JP2003034428A

JP2003034428A - 基板搬送装置および姿勢変換装置

Info

Publication number: JP2003034428A
Application number: JP2001218175A
Authority: JP
Inventors: Hisao Tajima; 尚雄田島
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-07-18
Filing date: 2001-07-18
Publication date: 2003-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板を破損や、汚れを生じさせること
なく容易に収納ケースに出し入れしたり、搬送したりで
きる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置３０は、実質的に垂直に立
てたガラス基板１の下端に当接する下保持部材１２が固
定されたベース板２を有している、ベース板２には、上
端に取っ手５が固定されたスライド板３がベース板２に
沿って上下方向にスライド可能に取り付けられている。
ベース板２とスライド板３に、スライド板３がスライド
するのに連動して回転軸７の周りに回転する連動板６が
取り付けられており、その端部にガラス基板１の上端に
当接する上部保持部１０が固定されている。取っ手５を
持つと、ガラス基板１は上部保持部１０と下保持部材１
２との間に挟み込まれて垂直に立てた状態で保持され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像表示装置など
のガラス基板が用いられる製品の製造プロセスにおい
て、ガラス基板を搬送、収納などするのに用いられる基
板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】テレビ、コンピュータの端末、公告媒
体、標識などの用途に、電子放出素子を用いた表示装
置、プラズマ放電を用いた表示装置、液晶を用いた表示
装置、蛍光表示管を用いた表示装置などの薄型平面型画
像表示装置が用いられている。また近年では、このよう
な薄型の画像表示装置は、その特徴を生かして、画面サ
イズが４０型以上の大型の壁掛けテレビに利用され注目
されている。

【０００３】このような薄形の画像表示装置は、画像表
示部、電気回路部、それらを支持する構造部、さらに外
装部を基本的な要素として構成されている。以上の構成
要素の中でも特に主要な構成要素である画像表示部は、
通常、表面に電気回路を形成した薄いガラス板を用いて
製造されている。

【０００４】このような画像表示部の製造方法につい
て、電子放出素子を用いた、一般的にＳＥＤと呼ばれる
画像表示部の製造方法を例にとって説明する。まず、真
空容器を形成する背面側の後面ガラス板（リアプレー
ト）上の各画素位置に、電子放出のための＋電極と−電
極となる導電性膜を数十〔μｍ〕の間隔で対向させて形
成する。次に、真空空隙外の電気実装回路からの電気信
号を＋電極に導くためのＸ方向配線を印刷法で形成す
る。次に、Ｘ方向配線上の、後の工程で形成するＹ方向
配線との交差部に、Ｘ方向配線とＹ方向配線とを電気的
に絶縁するための層間絶縁層を形成する。その後、真空
空隙外の電気実装回路からの電気信号を−電極に導くた
めのＹ方向配線を印刷法で形成する。さらに、＋電極と
−電極をつなぐ、微粒子からなる導電性薄膜を形成し、
＋電極と−電極に電位を与えて導電性薄膜の一部に電子
放出部を形成する。

【０００５】一方、後面ガラス板に対向して配置される
表面側の前面ガラス板（フェイスプレート）には、真空
空隙側に、コントラストを向上するためのブラックスト
ライプ膜、三原色ＲＧＢ各色相の蛍光体膜、さらにその
上に導電性のメタルバック膜をそれぞれ印刷法により形
成する。

【０００６】以上の製造プロセスで用いられる前面ガラ
ス板（以下ＦＰと略称する）および後面ガラス板（以下
ＲＰと略称する）は、例えば画面サイズ４０型の画像表
示装置に用いられるもので外形寸法が約９００ｍｍ×６
００ｍｍであり、板厚は３ｍｍ以下である。画像表示装
置の製造プロセスにおいては、このようなＦＰ、ＲＰに
上述のような膜形成などの処理を行い、それらを支持す
る構造部に組み付けるため、ＦＰ、ＲＰを装置から装置
に移動させたり、一時保管したりする必要がある。この
際には、薄くて大きなＦＰ、ＲＰを破損させないように
注意が必要である。また、電子放出素子や回路パター
ン、蛍光体などが汚染されたり異物が付着したりしない
ように注意が必要である。特に、ＦＰやＲＰをコンベア
ー装置などによらず、人手によって基板収納用カセット
に収納し、搬送や保管を行う場合は、カセットへの収納
やカセットからの取り出し時に細心の注意を払う必要が
ある。

【０００７】ガラス板を人手で搬送するのに用いられる
装置としては、図１４に外観図を示す、ガラス板搬送用
の吸着装置が知られており、すでに市販されている。こ
のガラス搬送用の吸着装置は、人が把むのに都合のよい
アーチ状の取っ手６４を有している。取っ手６４の両端
には、縁部全周を平らなガラス板６１の表面に密着させ
ることができるお椀状の形状を有する吸着パッド６２が
取り付けられている。各吸着パッド６２には、ガラス板
６１に縁部を密着させた状態で、吸着パッド６２内の空
気を外部へ放出するためのレバー６３がそれぞれ設けら
れている。

【０００８】この吸着装置の使用方法は以下の通りであ
る。まず、作業者は、取っ手６４を把んで吸着パッド６
２をガラス板６１の表面に密着させて軽く押し付ける。
次にこの状態で、レバー６３を動作させて吸着パッド６
２内部の空気を除去する。これによって、吸着パッド６
２内部を実質的に真空にすることができ、吸着パッド６
２は大気圧によってガラス板６１上に固定され、作業者
は取っ手６４を把んでガラス板６１を搬送することがで
きる。

【０００９】また、ガラス板を人手で搬送するのに用い
られる、別の従来例の装置として、すでに市販されてい
るガラスマスク搬送用装置がある。図１５に、従来例の
ガラスマスク搬送用装置の平面図を示す。このガラスマ
スク搬送用装置は、回路パターンの製作などに用いられ
るガラスマスク７１を人手で搬送するのに用いられる。
ガラスマスク７１は、大きいものでは厚さ５ｍｍ、縦横
９００ｍｍ以上の大きさを有している。

【００１０】このガラスマスク搬送用装置は、連結棒７
３の両端のそれぞれに接続されたクランプ部７２を有し
ている。各クランプ部７２には、作業者が把むのに都合
が良い形状の取っ手７４が設けられている。連結棒７３
は、クランプ部７２と共働してガラスマスク７１を支持
するため、一定の剛性を有している。詳細な機構につい
ての説明は省略するが、ガラスマスク７１の対向する左
右の端面のそれぞれに各クランプ部７２を当接させ、左
右の取っ手７４を把むと、クランプ部７２内部の機構に
よりガラスマスク７１の端面とクランプ部７２との間に
大きな摩擦力が発生する構造になっている。このガラス
マスク搬送用装置を用いた場合には、上述のように大き
なガラスマスク７１を左右の端部付近で支持するため、
通常、２名の作業者が左右それぞれの取っ手７４を把ん
で搬送を行う。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のようなガラス板
やガラスマスクを搬送する従来の装置を、画像表示装置
のＦＰやＲＰの製造プロセスで用いようとした場合に
は、以下のような改善すべき点がある。１．前述のガラス搬送用の吸着装置では、吸着装置をガ
ラス板上に吸着させる際にガラス板の吸着面上にかなり
広い空間が必要である。一方、ＦＰやＲＰは、通常、収
納ケース内に複数枚場所を取らないように平行に並べて
収納される。したがって、収納ケース内にはあまり広い
空間は確保できず、従来の吸着装置を用いたのでは、収
納ケースからＦＰやＲＰを出し入れするのは困難であ
る。２．ＦＰやＲＰは、通常３ｍｍ以下の薄いガラスである
ためガラスマスクに比較して剛性が低い。このため、端
面を左右から挟んで支持する、従来のガラスマスク搬送
用装置を用いて搬送しようとした場合には、ＦＰやＲＰ
を破損する危険がある。３．従来のガラスマスク搬送用装置では、搬送作業に２
名の作業者が必要となり製造コストの上昇を招くことに
なる。また、２名の作業者が連携して搬送を行う場合、
ガラス板を誤って落下させてしまう事態を招きやすい。

【００１２】さらに、我々が実験とシミュレーションを
行った結果以下のような課題があることもわかった。こ
の課題について、図１６，１７を参照して説明する。図
１６は、画像表示装置に用いられる複数のＦＰまたはＲ
Ｐ（以後ＦＰ（ＲＰ）と表記）８１を収納する一般的な
収納ケース８２とそれに収納されたＦＰ（ＲＰ）８１の
外観図である。図１７は、収納ケース８２の側壁付近の
断面図である。

【００１３】収納ケース８２は、樹脂板を貼り合わせて
製作されている。収納ケース８２の底面には、ＦＰ（Ｒ
Ｐ）８１への衝撃を緩和するための不図示の緩衝材が配
置されている。また収納ケース８２には、図１６では開
かれている、ＦＰ（ＲＰ）８１の出入口を覆って埃の進
入を防ぐための蓋も準備されている。

【００１４】収納ケース８２の対面する両側壁には、図
１７に示すように、ＦＰ（ＲＰ）８１の側端を挿入可能
な溝状の仕切り部８４が上下方向に一定の間隔で複数設
けられている。ＦＰ（ＲＰ）８１は、両側の対向する仕
切り部８４端部の各入口８３から、仕切り部８４に沿っ
てスライドさせて挿入され、一枚ずつ間隔を置いて支持
される。

【００１５】ＦＰ（ＲＰ）８１の表面が汚れないよう
に、仕切り部８４の上下の壁は、側方に向って先細にな
る斜面になっており、実質的にＦＰ（ＲＰ）８１の角部
のみに接触する。また、仕切り部８４の材質も、ＦＰ
（ＲＰ）８１を破損しにくく、また埃の発生が少ない樹
脂材料になっている。

【００１６】従来、ＦＰ（ＲＰ）８１のようなガラスの
薄板を収納ケース８２に出し入れする場合には、図１６
に示すように、収納ケース８２は、収納されるガラスの
薄板が水平になる向きに倒した状態にされる。我々が実
際の製造に用いられるＦＰ（ＲＰ）８１を用いて実験し
たところ、このように収納ケース８２内に水平に支持さ
れた状態では、ＦＰ（ＲＰ）８１は重力によって数ｍｍ
たわむことがわかった。またシミュレーションによって
構造解析を行った結果、ＦＰ（ＲＰ）８１を収納ケース
８２に収納する際、仕切り部８４の入口８３に当接す
る、ＦＰ（ＲＰ）８１の端部には、大きな応力が加わる
こともわかった。計算値であるが、ＦＰ（ＲＰ）８１の
端部には、約１１ＭＰａの引っ張り応力が加わる。我々
の経験から、ＦＰ（ＲＰ）８１に７ＭＰａを越える引っ
張り応力が加わった場合、僅かな傷などがあればＦＰ
（ＲＰ）８１は破損してしまうことがわかっている。

【００１７】以上のことから、収納ケースにＦＰ（Ｒ
Ｐ）を出し入れする場合には、収納ケースを、収納され
るガラスの薄板が垂直になる向きにした状態にすること
が望ましいことがわかる。したがって、搬送装置は、ガ
ラスの薄板を垂直な向きにした状態で収納ケースに出し
入れできる構成であることが望ましい。

【００１８】以上、ガラス薄板を扱う製造プロセスにお
ける課題を上述ではＳＥＤを例にとって説明したが、も
ちろん、プラズマ放電を用いた画像表示部、液晶を用い
た画像表示部、蛍光表示管を用いた画像表示部などの製
造プロセスにおいても同様の課題がある。

【００１９】本発明は上述のような実状に鑑みてなされ
たものであり、本発明の目的は、薄型平面型画像表示装
置のＦＰおよびＲＰのようなガラスの薄板を、破損や、
汚れを生じさせることなく収納ケースに出し入れした
り、搬送したりでき、またこのような製造プロセスを低
コストで実施可能な基板搬送装置を提供することにあ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
め、本発明の基板搬送装置は、被支持部と、垂直に立て
た状態のガラス基板の下端に当接する下保持部材と、ガ
ラス基板の上端に当接する上保持部材と、被支持部を支
持した状態で、ガラス基板および／または上保持部材と
それに結合された部材の荷重を利用して上保持部材に下
向きに力を加える加圧機構とを有することを特徴とす
る。

【００２１】この構成の基板搬送装置は、ガラス基板を
垂直に立てた状態で、上端と下端との間に挟み込む力を
加えることよって、ガラス基板を垂直に立てた状態を維
持したまま保持できる。そこでこの基板搬送装置を用い
ることによって、ガラス基板を垂直に立てた状態で搬送
することができる。また、ガラス基板を上端と下端との
間に挟み込む力を加えて保持するので、搬送時にガラス
基板の表面に部材を当接させる必要がなく、ガラス基板
の表面が汚染されたり傷ついたりするのを防止できる。

【００２２】本発明の基板搬送装置を用いて人手でガラ
ス基板を搬送する場合、ガラス基板を垂直な状態に保持
する力は、ガラス基板および／または上保持部材とそれ
に結合された部材の荷重によって生じるので、作業者
は、ガラス基板を保持した基板搬送装置を支持する操作
のみを行なえばよい。したがって、本発明の基板搬送装
置を用いることによって、作業者は１人で楽にガラス基
板を搬送することができる。特に、基板を保持した基板
搬送装置を支持するための被支持部を、人が片手で支持
可能な形状として、片手で搬送を行えるようにすること
も可能である。

【００２３】本発明の基板搬送装置は、上保持部材と下
保持部材とが、被支持部を引き上げる動作に連動して、
両者の間隔を狭める方向に相対的に移動する構成を有す
ることが望ましい。この構成によれば、上保持部材と下
保持部材との一方をガラス基板の端部に当接させ、もう
一方を、その移動方向に見て、ガラス基板の反対側の端
部に並ぶ位置に位置させた状態にし、その状態から被支
持部を引き上げていくことによって、ガラス基板を上保
持部材と下保持部材との間に挟み込んで保持した状態に
することが容易にできる。

【００２４】本発明において、上保持部材と下保持部材
の、少なくともガラス基板に当接する部分の材質は、ガ
ラス基板を汚染したり傷つけたりすることのない樹脂と
することが望ましい。

【００２５】また、上保持部材および／または下保持部
材は、ガラス基板を保持した時にガラス基板に垂直な方
向を向く回転軸の周りに回転可能な構成とすることが望
ましい。このようにすることによって、上保持部材と下
保持部材の、ガラス基板との当接面を、ガラス基板の端
部に沿って位置させ、ガラス基板に当接面にわたって均
等に力が加わるようにでき、局所的に力が加わってガラ
ス基板に過度の応力が加わることを防止できる。

【００２６】本発明のより具体的な構成として、基板搬
送装置は、下保持部材が固定されたベース板と、ベース
板にスライド可能に取り付けられ、被支持部が設けられ
たスライド板と、ベース板に固定された回転軸の周りに
回転可能に取り付けられ、回転軸を挟んだ一端側に上保
持部材が固定され、他端側が、スライド板に固定された
摺動軸に、回転軸の半径方向にスライド可能に嵌合され
た連動板とを有する構成にできる。

【００２７】この構成によれば、被支持部を引き上げる
ことによってスライド板がスライドし、それに連動して
連動板が回転し、上保持部材が、下保持部材側に向って
移動する。そこで、下保持部材をガラス基板の下端に当
接させ、上保持部材をガラス基板の上端の真上に位置さ
せた状態にし、被支持部を引き上げていくことによっ
て、ガラス基板を下保持部材と上保持部材とによって挟
み込ませることができる。

【００２８】そして、さらに被支持部を引き上げて、ガ
ラス基板を持ち上げると、ガラス基板の荷重が、ベース
板とスライド板と連動板とを介して、下向きの力として
上保持部材に加わる。また、上保持部材とそれに結合さ
れた連動板、ベース板、下保持部材などの荷重によって
も下向きに力が加わる。すなわち、これらベース板、ス
ライド板、連動板によって、上保持部材に下向きの力を
加える加圧機構が構成されている。上保持部材に加わる
この下向きの力によって、ガラス基板には上端と下端と
の間に挟み込む力が加わり、それによってガラス基板を
垂直な姿勢で保持することができる。

【００２９】この構成では、特に、スライド板を挟んで
両側に１つずつ連動板を設けることができる。それによ
って、それぞれの連動板に固定された２つの上保持部材
を、ガラス基板の上端の離れた位置に当接させ、ガラス
基板を安定して保持することができる。

【００３０】また、この構成の場合、上述のように、下
保持部材をガラス基板に当接させた状態で、被支持部を
引き上げることによって、上保持部材が移動してガラス
基板の上端に当接する。そこで、特に、上保持部材を回
転可能な構成にすることによって、上保持部材が、ガラ
ス基板の上端に当接する際に、その当接面がガラス基板
の上端に沿うように回転する。それによって、上保持部
材と下保持部材の両方の当接面を、ガラス基板の端部に
沿って位置させることが容易にできる。

【００３１】本発明の他の具体的な構成として、基板搬
送装置は、下保持部材が固定された、被支持部が設けら
れた連結棒と、上保持部材が固定された、連結棒にスラ
イド可能に取り付けられた上ベース板とを有する構成に
できる。

【００３２】この構成によれば、上保持部材をガラス基
板の上端に当接させた状態で、被支持部を引き上げるこ
とによって、上保持部材は上ベース板がスライドするた
めその位置を保ち、下保持部材が上保持部材側に向って
移動する。そこで、上保持部材をガラス基板の上端に当
接させ、下保持部材をガラス基板の下端の真下に位置さ
せた状態にし、被支持部を引き上げていくことによっ
て、ガラス基板を下保持部材と上保持部材とによって挟
み込ませることができる。

【００３３】そして、さらに被支持部を引き上げて、ガ
ラス基板を持ち上げた状態で、上保持部材には、自身の
荷重と上ベース板の荷重が下向きに加わる。すなわち、
上ベース板と連結棒によって、上保持部材に下向きの力
を加える加圧機構が構成されている。上保持部材に加わ
るこの下向きの力によって、ガラス基板には上端と下端
との間に挟み込む力が加わり、それによってガラス基板
を垂直な姿勢で保持することができる。

【００３４】この構成では、特に、上ベース板のスライ
ド範囲を所望の位置より上の範囲に規制するストッパー
を設けることが好ましい。このようにすることによっ
て、上保持部材を押さえていなくても、上保持部材を基
板搬送装置の上部の所望の位置に留まらせることがで
き、上保持部材をガラス基板の上端に当接させることが
容易にできる。

【００３５】また、この構成の場合、上述のように、上
保持部材をガラス基板に当接させた状態で、被支持部を
引き上げることによって、下保持部材が移動してガラス
基板の下端に当接する。そこで、特に、下保持部材を回
転可能な構成にすることによって、下保持部材が、ガラ
ス基板の上端に当接する際に、その当接面がガラス基板
の下端に沿うように回転する。それによって、上保持部
材と下保持部材の両方の当接面を、ガラス基板の端部に
沿って位置させることが容易にできる。

【００３６】本発明の姿勢変換装置は、上述のような基
板搬送装置と共に用いられる姿勢変換装置であって、水
平な回転軸の周りに回転可能な、ガラス基板を表面と下
端とに当接して支持する搭載部と、搭載部の回転を、ガ
ラス基板との当接面が、垂直な方向から少し傾いて上方
を向いた位置と、水平に上方を向いた位置とで止めるこ
とができるストッパーとを有することを特徴とする。

【００３７】この構成の姿勢変換装置を用いることによ
って、上述のような基板搬送装置によって垂直な状態で
搬送されたガラス基板を水平な状態にすることが容易に
できる。このようにガラス基板を水平な状態にすること
によって、ガラス基板にそれを水平に寝かした状態で処
理を行う一般的な処理装置にガラス基板を受け渡すこと
が容易にできる。

【００３８】本発明の姿勢変換装置は、搭載部を、搭載
部の回転軸の半径方向に平行な方向に延びる、複数平行
に配置されたアームから構成し、このアームを、ガラス
基板が搭載されるガラス基板搭載部と、ガラス基板搭載
部をアームの延在方向にスライド可能に支持するレール
部とを有する構成にすることが望ましい。

【００３９】このような構成にすることによって、ガラ
ス基板を処理装置の受け取り機構上に位置させることが
容易にできる。そして、受け取り機構に、ガラス基板表
面の、アームに当接していない部分に、昇降移動する部
材を設けておくことによって、ガラス基板を水平な状態
のまま受け取らせることが容易にできる。

【００４０】また、姿勢変換装置には、基板搬送装置
を、ガラス基板およびアームから離れた位置に、搭載部
と平行に支持する基板搬送装置収容部を設けることが好
ましい。このような基板搬送装置収容部を設けることに
よって、ガラス基板を搬送するのに用いた基板搬送装置
を姿勢変換装置内に一時的に収容することができ、姿勢
変換装置へのガラス基板の受け渡しを効率的に実施でき
る。

【００４１】本発明において、搭載部の、少なくともガ
ラス基板に当接する部分の材質は、ガラス基板を汚染し
たり傷つけたりすることのない樹脂とすることが望まし
い。

【００４２】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
形態について説明する。

【００４３】（第１の実施形態）図１〜４に、本発明の
第１の実施形態の基板搬送装置３０の模式図を示す。図
１，２はこの基板搬送装置３０の平面図、図３は基板搬
送装置３０の下部断面図、図４は基板搬送装置３０の上
部断面図である。この基板搬送装置３０は、ＦＰまたは
ＲＰとなるガラス基板１を搬送するのに用いる装置であ
る。搬送するガラス基板１は、例えば、厚さ３ｍｍ、外
形９００ｍｍ×６００ｍｍの大きさを有しており、表面
に成膜処理が施される。

【００４４】この基板搬送装置３０は、厚さ２ｍｍのア
ルミニウム板にアルマイト処理を施して形成されたベー
ス板２を有している。このベース板２には、図には示し
ていないが剛性を上げるために補強リブが曲げ加工によ
って形成されている。ベース板２の下部は、左右端で下
方に向って延びる２本の細長い矩形状部を有する形状を
有している。各矩形状部の下端には、図３に示すよう
に、ベース板２の表面上から実質的に垂直に突出する下
保持部材１２がねじ（図示せず）によって固定されてい
る。下保持部材１２は、その上面がガラス基板１の上端
に当接してガラス基板１を保持する部分であり、当接し
てもガラス基板１を破損せず、また充分な耐久性を有す
る硬質樹脂からなっている。また、下保持部材１２の先
端には、ガラス基板１がずれて落ちないように、上方に
突出する突起１２ａが設けられている。

【００４５】ベース板２の上部の中央には、下固定ねじ
４ａと上固定ねじ４ｂによって、上下に細長い矩形状の
スライド板３がベース板２に平行に取り付けられてい
る。スライド板３は、厚さ２ｍｍのアルミニウム板にア
ルマイト処理を施して形成されている。スライド板３に
は、図には示していないが剛性を上げるために補強リブ
が曲げ加工によって形成されている。スライド板３の上
端には、作業者が把みやすいように中央に開口を有する
取っ手（被支持部）５がねじ（図示せず）によって固定
されている。取っ手５は、ガラス基板１を搬送する際に
作業者が握る部分である。

【００４６】スライド板３の下部の中央には、上下方向
に延びる長穴３ａが開口されており、この長穴３ａに下
固定ねじ４ａと上固定ねじ４ｂが通されている。それに
よって、スラード板３は、ベース板２上で所定量だけ上
下方向にスライド可能に支持されている。スムースにス
ライドするように、下固定ねじ４ａと上固定ねじ４ｂ
の、長穴３ａに接する部分には滑り性が良い樹脂が用い
られている（図示せず）。また、ベース板２とスライド
板３との間には、両者が接触しないように樹脂からなる
スペーサー（図示せず）が挿入されている。

【００４７】ベース板２上部の左右には、連動板６が、
カシメ加工によってベース板２に固定された回転軸７に
よって、その周りに回転可能に取り付けられている。連
動板６は、剛性を有するアルミニウム板にアルマイト処
理を施して形成されており、回転軸７に支持された部分
から中央寄りに斜め上方に延びる部分と、外側に向って
斜め上方に延びる部分とを有している。連動板６の、中
央寄りに斜め上方に延びる部分の端部には、長穴（図示
せず）が開口されており、この長穴に、スライド板３の
左右の端部付近にカシメ加工によって固定された摺動軸
９が嵌合されている。したがって、連動板６はスライド
板３がスライドするのに連動して回転する。

【００４８】連動板６の、外側に向って斜め上方に延び
る部分の端部には、回転軸８がカシメ加工によって固定
され、それを開口に嵌合することによって上保持部１０
が回転可能に取り付けられている。上保持部１０の上面
には、作業者が把みやすいように中央に開口を有する握
り手１１がねじ（図示せず）によって固定されている。
上保持部１０は、回転軸７を中心とした円運動と回転軸
８を中心とした回転運動をさせることによって、ガラス
基板１の上端に密着させたり、離したりすることができ
る。

【００４９】上保持部１０は、連動板６に平行に延びる
ベース部１０ｂと、その上端に、ベース部１０ｂの表面
上から実質的に垂直に突出する保持部（上保持部材）１
０ａとを有している。保持部１０ａとベース部１０ｂと
はねじによって結合されている。ベース部１０ｂは、剛
性を有するアルミニウム板を板金加工した後にアルマイ
ト処理を施して形成されており、回転軸８に嵌合する穴
を備えている。保持部１０ａは、その下面がガラス基板
１の上端に当接してガラス基板１を保持する部分であ
り、当接してもガラス基板１を破損せず、また充分な耐
久性を有する硬質樹脂からなっている。また、保持部１
０ａの先端には、ガラス基板１がずれて落ちないよう
に、下方に突出する突起１０ｃが設けられている。

【００５０】次に、この基板搬送装置３０を用いてガラ
ス基板１を搬送する操作について説明する。

【００５１】ガラス基板１を基板搬送装置３０を用いて
搬送する場合、まず作業者は握り手１１を左右の手で持
ち、下保持部材１２をガラス基板１の下端部に当接させ
る。次に上保持部１０の保持部１０ａをガラス基板１の
上端部の真上に位置させる。図２は、このようにした状
態を示している。

【００５２】次に作業者は、左右いずれかの手を握り手
１１から取っ手５に持ち替え、ゆっくりと取っ手５を引
き上げる。すると、取っ手５の下部に固定されているス
ライド板３がベース板２上で上方へ直線的にスライドす
る。スライド板３の上昇に伴って摺動軸９も上昇するの
で、摺動軸９に長穴で嵌合している連動板６は回転軸７
を中心に回転する。連動板６の回転によって、連動板６
の一端に固定されている回転軸８が下方へ回転移動し、
回転軸８に嵌合している上保持部１０も下降する。上保
持部１０は、下降してガラス基板１の上端に当接する
と、下面がガラス基板１の上端に平行になるように回転
軸８の周りに回転する。上保持部１０の下降は、その下
面がガラス板１の上端に平行に当接した状態で停止し、
それによって連動板６の回転、スライド板３のスライド
も止まる。図１は、このようにした状態を示している。

【００５３】次に、作業者は握り手１１を持つ手を離
し、取っ手５のみを持って基板搬送装置３０を持ち上げ
る。この状態では、ガラス基板１の下端は、その自重に
よって下保持部材１２に当接している。また、上保持部
１０には、ガラス基板１と基板搬送装置３０を構成する
部材の重みがベース板２、スライド板３、連動板６を介
して下方向に向う力として加わり、それによって上保持
部１０はガラス基板１の上端に当接している。すなわ
ち、ガラス基板１には、上保持部１０と下保持部材１２
とによって上下から挟み込む力が加わり、それによって
ガラス基板１は落ちないように保持される。このよう
に、ガラス基板１は上下から挟み込まれて保持されるの
で、ガラス基板１をその表面には部材が接触しない状態
で保持できる．以上のように基板搬送装置３０を用いる
ことによって、作業者は、取っ手５を持って、ガラス基
板１を垂直に立てた状態で搬送でき、ガラス基板１を落
とすこと無く、片手で搬送できる。ガラス基板１を搬送
した後に、基板搬送装置３０をガラス基板１から取り外
す場合は、先の説明と反対の動作を行えばよく、詳細な
説明は省略する。

【００５４】次に、基板搬送装置３０を用いて収納ケー
ス１３からガラス基板１を出し入れする方法について、
図５を参照して説明する。図５は収納ケース１３から基
板搬送装置３０を用いてガラス基板１を取り出している
様子を表す外観斜視図である。

【００５５】収納ケース１３には、その向かい合う側壁
の内面に、上下方向に直線的に延びる溝（図示せず）が
所定の間隔をおいて複数設けられいる。この溝にガラス
基板１の向かい合う端部を挿入することによって、複数
のガラス基板１が垂直に立てられた状態で平行に並べて
保持されている。収納ケース１３の底部の内面には複数
の基板受け部（図示せず）が設けられており、ガラス基
板１は、その下端部が収納ケース１３の底面から５〜１
０ｍｍ程度浮いた状態で保持されている。

【００５６】この収納ケース１３から基板搬送装置３０
を用いてガラス基板１を取り出す場合、作業者は、ま
ず、握り手１１を左右の手で持って、基板搬送装置３０
を持ち上げ、収納された複数のガラス基板１の間に挿入
する。本実施形態では、保持部１０ａ、下保持部材１２
の突出量も含めた、基板搬送装置３０の厚みは、収納ケ
ース１３のガラス基板１の収納間隔よりも充分に薄くで
きる。したがって、基板搬送装置３０をガラス基板１の
間の隙間に容易に通すことができる。

【００５７】次に、下保持部材１２を、前述のように収
納ケース１３の底面から浮き上がったガラス基板１の下
端部に引っ掛けるようにして当接させる。後は、前述し
たように取っ手５を持って持ち上げることによって、ガ
ラス基板１を取り出すことができる。

【００５８】ガラス基板１を収納ケース１３に収納する
場合には、まず、取っ手５を持って垂直な状態で搬送し
てきたガラス基板１の下端部の縁を、収納ケース１３の
側壁の溝に合わせて溝内に挿入する。そしてそのまま、
ガラス基板１を溝に沿って収納ケース内に収納する。後
は、取り出す時とは逆の手順で基板搬送装置３０をガラ
ス基板１から外し、収納ケース１３から取り出せばよ
い。

【００５９】このように、本実施形態では、ガラス基板
１を実質的に垂直に立てた状態で収納ケース１３に出し
入れすることができる。したがって、前述のように、水
平に寝かした状態で出し入れする場合に比べて、ガラス
基板１の縁部に加わる応力を低減することができる。

【００６０】本実施形態では、ガラス基板１は、実質的
に垂直に立てた状態で搬送されるが、ガラス基板１に膜
形成するなどの処理を行なう場合には、水平に寝かせる
必要がある場合がある。そこで次に、実質的に垂直に立
てた状態で搬送したガラス基板１を水平に寝かした状態
にする方法について、図６〜９を参照して説明する。図
６〜９は、移載装置（姿勢変換装置）３１によって、ガ
ラス基板１を垂直に立てた状態から、水平に寝かした状
態にし、受け取り装置１８に受け渡す各工程での状態を
示す模式的側面図である。図６は、ガラス基板１を基板
搬送装置３０を用いて移載装置３１に載せている状態を
示している。図７は、基板搬送装置３０をガラス基板１
から取り外し、移載装置３１に載せた状態を示してい
る。図８は移載装置３１によってガラス基板１を実質的
に水平にした状態を示している。図９はガラス基板を移
載装置３１から受け取り装置１８に移し変えている状態
を示している。

【００６１】まず、この操作に用いられる移載装置３１
と受け取り装置１８の構成について説明する。移載装置
３１は、水平に設置されるベース部１７と、ベース部１
７の一端に設けられた回転軸１６によって一端で回転軸
１６の周りに回転可能に支持された回転部１５とを有し
ている。図には示さないが、移載装置３１は、回転部１
５の回転を所定の位置で止めるストッパーや回転止めを
有しており、回転部１５は、垂直な位置から少し傾けて
立てた位置と、ベース部１７と実質的に平行に水平に寝
かせた位置とに保持可能である。また、移載装置３１
は、回転部１５が急激に回転しないようにするダンパー
も備えている。

【００６２】また、図示しないが、ベース部１７は、ガ
ラス基板１を扱う作業者が安全に効率良く作業を行える
高さのテーブルなどに設置されており、受け取り装置１
８との位置合わせのためのストッパー付きキャスターを
有している。

【００６３】回転部１５は、寝かせた状態でベース部１
７と対面する基部と、それに取り付けられた２本の分離
アーム１４（図６〜９には奥側の一本のみを示してお
り、手前側の記載は省略している）とを有している。２
本の分離アーム１４間の間隔は、基板搬送装置３０の幅
よりも広くなっている。分離アーム１４は、基部との間
に所定の間隔をおいて基部に平行に延びている。それに
よって、分離アーム１４と基部との間には、基板搬送装
置を収納可能な空間が確保されており、また立てた状態
で下端となる部分には、基板搬送装置３０を下端に当接
して支持する突出部が設けられている。これらの構成に
よって、回転部１５の基部には基板搬送装置収容部が形
成されている。

【００６４】分離アーム１４は、ガラス基板１が載せら
れるガラス基板搭載部１４ｂと、それを、基部と平行
に、回転軸１６側から離れる方向に滑らかに直線的にス
ライド可能に支持するレール部１４ａとを有している。
ガラス基板搭載部１４ｂは、ガラス基板１を汚染したり
破損させたりしない樹脂材料で形成されている。ガラス
基板搭載部１４ｂの回転軸１６側の端部付近には、回転
部１５を立てた状態で、ガラス基板１を、その下端に当
接して支持する突起部（図示せず）が設けられている。

【００６５】受け取り装置１８は、ガラス基板１を水平
状態で移載装置３１から受け取る装置である。受け取り
装置１８は、ガラス基板１に膜形成などの処理を行う処
理装置に付属されていてもよいし、それとは独立した、
処理装置の処理位置にガラス基板１を搬送する装置に付
属されていてもよい。

【００６６】この受け取り装置１８は、上面から突出す
る昇降ピン１９を備えている、昇降ピン１９は、電気モ
ータによって上昇、下降動作可能であり、分離アーム１
４にぶつからない平面配置パターンで複数本並んで設け
られている。昇降ピン１９の、ガラス基板１と当接する
部分は、ガラス基板１を汚染したり破損させたりしない
樹脂材料で形成されている。

【００６７】次に、以上のような装置を用いてガラス基
板１を垂直な状態から水平な状態にして受け渡す操作に
ついて説明する。

【００６８】移載装置３１にガラス基板１を載せる際に
は、移載装置３１は、回転部１５を立てた状態にしてお
く。基板搬送装置３０を用いてガラス基板１を運んでき
た作業者は、まず移載装置３１の２本の分離アーム１４
の間に基板搬送装置３０を挿入して、搭載部１４ｂにガ
ラス基板１の片面を軽く接触させ、搭載部１４ｂに設け
られた基板落下防止用の突起部（図示せず）にガラス基
板１の下端部を突き当てる（図６の状態）。

【００６９】次に突起部にガラス基板１が載っている状
態を維持しつつ取っ手５を徐々に下方向に移動させ、下
保持部材１２をガラス基板１の下端部から離す。その
後、左右の手を取っ手５から放し、握り手１１に持ち替
えてそれを持ち上げ、上保持部１０をガラス基板１の上
端から離す。これらの操作によって、基板搬送装置３０
全体がガラス基板１から分離される。分離した基板搬送
装置３０は、移載装置３１の回転部１５の基部に収納す
ることができる（図７の状態）。以上の操作でガラス基
板１は実質的に垂直な姿勢のまま基板搬送装置３０から
移載装置３１に移し替えられる。

【００７０】この後、作業者は回転部１５のストッパー
（図示せず）を解除して回転部１５をゆっくりと水平位
置に回転させる。回転部１５は、ベース部１７に設けら
れた回転止め（図示せず）に当接して水平な位置で止ま
る(図８の状態)。

【００７１】次に移載装置３１を床面に設けたキャスタ
ー（図示せず）を利用してガラス基板１の受け取り装置
１８に寄せた後、移載装置３１のキャスターのストッパ
ー（図示せず）を掛ける。次に、ガラス基板搭載部１４
ｂをレール部１４ａに沿って受け取り装置１８方向に押
し出し、ガラス基板１を昇降ピン１９上に位置させる
（図９の状態）。

【００７２】この状態で昇降ピン１９を上昇動作させ
る。前述のように昇降ピン１９は分離アーム１４にぶつ
からない配置パターンで並んでおり、したがって昇降ピ
ン１９をガラス基板１の下面に当接させることができ
る。そして、ガラス基板１を昇降ピン１９によってガラ
ス基板搭載部１４ｂ上から若干浮かせた状態にして、昇
降ピン１９を停止させる。これによって、分離アーム１
４がガラス基板１から完全に離れた状態になるので、ガ
ラス基板１に干渉することなく分離アーム１４を移載装
置３１側に押し戻すことができる。その後は、必要に応
じて昇降ピン１９を上昇、下降させ、また受け取り装置
１８を移動させてガラス基板１を所定の処理位置に動か
し、ガラス基板１に水平にした状態で所定の処理を行う
ことができる。

【００７３】以上、ガラス基板１を垂直状態で搬送し、
水平状態で受け取り装置１８に移し替える操作を説明し
たが、ガラス基板１を受け取り装置１８から基板搬送装
置３０に移し替える場合には、先の操作を逆にたどった
操作を行えばよく、説明は省略する。

【００７４】以上説明したように本実施形態の基板搬送
装置３０によれば、作業者が取っ手５を持った状態で、
上保持部１０と下保持部材１２との間に挟み込む力を生
じさせてガラス基板１を垂直に立てた状態で搬送するこ
とができる。作業者は、搬送中、中央に配置された取っ
手５を持ってガラス基板１と基板搬送装置３０の荷重を
支えればよく、取っ手５を１人で片手で持ってガラス基
板１を容易に搬送することができる。ガラス基板１は、
上下から挟まれた状態で保持されるので、ガラス基板１
の表面には部材が接触しないようにできる。したがっ
て、表面に成膜が行われるＦＰやＲＰなどのガラス基板
１の品質、歩留まりの低下を防止できる。

【００７５】また、本実施形態の基板搬送装置３０は、
薄い形状にすることができ、収納ケース１３内に狭い間
隔で平行に並べて配置されたガラス基板１を収納ケース
１３から出し入れするのに好適に用いることができる。
この際、本実施形態では、ガラス基板１を実質的に垂直
に立てた状態で収納ケース１３から出し入れできるた
め、出し入れの際にガラス基板１の端部を支持部に当接
させる必要がなく、ガラス基板１の端部に加わる応力を
低減できる。

【００７６】本実施形態の移載装置３１は、上述の基板
搬送装置３０を用いて垂直な状態で搬送されたガラス基
板１をほぼ垂直な状態のまま受け取り、ガラス基板１に
大きな応力を生じさせることなく水平な状態に寝かせる
ことができる。そして、移載装置３１を、レール部１４
ａとその上をスライド可能なガラス基板搭載部１４ｂと
からなり、ほぼ垂直な位置と水平な位置とに回転させる
ことができる２本の分離アーム１４上にガラス基板１を
保持する構成とすることによって、保持したガラス基板
１を水平な状態のまま処理装置などに容易に受け渡し可
能にできる。すなわち、ガラス基板１が載せられたガラ
ス基板搭載部１４ｂを水平な位置に回転させ、スライド
させることによって、ガラス基板１を水平な状態のまま
処理装置などの受け取り装置（例えば、図９に示す受け
取り装置１８）上に導くことができる。この際、ガラス
基板１にはガラス基板搭載部１４ｂに接触しない部分が
生じており、この部分に当接する部材（例えば、図９に
示す昇降ピン１９）によってガラス基板１を受け取り装
置に容易に受け渡すことができる。

【００７７】また、移載装置３１に、ガラス基板１を受
け渡してガラス基板１から分離された基板搬送装置３０
を分離アーム１４にぶつからない位置に収納する収納部
を設けることによって、操作をより容易にすることがで
きる。

【００７８】尚、我々が試作した基板搬送装置３０は厚
み約２８ｍｍ、重量約１．８ｋｇである。このように、
基板搬送装置３０の厚みは、一般的な収納ケースのガラ
ス基板収納間隔４０ｍｍよりも充分に薄くでき、基板搬
送装置３０を、収納ケースからガラス基板を出し入れす
るのに好適に用いることができる。また、重量も軽量に
できるので、力の無い作業者でも出し入れや搬送を容易
に実施可能な装置とすることができる。

【００７９】（第２の実施形態）図１０〜１３に、本発
明の第２の実施形態の基板搬送装置３２の模式図を示
す。図１０，１１はこの基板搬送装置３２の平面図、図
１２は基板搬送装置３２の下部断面図、図１３は基板搬
送装置３２の上部断面図である。本実施形態の基板搬送
装置３２も、第１の実施形態と同様に、ＦＰまたはＲＰ
となるガラス基板１を搬送するのに用いられる。

【００８０】この基板搬送装置３２は、剛性を有するア
ルミニウムなどの金属パイプからなり、上部に雌ねじ部
（図示せず）、下端に側方に面する平面部が形成された
連結棒２０を有している。連結棒２０の上端には、人が
握りやすいように中央に開口を有する取っ手（被支持
部）２９が固定されている。

【００８１】連結棒２０の下端の平面部には穴が開口さ
れており、この穴に回転軸２８が嵌合している。回転軸
２８は、ねじまたはカシメ加工によって、剛性を有する
アルミニウムなどの金属からなる下ベース板２２に固定
されている。したがって下ベース板２２は、連結棒２０
の下端に、回転軸２８の周りに回転可能に取り付けられ
ている。

【００８２】下ベース板２２の下端には、図１２に示す
ように、ベース板２の表面上から実質的に垂直に突出す
る下保持部材２４がねじ（図示せず）によって固定され
ている。下保持部材２４は、その上面がガラス基板１の
下端に当接してガラス基板１を保持する部分であり、当
接してもガラス基板１を破損せず、またガラス基板１の
端面によってほとんど削れることのない硬質樹脂からな
っている。また、下保持部材２４の先端には、ガラス基
板１がずれて落ちないように、上方に突出する突起２４
ａが設けられている。

【００８３】連結棒２０には、貫通穴を有する上摺動部
材２５と下摺動部材２６とが固定された上ベース板２１
が、上摺動部材２５と下摺動部材２６との貫通穴に連結
棒２０を通すことによってスライド可能に取り付けられ
ている。上摺動部材２５と下摺動部材２６は、その貫通
穴が一直線上に並ぶように配置され、ねじまたは溶接に
よって上ベース板２１に固定されている。上摺動部材２
５と下摺動部材２６の貫通穴の内面は、上ベース板２１
がスムーズにスライドするように、滑り良く仕上げられ
ている。

【００８４】上ベース板２１の上端には、図１３に示す
ように、ベース板２の表面上から実質的に垂直に突出す
る上保持部材２３がねじ（図示せず）によって固定され
ている。上保持部材２３は、その下面がガラス基板１の
上端に当接してガラス基板１を保持する部分であり、当
接してもガラス基板１を破損せず、またガラス基板１の
端面によってほとんど削れることのない硬質樹脂からな
っている。また、上保持部材２３の先端には、ガラス基
板１がずれて落ちないように、下方に突出する突起２３
ａが設けられている。

【００８５】連結棒２０の中央付近には、下摺動部材２
６に当接して上ベース板２１が必要以上に下に移動する
のを止めるストッパー２７が取り付けられている。スト
ッパー２７は、不図示のねじなどによって、連結棒２０
の所望の位置に固定可能である。

【００８６】次に、基板搬送装置３２を用いてガラス基
板１を搬送する操作について説明する。まず作業者は、
例えば、第１の実施形態において説明したような収納ケ
ースなどに垂直な姿勢で保持されたガラス基板１に、基
板搬送装置３２を取っ手２９を持って近づける。次に、
図１３に示すように、ガラス基板１の上端部に上保持部
材２３を上から被せて当接させる。

【００８７】この状態から取っ手２９をゆっくりと下降
させていくと、上保持部材２３、上ベース板２１および
それに固定された上摺動部材２５と下摺動部材２６の位
置は変化せずに、連結棒２０と、それに回転軸２８を介
して支持された下ベース板２２および下保持部材２４か
らなる構造体が下降していく。そして取っ手２９を上保
持部材２３に当接する直前（図１１の状態）まで下降さ
せた後、下保持部材２４の基板落下防止用に設けられた
突起２４ａをガラス基板１の下方に通して、下保持部材
２４をガラス基板１の下端の真下に位置させる。

【００８８】突起２４ａがガラス基板１の下方を通過し
たのを確認した後、取っ手２９を再び上昇させ、図１２
に示すように、下保持部材２４をガラス基板１の下端に
当接させる（図１０の状態）。そして作業者は取っ手２
９を持って、ガラス基板１を持ち上げる。この状態で
は、ガラス基板１の下端は、その自重によって下保持部
材２４に当接している。また、ガラス基板１の上端に
は、上保持部材２３がその自重およびそれに結合された
上ベース板２１などの荷重によって当接し、それによっ
て、ガラス基板１には、上下から挟み込む力が加わって
いる。このように上下から挟み込む力が加わることによ
って、ガラス基板１は保持されており、作業者は、取っ
手２９を持った状態で、ガラス基板１を落とすことなく
搬送できる。この際、ガラス基板１は上下から挟まれて
保持されるので、ガラス基板１をその表面には部材が接
触しない状態で保持できる。

【００８９】本実施形態の基板搬送装置３２は、第１の
実施形態と同様に、ガラス基板１を収納ケースから出し
入れする操作、垂直な姿勢から水平な姿勢にして受け取
り装置に移し替える移載装置にガラス基板１を載せる操
作に用いることができる。これらの操作は第１の実施形
態とほぼ同様に実施可能であり、説明を省略する。

【００９０】次に基板搬送装置３２の各部の機能につい
て説明を加える。

【００９１】上ベース板２１は連結棒２０に沿って自由
にスライドする。そこで、基板搬送装置３２を取っ手２
９を持ってガラス基板１に近づけた際、上保持部材２３
が下方に下がり過ぎてしまうと、ガラス基板１の上端に
当接させるのが困難になるため、適当な位置で上保持部
材２３が止まるようにストッパー２７を設けている。

【００９２】本実施形態において搬送するガラス基板１
は、上端と下端とが実質的に平行な形状を有している
が、完全に平行ではない。このようなガラス基板１の上
端と下端に、上保持部材２３と下保持部材２４との両方
が平行に当接し、均一に力が加わるようにするため、下
ベース板２２を回転可能に取り付けた構成としている。
これによって、ガラス基板１に偏荷重が加わって悪影響
が生じるのを防止できる。

【００９３】また、本実施形態において、ガラス基板１
を挟む力は、上ベース板２１、上保持部材２３、上摺動
部材２５および下摺動部材２６からなる上部構造体の自
重のみによって得ている。上部構造体は、比較的簡単な
構造であり、容易に軽量なものにすることができる。し
たがって、本実施形態の基板搬送装置３２では、薄くて
剛性の低いガラス基板１であっても、大きく撓ませるよ
うな力を加えることなく搬送可能である。

【００９４】上摺動部材２５または下摺動部材２６に雌
ねじ部を設け、この雌ねじ部に雄ねじをねじ込むことに
よって、上部構造体を連結棒２０の所望の位置に固定で
きるようにしてもよい。この構成では、下保持部材２４
と上保持部材２３とによってガラス基板１を挟んだ状態
で上部構造体を固定することによって、搬送中にガラス
基板１にそれを傾けるような外力が加わっても上保持部
材２３が動かないようにして、ガラス基板１の落下を防
止することができる。

【００９５】以上説明したように本実施形態の基板搬送
装置３２によれば、作業者が取っ手２９を持った状態
で、上保持部材２３と下保持部材２４との間に挟み込む
力を生じさせてガラス基板１を垂直に立てた状態で搬送
することができる。作業者は、搬送中、中央に配置され
た取っ手２９を持ってガラス基板１と基板搬送装置３２
の荷重を支えればよく、取っ手２９を１人で片手で持っ
てガラス基板１を容易に搬送することができる。

【００９６】本実施形態の基板搬送装置３２は、構成部
品が少なく、容易に軽量化できる。基板搬送装置３２を
軽量化することによって、搬送作業をより容易にするこ
とができる。また、特に、上部構造体を軽量化すること
によって、ガラス基板１に必要最小限の荷重が加わるよ
うにできる。また、下保持部材２４を回転可能にするこ
とによって、ガラス基板１に均等に荷重が加わるように
できる。これらのことから、本実施形態の基板搬送装置
３２では、薄く剛性の低いガラス基板であっても、破損
させることなく搬送することができる。

【００９７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
装置によれば、ガラス基板をその上下の端部間に挟み込
む力を加えて垂直な状態で搬送することができる。した
がって、本発明の基板搬送装置を用いることによって、
ガラス基板を実質的に垂直な状態に保ったまま収納ケー
スに出し入れすることができ、出し入れの際にガラス基
板に過度の応力が加わって破損が生じるのを防止でき
る。また、本発明の基板搬送装置は、薄い形状にするこ
とができ、ガラス基板を狭い間隔で平行に保持する収納
ケースから、ガラス基板を容易に出し入れ可能である。

【００９８】また、本発明の基板搬送装置は、ガラス基
板を上下端部間で挟み込んで保持するため、搬送時にガ
ラス基板の表面に部材を当接させる必要がない。したが
って、本発明の基板搬送装置は、特に、表面に所定の膜
形成処理が行なわれる、薄型平面型画像表示部を構成す
るＦＰやＲＰとなるガラス基板を搬送する装置として適
している。すなわち、本発明の基板搬送装置によれば、
このようなＦＰやＲＰの表面に部材が当接して、ガラス
基板の表面、特に表面に形成される膜に悪影響が生じる
こを防止でき、歩留りを向上させることができる。

【００９９】また、本発明の基板搬送装置は、ガラス基
板を挟む込む力を、基板搬送装置を構成する部材および
／またはガラス基板の荷重を利用して生じさせる構成を
有している。したがって、ガラス基板を搬送する作業者
は、基板搬送装置に設けられた取っ手を持つだけでガラ
ス基板を垂直な姿勢のまま保持することができ、１人の
作業者が片手で容易にガラス基板を搬送することができ
る。したがって、作業者の負担を軽減でき、ガラス基板
を搬送する製造工程を経て製造される製品の製造コスト
の低減を図ることができる。また、本発明の基板搬送装
置は、比較的簡単な構造を有しており、したがって容易
に軽量化することができる。基板搬送装置を軽量化する
ことによって、ガラス基板の出し入れや搬送の作業をさ
らに容易にすることができる。

【０１００】また、本発明の基板搬送装置は、ガラス基
板を挟み込む力を、一部の部材の荷重のみによって生じ
させる構成とすることができ、ガラス基板に必要最小限
の力が加わるようにできる。このようにすることによっ
て、極めて薄く剛性の低いガラス基板でも、悪影響を生
じさせることなく搬送できる。また、ガラス基板に挟み
込み力を加える上保持部材および／または下保持部材
を、各部材の、ガラス基板の端部に当接する面の相対的
な向きを平行な向きから傾けることができるように回転
可能にすることによって、ガラス基板に均等に力が加わ
るようにできる。それによって、ガラス基板への悪影響
をさらに低減できる。

【０１０１】本発明は、以上のような基板搬送装置と共
に好適に用いることができる移載装置も提供する。本発
明の移載装置は、基板搬送装置によって垂直な状態で搬
送されたガラス基板を、ほぼ垂直な姿勢のまま受け取
り、ガラス基板に過度の応力を生じさせることなく水平
な状態に寝かせることができる。この移載装置を用いる
ことによって、ガラス基板に成膜などの処理を行う、水
平状態で受け渡しを行う一般的な処理装置にガラス基板
を受け渡しすることが可能となる。さらに、移載装置
を、ガラス基板をスライド可能なアーム上に支持する構
成にすることにより、処理装置への受け渡しを容易にす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の基板搬送装置の模式
的平面図であり、ガラス基板を保持している状態を示し
ている。

【図２】図１の基板搬送装置の模式的平面図であり、基
板搬送装置をガラス基板に取り付けている状態を示して
いる。

【図３】図１の基板搬送装置の下部断面図である。

【図４】図１の基板搬送装置の上部断面図である。

【図５】図１の基板搬送装置を用いて、収納ケースから
ガラス基板を出し入れしている様子を示す模式的斜視図
である。

【図６】図１の基板搬送装置と共に好適に用いられる移
載装置の模式的側面図であり、基板搬送装置によって搬
送したガラス基板を移載装置上に載せている様子を示し
ている。

【図７】図６の移載装置の模式的側面図であり、基板搬
送装置をガラス基板から外した状態を示している。

【図８】図６の移載装置の模式的側面図であり、ガラス
基板を水平に寝かした状態を示している。

【図９】図６の移載装置の模式的側面図であり、ガラス
基板を受け取り装置に受け渡している様子を示してい
る。

【図１０】本発明の第２の実施形態の基板搬送装置の模
式的平面図であり、ガラス基板を保持している状態を示
している。

【図１１】図１０の基板搬送装置の模式的平面図であ
り、基板搬送装置をガラス基板に取り付けている様子を
示している。

【図１２】図１０の基板搬送装置の下部断面図である。

【図１３】図１０の基板搬送装置の上部断面図である。

【図１４】従来のガラス板搬送用の吸着装置の模式的斜
視図である。

【図１５】従来のガラスマスク搬送用装置の模式的平面
図である。

【図１６】従来例の収納ケースの模式的斜視図である。

【図１７】図１６の収納ケースの側壁付近の断面図であ
る。

【符号の説明】

１ガラス基板２ベース板３スライド板３ａ長穴４ａ下固定ねじ４ｂ上固定ねじ５取っ手６連動板７，８回転軸９摺動軸１０上保持部１０ａ保持部１０ｂベース部１０ｃ，１２ａ突起１１握り手１２下保持部材１３収納ケース１４分離アーム１４ａレール部１４ｂガラス基板搭載部１５回転部１６回転軸１７ベース部１８受け取り装置１９昇降ピン２０連結棒２１上ベース板２２下ベース板２３上保持部材２３ａ，２４ａ突起２４下保持部材２５上摺動部材２６下摺動部材２７ストッパー２８回転軸２９取っ手３０，３２基板搬送装置３１移載装置６１ガラス板６２吸着パッド６３レバー６４取っ手７１ガラスマスク７２クランプ部７３連結棒７４取っ手８１ＦＰ（ＲＰ）８２収納ケース８３入口８４仕切り部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 ＡＳＦターム(参考） 3C007 AS01 AS03 BS29 CY13 DS02 ES05 ES09 ET03 EU07 EV02 EV05 EV20 EV22 EV25 EW20 HT11 MT01 NS21 XF06 5F031 CA05 FA02 FA07 FA11 FA12 FA14 FA19 FA21 GA14 GA15 GA20 GA32 GA33 GA60 GA68 LA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被支持部と、垂直に立てた状態のガラス
基板の下端に当接する下保持部材と、前記ガラス基板の
上端に当接する上保持部材と、前記被支持部を支持した
状態で、前記ガラス基板および／または前記上保持部材
とそれに結合された部材の荷重を利用して前記上保持部
材に下向きに力を加える加圧機構とを有する基板搬送装
置。
【請求項２】前記被支持部は、人が片手で支持可能な
形状を有する、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】前記上保持部材と前記下保持部材とは、
前記被支持部を引き上げる動作に連動して、両者の間隔
を狭める方向に相対的に移動する、請求項１または２に
記載の基板搬送装置。
【請求項４】前記上保持部材と前記下保持部材の、少
なくとも前記ガラス基板に当接する部分の材質が樹脂で
ある、請求項１から３のいずれか１項に記載の基板搬送
装置。
【請求項５】前記上保持部材および／または前記下保
持部材は、前記ガラス基板を保持した時に前記ガラス基
板に垂直な方向を向く回転軸の周りに回転可能である、
請求項１から４のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項６】前記下保持部材が固定されたベース板
と、該ベース板にスライド可能に取り付けられ、前記被
支持部が設けられたスライド板と、前記ベース板に固定
された回転軸の周りに回転可能に取り付けられ、該回転
軸を挟んだ一端側に前記上保持部材が固定され、他端側
が、前記スライド板に固定された摺動軸に、該回転軸の
半径方向にスライド可能に嵌合された連動板とを有する
請求項１から５のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項７】前記上保持部材は、前記連動板に固定さ
れた、前記ガラス基板を保持した時に前記ガラス基板に
垂直な方向を向く回転軸の周りに回転可能である、請求
項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】前記下保持部材が固定された、前記被支
持部が設けられた連結棒と、前記上保持部材が固定され
た、前記連結棒にスライド可能に取り付けられた上ベー
ス板とを有する、請求項１から５のいずれか１項に記載
の基板搬送装置。
【請求項９】前記連動板は、前記スライド板を挟んで
両側に１つずつ設けられている、請求項８に記載の基板
搬送装置。
【請求項１０】前記下保持部材は、前記連結棒に固定
された、前記ガラス基板を保持した時に前記ガラス基板
に垂直な方向を向く回転軸の周りに回転可能である、請
求項８または９に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】前記上ベース板のスライド範囲を所望
の位置より上の範囲に規制するストッパーを有する、請
求項８から１０のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】請求項１から１１のいずれか１項に記
載の基板搬送装置と共に用いられる姿勢変換装置であっ
て、水平な回転軸の周りに回転可能な、前記ガラス基板を表
面と下端とに当接して支持する搭載部と、該搭載部の回
転を、前記ガラス基板との当接面が、垂直な方向から少
し傾いて上方を向いた位置と、水平に上方を向いた位置
とで止めることができるストッパーとを有する姿勢変換
装置。
【請求項１３】前記搭載部は、該搭載部の前記回転軸
の半径方向に平行な方向に延びる、複数平行に配置され
たアームから構成されており、前記アームは、前記ガラ
ス基板が搭載されるガラス基板搭載部と、該ガラス基板
搭載部を前記アームの延在方向にスライド可能に支持す
るレール部とを有する請求項１２に記載の姿勢変換装
置。
【請求項１４】前記基板搬送装置を、前記ガラス基板
および前記アームから離れた位置に、前記搭載部と平行
に支持する基板搬送装置収容部を有する、請求項１２ま
たは１３に記載の姿勢変換装置。
【請求項１５】前記搭載部の、少なくとも前記ガラス
基板に当接する部分の材質が樹脂である、請求項１２か
ら１４のいずれか１項に記載の基板搬送装置。