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JP2003022036A - カラー表示用基板、カラーフィルタ用基板、カラー発光用基板、カラー表示用基板の製造方法、電気光学装置、電子機器、成膜方法、成膜装置、表示装置用母基板 - Google Patents

カラー表示用基板、カラーフィルタ用基板、カラー発光用基板、カラー表示用基板の製造方法、電気光学装置、電子機器、成膜方法、成膜装置、表示装置用母基板

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JP2003022036A
JP2003022036A JP2002087601A JP2002087601A JP2003022036A JP 2003022036 A JP2003022036 A JP 2003022036A JP 2002087601 A JP2002087601 A JP 2002087601A JP 2002087601 A JP2002087601 A JP 2002087601A JP 2003022036 A JP2003022036 A JP 2003022036A
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color
substrate
reference line
dot
pitch
Prior art date
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JP2002087601A
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Hisashi Ariga
久 有賀
Satoru Kataue
悟 片上
Yoshiaki Yamada
善昭 山田
Hiroshi Kiguchi
浩史 木口
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Priority to TW091109081A priority patent/TW586044B/zh
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のカラー表示素子がマトリクス状に配列
されたカラー表示用基板、たとえばカラーフィルタ用基
板およびカラー発光用基板を効率よく得ることができる
製造方法などを提供する。 【解決手段】 カラー表示用基板の製造方法は、入力さ
れたデータに応じて液滴を選択的にノズルから吐出する
ことによって複数のカラードット１００ａを形成する工
程を有する。複数のカラードット１００ａは、複数の画
素を構成し、複数の画素は、複数のカラーフィルタ素子
１００を構成する。複数のカラーフィルタ素子１００
は、マトリクス状に配列される。複数のカラードット１
００ａは、第１基準線ＢＬ１と直交する方向において第
１ドットピッチＰｘを有する。複数のカラードット１０
０ａの各々は、少なくとも第１基準線ＢＬ１に対して第
１ドットピッチＰｘの実質的に整数倍の距離に位置する
ように形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー表示用基
板、カラーフィルタ用基板、カラー発光用基板、カラー
表示用基板の製造方法、電気光学装置、電子機器、成膜
方法、成膜装置、表示装置用母基板に関する。
【０００２】
【背景技術および発明が解決しようとする課題】近年、
パーソナルコンピュータ、特に携帯用パーソナルコンピ
ュータや携帯用の情報機器などの進歩に伴い、液晶カラ
ーディスプレイの需要が急増している。これに対応し、
適正価格で美しいディスプレイを供給する手段の確立が
急務となっている。また、近年、環境の保護の観点か
ら、環境負荷を低減するプロセスへの転換，改善も要求
されている。
【０００３】従来、カラーフィルタの製造方法の１つと
して、以下の方法が知られている。この方法では、ま
ず、遮光材としてクロムの薄膜をフォトリソグラフィー
およびエッチングによってパターニングし、ブラックマ
トリクスを形成する。その後、このブラックマトリクス
間の間隙に、赤，緑および青の感光性樹脂を、一色毎に
スピンコート法などによって塗布した後フォトリソグラ
フィーによりパターニングする。それによって、赤，緑
および青の着色層（カラードット）が隣り合って配置さ
れたカラーマトリクスを構成することができる。この製
造方法では、赤，緑，青の一色毎にフォトリソグラフィ
ー工程を繰り返さなければならず、また、各色のパター
ニングに際して不要部分を除去するため感光性材料のロ
スが生じ、ひいては環境負荷の高い高コストのカラーフ
ィルタとなる。
【０００４】そこで、このような製造方法の問題点を解
消する方法として、たとえば特開昭５９−７５２０５号
公報では、インクジェット法を応用した方法が提案され
ている。この方法では、透明基板上に、インクに対して
濡れ性の低い材料で着色層の形成領域を区画するように
仕切りをマトリクス状に形成した後、インクジェット法
を用いて非感光性色材を仕切り内に塗布することによ
り、着色層を形成する。この製造方法では、フォトリソ
グラフィー工程の煩雑さが緩和され、さらに色材のロス
の低減を図ることができる。以来、インクジェット法に
よる非感光性色材の塗布プロセスによるカラーフィルタ
の製造方法が多数提案されている。
【０００５】本発明の目的は、複数のカラー表示素子が
マトリクス状に配列されたカラー表示用基板、たとえば
カラーフィルタ用基板およびカラー発光用基板を効率よ
く得ることができる製造方法を提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、上述した製造方法で
形成されたカラー表示用基板、たとえばカラーフィルタ
用基板およびカラー発光用基板を提供することにある。
【０００７】本発明のさらに他の目的は、上述したカラ
ー表示用基板から得られたカラー表示体を有する電気光
学装置ならびに電子機器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、カラー表示用
基板において、マトリクス状に配列された複数のカラー
表示素子と、前記複数のカラー表示素子の各々を構成す
る複数の画素と、前記複数の画素の各々を構成する複数
のカラードットと、を備え、前記複数のカラードット
は、第１基準線と直交する方向において第１ドットピッ
チを有し、前記複数のカラードットの各々は、少なくと
も第１基準線に対して第１ドットピッチの実質的に整数
倍の距離に位置することを特徴とする。
【０００９】このカラー表示用基板は、後述する製造方
法によって効率よく得られる。
【００１０】本発明にかかるカラー表示用基板は、以下
の各種態様を取ることができる。
【００１１】（Ａ）さらに、前記カラー表示素子のカラ
ードットは、前記第１基準線と直交する第２基準線に対
して、該第２基準線と直交する方向における第２ドット
ピッチの実質的に整数倍の距離に位置することができ
る。
【００１２】（Ｂ）前記カラー表示素子の相互間の間隔
は、前記第１基準線の方向においては、第２ドットピッ
チの実質的に整数倍であり、かつ前記第２基準線の方向
においては、第１ドットピッチの実質的に整数倍である
ことができる。このように設定することで、カラー表示
素子のピッチを第１ドットピッチおよび第２ドットピッ
チの実質的に整数倍で規定できる。すなわち、このこと
をカラー表示素子のピッチからみると、前記カラー表示
素子の配列は、前記第１基準線の方向においては、第２
素子ピッチの実質的に整数倍であり、かつ前記第２基準
線の方向においては、第１素子ピッチの実質的に整数倍
である。
【００１３】（Ｃ）前記カラー表示素子は、前記画素の
配列がストライプ型、モザイク型、デルタ型およびスク
ウェア型のいずれかであることができる。
【００１４】（Ｄ）前記カラードットはノズルから吐出
された液滴によって形成できる。そして、前記カラード
ットは、カラー表示層と該カラー表示層を区画するため
のバンク層を含むことができる。このバンク層は、ノズ
ルから吐出された液滴をせき止める隔壁として機能す
る。
【００１５】本発明のカラー表示用基板は、赤、緑およ
び青の光の３原色によってカラー表示が可能な各種の表
示基板に適用できる。代表的な表示基板としては、カラ
ーフィルタ用基板およびカラー発光用基板がある。
【００１６】たとえば、本発明にかかるカラーフィルタ
用基板は、マトリクス状に配列された複数のカラーフィ
ルタ素子と、前記複数のカラーフィルタ素子の各々を構
成する複数の画素と、前記複数の画素の各々を構成する
複数のカラードットと、を備え、前記複数のカラードッ
トは、第１基準線と直交する方向において第１ドットピ
ッチを有し、前記複数のカラードットの各々は、少なく
とも第１基準線に対して第１ドットピッチの実質的に整
数倍の距離に位置することができる。
【００１７】本発明にかかるカラー発光用基板は、マト
リクス状に配列された複数のカラー発光素子と、前記複
数のカラー発光素子の各々を構成する複数の画素と、前
記複数の画素の各々を構成する複数のカラードットと、
を備え、前記複数のカラードットは、第１基準線と直交
する方向において第１ドットピッチを有し、前記複数の
カラードットの各々は、少なくとも第１基準線に対して
第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するこ
とができる。
【００１８】本発明にかかるカラー表示用基板の製造方
法は、入力されたデータに応じて液滴を選択的にノズル
から吐出することによって複数のカラードットを形成す
る工程を備え、前記複数のカラードットは、複数の画素
を構成し、前記複数の画素は、複数のカラー表示素子を
構成し、前記複数のカラー表示素子は、マトリクス状に
配列され、前記複数のカラードットは、第１基準線と直
交する方向において第１ドットピッチを有し、前記複数
のカラードットの各々を、少なくとも第１基準線に対し
て前記第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置
するように形成できる。
【００１９】この製造方法によれば、前記カラー表示素
子を構成する各カラードットの形成領域は、少なくとも
第１基準線に対して、該第１基準線と直交する方向にお
ける第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置す
るように設定されることから、カラードットの形成領域
の位置データを第１ドットピッチで規定でき、設計が容
易となる。
【００２０】前記液滴を選択的にノズルから吐出する方
法としては、例えばインクジェット方式を用いることが
できる。
【００２１】本発明にかかる製造方法は、以下の各種態
様を取りうる。
【００２２】（Ａ）さらに、前記カラー表示素子のカラ
ードットの形成領域は、前記第１基準線と直交する第２
基準線に対して、該第２基準線と直交する方向における
第２ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するよ
うに設定できる。このように設定することで、第１基準
線に対してのみならず、第２基準線に対してもカラード
ットの形成領域の位置データを第２ドットピッチで規定
でき、さらに設計が容易となる。
【００２３】（Ｂ）前記カラー表示素子の相互間の間隔
は、前記第１基準線の方向においては、第２ドットピッ
チの実質的に整数倍であり、前記第２基準線の方向にお
いては、第１ドットピッチの実質的に整数倍であるよう
に設定されることができる。このように設定すること
で、カラー表示素子のピッチを第１ドットピッチおよび
第２ドットピッチで規定できる。そして、前記カラー表
示素子の配列は、前記第１基準線の方向においては、第
２素子ピッチの実質的に整数倍であり、かつ前記第２基
準線の方向においては、第１素子ピッチの実質的に整数
倍であるように設定できる。
【００２４】（Ｃ）前記カラードットのカラー表示層を
区画するためのバンク層を形成する工程と、前記バンク
層によって区画された領域に液滴を供給することができ
る。このバンク層は、液滴をせき止める隔壁として機能
する。
【００２５】（Ｄ）前記液滴の吐出を行うための液滴吐
出用ヘッドは、複数のノズルが直線状に配列されたノズ
ル列を有し、該ノズル列は、前記第１基準線の方向にお
いて所定ピッチで配置され、かつ、前記第１基準線の方
向において複数のカラー表示素子の形成領域を含む実効
ノズル列長を有することができる。このような実効ノズ
ル長を有する液滴吐出用ヘッドによれば、１回の走査に
よって、複数列のカラー表示素子を形成できる。
【００２６】さらに、前記ノズル列は、前記第１基準線
の方向における実効ノズル列長が前記カラー表示素子の
第２素子ピッチの実質的に整数倍であることができる。
【００２７】（Ｅ）前記カラー表示素子は、カラーフィ
ルタ素子またはカラー発光素子を含むことができる。
【００２８】本発明にかかる電気光学装置は、本発明の
カラー表示用基板から得られたカラー表示体を含むこと
ができる。
【００２９】本発明にかかる電気光学装置は、本発明の
カラーフィルタ用基板から得られたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタと所定間隔を置いて配置される対向
基板と、前記カラーフィルタと前記対向基板との間に配
置される電気光学材料層と、を含むことができる。ここ
で、前記電気光学材料層は、液晶材料層であることがで
きる。
【００３０】本発明にかかる電気光学装置は、本発明の
カラー発光用基板から得られたカラー発光体を含むこと
ができる。ここで、前記カラードットの発光層は、エレ
クトロルミネッセンス材料を含むことができる。
【００３１】本発明にかかる電子機器は、本発明の電気
光学装置を含むことができる。
【００３２】本発明にかかる表示装置用母基板は、各々
が表示装置を構成する複数の単位、および並んで配列さ
れる複数のドット要素、を含み、前記複数のドット要素
は、各単位内において所定の方向に第１ドットピッチで
配列されてなり、各前記単位に含まれる前記複数のドッ
ト要素の１つと、他の前記単位に含まれる前記複数のド
ット要素の１つとが前記所定の方向において前記第１ド
ットピッチの実質的に整数倍で並んでなることができ
る。
【００３３】本発明にかかる成膜方法は、液滴を選択的
にノズルから吐出することによって複数のドット要素を
形成する工程を備え、前記複数のドット要素は、基準線
と直交する方向においてドットピッチを有し、前記複数
のドット要素の各々を、少なくとも前記基準線に対して
前記ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するよ
うに形成できる。
【００３４】本発明にかかる成膜装置は、走査可能なヘ
ッドと、前記ヘッドに配列され、液滴を吐出する複数の
ノズルと、を備え、前記ヘッドを走査して前記液滴を選
択的に前記ノズルから吐出することによって複数のドッ
ト要素を形成し、前記複数のドット要素は、基準線の方
向において配列され、かつ前記基準線の方向において所
定のドットピッチを有し、前記ノズル列は、前記基準線
の方向に対して実効ノズル列長を有し、前記実効ノズル
列長は、前記所定のドットピッチの実質的に整数倍であ
る。
【００３５】前記走査可能なヘッドとしては、例えばイ
ンクジェットヘッドを用いることができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】［第１の実施の形態］図１は、本
発明が適用されたカラー表示用基板（表示装置用母基
板）の一例としてのカラーフィルタ用基板を模式的に示
す斜視図であり、図２は、カラーフィルタ用基板を構成
するカラーフィルタ素子（表示装置を構成する単位）の
要部を示す平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿
った部分を示す断面図である。
【００３７】（カラーフィルタ用基板の概要）まず、カ
ラーフィルタ用基板１０００の概要について説明する。
カラーフィルタ用基板１０００は、光透過型であって、
ガラス，プラスチックなどの透明な基板１０上に、複数
のカラーフィルタ素子１００がマトリクス状に配列され
ている。このカラーフィルタ用基板１０００は、後にこ
の基板を所定位置で切断することにより、複数のカラー
フィルタを得ることができる。
【００３８】本実施の形態に係るカラーフィルタ素子１
００は、図２および図３に示すように、透明な基板１０
と、光（可視光）が実質的に透過しない遮光領域２０
と、光が透過可能な透過領域３０とを含む。遮光領域２
０は、遮光層２２と、この遮光層２２上に形成されたバ
ンク層２４とを有する。そして、透過領域３０は、遮光
領域２０によって区画された領域であって、基板１０上
に形成された着色層３２を有する。
【００３９】本実施の形態においては、図２に示すよう
に、１ドットピッチの長さに相当する、着色層３２とこ
の着色層３２を囲む所定幅の遮光領域２０とを１カラー
ドット（ドット要素）１００ａと規定する。以降の説明
において、カラーフィルタ素子１００を構成するカラー
ドット１００ａのｘ方向におけるドットピッチを第１ド
ットピッチＰｘといい、ｙ方向におけるドットピッチを
第２ドットピッチＰｙという。なお、ドットピッチと
は、図２に示すように、たとえば隣り合うカラードット
の中心間距離を意味する。
【００４０】また、カラーフィルタ用基板１０００にお
いて、図１に示すように、カラーフィルタ素子１００の
ｘ方向における素子ピッチを第１素子ピッチＰＥｘとい
い、ｙ方向における素子ピッチを第２素子ピッチＰＥｙ
という。なお、本実施の形態では、素子ピッチとは、図
１に示すように、カラーフィルタ素子の一辺から隣り合
うカラーフィルタ素子の一辺までの距離をいうものとす
る。もちろん、この素子ピッチは、隣り合うカラーフィ
ルタ素子の中心間距離と同じであり、この中心間距離で
定義されていてもよい。
【００４１】遮光領域２０を構成する遮光層２２は、基
板１０上に所定のパターンで形成されている。そして、
遮光層２２は、十分な遮光性を有し、ブラックマトリク
スとして機能すればよく、その材質等は特に限定され
ず、金属，樹脂などを用いることができる。遮光層２２
の材質としては、小さい膜厚で十分かつ均一な遮光性が
得られる点で、金属を用いることが好ましい。遮光層２
２として用いられる金属は特に限定されず、成膜ならび
にフォトエッチングを含む全工程の効率を配慮して選択
することができる。このような金属としては、たとえば
クロム，ニッケル，アルミニウムなどの電子デバイス加
工プロセスで用いられているものを好ましく用いること
ができる。
【００４２】バンク層２４は、遮光層２２上に形成さ
れ、所定のパターンを有する。このバンク層２４は、着
色層が形成される領域を区画し、隣接する着色層の色が
混じり合うこと（混色）を防止する隔壁として機能す
る。したがって、バンク層２４の膜厚（高さｈ（図３参
照））は、着色層を形成する際に注入される色材として
のインク組成物（以下、「インク」という）がオーバー
フローしないように、このインク層の高さ等の関係で設
定される。バンク層２４は、このような観点から、たと
えば膜厚１〜５μｍの範囲で形成されることが好まし
い。
【００４３】バンク層２４は、フォトリソグラフィーが
可能な樹脂層によって構成される。このような感光性樹
脂は、必ずしも水に対する接触角が大きい撥水性の優れ
たもの、あるいは遮光性を有するものである必要がな
く、幅広い範囲で選択することができる。バンク層２４
を構成する樹脂としては、たとえば、ウレタン系樹脂、
アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、カルド系樹脂、ポ
リイミド樹脂、ポリヒドロキシスチレン、ポリビニルア
ルコールなどを含む感光性樹脂組成物を用いることがで
きる。
【００４４】着色層３２は、光の三原色を構成する赤，
緑および青の各色を有する複数の着色層３２（Ｒ），３
２（Ｇ），３２（Ｂ）からなる。これらの着色層３２
は、所定の配列、たとえばストライプ配列，デルタ配
列，モザイク配列またはスクウェア配列などの配列パタ
ーンによって配置され、連続した３色の着色層によって
１画素が構成される。
【００４５】本実施の形態に係るカラーフィルタ用基板
１０００およびカラーフィルタ素子１００の特徴につい
ては、後述する。
【００４６】（カラーフィルタ用基板の製造方法）次
に、図４および図５を参照しながら、カラーフィルタの
製造例の概要について説明する。図４および図５は、各
工程において図２のＢ−Ｂ線に対応する部分の層構造を
模式的に示す断面図である。
【００４７】（１）遮光層の形成 まず、図４（Ａ）に示すように、透明な基板１０上に、
ドライメッキ法、たとえばスパッタ法、蒸着法、化学蒸
着法で金属層２２０を、膜厚０．１〜０．５μｍで堆積
させる。金属層２２０の材料としては、前述したよう
に、クロム，ニッケル，アルミニウムなどの各種の金属
を用いることができる。ついで、金属層２２０の表面に
所定のパターンを有するレジスト層Ｒ１をフォトリソグ
ラフィーによって形成する。その後、このレジスト層Ｒ
１をマスクとしてエッチングを行い、金属層２２０のパ
ターニングを行う。このようにして、図４（Ｂ）に示す
ように、基板１０上に所定のマトリクスパターンを有す
る遮光層２２が形成される。
【００４８】（２）バンク層の形成 ついで、図４（Ｃ）に示すように、遮光層２２が形成さ
れた基板１０の上に、樹脂層２４０を形成する。この樹
脂層は、ネガ型あるいはポジ型のレジストによって形成
できる。樹脂層２４０は、たとえばウレタン系あるいは
アクリル系などの光硬化型（ネガ型）の感光性樹脂から
なる。そして、フォトマスクＭ１を用いて露光を行い、
さらに現像を行うことにより、樹脂層２４０をパターニ
ングする。これによって、図４（Ｄ）に示すように、バ
ンク層２４が形成され、遮光領域２０が形成される。バ
ンク層２４の構成については、既に述べたのでその記載
を省略する。この工程で、遮光領域２０によって区画さ
れる、着色層形成領域３３０が所定のマトリクスパター
ンで形成される。
【００４９】ついで、必要に応じて、次の着色層の形成
工程の前に、基板表面の表面処理を行う。このような表
面処理としては、紫外線の照射，プラズマ照射，レーザ
照射などの方法を用いることができる。このような表面
処理を行うことにより、基板１０の露出面１０ａに付着
した汚染物質などが除去され、この表面１０ａの水に対
する接触角を小さくしてインクの濡れ性を向上させるこ
とができる。より具体的には、基板１０の露出面１０ａ
とバンク層２４の表面との水に対する接触角の差が１５
゜以上になることが望ましい。このように、基板１０の
露出面１０ａとバンク層２４の表面の水に対する接触角
を制御することにより、着色層形成領域３３０の露出面
１０ａに密着性が良好な状態でインクを付与できるとと
もに、バンク層２４のインクをはじく性質によって、イ
ンクがバンク層２４を越えてオーバーフローすることが
防止される。表面処理の方法としては、ガスプラズマ
法、紫外線照射法、界面活性剤塗布法などの方法を採用
できる。
【００５０】（３）着色層の形成 まず、図５（Ａ）に示すように、遮光層２２およびバン
ク層２４によって区画される着色層形成領域３３０に、
インクを付与してインク層３２０を形成する。本実施の
形態では、インクを付与する方法として、インクジェッ
トプリンティング方式で用いられているプリンティング
ヘッドによるインクジェット法を適用する。たとえば５
０μｍ角の微細な着色層形成領域３３０に精度よくイン
ク層を形成する方法としては、吐出するインク滴を微細
化し、しかも吐出インク滴の数を制御できるインクジェ
ットプリンティング法が最適である。
【００５１】微細化したインク滴を精度よく目標とする
位置（基板１０の露出面１０ａ）に付与するためには、
まず、インク滴のサイズをターゲットである着色層形成
領域３３０の露出面１０ａのサイズに合わせて制御す
る。インク滴のサイズは、たとえば５０μｍ角の着色層
形成領域３３０に対しては、６〜３０ピコリットルに制
御することが好ましい。さらに、スループットを考慮す
れば、インク滴のサイズは、より好ましくは１２〜２０
ピコリットルである。また、インクジェットプリンティ
ングヘッドよりインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確
に到着させるには、インク滴が飛翔途中に分裂すること
なく、しかもまっすぐに飛翔するように条件を制御する
ことが望ましい。
【００５２】本実施の形態では、着色層３２は、赤，緑
および青の各色毎に順次形成される。これらの着色層３
２の形成順序は、特に限定されない。図５（Ｂ）に示し
た例では、まず赤の着色層３２（Ｒ）を形成し、その
後、図５（Ｃ）に示すように、緑の着色層３２（Ｇ）あ
るいは青の着色層３２（Ｂ）のいずれかを形成し、最後
に残りの色の着色層を形成する。なお、赤、緑および青
の各色の着色層は、インクジェットプリンティング方式
のカラーヘッドもしくは複数ヘッドを選択すれば、同時
に形成することもできる。
【００５３】（４）オーバーコート層などの形成 ついで、図５（Ｃ）に示すように、着色層３２の形成の
後、必要に応じて、平滑表面を得るためのオーバーコー
ト層４０を形成する。さらに、図５（Ｄ）に示すよう
に、オーバーコート層４０の表面に、必要に応じて、共
通電極５０を形成して、カラーフィルタ素子１００がマ
トリクス状に配列されたカラーフィルタ用基板１０００
を完成する。これらのオーバーコート層４０および共通
電極５０は、カラーフィルタが適用される電気光学装置
の構成に応じて設けることができる。その後、カラーフ
ィルタ用基板１０００を所定位置で切断することで、複
数のカラーフィルタが形成される。
【００５４】（製造方法の特徴）図６は、本発明に係る
製造方法の特徴を説明するための平面図であり、図５
（Ａ），（Ｂ）に対応する工程を示す。図６では、図面
を簡略にするために、カラードット１００ａおよびカラ
ードット形成領域１００ｂを示している。また、図６で
は、ストライプ型の画素を形成する例を示している。
【００５５】図６に示す例では、ｙ方向に沿って第１基
準線ＢＬ１を設定し、ｘ方向に沿って第２基準線ＢＬ２
を設定する。
【００５６】本実施の形態では、インクジェットプリン
ティングに用いられるインクジェットヘッド１が基板１
０に対してｘ方向に相対的に移動されて、カラードット
形成領域１００ｂ、具体的には着色層形成領域３３０
（図５（Ａ），（Ｂ）参照）にインクが供給されて着色
層３２が形成され、カラードット１００ａが完成する。
【００５７】インクジェットヘッド１は、複数のノズル
１ａが直線状に配列されたノズル列を有する。このノズ
ル列は、第１基準線ＢＬ１の方向に対して所定ピッチ
（この例では第２ドットピッチＰｙと同じピッチ）で配
置されている。さらに、インクジェットヘッド１は、そ
のノズル列が第１基準線ＢＬ１の方向に対して複数列
（この例では２列）のカラーフィルタ素子１００の形成
領域を含むように設定されている。この例の場合、ノズ
ル１ａのピッチは第２ドットピッチＰｙと同じに設定さ
れているので、インクジェットヘッド１のノズル列長
は、実効ノズル列長と実質的に同じである。
【００５８】ここで、「実効ノズル列長」とは、図１２
に示すように、インクジェットヘッド１を第１基準線Ｂ
Ｌ１に対して所定角度θ傾けたときに、第１基準線ＢＬ
１に対するノズル列の長さＬＮ0をいう。ノズル１ａの
ピッチが第２ドットピッチＰｙと適合しない場合には、
図１２に示すように、インクジェットヘッド１を第１基
準線ＢＬ１に対して傾けることにより、所望のノズルピ
ッチを設定できる。図１２において、符号「ＬＮ」は、
インクジェットヘッド１のノズル列長を示す。
【００５９】基準線ＢＬ１，ＢＬ２、カラーフィルタ素
子１００、カラードット１００ａおよびカラードット形
成領域１００ｂは、以下の条件（ａ）〜（ｃ）を満たし
ている。
【００６０】（ａ）カラーフィルタ素子１００のための
各カラードット形成領域１００ｂは、少なくともｙ方向
の第１基準線ＢＬ１に対して、ｘ方向における第１ドッ
トピッチＰｘの整数倍の距離（ＮＰｘ，Ｎは整数）に位
置するように設定される。さらに、カラーフィルタ素子
１００のための各カラードット形成領域１００ｂは、ｘ
方向の第２基準線ＢＬ２に対して、ｙ方向における第２
ドットピッチＰｙの整数倍の距離（Ｎ’Ｐｙ，Ｎ’は整
数）に位置するように設定される。
【００６１】（ｂ）カラーフィルタ素子１００の相互間
の間隔は、以下のように設定される。第２基準線ＢＬ２
の方向における間隔Ｌｘ１は、第１ドットピッチＰｘの
整数倍（ｎＰｘ，ｎはゼロを除く整数）に設定される。
また、第１基準線ＢＬ１の方向における間隔Ｌｙ１は、
第２ドットピッチＰｙの整数倍（ｎ’Ｐｙ，ｎ’はゼロ
を除く整数）に設定される。
【００６２】すなわち、第２基準線ＢＬ２の方向におけ
る第１素子ピッチＰＥｘは、第１ドットピッチＰｘの整
数倍となるように設定され、第１基準線ＢＬ１の方向に
おける第２素子ピッチＰＥｙは、第２ドットピッチＰｙ
の整数倍となるように設定されている。
【００６３】（ｃ）第１基準線ＢＬ１から第１列目のカ
ラーフィルタ素子１００までの間隔Ｌｘ２は、第１素子
ピッチＰｘの整数倍（ｍＰｘ，ｍは整数）となるように
設定されている。また、第２基準線ＢＬ２から第１列目
のカラーフィルタ素子１００までの間隔Ｌｙ１は、第２
素子ピッチＰｙの整数倍（ｍ’Ｐｙ，ｍ’は整数）とな
るように設定されている。
【００６４】上記条件の（ｂ）と（ｃ）とを満たせば、
条件（ａ）は満たされることになる。したがって、本実
施の形態では、インクジェットヘッド１を用いたインク
ジェット方式によってカラードット１００ａを形成する
には、上記条件（ａ）または条件（ｂ）＋（ｃ）を満た
すように、インクの吐出位置が設定される。
【００６５】そして、基準線ＢＬ１，ＢＬ２の位置情報
および着色層を形成するのに必要な情報に基づいて、所
定の位置にインクが吐出され、カラードット１００ａが
形成される。カラードット１００ａを形成するのに必要
な情報は、インクジェットヘッドの動作方法などによっ
て適宜選択され、たとえばカラードット形成領域の位置
を特定する情報、着色層の色を特定する情報、カラード
ット形成領域に対する吐出タイミングを特定する情報、
などが含まれる。
【００６６】なお、図６に示す例では、カラードット１
００ａまたはカラードット形成領域１００ｂの位置の基
準として、各カラードット１００ａまたは各カラードッ
ト形成領域１００ｂの基準線ＢＬ１，ＢＬ２側の一辺を
採用した。もちろんこのような位置の基準として、各カ
ラードットまたはカラードット形成領域の中心、あるい
は他の位置を採用してもよい。
【００６７】次に、図６を参照して、カラードット１０
０ａの形成方法をより具体的に説明する。図６では、第
２列目のカラーフィルタ素子における第１列目のカラー
ドット形成領域まで、インクジェットヘッド１を移動し
た状態を示している。インクジェットヘッド１のノズル
１ａによるインクの吐出が行われた領域は黒丸で示し、
インクジェットヘッド１のノズルによるインクの吐出が
行われない領域は白丸で示す。
【００６８】まず、この例では、インクジェットヘッド
１を基板１０に対してｘ方向に相対的に移動させ、前述
したカラードットを形成するのに必要な情報に基づい
て、第１色（この例では赤（Ｒ））のインクが吐出さ
れ、赤のカラードット１００ａが形成される。このと
き、赤以外の色のカラードット形成領域１００ｂおよび
カラーフィルタ素子１００が形成されない領域では、イ
ンクが吐出されない。インクジェットヘッド１のｘ方向
での１回の移動によって、ｙ方向の第１、第２列の第１
色カラードットが形成される。
【００６９】ついで、インクジェットヘッド１を基板１
０に対してｙ方向に相対的に移動させ、第３、第４列の
第１色カラードットを形成する。以降は、同様にして順
次２列毎に第１色カラードットを形成する。
【００７０】ついで、異なる色のインクジェットヘッド
１を用いて、第１色と同様に、第２色（青または緑）お
よび第３色（残りの色）のカラードット１００ａを形成
する。このようにして３原色の各カラードット１００ａ
が所定位置に形成されて、複数のカラーフィルタ素子１
００がマトリクス状に配列されたカラーフィルタ用基板
１０００が得られる。
【００７１】本実施の形態の製造方法によれば、各カラ
ードット１００ａは、第１基準線ＢＬ１および第２基準
線ＢＬ２に対して、第１ドットピッチおよび第２ドット
ピッチの整数倍の距離に位置するように設定されること
から、カラードットの形成領域の位置データを第１ドッ
トピッチおよび第２ドットピッチで規定でき、設計が容
易となる。
【００７２】（カラーフィルタ用基板の特徴）以上の製
造方法によって得られたカラーフィルタ用基板１０００
は、図１および図２に示すように、製造方法の特徴を反
映して以下の構成を有する。
【００７３】（ａ）カラーフィルタ素子１００を構成す
る各カラードット１００ａは、ｙ方向の第１基準線ＢＬ
１に対して、ｘ方向における第１ドットピッチＰｘの整
数倍の距離（ＮＰｘ，Ｎは整数）に位置する。さらに、
各カラードット１００ａは、ｘ方向の第２基準線ＢＬ２
に対して、ｙ方向における第２ドットピッチＰｙの整数
倍の距離（Ｎ’Ｐｙ，Ｎ’は整数）に位置する。
【００７４】（ｂ）カラーフィルタ素子１００の相互間
の間隔は、以下のようである。第２基準線ＢＬ２の方向
における間隔Ｌｘ１は、第１ドットピッチＰｘの整数倍
（ｎＰｘ，ｎはゼロを除く整数）である。また、第１基
準線ＢＬ１の方向における間隔Ｌｙ１は、第２ドットピ
ッチＰｙの整数倍（ｎ’Ｐｙ，ｎ’はゼロを除く整数）
である。
【００７５】すなわち、第２基準線ＢＬ２の方向におけ
る第１素子ピッチＰＥｘは、第１ドットピッチＰｘの整
数倍であり、第１基準線ＢＬ１の方向における第２素子
ピッチＰＥｙは、第２ドットピッチＰｙの整数倍であ
る。
【００７６】（ｃ）第１基準線ＢＬ１から第１列目のカ
ラーフィルタ素子１００までの間隔Ｌｘ２は、第１素子
ピッチＰｘの整数倍（ｍＰｘ，ｍは整数）である。ま
た、第２基準線ＢＬ２から第１列目のカラーフィルタ素
子１００までの間隔Ｌｙ２は、第２素子ピッチＰｙの整
数倍（ｍ’Ｐｙ，ｍ’は整数）である。
【００７７】（カラーフィルタ用基板の変形例）［第１
の変形例］図７は、デルタ型配列のカラーフィルタ素子
１００を有するカラーフィルタ用基板の製造方法を示す
図である。この例では、ｙ方向に２本の第１基準線、す
なわち第１基準線ＢＬ１およびＢＬ１’を設定し、ｘ方
向に２本の第２基準線、すなわち第２基準線ＢＬ２およ
びＢＬ２’を設定することができる。
【００７８】この例では、ｘ方向についてみると、奇数
列目のカラードット列は、一方の第１基準線ＢＬ１に対
して、第１ドットピッチＰｘの整数倍の距離に位置し、
また、偶数列目のカラードット列は、他方の第１基準線
ＢＬ１’に対して、第１ドットピッチＰｘの整数倍の距
離に位置する。同様に、ｙ方向についてみると、奇数列
目のカラードット列は、一方の第２基準線ＢＬ２に対し
て、第２ドットピッチＰｙの整数倍の距離に位置し、ま
た、偶数列目のカラードット列は、他方の第２基準線Ｂ
Ｌ２’に対して、第２ドットピッチＰｙの整数倍の距離
に位置する。
【００７９】そして、ｘ方向における、一方の第１基準
線ＢＬ１と他方の第１基準線ＢＬ１’との間隔は０．５
Ｐｘであり、また、ｙ方向における、一方の第２基準線
ＢＬ２と他方の第２基準線ＢＬ２’との間隔は０．５Ｐ
ｙである。
【００８０】この例でも、ストライプ型のカラーフィル
タ用基板の製造方法で述べた条件（ａ）ないし（ｃ）を
基本的には満たす。なお、図７に示す例では、カラード
ット１００ａの位置の基準をカラードットの中心で規定
している。
【００８１】この例でも、前述した実施の形態の場合と
同様、カラードットの形成領域の位置データを第１ドッ
トピッチおよび第２ドットピッチで規定でき、設計が容
易となる。
【００８２】［第２の変形例］図１６（ａ）〜（ｃ）
は、カラーフィルタ用基板の変形例を示し、図６（ａ）
はカラーフィルタ用基板を構成するカラーフィルタ素子
の平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線に沿った
断面図、図６（ｃ）は図６（ａ）のＥ−Ｅ線に沿った断
面図である。図２および図３に示す部材と実質的に同じ
機能を有する部材には、同一符号を付する。
【００８３】この例のカラーフィルタ用基板のカラーフ
ィルタ素子１００は、半透過反射型である点で、前述の
透過型のカラーフィルタ用基板と異なる。
【００８４】本実施の形態に係るカラーフィルタ素子１
００は、図６に示すように、透明な基板１０と、光（可
視光）を反射する反射層２６と、光を通す透過層２８と
を含む。反射層２６上には、バンク層２４が形成されて
いる。そして、バンク層２４によって区画された着色層
形成領域内には、着色層（カラードット）３２（３２
（Ｒ），３２（Ｇ），３２（Ｂ））が設けられている。
さらに、着色層３２上には、平坦化のためのオーバーコ
ート層４０が設けられている。
【００８５】透過層２８は、バンク層２４によって区画
される着色層形成領域の中央部に位置するように形成さ
れる。着色層（カラードット）３２は、インクジェット
法によって形成されている。インクジェット法によって
形成された着色層では、通常、着色層形成領域の中央部
が盛り上がる傾向がある。したがって、透過層２８を着
色層形成領域の中央部に形成することにより、反射表示
時と透過表示時での光学的膜厚をほぼ等しくあるいは両
者を近づけることができ、その結果、反射表示時と透過
表示時とで近似した色表示を行うことができる。
【００８６】すなわち、反射表示時には、表示に用いら
れる光は、図６（ｂ）において、矢印Ｘ0で示したよう
に、着色層３２の膜厚が小さい部分を往復する状態で通
過する。これに対し、透過表示時には、表示に用いられ
る光は、図６（ｂ）において、矢印Ｘ1で示したよう
に、着色層３２の膜厚が大きい部分を通過する。したが
って、着色層３２の断面形状が図６（ｂ），（ｃ）に示
すような凸状をなすことで、反射表示時と透過表示時で
の光学的膜厚を近似させることができる。
【００８７】［第２の実施の形態］図８は、本発明が適
用されたカラー表示用基板の一例としてのカラー発光用
基板（表示装置用母基板）を模式的に示す斜視図であ
り、図９は、カラー発光用基板を構成するカラー発光素
子（表示装置を構成する単位）の要部を示す平面図であ
り、図１０（Ｄ）は、図９のＣ−Ｃ線に沿った部分を示
す断面図である。
【００８８】（カラー発光用基板の概要）まず、カラー
発光用基板２０００の概要について説明する。カラー発
光用基板２０００は、透明な基板１０４上に、複数のカ
ラー発光素子２００がマトリクス状に配列されている。
このカラー発光用基板は、後にこの基板を所定位置で切
断することにより、複数のカラー発光体を得ることがで
きる。
【００８９】本実施の形態に係るカラー発光素子２００
は、図９および図１０（Ｄ）に示すように、透明な基板
１０４と、光（可視光）が実質的に透過しないバンク層
１０５と、光が発光される発光領域１３０とを含む。そ
して、発光領域１３０は、バンク層１０５によって区画
された領域であって、基板１０４上に積層された第１電
極（この例では陽極）、正孔注入層、発光層および第２
電極（この例では陰極）を有する。基板１０４は、支持
体であると同時に光を取り出す面として機能する。従っ
て、基板１０４は、光の透過特性や熱的安定性を考慮し
て選択される。透明基板材料としては、たとえばガラス
基板、透明プラスチック等が挙げられる。
【００９０】本実施の形態では、正孔注入層とは、陽極
から発光層に有効に正孔を注入させ得る層であり、正孔
輸送機能をも有する。また、正孔注入層とともに、正孔
輸送層を別に設けてもよい。
【００９１】本実施の形態においては、第１の実施の形
態と同様に、図９に示すように、１ピッチに相当する、
発光領域１３０とバンク層１０５とを１カラードット
（ドット要素）２００ａと規定する。以降の説明におい
て、カラー発光素子２００を構成するカラードット２０
０ａのｘ方向におけるドットピッチを第１ドットピッチ
Ｐｘといい、ｙ方向におけるドットピッチを第２ドット
ピッチＰｙという。また、カラー発光用基板２０００に
おいて、図８に示すように、カラー発光素子２００のｘ
方向における素子ピッチを第１素子ピッチＰＥｘとい
い、ｙ方向における素子ピッチを第２素子ピッチＰＥｙ
という。なお、ドットピッチおよび素子ピッチについて
は、第１の実施の形態と同様である。
【００９２】バンク層１０５は、所定のパターンを有す
る。このバンク層１０５は、発光層が形成される領域を
区画し、隣接する発光層の色材が混じり合うこと（混
色）を防止する隔壁として機能する。
【００９３】バンク層１０５は、第１の実施の形態と同
様に、フォトリソグラフィーが可能な樹脂層によって構
成される。
【００９４】発光領域１３０は、光の三原色を構成する
赤，緑および青の各色を発生できる複数の発光層１０６
（Ｒ），１０７（Ｇ），１０８（Ｂ）からなる。これら
の発光層は、所定の配列、たとえばストライプ配列，デ
ルタ配列，モザイク配列またはスクウェア配列などの配
列パターンによって配置され、連続した３色の発光層に
よって１画素が構成される。
【００９５】本実施の形態に係るカラー発光用基板２０
００およびカラー発光素子２００の特徴については、後
述する。
【００９６】（カラー発光用基板の製造方法）次に、図
１０を参照しながら、カラー発光用基板の製造例の概要
について説明する。図１０（Ａ）〜（Ｄ）は有機ＥＬを
用いたカラー発光用基板（以下、「有機ＥＬ基板」とい
う）の製造工程を示したものである。
【００９７】（Ａ）第１電極およびバンク層の形成 まず、図１０（Ａ）に示すように、透明基板１０４上
に、所定パターンの第１電極（以下、「画素電極」とい
う）１０１、１０２、１０３を形成する。画素電極の形
成方法としては、たとえばフォトリソグラフィー、真空
蒸着、スパッタリング、パイロゾル法等が挙げられる
が、フォトリソグラフィーによることが好ましい。画素
電極としては、透明電極が好ましい。透明電極を構成す
る材料としては、酸化スズ、ＩＴＯ、酸化インジウムと
酸化亜鉛との複合酸化物等が挙げられる。
【００９８】つぎに、バンク層１０５を感光性ポリイミ
ドで形成し、上記の各透明画素電極間を分離する。バン
ク層１０５は、隔壁としての機能とともにブラックマト
リクス層としての機能も有するので、コントラストの向
上、発光材料の混色の防止、隣接するカラードットとカ
ラードットとの間からの光洩れ等を防止することができ
る。
【００９９】バンク層１０５を構成する材料としては、
ＥＬ材料の溶媒に対し耐久性を有するものであれば特に
限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によ
りテフロン（登録商標）化できることから、たとえばア
クリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等の有機
材料が好ましい。液状ガラス等の無機材料を下層にした
積層隔壁であってもよい。また、バンク層１０５は上記
材料にカーボンブラック等を混入してブラックレジスト
としてもよい。このバンク層１０５の形成方法として
は、たとえばフォトリソグラフィーが挙げられる。
【０１００】正孔注入層、さらに必要に応じて設けられ
る正孔輸送層のためのインクを塗布する前に、基板１０
４に対して酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマを用
いて連続プラズマ処理を行うことができる。これによ
り、バンク層１０５の表面は撥水化され、透明画素電極
１０１、１０２、１０３の表面は親水化され、インクジ
ェットによる液滴に対する基板側の濡れ性を制御でき
る。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズ
マを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装
置でも同様に用いることができる。
【０１０１】（Ｂ）発光層の形成 つぎに、図１０（Ａ）に示すように、正孔注入層用イン
クをインクジェットプリント装置１０９のヘッド１から
吐出し、各画素電極１０１、１０２、１０３上にインク
を供給する。その後、溶媒を除去し、さらに熱処理を行
い、発光層用インクと相溶しない正孔注入層１２０を形
成する。本実施の形態では、各カラードットとも同じ材
質の正孔注入層を形成したが、場合によっては各発光層
毎で発光層に適した正孔注入材料（または正孔輸送材
料）を用いて正孔注入層（または正孔輸送層）を形成し
てもよい。
【０１０２】さらに、図１０（Ｂ）に示すように、赤色
発光層用インクならびに緑色発光層用インクを、順次イ
ンクジェット方式により正孔注入層１２０上に塗布す
る。その後、溶媒を除去し、続けて窒素雰囲気中で熱処
理を行い、インク組成物を硬化または共役化させて赤色
発光層１０６、緑色発光層１０７を形成した。熱処理に
より共役化した発光層は、溶媒に不溶である。
【０１０３】かかるインクジェット方式によれば、微細
なパターニングを簡便にかつ短時間で行うことができ
る、また、インクの固形分濃度および吐出量を変えるこ
とにより膜厚を変えることが可能である。
【０１０４】また、発光層を形成する前に正孔注入層１
２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プ
ラズマ処理を行ってもよい。これにより正孔注入層（ま
たは正孔輸送層）１２０上にフッ素化物層が形成され、
イオン化ポテンシャルが高くなることにより、正孔注入
効率の高い有機ＥＬ基板を提供できる。
【０１０５】（Ｃ）発光層の形成 次いで、図１０（Ｃ）に示すように、青色発光層１０８
を、画素電極１０３上の正孔注入層１２０上に形成す
る。以上の工程により、赤、緑、青の３原色の発光層１
０６，１０７，１０８が形成される。
【０１０６】青色発光層１０８の形成工程では、赤色発
光層１０６および緑色発光層１０７上に、青色発光層１
０８とともにこの層と同じ材料からなる層１０８ａ，１
０８ａが形成される。これらの層１０８ａは、発光層１
０６，１０７とバンク層１０５との段差を埋めて平坦化
することができる。このバンク層１０５の相互間が平坦
化されることにより、第２電極（陰極）を平坦な状態で
精度良く形成できる。その結果、上下の電極間のショー
トなどを確実に防ぐことができる。そして、青色発光層
１０８の膜厚を調整することで、赤色発光層１０６およ
び緑色発光層１０７上に形成された層１０８ａは、電子
注入輸送層として作用し、青色には発光しない。
【０１０７】かかる青色発光層１０８の形成方法として
は特に限定されず、湿式法として一般的なスピンコート
法またはインクジェット法を用いることができる。
【０１０８】本実施の形態のように、有機発光層のうち
の２色をインクジェット方式により形成し、他の一色を
従来の塗布方法で形成することにより、インクジェット
方式にあまり適さない発光材料であっても、インクジェ
ット方式に用いられる他の有機発光材料と組み合わせる
ことによりフルカラーの有機ＥＬ基板を形成することが
できるため、素子設計の自由度が増す。インクジェット
方式以外の塗布方法としては、印刷法、転写法、ディッ
ピング法、スピンコート法、キャスト法、キャピラリー
法、ロールコート法、バーコード法等が挙げられる。
【０１０９】（Ｄ）陰極の形成 ついで、図８（Ｄ）に示すように、陰極（対向電極）１
１３を形成する。陰極１１３としては金属薄膜電極が好
ましく、陰極を構成する金属としては、たとえばマグネ
シウム、銀、アルミニウム、リチウム等が挙げられる。
また、これらの他に仕事関数の小さい材料を用いること
ができ、たとえばアルカリ金属や、カリウム等のアルカ
リ土類金属およびこれらを含む合金を用いることができ
る。また金属のフッ素化物も適用できる。このような陰
極１１３は、蒸着法およびスパッタ法等により形成する
ことができる。
【０１１０】さらに、陰極１１３の上に保護膜を形成し
てもよい。保護膜を形成することにより、陰極１１３お
よび各発光層１０６、１０７、１０８の劣化、損傷およ
び剥離等を防止することができる。
【０１１１】このような保護膜の構成材料としては、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、液状ガラス等が挙げられ
る。また、保護膜の形成方法としては、たとえばスピン
コート法、キャスティング法、ディッピング法、バーコ
ード法、ロールコート法、キャピラリー法等が挙げられ
る。
【０１１２】対向電極１１３は、カラー発光体が適用さ
れる電気光学装置の構成に応じて設けることができる。
その後、カラー発光用基板２０００を所定位置で切断す
ることで、複数のカラー発光体が形成される。
【０１１３】上述した製造方法においては、各層の材質
として公知の物質を用いることができる。また、正孔注
入層、発光層などの材料としては、本願出願人による特
願平１１−１３４３２０号、特願平１１−２５０４８６
号に記載されたものを用いることができる。
【０１１４】また、上述した製造方法においては、３原
色の発光層うちの２色の発光層をインクジェット方式で
形成した例について述べたが、もちろん、３色の全てを
インクジェット方式で形成してもよい。さらに、上述し
た製造方法においては、カラードットを構成する正孔注
入層（正孔輸送層）および発光層をインクジェット方式
で形成した例について述べたが、発光層のみであっても
よい。
【０１１５】（製造方法の特徴）図１１は、本発明に係
る製造方法の特徴を説明するための平面図であり、図１
０（Ａ），（Ｂ）に対応する工程を示す。図１１では、
図面を簡略にするために、カラードット２００ａおよび
カラードット形成領域２００ｂを示している。また、図
１１では、ストライプ型の画素を形成する例を示してい
る。
【０１１６】本実施の形態では、カラードット２００ａ
は第１の実施の形態のカラードット１００ａと基本的に
同じ方法によって形成される。すなわち、第１の実施の
形態ではカラーフィルタ素子を構成する着色層がインク
ジェット方式によって形成されたのに対し、本実施の形
態では、カラー発光素子を構成する、正孔注入層および
発光層がインクジェット方式によって形成されている点
で異なる。
【０１１７】図１１に示す例では、ｙ方向に沿って第１
基準線ＢＬ１を設定し、ｘ方向に沿って第２基準線ＢＬ
２を設定する。
【０１１８】本実施の形態では、インクジェットプリン
ティングに用いられるインクジェットヘッド１が基板１
０４に対してｘ方向に相対的に移動されて、カラードッ
ト形成領域２００ｂ、具体的には発光領域１３０（図１
０（Ａ），（Ｂ）参照）にインク（正孔注入層用インク
および発光層用インク）が供給されて、正孔注入層およ
び発光層が形成されて、カラードット２００ａが完成す
る。
【０１１９】インクジェットヘッド１は、第１の実施の
形態と同様に、複数のノズル１ａが直線状に配列された
ノズル列を有する。このノズル列は、第１基準線ＢＬ１
の方向に対して所定ピッチ（この例では第２ドットピッ
チＰｙと同じピッチ）で配置されている。さらに、イン
クジェットヘッド１は、そのノズル列が第１基準線ＢＬ
１の方向に対して複数列（この例では２列）のカラー発
光素子２００の形成領域を含むように設定されている。
【０１２０】基準線ＢＬ１，ＢＬ２、カラー発光素子２
００、カラードット２００ａおよびカラードット形成領
域２００ｂは、第１の実施の形態と同様に、以下の条件
（ａ）〜（ｃ）満たしている。
【０１２１】（ａ）カラー発光素子２００のための各カ
ラードット形成領域２００ｂは、少なくともｙ方向の第
１基準線ＢＬ１に対して、ｘ方向における第１ドットピ
ッチＰｘの整数倍の距離（Ｎ’Ｐｘ，Ｎ’は整数）に位
置するように設定される。さらに、各カラードット形成
領域２００ｂは、ｘ方向の第２基準線ＢＬ２に対して、
ｙ方向における第２ドットピッチＰｙの整数倍の距離
（ＮＰｙ，Ｎは整数）に位置するように設定される。
【０１２２】（ｂ）カラー発光素子２００の相互間の間
隔は、以下のように設定される。第２基準線ＢＬ２の方
向における間隔Ｌｘ１は、第１ドットピッチＰｘの整数
倍（ｎＰｘ，ｎはゼロを除く整数）に設定される。ま
た、第１基準線ＢＬ１の方向における間隔Ｌｙ１は、第
２ドットピッチＰｙの整数倍（ｎ’Ｐｙ，ｎ’はゼロを
除く整数）に設定される。
【０１２３】すなわち、第２基準線ＢＬ２の方向におけ
る第１素子ピッチＰＥｘは、第１ドットピッチＰｘの整
数倍となるように設定され、第１基準線ＢＬ１の方向に
おける第２素子ピッチＰＥｙは、第２ドットピッチＰｙ
の整数倍となるように設定されている。
【０１２４】（ｃ）第１基準線ＢＬ１から第１列目のカ
ラー発光素子２００までの間隔Ｌｘ２は、第１素子ピッ
チＰｘの整数倍（ｍＰｘ、ｍは整数）となるように設定
されている。また、第２基準線ＢＬ２から第１列目のカ
ラー発光素子２００までの間隔Ｌｙ１は、第２素子ピッ
チＰｙの整数倍（ｍ’Ｐｙ、ｍ’は整数）となるように
設定されている。
【０１２５】上記条件の（ｂ）と（ｃ）とを満たせば、
条件（ａ）は満たされることになる。したがって、本実
施の形態では、インクジェットヘッド１を用いたインク
ジェット方式によってカラードット２００ａを形成する
には、上記条件（ａ）または条件（ｂ）＋（ｃ）を満た
すように、インクの吐出位置が設定される。
【０１２６】そして、基準線ＢＬ１，ＢＬ２の位置情報
および、正孔注入層および発光層を形成するのに必要な
情報に基づいて、所定の位置にインクが吐出され、カラ
ードット２００ａが形成される。カラードット２００ａ
を形成するのに必要な情報は、インクジェットヘッドの
動作方法などによって適宜選択され、たとえばカラード
ット形成領域の位置を特定する情報、発光層の色を特定
する情報、カラードット形成領域に対する吐出タイミン
グを特定する情報、などが含まれる。
【０１２７】次に、図１１を参照して、カラードット２
００ａの形成方法をより具体的に説明する。図１１で
は、第２列目のカラーフィルタ素子における第１列目の
カラードット形成領域まで、インクジェットヘッド１を
移動した状態を示している。インクジェットヘッド１の
ノズル１ａによるインクの吐出が行われた領域は黒丸で
示し、インクジェットヘッド１のノズルによるインクの
吐出が行われない領域は白丸で示す。
【０１２８】この例では、インクジェットヘッド１を基
板１０に対してｘ方向に相対的に移動させ、前述したカ
ラードットを形成するのに必要な情報に基づいて、正孔
注入層、必要に応じて形成される正孔輸送層、および発
光層が順次形成される。
【０１２９】まず、正孔注入層（図１０（ａ）を参照）
および必要に応じて形成される正孔輸送層が形成され
る。ついで、第１色（この例では赤（Ｒ））のカラード
ット２００ａを形成する。この例では、インクジェット
ヘッド１のｘ方向での１回の移動によって、ｙ方向の第
１、第２列の正孔注入層、必要に応じて形成される正孔
輸送層、および第１色発光層が形成される。
【０１３０】ついで、インクジェットヘッド１を基板１
０に対してｙ方向に相対的に移動させ、第３、第４列の
第１色カラードットを形成する。以降は、同様にして順
次２列毎に第１色カラードットを形成する。
【０１３１】ついで、異なる色のインクジェットヘッド
１を用いて、第１色と同様に、第２色（青または緑）お
よび第３色（残りの色）のカラードット２００ａを形成
することができる。このようにして、少なくとも正孔注
入層および３原色の各カラードット２００ａが所定位置
に形成されて、複数のカラー発光素子２００がマトリク
ス状に配列されたカラー発光用基板２０００が得られ
る。
【０１３２】また、図１０に示した方法のように、３色
のうちの１色は、インクジェット方式以外の他の塗布法
によって形成してもよい。
【０１３３】本実施の形態の製造方法によれば、第１の
実施の形態と同様に、ドットピッチによって吐出タイミ
ングを設定できるので、設計が容易となる。
【０１３４】（カラー発光用基板の特徴）以上の製造方
法によって得られたカラー発光用基板２０００は、製造
方法の特徴を反映して以下の構成を有する。
【０１３５】（ａ）カラー発光素子２００を構成する各
カラードット２００ａは、図８および図１１に示すよう
に、ｙ方向の第１基準線ＢＬ１に対して、ｘ方向におけ
る第１ドットピッチＰｘの整数倍の距離（ＮＰｘ，Ｎは
整数）に位置する。さらに、各カラードット２００ａ
は、ｘ方向の第２基準線ＢＬ２に対して、ｙ方向におけ
る第２ドットピッチＰｙの整数倍の距離（Ｎ’Ｐｙ，
Ｎ’は整数）に位置する。
【０１３６】（ｂ）カラー発光素子２００の相互間の間
隔は、以下のようである。第２基準線ＢＬ２の方向にお
ける間隔Ｌｘ１は、第１ドットピッチＰｘの整数倍（ｎ
Ｐｘ，ｎはゼロを除く整数）である。また、第１基準線
ＢＬ１の方向における間隔Ｌｙ１は、第２ドットピッチ
Ｐｙの整数倍（ｎ’Ｐｙ，ｎ’はゼロを除く整数）であ
る。
【０１３７】すなわち、第２基準線ＢＬ２の方向におけ
る第１素子ピッチＰＥｘは、第１ドットピッチＰｘの整
数倍であり、第１基準線ＢＬ１の方向における第２素子
ピッチＰＥｙは、第２ドットピッチＰｙの整数倍であ
る。
【０１３８】（ｃ）第１基準線ＢＬ１から第１列目のカ
ラー発光素子２００までの間隔Ｌｘ２は、第１素子ピッ
チＰｘの整数倍（ｍＰｘ，ｍは整数）である。また、第
２基準線ＢＬ２から第１列目のカラー発光素子２００ま
での間隔Ｌｙ２は、第２素子ピッチＰｙの整数倍（ｍ’
Ｐｙ，ｍ’は整数）である。
【０１３９】また、カラー発光用基板においても、デル
タ配列の画素については、第１の実施の形態（図７参
照）で述べたと同様のことがいえる。
【０１４０】［第３の実施の形態］ （電気光学装置）図１３に、第１の実施の形態のカラー
フィルタ用基板１０００から得られたカラーフィルタ１
０００Ａを組み込んだ電気光学装置の一例として、カラ
ー液晶表示装置１１００の要部の断面図を示す。
【０１４１】カラー液晶表示装置１１００は、カラーフ
ィルタ１０００Ａと対向基板８０とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物７０を封入することにより構成され
る。液晶表示装置１１００の一方の基板８０の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極５２とがマトリクス状に形成される。また、も
う一方の基板として、画素電極５２に対向する位置に
赤，緑，青の着色層３２が配列するようにカラーフィル
タ１０００Ａが設置される。基板８０とカラーフィルタ
１０００Ａの対向するそれぞれの面には、配向膜６０，
６２が形成されている。これらの配向膜６０，６２はラ
ビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させ
ることができる。また、基板１０および基板８０の外側
の面には、偏光板９０，９２がそれぞれ接着されてい
る。また、バックライトとしては蛍光灯（図示せず）と
散乱板の組み合わせが一般的に用いられており、液晶組
成物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッタ
ーとして機能させることにより表示を行う。
【０１４２】図１７に、第２の実施の形態を適用したカ
ラー発光用基板２０００から得られたカラー発光体２０
００Ａを組み込んだ電気光学装置の一例として、カラー
ＥＬ表示装置２１００の要部の断面図を示す。
【０１４３】カラーＥＬ表示装置２１００は、基体１１
２上にカラー発光体２０００Ａが配置されて構成され
る。カラー発光体２０００Ａの基板１０４上には、ＴＦ
Ｔ（薄膜トランジスタ）素子などのスイッチング素子２
０２がマトリクス状に形成される。隣接するスイッチン
グ素子２０２は、絶縁層２０６によって分離されてい
る。
【０１４４】発光領域１３０は、発光層１２２と、正孔
注入層１２０と、第１および第２電極２０４，２０８か
らなる一対の電極層を含む。
【０１４５】発光層１２２は、基板１０４の上に所定の
マトリクスパターンで配列され、かつバンク層１０５に
よって区画されている。また、発光層１２２は、第１電
極（陽極）２０４と第２電極（陰極）２０８との間に形
成されている。発光層１２２は、光の三原色を構成する
赤，緑および赤の各色を有する複数の発光層からなる。
発光層１２２は、たとえばエレクトロルミネッセンスに
よって発光可能な有機材料から形成される。また、陽極
２０４と発光層１２２との間に正孔注入層１２０が形成
されている。
【０１４６】［第４の実施の形態］ （電子機器）以下に、本発明に係る電気光学装置として
液晶表示装置を用いた電子機器の例を示す。
【０１４７】（１）ディジタルスチルカメラ 本発明に係る液晶表示装置１１００をファインダに用い
たディジタルスチルカメラについて説明する。図１４
は、このディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図で
あり、さらに外部機器との接続についても簡易的に示す
ものである。
【０１４８】通常のカメラは、被写体の光像によってフ
ィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ２
０００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Dev
ice）などの撮像素子により光電変換して撮像信号を生
成するものである。ここで、ディジタルスチルカメラ３
０００におけるケース２２０２の背面（図１４において
は前面側）には、上述した液晶表示装置１１００の液晶
パネルが設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて、
表示を行う構成となっている。このため、液晶表示装置
１１００は、被写体を表示するファインダとして機能す
る。また、ケース２２０２の前面側（図１４においては
裏面側）には、光学レンズやＣＣＤなどを含んだ受光ユ
ニット２２０４が設けられている。
【０１４９】ここで、撮影者が液晶表示装置１１００に
表示された被写体像を確認して、シャッタボタン２２０
６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号
が、回路基板２２０８のメモリに転送・格納される。ま
た、このディジタルスチルカメラ２０００にあっては、
ケース２２０２の側面に、ビデオ信号出力端子２２１２
と、データ通信用の入出力端子２２１４とが設けられて
いる。そして、図１４に示されるように必要に応じて、
前者のビデオ信号出力端子２２１２にはテレビモニタ２
３００が接続され、また、後者のデータ通信用の入出力
端子２２１４にはパーソナルコンピュータ２４００が接
続される。さらに、所定の操作によって、回路基板２２
０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ２
３００や、パーソナルコンピュータ２４００に出力され
る構成となっている。
【０１５０】（２）携帯電話、その他の電子機器 図１５（Ａ）、（Ｂ）、および（Ｃ）は、本発明に係る
電気光学装置として液晶表示装置を用いた、他の電子機
器の例を示す外観図である。図１５（Ａ）は、携帯電話
機４０００であり、その前面上方に液晶表示装置１１０
０を備えている。図１５（Ｂ）は、腕時計５０００であ
り、本体の前面中央に液晶表示装置１１００を用いた表
示部が設けられている。図１５（Ｃ）は、携帯情報機器
５０００であり、液晶表示装置１１００からなる表示部
と入力部５１００とを備えている。
【０１５１】これらの電子機器は、液晶表示装置１１０
０の他に、図示しないが、表示情報出力源、表示情報処
理回路、クロック発生回路などの様々な回路や、それら
の回路に電力を供給する電源回路などからなる表示信号
生成部を含んで構成される。表示部には、例えば携帯情
報機器６０００の場合にあっては入力部５１００から入
力された情報等に基づき表示信号生成部によって生成さ
れた表示信号が供給されることによって表示画像が形成
される。
【０１５２】本発明に係る液晶表示装置１１００が組み
込まれる電子機器としては、ディジタルスチルカメラ、
携帯電話機、腕時計、および携帯情報機器に限らず、電
子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、ＩＣカード、ミニディ
スクプレーヤ、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応
のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）およびエンジニアリ
ング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ノート型パーソ
ナルコンピュータ、ワードプロセッサ、テレビ、ビュー
ファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコー
ダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装
置、タッチパネルを備えた装置、時計など様々な電子機
器が考えられる。
【０１５３】なお、液晶表示パネルは、駆動方式で言え
ば、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マト
リクス液晶表示パネルやスタティック駆動液晶表示パネ
ル、またＴＦＴ（薄膜トランジスタ）で代表される三端
子スイッチング素子あるいはＴＦＤ（薄膜ダイオード）
で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティ
ブマトリクス液晶表示パネル、電気光学特性で言えば、
ＴＮ型、ＳＴＮ型、ゲストホスト型、相転移型、強誘電
型など、種々のタイプの液晶パネルを用いることができ
る。
【０１５４】本発明に係る装置は、そのいくつかの特定
の実施の形態に従って説明してきたが、本発明はその要
旨の範囲内で種々の変形が可能である。例えば上述した
実施の形態では、電気光学装置の映像表示手段（電気光
学表示部）として液晶表示装置やＥＬ表示装置を使用し
た場合について説明したが、本発明ではこれに限定され
ず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター
等を用いた小型テレビ、エレクトロルミネッセンス、プ
ラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、ＦＥＤ（Fi
eld Emission Display）パネル、電気泳動ディスプレイ
等の種々の電気光学手段を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるカラーフィ
ルタ用基板を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタ用基板を構成するカ
ラーフィルタ素子を示す平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った部分を模式的に示す部
分断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は、図１ないし図３に示すカラ
ーフィルタ用基板の製造工程を模式的に示す部分断面図
である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は、図１ないし図３に示すカラ
ーフィルタ用基板の製造工程を模式的に示す部分断面図
である。
【図６】第１の実施の形態にかかるカラーフィルタ用基
板の製造方法を模式的に示す平面図である。
【図７】第１の実施の形態にかかるカラーフィルタ用基
板であって、デルタ型の配列を有するカラーフィルタ素
子を有するカラーフィルタ用基板の製造方法を示す平面
図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態にかかるカラー発光
用基板を模式的に示す斜視図である。
【図９】図８に示すカラー発光用基板を構成するカラー
発光素子を示す平面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｄ）は、図８および図９に示すカ
ラー発光用基板の製造工程を模式的に示す部分断面図で
ある。
【図１１】第２の実施の形態にかかるカラー発光用基板
の製造方法を模式的に示す平面図である。
【図１２】実効ノズル列長を説明するための図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態に係る電気光学装
置の一例としての液晶表示装置を模式的に示す断面図で
ある。
【図１４】本発明に係る電子機器の一例としてのデジタ
ルスチルカメラを示す斜視図である。
【図１５】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明に係る電子機器の
適用例を示し、（Ａ）は携帯電話機であり、（Ｂ）は腕
時計であり、（Ｃ）は携帯情報機器である。
【図１６】第１の実施の形態にかかるカラーフィルタ用
基板の変形例を示し、（ａ）はカラーフィルタ素子の平
面図であり、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線に沿った断面図
であり、（ｃ）は（ａ）のＥ−Ｅ線に沿った断面図であ
る。
【図１７】本発明の第３の実施の形態に係る電気光学装
置の一例としてのＥＬ表示装置を模式的に示す断面図で
ある。
【符号の説明】
１０，１０４ 基板 ２０ 遮光領域 ２２ 遮光層 ２４ バンク層 ２６ 反射層 ２８ 透過層 ３０ 透過領域 ３２ 着色層 ４０ オーバーコート層 ５０ 共通電極 ５２ 画素電極 ６０，６２ 配向膜 ７０ 液晶層 ８０ 基板 ９０，９２ 偏光板 １００ カラーフィルタ素子 １００ａ カラードット １００ｂ カラードット形成領域 １０１，１０２，１０３ 画素電極 １０６，１０７，１０８ 発光層 １２２ 発光層 １３０ 発光領域 ２００ カラー発光素子 ２００ａ カラードット ２００ｂ カラードット形成領域 ２０２ スイッチング素子 ２０４ 第１電極（陽極） ２０８ 第２電極（陰極） １０００ カラーフィルタ用基板 １０００Ａ カラーフィルタ １１００ 液晶表示装置 ２０００ カラー発光用基板 ２１００ カラーＥＬ表示装置 ３０００ ディジタルスチルカメラ ４０００ パーソナルコンピュータ ５０００ 腕時計 ６０００ 携帯情報機器 Ｐｘ，Ｐｙ ドットピッチ ＰＥｘ，ＰＥｙ 素子ピッチ ＢＬ１ 第１基準線 ＢＬ２ 第２基準線
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/35 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ (72)発明者 山田 善昭 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 木口 浩史 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 FB01 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB07 BB23 BB41 BB42 2H091 FA03Y FA04Y FA34Y FC12 GA01 GA16 LA12 5C094 AA43 BA43 CA19 CA24 ED03

Claims (46)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 カラー表示用基板において、 マトリクス状に配列された複数のカラー表示素子と、 前記複数のカラー表示素子の各々を構成する複数の画素
    と、 前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードット
    と、を備え、 前記複数のカラードットは、第１基準線と直交する方向
    において第１ドットピッチを有し、 前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第１基準
    線に対して第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に
    位置することを特徴とするカラー表示用基板。
  2. 【請求項２】 請求項１において、 さらに、前記カラー表示素子のカラードットは、前記第
    １基準線と直交する第２基準線に対して、該第２基準線
    と直交する方向における第２ドットピッチの実質的に整
    数倍の距離に位置することを特徴とするカラー表示用基
    板。
  3. 【請求項３】 請求項２において、 前記カラー表示素子の相互間の間隔は、前記第１基準線
    の方向においては、第２ドットピッチの実質的に整数倍
    であり、かつ前記第２基準線の方向においては、第１ド
    ットピッチの実質的に整数倍であることを特徴とするカ
    ラー表示用基板。
  4. 【請求項４】 請求項３において、 前記カラー表示素子の配列は、前記第１基準線の方向に
    おいては、第２素子ピッチの実質的に整数倍であり、か
    つ前記第２基準線の方向においては、第１素子ピッチの
    実質的に整数倍であることを特徴とするカラー表示用基
    板。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、 前記カラー表示素子は、前記画素の配列がストライプ
    型、モザイク型、デルタ型およびスクウェア型のいずれ
    かであることを特徴とするカラー表示用基板。
  6. 【請求項６】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、 前記カラードットはノズルから吐出された液滴によって
    形成されてなることを特徴とするカラー表示用基板。
  7. 【請求項７】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、 前記カラードットは、カラー表示層と該カラー表示層を
    区画するためのバンク層を含むことを特徴とするカラー
    表示用基板。
  8. 【請求項８】 カラーフィルタ用基板において、 マトリクス状に配列された複数のカラーフィルタ素子
    と、 前記複数のカラーフィルタ素子の各々を構成する複数の
    画素と、 前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードット
    と、を備え、 前記複数のカラードットは、第１基準線と直交する方向
    において第１ドットピッチを有し、 前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第１基準
    線に対して第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に
    位置することを特徴とするカラーフィルタ用基板。
  9. 【請求項９】 請求項８において、 さらに、前記カラーフィルタ素子のカラードットは、前
    記第１基準線と直交する第２基準線に対して、該第２基
    準線と直交する方向における第２ドットピッチの実質的
    に整数倍の距離に位置することを特徴とするカラーフィ
    ルタ用基板。
  10. 【請求項１０】 請求項９において、 前記カラーフィルタ素子の相互間の間隔は、前記第１基
    準線の方向においては、第２ドットピッチの実質的に整
    数倍であり、かつ前記第２基準線の方向においては、第
    １ドットピッチの実質的に整数倍であることを特徴とす
    るカラーフィルタ用基板。
  11. 【請求項１１】 請求項１０において、 前記カラーフィルタ素子の配列は、前記第１基準線の方
    向においては、第２素子ピッチの実質的に整数倍であ
    り、かつ前記第２基準線の方向においては、第１素子ピ
    ッチの実質的に整数倍であることを特徴とするカラーフ
    ィルタ用基板。
  12. 【請求項１２】 請求項８ないし１１のいずれかにおい
    て、 前記カラードットはノズルから吐出された液滴によって
    形成されてなることを特徴とするカラーフィルタ用基
    板。
  13. 【請求項１３】 請求項１２において、 前記カラードットは、着色層と該着色層を区画するため
    のバンク層を含むことを特徴とするカラーフィルタ用基
    板。
  14. 【請求項１４】 カラー発光用基板において、 マトリクス状に配列された複数のカラー発光素子と、 前記複数のカラー発光素子の各々を構成する複数の画素
    と、 前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードット
    と、を備え、 前記複数のカラードットは、第１基準線と直交する方向
    において第１ドットピッチを有し、 前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第１基準
    線に対して第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に
    位置することを特徴とするカラー発光用基板。
  15. 【請求項１５】 請求項１４において、 さらに、前記カラー発光素子のカラードットは、前記第
    １基準線と直交する第２基準線に対して、該第２基準線
    と直交する方向における第２ドットピッチの実質的に整
    数倍の距離に位置することを特徴とするカラー発光用基
    板。
  16. 【請求項１６】 請求項１５において、 前記カラー発光素子の相互間の間隔は、前記第１基準線
    の方向においては、第２ドットピッチの実質的に整数倍
    であり、かつ前記第２基準線の方向においては、第１ド
    ットピッチの実質的に整数倍であることを特徴とするカ
    ラー発光用基板。
  17. 【請求項１７】 請求項１６において、 前記カラー発光素子の配列は、前記第１基準線の方向に
    おいては、第２素子ピッチの実質的に整数倍であり、か
    つ前記第２基準線の方向においては、第１素子ピッチの
    実質的に整数倍であることを特徴とするカラー発光用基
    板。
  18. 【請求項１８】 請求項１４ないし１７のいずれかにお
    いて、 前記カラードットはノズルから吐出された液滴によって
    形成されてなることを特徴とするカラー発光用基板。
  19. 【請求項１９】 請求項１８において、 前記カラードットは、発光層と該発光層を区画するため
    のバンク層を含むことを特徴とするカラー発光用基板。
  20. 【請求項２０】 請求項１９において、 前記発光層は、エレクトロルミネッセンス材料を含むこ
    とを特徴とするカラー発光用基板。
  21. 【請求項２１】 カラー表示用基板の製造方法におい
    て、 入力されたデータに応じて液滴を選択的にノズルから吐
    出することによって複数のカラードットを形成する工程
    を備え、 前記複数のカラードットは、複数の画素を構成し、 前記複数の画素は、複数のカラー表示素子を構成し、 前記複数のカラー表示素子は、マトリクス状に配列さ
    れ、 前記複数のカラードットは、第１基準線と直交する方向
    において第１ドットピッチを有し、 前記複数のカラードットの各々を、少なくとも第１基準
    線に対して前記第１ドットピッチの実質的に整数倍の距
    離に位置するように形成することを特徴とするカラー表
    示用基板の製造方法。
  22. 【請求項２２】 請求項２１において、 さらに、前記カラー表示素子のカラードットの形成領域
    は、前記第１基準線と直交する第２基準線に対して、該
    第２基準線と直交する方向における第２ドットピッチの
    実質的に整数倍の距離に位置するように設定されること
    を特徴とするカラー表示用基板の製造方法。
  23. 【請求項２３】 請求項２２において、 前記カラー表示素子の相互間の間隔は、前記第１基準線
    の方向においては、第２ドットピッチの実質的に整数倍
    であり、前記第２基準線の方向においては、第１ドット
    ピッチの実質的に整数倍であるように設定されることを
    特徴とするカラー表示用基板の製造方法。
  24. 【請求項２４】 請求項２３において、 前記カラー表示素子の配列は、前記第１基準線の方向に
    おいては、第２素子ピッチの実質的に整数倍であり、か
    つ前記第２基準線の方向においては、第１素子ピッチの
    実質的に整数倍であるように設定されることを特徴とす
    るカラー表示用基板の製造方法。
  25. 【請求項２５】 請求項２１ないし２４のいずれかにお
    いて、 前記カラー表示素子は、前記画素の配列がストライプ
    型、モザイク型、デルタ型およびスクウェア型のいずれ
    かであることを特徴とするカラー表示用基板の製造方
    法。
  26. 【請求項２６】 請求項２１ないし２４のいずれかにお
    いて、 前記カラードットのカラー表示層を区画するためのバン
    ク層を形成する工程と、 前記バンク層によって区画された領域に液滴を供給する
    工程と、を備えることを特徴とするカラー表示用基板の
    製造方法。
  27. 【請求項２７】 請求項２１ないし２４のいずれかにお
    いて、 前記液滴の吐出を行うための液滴吐出用ヘッドは、複数
    のノズルが直線状に配列されたノズル列を有し、該ノズ
    ル列は、前記第１基準線の方向において所定ピッチで配
    置され、かつ、前記第１基準線の方向において複数のカ
    ラー表示素子の形成領域を含む実効ノズル列長を有する
    ことを特徴とするカラー表示用基板の製造方法。
  28. 【請求項２８】 請求項２７において、 前記ノズル列は、前記第１基準線の方向における実効ノ
    ズル列長が前記カラー表示素子の第２素子ピッチの実質
    的に整数倍であることを特徴とするカラー表示用基板の
    製造方法。
  29. 【請求項２９】 請求項２１ないし２４のいずれかにお
    いて、 前記カラー表示素子はカラーフィルタ素子を含むことを
    特徴とするカラー表示用基板の製造方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２６において、 前記カラー表示層は着色層を含むことを特徴とするカラ
    ー表示用基板の製造方法。
  31. 【請求項３１】 請求項２１ないし２４のいずれかにお
    いて、 前記カラー表示素子はカラー発光素子を含むことを特徴
    とするカラー表示用基板の製造方法。
  32. 【請求項３２】 請求項２６において、 前記カラー表示層は発光層を含むことを特徴とするカラ
    ー表示用基板の製造方法。
  33. 【請求項３３】 請求項３２において、 前記発光層は、エレクトロルミネッセンス材料を含むこ
    とを特徴とするカラー発光用基板。
  34. 【請求項３４】 請求項１ないし７に記載のいずれかの
    カラー表示用基板から得られたカラー表示体を含むこと
    を特徴とする電気光学装置。
  35. 【請求項３５】 請求項８ないし１１に記載のいずれか
    のカラーフィルタ用基板から得られたカラーフィルタ
    と、 前記カラーフィルタと所定間隔を置いて配置される対向
    基板と、 前記カラーフィルタと前記対向基板との間に配置される
    電気光学材料層と、を含むことを特徴とする電気光学装
    置。
  36. 【請求項３６】 請求項３５において、 前記電気光学材料層は、液晶材料層であることを特徴と
    する電気光学装置。
  37. 【請求項３７】 請求項１４ないし１７に記載のいずれ
    かのカラー発光用基板から得られたカラー発光体を含む
    ことを特徴とする電気光学装置。
  38. 【請求項３８】 請求項３４ないし３７に記載のいずれ
    かの電気光学装置を含むことを特徴とする電子機器。
  39. 【請求項３９】 表示装置用母基板において、 各々が表示装置を構成する複数の単位、および並んで配
    列される複数のドット要素、を含み、 前記複数のドット要素は、各単位内において所定の方向
    に第１ドットピッチで配列されてなり、 各前記単位に含まれる前記複数のドット要素の１つと、
    他の前記単位に含まれる前記複数のドット要素の１つと
    が前記所定の方向において前記第１ドットピッチの実質
    的に整数倍で並んでなることを特徴とする表示装置用母
    基板。
  40. 【請求項４０】 請求項３９において、 前記ドット要素は、各単位内において前記所定の方向と
    直交する方向に第２ドットピッチで配列されてなり、 各前記単位に含まれる前記複数のドット要素の１つと、
    他の前記単位に含まれる前記複数のドット要素の１つと
    が前記所定の方向と直交する方向において前記第２ドッ
    トピッチの実質的に整数倍で並んでなることを特徴とす
    る表示装置用母基板。
  41. 【請求項４１】 成膜方法において、 液滴を選択的にノズルから吐出することによって複数の
    ドット要素を形成する工程を備え、 前記複数のドット要素は、基準線と直交する方向におい
    てドットピッチを有し、 前記複数のドット要素の各々を、少なくとも前記基準線
    に対して前記ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位
    置するように形成することを特徴とする成膜方法。
  42. 【請求項４２】 成膜装置において、 走査可能なヘッドと、 前記ヘッドに配列され、液滴を吐出する複数のノズル
    と、を備え、 前記ヘッドを走査して前記液滴を選択的に前記ノズルか
    ら吐出することによって複数のドット要素を形成し、 前記複数のドット要素は、基準線の方向において配列さ
    れ、かつ前記基準線の方向において所定のドットピッチ
    を有し、 前記ノズル列は、前記基準線の方向に対して実効ノズル
    列長を有し、 前記実効ノズル列長は、前記所定のドットピッチの実質
    的に整数倍であることを特徴とする成膜装置。
  43. 【請求項４３】 表示装置用母基板において、 各々が表示装置を構成する複数の単位と、 前記複数の単位の各々を構成する複数の画素と、 前記複数の画素の各々を構成する複数のドット要素と、
    を備え、 前記複数のドット要素は、第１基準線と直交する方向に
    おいて第１ドットピッチを有し、 前記複数のドット要素の各々は、少なくとも第１基準線
    に対して第１ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位
    置することを特徴とする表示装置用母基板。
  44. 【請求項４４】 請求項４３において、 さらに、前記複数のドット要素の各々は、前記第１基準
    線と直交する第２基準線に対して、該第２基準線と直交
    する方向における第２ドットピッチの実質的に整数倍の
    距離に位置することを特徴とする表示装置用母基板。
  45. 【請求項４５】 請求項４４において、 前記複数の単位の相互間の間隔は、前記第１基準線の方
    向においては、第２ドットピッチの整数倍であり、かつ
    前記第２基準線の方向においては、第１ドットピッチの
    整数倍であることを特徴とする表示装置用母基板。
  46. 【請求項４６】 請求項４５において、 前記複数の単位の配列は、前記第１基準線の方向におい
    ては、第２素子ピッチの整数倍であり、かつ前記第２基
    準線の方向においては、第１素子ピッチの整数倍である
    ことを特徴とする表示装置用母基板。
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