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JP2003140008A - Optical module, manufacturing method thereof, and optical transmission device - Google Patents

Optical module, manufacturing method thereof, and optical transmission device

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Publication number
JP2003140008A
JP2003140008A JP2001340541A JP2001340541A JP2003140008A JP 2003140008 A JP2003140008 A JP 2003140008A JP 2001340541 A JP2001340541 A JP 2001340541A JP 2001340541 A JP2001340541 A JP 2001340541A JP 2003140008 A JP2003140008 A JP 2003140008A
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JP
Japan
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optical
hole
resin
manufacturing
substrate
Prior art date
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Application number
JP2001340541A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4062403B2 (en
Inventor
Tomonaga Kobayashi
知永 小林
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JP2003140008A publication Critical patent/JP2003140008A/en
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光導波路を取り付ける前に樹脂封止を行える
ようにすることにある。 【解決手段】 光学的部分12を有する光素子10を、
貫通穴22を有する基板20に実装する。光素子10
は、光学的部分12を貫通穴22に向けて配置する。光
素子10と基板20の間に樹脂40を設ける。樹脂40
は、貫通穴22に入り込むことを避けて設ける。樹脂4
0が設けられた後に、貫通穴22に光導波路50を挿入
する。
(57) [Problem] To provide resin sealing before mounting an optical waveguide. An optical element having an optical portion is provided.
It is mounted on a substrate 20 having a through hole 22. Optical element 10
Arranges the optical part 12 toward the through hole 22. A resin 40 is provided between the optical element 10 and the substrate 20. Resin 40
Is provided so as not to enter the through hole 22. Resin 4
After 0 is provided, the optical waveguide 50 is inserted into the through hole 22.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュール及び
その製造方法並びに光伝達装置に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical module, a method for manufacturing the same, and an optical transmission device.

【0002】[0002]

【発明の背景】近年、情報通信が高速化・大容量化の傾
向にあり、光通信の開発が進んでいる。光通信では、電
気信号を光信号に変換し、光信号を光ファイバで送信
し、受信した光信号を電気信号に変換する。電気信号と
光信号との変換は光素子によって行われる。光素子は、
光の出射口又は入射口を有するため、光ファイバを取り
付ける前に樹脂封止を設けることが難しい。しかしなが
ら、光ファイバを取り付ける前に樹脂封止を行うことが
できれば、製造工程を円滑化することができる。
BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, information communication has tended to increase in speed and capacity, and optical communication has been developed. In optical communication, an electric signal is converted into an optical signal, the optical signal is transmitted through an optical fiber, and the received optical signal is converted into an electric signal. The conversion of electrical signals and optical signals is performed by optical elements. The optical element is
Since it has a light exit port or a light entrance port, it is difficult to provide resin sealing before attaching the optical fiber. However, if resin sealing can be performed before attaching the optical fiber, the manufacturing process can be facilitated.

【0003】本発明は、従来の問題点を解決するもので
あり、その目的は、光導波路を取り付ける前に樹脂封止
を行えるようにすることにある。
The present invention solves the problems of the prior art, and its object is to enable resin sealing before mounting an optical waveguide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る光モ
ジュールの製造方法は、(a)光学的部分を有する光素
子を、貫通穴を有する基板に実装し、(b)少なくとも
前記光素子と前記基板の間に樹脂を設け、(c)前記樹
脂が設けられた後に、前記貫通穴に向けて光導波路を取
り付けることを含み、前記(a)工程で、前記光学的部
分を前記貫通穴に向けて前記光素子を配置し、前記
(b)工程は、前記樹脂が前記貫通穴に入り込むことを
避けて行う。
(1) In a method of manufacturing an optical module according to the present invention, (a) an optical element having an optical portion is mounted on a substrate having a through hole, and (b) at least the optical element. In the step (a), a resin is provided between the element and the substrate, and (c) after the resin is provided, an optical waveguide is attached toward the through hole. The optical element is arranged toward the hole, and the step (b) is performed while avoiding the resin from entering the through hole.

【0005】本発明によれば、光の伝送に必要な貫通穴
を塞がないように、しかも、光導波路を取り付ける前に
樹脂を設けることができる。この樹脂によって、光素子
と基板の接続信頼性を向上させることができる。
According to the present invention, the resin can be provided so as not to block the through hole necessary for transmitting light and before the optical waveguide is attached. This resin can improve the connection reliability between the optical element and the substrate.

【0006】(2)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程の前に、前記貫通穴を塞いでおいて
もよい。
(2) In this method of manufacturing an optical module, the through hole may be closed before the step (b).

【0007】(3)この光モジュールの製造方法におい
て、前記貫通穴を塞ぐ工程は、前記基板に変形可能シー
トを重ねて、前記貫通穴を介して前記変形可能シートを
吸引し、前記貫通穴から前記光学的部分に至るまで前記
変形可能シートの一部を入り込ませて行ってもよい。
(3) In this method of manufacturing an optical module, in the step of closing the through hole, a deformable sheet is superposed on the substrate, the deformable sheet is sucked through the through hole, and the through hole is pulled out. A part of the deformable sheet may be inserted into the optical part.

【0008】ここで、変形可能シートとは、弾性変形す
るシートであってもよいし、可塑変形するシートであっ
てもよい。
Here, the deformable sheet may be a sheet that elastically deforms or a sheet that plastically deforms.

【0009】(4)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程の後に、前記変形可能シートを除去
してもよい。
(4) In this method of manufacturing an optical module, the deformable sheet may be removed after the step (b).

【0010】(5)この光モジュールの製造方法におい
て、前記貫通穴を塞ぐ工程は、前記貫通穴から前記光学
的部分に至る領域に充填剤を設けて行ってもよい。
(5) In this method of manufacturing an optical module, the step of closing the through hole may be performed by providing a filler in a region from the through hole to the optical portion.

【0011】(6)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程の後に、前記充填剤を除去してもよ
い。
(6) In this method of manufacturing an optical module, the filler may be removed after the step (b).

【0012】(7)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程を、前記貫通穴から前記光学的部分
に至るように流体を供給しながら行ってもよい。
(7) In this method of manufacturing an optical module, the step (b) may be performed while supplying a fluid from the through hole to the optical portion.

【0013】ここで、流体とは、気体又は液体のいずれ
であってもよい。
Here, the fluid may be either gas or liquid.

【0014】(8)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程で、前記光素子を覆うように前記樹
脂を設けてもよい。
(8) In this method of manufacturing an optical module, the resin may be provided so as to cover the optical element in the step (b).

【0015】(9)この光モジュールの製造方法におい
て、前記(b)工程で、前記光素子における前記基板と
は反対側面を避けて前記樹脂を設けてもよい。
(9) In this method of manufacturing an optical module, the resin may be provided in the step (b) while avoiding the side surface of the optical element opposite to the substrate.

【0016】(10)本発明に係る光モジュールは、上
記方法によって製造されたものである。
(10) The optical module according to the present invention is manufactured by the above method.

【0017】(11)本発明に係る光伝達装置は、光モ
ジュールを有し、前記光導波路の両端部のそれぞれに前
記光素子が取り付けられてなる。
(11) An optical transmission device according to the present invention has an optical module, and the optical element is attached to each of both ends of the optical waveguide.

【0018】(12)この光伝達装置は、前記光導波路
の両端部のそれぞれに設けられたプラグをさらに有して
もよい。
(12) The light transmission device may further include plugs provided at both ends of the optical waveguide.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】(第1の実施の形態)図1(A)〜図2
(C)は、本発明を適用した第1の実施の形態に係る光
モジュールの製造方法を説明する図である。光モジュー
ルの製造方法では、光素子10を使用する。光素子10
は、少なくとも1つ(図1の例では複数)の光学的部分
12を有する。光素子10は、発光素子であっても受光
素子であってもよい。発光素子の一例として面発光素
子、特に面発光レーザを使用することができる。面発光
レーザなどの面発光素子は、表面から垂直方向に光を発
する。光素子10が発光素子であるときは、光学的部分
12は発光部であり、光素子10が受光素子であるとき
は、光学的部分12は受光部である。複数の光学的部分
12は、同じピッチで配置されている。ここで、同じピ
ッチとは、要求される精度の範囲内で同一であること
(実質的同一)を意味する。複数の光学的部分12を有
する光素子10によれば、光学的部分12のピッチを調
整する必要がない。変形例として、1つの光学的部分を
有する複数の光素子を用意し、光学的部分のピッチが同
じになるように、各光素子を配置してもよい。その場
合、同じ構成の複数の光素子を使用することが好まし
い。
(First Embodiment) FIGS. 1A to 2
(C) is a figure explaining the manufacturing method of the optical module which concerns on 1st Embodiment to which this invention is applied. The optical element 10 is used in the method of manufacturing the optical module. Optical element 10
Has at least one (a plurality in the example of FIG. 1) optical part 12. The optical element 10 may be a light emitting element or a light receiving element. As an example of the light emitting element, a surface emitting element, particularly a surface emitting laser can be used. A surface emitting element such as a surface emitting laser emits light in a vertical direction from its surface. When the optical element 10 is a light emitting element, the optical portion 12 is a light emitting portion, and when the optical element 10 is a light receiving element, the optical portion 12 is a light receiving portion. The plurality of optical portions 12 are arranged at the same pitch. Here, the same pitch means that the pitches are the same (substantially the same) within a required accuracy range. According to the optical element 10 having the plurality of optical portions 12, it is not necessary to adjust the pitch of the optical portions 12. As a modified example, a plurality of optical elements having one optical portion may be prepared, and each optical element may be arranged so that the optical portions have the same pitch. In that case, it is preferable to use a plurality of optical elements having the same configuration.

【0021】光素子10は、少なくとも1つ(例えば複
数)の電極14を有する。図1に示す例では、電極14
は、バンプ(金又はハンダ等)を含む。光素子10にお
ける光学的部分12が形成された面のみに電極14が形
成されていてもよいし、光学的部分12が形成された面
及びそれ以外の面(例えば反対面)に電極14が形成さ
れていてもよい。
The optical element 10 has at least one (for example, a plurality) electrode 14. In the example shown in FIG. 1, the electrode 14
Includes bumps (such as gold or solder). The electrode 14 may be formed only on the surface of the optical element 10 on which the optical portion 12 is formed, or the electrode 14 may be formed on the surface on which the optical portion 12 is formed and the other surface (for example, the opposite surface). It may have been done.

【0022】図1(A)に示すように、光素子10を基
板20に実装する。基板20は、少なくとも1つ(例え
ば複数)の貫通穴22を有する。貫通穴22は、基板2
0の表面に垂直に形成されていてもよい。貫通穴22の
数は、光学的部分12の数に等しい。光素子10は、光
学的部分12を基板20側(詳しくは貫通穴22)に向
けて配置する。基板20には、配線パターン24が形成
されている。光素子10の電極14は、配線パターン2
4(例えばそのランド)に接合されている。本実施の形
態では、光素子10は基板20にフェースダウンボンデ
ィングされている。電極14と配線パターン24(詳し
くはそのランド)の接合には、金属接合を適用したり、
ハンダ等のろう材を使用する。本発明は、電極14と配
線パターン24とをワイヤ等で電気的に接続することを
除くものではない。また、変形例として、フェースアッ
プボンディング構造を適用してもよい。
As shown in FIG. 1A, the optical element 10 is mounted on the substrate 20. The substrate 20 has at least one (for example, a plurality) through holes 22. The through hole 22 is the substrate 2
It may be formed perpendicular to the surface of 0. The number of through holes 22 is equal to the number of optical portions 12. In the optical element 10, the optical portion 12 is arranged so as to face the substrate 20 side (specifically, the through hole 22). A wiring pattern 24 is formed on the substrate 20. The electrode 14 of the optical element 10 has the wiring pattern 2
4 (for example, the land). In this embodiment, the optical element 10 is face-down bonded to the substrate 20. For joining the electrode 14 and the wiring pattern 24 (specifically, the land), metal joining is applied,
Use brazing material such as solder. The present invention does not exclude electrically connecting the electrode 14 and the wiring pattern 24 with a wire or the like. As a modification, a face-up bonding structure may be applied.

【0023】光素子10における光学的部分12が形成
された面と基板20における配線パターン24が形成さ
れた面との間には、図1(A)に示すように、隙間(詳
しくは気体又は液体の流路)を形成する。隙間の形成に
は、電極14及び配線パターン24の厚み(高さ)を利
用してもよい。なお、光素子10と基板20との間に隙
間があれば、両者の一部が接触していてもよい。
As shown in FIG. 1A, a gap (specifically, gas or gas) is provided between the surface of the optical element 10 on which the optical portion 12 is formed and the surface of the substrate 20 on which the wiring pattern 24 is formed. Forming a liquid flow path). The thickness (height) of the electrode 14 and the wiring pattern 24 may be used for forming the gap. If there is a gap between the optical element 10 and the substrate 20, part of both may be in contact with each other.

【0024】図1(B)に示すように、基板20上にシ
ート30を配置する(又は重ねる)。詳しくは、基板2
0における光素子10が実装された面とは反対側の面に
シート30を載せる。シート30によって貫通穴22を
塞ぐ。シート30は、基板20に貼り付けてもよいし、
基板20に載せるだけでもよい。シート30は、変形可
能なもの(例えば熱可塑性樹脂で形成されたもの)であ
る。シート30は、弾性変形するものであってもよい
し、塑性変形するものであってもよい。
As shown in FIG. 1B, the sheet 30 is arranged (or stacked) on the substrate 20. For details, board 2
The sheet 30 is placed on the surface opposite to the surface on which the optical element 10 is mounted at 0. The through hole 22 is closed by the sheet 30. The sheet 30 may be attached to the substrate 20,
It may be simply placed on the substrate 20. The sheet 30 is a deformable one (for example, one made of a thermoplastic resin). The sheet 30 may be elastically deformable or plastically deformable.

【0025】そして、シート30の一部を貫通穴22内
に吸引する。例えば、シート30を貫通穴22内に真空
引きする。詳しくは、基板20における光素子10が実
装された側に、チャンバ32を形成し、チャンバ32内
を真空にする。こうして、図1(C)に示すように、シ
ート30の一部を貫通穴22内に入り込ませることがで
きる。すなわち、貫通穴22をシート30の一部分34
で塞ぐことができる。なお、シート30は、貫通穴22
内に位置する部分のみが延伸して貫通穴22に入り込ん
でもよい。この場合、シート30は基板20に接着(例
えば剥離可能な仮接着)しておいてもよい。あるいは、
シート30における貫通穴22の外側に位置する部分
も、貫通穴22内に引きずり込まれてもよい。この場合
は、シート30を基板20に載せるだけにしておいても
よい。
Then, a part of the sheet 30 is sucked into the through hole 22. For example, the sheet 30 is evacuated into the through hole 22. Specifically, the chamber 32 is formed on the side of the substrate 20 on which the optical element 10 is mounted, and the inside of the chamber 32 is evacuated. Thus, as shown in FIG. 1C, a part of the sheet 30 can be inserted into the through hole 22. That is, the through hole 22 is formed in the portion 34 of the sheet 30.
Can be closed with. The sheet 30 has the through holes 22.
Only the portion located inside may extend and enter the through hole 22. In this case, the sheet 30 may be adhered to the substrate 20 (for example, peelable temporary adhesion). Alternatively,
A portion of the seat 30 located outside the through hole 22 may also be dragged into the through hole 22. In this case, the sheet 30 may be simply placed on the substrate 20.

【0026】シート30における貫通穴22に入り込ん
だ部分34は、光学的部分12(例えばその表面全体)
と接触していてもよい。シート30の一部分34は、図
1(C)に示す例では、幅又は直径において、貫通穴2
2よりも大きくなっているが、貫通穴22と同じであっ
てもよいし、貫通穴22よりも小さくてもよい。シート
30の一部分34は、図1(C)に示すように、その先
端部が丸く(曲面に)なっている。
The portion 34 of the sheet 30 that has entered the through hole 22 is the optical portion 12 (for example, the entire surface thereof).
May be in contact with. In the example shown in FIG. 1 (C), the portion 34 of the sheet 30 has a width or a diameter in the through hole 2.
Although it is larger than 2, it may be the same as the through hole 22 or smaller than the through hole 22. As shown in FIG. 1C, a portion 34 of the sheet 30 has a rounded tip (curved surface).

【0027】図2(A)に示すように、少なくとも光素
子10と基板20との間に樹脂40を設ける。ここで、
光素子10と基板20との間とは、光素子10のいずれ
かの面と、基板20のいずれかの面との間をいう。図2
(A)に示す例では、光素子10を樹脂40によって封
止している。樹脂40は、モールド工程又はポッティン
グ工程のいずれによって設けてもよい。樹脂40は、電
極14と配線パターン24との接合部も覆う。樹脂40
は、光素子10及び基板20の対向する面の間にも充填
される。樹脂40は、シート30の一部分34に接触
(又は密着)してもよい。ただし、基板20の貫通穴2
2には、シート30の一部分34が入り込んでいるの
で、樹脂40は、貫通穴22には入り込まない。すなわ
ち、樹脂40を設ける工程は、貫通穴22に入り込むこ
とを避けて行われる。樹脂40が遮光性(詳しくは光学
的部分12が反応する波長の光を遮断する性質)を有し
ていれば、光学的部分12に、樹脂40を通して外部光
が入ることを防止できる。
As shown in FIG. 2A, a resin 40 is provided at least between the optical element 10 and the substrate 20. here,
The term “between the optical element 10 and the substrate 20” means the term between any surface of the optical element 10 and any surface of the substrate 20. Figure 2
In the example shown in (A), the optical element 10 is sealed with the resin 40. The resin 40 may be provided by either the molding process or the potting process. The resin 40 also covers the joint between the electrode 14 and the wiring pattern 24. Resin 40
Are also filled between the opposing surfaces of the optical element 10 and the substrate 20. The resin 40 may contact (or adhere) to the portion 34 of the sheet 30. However, the through hole 2 of the substrate 20
Since the portion 34 of the sheet 30 has entered the portion 2, the resin 40 does not enter the through hole 22. That is, the step of providing the resin 40 is performed while avoiding entering the through hole 22. If the resin 40 has a light-shielding property (specifically, a property of blocking light of a wavelength with which the optical portion 12 reacts), it is possible to prevent external light from entering the optical portion 12 through the resin 40.

【0028】図2(B)に示すように、シート30を基
板20から除去する。また、樹脂40から、シート30
の一部分34を取り出す。そうすると、樹脂40には、
シート30の一部分34に対応した穴42が形成され
る。シート30の一部分34が光学的部分12に接触し
ていた場合、穴42内に光学的部分12が露出する。シ
ート30の一部分34の先端部が丸く(曲面に)なって
いた場合、樹脂40の穴42も、丸い(カーブした)内
面を有する。
As shown in FIG. 2B, the sheet 30 is removed from the substrate 20. In addition, from the resin 40 to the sheet 30
A portion 34 of the Then, the resin 40
A hole 42 corresponding to the portion 34 of the sheet 30 is formed. If portion 34 of sheet 30 was in contact with optical portion 12, then optical portion 12 would be exposed within hole 42. If the tip of the portion 34 of the sheet 30 is rounded (curved), the hole 42 of the resin 40 also has a rounded (curved) inner surface.

【0029】図2(C)に示すように、基板20に光導
波路50を取り付ける。詳しくは、基板20の貫通穴2
2に光導波路50(その先端部)を挿入する。光導波路
50は、光信号を伝搬させるための伝送線路である。光
導波路50の断面は、円形又は楕円形であることが多
い。本実施の形態では、光導波路50は、光ファイバで
ある。光ファイバはコアとクラッドで構成されている。
光ファイバの材料は、石英ガラス又はプラスチックのい
ずれでもよい。光ファイバは、ジャケットで被覆されて
光ファイバケーブルを構成してもよい。光導波路50
は、その先端面を光学的部分12に向けて配置する。
As shown in FIG. 2C, the optical waveguide 50 is attached to the substrate 20. Specifically, the through hole 2 of the substrate 20
The optical waveguide 50 (the tip thereof) is inserted into 2. The optical waveguide 50 is a transmission line for propagating an optical signal. The cross section of the optical waveguide 50 is often circular or elliptical. In the present embodiment, the optical waveguide 50 is an optical fiber. The optical fiber is composed of a core and a clad.
The material of the optical fiber may be either quartz glass or plastic. The optical fiber may be covered with a jacket to form an optical fiber cable. Optical waveguide 50
Arrange | positions the front end surface toward the optical part 12.

【0030】光導波路50(その先端部)は、樹脂40
の穴42にも挿入する。図2(B)に示す穴42は、光
学的部分12に近い位置の大きさ(幅又は内径)が、貫
通穴22の大きさ(幅又は内径)よりも小さくなってい
る。したがって、光導波路50の先端部は、光学的部分
12に接触せずに、穴42の内面に当たって止まるよう
になっている。これにより、光学的部分12が保護され
る。
The optical waveguide 50 (the tip thereof) is made of resin 40.
It is also inserted in the hole 42 of. The hole 42 shown in FIG. 2B has a size (width or inner diameter) at a position close to the optical portion 12 smaller than the size (width or inner diameter) of the through hole 22. Therefore, the tip portion of the optical waveguide 50 contacts the inner surface of the hole 42 and stops without contacting the optical portion 12. This protects the optical part 12.

【0031】以上の工程を経て、光モジュールを製造す
ることができる。本実施の形態によれば、光導波路50
を取り付ける前に樹脂40を設けるが、光学的部分12
を避けて樹脂40を設けることができる。したがって、
製造工程を円滑に行うことができる。
An optical module can be manufactured through the above steps. According to the present embodiment, the optical waveguide 50
The resin 40 is provided before mounting the optical part 12
The resin 40 can be provided while avoiding the above. Therefore,
The manufacturing process can be smoothly performed.

【0032】(第2の実施の形態)図3(A)〜図3
(C)は、本発明を適用した第2の実施の形態に係る光
モジュールの製造方法を説明する図である。本実施の形
態において、第1の実施の形態で説明した構成要素と同
一のものには同一の符号を付けて説明を省略する。
(Second Embodiment) FIGS. 3A to 3
(C) is a figure explaining the manufacturing method of the optical module which concerns on 2nd Embodiment to which this invention is applied. In this embodiment, the same components as those described in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0033】本実施の形態では、図3(A)に示すよう
に、基板20の貫通穴22に充填剤60を設ける。充填
剤60は、樹脂(例えば、シリコーン樹脂やレジストと
して使用される樹脂)であってもよい。充填剤60は、
例えばシリコーンゲルのようにゲル状であってもよい。
充填剤60は、光素子10を基板20に実装した後に設
けてもよい。その場合、充填剤60は、貫通穴22から
光学的部分12に至る領域にも設ける。充填剤60は、
基板20における光素子10が実装された面とは反対側
面から、貫通穴22を通じて設けてもよい。そして、光
素子10及び基板20の対向する面の間に充填剤60を
設ける。そして、貫通穴22を塞ぐ。また、光学的部分
12が充填剤60によって覆われる。充填剤60は、図
3(A)に示すように、基板20における光素子10が
実装された面とは反対側の面から盛り上がるように設け
てもよい。充填剤60は、電極14及び配線パターン2
4の接合部を避けて設けてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3A, the filler 60 is provided in the through hole 22 of the substrate 20. The filler 60 may be a resin (for example, a silicone resin or a resin used as a resist). The filler 60 is
It may be in the form of gel such as silicone gel.
The filler 60 may be provided after mounting the optical element 10 on the substrate 20. In that case, the filler 60 is also provided in the region from the through hole 22 to the optical portion 12. The filler 60 is
It may be provided through the through hole 22 from the side surface of the substrate 20 opposite to the surface on which the optical element 10 is mounted. Then, the filler 60 is provided between the opposing surfaces of the optical element 10 and the substrate 20. Then, the through hole 22 is closed. Also, the optical portion 12 is covered with the filler 60. As shown in FIG. 3A, the filler 60 may be provided so as to rise from the surface of the substrate 20 opposite to the surface on which the optical element 10 is mounted. The filler 60 is used for the electrode 14 and the wiring pattern 2.
It may be provided so as to avoid the joint portion of No. 4.

【0034】図3(B)に示すように、樹脂40(第1
の実施の形態で説明した。)を設ける。すでに、貫通穴
22に充填剤60が設けてあるので、樹脂40が貫通穴
22に入ることはない。また、充填剤60が光学的部分
12を覆っていれば、樹脂40が光学的部分12を覆う
こともない。充填剤60が、電極14及び配線パターン
24の接合部を避けて設けてあれば、電極14及び配線
パターン24の接合部は、樹脂40によって覆われる。
As shown in FIG. 3B, the resin 40 (first
The embodiment has been described above. ) Is provided. Since the filler 60 is already provided in the through hole 22, the resin 40 does not enter the through hole 22. Further, if the filler 60 covers the optical portion 12, the resin 40 does not cover the optical portion 12. If the filler 60 is provided so as to avoid the joint between the electrode 14 and the wiring pattern 24, the joint between the electrode 14 and the wiring pattern 24 is covered with the resin 40.

【0035】図3(C)に示すように、充填剤60を除
去する。充填剤60の除去は、水又は有機溶剤によって
行ってもよい。充填剤60は、貫通穴22から除去され
る。また、充填剤60は、光学的部分12上及びその上
方から除去される。そして、光学的部分12は、貫通穴
22内で露出する。樹脂40には、凹部44が形成され
る。凹部44は、光素子10における光学的部分12が
形成された面上に形成される。凹部44内に光学的部分
12が配置される。
As shown in FIG. 3C, the filler 60 is removed. The removal of the filler 60 may be performed with water or an organic solvent. The filler 60 is removed from the through hole 22. Also, the filler 60 is removed from above and above the optical portion 12. Then, the optical portion 12 is exposed in the through hole 22. A recess 44 is formed in the resin 40. The recess 44 is formed on the surface of the optical element 10 on which the optical portion 12 is formed. The optical portion 12 is arranged in the recess 44.

【0036】その後、図2(C)に示すように、光導波
路50を取り付ける。以上の工程を経て、光モジュール
を製造することができる。本実施の形態によれば、光導
波路50を取り付ける前に樹脂40を設けるが、光学的
部分12を避けて樹脂40を設けることができる。した
がって、製造工程を円滑に行うことができる。
After that, as shown in FIG. 2C, the optical waveguide 50 is attached. The optical module can be manufactured through the above steps. According to the present embodiment, the resin 40 is provided before attaching the optical waveguide 50, but the resin 40 can be provided while avoiding the optical portion 12. Therefore, the manufacturing process can be smoothly performed.

【0037】(第3の実施の形態)図4は、本発明を適
用した第3の実施の形態に係る光モジュールの製造方法
を説明する図である。本実施の形態では、図3(A)に
示す充填剤60の代わりに、充填剤62を使用する。充
填剤62は、光透過性を有する。充填剤62として、光
導波路50を構成する材料と同じ屈折率を有する材料を
使用してもよい。充填剤62として、屈折率調整剤を使
用してもよい。この例では、充填剤62が設けられる位
置は、貫通穴22を避けている点を除き、図3(A)に
示す充填剤60と同じであってもよい。例えば、図3
(A)に示す充填剤60と同じように、貫通穴22内に
も充填剤62を設け、その後貫通穴22から充填剤62
を除去してもよい。図4に示す例では、基板20におけ
る光素子10が実装された面とは反対側の面に、充填剤
62が付着していないが、これが付着していてもよい。
その他の詳細は、充填剤60について説明した内容が該
当する。本実施の形態では、充填剤62を残したまま、
光導波路50を取り付ける。光学的部分12と光導波路
50との間に充填剤62が設けられる。これによれば、
充填剤62を除去する工程がないので、光モジュールの
製造工程を簡略化することができる。
(Third Embodiment) FIG. 4 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical module according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a filler 62 is used instead of the filler 60 shown in FIG. The filler 62 is light transmissive. As the filler 62, a material having the same refractive index as the material forming the optical waveguide 50 may be used. A refractive index adjusting agent may be used as the filler 62. In this example, the position where the filler 62 is provided may be the same as the filler 60 shown in FIG. 3A except that the through hole 22 is avoided. For example, in FIG.
Similar to the filler 60 shown in (A), a filler 62 is also provided in the through hole 22, and then the filler 62 is introduced from the through hole 22.
May be removed. In the example shown in FIG. 4, the filler 62 is not attached to the surface of the substrate 20 opposite to the surface on which the optical element 10 is mounted, but it may be attached.
Other details correspond to the contents described for the filler 60. In the present embodiment, while leaving the filler 62,
The optical waveguide 50 is attached. A filler 62 is provided between the optical portion 12 and the optical waveguide 50. According to this
Since there is no step of removing the filler 62, the manufacturing process of the optical module can be simplified.

【0038】(第4の実施の形態)図5は、本発明を適
用した第4の実施の形態に係る光モジュールの製造方法
を説明する図である。本実施の形態では、樹脂40を、
光素子10における基板20とは反対側の面を避けて設
ける。すなわち、光素子10の側面に、樹脂40のフィ
レットを形成する。これ以外の内容は、第2の実施の形
態で説明した内容と同じである。本実施の形態によれ
ば、光素子10における基板20とは反対側の面が、樹
脂40によって覆われずに露出する。したがって、光素
子10の放熱効果が得られる。また、樹脂40から露出
した面に電極(パッド)が形成されている場合には、電
気的な接続を図ることができる。
(Fourth Embodiment) FIG. 5 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical module according to a fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, the resin 40 is
The optical element 10 is provided so as to avoid the surface opposite to the substrate 20. That is, the fillet of the resin 40 is formed on the side surface of the optical element 10. The other contents are the same as the contents described in the second embodiment. According to the present embodiment, the surface of optical element 10 opposite to substrate 20 is exposed without being covered with resin 40. Therefore, the heat dissipation effect of the optical element 10 can be obtained. Further, when electrodes (pads) are formed on the surface exposed from the resin 40, electrical connection can be achieved.

【0039】(第5の実施の形態)図6は、本発明を適
用した第5の実施の形態に係る光モジュールの製造方法
を説明する図である。本実施の形態では、第2の実施の
形態で説明した充填剤60を設ける代わりに、貫通穴2
2から光学的部分12に至るように流体(気体(例えば
空気)又は液体)を供給しながら、樹脂40を設ける。
例えば、基板20における光素子10が実装された側
に、チャンバ64を形成し、チャンバ64内に流体を供
給する。そして、貫通穴22から流体を送り込む。この
状態で樹脂40を設けると、貫通穴22の内部及び貫通
穴22から光学的部分12に至る領域に、樹脂40が行
き渡らなくなる。こうして、樹脂40を、貫通穴22内
を避けて、かつ、光学的部分12上及びその上方を避け
て設けることができる。
(Fifth Embodiment) FIG. 6 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical module according to a fifth embodiment of the present invention. In the present embodiment, instead of providing the filler 60 described in the second embodiment, the through hole 2
The resin 40 is provided while supplying a fluid (gas (eg, air) or liquid) from 2 to the optical portion 12.
For example, the chamber 64 is formed on the side of the substrate 20 on which the optical element 10 is mounted, and the fluid is supplied into the chamber 64. Then, the fluid is fed from the through hole 22. If the resin 40 is provided in this state, the resin 40 will not spread over the inside of the through hole 22 and the region from the through hole 22 to the optical portion 12. In this way, the resin 40 can be provided avoiding the inside of the through hole 22 and avoiding the optical part 12 and the upper part thereof.

【0040】その後、図2(C)に示すように、光導波
路50を取り付ける。以上の工程を経て、光モジュール
を製造することができる。本実施の形態によれば、光導
波路50を取り付ける前に樹脂40を設けるが、光学的
部分12を避けて樹脂40を設けることができる。した
がって、製造工程を円滑に行うことができる。
After that, as shown in FIG. 2C, the optical waveguide 50 is attached. The optical module can be manufactured through the above steps. According to the present embodiment, the resin 40 is provided before attaching the optical waveguide 50, but the resin 40 can be provided while avoiding the optical portion 12. Therefore, the manufacturing process can be smoothly performed.

【0041】図7(A)は、本発明を適用した実施の形
態に係る光伝達装置を示す図である。光伝達装置100
は、コンピュータ、ディスプレイ、記憶装置、プリンタ
等の電子機器102を相互に接続するものである。電子
機器102は、情報通信機器であってもよい。光伝達装
置100は、ケーブル104の両端にプラグ106が設
けられたものであってもよい。ケーブル104は、複数
の光導波路50(図2(C)参照)を含む。各光導波路
50の一方の端部に発光素子が位置合わせされ、他方の
端部に受光素子が位置合わせされている。発光素子又は
受光素子(少なくとも一方は上述した光素子10に相当
する。)は、図1に示す基板20に取り付けられてい
る。いずれかの電子機器102から出力された電気信号
は、発光素子によって光信号に変換され、光信号は光導
波路50を伝わり、受光素子によって電気信号に変換さ
れる。電気信号は、他の電子機器102に入力される。
こうして、本実施の形態に係る光伝達装置100によれ
ば、光信号によって、電子機器102の情報伝達を行う
ことができる。
FIG. 7A is a diagram showing an optical transmission device according to an embodiment to which the present invention is applied. Light transmission device 100
Is for mutually connecting electronic devices 102 such as a computer, a display, a storage device, and a printer. The electronic device 102 may be an information communication device. The light transmission device 100 may be one in which the plugs 106 are provided at both ends of the cable 104. The cable 104 includes a plurality of optical waveguides 50 (see FIG. 2C). The light emitting element is aligned with one end of each optical waveguide 50, and the light receiving element is aligned with the other end. The light emitting element or the light receiving element (at least one of which corresponds to the above-described optical element 10) is attached to the substrate 20 shown in FIG. An electric signal output from one of the electronic devices 102 is converted into an optical signal by the light emitting element, the optical signal is transmitted through the optical waveguide 50, and converted into an electric signal by the light receiving element. The electric signal is input to the other electronic device 102.
Thus, according to the optical transmission device 100 according to the present embodiment, it is possible to transmit information of the electronic device 102 by using the optical signal.

【0042】図7(B)は、本発明を適用した実施の形
態に係る光伝達装置を示す図である。本実施の形態に係
る光伝達装置は、第1の実施の形態の変形例に係る光モ
ジュールを有する。図7(B)において光導波路50
は、樹脂40の穴42に挿入されていない。また、光導
波路50は、基板20の貫通穴22に挿入されていな
い。光導波路50の先端面は、基板20における光素子
10が実装された面とは反対側の面と面一の位置に配置
されている。この状態で、光導波路50が固定されてコ
ネクタ70が形成されている。
FIG. 7B is a diagram showing an optical transmission device according to an embodiment to which the present invention is applied. The optical transmission device according to the present embodiment has the optical module according to the modification of the first embodiment. In FIG. 7B, the optical waveguide 50
Are not inserted into the holes 42 of the resin 40. Moreover, the optical waveguide 50 is not inserted into the through hole 22 of the substrate 20. The tip end surface of the optical waveguide 50 is arranged flush with the surface of the substrate 20 opposite to the surface on which the optical element 10 is mounted. In this state, the optical waveguide 50 is fixed and the connector 70 is formed.

【0043】図8は、本発明を適用した実施の形態に係
る光伝達装置の使用形態を示す図である。光伝達装置1
12は、電子機器110間を接続する。電子機器110
として、液晶表示モニター又はディジタル対応のCRT
(金融、通信販売、医療、教育の分野で使用されること
がある。)、液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイ
パネル(PDP)、ディジタルTV、小売店のレジ(P
OS(Point of SaleScanning)用)、ビデオ、チュー
ナー、ゲーム装置、プリンター等が挙げられる。
FIG. 8 is a diagram showing a usage pattern of the optical transmission device according to the embodiment to which the present invention is applied. Light transmission device 1
12 connects between the electronic devices 110. Electronic device 110
As a liquid crystal display monitor or digital CRT
(It may be used in the fields of finance, mail order, medical care, and education.), LCD projector, plasma display panel (PDP), digital TV, cash register (P) of retail stores.
Examples include OS (Point of SaleScanning), video, tuner, game machine, printer, and the like.

【0044】本発明は、上述した実施の形態に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本
発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構
成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるい
は目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明
は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置
き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説
明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目
的を達成することができる構成を含む。また、本発明
は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構
成を含む。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but various modifications can be made. For example, the present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations having the same function, method and result, or configurations having the same purpose and result). Further, the invention includes configurations in which non-essential parts of the configurations described in the embodiments are replaced. Further, the present invention includes a configuration having the same effects as the configurations described in the embodiments or a configuration capable of achieving the same object. Further, the invention includes configurations in which known techniques are added to the configurations described in the embodiments.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1(A)〜図1(C)は、本発明を適用した
第1の実施の形態に係る光モジュールの製造方法を説明
する図である。
FIG. 1 (A) to FIG. 1 (C) are views for explaining a method of manufacturing an optical module according to a first embodiment to which the present invention is applied.

【図2】図2(A)〜図2(C)は、本発明を適用した
第1の実施の形態に係る光モジュールの製造方法を説明
する図である。
FIG. 2A to FIG. 2C are diagrams illustrating a method of manufacturing the optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図3】図3(A)〜図3(C)は、本発明を適用した
第2の実施の形態に係る光モジュールの製造方法を説明
する図である。
FIG. 3 (A) to FIG. 3 (C) are diagrams illustrating a method of manufacturing an optical module according to a second embodiment of the present invention.

【図4】図4は、本発明を適用した第3の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a method of manufacturing an optical module according to a third embodiment of the present invention.

【図5】図5は、本発明を適用した第4の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a method of manufacturing an optical module according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】図6は、本発明を適用した第5の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を説明する図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a method for manufacturing an optical module according to a fifth embodiment of the present invention.

【図7】図7(A)及び図7(B)は、本発明を適用し
た実施の形態に係る光伝達装置を示す図である。
FIG. 7A and FIG. 7B are diagrams showing an optical transmission device according to an embodiment to which the present invention is applied.

【図8】図8は、本発明を適用した実施の形態に係る光
伝達装置の使用形態を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a usage pattern of the optical transmission device according to the embodiment to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 光素子 12 光学的部分 20 基板 22 貫通穴 30 シート 40 樹脂 50 光導波路 60 充填剤 10 optical elements 12 Optical part 20 substrates 22 through hole 30 sheets 40 resin 50 optical waveguide 60 Filler

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)光学的部分を有する光素子を、貫
通穴を有する基板に実装し、 (b)少なくとも前記光素子と前記基板の間に樹脂を設
け、 (c)前記樹脂が設けられた後に、前記貫通穴に向けて
光導波路を取り付けることを含み、 前記(a)工程で、前記光学的部分を前記貫通穴に向け
て前記光素子を配置し、 前記(b)工程は、前記樹脂が前記貫通穴に入り込むこ
とを避けて行う光モジュールの製造方法。
1. An optical element having (a) an optical portion is mounted on a substrate having a through hole, (b) a resin is provided at least between the optical element and the substrate, and (c) the resin is provided. After that, including mounting an optical waveguide toward the through hole, in the step (a), the optical element is arranged with the optical portion facing the through hole, the step (b), A method of manufacturing an optical module, wherein the resin is prevented from entering the through hole.
【請求項2】 請求項1記載の光モジュールの製造方法
において、 前記(b)工程の前に、前記貫通穴を塞いでおく光モジ
ュールの製造方法。
2. The method of manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the through hole is closed before the step (b).
【請求項3】 請求項2記載の光モジュールの製造方法
において、 前記貫通穴を塞ぐ工程は、前記基板に変形可能シートを
重ねて、前記貫通穴を介して前記変形可能シートを吸引
し、前記貫通穴から前記光学的部分に至るまで前記変形
可能シートの一部を入り込ませて行う光モジュールの製
造方法。
3. The method of manufacturing an optical module according to claim 2, wherein in the step of closing the through hole, a deformable sheet is superposed on the substrate, and the deformable sheet is sucked through the through hole, A method of manufacturing an optical module, comprising: inserting a part of the deformable sheet from a through hole to the optical portion.
【請求項4】 請求項3記載の光モジュールの製造方法
において、 前記(b)工程の後に、前記変形可能シートを除去する
光モジュールの製造方法。
4. The method of manufacturing an optical module according to claim 3, wherein the deformable sheet is removed after the step (b).
【請求項5】 請求項2記載の光モジュールの製造方法
において、 前記貫通穴を塞ぐ工程は、前記貫通穴から前記光学的部
分に至る領域に充填剤を設けて行う光モジュールの製造
方法。
5. The method of manufacturing an optical module according to claim 2, wherein the step of closing the through hole is performed by providing a filler in a region extending from the through hole to the optical portion.
【請求項6】 請求項5記載の光モジュールの製造方法
において、 前記(b)工程の後に、前記充填剤を除去する光モジュ
ールの製造方法。
6. The method for manufacturing an optical module according to claim 5, wherein the filler is removed after the step (b).
【請求項7】 請求項1記載の光モジュールの製造方法
において、 前記(b)工程を、前記貫通穴から前記光学的部分に至
るように流体を供給しながら行う光モジュールの製造方
法。
7. The method of manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the step (b) is performed while supplying a fluid from the through hole to the optical portion.
【請求項8】 請求項1から請求項7のいずれかに記載
の光モジュールの製造方法において、 前記(b)工程で、前記光素子を覆うように前記樹脂を
設ける光モジュールの製造方法。
8. The method of manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the resin is provided so as to cover the optical element in the step (b).
【請求項9】 請求項1から請求項7のいずれかに記載
の光モジュールの製造方法において、 前記(b)工程で、前記光素子における前記基板とは反
対側面を避けて前記樹脂を設ける光モジュールの製造方
法。
9. The method of manufacturing an optical module according to claim 1, wherein in the step (b), the resin is provided so as to avoid the side surface of the optical element opposite to the substrate. Module manufacturing method.
【請求項10】 請求項1から請求項9のいずれかに記
載の方法によって製造された光モジュール。
10. An optical module manufactured by the method according to any one of claims 1 to 9.
【請求項11】 請求項10記載の光モジュールを有
し、前記光導波路の両端部のそれぞれに前記光素子が取
り付けられてなる光伝達装置。
11. An optical transmission device comprising the optical module according to claim 10, wherein the optical element is attached to each of both ends of the optical waveguide.
【請求項12】 請求項11記載の光伝達装置におい
て、 前記光導波路の両端部のそれぞれに設けられたプラグを
さらに有する光伝達装置。
12. The optical transmission device according to claim 11, further comprising plugs provided at both ends of the optical waveguide.
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