JP2003033735A - 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 - Google Patents
超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具Info
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- JP2003033735A JP2003033735A JP2001224516A JP2001224516A JP2003033735A JP 2003033735 A JP2003033735 A JP 2003033735A JP 2001224516 A JP2001224516 A JP 2001224516A JP 2001224516 A JP2001224516 A JP 2001224516A JP 2003033735 A JP2003033735 A JP 2003033735A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 洗浄対象物体の形状にかかわらず、常に均一
な洗浄結果が得られるようにした超音波洗浄装置と超音
波洗浄装置用治具を提供すること。 【解決手段】 洗浄液４が充満されている洗浄槽１と、
この洗浄槽１の底面に取付けてある振動子３、この振動
子３に超音波発生用の高周波信号を供給するための高周
波信号発生器２とを備えた超音波洗浄装置において、洗
浄対象となる物体５の形状に応じて、空洞崩壊現象の発
生を誘発する作用を有する冶具８、９を適用したもの。
な洗浄結果が得られるようにした超音波洗浄装置と超音
波洗浄装置用治具を提供すること。 【解決手段】 洗浄液４が充満されている洗浄槽１と、
この洗浄槽１の底面に取付けてある振動子３、この振動
子３に超音波発生用の高周波信号を供給するための高周
波信号発生器２とを備えた超音波洗浄装置において、洗
浄対象となる物体５の形状に応じて、空洞崩壊現象の発
生を誘発する作用を有する冶具８、９を適用したもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波の印加によ
り洗浄液中に発生させた微小空洞の崩壊による衝撃波を
利用して物体の表面を洗浄する方式の超音波洗浄装置と
超音波洗浄装置用の治具に関するものである。
り洗浄液中に発生させた微小空洞の崩壊による衝撃波を
利用して物体の表面を洗浄する方式の超音波洗浄装置と
超音波洗浄装置用の治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】物体の物理的洗浄には、従来から超音波
洗浄装置が広く使用されているが、この装置は、超音波
で生ずる洗浄液の粒子加速度を利用して洗浄する方式
と、超音波の印加による空洞崩壊現象を利用する方式の
２種の方式に大別される。
洗浄装置が広く使用されているが、この装置は、超音波
で生ずる洗浄液の粒子加速度を利用して洗浄する方式
と、超音波の印加による空洞崩壊現象を利用する方式の
２種の方式に大別される。
【０００３】ここで、後者の空洞崩壊現象を利用する方
式では、超音波を印加して洗浄液中に多数の微小空洞を
生成させ、これら微小空洞が崩壊し、液体分子が衝突す
る際の衝撃力を利用して物体の表面から異物を排除し洗
浄する方式であり、近年、精密機械部品や物理測定用機
器の洗浄に多用されるようになっている。
式では、超音波を印加して洗浄液中に多数の微小空洞を
生成させ、これら微小空洞が崩壊し、液体分子が衝突す
る際の衝撃力を利用して物体の表面から異物を排除し洗
浄する方式であり、近年、精密機械部品や物理測定用機
器の洗浄に多用されるようになっている。
【０００４】そして、この空洞崩壊現象を利用する方式
の超音波洗浄装置でも、それにより洗浄すべき部品など
の洗浄対象物体を洗浄液の中に沈めた状態で、そのまま
超音波を印加して洗浄する方式と、振動子からの超音波
と洗浄液面などからの反射波が合成された定在波によ
り、洗浄液中での超音波の波長に特有の寸法間隔で微小
空洞の密な部分と疎な部分を形成させ、部品を洗浄槽の
中で上下移動や回転等揺動しながら部品全体を洗浄する
方式とが従来から知られている。
の超音波洗浄装置でも、それにより洗浄すべき部品など
の洗浄対象物体を洗浄液の中に沈めた状態で、そのまま
超音波を印加して洗浄する方式と、振動子からの超音波
と洗浄液面などからの反射波が合成された定在波によ
り、洗浄液中での超音波の波長に特有の寸法間隔で微小
空洞の密な部分と疎な部分を形成させ、部品を洗浄槽の
中で上下移動や回転等揺動しながら部品全体を洗浄する
方式とが従来から知られている。
【０００５】なお、この種の装置に関連する従来技術に
ついては、例えば特開平５−１５４４５３号、特開平８
−１０５３０号、特開平９−２７１７２９号、特開平１
０−２４４１３３号、それに特開平１１−２９０８０３
号の各公報の記載を挙げることができる。
ついては、例えば特開平５−１５４４５３号、特開平８
−１０５３０号、特開平９−２７１７２９号、特開平１
０−２４４１３３号、それに特開平１１−２９０８０３
号の各公報の記載を挙げることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、洗浄
対象物体の形状について配慮がされておらず、物体表面
の均一な洗浄に問題があった。従来技術では、洗浄対象
物体の形状いかんにかかわらず、そのまま洗浄液中に沈
めた状態で洗浄しているが、ここで、空洞崩壊現象を利
用する方式の超音波洗浄装置の場合、洗浄液中では均一
に微小空洞が発生していても、その洗浄対象物体の形状
によっては、その表面で均一に空洞崩壊現象が起きると
は限らない。
対象物体の形状について配慮がされておらず、物体表面
の均一な洗浄に問題があった。従来技術では、洗浄対象
物体の形状いかんにかかわらず、そのまま洗浄液中に沈
めた状態で洗浄しているが、ここで、空洞崩壊現象を利
用する方式の超音波洗浄装置の場合、洗浄液中では均一
に微小空洞が発生していても、その洗浄対象物体の形状
によっては、その表面で均一に空洞崩壊現象が起きると
は限らない。
【０００７】従って、従来技術では、洗浄対象物体のフ
ラットな面や凹部など、形状によって均一に空洞崩壊現
象が起り難い部分で洗浄結果にむらが生じてしまい、こ
の結果、物体表面の均一な洗浄に問題が生じてしまうの
である。
ラットな面や凹部など、形状によって均一に空洞崩壊現
象が起り難い部分で洗浄結果にむらが生じてしまい、こ
の結果、物体表面の均一な洗浄に問題が生じてしまうの
である。
【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、空洞崩壊現象を必要とする部分で確実に発生させる
ことができ、洗浄対象物体の形状に左右されることな
く、常に均一な洗浄結果が得られるようにした超音波洗
浄装置と超音波洗浄装置用治具を提供することにある。
で、空洞崩壊現象を必要とする部分で確実に発生させる
ことができ、洗浄対象物体の形状に左右されることな
く、常に均一な洗浄結果が得られるようにした超音波洗
浄装置と超音波洗浄装置用治具を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的は、洗浄槽内の
洗浄液に超音波を印加して前記洗浄液中に発生させた微
小空洞の崩壊による衝撃波を利用し、物体の表面を洗浄
する方式の超音波洗浄装置において、前記洗浄液内にあ
る前記物体の表面の少なくとも一部の近傍に、前記微小
空洞の崩壊を誘発する冶具が設けられた状態で洗浄が行
なわれるようにして達成される。
洗浄液に超音波を印加して前記洗浄液中に発生させた微
小空洞の崩壊による衝撃波を利用し、物体の表面を洗浄
する方式の超音波洗浄装置において、前記洗浄液内にあ
る前記物体の表面の少なくとも一部の近傍に、前記微小
空洞の崩壊を誘発する冶具が設けられた状態で洗浄が行
なわれるようにして達成される。
【００１０】このとき、前記超音波を印加するための手
段を前記洗浄槽の底部に設けた上で前記洗浄槽内にある
洗浄液の液面位置を制御する手段を設け、前記洗浄液中
に超音波の定在波が形成された状態で洗浄が行なわれる
ようにしても上記目的を達成することができる。
段を前記洗浄槽の底部に設けた上で前記洗浄槽内にある
洗浄液の液面位置を制御する手段を設け、前記洗浄液中
に超音波の定在波が形成された状態で洗浄が行なわれる
ようにしても上記目的を達成することができる。
【００１１】同じく上記目的は、超音波の印加により洗
浄液中に発生させた微小空洞の崩壊による衝撃波を利用
し、物体の表面を洗浄する方式の超音波洗浄装置におい
て、前記物体の表面の少なくとも一部の近傍に配置さ
れ、前記微小空洞の崩壊を誘発するようにした超音波洗
浄装置用治具により達成される。
浄液中に発生させた微小空洞の崩壊による衝撃波を利用
し、物体の表面を洗浄する方式の超音波洗浄装置におい
て、前記物体の表面の少なくとも一部の近傍に配置さ
れ、前記微小空洞の崩壊を誘発するようにした超音波洗
浄装置用治具により達成される。
【００１２】このとき、超音波洗浄装置が、前記超音波
を印加するための手段を前記洗浄槽の底部に設けた上
で、前記洗浄槽内にある洗浄液の液面位置を制御する手
段を備え、前記洗浄液中に超音波の定在波が形成された
状態で洗浄が行なわれるようにした超音波洗浄装置用治
具としてもよい。
を印加するための手段を前記洗浄槽の底部に設けた上
で、前記洗浄槽内にある洗浄液の液面位置を制御する手
段を備え、前記洗浄液中に超音波の定在波が形成された
状態で洗浄が行なわれるようにした超音波洗浄装置用治
具としてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明による超音波洗浄装
置と超音波洗浄装置用治具について、図示の実施の形態
により詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態
で、この場合、洗浄液４が充満されている洗浄槽１と、
この洗浄槽１の底面に取付けてある振動子３、この振動
子３に超音波発生用の高周波信号を供給するための高周
波信号発生器２で構成されており、従って、空洞崩壊現
象を利用する方式の超音波洗浄装置としては一般的な構
成を備えたものである。
置と超音波洗浄装置用治具について、図示の実施の形態
により詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態
で、この場合、洗浄液４が充満されている洗浄槽１と、
この洗浄槽１の底面に取付けてある振動子３、この振動
子３に超音波発生用の高周波信号を供給するための高周
波信号発生器２で構成されており、従って、空洞崩壊現
象を利用する方式の超音波洗浄装置としては一般的な構
成を備えたものである。
【００１４】ここで、まず、洗浄槽１は、所定量の洗浄
液４を満たすことができ、且つ、その中に洗浄対象とな
る物体５が挿入されたとき、それを洗浄液４に沈めた状
態にするためのものである。次に、高周波発生器２は、
例えば周波数が２５ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの高周波信号を
発生し、これを振動子３に供給する働きをする。
液４を満たすことができ、且つ、その中に洗浄対象とな
る物体５が挿入されたとき、それを洗浄液４に沈めた状
態にするためのものである。次に、高周波発生器２は、
例えば周波数が２５ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの高周波信号を
発生し、これを振動子３に供給する働きをする。
【００１５】振動子３は、例えば圧電型セラミック振動
子からなり、上記した２５ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの周波数
で動作して超音波を発生する働きをする。なお、洗浄液
４には清浄水を用いるのが一般的であるが、このとき、
所定のＰｈ値にしたり、洗剤を溶かして使用することも
あり、有機溶剤が使用されることもある。
子からなり、上記した２５ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの周波数
で動作して超音波を発生する働きをする。なお、洗浄液
４には清浄水を用いるのが一般的であるが、このとき、
所定のＰｈ値にしたり、洗剤を溶かして使用することも
あり、有機溶剤が使用されることもある。
【００１６】次に、この実施形態の動作について説明す
る。高周波信号発生器２を動作させ、これから振動子３
に高周波信号が供給されると、この振動子３から洗浄槽
１内の洗浄液４に超音波が印加され、洗浄液４の中に超
音波が伝播されてゆくようになる。そうすると、このと
き伝播される超音波のエネルギーにより、洗浄液３の中
に無数の微小空洞６が発生する。
る。高周波信号発生器２を動作させ、これから振動子３
に高周波信号が供給されると、この振動子３から洗浄槽
１内の洗浄液４に超音波が印加され、洗浄液４の中に超
音波が伝播されてゆくようになる。そうすると、このと
き伝播される超音波のエネルギーにより、洗浄液３の中
に無数の微小空洞６が発生する。
【００１７】そこで、このとき洗浄液４の中に洗浄対象
物体５が浸漬されていると、この物体５の表面で微小空
洞６が崩壊し、空洞崩壊現象が発生すると衝撃波による
物体５の洗浄が得られるようになる。
物体５が浸漬されていると、この物体５の表面で微小空
洞６が崩壊し、空洞崩壊現象が発生すると衝撃波による
物体５の洗浄が得られるようになる。
【００１８】しかしながら、このときの空洞崩壊現象の
発生は、例えば物体５の表面にある突起部や縁部などの
不連続部をきっかけとして起こるものであり、このた
め、物体５の表面状況に大きく左右され、例えば不連続
部のない平面部などでは空洞崩壊現象が起こり難くなっ
ている。
発生は、例えば物体５の表面にある突起部や縁部などの
不連続部をきっかけとして起こるものであり、このた
め、物体５の表面状況に大きく左右され、例えば不連続
部のない平面部などでは空洞崩壊現象が起こり難くなっ
ている。
【００１９】そして、この結果、このままでは、物体５
に均一な洗浄が得られなくなってしまう。なお、このこ
とが従来技術の問題点であることは、既に説明した通り
である。
に均一な洗浄が得られなくなってしまう。なお、このこ
とが従来技術の問題点であることは、既に説明した通り
である。
【００２０】ここで、この図１の実施形態では、図示の
ように、洗浄対象物体５の平面部に金網で作られた治具
８が配置してある。そして、この治具８は、ここに図示
の洗浄対象物体５の場合、それが有する平面部の表面に
ほぼ接した状態で配置されている。
ように、洗浄対象物体５の平面部に金網で作られた治具
８が配置してある。そして、この治具８は、ここに図示
の洗浄対象物体５の場合、それが有する平面部の表面に
ほぼ接した状態で配置されている。
【００２１】そうすると、この治具８は、上記したよう
に金網で作られているので、その全面にわたって無数の
突起部や縁部などの不連続部が存在し、従って、この治
具８の表面では空洞崩壊現象が極めて活発に発生する。
そして、この図１の場合、治具８が洗浄対象物体５の平
面部の表面にほぼ接した状態で配置されているのである
から、この平面部の表面でも極めて活発に空洞崩壊現象
を発生させることができ、充分な洗浄が得られることに
なる。
に金網で作られているので、その全面にわたって無数の
突起部や縁部などの不連続部が存在し、従って、この治
具８の表面では空洞崩壊現象が極めて活発に発生する。
そして、この図１の場合、治具８が洗浄対象物体５の平
面部の表面にほぼ接した状態で配置されているのである
から、この平面部の表面でも極めて活発に空洞崩壊現象
を発生させることができ、充分な洗浄が得られることに
なる。
【００２２】従って、この実施形態によれは、洗浄対象
物体５の形状に応じて、必要な部分に治具８を配置させ
ることにより、その全表面で空洞崩壊現象を均一に発生
させることができ、常に高い洗浄力を容易に発揮させる
ことができる。
物体５の形状に応じて、必要な部分に治具８を配置させ
ることにより、その全表面で空洞崩壊現象を均一に発生
させることができ、常に高い洗浄力を容易に発揮させる
ことができる。
【００２３】このとき、例えば矢印で示したように、洗
浄対象物体５を動かしてやれば、落とされた汚れを洗浄
対象物体５から速やかに遠ざけることができる。なお、
このときの超音波の伝播は底面からに限らず、側面な
ど、何れの面からでも微小空洞が発生できる条件であれ
ば良い。
浄対象物体５を動かしてやれば、落とされた汚れを洗浄
対象物体５から速やかに遠ざけることができる。なお、
このときの超音波の伝播は底面からに限らず、側面な
ど、何れの面からでも微小空洞が発生できる条件であれ
ば良い。
【００２４】ここで、以上に説明した実施形態は、洗浄
すべき部品などの洗浄対象物体を洗浄液の中に沈めた状
態で、そのまま超音波を印加して洗浄する方式の超音波
洗浄装置に本発明を適用した場合の一実施形態である
が、本発明は、以下に図２により説明する定在波を利用
する方式の超音波洗浄装置に適用してもよい。
すべき部品などの洗浄対象物体を洗浄液の中に沈めた状
態で、そのまま超音波を印加して洗浄する方式の超音波
洗浄装置に本発明を適用した場合の一実施形態である
が、本発明は、以下に図２により説明する定在波を利用
する方式の超音波洗浄装置に適用してもよい。
【００２５】この図２に示した超音波洗浄装置も、洗浄
槽１の底面に取り付けられた振動子３が高周波信号発生
器２から供給される信号により振動し、洗浄槽１内の洗
浄液４に超音波を放出させるようになっているが、この
とき、振動子３から洗浄液４の液面までの距離を、超音
波の１／２波長の整数倍＋１／４波長と同じ寸法になる
ように調整しておくようになっている。
槽１の底面に取り付けられた振動子３が高周波信号発生
器２から供給される信号により振動し、洗浄槽１内の洗
浄液４に超音波を放出させるようになっているが、この
とき、振動子３から洗浄液４の液面までの距離を、超音
波の１／２波長の整数倍＋１／４波長と同じ寸法になる
ように調整しておくようになっている。
【００２６】この結果、洗浄液４の液面で反射した超音
波により、洗浄液４中で超音波の波長に特有の寸法間隔
で微小空洞の密な部分と疎な部分が形成され、定在波７
が発生される。
波により、洗浄液４中で超音波の波長に特有の寸法間隔
で微小空洞の密な部分と疎な部分が形成され、定在波７
が発生される。
【００２７】そこで、矢印Ａで示すように、物体５を上
下させてやれば、定在波７により密になった微小空洞６
により更に強くなった衝撃力が利用でき、強い洗浄力を
得ることができる。
下させてやれば、定在波７により密になった微小空洞６
により更に強くなった衝撃力が利用でき、強い洗浄力を
得ることができる。
【００２８】従って、この図２に示した超音波浄装置に
おいて、物体５に、図１で説明した治具８を適用してや
れば、均一性に優れながら更に強い洗浄力を得ることが
できる。
おいて、物体５に、図１で説明した治具８を適用してや
れば、均一性に優れながら更に強い洗浄力を得ることが
できる。
【００２９】このときの物体５の移動方向は、図示の上
下移動に限らず、回転移動させたり揺動させたりしても
よい。また、この図２の場合でも、図４で後述する治具
９が適用できることはいうまでもない。
下移動に限らず、回転移動させたり揺動させたりしても
よい。また、この図２の場合でも、図４で後述する治具
９が適用できることはいうまでもない。
【００３０】次に図３は、洗浄対象物体５の表面で、空
洞崩壊現象が発生し難い平面部に、金網からなる冶具８
を取り付けた状態を示す。上記したように、平面部で
は、微小空洞６を生成させても、空洞崩壊現象が発生す
るきっかけがないため、洗浄力は弱いが、金網の冶具８
を配置することにより平面部全体に空洞崩壊現象を活発
に発生させることができ、洗浄力を大きく強化すること
ができる。
洞崩壊現象が発生し難い平面部に、金網からなる冶具８
を取り付けた状態を示す。上記したように、平面部で
は、微小空洞６を生成させても、空洞崩壊現象が発生す
るきっかけがないため、洗浄力は弱いが、金網の冶具８
を配置することにより平面部全体に空洞崩壊現象を活発
に発生させることができ、洗浄力を大きく強化すること
ができる。
【００３１】図４は、洗浄部品５の空洞崩壊現象が発生
し難い凹みコーナー部に、リング状の冶具９を取り付け
た場合の一例で、このように凹んたコーナー部では微小
空洞６が内側に入り込んで空洞崩壊現象を起こす確率が
低くなり、洗浄力が弱くなってしまうが、リング状の冶
具９が配置されたことにより、この部分でも活発な空洞
崩壊現象が発生されるようになり、洗浄力が強化でき
る。
し難い凹みコーナー部に、リング状の冶具９を取り付け
た場合の一例で、このように凹んたコーナー部では微小
空洞６が内側に入り込んで空洞崩壊現象を起こす確率が
低くなり、洗浄力が弱くなってしまうが、リング状の冶
具９が配置されたことにより、この部分でも活発な空洞
崩壊現象が発生されるようになり、洗浄力が強化でき
る。
【００３２】図５は、このリング状冶具９の断面で、こ
こーこでは４本の線材で形成した場合を示してあるが、
このときの線材の本数は、洗浄力にはあまり関係がない
ことが確認されているので、取付対象となる部分の形状
と洗浄すべき面積に合わせて任意に構成すれば良い。
こーこでは４本の線材で形成した場合を示してあるが、
このときの線材の本数は、洗浄力にはあまり関係がない
ことが確認されているので、取付対象となる部分の形状
と洗浄すべき面積に合わせて任意に構成すれば良い。
【００３３】次に、各治具８、９の材質について説明す
ると、この治具としては、上記したように、突起部や縁
部などの不連続部が存在すればよいので、その材質はあ
まり問題にはならない。上記した実施形態では金網で作
られているが、その線材には銅やステンレスなど各種の
金属線が使用でき、金属以外にもナイロン糸などが使用
できる。
ると、この治具としては、上記したように、突起部や縁
部などの不連続部が存在すればよいので、その材質はあ
まり問題にはならない。上記した実施形態では金網で作
られているが、その線材には銅やステンレスなど各種の
金属線が使用でき、金属以外にもナイロン糸などが使用
できる。
【００３４】このときの線材の太さは概ね１ｍｍ以下が
望ましく、上記したように、必ずしも金属である必要は
無く、断面形状も円形とは限らず多角形でも良い。ま
た、円形断面又は多角形断面の線材を数本撚り合わせ
た、撚り線であっても良い。
望ましく、上記したように、必ずしも金属である必要は
無く、断面形状も円形とは限らず多角形でも良い。ま
た、円形断面又は多角形断面の線材を数本撚り合わせ
た、撚り線であっても良い。
【００３５】以上、本発明の実施形態によれば、フラッ
トな表面でも凹みコーナー部でも、網状の冶具８やリン
グ状の冶具９を適用することにより、洗浄対象物体の形
状に関わりなく、全表面にわたって常に良好な状態で洗
浄することができる。
トな表面でも凹みコーナー部でも、網状の冶具８やリン
グ状の冶具９を適用することにより、洗浄対象物体の形
状に関わりなく、全表面にわたって常に良好な状態で洗
浄することができる。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、洗浄すべき対象物体の
形状を問わず、常に均一で且つ強い洗浄力のもとで容易
に超音波洗浄をすることができ、従って、従来技術のよ
うに部品形状により洗浄不足部分が生じてしまう虞れが
ないので、手による洗浄作業や手拭き作業で補なう必要
がなくなる。
形状を問わず、常に均一で且つ強い洗浄力のもとで容易
に超音波洗浄をすることができ、従って、従来技術のよ
うに部品形状により洗浄不足部分が生じてしまう虞れが
ないので、手による洗浄作業や手拭き作業で補なう必要
がなくなる。
【００３７】この結果、本発明によれば、部品の形状に
関係なく常に均一に洗浄でき、手拭き作業の排除による
洗浄の質の向上や、洗浄能率向上に効果があり、部品単
品洗浄はもとよりユニット品の洗浄にも使用できるとい
う効果がある。
関係なく常に均一に洗浄でき、手拭き作業の排除による
洗浄の質の向上や、洗浄能率向上に効果があり、部品単
品洗浄はもとよりユニット品の洗浄にも使用できるとい
う効果がある。
【図１】本発明による超音波洗浄装置の一実施形態を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】定在波を利用した超音波洗浄装置の一例を説明
するための構成図である。
するための構成図である。
【図３】本発明による治具の一実施形態を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】本発明による治具の他の一実施形態を示す説明
図である。
図である。
【図５】本発明による治具の他の一実施形態を示す断面
図である。
図である。
１ 洗浄槽６
２ 高周波信号発生器
３ 振動子
４ 洗浄液
５ 洗浄対象物体(洗浄部品)
６ 微小空洞
７ 定在波
８ 金網状の冶具
９ リング状の冶具
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 伊沢 茂
茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株
式会社日立製作所計測器グループ内
(72)発明者 西野 輝道
茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株
式会社日立製作所計測器グループ内
Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB32 AB47 BB02 BB83
BB92 CD41
Claims (4)
- 【請求項１】 洗浄槽内の洗浄液に超音波を印加して前
記洗浄液中に発生させた微小空洞の崩壊による衝撃波を
利用し、物体の表面を洗浄する方式の超音波洗浄装置に
おいて、 前記洗浄液内にある前記物体の表面の少なくとも一部の
近傍に、前記微小空洞の崩壊を誘発する冶具が設けられ
た状態で洗浄が行なわれるように構成したことを特徴と
する超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の発明において、 前記超音波を印加するための手段を前記洗浄槽の底部に
設けた上で、前記洗浄槽内にある洗浄液の液面位置を制
御する手段を設け、 前記洗浄液中に超音波の定在波が形成された状態で洗浄
が行なわれるように構成されていることを特徴とする超
音波洗浄装置。 - 【請求項３】 超音波の印加により洗浄液中に発生させ
た微小空洞の崩壊による衝撃波を利用し、物体の表面を
洗浄する方式の超音波洗浄装置において、 前記物体の表面の少なくとも一部の近傍に配置され、前
記微小空洞の崩壊を誘発するように構成されていること
を特徴とする超音波洗浄装置用治具。 - 【請求項４】 請求項３に記載の発明において、 超音波洗浄装置が、前記超音波を印加するための手段を
前記洗浄槽の底部に設けた上で、前記洗浄槽内にある洗
浄液の液面位置を制御する手段を備え、 前記洗浄液中に超音波の定在波が形成された状態で洗浄
が行なわれるように構成されていることを特徴とする超
音波洗浄装置用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224516A JP2003033735A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224516A JP2003033735A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003033735A true JP2003033735A (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=19057662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224516A Pending JP2003033735A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003033735A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2193879A1 (de) * | 2008-12-05 | 2010-06-09 | Mikron Agie Charmilles AG | Werkzeugreinigung |
| WO2018078926A1 (ja) | 2016-10-31 | 2018-05-03 | 長瀬フィルター株式会社 | 洗浄装置および洗浄方法 |
| WO2018158024A1 (de) * | 2017-03-01 | 2018-09-07 | Ika - Werke Gmbh & Co. Kg | Reinigungsvorrichtung |
| US11219930B2 (en) | 2018-05-28 | 2022-01-11 | Nagase Filter Co, Ltd. | Filter cleaning method and filter cleaning apparatus |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224516A patent/JP2003033735A/ja active Pending
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| KR20190039571A (ko) | 2016-10-31 | 2019-04-12 | 나가세 필터 가부시키가이샤 | 세정 장치 및 세정 방법 |
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