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JP2003029118A - Exposure lens and exposure lens device - Google Patents

Exposure lens and exposure lens device

Info

Publication number
JP2003029118A
JP2003029118A JP2001217011A JP2001217011A JP2003029118A JP 2003029118 A JP2003029118 A JP 2003029118A JP 2001217011 A JP2001217011 A JP 2001217011A JP 2001217011 A JP2001217011 A JP 2001217011A JP 2003029118 A JP2003029118 A JP 2003029118A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposure lens
mounting
exposure
lens
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001217011A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Goto
貴史 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2001217011A priority Critical patent/JP2003029118A/en
Publication of JP2003029118A publication Critical patent/JP2003029118A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lens Barrels (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】装着時の軸合わせを容易にした。 【解決手段】オリエンテーションフラットとして使用さ
れる基準面42,44を有する露光用レンズ26を装着
する装着用筐体60を有し、筐体にはレンズ装着用凹部
64が設けられ、その底面64aであって、レンズ装着
位置に合わせて基準面との当接ピン70,72が植立さ
れ、当接ピンに基準面を当接させた状態で固定する。露
光用レンズの基準面が当接ピンに正しく当接すること
で、露光用レンズの光軸と装着用凹部の中心軸とが完全
に一致する。したがって軸合わせ作業が簡単である。装
着用凹部は露光用レンズよりも十分大きくできるから、
装着用凹部への露光用レンズの装着作業も簡単である。
(57) [Summary] [Problem] To facilitate axis alignment at the time of mounting. A mounting case (60) for mounting an exposure lens (26) having reference surfaces (42) and (44) used as an orientation flat is provided, and the housing is provided with a lens mounting recess (64). Then, the contact pins 70 and 72 with the reference surface are erected in accordance with the lens mounting position, and fixed with the reference surface in contact with the contact pin. When the reference surface of the exposure lens correctly contacts the contact pin, the optical axis of the exposure lens and the center axis of the mounting recess completely match. Therefore, the alignment work is simple. Because the mounting recess can be much larger than the exposure lens,
The work of mounting the exposure lens in the mounting recess is also easy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、所定のパターン
を有した蛍光体を作成する場合などに適用できる露光用
レンズおよびこの露光用レンズを使用した露光用レンズ
装置に関する。詳しくは、露光用レンズとして、オリエ
ンテーションフラットとして2つの基準面を互いに直交
するように設けることで、この露光用レンズを正しく装
着できるようにしたものである。また、この露光用レン
ズを使用するにあたり、基準面にそれぞれ当接する当接
ピンを備えることによって、露光用レンズの光軸と、装
置の中心軸とを精度よく合わせることができるようにし
たものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure lens and an exposure lens device using the exposure lens, which can be applied when a phosphor having a predetermined pattern is formed. Specifically, as the exposure lens, two reference planes are provided as orientation flats so as to be orthogonal to each other, so that the exposure lens can be correctly mounted. Further, when using this exposure lens, by providing contact pins that respectively contact the reference surface, the optical axis of the exposure lens and the central axis of the apparatus can be accurately aligned. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】テレビ受像機やコンパレータなどのモニ
タとして使用されている陰極線管例えばカラー陰極線管
(カラーCRT)では、図12のように陰極線管10の
パネル12の内面12aにR,G,Bの蛍光体層14
(14R,14G,14B)が形成されている。例え
ば、色選別機構16としてストライプ状をなすアパーチ
ャーグリル(AG)が使用されている場合には、垂直走
査方向に伸びるストライプ状の蛍光体層14が所定のピ
ッチをもって形成される。
2. Description of the Related Art In a cathode ray tube such as a color cathode ray tube (color CRT) used as a monitor of a television receiver or a comparator, as shown in FIG. 12, R, G, B is formed on the inner surface 12a of the panel 12 of the cathode ray tube 10. Phosphor layer 14
(14R, 14G, 14B) are formed. For example, when an aperture grill (AG) having a stripe shape is used as the color selection mechanism 16, the stripe phosphor layers 14 extending in the vertical scanning direction are formed with a predetermined pitch.

【0003】このストライプ状をなす蛍光体層14をパ
ネル内面12aに形成するには、図13に示すような露
光装置20を使用する場合がある。図13の場合にはパ
ネル内面12aに装着されたアパーチャーグリル16そ
のものが露光マスクとして兼用される。そして、露光用
の光源24からの光(例えば紫外線UV)を露光用レン
ズ26およびアパーチャーグリル16を介してパネル内
面に塗布された感光材や蛍光材などを露光処理して、図
12に示すような複数の蛍光体層(ストライプ層)14
R,14G,14Bが形成される。
In order to form the stripe-shaped phosphor layer 14 on the inner surface 12a of the panel, an exposure device 20 as shown in FIG. 13 may be used. In the case of FIG. 13, the aperture grill 16 itself attached to the panel inner surface 12a is also used as an exposure mask. Then, the light from the light source 24 for exposure (for example, ultraviolet UV) is exposed through the exposure lens 26 and the aperture grill 16 to the photosensitive material or the fluorescent material applied to the inner surface of the panel, as shown in FIG. Multiple phosphor layers (stripe layers) 14
R, 14G and 14B are formed.

【0004】具体的には図14および図15に示すよう
なプロセスを経て蛍光体層14が形成される。以下はカ
ーボン層を含めた蛍光体形成処理工程であるまず、図1
4Aに示すようにパネル内面にポリビニールアルコール
PVAなどのレジスト層22aが塗布され、その後図1
4Bのようにアパーチャーグリル16を使用してRの蛍
光体層の形成領域(露光部)22bが露光処理される。
同様にして、この例では光源24を所定ピッチだけずら
しながら、GおよびBの各蛍光体層の形成領域が露光処
理される(図14C)。その後、水洗処理してから非露
光部22cを除去して露光部22bのみ残す(図14
D)。
Specifically, the phosphor layer 14 is formed through the processes shown in FIGS. 14 and 15. The following is the phosphor forming process including the carbon layer.
As shown in FIG. 4A, a resist layer 22a such as polyvinyl alcohol PVA is applied to the inner surface of the panel, and then, as shown in FIG.
As in FIG. 4B, the aperture grille 16 is used to expose the R phosphor layer forming region (exposure portion) 22b.
Similarly, in this example, while the light source 24 is shifted by a predetermined pitch, the formation region of each of the G and B phosphor layers is exposed (FIG. 14C). After that, the substrate is washed with water and then the non-exposed portion 22c is removed to leave only the exposed portion 22b (see FIG. 14).
D).

【0005】その後、カーボン層を塗布して乾燥処理し
てから薬液を使用してPVAのみを洗浄すると、図15
Aのようなストライプ層14Cが得られる。これがカー
ボンブラック層(カーボン層)である。次に、R(若し
くはB)の蛍光体を塗布したのち、アパーチャーグリル
16を使用して露光処理し、その後水洗処理すると、露
光されていなかった部分の蛍光体が除去される(図15
B)。この処理をGおよびBに対しても行うことで、図
15Cに示すような蛍光体14を形成できる。
After that, a carbon layer is applied and dried, and then only PVA is washed with a chemical solution.
A stripe layer 14C like A is obtained. This is a carbon black layer (carbon layer). Next, after applying the R (or B) phosphor, the phosphor is exposed using the aperture grille 16 and then washed with water to remove the phosphor that is not exposed (FIG. 15).
B). By performing this process on G and B as well, the phosphor 14 as shown in FIG. 15C can be formed.

【0006】ここで、電子ビームがアパーチャーグリル
16を透過して所定の蛍光体層14に照射されるよう
に、光源24からの光も同じ光路を辿ってレジスト層に
到達するように光源24とアパーチャーグリル16との
間には光路変更用として図13に示すような露光用レン
ズ26が使用される。露光処理層とはレジスト層や蛍光
体層をいう。
Here, in order that the electron beam passes through the aperture grille 16 and irradiates a predetermined phosphor layer 14, the light from the light source 24 also passes through the same optical path and reaches the resist layer. An exposure lens 26 as shown in FIG. 13 is used for changing the optical path between the aperture grill 16 and the aperture grill 16. The exposure treatment layer refers to a resist layer or a phosphor layer.

【0007】露光用レンズ26は数枚から7〜8枚のレ
ンズを組み合わせたものが使用される。露光用レンズ2
6は平面レンズと非球面レンズを組み合わせたものであ
る。そのため、この露光用レンズ26は図16に示すよ
うな露光用レンズ装置30を構成するレンズ装着用の筐
体32に装着固定される。レンズを装着固定する場合に
おいては、露光用レンズ26の光軸が、装着用筐体32
の中心軸に完全に一致するように露光用レンズ26を装
着固定する必要がある。
The exposure lens 26 is a combination of several to 7 to 8 lenses. Exposure lens 2
6 is a combination of a flat lens and an aspherical lens. Therefore, the exposure lens 26 is mounted and fixed to the lens mounting case 32 that constitutes the exposure lens device 30 as shown in FIG. When the lens is mounted and fixed, the optical axis of the exposure lens 26 is set to the mounting case 32.
It is necessary to mount and fix the exposure lens 26 so as to be completely aligned with the central axis of the.

【0008】そのため、露光用レンズ26には図17に
示すようなオリエンテーションフラットとして使用され
る基準面28が形成されたものが使用される。この基準
面28は露光用レンズ26を所定の非球面体に研磨する
ときの研磨台に取り付けるときの基準面としても利用さ
れる。さらに、この露光用レンズ26の周面には図17
にも示すように、複数個所例えば3個所に亘ってほぼ9
0°の角間隔を保持して基準線となるケガキ線27(2
7a,27b,27c)が刻印されている。
Therefore, as the exposure lens 26, one having a reference surface 28 used as an orientation flat as shown in FIG. 17 is used. The reference surface 28 is also used as a reference surface when the exposure lens 26 is attached to a polishing table when polishing it into a predetermined aspherical body. Further, as shown in FIG.
As shown in Fig. 1, there are approximately 9
A marking line 27 (2
7a, 27b, 27c) are engraved.

【0009】露光用レンズ26は複数枚のレンズを重ね
合わせて使用される。図16に示す露光用レンズ装置3
0は装着用筐体32に3枚の露光用レンズ26a,26
b,26cを装着して使用する場合を示す。したがって
図16に示すように装着用筐体32には中心孔32aが
設けられると共に、3段に亘る内径の異なった装着用凹
部34,36,38が中心軸方向に設けられている。
The exposure lens 26 is used by stacking a plurality of lenses. Exposure lens device 3 shown in FIG.
Reference numeral 0 indicates three exposure lenses 26a and 26 in the mounting housing 32.
The case where b and 26c are attached and used is shown. Therefore, as shown in FIG. 16, the mounting housing 32 is provided with a central hole 32a, and three mounting recesses 34, 36, 38 having different inner diameters are provided in the central axial direction.

【0010】装着用凹部34,36,38のそれぞれの
内面形状は露光用レンズ26の外形と同じ形状となされ
ている他、露光用レンズ26の光軸が、装着用筐体32
の中心軸zに完全に一致するように装着できるようにす
るため、装着用凹部34,36,38の周面にはケガキ
線27と同様なケガキ線が刻印されている。例えば装着
用凹部34には図19に示すように、装着用凹部36の
レンズ載置面でもある段部平面34aに90°の角間隔
を保持して基準線として使用されるケガキ線35(35
a,35b,35c)が刻印されている。他の装着用凹
部36,38にも、それぞれの段部平面36a,38a
に同様なケガキ線(図示はしない)が形成されている。
The inner shape of each of the mounting recesses 34, 36, 38 is the same as the outer shape of the exposure lens 26, and the optical axis of the exposure lens 26 is the same as the mounting case 32.
In order to enable the mounting so as to be completely aligned with the central axis z, the marking lines similar to the marking line 27 are engraved on the peripheral surfaces of the mounting recesses 34, 36, 38. For example, in the mounting recess 34, as shown in FIG. 19, a marking line 35 (35) used as a reference line by holding a 90 ° angular interval on a step plane 34a which is also a lens mounting surface of the mounting recess 36.
a, 35b, 35c) are engraved. The other mounting recesses 36, 38 are also provided with the step planes 36a, 38a, respectively.
A similar marking line (not shown) is formed on.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、露光用レン
ズ26を装着用凹部34,36,38に装着固定するに
当たっては、露光用レンズ26の光軸とこれら装着用凹
部34,36,38の中心軸zとの軸合わせを上述した
ケガキ線27,35を頼りに行っている。軸合わせは目
視であるので、軸合わせの精度にも限界があり、その精
度は目視レベルが限界であって、±0.1mm程度以下
に調整するのは困難であることが経験的に認められる。
By the way, when the exposure lens 26 is mounted and fixed in the mounting recesses 34, 36, 38, the optical axis of the exposure lens 26 and the center of the mounting recesses 34, 36, 38 are set. The alignment with the axis z is performed by relying on the marking lines 27 and 35 described above. Since the axis alignment is visual, there is a limit in the accuracy of the axis alignment, and it is empirically recognized that it is difficult to adjust the accuracy to ± 0.1 mm or less because the visual level is limited. .

【0012】また、露光用レンズ装着後の装着用凹部3
4,36,38と露光用レンズ26a,26b,26c
との間のクリアランスw(図16参照)は極く僅かであ
る。一般にはこのクリアランスwは1mm程度に選ばれ
ている。装着用凹部34,36,38には僅かなクリア
ランスしか残されていないので、露光用レンズ26の装
着作業が面倒である。露光用レンズ26のレンズ面など
が傷つかないように装着する必要があるからでもある。
The mounting recess 3 after mounting the exposure lens
4, 36, 38 and exposure lenses 26a, 26b, 26c
The clearance w between the and (see FIG. 16) is extremely small. Generally, this clearance w is selected to be about 1 mm. Since only a slight clearance is left in the mounting recesses 34, 36, 38, the mounting work of the exposure lens 26 is troublesome. This is also because it is necessary to mount the exposure lens 26 so that the lens surface and the like are not damaged.

【0013】装着用凹部34,36,38との間の隙間
は僅かしかないが、少なくと図20のように最大クリア
ランスw分(1mm)の誤差が生ずるおそれがある。こ
れは、装着用凹部34,36,38の内面形状が露光用
レンズ26の外形と同じ形状となっていても、x軸ある
いはy軸方向に最大1mmずれる可能性がある。この装
着誤差を限りなく小さくするため、装着後の位置調整が
数回となく行われている。しかし、最後には熟練担当者
の勘に委ねられているのが実状である。そのため、従来
では装着の最適化が困難である。
Although there is only a small gap between the mounting recesses 34, 36 and 38, an error of the maximum clearance w (1 mm) may occur at a minimum as shown in FIG. This means that even if the inner surface shape of the mounting recesses 34, 36, 38 is the same as the outer shape of the exposure lens 26, there is a possibility that it may be shifted by up to 1 mm in the x-axis or y-axis direction. In order to make this mounting error as small as possible, the position adjustment after mounting is performed several times. However, in the end, it is the actual situation that it is up to the intuition of a skilled person. Therefore, conventionally, it is difficult to optimize the mounting.

【0014】そこで、この発明はこのような従来の課題
を解決したものであって、特に装着後の軸合わせを容
易、確実に行える露光用レンズおよびこの露光用レンズ
を使用した露光用レンズ装置を提案するものである。
Therefore, the present invention solves such a conventional problem, and particularly, an exposure lens and an exposure lens device using the exposure lens which can easily and surely perform axis alignment after mounting. It is a proposal.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、請求項1に記載したこの発明に係る露光用レンズで
は、色選別機構を介して所定パターンに蛍光体層を形成
する際に使用される露光用レンズであって、オリエンテ
ーションフラットとして使用される第1および第2の基
準面を有し、この第1の基準面に対して第2の基準面が
直交するように設けられたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the exposure lens according to the present invention described in claim 1 is used for forming a phosphor layer in a predetermined pattern through a color selection mechanism. An exposure lens having first and second reference surfaces used as orientation flats, and the second reference surface is provided so as to be orthogonal to the first reference surface. Is characterized by.

【0016】また、請求項3に記載したこの発明に係る
露光用レンズ装置では、オリエンテーションフラットと
して使用される第1および第2の基準面を有する露光用
レンズを装着する装着用筐体を有し、この装着用筐体に
は、上記露光用レンズの装着用凹部が複数設けられると
共に、この装着用凹部の底面であって、露光用レンズの
装着位置に合わせて上記第1および第2の基準面と当接
するように当接ピンが植立され、これら当接ピンに上記
基準面を当接させた状態で固定することを特徴とする。
Further, in the exposure lens device according to the third aspect of the present invention, there is provided a mounting housing for mounting the exposure lens having the first and second reference surfaces used as an orientation flat. The mounting case is provided with a plurality of mounting recesses for the exposure lens, and the first and second reference points are formed on the bottom surface of the mounting recess according to the mounting position of the exposure lens. The contact pins are planted so as to come into contact with the surfaces, and are fixed in a state where the reference surfaces are in contact with the contact pins.

【0017】この発明では、互いに直交する2つの基準
面を露光用レンズに設ける。基準面の加工粗さと加工公
差は厳密に管理する。装着用筐体にはこれら基準面と当
接する複数本の当接ピンが植立され、当接ピンへの当接
位置で露光用レンズの光軸が装着用凹部の中心軸に完全
に一致するように加工されている。そのため、当接ピン
の植立位置精度も厳密に管理される。
In the present invention, the exposure lens is provided with two reference surfaces which are orthogonal to each other. Strictly control the machining roughness and machining tolerance of the reference surface. A plurality of contact pins that come into contact with these reference surfaces are planted in the mounting housing, and the optical axis of the exposure lens is completely aligned with the central axis of the mounting recess at the position of contact with the contact pins. Is processed as. Therefore, the planting position accuracy of the contact pin is also strictly controlled.

【0018】露光用レンズの基準面が当接ピンに正しく
当接するように装着し、その位置がずれないように押圧
手段によって露光用レンズを当接ピン側に押圧固定す
る。露光用レンズの基準面が当接ピンに正しく当接する
ことで、露光用レンズの光軸と装着用凹部の中心軸とが
完全に一致する。したがって軸合わせ作業が簡単であ
る。装着用凹部は露光用レンズよりも十分大きくできる
から、装着用凹部への露光用レンズの装着作業も簡単で
ある。
The exposure lens is mounted so that the reference surface properly abuts on the abutment pin, and the exposure lens is pressed and fixed to the abutment pin side by the pressing means so that the position does not shift. The optical axis of the exposure lens and the central axis of the mounting concave portion are completely aligned with each other because the reference surface of the exposure lens is brought into proper contact with the contact pin. Therefore, the axis alignment work is easy. Since the mounting recess can be made sufficiently larger than the exposure lens, the work of mounting the exposure lens in the mounting recess is easy.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】続いて、この発明に係る露光用レ
ンズおよび露光用レンズ装置の一実施形態を図面を参照
して詳細に説明する。図1はこの発明に係る露光用レン
ズ26の実施の形態を示す。対象となる露光用レンズは
平面レンズおよび非球面レンズである。図1では非球面
レンズを示してあるが、説明のためであるので、その非
球面は現実のものとは相違している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of an exposure lens and an exposure lens device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of an exposure lens 26 according to the present invention. The subject exposure lenses are planar lenses and aspherical lenses. Although an aspherical lens is shown in FIG. 1, the aspherical surface is different from the actual one for the purpose of explanation.

【0020】図1に示すように、露光用レンズ26には
直線状をなす第1と第2の基準面42,44が互いに直
交するように設けられる。実施の形態ではx軸に平行な
第1の基準面42に対し、その右側であってy軸に並行
となるように第2の基準面44が形成される。ここに、
x軸は電子ビームの水平走査方向に一致し、y軸は垂直
走査方向に一致する。
As shown in FIG. 1, the exposure lens 26 is provided with first and second linear reference surfaces 42 and 44 which are orthogonal to each other. In the embodiment, the second reference plane 44 is formed on the right side of the first reference plane 42 parallel to the x-axis and parallel to the y-axis. here,
The x-axis corresponds to the horizontal scanning direction of the electron beam, and the y-axis corresponds to the vertical scanning direction.

【0021】これら基準面42,44は何れもオリエン
テーションフラットとして機能する。基準面42,44
の長さは任意であるが、少なくともオリエンテーション
フラットとして機能するに十分な長さに選定されてい
る。実施の形態では、レンズ直径のほぼ2/3程度の長
さとなされている。
Each of these reference planes 42 and 44 functions as an orientation flat. Reference plane 42, 44
Can be of any length, but is selected to be at least long enough to function as an orientation flat. In the embodiment, the length is about ⅔ of the lens diameter.

【0022】基準面42,44の交差する部分46はレ
ンズの周面の一部が残るように、光軸pから基準面4
2,44までの距離が選定される。これは、交差部分4
6を残さないと、基準面42と44の交叉する部分が直
角になってしまうため、レンズ装着時やレンズ搬送時に
レンズ周面が損傷し易くなるからである。光軸pは電子
ビームが直進するz軸と同一である。
At the intersection 46 of the reference planes 42 and 44, the reference plane 4 is arranged from the optical axis p so that a part of the peripheral surface of the lens remains.
Distances up to 2,44 are selected. This is intersection 4
This is because if 6 is not left, the intersecting portion of the reference surfaces 42 and 44 will be a right angle, and the lens peripheral surface will be easily damaged when the lens is mounted or the lens is conveyed. The optical axis p is the same as the z axis along which the electron beam travels straight.

【0023】基準面42,44の加工精度は次のように
選ばれている。まず基準面42,44の加工面粗さは、
JIS・Rmax25S以下であり、光軸pからの基準面
42,44に至るまでの加工公差(距離Wx,Wy)は
±0.1mm以下であり、基準面42,44の直角度は
±1秒(≒0.02度)以内となるように加工される。
これによって、加工面粗さは±25μm以下となり、基
準面として十分な効果が期待できる。
The processing accuracy of the reference surfaces 42 and 44 is selected as follows. First, the processed surface roughness of the reference surfaces 42 and 44 is
JIS / Rmax 25S or less, the processing tolerance (distance Wx, Wy) from the optical axis p to the reference surfaces 42, 44 is ± 0.1 mm or less, and the perpendicularity of the reference surfaces 42, 44 is ± 1 second. It is processed so that it is within (≈0.02 degrees).
As a result, the processed surface roughness becomes ± 25 μm or less, and a sufficient effect can be expected as a reference surface.

【0024】このような2つの基準面42,44を形成
した後、そのレンズが非球面レンズであるならば、図2
のように所定の非球面となるようにレンズ面26uが研
磨処理される。この研磨処理に使用する研磨台50の一
例を図3に示す。研磨台50は図よりも明らかなよう
に、平板の金属板であって、その表面50aに設けられ
た中心qに露光用レンズ26が載置されたとき、それぞ
れの基準面42,44と当接する位置に複数の当接ピン
52,54が植立固定される(図4参照)。つまり、中
心qからy軸方向にWyだけ離れた位置であって、y軸
を挟んで等間隔となる位置に所定径を有する2本の当接
ピン(SUSなどの金属棒)52,52が植立固定され
る。また、中心qからx軸方向にWxだけ離れた位置で
あって、中心qを通る位置に所定径を有する1本の当接
ピン54が植立固定される。
After forming the two reference surfaces 42 and 44 as described above, if the lens is an aspherical lens, FIG.
As described above, the lens surface 26u is polished so as to have a predetermined aspherical surface. An example of the polishing table 50 used for this polishing process is shown in FIG. As is apparent from the figure, the polishing table 50 is a flat metal plate, and when the exposure lens 26 is mounted on the center q provided on the surface 50a thereof, the polishing table 50 and the reference surfaces 42 and 44 contact each other. A plurality of abutment pins 52 and 54 are vertically fixed at the contacting positions (see FIG. 4). That is, two contact pins (metal rods such as SUS) 52, 52 having a predetermined diameter are located at positions apart from the center q by Wy in the y-axis direction and at equal intervals across the y-axis. The planting is fixed. Further, one contact pin 54 having a predetermined diameter is fixed to the center q at a position away from the center q by Wx in the x-axis direction and passing through the center q.

【0025】当接ピン52,54の加工面粗さは、例え
ばJIS・Rmax5S以下、したがって±5μm以下と
なるように加工され、また中心qからの当接ピン52,
54までの加工公差は、±0.02mm以下となるよう
に加工される。そして、当接ピン52,54を研磨台5
0に植立固定するときの直角度は±1秒以下となるよう
に設定されている。
The abutting pins 52, 54 are machined so that the surface roughness of the abutting pins 52, 54 is, for example, JIS Rmax 5S or less, and therefore ± 5 μm or less.
The processing tolerance up to 54 is processed to be ± 0.02 mm or less. Then, the contact pins 52 and 54 are attached to the polishing table 5.
The squareness when fixed at 0 is set to ± 1 second or less.

【0026】このような加工精度に選んであると、図5
および図6にそれぞれ示すように、露光用レンズ26の
基準面42,44が当接ピン52,54に正しく当接す
るように、研磨台50にこの露光用レンズ26を載置固
定するか貼り付けると、研磨台50の中心は露光用レン
ズ26の光軸qに完全に一致する。因みに、以上のよう
な加工精度のときには貼り付け再現性は、±0.01m
m以内になることが確認された。目視レベルより10倍
以上の精度で露光用レンズ26を研磨台50に装着固定
できる。露光用レンズ26を装着固定した状態でレンズ
面26uが所定の非球面となるような研磨処理が行われ
る。
If such a processing precision is selected, FIG.
As shown in FIG. 6 and FIG. 6, respectively, the exposure lens 26 is fixedly mounted or attached to the polishing table 50 so that the reference surfaces 42 and 44 of the exposure lens 26 properly contact the contact pins 52 and 54. Then, the center of the polishing table 50 completely coincides with the optical axis q of the exposure lens 26. By the way, when the processing accuracy is as above, the reproducibility of pasting is ± 0.01m.
It was confirmed to be within m. The exposure lens 26 can be attached and fixed to the polishing table 50 with an accuracy 10 times or more higher than the visual level. A polishing process is performed so that the lens surface 26u becomes a predetermined aspherical surface with the exposure lens 26 mounted and fixed.

【0027】レンズ面26uが所定の曲率となるように
するには、研磨処理の他に金型で成形する場合がある。
その場合には露光用レンズ26の上下両面がレンズ球面
(雌面と雄面)となるので、この場合には何れかのレン
ズ面を加工して、今度はそのレンズ面が平面となるよう
に研磨する。そのような場合にも露光用レンズの取り付
け台として図5に示すような研磨台を使用することがで
きる。
In order to make the lens surface 26u have a predetermined curvature, the lens surface 26u may be molded by a mold in addition to the polishing process.
In this case, the upper and lower surfaces of the exposure lens 26 are lens spherical surfaces (female surface and male surface). In this case, either lens surface is processed so that this lens surface becomes a flat surface this time. Grind. Even in such a case, a polishing table as shown in FIG. 5 can be used as a mounting table for the exposure lens.

【0028】図7はこの発明に係る露光用レンズ装置2
0の実施の形態を示す。露光用レンズ装置20は、露光
用レンズ26を装着固定するための装着用筐体60を有
する。装着用筐体60としてこの実施の形態では従来例
で説明したのと同じく3枚の露光用レンズを重ね合わせ
て露光する露光用レンズ装置の構成を例示する。
FIG. 7 shows an exposure lens device 2 according to the present invention.
0 embodiment is shown. The exposure lens device 20 has a mounting housing 60 for mounting and fixing the exposure lens 26. In this embodiment, as the mounting case 60, the configuration of an exposure lens device that exposes by stacking three exposure lenses in the same manner as described in the conventional example is illustrated.

【0029】装着用筐体60にはその中心軸zを中心に
した所定径の透孔62が穿設されると共に、2つの装着
用凹部64,66が順次その内径を変えて設けられると
共に、最上面には装着用平面部68が設けられる。装着
用凹部64,66は何れも装着される露光用レンズの外
形に合った形状となされているが、図9のように露光用
レンズ26を装着しても十分な余裕があるように装着用
凹部64,66が形成される。それぞれの装着用凹部は
同一構成であるので、装着用凹部64のみその構成を説
明する。
A through hole 62 having a predetermined diameter centered on the central axis z is bored in the mounting case 60, and two mounting recesses 64 and 66 are sequentially provided with the inner diameters thereof being changed. A mounting flat portion 68 is provided on the uppermost surface. Each of the mounting recesses 64 and 66 has a shape that fits the outer shape of the exposure lens to be mounted, but the mounting recesses 64 and 66 have a sufficient margin even when the exposure lens 26 is mounted as shown in FIG. Recesses 64 and 66 are formed. Since the mounting recesses have the same configuration, only the mounting recess 64 will be described.

【0030】図8はこの装着用凹部64の実施の形態で
あって、凹部底面64aの中心軸zに露光用レンズ26
(26a)の光軸pが一致するように装着されたとき、
露光用レンズ26aの基準面42,44がそれぞれ当接
する位置に複数の当接ピン70,72が植立固定され
る。
FIG. 8 shows an embodiment of the mounting recess 64, in which the exposure lens 26 is placed on the central axis z of the recess bottom surface 64a.
When mounted so that the optical axis p of (26a) coincides,
A plurality of contact pins 70 and 72 are vertically fixed at positions where the reference surfaces 42 and 44 of the exposure lens 26a come into contact with each other.

【0031】そのため、中心軸zからy軸方向にWyだ
け離れた位置であって、y軸を挟んで等間隔となる位置
に所定径を有する2本の当接ピン(金属棒)70,70
が植立固定される。また、中心軸zからx軸方向にWx
だけ離れた位置であって、中心軸zを通る位置に所定径
を有する1本の当接ピン72が植立固定される。
Therefore, two contact pins (metal rods) 70, 70 having a predetermined diameter are located at positions apart from the central axis z by Wy in the y-axis direction and at equal intervals with the y-axis interposed.
Is fixed in place. In addition, Wx in the x-axis direction from the central axis z
A single contact pin 72 having a predetermined diameter is fixed at a position separated by a distance and passing through the central axis z.

【0032】当接ピン70,72の加工面粗さは、例え
ばJIS・Rmax5S以下、したがって±5μm以下と
なるように加工され、また中心qからの当接ピン70,
72までの加工公差は、±0.02mm以下となるよう
に加工される。そして、当接ピン70,72を凹部底面
64aに植立固定するときの直角度は±1秒以下となる
ように設定されている。
The abutting pins 70, 72 are machined so that the surface roughness of the abutting pins 70, 72 is, for example, JIS Rmax 5S or less, and therefore ± 5 μm or less.
The processing tolerance up to 72 is processed to be ± 0.02 mm or less. Further, the perpendicularity when the contact pins 70 and 72 are fixed to the bottom surface 64a of the recess by standing is set to be ± 1 second or less.

【0033】このような加工精度に選んであると、図9
に示すように露光用レンズ26aの基準面42,44が
当接ピン70,72に正しく当接するように、露光用レ
ンズ26を装着用凹部64に装着すると、装着用凹部6
4の中心は露光用レンズ26の光軸pに完全に一致す
る。因みに、以上のような加工精度のときには装着再現
性は、±0.01mm以内になることが確認された。
When the processing precision is selected as shown in FIG.
When the exposure lens 26 is mounted in the mounting recess 64 so that the reference surfaces 42, 44 of the exposure lens 26a correctly contact the contact pins 70, 72 as shown in FIG.
The center of 4 perfectly coincides with the optical axis p of the exposure lens 26. By the way, it was confirmed that the mounting reproducibility was within ± 0.01 mm when the processing accuracy was as described above.

【0034】そして、露光用レンズ26aを装着用凹部
64に固定するため、図のような押圧手段74,76が
設けられている。押圧手段74,76はx軸上およびy
軸上にそれぞれ設けられるもので、一方の押圧手段74
の押圧によって第1の基準面42が一対の当接ピン7
0,70に当接した状態が保持され、そして他方の押圧
手段76の押圧によって第2の基準面44が当接ピン7
2に当接した状態が保持される。
Then, in order to fix the exposure lens 26a in the mounting recess 64, pressing means 74, 76 as shown are provided. The pressing means 74, 76 are on the x-axis and y
One of the pressing means 74 is provided on the shaft.
The first reference surface 42 is pressed by the pair of contact pins 7
0, 70 is kept in contact with the contact pin 7 and the second reference surface 44 is pressed by the other pressing means 76.
The state of being in contact with 2 is retained.

【0035】押圧手段74,76は何れも、図7および
図8のようにバネ例えばコイルバネ80と押圧部材82
とで構成され、コイルバネ80の一端は固定ピン84に
固定され、他端に押圧部材82が取り付けられる。押圧
部材82は角材であって、露光用レンズ26aの外周面
と接する面は露光用レンズ26aと同一の曲率となされ
る。これで図9に示すようにコイルバネ80の押圧力が
正しくx軸およびy軸上に伝達されることになり、露光
用レンズ26aを所期の位置に正しくセットできる。
The pressing means 74 and 76 are both springs such as a coil spring 80 and a pressing member 82 as shown in FIGS. 7 and 8.
The coil spring 80 has one end fixed to the fixing pin 84 and the other end to which the pressing member 82 is attached. The pressing member 82 is a square member, and the surface in contact with the outer peripheral surface of the exposure lens 26a has the same curvature as the exposure lens 26a. As a result, the pressing force of the coil spring 80 is correctly transmitted on the x-axis and the y-axis as shown in FIG. 9, and the exposure lens 26a can be correctly set at the desired position.

【0036】なお、押圧手段74,76の押圧力が正し
く軸上に向くようにするため、図10に示すように凹部
底面64aに溝86,88を付け、この溝86,88内
を押圧部材74,76が進退するように構成することも
できる。その場合には押圧部材74,76自身にも凹溝
を形成し、この凹溝内にコイルバネ80を配置する構成
とした方が好ましい。上段の装着用凹部66に対しても
図8以下に示したのと同じ構成が施されている。最上段
の装着用平面部68は段部こそ形成されてはいないが、
その構成は装着用凹部64,66の場合と同じであるの
で、その説明は割愛する。
In order to make the pressing force of the pressing means 74, 76 properly on the shaft, grooves 86, 88 are formed on the bottom surface 64a of the recess as shown in FIG. 10, and the insides of the grooves 86, 88 are pressed. It is also possible to configure 74 and 76 to move back and forth. In that case, it is preferable that the pressing members 74 and 76 themselves be provided with a concave groove and the coil spring 80 is arranged in the concave groove. The same configuration as shown in FIG. 8 and subsequent figures is also applied to the upper mounting recess 66. Although the uppermost mounting plane portion 68 is not formed with a step portion,
The structure is the same as that of the mounting recesses 64 and 66, and therefore the description thereof is omitted.

【0037】また、露光用レンズ26の径がそれぞれ異
なる場合であって、上段に装着される露光用レンズの径
が次第に大きくなるものを使用した場合には、当接ピン
への押圧状態の安定性を確保するため、植立される当接
ピンの径を次第に太くしてもよい。装着用凹部64,6
6と装着用平面部68のそれぞれに露光用レンズ26
a,26b,26cを装着固定したとき、図11のよう
に上下で接触しない程度の段差がそれぞれの装着用凹部
64,66の深さが、相互の屈折率を考慮した上で、選
定されているものとする。
Further, when the diameters of the exposure lenses 26 are different from each other and the diameter of the exposure lens mounted on the upper stage is gradually increased, the pressing state of the contact pin is stabilized. In order to secure the property, the diameter of the contact pin to be planted may be gradually increased. Mounting recesses 64, 6
6 and the mounting flat surface portion 68 respectively, the exposure lens 26
When a, 26b, and 26c are mounted and fixed, as shown in FIG. 11, the depths of the mounting recesses 64 and 66 that are not in contact with each other are selected in consideration of mutual refractive indexes. Be present.

【0038】さて、このように構成された露光用レンズ
装置20には、図11のような状態で複数の露光用レン
ズ26が装着されるが、この場合装着用凹部64,66
の大きさは装着する露光用レンズ26よりも十分大きい
ので、装着用凹部64,66への装着を比較的簡単に行
うことができる。装着スペースが十分あるために露光用
レンズの表面が傷ついたりするおそれはない。
Now, the plurality of exposure lenses 26 are mounted in the exposure lens device 20 thus constructed in the state as shown in FIG. 11. In this case, the mounting recesses 64 and 66 are mounted.
Since the size of is larger than the exposure lens 26 to be mounted, the mounting in the mounting recesses 64 and 66 can be performed relatively easily. There is no fear that the surface of the exposure lens will be damaged due to the sufficient mounting space.

【0039】露光用レンズ26を装着すると、それぞれ
に設けられた一対の押圧手段74,76の作用で露光用
レンズ26に設けられた基準面42,44が対応する当
接ピン70,72に直交状態を保ったまま当接し、その
状態が保持される。そしてこの当接状態では中心軸zが
露光用レンズ26の光軸に完全に一致するため、押圧手
段74,76を露光用レンズ26に押し当てるだけで軸
合わせ作業(露光用レンズ26の位置決め作業)が完了
し、軸合わせ作業時間を大幅に短縮できる。したがって
特に熟練作業者でなくでも露光作業を遂行できる。軸合
わせ精度は、上述したように±0.01mm以下にでき
るので、より高精度なレンズ装着が可能になる。
When the exposure lens 26 is mounted, the reference surfaces 42, 44 provided on the exposure lens 26 are orthogonal to the corresponding contact pins 70, 72 by the action of the pair of pressing means 74, 76 provided on the exposure lens 26. The contact is made while maintaining the state, and the state is maintained. In this abutting state, the central axis z is completely aligned with the optical axis of the exposure lens 26, and therefore, the axis aligning work (positioning work of the exposure lens 26 is performed only by pressing the pressing means 74 and 76 against the exposure lens 26. ) Is completed and the axis alignment work time can be greatly reduced. Therefore, even an unskilled worker can perform the exposure work. Since the axis alignment accuracy can be set to ± 0.01 mm or less as described above, it is possible to mount the lens with higher accuracy.

【0040】軸合わせ精度が改善されるため、露光用レ
ンズ26の装着に関する再現性が保証される。その結
果、装着の良否を判定するためのテスト用露光処理に対
する信頼性が増すのでテスト用露光処理回数を減らすこ
とができる。その副次的な効果として露光用レンズの装
着位置が特定されているため、露光用レンズの非球面部
分の歪みなども簡単に特定できるから、露光用レンズの
作製自体そのコストを大幅に削減できる。さらに、この
ような露光用レンズ装置を使用することにより、この露
光用レンズ装置を複数個用意しても相互の機械的なばら
つきが少なくなるので、露光用レンズ交換時における軸
合わせ調整時間を従来よりも大幅に短縮できる。
Since the alignment accuracy is improved, the reproducibility regarding the mounting of the exposure lens 26 is guaranteed. As a result, the reliability of the test exposure process for determining the quality of mounting is increased, and the number of test exposure processes can be reduced. Since the mounting position of the exposure lens is specified as a secondary effect, distortion of the aspherical surface of the exposure lens can be specified easily, and the cost of manufacturing the exposure lens itself can be significantly reduced. . Further, by using such an exposure lens device, even if a plurality of exposure lens devices are prepared, mutual mechanical variations are reduced. Can be significantly shortened.

【0041】上述した実施の形態では、基準面42,4
4と当接する当接ピンの数が相違しているが、同じ数で
も勿論差し支えなく、より高精度に軸合わせを行うこと
ができる。露光用レンズとしての使用枚数、そのときの
平面レンズと非球面レンズとの組み合わせなども露光目
的に合わせて選択することができる。
In the above-described embodiment, the reference planes 42, 4
Although the number of contact pins abutting with No. 4 is different, the same number can be used as a matter of course, and the axis alignment can be performed with higher accuracy. The number of lenses used as an exposure lens, the combination of a flat lens and an aspherical lens at that time, and the like can be selected according to the purpose of exposure.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したようにこの発明では、互い
に直交する2つの基準面を露光用レンズに設けたもので
ある。またこの発明では2つの基準面を有する露光用レ
ンズに対応した位置にこれら基準面と当接する複数の当
接ピンを装着用凹部内に設けたものである。これによれ
ば、基準面および当接ピンの加工粗さと加工公差を厳密
に管理することによって、露光用レンズの基準面を当接
ピンに当接させるだけで、露光用レンズの光軸を装着用
凹部の中心軸に精度よく一致させることができる。
As described above, according to the present invention, the exposure lens is provided with two reference surfaces which are orthogonal to each other. Further, in the present invention, a plurality of contact pins that contact these reference surfaces are provided in the mounting recess at positions corresponding to the exposure lens having two reference surfaces. According to this, by strictly controlling the processing roughness and the processing tolerance of the reference surface and the contact pin, the optical axis of the exposure lens can be mounted only by bringing the reference surface of the exposure lens into contact with the contact pin. The central axis of the concave portion can be accurately aligned.

【0043】この発明では、露光用レンズの基準面を当
接ピンに当てるだけで軸合わせが完了するので、露光用
レンズの軸合わせ作業が簡単である。装着用凹部は露光
用レンズよりも十分大きくできるから、装着用凹部への
露光用レンズの装着作業も簡単であるなどの実益を有す
る。
According to the present invention, the alignment of the exposure lens is completed simply by bringing the reference surface of the exposure lens into contact with the abutment pin. Since the mounting recess can be made sufficiently larger than the exposure lens, there are practical benefits such as the work of mounting the exposure lens in the mounting recess is simple.

【0044】また、この発明では露光用レンズの装着に
関する再現性が保証されるために、装着の良否を判定す
るためのテスト用露光処理に対する信頼性が増し、これ
に伴ってテスト用露光処理回数を減らすことができる。
その副次的な効果として露光用レンズの装着位置が特定
されているため、露光用レンズの非球面部分の歪みなど
も簡単に特定できるから、露光用レンズの作製自体その
コストを大幅に削減できる特徴を有する。
Further, according to the present invention, since the reproducibility regarding the mounting of the exposure lens is guaranteed, the reliability of the test exposure process for determining the quality of the mounting is increased, and the number of test exposure processes is increased accordingly. Can be reduced.
Since the mounting position of the exposure lens is specified as a secondary effect, distortion of the aspherical surface of the exposure lens can be specified easily, and the cost of manufacturing the exposure lens itself can be significantly reduced. It has characteristics.

【0045】さらに、このような露光用レンズ装置を使
用することにより、この露光用レンズ装置を複数個用意
しても相互の機械的なばらつきが少なくなるので、露光
用レンズ交換時における軸合わせ調整時間を従来よりも
大幅に短縮できる。したがってこの発明は各種陰極線管
の蛍光体作成のためなどに使用される露光用レンズおよ
びこれを使用した露光用レンズ装置に適用して極めて好
適である。
Further, by using such an exposure lens device, even if a plurality of the exposure lens devices are prepared, the mechanical variation between them is reduced, so that the alignment adjustment when the exposure lens is replaced is made. The time can be greatly reduced compared to the past. Therefore, the present invention is extremely suitable when applied to an exposure lens used for making phosphors for various cathode ray tubes and an exposure lens device using the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係る露光用レンズの実施の形態を示
す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an exposure lens according to the present invention.

【図2】その側面図である。FIG. 2 is a side view thereof.

【図3】露光用レンズの研磨台の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a polishing table of an exposure lens.

【図4】その側面図である。FIG. 4 is a side view thereof.

【図5】研磨台に露光用レンズを載置したときの平面図
である。
FIG. 5 is a plan view when an exposure lens is placed on a polishing table.

【図6】その側面図である。FIG. 6 is a side view thereof.

【図7】この発明に係る露光用レンズ装置の実施の形態
を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view showing an embodiment of an exposure lens device according to the present invention.

【図8】その一部平面図である。FIG. 8 is a partial plan view thereof.

【図9】露光用レンズを載置した状態の平面図である。FIG. 9 is a plan view showing a state where an exposure lens is mounted.

【図10】露光用レンズ装置の他の実施の形態を示す使
用状態の一部平面図である。
FIG. 10 is a partial plan view of a state of use showing another embodiment of the exposure lens device.

【図11】図9の一部断面図である。11 is a partial cross-sectional view of FIG.

【図12】パネルと蛍光体層との関係を示す断面図であ
る。
FIG. 12 is a sectional view showing a relationship between a panel and a phosphor layer.

【図13】露光処理装置の概念図である。FIG. 13 is a conceptual diagram of an exposure processing apparatus.

【図14】露光処理の説明図である(その1)。FIG. 14 is an explanatory diagram of exposure processing (No. 1).

【図15】露光処理の説明図である(その2)。FIG. 15 is an explanatory diagram of exposure processing (No. 2).

【図16】従来の露光用レンズ装置の一部断面図であ
る。
FIG. 16 is a partial cross-sectional view of a conventional exposure lens device.

【図17】それに使用される露光用レンズの平面図であ
る。
FIG. 17 is a plan view of an exposure lens used therein.

【図18】その側面図である。FIG. 18 is a side view thereof.

【図19】露光用レンズを装着したときの露光用レンズ
装置の平面図である。
FIG. 19 is a plan view of the exposure lens device when the exposure lens is attached.

【図20】クリアランスの説明図である。FIG. 20 is an explanatory diagram of a clearance.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・CRT、12・・・パネル、14・・・蛍光
体層、16・・・アパーチャーグリル、26・・・露光
用レンズ、24・・・光源、20・・・露光装置、4
2,44・・・基準面、60・・・筐体、64,66・
・・装着用凹部、68・・・装着用平面部、70,72
・・・当接ピン、74,76・・・押圧手段
10 ... CRT, 12 ... Panel, 14 ... Phosphor layer, 16 ... Aperture grille, 26 ... Exposure lens, 24 ... Light source, 20 ... Exposure device, 4
2, 44 ... Reference plane, 60 ... Housing, 64, 66 ...
..Mounting recesses, 68 ... Mounting flat surfaces, 70, 72
... Abutting pins, 74,76 ... Pressing means

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 色選別機構を介して所定パターンに蛍光
体層を形成する際に使用される露光用レンズであって、 オリエンテーションフラットとして使用される第1およ
び第2の基準面を有し、 この第1の基準面に対して第2の基準面が直交するよう
に設けられたことを特徴とする露光用レンズ。
1. An exposure lens used when a phosphor layer is formed in a predetermined pattern through a color selection mechanism, the exposure lens having first and second reference planes used as orientation flats. An exposure lens, wherein the second reference plane is provided so as to be orthogonal to the first reference plane.
【請求項2】 色選別機構を介して所定パターンに蛍光
体を形成する際に使用される露光用レンズ装置であっ
て、 オリエンテーションフラットとして使用される第1およ
び第2の基準面を有する露光用レンズを装着する装着用
筐体を有し、 この装着用筐体には、上記露光用レンズの装着用凹部が
複数設けられると共に、 この装着用凹部の底面であって、露光用レンズの装着位
置に合わせて上記第1および第2の基準面と当接するよ
うに当接ピンが植立され、 これら当接ピンに上記基準面を当接させた状態で固定す
ることを特徴とする露光用レンズ装置。
2. An exposure lens device used when forming a phosphor in a predetermined pattern through a color selection mechanism, the exposure lens device having first and second reference planes used as orientation flats. A mounting housing for mounting the lens is provided, and the mounting housing is provided with a plurality of mounting recesses for the exposure lens, and is a bottom surface of the mounting recess for mounting positions of the exposure lens. A contact pin is planted so as to contact the first and second reference surfaces in accordance with the above, and the reference surface is fixed in contact with these contact pins. apparatus.
【請求項3】 上記第1の基準面に対する当接ピンが1
本であるとき、上記第2の基準面には2本の当接ピンが
当接するようにしたことを特徴とする請求項1記載の露
光用レンズ装置。
3. A contact pin for the first reference surface is 1
2. The exposure lens device according to claim 1, wherein when it is a book, two abutment pins abut on the second reference surface.
【請求項4】 上記当接ピンと対向する上記底面側に
は、装着された上記露光用レンズを上記当接ピン側に押
圧するための押圧手段が設けられたことを特徴とする請
求項3記載の露光用レンズ装置。
4. The pressing means for pressing the mounted exposure lens to the contact pin side is provided on the bottom surface side facing the contact pin. Exposure lens device.
【請求項5】 上記押圧手段は、基準面に対応してそれ
ぞれ1つずつ設けられたことを特徴とする請求項3記載
の露光用レンズ装置。
5. The exposure lens apparatus according to claim 3, wherein each of the pressing means is provided corresponding to a reference surface.
【請求項6】 上記押圧手段は、コイルバネが使用され
たことを特徴とする請求項3記載の露光用レンズ装置。
6. The exposure lens apparatus according to claim 3, wherein the pressing means is a coil spring.
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