JP2003028090A

JP2003028090A - 分子ポンプおよび真空排気装置

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Publication number: JP2003028090A
Application number: JP2001210828A
Authority: JP
Inventors: Masahide Kubo; 雅英久保
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2001-07-11
Filing date: 2001-07-11
Publication date: 2003-01-29

Abstract

(57)【要約】【課題】圧縮性能に優れた分子ポンプの提供。【解決手段】ネジ溝５１を有するドラッグポンプ部を
備えた分子ポンプにおいて、ネジ溝５１のリード形状を
曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一部分の曲線と同一形状とな
るようにした。このとき、前記部分曲線の座標原点側の
端部をネジ溝５１のターボ分子ポンプ側とし、部分曲線
の他方の端部をネジ溝５１の排気口側とする。ネジ溝５
１のリード角φをターボ分子ポンプ側から排気口側へと
小さくし、かつ、リード角φの変化率もターボ分子ポン
プ側から排気口側へと近づくにつれて小さくした。その
結果、リード角φの小さな部分の割合が増加して圧縮性
能が向上し、従来より排気速度の小さな補助ポンプを使
用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ドラッグポンプ機
構を有する分子ポンプおよびその分子ポンプを備える真
空排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、エッチング装置やＣＶＤ装置など
の半導体製造装置ではプロセスガスを流しながら各プロ
セスが行われるため、大流量タイプの複合型ターボ分子
ポンプが用いられている。複合型ターボ分子ポンプは、
タービン翼を備えたターボ分子ポンプ部と、ネジ溝を備
えたドラッグポンプ部とで構成されている。ターボ分子
ポンプ部は吸気口から取り込んだガスを大気圧まで圧縮
することができないので、通常、ターボ分子ポンプ部の
排気口側に補助ポンプを接続し、排気したガスを補助ポ
ンプで大気圧まで圧縮するようにしている。

【０００３】半導体製造装置にターボ分子ポンプを用い
る場合には、オイルフリーという要請から補助ポンプと
して一般的にドライ真空ポンプが用いられている。ドラ
イ真空ポンプは電力消費量が大きいため、省エネルギー
の観点からより消費電力の小さな小型のドライ真空ポン
プを使用することが望まれている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、排気速
度の小さな小型のドライ真空ポンプを使用した場合に
は、プロセスガスを流したときにターボ分子ポンプの排
気口圧力が高くなる傾向がある。そのため、従来のター
ボ分子ポンプでは圧縮能力が不足してターボ分子ポンプ
の吸気口側圧力、すなわち真空チャンバ内の圧力が上昇
し、所望のプロセス圧力にできないという課題があっ
た。

【０００５】本発明の目的は、圧縮性能に優れた分子ポ
ンプ、および、その分子ポンプを備えた真空排気装置を
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図１，２，５および１０に対応付けて説明する。（１）図１、２および５に対応付けて説明すると、請求
項１の発明は、ネジ溝５１を有するドラッグポンプ部Ｍ
を備えた分子ポンプ１に適用され、ネジ溝５１のリード
角φを吸気側から排気側へと近づくにつれて小さくし、
かつ、リード角φの変化率ｄ^２ｙ／ｄｘ^２を吸気側から
排気側へと近づくにつれて小さくしたことにより上述の
目的を達成する。（２）請求項２の発明は、ネジ溝５１を有するドラッグ
ポンプ部Ｍを備えた分子ポンプ１に適用され、ｘｙ座標
平面上における曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一部分である
曲線ＣＤをネジ溝５１のリード形状とするとともに、一
部分の曲線ＣＤの座標原点側の端部Ｃをネジ溝５１の吸
気側とし、一部分の曲線ＣＤの他方の端部Ｄをネジ溝５
１の排気側としたことにより上述の目的を達成する。た
だし、ｂは任意の正の実数とする。（３）図１０に対応付けて説明すると、請求項３の発明
による真空排気装置は、請求項１または２に記載の分子
ポンプ１と、分子ポンプ１の排気口３に接続される補助
ポンプ６８とを備えて上述の目的を達成する。

【０００７】なお、上記課題を解決するための手段の項
では、本発明を分かり易くするために発明の実施の形態
の図を用いたが、これにより本発明が発明の実施の形態
に限定されるものではない。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。図１は本発明による複合型ターボ分
子ポンプの断面図である。ターボ分子ポンプ１の吸気口
フランジ２ａには、真空排気すべきチャンバー（不図
示）が接続される。一方、排気口フランジ３にはドライ
ポンプなどの補助ポンプ（不図示）が接続される。吸気
口フランジ２ａが形成された外筒２の内部には、複数段
の回転翼４ａとネジ溝５１が形成された回転円筒部４ｂ
とを有するロータ４が回転自在に配設されている。上下
に並んだ回転翼４ａの間には固定翼５ａが配設され、回
転円筒部４ｂの周囲を囲むように固定円筒部５ｂが配設
されている。後述するように、固定円筒部５ｂの内周面
にはネジ溝５１が形成されている。

【０００９】複合型ターボ分子ポンプ１では、回転翼４
ａと固定翼４ｂとがターボ分子ポンプ部Ｔを構成し、回
転円筒部４ｂと固定円筒部５ｂとがドラッグポンプ部Ｍ
を構成している。図１に示した複合型ターボ分子ポンプ
１は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、ロータ４は
ラジアル電磁石６Ａ，６Ｂおよびアキシャル電磁石６Ｃ
により非接触支持され、高周波モータ７により回転駆動
される。ロータ４は、磁気浮上していないときには非常
用のメカニカルベアリング８により支持される。磁気浮
上時には、ロータ４とメカニカルベアリング８とは非接
触状態になる。

【００１０】高周波モータ７によりロータ４が高速回転
駆動されると、吸気口フランジ２ａからターボ分子ポン
プ１側に飛び込んだ気体分子は、ターボ分子ポンプ部Ｔ
によって圧縮されてドラッグポンプ部Ｍ側へと排気され
る。ドラッグポンプ部Ｍではターボ分子ポンプ部Ｔで圧
縮された気体を更に圧縮し、排気口フランジ３側へと排
気する。排気口フランジ３側に排気された気体は、排気
口フランジ３に接続されたドライポンプにより大気圧側
に排気される。

【００１１】図２は固定円筒部５ｂの内周面に形成され
たネジ溝５１を示す展開図である。図２において、Ｘ軸
はネジ溝面の展開方向（円周方向）の長さを表してお
り、図示上方（ｙ軸正側）がターボ分子ポンプ部側であ
り、図示下方が排気口側である。なお、展開したときの
角度（０〜３６０°）も参考に付した。固定円筒部５ｂ
の内周面にはネジ溝５１が複数形成されており、ネジ溝
間は凸部５２となっている。図３は、図２のＡ−Ａ断面
を示した図であり、５１ａはネジ溝５１と凸部５２との
境界である。φは境界５１ａの傾き角度であり、ネジ溝
５１のリード角を表している。ターボ分子ポンプ部側の
リード角はφ１で排気口側のリード角はφ２であり、φ
１＞φ２に設定されている。ネジ溝５１の深さは排気口
側に近づくにつれて浅くなっている。

【００１２】《従来のネジ溝のリード角》ドラッグポン
プ部Ｍの排気性能は、ネジ溝５１のリード角φ，ネジ溝
５１の幅，ネジ溝５１の深さ，回転円筒部４ｂと固定円
筒部５ｂとのギャップ寸法などに依存している。リード
角φは、この角度が小さくなるにつれてドラッグポンプ
部Ｍの圧縮性能が向上する。分子ポンプでは排気口側の
圧力と吸気口側（ターボ分子ポンプ側）の圧力との比を
圧縮比と称し、圧縮性能はこの圧縮比により判断され
る。従来、ネジ溝の加工し易さなどから当初はリード角
φを一定としていた。

【００１３】その後、吸気口側のリード角φを比較的大
きくして気体分子を受け入れやすくし、排気口側のリー
ド角φを小さくして排気口側からドラッグポンプ部側に
逆流する気体分子を抑えたものが考え出された。このと
き、図３の境界５１ａの形状に対応するネジ溝のリード
形状は、展開図の固定円筒部軸方向をｙ、展開方向をｘ
とすると式（１）で表される。

【数１】ｙ＝ａ・ｘ^２ …（１）

【００１４】図４（ａ）は曲線ｙ＝ａ・ｘ^２を示したも
のであり、曲線ｙ＝ａ・ｘ^２上の傾き角がφ１のＡ点か
ら傾き角がφ２のＢ点までの曲線ＡＢをネジ溝の形状と
していた。このとき、ネジ溝のリード角φはターボ分子
ポンプ部側（点Ａ）のφ１から徐々に小さくなり、排気
口側（点Ｂ）でφ２となる。ところで、リード角φに関
して、曲線ｙ＝ａ・ｘ^２の一階微分ｄｙ／ｄｘは曲線の
傾きｔａｎφを表している（図４（ｂ））。また、図４
（ｃ）に示す二階微分ｄ^２ｙ／ｄｘ^２は傾きｔａｎφの
変化率である。すなわち、曲線ＡＢの傾きｔａｎφの変
化率は２ａで一定となっているので、リード角φの変化
率も一定となっている。このように、式（１）で表され
る従来のネジ溝は、リード角φの変化率が一定（＝２
ａ）となってる。

【００１５】《本実施の形態におけるネジ溝形状》図５
は本実施の形態におけるネジ溝形状の一例を示す図であ
る。図５（ａ）は曲線ｙ^２＝ｂ^２・ｘを図示したもので
あり、その下側半分はｙ＝−ｂ・ｘ^０．５と表される。
そして、上述したネジ溝５１の境界５１ａの形状（リー
ド形状）を、点Ｃ（リード角φ１）から点Ｄ（リード角
φ２）までの曲線ＣＤと同一形状となるようにした。図
５（ｂ）は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一階微分ｄｙ／ｄ
ｘを、図５（ｃ）は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の二階微分
ｄ^２ｙ／ｄｘ^２を示したものである。

【００１６】図５（ｃ）からも分かるように、曲線ＣＤ
においては、ｘ(C)からｘ(D)に近づくにつれて曲線の傾
きｔａｎφの変化率が小さくなっている。すなわち、曲
線の傾きｔａｎφの変化率が一定である曲線ＡＢに比べ
て、曲線ＣＤの場合にはリード角φ２に近い傾きの部分
の割合が大きいことが分かる。なお、図２に示した各境
界５１ａの形状は全て同一であり、それらは曲線ＣＤを
図２のｘ軸方向に平行移動することによりそれぞれ得ら
れる。

【００１７】図６は本実施の形態におけるネジ溝５１の
リード形状（白丸で示した曲線）と、従来のようにリー
ド角の変化率が一定の曲線ＡＢに基づくリード形状（黒
丸で示した曲線）とを示したものである。図６において
縦軸は固定円筒部５ｂの軸方向の寸法で図４および図５
のｙ軸に対応しており、横軸はネジ溝面を展開したとき
の展開方向の寸法でｘ軸に対応している。また、リード
形状の違いが分かり易いように、図６ではリード角φ１
の点Ａおよび点Ｃを一致させて図示した。点Ａ，Ｃのリ
ード角はそれぞれφ１＝２６°に設定されており、点
Ｂ，Ｄのリード角はそれぞれφ２＝１４°に設定されて
いる。

【００１８】図６に示すようにネジ溝の軸方向寸法を１
６０（ｍｍ）とすると、本実施の形態の場合のリード形
状は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５においてｂ＝１２．８とし
たものになり、図５（ａ）の点Ｃのｘ座標はｘ(C)＝１
７０（ｍｍ）で、点Ｄのｘ座標はｘ(D)＝６５６（ｍ
ｍ）となる。一方、一定変化リード角のリード形状（黒
丸で示した曲線）は、曲線ｙ＝ａ・ｘ^２においてａ＝
２．７５×１０^−３としたものになり、図４（ａ）の点
Ａのｘ座標はｘ(A)＝−８８７（ｍｍ）で、点Ｂのｘ座
標はｘ(B)＝−４５２（ｍｍ）となる。図６では点Ａ，
Ｃのｘ座標を０としているので、図６における点Ｂおよ
び点Ｄのｘ座標はそれぞれｘ(B)＝４３５（ｍｍ）、ｘ
(D)＝４８６（ｍｍ）となる。

【００１９】例えば、各々のリード形状に対してφ＝１
４°〜１６°の範囲を示すと、図６のそれぞれＲ１，Ｒ
２で示す範囲となる。従来の場合の範囲Ｒ１はリード形
状全体に対して約１６％であるが、本実施の形態の範囲
Ｒ２は約３３％となる。その結果、圧縮性能が従来の場
合よりも向上した。また、ターボ分子ポンプ部側のリー
ド角は従来と同様にφ１＝２６°としているため、気体
分子の受け入れ易さ（排気速度性能）に関してはほとん
ど変わらない。

【００２０】上述した実施の形態では、リード形状を曲
線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一部としたが、これに限らず、
図５（ｃ）に示したように吸気口側（点Ｃ）から排気口
側（点Ｄ）に近づくにつれてリード角φの変化率が小さ
くなるような曲線であれば良い。例えば、図７に示すよ
うな曲線ｙ＝ｋ・ｘ^４の一部（曲線ＥＦ）であっても良
い。図７において、（ａ）は曲線ｙ＝ｋ・ｘ^４を示す図
であり、（ｂ）は一階微分ｄｙ／ｄｘ、（ｃ）は二階微
分ｄ^２ｙ／ｄｘ^２をそれぞれ示す。この場合も、点Ｅか
ら点Ｆに近づくにつれて、リード角φの変化率である二
階微分ｄ^２ｙ／ｄｘ^２が小さくなっている。

【００２１】図８は、上述した曲線ＡＢのリード形状を
有する従来の複合型ターボ分子ポンプの排気性能と、曲
線ＣＤのリード形状を有する本実施の形態の複合型ター
ボ分子ポンプの排気性能とを示す図である。図８では、
一定量の窒素ガスを排気チャンバ内に流入したときのタ
ーボ分子ポンプの吸気口圧力と排気口圧力との関係を示
している。なお、図８に例示したターボ分子ポンプは、
ドライエッチング装置等に用いられる２０００（Ｌ／ｓ
ｅｃ）クラスのポンプである。Ｌ１０，Ｌ１１は本実施
の形態のターボ分子ポンプに関するものであり、Ｌ２
０，Ｌ２１は従来のターボ分子ポンプに関する。また、
Ｌ１０およびＬ２０は窒素ガスを１０００（ＳＣＣＭ）
流入させた場合で、Ｌ１１，Ｌ２１は窒素ガスを５００
（ＳＣＣＭ）流入させた場合である。

【００２２】本実施の形態のターボ分子ポンプの場合、
上述したように圧縮性能が従来のターボ分子ポンプより
も向上しているため、排気口圧力を１２００（Ｐａ）程
度まで上昇させても、吸気口圧力（すなわちチャンバ内
圧力）を一定に保持することができる。一方、従来のタ
ーボ分子ポンプの場合には、排気口圧力が３００（Ｐ
ａ）程度まで上昇すると、吸気口圧力が上昇し始める。
そのため、より大きな補助ポンプを使用して排気口圧力
を３００（Ｐａ）よりも低くしないと安定した排気が行
えないことが分かる。

【００２３】例えば、排気速度３００（Ｌ／ｍｉｎ）の
補助ポンプを図８に示すと、Ｐ０，Ｐ１のようになる。
Ｐ０は、１０００（ＳＣＣＭ）の窒素ガスをこの補助ポ
ンプで排気したときの補助ポンプの吸気口圧力、すなわ
ちターボ分子ポンプの排気口圧力を示している。また、
Ｐ１は、５００（ＳＣＣＭ）の窒素ガスをこの補助ポン
プで排気したときの補助ポンプの吸気口圧力を示してい
る。Ｐ０は流量１０００（ＳＣＣＭ）では補助ポンプの
吸気口圧力が４００（Ｐａ）程度となることを示してお
り、一方、Ｐ１は流量５００（ＳＣＣＭ）では補助ポン
プの吸気口圧力が２００（Ｐａ）程度となることを示し
ている。すなわち、本実施の形態のターボ分子ポンプで
は、ガス流量が１０００（ＳＣＣＭ）であっても３００
（Ｌ／ｍｉｎ）クラスの補助ポンプを使用することがで
きる。

【００２４】一方、従来のターボ分子ポンプの場合、流
量が５００（ＳＣＣＭ）であれば補助ポンプ吸気口圧力
はＰ１で示すように２００（Ｐａ）程度なので、３００
（Ｌ／ｍｉｎ）クラスの補助ポンプを使用することがで
きる。しかし、流量が１０００（ＳＣＣＭ）のときの補
助ポンプ吸気口圧力はＰ０で示すように４００（Ｐａ）
程度なので、ターボ分子ポンプの吸気口圧力が上昇して
安定した排気を行うことができない。すなわち、流量１
０００（ＳＣＣＭ）で使用する場合には、より排気速度
の大きな補助ポンプを使用してターボ分子ポンプの排気
口圧力を２００（Ｐａ）より低く下げる必要がある。

【００２５】このようなターボ分子ポンプとドライ真空
ポンプとを組み合わせた真空排気装置をドライエッチン
グ装置に用いた場合のポンプ配置例を、図９および図１
０に示す。図９は従来のターボ分子ポンプ６４を用いた
場合の図であり、補助ポンプとして１０００〜３０００
（Ｌ／ｍｉｎ）のドライ真空ポンプ６６が用いられる。
半導体製造工場は一般的に二層構造になっていて、二階
部分がクリーンルームで、一階部分が機械室になってい
る。エッチング装置６０はプロセス室６１，搬送室６
２，ロードロック室６３を有しており、プロセス室６１
にはバルブ６９を介してターボ分子ポンプ６４が接続さ
れている。

【００２６】従来、ターボ分子ポンプ６４の補助ポンプ
であるドライ真空ポンプ６６は体積および重量が大きい
ため、エッチング装置６０と分離されて一階部分の機械
室に配設される。ターボ分子ポンプ６４の排気口とドラ
イ真空ポンプ６５の吸気口とは配管６５により連結され
る。ドライ真空ポンプ６６を機械室に配設しているので
配管６５の短縮化には限度があり、ガスの流れに対する
配管抵抗を低減するために、可能な限り内径の大きな配
管６５が用いられる。

【００２７】一方、図１０は本実施の形態のターボ分子
ポンプ１を用いた場合の配置を示す図である。上述した
ようにターボ分子ポンプ１は圧縮性能が従来のターボ分
子ポンプ６４よりも向上しているので、排気速度１００
〜５００（Ｌ／ｍｉｎ）の小型のドライ真空ポンプ６８
を使用することができる。その結果、ターボ分子ポンプ
１だけでなくドライ真空ポンプ６８もエッチング装置６
０内に組み込むことが可能となる。そのため、ターボ分
子ポンプ１の排気口とドライ真空ポンプ６８の吸気口と
を連結する配管７０の長さを短くすることができ、配管
径も従来の場合（図９）よりも小さくて良い。さらに、
従来は１０００〜３０００（Ｌ／ｍｉｎ）クラスであっ
たドライ真空ポンプ６６を、１００〜５００（Ｌ／ｍｉ
ｎ）クラスの小型のドライ真空ポンプ６８に置き換える
ことができるので、エッチング装置６０のトータルの消
費電力を大幅に低減することができる

【００２８】なお、上述した本実施の形態ではターボ分
子ポンプ部Ｔとドラッグポンプ部Ｍとを備えた複合型タ
ーボ分子ポンプを例に説明したが、本発明はドラッグポ
ンプ部のみから成る分子ポンプにも適用することができ
る。また、固定円筒部５ｂの回転円筒部４ｂと対向する
面（内周面）にネジ溝を形成したが、回転円筒部４ｂ側
にネジ溝５１を形成しても良い。さらに、ネジ溝５１は
ドラッグポンプ部Ｍの上下方向全域に形成されていなく
ても良く、一部分に形成されていても良い。

【００２９】また、図１１（ａ）に示すように、ネジ溝
５１が形成された固定円筒部５ｃをロータ４の回転円筒
部４ｂの内側に配設しても良い。さらに、図１１（ｂ）
に示すように、ネジ溝５１が形成された固定円筒部５ｄ
を回転円筒部４ｂの内外両側に設けても良い。

【００３０】以上説明した実施の形態と特許請求の範囲
の要素との対応において、曲線ＣＤは請求項２の一部分
を、点Ｃは座標原点側の端部を、点Ｄは他方の端部を、
排気口フランジは請求項３の排気口をそれぞれ構成す
る。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ネジ溝のリード角の変化率を吸気側から排気側へと近づ
くにつれて小さくしたので、排気口側のリード角の小さ
な部分の割合が従来より大きくなり、ポンプの圧縮性能
が向上する。その結果、排気速度の小さな小型の補助ポ
ンプを使用することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】複合型ターボ分子ポンプの断面図である。

【図２】固定円筒部５ｂの内周面に形成されたネジ溝５
１を示す展開図である。

【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。

【図４】従来のリード形状を説明する図であり、（ａ）
は曲線ｙ＝ａ・ｘ^２を示す図、（ｂ）は曲線ｙ＝ａ・ｘ
^２の一階微分ｄｙ／ｄｘを示す図、（ｃ）は曲線ｙ＝ａ
・ｘ^２の二階微分ｄ^２ｙ／ｄｘ^２を示す図である。

【図５】本実施の形態におけるリード形状を説明する図
であり、（ａ）は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５を示す図、
（ｂ）は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一階微分ｄｙ／ｄｘ
を示す図、（ｃ）は曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の二階微分
ｄ^２ｙ／ｄｘ^２を示す図である。

【図６】本実施の形態におけるリード形状と従来のリー
ド形状とを同一条件で示した図である。

【図７】リード形状の他の例を説明する図であり、
（ａ）は曲線ｙ＝ｋ・ｘ^４を示す図、（ｂ）は曲線ｙ＝
ｋ・ｘ^４の一階微分ｄｙ／ｄｘを示す図、（ｃ）は曲線
ｙ＝ｋ・ｘ^４の二階微分ｄ^２ｙ／ｄｘ^２を示す図であ
る。

【図８】本実施の形態の複合型ターボ分子ポンプの排気
性能を従来のものと比較して示した図である。

【図９】従来の真空排気装置を示す図である。

【図１０】本発明による真空排気装置を示す図である。

【図１１】ドラッグポンプ部の変形例を示す図であり、
（ａ）は第１の変形例を、（ｂ）は第２の変形例を示す
図である。

【符号の説明】

１，６４複合型ターボ分子ポンプ２外筒３排気口フランジ４ロータ４ａ回転翼４ｂ回転円筒部５ａ固定翼５ｂ固定円筒部５１ネジ溝５１ａ境界５２凸部６０エッチング装置６６，６８ドライポンプＭドラッグポンプ部Ｔターボ分子ポンプ部 φ，φ１，φ２リード角

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ネジ溝を有するドラッグポンプ部を備え
た分子ポンプにおいて、前記ネジ溝のリード角を吸気側から排気側へと近づくに
つれて小さくし、かつ、前記リード角の変化率を吸気側
から排気側へと近づくにつれて小さくしたことを特徴と
する分子ポンプ。
【請求項２】ネジ溝を有するドラッグポンプ部を備え
た分子ポンプにおいて、ｘｙ座標平面上における曲線ｙ＝−ｂ・ｘ^０．５の一部
分を前記ネジ溝のリード形状とするとともに、前記一部
分の座標原点側の端部を前記ネジ溝の吸気側とし、前記
一部分の他方の端部を前記ネジ溝の排気側としたことを
特徴とする分子ポンプ。ただし、ｂは任意の正の実数と
する。
【請求項３】請求項１または２に記載の分子ポンプ
と、前記分子ポンプの排気口に接続される補助ポンプと
を備えたことを特徴とする真空排気装置。