットのスロット検出装置は、基板用カセットの内外へ進
退可能でかつ該基板用カセット内の多数のスロットの配
列方向に沿って移動可能なセンサを備え、前記基板用カ
セット内において前記センサを前記スロット配列方向に
沿って移動させたときのセンサ出力信号に基づいて前記
基板用カセット内の各スロット位置を検出するよう構成
されることを特徴とする。
【０００７】前記センサは、前記多数のスロットによっ
て形成されている凹凸繰返し形状を検出するスロット位
置検出用センサと、前記基板用カセットの壁面であって
前記スロット配列方向において始端側に位置する壁面の
存在を検出するカセット始端確認センサと、前記基板用
カセットの壁面であって前記スロット配列方向において
終端側に位置する壁面の存在を検出するカセット終端確
認センサとからなる。
て形成されている凹凸繰返し形状を検出するスロット位
置検出用センサと、前記基板用カセットの壁面であって
前記スロット配列方向において始端側に位置する壁面の
存在を検出するカセット始端確認センサと、前記基板用
カセットの壁面であって前記スロット配列方向において
終端側に位置する壁面の存在を検出するカセット終端確
認センサとからなる。
【０００８】前記スロット位置検出用センサ、前記カセ
ット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、ダブルアーム式基板搬送ロボットの検出用アームの
先端部に設けられる。
ット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、ダブルアーム式基板搬送ロボットの検出用アームの
先端部に設けられる。
【０００９】前記検出用アームは、基板有無センサを備
え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基板
の有無を検出する。
え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基板
の有無を検出する。
【００１０】前記スロット位置検出用センサ、前記カセ
ット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、シングルアーム式基板搬送ロボットの搬送用アーム
の先端部に設けられる。
ット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、シングルアーム式基板搬送ロボットの搬送用アーム
の先端部に設けられる。
【００１１】前記搬送用アームは、基板有無センサを備
え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基板
の有無を検出する。
え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基板
の有無を検出する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１３】図１は、本発明の第１実施形態に係るダブ
ルアーム式基板搬送ロボットの斜視図、図２は、スロッ
ト位置検出用センサの動作説明図、図３は、カセット始
端確認センサ及びカセット終端確認センサの動作説明
図、図４は、スロット検出装置の動作説明図、図５は、
本発明の第２実施形態に係るシングルアーム式基板搬送
ロボットのスロット検出装置の動作説明図、図６は、ス
ロット位置検出用センサ、カセット始端確認センサ及び
カセット終端確認センサのハンドへの取付説明図、図７
は、各種搬送レイアウト図、図８は、基板用カセットの
斜視図をそれぞれ示す。
ルアーム式基板搬送ロボットの斜視図、図２は、スロッ
ト位置検出用センサの動作説明図、図３は、カセット始
端確認センサ及びカセット終端確認センサの動作説明
図、図４は、スロット検出装置の動作説明図、図５は、
本発明の第２実施形態に係るシングルアーム式基板搬送
ロボットのスロット検出装置の動作説明図、図６は、ス
ロット位置検出用センサ、カセット始端確認センサ及び
カセット終端確認センサのハンドへの取付説明図、図７
は、各種搬送レイアウト図、図８は、基板用カセットの
斜視図をそれぞれ示す。
【００１４】図１〜図４において、第１実施形態に係る
ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、従来から公知の
スカラ型のダブルアーム式基板搬送ロボットにおいて、
二つのスカラ型アーム（搬送用アーム）２、３のうちの
一方の搬送用アーム２を検出用アームに置換して構成さ
れている。検出用アーム２は、搬送用アーム３の第２ア
ーム３１及び第１アーム３２と同様に構成されかつ同様
な動作が可能な第２アーム２１及び第１アーム２２を備
えており、第１アーム２１の先端には、搬送用アーム３
のハンド３３に対応し、このハンド３３と同様な動作が
可能なセンサ保持部２３が連結されている。搬送用アー
ム３の第２アーム３１及び検出用アーム２の第２アーム
２１は、ロボット１の本体部４に対して上下方向（Ｚ軸
方向）へ昇降可能な共通の機台５に取り付けられてい
る。本体部４の内部には、機台５の高さ位置を検出する
ためのエンコーダ６が内蔵されている。
ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、従来から公知の
スカラ型のダブルアーム式基板搬送ロボットにおいて、
二つのスカラ型アーム（搬送用アーム）２、３のうちの
一方の搬送用アーム２を検出用アームに置換して構成さ
れている。検出用アーム２は、搬送用アーム３の第２ア
ーム３１及び第１アーム３２と同様に構成されかつ同様
な動作が可能な第２アーム２１及び第１アーム２２を備
えており、第１アーム２１の先端には、搬送用アーム３
のハンド３３に対応し、このハンド３３と同様な動作が
可能なセンサ保持部２３が連結されている。搬送用アー
ム３の第２アーム３１及び検出用アーム２の第２アーム
２１は、ロボット１の本体部４に対して上下方向（Ｚ軸
方向）へ昇降可能な共通の機台５に取り付けられてい
る。本体部４の内部には、機台５の高さ位置を検出する
ためのエンコーダ６が内蔵されている。
【００１５】センサ保持部２３の先端部には、スロット
位置検出用センサ５１とカセット始端確認センサ５２と
カセット終端確認センサ５３が設けられている。また、
センサ保持部２３の元部には、搬送用アーム３のハンド
３３に保持された基板２００との干渉を回避するための
コ字状部材２４が設けられている。このコ字状部材２４
には、基板有無センサ５４が設けられている。
位置検出用センサ５１とカセット始端確認センサ５２と
カセット終端確認センサ５３が設けられている。また、
センサ保持部２３の元部には、搬送用アーム３のハンド
３３に保持された基板２００との干渉を回避するための
コ字状部材２４が設けられている。このコ字状部材２４
には、基板有無センサ５４が設けられている。
【００１６】スロット位置検出用センサ５１は、例えば
発光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって
構成され、図２に示すように、基板用カセット１００
（図８参照）内の多数のスロット１０１の凹凸繰返し形
状を検出することによって各スロット１０１の上下方向
の位置を検出するために用いられる。
発光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって
構成され、図２に示すように、基板用カセット１００
（図８参照）内の多数のスロット１０１の凹凸繰返し形
状を検出することによって各スロット１０１の上下方向
の位置を検出するために用いられる。
【００１７】カセット始端確認センサ５２は、例えば発
光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって構
成され、図３に示すように、基板用カセット１００内で
検出用アーム２を下降させたとき、基板用カセット１０
０の下端壁面１０２の存在を検出することによって基板
用カセット１００内における検出用アーム２の下限位置
を確認するために用いられる。
光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって構
成され、図３に示すように、基板用カセット１００内で
検出用アーム２を下降させたとき、基板用カセット１０
０の下端壁面１０２の存在を検出することによって基板
用カセット１００内における検出用アーム２の下限位置
を確認するために用いられる。
【００１８】カセット終端確認センサ５３は、例えば発
光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって構
成され、図３に示すように、基板用カセット１００内で
検出用アーム２を上昇させたとき、基板用カセット１０
０の上端壁面１０３の存在を検出することによって基板
用カセット１００内における検出用アーム２の上限位置
を確認するために用いられる。
光素子と受光素子とからなる光反射式センサによって構
成され、図３に示すように、基板用カセット１００内で
検出用アーム２を上昇させたとき、基板用カセット１０
０の上端壁面１０３の存在を検出することによって基板
用カセット１００内における検出用アーム２の上限位置
を確認するために用いられる。
【００１９】次に、上記のように構成されたダブルアー
ム式基板搬送ロボット１の動作の一例を図４に基づいて
説明する。なお、この動作例は、ロード側カセット（実
カセット）１００Ａ内からアンロード側カセット（空カ
セット）１００Ｂ内へ基板２００を移し替える作業に対
応するものである。
ム式基板搬送ロボット１の動作の一例を図４に基づいて
説明する。なお、この動作例は、ロード側カセット（実
カセット）１００Ａ内からアンロード側カセット（空カ
セット）１００Ｂ内へ基板２００を移し替える作業に対
応するものである。
【００２０】基板搬送ロボット１は、実カセット１００
Ａの前方位置において、検出用アーム２を畳んだ状態に
して機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有る
かどうかを検出する（図４（Ａ）参照）。
Ａの前方位置において、検出用アーム２を畳んだ状態に
して機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有る
かどうかを検出する（図４（Ａ）参照）。
【００２１】上記のような実カセット内基板有無検出作
業によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有るこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は検出用アーム２
を畳んだ状態で空カセット１００Ｂの前方位置まで移動
し、機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無い
かどうかを検出する。このような空カセット内基板有無
検出作業は、空カセット１００Ｂに対して空カセット内
基板有無検出作業を行う前に後述するスロット位置検出
作業を開始すると、空カセット１００Ｂ内に基板２００
が有る場合に基板２００と検出用アーム２とが干渉して
しまう不具合が発生するため、このような不具合を回避
しスロット位置検出作業を良好に行うためである。
業によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有るこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は検出用アーム２
を畳んだ状態で空カセット１００Ｂの前方位置まで移動
し、機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無い
かどうかを検出する。このような空カセット内基板有無
検出作業は、空カセット１００Ｂに対して空カセット内
基板有無検出作業を行う前に後述するスロット位置検出
作業を開始すると、空カセット１００Ｂ内に基板２００
が有る場合に基板２００と検出用アーム２とが干渉して
しまう不具合が発生するため、このような不具合を回避
しスロット位置検出作業を良好に行うためである。
【００２２】上記のような空カセット内基板有無検出作
業によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無いこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は半回転した後検
出用アーム２を伸ばす（図３図示実線の状態に対応す
る。）。そして、機台５を下降してゆき、カセット始端
確認センサ５２が空カセット１００Ｂの下端壁面１０２
を検出したとき機台５を停止する（図３図示一点鎖線の
状態に対応する。）。次に、機台５を上昇させてゆきス
ロット位置検出用センサ５１によって多数のスロット１
０１の凹凸形状を検出してゆく（図４（Ｂ）参照）。そ
して、カセット終端確認センサ５３が空カセット１００
Ｂの上端壁面１０３を検出したとき機台５を停止する
（図３図示二点鎖線の状態に対応する。）。
業によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無いこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は半回転した後検
出用アーム２を伸ばす（図３図示実線の状態に対応す
る。）。そして、機台５を下降してゆき、カセット始端
確認センサ５２が空カセット１００Ｂの下端壁面１０２
を検出したとき機台５を停止する（図３図示一点鎖線の
状態に対応する。）。次に、機台５を上昇させてゆきス
ロット位置検出用センサ５１によって多数のスロット１
０１の凹凸形状を検出してゆく（図４（Ｂ）参照）。そ
して、カセット終端確認センサ５３が空カセット１００
Ｂの上端壁面１０３を検出したとき機台５を停止する
（図３図示二点鎖線の状態に対応する。）。
【００２３】上記のようなスロット位置検出作業におい
て、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置は機台５
の高さ位置によって一義的に定まり、機台５の高さ位置
は本体部４の内部のエンコーダ６によって検出されるた
め、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置はエンコ
ーダ６によって検出することができる。また、スロット
位置検出用センサ５１は、多数のスロット１０１の凹凸
繰返し形状に応じたパルス列信号（例えば凹部はＨi レ
ベル、凸部はＬo レベルとなるパルス列信号）を出力す
る。このため、エンコーダ６によるスロット位置検出用
センサ５１の高さ位置とスロット位置検出用センサ５１
のパルス列信号とを１対１に対応させることができ、各
スロット１０１の高さ位置（換言するとスロット段数）
を検出することが可能になる。そして、この空カセット
１００Ｂの各スロット１０１の高さ位置は、ロボット１
の本体部４の記憶装置に空カセット１００Ｂのスロット
データとして記憶され、その後、実カセット１００Ａ内
から空カセット１００Ｂ内に基板２００を移載する際に
利用される。
て、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置は機台５
の高さ位置によって一義的に定まり、機台５の高さ位置
は本体部４の内部のエンコーダ６によって検出されるた
め、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置はエンコ
ーダ６によって検出することができる。また、スロット
位置検出用センサ５１は、多数のスロット１０１の凹凸
繰返し形状に応じたパルス列信号（例えば凹部はＨi レ
ベル、凸部はＬo レベルとなるパルス列信号）を出力す
る。このため、エンコーダ６によるスロット位置検出用
センサ５１の高さ位置とスロット位置検出用センサ５１
のパルス列信号とを１対１に対応させることができ、各
スロット１０１の高さ位置（換言するとスロット段数）
を検出することが可能になる。そして、この空カセット
１００Ｂの各スロット１０１の高さ位置は、ロボット１
の本体部４の記憶装置に空カセット１００Ｂのスロット
データとして記憶され、その後、実カセット１００Ａ内
から空カセット１００Ｂ内に基板２００を移載する際に
利用される。
【００２４】その後、基板搬送ロボット１は、搬送用ア
ーム３を用い、実カセット１００Ａ内から基板２００を
取り出し、直接的に空カセット１００Ｂ内の所定スロッ
ト１０１に移載し、あるいは、一旦基板２００を処理装
置に搬送し、その後処理の終わった基板２００を空カセ
ット１００Ｂ内の所定スロット１０１に移載する。
ーム３を用い、実カセット１００Ａ内から基板２００を
取り出し、直接的に空カセット１００Ｂ内の所定スロッ
ト１０１に移載し、あるいは、一旦基板２００を処理装
置に搬送し、その後処理の終わった基板２００を空カセ
ット１００Ｂ内の所定スロット１０１に移載する。
【００２５】以上説明したように、第１実施形態に係る
ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、基板用カセット
１００のスロット１０１を検出する装置を備え、このス
ロット検出装置は、基板用カセット１００の内外へ進退
可能でかつ基板用カセット１００内の多数のスロット１
０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ５１〜５３を
備え、基板用カセット１００内においてセンサ５１〜５
３をスロット配列方向に沿って移動させたときのセンサ
出力信号に基づいて基板用カセット１００内の各スロッ
ト位置を検出するよう構成される。このため、新しい基
板用カセット１００を使用する場合などに、従来のよう
に基板搬送ロボット１に対して煩雑なティーチングを行
わなくても自動的に基板用カセット１００の各スロット
位置を検出できるようになり、カセット使用に先立つ作
業の自動化が可能になる。
ダブルアーム式基板搬送ロボット１は、基板用カセット
１００のスロット１０１を検出する装置を備え、このス
ロット検出装置は、基板用カセット１００の内外へ進退
可能でかつ基板用カセット１００内の多数のスロット１
０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ５１〜５３を
備え、基板用カセット１００内においてセンサ５１〜５
３をスロット配列方向に沿って移動させたときのセンサ
出力信号に基づいて基板用カセット１００内の各スロッ
ト位置を検出するよう構成される。このため、新しい基
板用カセット１００を使用する場合などに、従来のよう
に基板搬送ロボット１に対して煩雑なティーチングを行
わなくても自動的に基板用カセット１００の各スロット
位置を検出できるようになり、カセット使用に先立つ作
業の自動化が可能になる。
【００２６】そして、センサ５１〜５３は、多数のスロ
ット１０１によって形成されている凹凸繰返し形状を検
出するスロット位置検出用センサ５１と、基板用カセッ
ト１００の壁面であってスロット配列方向において始端
側に位置する壁面（下端壁面１０２）の存在を検出する
カセット始端確認センサ５２と、基板用カセット１００
の壁面であってスロット配列方向において終端側に位置
する壁面（上端壁面１０３）の存在を検出するカセット
終端確認センサ５３とからなるため、個々の基板用カセ
ット１００によって異なる始端位置（下端位置）及び終
端位置（上端位置）を確認しながら各スロット位置を検
出することができる。
ット１０１によって形成されている凹凸繰返し形状を検
出するスロット位置検出用センサ５１と、基板用カセッ
ト１００の壁面であってスロット配列方向において始端
側に位置する壁面（下端壁面１０２）の存在を検出する
カセット始端確認センサ５２と、基板用カセット１００
の壁面であってスロット配列方向において終端側に位置
する壁面（上端壁面１０３）の存在を検出するカセット
終端確認センサ５３とからなるため、個々の基板用カセ
ット１００によって異なる始端位置（下端位置）及び終
端位置（上端位置）を確認しながら各スロット位置を検
出することができる。
【００２７】また、スロット位置検出用センサ５１、カ
セット始端確認センサ５２及びカセット終端確認センサ
５３は、ダブルアーム式基板搬送ロボットの検出用アー
ム２の先端部に設けられるため、従来からのダブルアー
ム式基板搬送ロボットの二つのアームのうちの一方のア
ームを検出用アーム２に置換することによって、一台の
搬送ロボット１によって基板搬送とスロット検出の二つ
の機能を同時に発揮することができる。
セット始端確認センサ５２及びカセット終端確認センサ
５３は、ダブルアーム式基板搬送ロボットの検出用アー
ム２の先端部に設けられるため、従来からのダブルアー
ム式基板搬送ロボットの二つのアームのうちの一方のア
ームを検出用アーム２に置換することによって、一台の
搬送ロボット１によって基板搬送とスロット検出の二つ
の機能を同時に発揮することができる。
【００２８】また、検出用アーム２は、基板有無センサ
５４を備え、基板有無センサ５４は、基板用カセット１
００内の基板２００の有無を検出するものであるため、
基板用カセット１００内に基板２００が有るときにスロ
ット検出を行うことによって検出用アーム２が基板２０
０と干渉する不具合を回避することができる。
５４を備え、基板有無センサ５４は、基板用カセット１
００内の基板２００の有無を検出するものであるため、
基板用カセット１００内に基板２００が有るときにスロ
ット検出を行うことによって検出用アーム２が基板２０
０と干渉する不具合を回避することができる。
【００２９】次に、第２実施形態を説明する。
【００３０】図５及び図６において、第２実施形態に係
るシングルアーム式基板搬送ロボット１は、従来から公
知のスカラ型のシングルアーム式基板搬送ロボットと同
様、第２アーム３１と第１アーム３２とハンド３３から
なる搬送用アーム３を備えており、第２アーム３１は、
ロボット１の本体部４に対して上下方向（Ｚ軸方向）へ
昇降可能な機台５に取り付けられている。本体部４の内
部には、機台５の高さ位置を検出するためのエンコーダ
６が内蔵されている。
るシングルアーム式基板搬送ロボット１は、従来から公
知のスカラ型のシングルアーム式基板搬送ロボットと同
様、第２アーム３１と第１アーム３２とハンド３３から
なる搬送用アーム３を備えており、第２アーム３１は、
ロボット１の本体部４に対して上下方向（Ｚ軸方向）へ
昇降可能な機台５に取り付けられている。本体部４の内
部には、機台５の高さ位置を検出するためのエンコーダ
６が内蔵されている。
【００３１】ハンド３３の先端部には、図６に示すよう
に、スロット位置検出用センサ５１とカセット始端確認
センサ５２とカセット終端確認センサ５３が設けられて
いる。また、ハンド３３の元部には、図５に示すよう
に、基板有無センサ５４が設けられている。
に、スロット位置検出用センサ５１とカセット始端確認
センサ５２とカセット終端確認センサ５３が設けられて
いる。また、ハンド３３の元部には、図５に示すよう
に、基板有無センサ５４が設けられている。
【００３２】スロット位置検出用センサ５１は、第１実
施形態のスロット位置検出用センサ５１と同様に構成さ
れ、基板用カセット１００内の多数のスロット１０１の
凹凸繰返し形状を検出することによって各スロット１０
１の上下方向の位置を検出するために用いられる。
施形態のスロット位置検出用センサ５１と同様に構成さ
れ、基板用カセット１００内の多数のスロット１０１の
凹凸繰返し形状を検出することによって各スロット１０
１の上下方向の位置を検出するために用いられる。
【００３３】カセット始端確認センサ５２は、第１実施
形態のカセット始端確認センサ５２と同様に構成され、
基板用カセット１００内で搬送用アーム３を下降させた
とき、基板用カセット１００の下端壁面１０２の存在を
検出することによって基板用カセット１００内における
搬送用アーム３の下限位置を確認するために用いられ
る。
形態のカセット始端確認センサ５２と同様に構成され、
基板用カセット１００内で搬送用アーム３を下降させた
とき、基板用カセット１００の下端壁面１０２の存在を
検出することによって基板用カセット１００内における
搬送用アーム３の下限位置を確認するために用いられ
る。
【００３４】カセット終端確認センサ５３は、第１実施
形態のカセット終端確認センサ５３と同様に構成され、
基板用カセット１００内で搬送用アーム３を上昇させた
とき、基板用カセット１００の上端壁面１０３の存在を
検出することによって基板用カセット１００内における
搬送用アーム３の上限位置を確認するために用いられ
る。
形態のカセット終端確認センサ５３と同様に構成され、
基板用カセット１００内で搬送用アーム３を上昇させた
とき、基板用カセット１００の上端壁面１０３の存在を
検出することによって基板用カセット１００内における
搬送用アーム３の上限位置を確認するために用いられ
る。
【００３５】次に、シングルアーム式基板搬送ロボット
１の動作の一例を図５に基づいて説明する。なお、この
動作例は、ロード側カセット（実カセット）１００Ａ内
からアンロード側カセット（空カセット）１００Ｂ内へ
基板２００を移し替える作業に対応するものである。
１の動作の一例を図５に基づいて説明する。なお、この
動作例は、ロード側カセット（実カセット）１００Ａ内
からアンロード側カセット（空カセット）１００Ｂ内へ
基板２００を移し替える作業に対応するものである。
【００３６】基板搬送ロボット１は、実カセット１００
Ａの前方位置において、搬送用アーム３を畳んだ状態に
して機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有る
かどうかを検出する（図５（Ａ）参照）。
Ａの前方位置において、搬送用アーム３を畳んだ状態に
して機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有る
かどうかを検出する（図５（Ａ）参照）。
【００３７】上記のような実カセット内基板有無検出作
業によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有るこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は搬送用アーム３
を畳んだ状態で空カセット１００Ｂの前方位置まで移動
し、機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無い
かどうかを検出する。このような空カセット内基板有無
検出作業は、空カセット１００Ｂに対して空カセット内
基板有無検出作業を行う前に後述するスロット位置検出
作業を開始すると、空カセット１００Ｂ内に基板２００
が有る場合に基板２００と搬送用アーム３とが干渉して
しまう不具合が発生するため、このような不具合を回避
しスロット位置検出作業を良好に行うためである。
業によって実カセット１００Ａ内に基板２００が有るこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は搬送用アーム３
を畳んだ状態で空カセット１００Ｂの前方位置まで移動
し、機台５を上下方向へ移動させながら基板有無センサ
５４によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無い
かどうかを検出する。このような空カセット内基板有無
検出作業は、空カセット１００Ｂに対して空カセット内
基板有無検出作業を行う前に後述するスロット位置検出
作業を開始すると、空カセット１００Ｂ内に基板２００
が有る場合に基板２００と搬送用アーム３とが干渉して
しまう不具合が発生するため、このような不具合を回避
しスロット位置検出作業を良好に行うためである。
【００３８】上記のような空カセット内基板有無検出作
業によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無いこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は半回転した後搬
送用アーム３を伸ばし、ハンド３３を空カセット１００
Ｂ内に進入する。そして、機台５を下降してゆき、カセ
ット始端確認センサ５２が空カセット１００Ｂの下端壁
面１０２を検出したとき機台５を停止する。次に、機台
５を上昇させてゆきスロット位置検出用センサ５１によ
って多数のスロット１０１の凹凸形状を検出してゆく。
そして、カセット終端確認センサ５３が空カセット１０
０Ｂの上端壁面１０３を検出したとき機台５を停止す
る。
業によって空カセット１００Ｂ内に基板２００が無いこ
とを検出すると、基板搬送ロボット１は半回転した後搬
送用アーム３を伸ばし、ハンド３３を空カセット１００
Ｂ内に進入する。そして、機台５を下降してゆき、カセ
ット始端確認センサ５２が空カセット１００Ｂの下端壁
面１０２を検出したとき機台５を停止する。次に、機台
５を上昇させてゆきスロット位置検出用センサ５１によ
って多数のスロット１０１の凹凸形状を検出してゆく。
そして、カセット終端確認センサ５３が空カセット１０
０Ｂの上端壁面１０３を検出したとき機台５を停止す
る。
【００３９】上記のようなスロット位置検出作業におい
て、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置は機台５
の高さ位置によって一義的に定まり、機台５の高さ位置
は本体部４の内部のエンコーダ６によって検出されるた
め、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置はエンコ
ーダ６によって検出することができる。また、スロット
位置検出用センサ５１は、多数のスロット１０１の凹凸
繰返し形状に応じたパルス列信号（例えば凹部はＨi レ
ベル、凸部はＬo レベルとなるパルス列信号）を出力す
る。このため、エンコーダ６によるスロット位置検出用
センサ５１の高さ位置とスロット位置検出用センサ５１
のパルス列信号とを１対１に対応させることができ、各
スロット１０１の高さ位置（換言するとスロット段数）
を検出することが可能になる。そして、この空カセット
１００Ｂの各スロット１０１の高さ位置は、ロボット１
の本体部４の記憶装置に空カセット１００Ｂのスロット
データとして記憶され、その後、実カセット１００Ａ内
から空カセット１００Ｂ内に基板２００を移載する際に
利用される。
て、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置は機台５
の高さ位置によって一義的に定まり、機台５の高さ位置
は本体部４の内部のエンコーダ６によって検出されるた
め、スロット位置検出用センサ５１の高さ位置はエンコ
ーダ６によって検出することができる。また、スロット
位置検出用センサ５１は、多数のスロット１０１の凹凸
繰返し形状に応じたパルス列信号（例えば凹部はＨi レ
ベル、凸部はＬo レベルとなるパルス列信号）を出力す
る。このため、エンコーダ６によるスロット位置検出用
センサ５１の高さ位置とスロット位置検出用センサ５１
のパルス列信号とを１対１に対応させることができ、各
スロット１０１の高さ位置（換言するとスロット段数）
を検出することが可能になる。そして、この空カセット
１００Ｂの各スロット１０１の高さ位置は、ロボット１
の本体部４の記憶装置に空カセット１００Ｂのスロット
データとして記憶され、その後、実カセット１００Ａ内
から空カセット１００Ｂ内に基板２００を移載する際に
利用される。
【００４０】その後、基板搬送ロボット１は、搬送用ア
ーム３を用い、実カセット１００Ａ内から基板２００を
取り出し、直接的に空カセット１００Ｂ内の所定スロッ
ト１０１に移載し、あるいは、一旦基板２００を処理装
置に搬送し、その後処理の終わった基板２００を空カセ
ット１００Ｂ内の所定スロット１０１に移載する。
ーム３を用い、実カセット１００Ａ内から基板２００を
取り出し、直接的に空カセット１００Ｂ内の所定スロッ
ト１０１に移載し、あるいは、一旦基板２００を処理装
置に搬送し、その後処理の終わった基板２００を空カセ
ット１００Ｂ内の所定スロット１０１に移載する。
【００４１】以上説明したように、第２実施形態に係る
シングルアーム式基板搬送ロボット１は、第１実施形態
に係るダブルアーム式基板搬送ロボット１と同様、基板
用カセット１００のスロット１０１を検出する装置を備
え、このスロット検出装置は、基板用カセット１００の
内外へ進退可能でかつ基板用カセット１００内の多数の
スロット１０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ５
１〜５３を備え、基板用カセット１００内においてセン
サ５１〜５３をスロット配列方向に沿って移動させたと
きのセンサ出力信号に基づいて基板用カセット１００内
の各スロット位置を検出するよう構成される。このた
め、新しい基板用カセット１００を使用する場合など
に、従来のように基板搬送ロボット１に対して煩雑なテ
ィーチングを行わなくても自動的に基板用カセット１０
０の各スロット位置を検出できるようになり、カセット
使用に先立つ作業の自動化が可能になる。
シングルアーム式基板搬送ロボット１は、第１実施形態
に係るダブルアーム式基板搬送ロボット１と同様、基板
用カセット１００のスロット１０１を検出する装置を備
え、このスロット検出装置は、基板用カセット１００の
内外へ進退可能でかつ基板用カセット１００内の多数の
スロット１０１の配列方向に沿って移動可能なセンサ５
１〜５３を備え、基板用カセット１００内においてセン
サ５１〜５３をスロット配列方向に沿って移動させたと
きのセンサ出力信号に基づいて基板用カセット１００内
の各スロット位置を検出するよう構成される。このた
め、新しい基板用カセット１００を使用する場合など
に、従来のように基板搬送ロボット１に対して煩雑なテ
ィーチングを行わなくても自動的に基板用カセット１０
０の各スロット位置を検出できるようになり、カセット
使用に先立つ作業の自動化が可能になる。
【００４２】また、センサ５１〜５３は、多数のスロッ
ト１０１によって形成されている凹凸繰返し形状を検出
するスロット位置検出用センサ５１と、基板用カセット
１００の壁面であってスロット配列方向において始端側
に位置する壁面（下端壁面１０２）の存在を検出するカ
セット始端確認センサ５２と、基板用カセット１００の
壁面であってスロット配列方向において終端側に位置す
る壁面（上端壁面１０３）の存在を検出するカセット終
端確認センサ５３とからなるため、個々の基板用カセッ
ト１００によって異なる始端位置（下端位置）及び終端
位置（上端位置）を確認しながら各スロット位置を検出
することができる。
ト１０１によって形成されている凹凸繰返し形状を検出
するスロット位置検出用センサ５１と、基板用カセット
１００の壁面であってスロット配列方向において始端側
に位置する壁面（下端壁面１０２）の存在を検出するカ
セット始端確認センサ５２と、基板用カセット１００の
壁面であってスロット配列方向において終端側に位置す
る壁面（上端壁面１０３）の存在を検出するカセット終
端確認センサ５３とからなるため、個々の基板用カセッ
ト１００によって異なる始端位置（下端位置）及び終端
位置（上端位置）を確認しながら各スロット位置を検出
することができる。
【００４３】また、スロット位置検出用センサ５１、カ
セット始端確認センサ５２及びカセット終端確認センサ
５３は、シングルアーム式基板搬送ロボットの搬送用ア
ーム３の先端部に設けられるため、搬送用アーム３によ
って、基板搬送とスロット検出の二つの機能を同時に発
揮することができる。
セット始端確認センサ５２及びカセット終端確認センサ
５３は、シングルアーム式基板搬送ロボットの搬送用ア
ーム３の先端部に設けられるため、搬送用アーム３によ
って、基板搬送とスロット検出の二つの機能を同時に発
揮することができる。
【００４４】また、搬送用アーム３は、基板有無センサ
５４を備え、基板有無センサ５４は、基板用カセット１
００内の基板２００の有無を検出するものであるため、
基板用カセット１００内に基板２００が有るときにスロ
ット検出を行うことによって搬送用アーム３が基板２０
０と干渉する不具合を回避することができる。
５４を備え、基板有無センサ５４は、基板用カセット１
００内の基板２００の有無を検出するものであるため、
基板用カセット１００内に基板２００が有るときにスロ
ット検出を行うことによって搬送用アーム３が基板２０
０と干渉する不具合を回避することができる。
【００４５】なお、上述した第１、第２実施形態はいず
れもスカラ型の基板搬送ロボットについて説明したが、
本発明はスカラ型に限定されるものではなく、直動型の
基板搬送用ロボットにも容易に適用できる。また、第
１、第２実施形態では、図４及び図５に示したように基
板搬送ロボットが左右方向へ移動可能なタイプのものつ
まりロボット走行軸を有するタイプのものとして説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、図７
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、ロボッ
ト走行軸を有していないタイプにも適用でき（なお、図
７（Ｂ）は水平多関節ロボットの場合に対応する。）、
さらに、図７（Ｅ）に示すように、ロボット走行軸を有
しかつ３個以上の基板用カセット１００に対して基板２
００を搬出、搬入するタイプのものにも適用できる。
れもスカラ型の基板搬送ロボットについて説明したが、
本発明はスカラ型に限定されるものではなく、直動型の
基板搬送用ロボットにも容易に適用できる。また、第
１、第２実施形態では、図４及び図５に示したように基
板搬送ロボットが左右方向へ移動可能なタイプのものつ
まりロボット走行軸を有するタイプのものとして説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、図７
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、ロボッ
ト走行軸を有していないタイプにも適用でき（なお、図
７（Ｂ）は水平多関節ロボットの場合に対応する。）、
さらに、図７（Ｅ）に示すように、ロボット走行軸を有
しかつ３個以上の基板用カセット１００に対して基板２
００を搬出、搬入するタイプのものにも適用できる。
【００４６】また、本発明は、縦置きタイプの基板用カ
セット１００つまりスロット１０１の配列方向が水平方
向に設定され基板２００が垂直状態で収納される基板用
カセット１００に対しても適用可能である。
セット１００つまりスロット１０１の配列方向が水平方
向に設定され基板２００が垂直状態で収納される基板用
カセット１００に対しても適用可能である。
【００４７】
【発明の効果】本発明によると、基板用カセットのスロ
ットを検出することにより、基板用カセットを取り替え
ても基板搬送ロボットに対して面倒なティーチングを行
わなく済むようになる。
ットを検出することにより、基板用カセットを取り替え
ても基板搬送ロボットに対して面倒なティーチングを行
わなく済むようになる。
【図１】本発明の第１実施形態に係るダブルアーム式基
板搬送ロボットの斜視図である。
板搬送ロボットの斜視図である。
【図２】スロット位置検出用センサの動作説明図であ
る。
る。
【図３】カセット始端確認センサ及びカセット終端確認
センサの動作説明図である。
センサの動作説明図である。
【図４】スロット検出装置の動作説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るシングルアーム式
基板搬送ロボットのスロット検出装置の動作説明図であ
る。
基板搬送ロボットのスロット検出装置の動作説明図であ
る。
【図６】スロット位置検出用センサ、カセット始端確認
センサ及びカセット終端確認センサのハンドへの取付説
明図である。
センサ及びカセット終端確認センサのハンドへの取付説
明図である。
【図７】各種搬送レイアウト図である。
【図８】基板用カセットの斜視図である。
１ 基板搬送ロボット（ダブルアーム式基板搬送ロボ
ット、シングルアーム式基板搬送ロボット） ２ 検出用アーム ３ 搬送用アーム ５１ スロット位置検出用センサ ５２ カセット始端確認センサ ５３ カセット終端確認センサ ５４ 基板有無センサ １００ 基板用カセット １０１ スロット １０２ 下端壁面 １０３ 上端壁面 ２００ 基板
ット、シングルアーム式基板搬送ロボット） ２ 検出用アーム ３ 搬送用アーム ５１ スロット位置検出用センサ ５２ カセット始端確認センサ ５３ カセット終端確認センサ ５４ 基板有無センサ １００ 基板用カセット １０１ スロット １０２ 下端壁面 １０３ 上端壁面 ２００ 基板
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｅ
(72)発明者 加藤 克彦
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
(72)発明者 中野 清憲
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
Ｆターム(参考） 3C007 AS03 AS24 BS15 BS26 CT04
CV07 CW07 KS03 KS06 KS17
KV01 KV11 KX05 KX07 LT06
MT10 NS11 NS13
5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA07
FA11 FA19 GA02 GA36 GA43
GA48 GA49 GA50 JA01 JA06
JA13 JA23
Claims (6)
- 【請求項１】 基板用カセットの内外へ進退可能でかつ
該基板用カセット内の多数のスロットの配列方向に沿っ
て移動可能なセンサを備え、前記基板用カセット内にお
いて前記センサを前記スロット配列方向に沿って移動さ
せたときのセンサ出力信号に基づいて前記基板用カセッ
ト内の各スロット位置を検出するよう構成されることを
特徴とする基板用カセットのスロット検出装置。 - 【請求項２】 前記センサは、前記多数のスロットによ
って形成されている凹凸繰返し形状を検出するスロット
位置検出用センサと、前記基板用カセットの壁面であっ
て前記スロット配列方向において始端側に位置する壁面
の存在を検出するカセット始端確認センサと、前記基板
用カセットの壁面であって前記スロット配列方向におい
て終端側に位置する壁面の存在を検出するカセット終端
確認センサとからなることを特徴とする請求項１記載の
基板用カセットのスロット検出装置。 - 【請求項３】 前記スロット位置検出用センサ、前記カ
セット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、ダブルアーム式基板搬送ロボットの検出用アームの
先端部に設けられることを特徴とする請求項２記載の基
板用カセットのスロット検出装置。 - 【請求項４】 前記検出用アームは、基板有無センサを
備え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基
板の有無を検出することを特徴とする請求項３記載の基
板用カセットのスロット検出装置。 - 【請求項５】 前記スロット位置検出用センサ、前記カ
セット始端確認センサ及び前記カセット終端確認センサ
は、シングルアーム式基板搬送ロボットの搬送用アーム
の先端部に設けられることを特徴とする請求項２記載の
基板用カセットのスロット検出装置。 - 【請求項６】 前記搬送用アームは、基板有無センサを
備え、該基板有無センサは、前記基板用カセット内の基
板の有無を検出することを特徴とする請求項５記載の基
板用カセットのスロット検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001355127A JP2003158170A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 基板用カセットのスロット検出装置 |
| TW091124610A TW571378B (en) | 2001-11-20 | 2002-10-24 | Slot detector of cassette for substrate |
| KR1020020071919A KR20030041805A (ko) | 2001-11-20 | 2002-11-19 | 기판용 카세트의 슬롯검출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001355127A JP2003158170A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 基板用カセットのスロット検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003158170A true JP2003158170A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19166877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001355127A Pending JP2003158170A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 基板用カセットのスロット検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003158170A (ja) |
| KR (1) | KR20030041805A (ja) |
| TW (1) | TW571378B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100575159B1 (ko) | 2004-08-16 | 2006-04-28 | 삼성전자주식회사 | 이송로봇의 티칭장치 |
| JP2006123157A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-05-18 | Nidec Sankyo Corp | ロボットを教示するロボット教示用プログラム、及びこれに使用するカセット、位置測定器具並びにこれらを利用したロボット作動方法 |
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