JP2003034028A - 液滴噴射装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】能率よく製造できる生産性に優れた信頼性の高
い液滴噴射装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】圧電部材２７に溝状に形成されたインク流
路１２の容積を変化させることにより、そのインク流路
１２内のインクを噴射する液滴噴射装置において、駆動
電極１３，１３を、インク流路１２の容積を変化させる
箇所では側壁の上半分に形成し、かつ導電性部材２６が
設けられる箇所（インク流路１２の容積を変化させない
箇所）ではほぼ側壁全面に形成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電部材に形成さ
れたインク流路の容積を変化させることにより、そのイ
ンク流路内のインクを噴射する液滴噴射装置とその製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の液滴噴射装置としては、
例えば特開昭６３−２５２７５０号公報や特開平２−１
５０３５５号公報に記載されているように、インクを加
圧することのできる溝状の流路が並列に多数配列された
構造のインクジェットプリンタヘッドが提案されてい
る。

【０００３】上記従来技術では、比較的簡単な構造で高
密度のノズルを持つインクジェットプリンタヘッドを実
現できる点で優れているが、多数の溝からなる流路を高
密度に形成し、それぞれの溝から電気的配線を行う必要
上から、実用的には特に製造上の問題点があった。

【０００４】その問題を解決する方法として、例えば、
特開平４−３０７２５４号公報や特開平６−２１８９１
８号公報、特開平６−２１８９３４号公報等には、溝か
らなる流路の一方の端部をハンダ材、メッキもしくは導
電性ペーストからなる導電性部材により封止し、該封止
部材を用いて電気的配線を行う方法が提案されている。

【０００５】その従来技術について、図９乃至１３を用
いて以下に説明する。まず、図９に示すように、インク
ジェットプリンタヘッド１は、圧電プレート２７とカバ
ープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから構
成され、その圧電プレート２７は、強誘電性を有するチ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料に
より形成されている。

【０００６】そして、その圧電プレート２７は矢印５で
示す分極方向に分極処理されている。また、圧電プレー
ト２７には、ダイヤモンドカッティング円盤の回転によ
る切削加工等によって、図３に示すように、溝８が複数
条形成されている。それらの溝８…は同じ深さであり、
かつ互いに平行である。また、その溝８の側面となる側
壁１１は前記分極処理により矢印５の方向に分極されて
いる。

【０００７】また、溝８の側面の内面に金属電極１３が
蒸着法により形成されている。図１０に示すように、金
属電極１３の形成時には、圧電プレート２７は、図示し
ないターゲットまたは蒸着源からの蒸気放出方向に対し
て傾斜した状態に配置される。そして、蒸気が放出され
ると側壁１１のシャドー効果により、溝８の側面の上半
分及び側壁１１の上面に金属電極１３，１０が形成され
る。

【０００８】次いで、圧電プレート２が１８０度回転さ
れて、同様にして金属電極１３，１０が形成される。こ
うして、溝８の両側面の上半分及び側壁１１の上面に金
属電極１３，１０が形成されている。その金属電極１
３，１０には、アルミニウム、ニッケル等が用いられ
る。

【０００９】そして、図１１に示すように、導電性部材
２６がディスペンサー２５により溝８に充填される。そ
の後、導電性部材２６には、図示しない装置により熱が
加えられ、その熱により固化する。導電性部材２６は圧
電プレート２７の端部１５付近に形成され、溝８の全深
さを満たすように充填されている。

【００１０】このように充填された導電性部材２６は、
その後、その余剰部分及び側壁１１の上面の金属電極１
０がラッピング等によって取り除かれる。

【００１１】次に、図９に示すカバープレート３は、セ
ラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。
そして、カバープレート３には、研削または切削加工等
によって、インク導入口２１及びマニホールド２２が形
成されている。

【００１２】そして、図１２の溝１１部での断面形状に
示すように圧電プレート２７の溝８の加工側の面とカバ
ープレート３のマニホールド２２加工側の面とがエポキ
シ系等の接着剤４によって接着される。

【００１３】従って、インクジェットプリンタヘッド１
には、溝８の上面が覆われて、横方向に互いに間隔を有
して並行に配列される複数のインク流路１２…が構成さ
れる。そして、全てのインク流路内１２…にはインクが
充填される。

【００１４】圧電プレート２７及びカバープレート３の
端面には、各インク流路１２の位置に対応した位置にノ
ズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着されて
いる。このノズルプレート３１は、ポリアルキレン（例
えばエチレン）、テレフタレート、ポリイミド、ポリエ
ーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスル
ホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチ
ック材料によって形成される。

【００１５】そして、圧電プレート２７の溝８の加工側
に対して反対側の面には、基板４１が、エポキシ系接着
剤等によって接着されている。その基板４１には各イン
ク流路１２に対応した位置に導電層のパターン４２が形
成されている。その導電層のパターン４２と導電性部材
２６は、ワイヤボンディング等によって電気的に接続さ
れる。

【００１６】従って、溝８の一側面の金属電極１３と他
側面の金属電極１３とが導電性部材２６によって電気的
に接続される。このため、導電性部材２６に電圧が印加
されると、導電性部材２６を通して溝８の両側面の金属
電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８の両側面
である側壁１１が溝８の内部方向に変形してインク滴が
噴出される。

【００１７】このようなインクジェットプリンタヘツド
１の動作について、図１２，図１３により説明する。図
示しない駆動制御回路が、所要のデータに従って、イン
クジェットプリンタヘッド１のインク流路１２ｂからイ
ンクの噴出を行なうと判断する。すると、そのインク流
路１２ｂに対応する導電層パターン４２及び導電性部材
２６を介して金属電極１３ｅと１３ｆとに正の駆動電圧
Ｖが印加され、金属電極１３ｄと１３ｇとが接地され
る。

【００１８】図１３に示すように、側壁１１ｂには矢印
１４ｂの方向の駆動電界が発生し、側壁１１ｃには矢印
１４ｃの方向の駆動電界が発生する。すると、駆動電界
方向１４ｂ及び１４ｃは分極方向５と直交しているた
め、側壁１１ｂ及び１１ｃは、圧電厚みすべり効果によ
り、この場合、インク流路１２ｂの内部方向に急速に変
形する。この変形によって、インク流路１２ｂの容積が
減少してインク圧力が急速に増大し、圧力波が発生し
て、インク流路１２ｂに連通するノズル３２からインク
滴が噴射される。

【００１９】また、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、
側壁１１ｂ及び１１ｃが変形前の位置に徐々に戻るため
インク流路１２ｂ内のインク圧力が徐々に低下する。す
ると、インク供給口２１からマニホールド２２を通して
インク流路１２ｂ内にインクが供給される。

【００２０】このように、インク滴を噴出するために、
溝８の両側面となる２つの側壁１１の中央部分を、溝８
の内部方向に同時に湾曲条に変形させるようにしてい
る。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記導
電性部材２６は、溝部に固化する際に、液相状態から固
相状態へ移行する相変化が必要とされ、該相変化による
体積変化により圧電プレート２７が撓んでしまい、導電
性部材２６にクラックが発生することがあった。

【００２２】特に、溝８側面の金属電極１３と導電性部
材２６の接合部である溝８の上部にクラックの発生が集
中するため、該両者が完全に導通しなくなる等の信頼性
についての問題があった。

【００２３】本発明は、このような実情に鑑みてなさ
れ、能率よく製造できる生産性に優れた信頼性の高い液
滴噴射装置及びその製造方法を提供することを目的とす
る。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。

【００２５】（１）圧電部材に形成されてインク流路を
構成する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記
インク流路の容積を変化させるために電圧が印加される
駆動電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線
パターンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的
に接続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電
性部材と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着される
カバープレートと、を有し、前記インク流路の容積を変
化させることにより、そのインク流路内のインクを噴射
する液滴噴射装置において、前記駆動電極は、インク流
路の容積を変化させる箇所では側壁の上半分に形成さ
れ、かつ前記導電性部材が設けられる箇所ではほぼ側壁
全面に形成されていることを特徴とする。

【００２６】この構成においては、駆動電極を、インク
流路の容積を変化させる箇所では側壁の上半分に形成
し、かつ前記導電性部材が設けられる箇所ではほぼ側壁
全面に形成していることにより、駆動電極と配線パター
ンの接続安定性を向上することができる。

【００２７】（２）前記駆動電極は前記導電性部材が形
成さている箇所において前記インク流路の底面において
両側壁の導通がとれる様形成されていることを特徴とす
る。

【００２８】この構成においては、駆動電極を、導電性
部材が設けられている箇所においてインク流路の底面に
おいて両側壁の導通がとれるように形成することによ
り、両側壁の駆動電極に対する接続を確実なものとする
ことができる。

【００２９】（３）圧電部材に形成されてインク流路を
構成する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記
インク流路の容積を変化させるために電圧が印加される
駆動電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線
パターンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的
に接続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電
性部材と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着される
カバープレートと、を有し、前記インク流路の容積を変
化させることにより、そのインク流路内のインクを噴射
する液滴噴射装置の製造方法において、前記圧電部材に
インク流路となる溝を形成する第１の工程と、前記イン
ク流路に直交する方向に塗布溝を形成する第２の工程
と、前記溝の両側壁に前記駆動電極を形成する第３の工
程と、前記塗布溝に沿って前記導電性部材を塗布する第
４の工程と、を有することを特徴とする。

【００３０】この方法においては、圧電部材にインク流
路となる溝を形成して、そのインク流路内に駆動電極を
能率よく（容易に）形成することができる。

【００３１】（４）圧電部材に形成されてインク流路を
構成する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記
インク流路の容積を変化させるために電圧が印加される
駆動電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線
パターンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的
に接続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電
性部材と、前記清の底面に対向し前記側壁と接着される
カバープレートと、を有し、前記インク流路の容積を変
化させることにより、そのインク流路内のインクを噴射
する液滴噴射装置の製造方法において、前記圧電部材に
インク流路に直交する方向に塗布溝を形成する第１の工
程と、前記インク流路となる溝を形成する第２の工程
と、前記溝の両側壁に前記駆動電極を形成する第３の工
程と、前記塗布溝に沿って前記導電性部材を塗布する第
４の工程と、を有することを特徴とする。

【００３２】この方法においては、塗布溝の形成時に前
記インク流路が破損する等のダメージを受けることがな
く、信頼性の高い加工が可能となる。

【００３３】（５）前記第３の工程では、塗布溝方向か
らインク流路内面に形成するように、前記駆動電極とな
る金属材料を前記塗布溝の両側壁の側面に対して傾斜方
向に蒸着させることを特徴とする。

【００３４】この方法においては、側壁のシャドー効果
により、溝の側面の上半分及び側壁の上面に金属電極を
形成することができ、かつ、塗布溝近傍の溝の側面の全
面にわたって金属電極を形成することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態に係る
液滴噴射装置及びその製造方法について図面を参照しつ
つ詳細に説明する。なお、以下の説明で、従来例と同一
部位又は均等部位には同一符号を付し、その説明を省略
する。

【００３６】図１に示すように、インクジェットプリン
タヘツド（液滴噴射装置）１は、圧電プレート２７とカ
バープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから
構成されている。また、図２に示す圧電プレート（圧電
部材）２７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ）系のセラミックス材料で製作されている。

【００３７】その圧電プレート２７は、矢印５の方向に
分極処理が施された厚さ約１ｍｍ程度の板である。ま
た、圧電プレート２７には、ダイヤモンドカッティング
円盤の回転による切削加工によって、インク流路となる
溝８が複数形成されている。それら溝８は平行且つ同じ
深さである。それら溝８の深さは約３００μｍであり、
幅は約７０μｍ、ピッチは１４０μｍである。

【００３８】次に、図４に示すように、圧電プレート２
７は、インク流路方向と垂直方向にダイヤモンドカッテ
ィング円盤３０の回転による切削加工によって、深さ約
２５０μｍ、幅５００μｍの塗布溝６８が形成されてい
る。このときのインク流路の断面図を図５（ａ）に示
す。

【００３９】溝８の側面の内面には、蒸着法により金属
電極（駆動電極）１３が形成されている。金属電極１３
の形成時には、図１０に示すように、圧電プレート２７
は図示しないターゲットまたは蒸着源からの蒸気放出方
向に対して傾斜されるとともに、インク流路となる溝８
の流路方向にも塗布溝６８側から蒸気が流入する様に傾
斜される。

【００４０】そして、蒸気が放出されると側壁１１のシ
ャドー効果により、溝８の側面の上半分及び側壁１１の
上面に金属電極１３，１０が形成されるとともに、塗布
溝６８近傍の溝８の側面には全面に金属電極が形成され
る。次に、圧電プレート２が１８０度回転されて、同様
にして金属電極１３，１０が形成される。

【００４１】こうして、図５（ｂ）に示すように、溝８
の両側面の上半分及び側壁１１の上面及び塗布溝６８近
傍の溝８の側面と底面全面に金属電極１３，１０が形成
されている。その金属電極１３，１０にはアルミニウ
ム、ニッケル等が用いられる。

【００４２】ここで、側壁１１の上面の金属電極１０
は、ラッピングもしくは溝８の切削加工前に圧電プレー
ト２７の切削加工面に予め貼り付けておいたレジスト膜
をリフトオフすることにより除去される。そして、図５
（ｃ）に示すように、圧電プレート２７上の塗布溝６８
に導電性部材２６が図示しないディスペンサーにより深
さ１８０μｍの高さまで塗布される。

【００４３】ここで導電性部材２６は、まず塗布溝６８
内に塗布され、その後溝８による毛細管現象により溝８
の内部に入り込むため、側壁１１の上面には導電性部材
２６は形成されない。このため、導電性部材２６を固化
する場合、導電性部材２６による圧電プレート２７のた
わみを抑えるために塗布面から平板等で押さえつけるこ
とが可能になると共に、側壁１１上面のラッピングによ
る不要な導電性部材の除去作業が不要となる。実際の製
造上では、デイスペンサーは複数設けられており、それ
らディスペンサーは各塗布溝６８の上方に配置されてい
る。

【００４４】その後、圧電プレート２７の導電性部材２
６の塗布面から平板等で押さえつけると共に、図示しな
い装置により熱が加えられ、その熱により導電性部材２
６は固化する。尚、導電性部材２６としては、エポキシ
系の樹脂成分を含有した金ペースト，銀ペースト，銅ペ
ーストもしくはメッキ液をベースとした金メッキ、ニツ
ケルメツキなどが用いられる。

【００４５】そして、図５（ｄ）に示すように、圧電プ
レート２７の溝８加工側の面とカバープレート３とがエ
ポキシ系等の接着剤によって接着され、その後、図５
（ｅ）に示すように、塗布溝の幅より広くかつ塗布溝近
傍の溝側面全面の金属電極が残る範囲で、カバープレー
ト３と圧電プレート２７を切断する。

【００４６】これにより、インク流路ごとに導電性部材
２６は分離され、図２に示しているインクジェットプリ
ンタヘッド１のインク流路１２に沿った断面図のよう
に、インクジェットプリンタヘッド１には、溝８の上面
が覆われて横方向に互いに間隔を有する複数のインク流
路１２が構成され、インク充填時には、全てのインク流
路１２内に導電性部材２６の上部空間を通りインクが充
填される。

【００４７】次に、各インク流路１２の位置に対応した
位置に導電層の配線パターン（図示省略）が形成されて
いる基板４１（図１参照）を圧電プレート２７の端部に
形成された導電性部材２６に接続する。その導電層の配
線パターンと導電性部材２６とは、異方導電性接着剤も
しくは配線パターン上にバンプ（図示せず）を形成し該
バンプを導電性部材２６に挿入することによって相互に
接続される。

【００４８】この後、導電性を有するインク例えば水性
インクを用いる場合には、ポリパラキシリレン（商標
名：パリレン）等の有機保護膜により上記接合部を絶縁
保護する。但し、使用するインク及び異方導電性接着剤
を含む該インクジェットプリンタヘッドを作成するため
に使用した接着剤の特性によっては保護膜は必要ない。

【００４９】次に、一体化された圧電プレート２７とカ
バープレート３の導電性部材２６が設けられていない側
の端面に、各インク流路１２の位置に対応した位置にノ
ズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着され
る。

【００５０】最後に、圧電プレート２７とカバープレー
ト３の導電性部材２６が設けられている側の端面に基板
４１をはさんだ状態でマニホールド２２を接合する。こ
のとき、接合部分からインクの漏れのないよう樹脂で封
止すると信頼性が向上する。

【００５１】上記構成により、溝８の一側面の金属電極
１３は他側面の金属電極１３と塗布溝近傍の溝底面にて
電気的に接合されるとともに、溝内面全面の金属電極１
３において導電性部材２６によって電気的に接続され
る。このため、導電性部材２６に電圧が印加されると、
導電性部材２６を通して溝８の両側面の金属電極１３に
電圧が同時に印加され、同時に溝８の両側面である側壁
１１が溝８の内部方向に変形してインク滴が噴出され
る。

【００５２】本実施形態では、導電性部材２６の固化後
にカバープレート３を接着したが、固化前にカバープレ
ート３を接着し、該導電性部材２６の固化とカバープレ
ート３と圧電プレート２７の接着剤の固化を同時に行っ
ても良い。この場合、接着剤と導電性部材２６の固化条
件等の選定が必要だが、固化を同時にできるため、プロ
セスが容易になると共に、導電性部材２６の固化時の圧
電プレート２７のたわみもカバープレート３の剛性によ
り軽減できる。

【００５３】他に、塗布溝６８の形成をインク流路１２
となる溝８の形成前に行っても良い。この場合、塗布溝
６８の切削加工時に溝８が破損する等のダメージを受け
ることがなく、信頼性の高い加工が可能となる。

【００５４】また、カバープレート３に、図６に示すよ
うな、塗布溝６８の幅より若干広い幅のカバー溝６７を
形成すると、導電性部材２６の塗布量を多くして、塗布
溝６８において側壁１１の上面より高くなっても、ラッ
ピングによる不要導電性部材２６の除去をすることなく
カバープレート３を接着することができる。

【００５５】特に、導電性部材２６の固化前にカバープ
レート３を接着する場合に、導電性部材２６がカバープ
レート３の塗布溝６８の対向面で擦れることにより、側
壁１１の上面に付着し、金属電極１３に電圧を印加した
ときにショートするような不具合の発生を避けることが
できる。

【００５６】同様に、図７に示すように、カバープレー
ト３に研削加工または切削加工等によって、導電性部材
２６に対向する面が深さ５００μｍでインク流路１２ま
でかかる幅の凹部６６を形成しても良い。

【００５７】このようなカバープレート３を用いること
により、カバープレート３の加工工程が増えるが、図８
（ａ）に示すように、導電性部材２６を溝深さと同等の
位置まで埋め込ませた後、図８（ｂ）に示すように、カ
バープレート３を接着し、塗布溝の幅より広い幅で、カ
バープレート３と圧電プレート２７を切断することによ
り、図８（ｃ）に示すような構成のインクジェットプリ
ンタヘッド１を形成することができる。

【００５８】このような構成では、インク供給に寄与す
る導電性部材２６とカバープレート３との間隙が、前実
施形態の場合より増加し、インク供給量をより増加させ
ることができ、高速印字および多ノズル化に伴うインク
の多量消費が生じても、確実なインク供給を行うことが
できる。また、導電性部材２６と金属電極１３の電気的
な接合性をより向上することができ、駆動時の信頼性が
改善される。

【００５９】なお、本発明は、上述の実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、
設計変更、改良等は自由であり、例えば、圧電プレート
２７に形成される溝８のピッチ、幅、深さ等の値は、適
宜に選択設定されてよい。

【００６０】

【発明の効果】以上説明から明かなように、本発明は、
以下の効果を奏する。

【００６１】請求項１によれば、駆動電極を、インク流
路の容積を変化させる箇所では側壁の上半分に形成し、
かつ前記導電性部材が設けられる箇所ではほぼ側壁全面
に形成するので、駆動電極と配線パターンの接続安定性
を向上することができる。

【００６２】請求項２によれば、駆動電極を、導電性部
材が設けられている箇所においてインク流路の底面にお
いて両側壁の導通がとれるように形成するので、両側壁
の駆動電極に対する接続を確実なものとすることができ
る。

【００６３】請求項３によれば、一連の工程により、圧
電部材にインク流路となる溝を形成して、そのインク流
路内に駆動電極を能率よく形成することができ、生産性
に優れた信頼性の高い液滴噴射装置を提供することがで
きる。

【００６４】請求項４によれば、一連の工程により、圧
電部材にインク流路となる溝を形成して、そのインク流
路内に駆動電極を能率よく形成することができ、生産性
に優れた信頼性の高い液滴噴射装置を提供することがで
きる。

【００６５】そして、塗布溝を形成する工程を、インク
流路となる溝を形成する工程に先行させたので、塗布溝
の形成時に前記インク流路が破損する等のダメージを受
けることがなく、信頼性の高い加工が可能となる。

【００６６】請求項５によれば、駆動電極となる金属材
料を、塗布溝方向からインク流路内面に形成するよう
に、前記塗布溝の両側壁の側面に対して傾斜方向に蒸着
させるので、側壁のシャドー効果により、溝の側面の上
半分及び側壁の上面に金属電極を形成することができ、
かつ、塗布溝近傍の溝の側面の全面にわたって金属電極
を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットブリン
タヘッドの構成を示す斜視図である。

【図２】同圧電プレートの斜視図である。

【図３】同圧電プレートの斜視図である。

【図４】同圧電プレートの塗布溝形成工程の説明図であ
る。

【図５】同インクジェットプリンタヘッドの製造工程の
説明図である。

【図６】同インクジェットプリンタヘッドの他の構成を
示す断面図である。

【図７】同カバープレートの他の構成を示す斜視図であ
る。

【図８】同インクジェットプリンタヘッドの他の製造工
程の説明図である。

【図９】従来技術のインクジェットブリンタヘッドの構
成の一例を示す斜視図である。

【図１０】同圧電プレートの電極形成工程の説明図であ
る。

【図１１】同圧電プレートの導電性部材形成工程の断面
図である。

【図１２】同インクジェットプリンタヘッドの断面図で
ある。

【図１３】同インクジェットプリンタヘツドの作動状態
の説明図である。

【符号の説明】 ３−カバープレート ８−溝 １２−インク流路 １３−駆動電極（金属電極） ２６−導電性部材 ２７−圧電部材 ６８−塗布溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 泰宏 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG45 AG89 AG91 AP22 AP25 AP54 AP57 BA03 BA14

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電部材に形成されてインク流路を構成
   する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記イン
   ク流路の容積を変化させるために電圧が印加される駆動
   電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線パタ
   ーンと、前記駆動電極と配線パターンとを電気的に接続
   するために前記溝の一方の端部に設けられた導電性部材
   と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着されるカバー
   プレートと、を有し、前記インク流路の容積を変化させ
   ることにより、そのインク流路内のインクを噴射する液
   滴噴射装置において、 前記駆動電極は、インク流路の容積を変化させる箇所で
   は、前記溝の側壁の上半分に形成され、かつ、前記導電
   性部材が設けられる箇所では、ほぼ側壁全面に形成され
   ていることを特徴とする液滴噴射装置。
2. 【請求項２】 前記駆動電極は前記導電性部材が形成さ
   ている箇所において前記インク流路の底面において前記
   両側壁の導通がとれるように形成されていることを特徴
   とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
3. 【請求項３】 圧電部材に形成されてインク流路を構成
   する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記イン
   ク流路の容積を変化させるために電圧が印加される駆動
   電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線パタ
   ーンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的に接
   続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電性部
   材と、前記溝の底面に対向し前記側壁と接着されるカバ
   ープレートと、を有し、前記インク流路の容積を変化さ
   せることにより、そのインク流路内のインクを噴射する
   液滴噴射装置の製造方法において、 前記圧電部材にインク流路となる溝を形成する第１の工
   程と、 前記インク流路に直交する方向に塗布溝を形成する第２
   の工程と、 前記溝の両側壁に前記駆動電極を形成する第３の工程
   と、 前記塗布溝に沿って前記導電性部材を塗布する第４の工
   程と、を有することを特徴とする液滴噴射装置の製造方
   法。
4. 【請求項４】 圧電部材に形成されてインク流路を構成
   する溝と、前記溝の両側壁の側面に形成されて前記イン
   ク流路の容積を変化させるために電圧が印加される駆動
   電極と、前記駆動電極に電圧を印加するための配線パタ
   ーンと、前記駆動電極と前記配線パターンを電気的に接
   続するために前記溝の一方の端部に設けられた導電性部
   材と、前記清の底面に対向し前記側壁と接着されるカバ
   ープレートと、を有し、前記インク流路の容積を変化さ
   せることにより、そのインク流路内のインクを噴射する
   液滴噴射装置の製造方法において、 前記圧電部材にインク流路に直交する方向に塗布溝を形
   成する第１の工程と、 前記インク流路となる溝を形成する第２の工程と、 前記溝の両側壁に前記駆動電極を形成する第３の工程
   と、 前記塗布溝に沿って前記導電性部材を塗布する第４の工
   程と、を有することを特徴とする液滴噴射装置の製造方
   法。
5. 【請求項５】 前記第３の工程では、塗布溝方向からイ
   ンク流路内面に形成するように、前記駆動電極となる金
   属材料を前記塗布溝の両側壁の側面に対して傾斜方向に
   蒸着させることを特徴とする請求項３または４に記載の
   液滴噴射装置の製造方法。