[go: up one dir, main page]

JP2003017149A - Electrical connection members and electrical components using them - Google Patents

Electrical connection members and electrical components using them

Info

Publication number
JP2003017149A
JP2003017149A JP2001199143A JP2001199143A JP2003017149A JP 2003017149 A JP2003017149 A JP 2003017149A JP 2001199143 A JP2001199143 A JP 2001199143A JP 2001199143 A JP2001199143 A JP 2001199143A JP 2003017149 A JP2003017149 A JP 2003017149A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
connecting member
member according
electrical
particle group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001199143A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsukasa Shiraishi
司 白石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001199143A priority Critical patent/JP2003017149A/en
Publication of JP2003017149A publication Critical patent/JP2003017149A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10W72/01261
    • H10W72/072
    • H10W72/07251
    • H10W72/073
    • H10W72/074
    • H10W72/20
    • H10W72/241
    • H10W72/325
    • H10W72/352
    • H10W72/354
    • H10W74/15

Landscapes

  • Connections Effected By Soldering, Adhesion, Or Permanent Deformation (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】金属材料からなる導電性粒子の塑性変形、樹脂
ボールからなる導電性粒子の導電性皮膜のクラック発生
及びシリカフィラーの接続部位への噛み込みにより電気
的接続不良を起こす問題を改善し、良好な接続品質を有
する電気接続部材及びそれを用いた電気部品を提供す
る。 【解決手段】微細な導電性粒子7が集合した導電性粒子
群6が、絶縁性を有する樹脂5中に略均一に分散してい
る電気接続部材とする。電極端子2とこれと電気的に接
続する別の電極端子4が当接する位置にて、前記電気接
続部材中の前記導電性粒子群6を介して電気的に接続し
た状態で、前記絶縁性を有する樹脂5を硬化処理して電
気部品とする。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To prevent electrical connection failure due to plastic deformation of conductive particles made of a metal material, generation of cracks in a conductive film of conductive particles made of resin balls, and biting of silica filler into connection sites. An object of the present invention is to provide an electric connection member having good connection quality and an electric component using the same, which solves the problems that occur. An electric connection member in which conductive particle groups (6) in which fine conductive particles (7) are aggregated are substantially uniformly dispersed in an insulating resin (5). At a position where the electrode terminal 2 and another electrode terminal 4 electrically connected to the electrode terminal 2 are in contact with each other, the insulating property is reduced in a state where the electrode terminal 2 is electrically connected through the conductive particle group 6 in the electric connection member. The resin 5 is cured to form an electric component.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電子機器の実装技術
に関し、詳しくは回路基板と電子部品または回路基板同
士の電気的接続に用いる電気接続部材及び電気部品に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mounting technique for electronic equipment, and more particularly to an electrical connecting member and an electrical component used for electrical connection between a circuit board and electronic parts or between circuit boards.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の高性能化、小型化の要
求に伴い、半導体の高密度、高機能化が一層叫ばれてい
る。また、そのため、従来のはんだやワイヤーボンドを
用いた電気的接続手段に変わり、フリップチップ実装、
中でもACP(Anisotoropic Conductive Paste)やACF(A
nisotoropic Conductive Film)を電気接続部材とした
接続手法が用いられる機会が多く、これを用いた電気部
品を内蔵する電子機器が市場に多く流通している。
2. Description of the Related Art In recent years, with the demand for higher performance and smaller size of electronic equipment, higher density and higher functionality of semiconductors have been demanded. Therefore, instead of the conventional electrical connection means using solder or wire bond, flip chip mounting,
Among them, ACP (Anisotoropic Conductive Paste) and ACF (A
A connection method using a nisotoropic Conductive Film) as an electrical connection member is often used, and a large number of electronic devices incorporating electric parts using this are in the market.

【0003】図11は、従来のACPを接続部材としたベ
アチップモジュールの構成を示す断面図である。図11
において、101はベアチップで、102はベアチップ
101の電極上に形成したAuバンプである。一方、10
3はベアチップ101を搭載する回路基板であり、10
4は回路基板上に形成したベアチップ101のAuバン
プ102と電気的に接続する搭載パッドである。ACP108
を構成する液状絶縁樹脂105中には導電性粒子106
が均一に分散された状態にある。
FIG. 11 is a sectional view showing the structure of a bare chip module using a conventional ACP as a connecting member. Figure 11
In the figure, 101 is a bare chip, and 102 is an Au bump formed on the electrode of the bare chip 101. On the other hand, 10
3 is a circuit board on which the bare chip 101 is mounted, and 10
A mounting pad 4 is electrically connected to the Au bump 102 of the bare chip 101 formed on the circuit board. ACP108
In the liquid insulating resin 105 that constitutes the
Are in a uniformly dispersed state.

【0004】次に、その製造方法について説明する。予
め、回路基板103上のベアチップ101を搭載する所
定の領域に所定の量のACP108を塗布した後、Auバン
プ102が電気的に接続する所定の搭載パッド104に
導電性粒子106を介して当接する位置に搭載する。そ
の後、ベアチップ101の背面かつ、または回路基板1
03の背面より加圧、加熱することによりAuバンプ10
2と搭載パッド104が導電性粒子106を介して当接
することにより電気的接続が完了した後、ACP108の
液状樹脂105が硬化することにより電気的接続の機械
的保持がなされ、ベアチップモジュールが完成する。
Next, the manufacturing method will be described. In advance, a predetermined amount of ACP 108 is applied to a predetermined region on the circuit board 103 where the bare chip 101 is mounted, and then the Au bump 102 is contacted with a predetermined mounting pad 104 electrically connected to the Au bump 102 via the conductive particles 106. Mount in position. After that, the back surface of the bare chip 101 and / or the circuit board 1
By applying pressure and heat from the back of 03, the Au bump 10
2 and the mounting pad 104 contact each other through the conductive particles 106 to complete the electrical connection, and then the liquid resin 105 of the ACP 108 is cured to mechanically retain the electrical connection, thus completing the bare chip module. .

【0005】図12は従来のACFを接続部材としたベア
チップモジュールの構成を示す図である。図12におい
て、ACF109及びACF109を構成するシート状絶縁樹
脂107以外は図11と同一である。ACFを電気接続部
材としたベアチップモジュール作製において、予め回路
基板103上のベアチップ101搭載領域全域に渡って
ACF109を貼り付けておくこと以外には、基本的にベ
アチップモジュール作製及びベアチップモジュール構成
において大差はない。
FIG. 12 is a diagram showing the structure of a bare chip module using a conventional ACF as a connecting member. 12 is the same as FIG. 11 except for the ACF 109 and the sheet-shaped insulating resin 107 that constitutes the ACF 109. In manufacturing a bare chip module using ACF as an electrical connection member, the bare chip 101 mounting area on the circuit board 103 is preliminarily covered over the entire area.
Basically, there is no great difference in the bare chip module fabrication and the bare chip module configuration except that the ACF 109 is attached.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た構成によれば、一般的に導電性粒子106としては、
直径が5〜10μm程度のNi、Au、Agなどの球状金属粒
子粉が使用されるが、モジュール作製の際の加圧により
塑性変形するため、図13に示す通り、使用環境化での
時間経過と共に発現するACP108を構成する絶縁樹脂
105の劣化に伴う弛緩作用により電気的接続を保持す
ることができなくなり不具合を発生する。一方、このよ
うな課題を解決するために図14に示すように、導電性
粒子106として金属粒子より弾性復元力に富む樹脂ボ
ール110の周囲に金属皮膜111、112を形成した
粒子を使用する構成もある。しかし、圧縮変形した際に
周囲の金属皮膜111、112中にクラック113が生
じ電気的接続不良が発生する場合があり、問題となって
いる。
However, according to the above-mentioned configuration, the conductive particles 106 are generally as follows.
Spherical metal particle powder such as Ni, Au, Ag having a diameter of about 5 to 10 μm is used. However, as it is plastically deformed by the pressure applied when the module is manufactured, as shown in FIG. Along with the deterioration of the insulating resin 105 that constitutes the ACP 108, the electrical connection cannot be maintained and a problem occurs. On the other hand, in order to solve such a problem, as shown in FIG. 14, as the conductive particles 106, particles in which metal coatings 111 and 112 are formed around a resin ball 110 having a higher elastic restoring force than the metal particles are used. There is also. However, when compressed and deformed, cracks 113 may occur in the surrounding metal coatings 111 and 112, which may cause electrical connection failure, which is a problem.

【0007】またACP105の熱膨張及び吸水率を抑え
て信頼性を向上する目的で、多くの場合、接続部材の樹
脂中にはシリカフィラー114が大量に添加されている
が、このため図15に示す通り、電気的接続部位にシリ
カフィラー111が噛みこむことにより電気的接続不良
が発生する場合があった。
Further, in order to suppress the thermal expansion and water absorption of the ACP 105 and improve the reliability, in many cases, a large amount of silica filler 114 is added to the resin of the connecting member. As shown, the silica filler 111 may be caught in the electrical connection site, resulting in a defective electrical connection.

【0008】本発明は、上記のような問題を解消するた
めになされたものであり、良好な接続品質を有する電気
接続部材及びそれを用いた電気部品を提供することを目
的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an electrical connection member having good connection quality and an electrical component using the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第1番目の電気接続部材は、微細な導電性
粒子が集合した導電性粒子群が、液状の電気絶縁性を有
する樹脂中にほぼ均一に分散しているという構成を備え
たものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the first electrical connecting member of the present invention is a resin in which a group of conductive particles in which fine conductive particles are gathered has a liquid electrical insulating property. It has a configuration in which it is dispersed almost uniformly in the inside.

【0010】次に本発明の第2番目の電気接続部材は、
微細な導電性粒子が集合した導電性粒子群が、接着硬化
性能を有するシート状の電気絶縁性を有する樹脂中に略
均一に分散しているという構成を備えたものである。
Next, the second electrical connection member of the present invention is
The electroconductive particle group in which fine electroconductive particles are aggregated is substantially uniformly dispersed in a sheet-like resin having an adhesive curing property and having an electrically insulating property.

【0011】次に本発明の電気部品は、前記のいずれか
に記載の電気接続部材を用いて、電極端子とこれと電気
的に接続する別の電極端子が当接する位置にて、前記電
気接続部材中の前記導電性粒子群を介して電気的に接続
した状態で接続され、前記電気接続部材中の樹脂が硬化
されているという構成を備えたものである。
Next, the electrical component of the present invention uses the electrical connecting member according to any one of the above, at the position where the electrode terminal and another electrode terminal electrically connected to the electrode terminal come into contact with each other. It is provided with a configuration in which the members in the member are electrically connected to each other through the conductive particle group and the resin in the member for electrical connection is cured.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明に共通する事項として、微
細な導電性粒子(一次粒子)は平均直径10〜1000
nmの粒子であり、集合した導電性粒子群は(二次粒
子)は平均直径1〜50μmの粒子であることが好まし
い。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a matter common to the present invention, fine conductive particles (primary particles) have an average diameter of 10 to 1000.
It is preferable that the particles (nm) have a diameter of 1 nm to 50 μm and the (secondary particles) of the group of conductive particles that are aggregated are particles having an average diameter of 1 to 50 μm.

【0013】本発明の第1番目の電気接続部材において
は、前記電気絶縁性を有する樹脂は、熱硬化型樹脂であ
ることが好ましい。熱硬化樹脂は硬化する過程において
収縮するが、この硬化収縮作用により導電性粒子(一次
粒子)が高い密度でパッキングされるので、導電性粒子
間の接触効率が向上するため安定した電気的接続が得ら
れるからである。
In the first electrical connecting member of the present invention, it is preferable that the electrically insulating resin is a thermosetting resin. The thermosetting resin shrinks in the course of curing, but due to this curing and shrinking effect, the conductive particles (primary particles) are packed at a high density, so the contact efficiency between the conductive particles is improved and a stable electrical connection is achieved. This is because it can be obtained.

【0014】また、導電性粒子群と、液状の電気絶縁性
を有する樹脂との組成割合が、導電性粒子群を100重
量部としたとき、樹脂が500〜1500重量部の範囲
であることが好ましい。この範囲の下限値を外れた場合
は導電性粒子群が過多となり隣接電極間のショート(ク
ロストーク)が発生し易く、逆にこの範囲の上限値を外
れた場合は、導電性粒子群が過少でありオープン不良を
発生するからである。
The composition ratio of the conductive particle group and the liquid electrically insulating resin is in the range of 500 to 1500 parts by weight when the conductive particle group is 100 parts by weight. preferable. If the value is below the lower limit of this range, the conductive particle group becomes excessive and short-circuiting (crosstalk) between adjacent electrodes is likely to occur. Conversely, if it is out of the upper limit of this range, the conductive particle group is too small. This is because open defects occur.

【0015】また、液状の電気絶縁性を有する樹脂が樹
脂Aであり、導電性粒子群中及びその周囲には別の未硬
化で液状または固体状態の電気絶縁性樹脂Bが存在して
いることが好ましい。樹脂Aと樹脂Bの有する物性面の
適した差異により、樹脂硬化プロセスまたは、かつ樹脂
硬化後において、電気的接続を改善する効果が得られ
る。
The liquid electrically insulating resin is resin A, and another uncured liquid or solid electrically insulating resin B is present in and around the conductive particle group. Is preferred. Due to the appropriate difference in the physical properties of the resin A and the resin B, the effect of improving the electrical connection can be obtained during the resin curing process or after the resin curing.

【0016】また、前記樹脂A及びBは、ともに熱硬化
型樹脂であることが好ましい。上記した硬化収縮作用が
得られるからである。
Further, both the resins A and B are preferably thermosetting resins. This is because the curing shrinkage effect described above can be obtained.

【0017】また、前記樹脂Aと樹脂Bの硬化開始温度
が異なり、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが好
ましい。樹脂Bにより先に固化した導電性粒子群(二次
粒子)が、施される加圧により液状の樹脂Aを押し退け
て、確実にAuバンプと搭載パッドと接触するため確実
な電気的な接続を行なえるからである。
Further, it is preferable that the curing start temperatures of the resin A and the resin B are different, and that the resin A is higher than the resin B. The electrically conductive particle group (secondary particles) previously solidified by the resin B pushes away the liquid resin A by the applied pressure and surely makes contact with the Au bump and the mounting pad, so that a reliable electrical connection is made. Because you can do it.

【0018】また、前記樹脂Aと樹脂Bの弾性率が異な
り、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが好まし
い。何らかの応力発生に対して、これを緩和する方向に
樹脂Aが変形するが、更にフレキシブル性を有する絶縁
樹脂Bからなる導電性粒子群は、この変形に容易に追従
することで破断することがなく、導電性粒子間の接触が
維持されることにより、高い接続品質が得られるからで
ある。
It is preferable that the elastic moduli of the resin A and the resin B are different, and that the resin A is higher than the resin B. The resin A is deformed in a direction to alleviate the generation of some stress, but the conductive particle group made of the insulating resin B having flexibility is not broken by easily following this deformation. This is because high contact quality can be obtained by maintaining the contact between the conductive particles.

【0019】また、樹脂Aと樹脂Bのガラス転移温度が
異なり、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが好ま
しい。ガラス転移温度の低い絶縁樹脂Bからなる導電性
粒子群は、高温環境下では絶縁樹脂Aに比べ低弾性特性
を示すので前記した通りフレキシブル性による作用の発
現と、かつ高熱膨張率特性を示すために常に加圧された
状態が維持される状態となることにより、導電性粒子間
の接触が維持されるので、特に高温環境下においてより
高い接続品質が得られることによる。
Further, it is preferable that the resin A and the resin B have different glass transition temperatures, and the resin A is higher than the resin B. Since the conductive particle group composed of the insulating resin B having a low glass transition temperature exhibits a lower elasticity characteristic than the insulating resin A in a high temperature environment, the action due to the flexibility as described above and the high thermal expansion coefficient characteristic are exhibited. Since the contact between the conductive particles is maintained by maintaining the state of being constantly pressurized, it is possible to obtain higher connection quality especially in a high temperature environment.

【0020】また、導電性粒子群を100重量部とした
とき、樹脂A及び樹脂Bの合計が500〜1500重量
部の範囲であることが好ましい。この範囲の下限値を外
れた場合は導電性粒子群が過多となり隣接電極間のショ
ート(クロストーク)が発生し易く、逆にこの範囲の上
限値を外れた場合は、導電性粒子群が過少でありオープ
ン不良を発生するからである。
When the conductive particle group is 100 parts by weight, the total amount of the resin A and the resin B is preferably in the range of 500 to 1500 parts by weight. If the value is below the lower limit of this range, the conductive particle group becomes excessive and short-circuiting (crosstalk) between adjacent electrodes is likely to occur. Conversely, if it is out of the upper limit of this range, the conductive particle group is too small. This is because open defects occur.

【0021】また、樹脂Aは熱硬化型樹脂であり、樹脂
Bは熱可塑型樹脂であることが好ましい。この理由は、
何らかの応力発生に対して、これを緩和する方向に絶縁
樹脂Aは変形するが、熱可塑型樹脂Bからなる導電性粒
子群は高温下では極めて低い弾性特性を示すため、この
変形に追従することで破断することがなく、導電性粒子
間の接触が維持されることにより、高温環境下において
高い接続品質が得られるからである。
Further, it is preferable that the resin A is a thermosetting resin and the resin B is a thermoplastic resin. The reason for this is
Insulating resin A is deformed in a direction to alleviate the generation of stress, but the conductive particle group consisting of thermoplastic resin B exhibits extremely low elastic properties at high temperatures, so follow this deformation. The reason for this is that the high quality of connection can be obtained in a high temperature environment by maintaining the contact between the conductive particles without breaking.

【0022】次に、本発明の第2番目の電気接続部材に
おいては、前記接着硬化性能を有するシート状の電気絶
縁性を有する樹脂は、未硬化状態の熱硬化型樹脂である
ことが好ましい。熱硬化樹脂は硬化する過程において収
縮するが、この硬化収縮作用により導電性粒子(一次粒
子)が高い密度でパッキングされるので、導電性粒子間
の接触効率が向上するため安定した電気的接続が得られ
ること、シート状であることにより液状樹脂の場合より
導電性粒子群(二次粒子)を構成する導電性粒子(一次
粒子)が必要以上広がらないからである。
Next, in the second electrical connecting member of the present invention, it is preferable that the sheet-like resin having an adhesive curing property and having an electrical insulation property is an uncured thermosetting resin. The thermosetting resin shrinks in the course of curing, but due to this curing and shrinking effect, the conductive particles (primary particles) are packed at a high density, so the contact efficiency between the conductive particles is improved and a stable electrical connection is achieved. This is because the conductive particles (primary particles) constituting the conductive particle group (secondary particles) do not spread more than necessary as compared with the case of the liquid resin because they are obtained.

【0023】また、前記接着硬化性能を有するシート状
の電気絶縁性を有する樹脂は、熱可塑型であることが望
ましい。高温環境下でのベアチップと回路基板の熱膨張
差により発生する応力に対して、熱可塑型樹脂からなる
導電性粒子群は高温下では極めて低い弾性特性を示すた
め破断することがなく、導電性粒子間の接触が維持され
ることにより高温高い接続品質が得られ、かつシート状
であることにより液状樹脂の場合より導電性粒子群(二
次粒子)を構成する導電性粒子(一次粒子)が必要以上
広がらないからである。
Further, it is desirable that the sheet-like resin having an adhesive and hardening performance and having an electrical insulating property is a thermoplastic type. With respect to the stress generated by the difference in thermal expansion between the bare chip and the circuit board in a high temperature environment, the conductive particle group made of a thermoplastic resin exhibits extremely low elastic properties at high temperature, so that it does not break and does not become conductive. By maintaining contact between particles, high quality connection at high temperature can be obtained, and by virtue of being in the form of a sheet, conductive particles (primary particles) constituting the conductive particle group (secondary particles) can be This is because it does not spread more than necessary.

【0024】また、導電性粒子群と液状の電気絶縁性を
有する樹脂との組成割合が、導電性粒子群を100重量
部とした時、樹脂が500〜1500重量部の範囲であ
ることが好ましい。この範囲の下限値を外れた場合は導
電性粒子群が過多となり隣接電極間のショート(クロス
トーク)が発生し易く、逆にこの範囲の上限値を外れた
場合は、導電性粒子群が過少でありオープン不良を発生
するからである。
The composition ratio of the conductive particle group and the liquid electrically insulating resin is preferably in the range of 500 to 1500 parts by weight when the conductive particle group is 100 parts by weight. . If the value is below the lower limit of this range, the conductive particle group becomes excessive and short-circuiting (crosstalk) between adjacent electrodes is likely to occur. Conversely, if it is out of the upper limit of this range, the conductive particle group is too small. This is because open defects occur.

【0025】また、前記導電性粒子群中及びその周囲に
は、樹脂Aとは別の固化状態の電気絶縁性樹脂Bが存在
していることが好ましい。樹脂Aと樹脂Bの有する物性
面の適した差異により、樹脂硬化プロセスまたは、かつ
樹脂硬化後において、電気的接続を改善する効果をもた
らすためである。
It is preferable that an electrically insulating resin B in a solidified state different from the resin A is present in and around the conductive particle group. This is because the suitable difference in the physical properties of the resin A and the resin B brings about the effect of improving the electrical connection during the resin curing process or after the resin curing.

【0026】また、樹脂Aと樹脂Bの硬化開始温度が異
なり、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが好まし
い。樹脂Bにより先に固化した導電性粒子群(二次粒
子)が、施される加圧により液状の樹脂Aを押し退け
て、確実にAuバンプと搭載パッドと接触するため確実
な電気的な接続を行なえるからである。
Further, it is preferable that the curing start temperatures of the resin A and the resin B are different, and that the resin A is higher than the resin B. The electrically conductive particle group (secondary particles) previously solidified by the resin B pushes away the liquid resin A by the applied pressure and surely makes contact with the Au bump and the mounting pad, so that a reliable electrical connection is made. Because you can do it.

【0027】また樹脂Aと樹脂Bの弾性率が異なり、樹
脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが望ましい。何ら
かの応力発生に対して、これを緩和する方向に樹脂Aが
変形するが、更にフレキシブル性を有する絶縁樹脂Bか
らなる導電性粒子群は、この変形に容易に追従すること
で破断することがなく、導電性粒子間の接触が維持され
ることにより、高い接続品質が得られるからである。
It is desirable that the elastic moduli of the resin A and the resin B are different, and that the resin A is higher than the resin B. The resin A is deformed in a direction to alleviate the generation of some stress, but the conductive particle group made of the insulating resin B having flexibility is not broken by easily following this deformation. This is because high contact quality can be obtained by maintaining the contact between the conductive particles.

【0028】また、樹脂Aと樹脂Bのガラス転移温度が
異なり、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高いことが好ま
しい。この理由は、ガラス転移温度の低い絶縁樹脂Bか
らなる導電性粒子群は、高温環境下では絶縁樹脂Aに比
べ低弾性特性を示すので前記した通りフレキシブル性に
よる作用の発現と、かつ高熱膨張率特性を示すために常
に加圧された状態が維持される状態となることにより、
導電性粒子間の接触が維持されるので、特に高温環境下
においてより高い接続品質が得られるからである。
Further, it is preferable that the resin A and the resin B have different glass transition temperatures, and that the resin A is higher than the resin B. The reason for this is that the conductive particle group consisting of the insulating resin B having a low glass transition temperature exhibits a lower elasticity property than the insulating resin A in a high temperature environment, and therefore, as described above, the action due to the flexibility and the high thermal expansion coefficient are obtained. By being in a state of being constantly pressurized to show the characteristics,
Since the contact between the conductive particles is maintained, higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment.

【0029】また、導電性粒子群を100重量部とした
時、樹脂A及び樹脂Bの合計は500〜1500重量部
の範囲であることが好ましい。この理由は、この範囲の
下限値を外れた場合は導電性粒子群が過多となり隣接電
極間のショート(クロストーク)が発生し易く、逆にこ
の範囲の上限値を外れた場合は、導電性粒子群が過少で
ありオープン不良を発生するからである。
When the conductive particle group is 100 parts by weight, the total amount of resin A and resin B is preferably in the range of 500 to 1500 parts by weight. The reason for this is that if the lower limit of this range is not reached, the conductive particle group becomes excessive and short-circuiting (crosstalk) between adjacent electrodes easily occurs. Conversely, if the upper limit of this range is not reached, the conductivity This is because the number of particles is too small and open defects occur.

【0030】また、前記シートの表面及び裏面から選ば
れる少なくとも一面にはさらに接着硬化する接着層を形
成したことが好ましい。これによりシート状の絶縁樹脂
に要求される接着強度は少なくても良いので、他の性能
を付加するもしくは伸張する材料選択が可能となる。
Further, it is preferable that an adhesive layer for further adhesive curing is formed on at least one surface selected from the front surface and the back surface of the sheet. As a result, the adhesive strength required for the sheet-shaped insulating resin may be small, so that it is possible to select a material that adds other properties or stretches.

【0031】また、前記シート状の電気絶縁性を有する
樹脂は、硬化が略完了した状態の熱硬化型樹脂材料であ
ることが好ましい。これにより、導電性粒子群を構成す
る導電性粒子が、ベアチップモジュール製造プロセス中
における加熱処理によって絶縁樹脂の溶融軟化により広
がる程度が少ないので、導電性粒子の拡散によるショー
ト発生を抑制する効果が得られる。
Further, it is preferable that the sheet-shaped resin having electric insulation is a thermosetting resin material in a state where the curing is substantially completed. As a result, the conductive particles forming the conductive particle group are less likely to spread due to the melting and softening of the insulating resin due to the heat treatment during the bare chip module manufacturing process, and thus the effect of suppressing the occurrence of a short circuit due to the diffusion of the conductive particles is obtained. To be

【0032】また、前記導電粒子の一部は、前記シート
表面に露出していることが好ましい。これにより導電性
粒子は確実に回路基板上の搭載電極及びベアチップ上の
Auバンプと接触するので、より確実な接続が行なえ
る。特に、略硬化が完了しており溶融軟化する程度が小
さい絶縁樹脂シートを使用した構成においては有効とな
る。
Further, it is preferable that a part of the conductive particles is exposed on the surface of the sheet. As a result, the conductive particles surely come into contact with the mounting electrodes on the circuit board and the Au bumps on the bare chip, so that more reliable connection can be performed. In particular, it is effective in a configuration using an insulating resin sheet that is substantially cured and has a small degree of melting and softening.

【0033】以下に具体的な実施の形態を説明する。Specific embodiments will be described below.

【0034】(第1の実施の形態)以下、本発明の一実
施の形態における電気接続部材であるACP及びそれを用
いたベアチップモジュールについて、図1を用いて説明
する。図1は本発明のACP(Anisotoropic Conductive P
aste)を接続部材としたベアチップモジュールの構成を
示す断面図である。図1において、1はベアチップで、
2はベアチップ1の電極上に形成したAuバンプである。
一方、3はベアチップ1を搭載する回路基板であり、4
は回路基板上に形成したベアチップ1のAuバンプ2と電
気的に接続する搭載パッドである。5はACPを構成する
絶縁樹脂Aである。本実施の形態においては、液状の熱
硬化型樹脂材料が用いられる。
(First Embodiment) An ACP as an electrical connecting member and a bare chip module using the same in one embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows the ACP (Anisotoropic Conductive P) of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of a bare chip module using aste) as a connecting member. In FIG. 1, 1 is a bare chip,
Reference numeral 2 is an Au bump formed on the electrode of the bare chip 1.
On the other hand, 3 is a circuit board on which the bare chip 1 is mounted, and 4
Is a mounting pad electrically connected to the Au bump 2 of the bare chip 1 formed on the circuit board. Reference numeral 5 is an insulating resin A that constitutes ACP. In the present embodiment, a liquid thermosetting resin material is used.

【0035】本実施の形態において使用する液状の熱硬
化型樹脂材料は、ゴム変性エポキシ樹脂で粘度は500
poise(粘度測定時の回転子の回転数0.5rpm、25℃)程
度である。
The liquid thermosetting resin material used in this embodiment is a rubber-modified epoxy resin and has a viscosity of 500.
It is about poise (rotor speed of the rotor when measuring viscosity 0.5 rpm, 25 ° C).

【0036】絶縁樹脂A5中には導電性粒子6群が均一に
分散された状態にある。また、導電性粒子群6は、微細
な導電性粒子7の集合体である。本実施の形態において
使用する導電性粒子は銀−パラジウムの合金粉で、平均
粒径は一次粒子で約0.3μm、二次粒子は約5μmで
ある。
Six groups of conductive particles are uniformly dispersed in the insulating resin A5. The conductive particle group 6 is an aggregate of fine conductive particles 7. The conductive particles used in the present embodiment are silver-palladium alloy powders, and the average particle size is about 0.3 μm for primary particles and about 5 μm for secondary particles.

【0037】次に、本発明のACPを用いたベアチップモ
ジュールの製造方法について説明する。予め、回路基板
3上のベアチップ1を搭載する所定領域に所定量の本発
明のACPを塗布した後、ベアチップ1をAuバンプ2が電
気的に接続する所定の搭載パッド4に導電性粒子群6を
介して当接する位置に搭載した。本実施の形態において
塗布する液状樹脂の塗布量は、10mm□のベアチップ
サイズ#に対して約15mgである。その後、ベアチッ
プ1の背面、または回路基板3の背面より加圧、加熱す
ることによりAuバンプ2と搭載パッド4が導電性粒子6
を介して当接することにより電気的接続が完了した後、
液状樹脂A5が硬化することにより電気的接続の機械的
保持がなされ、ベアチップモジュールが完成した。本実
施の形態において、加熱は接続部温度約200℃で約2
0秒間加熱する。またその際の加圧量は1バンプあたり
の平均0.8Nである。
Next, a method for manufacturing a bare chip module using the ACP of the present invention will be described. In advance, a predetermined amount of the ACP of the present invention is applied to a predetermined area on the circuit board 3 where the bare chip 1 is mounted, and then the conductive particle group 6 is applied to the predetermined mounting pad 4 to which the bare chip 1 is electrically connected by the Au bump 2. It was mounted at the position where it abuts via. In this embodiment, the amount of the liquid resin applied is about 15 mg for a bare chip size # of 10 mm □. After that, the Au bumps 2 and the mounting pads 4 are electrically conductive particles 6 by applying pressure and heat from the back surface of the bare chip 1 or the back surface of the circuit board 3.
After the electrical connection is completed by abutting via
By curing the liquid resin A5, the electrical connection was mechanically held, and the bare chip module was completed. In the present embodiment, heating is performed at a connection portion temperature of about 200 ° C. for about 2 minutes.
Heat for 0 seconds. The amount of pressurization at that time is 0.8 N on average per bump.

【0038】本発明によれば、図2に示すように加圧
前、即ちベアチップ1実装前の状態ではACP中の導電
性粒子群6を構成する導電性粒子7間には隙間が存在し
ているため、ベアチップ1実装に必要な加圧を施しても
電気的接続に寄与する個々の導電性粒子7の変形率は、
従来のACP中で電気的接続に寄与していた導電性粒子の
変形率に比べて、十分小さい。その結果として、導電性
粒子7が塑性変形を起こす程度が小さくなることで多く
の導電性粒子7は一定の復元力を有することから、ACP
を構成する絶縁樹脂A5の劣化に伴う弛緩作用に対して
追従して電気的接続を保持する事が可能となり、接続品
質が向上する。
According to the present invention, as shown in FIG. 2, before the pressure is applied, that is, before the bare chip 1 is mounted, there is a gap between the conductive particles 7 constituting the conductive particle group 6 in the ACP. Therefore, even if the pressure necessary for mounting the bare chip 1 is applied, the deformation rate of each conductive particle 7 that contributes to the electrical connection is
It is sufficiently smaller than the deformation rate of the conductive particles that contributed to electrical connection in the conventional ACP. As a result, since the conductive particles 7 are less likely to undergo plastic deformation, many conductive particles 7 have a constant restoring force.
It becomes possible to maintain the electrical connection by following the relaxation action due to the deterioration of the insulating resin A5 constituting the above, and the connection quality is improved.

【0039】更には、図3に示すように電気接続部位に
シリカフィラー8が噛み込んだ際にも、シリカフィラー
は導電性粒子群6中に埋没することにより電気的接続の
障害となることはなく、極めて安定して電気的接続を確
保できることになる。この理由は、まず導電性粒子7間
に隙間が存在することによりシリカフィラー8が埋没す
る余地がある点と、導電性粒子7が微細であるのでシリ
カフィラー8と接触する面積が小さく、発生する摩擦力
も小さい。その結果として、加圧により導電性粒子7に
当接したシリカフィラー8が、滑り抜けるからである。
Furthermore, as shown in FIG. 3, even when the silica filler 8 is caught in the electrical connection site, the silica filler is buried in the conductive particle group 6 and thus becomes an obstacle to electrical connection. Therefore, the electrical connection can be secured extremely stably. The reason for this is that first, there is room for the silica filler 8 to be buried due to the presence of the gaps between the conductive particles 7, and because the conductive particles 7 are fine, the area in contact with the silica filler 8 is small and occurs. Friction is also small. As a result, the silica filler 8 that comes into contact with the conductive particles 7 under pressure slips out.

【0040】なお、本発明において絶縁樹脂A5は熱硬
化型樹脂材料としたが、これに限らずUV硬化型あるいは
UVと熱の併用硬化型樹脂材料を使用しても良い。
In the present invention, the insulating resin A5 is a thermosetting resin material, but the present invention is not limited to this.
A curable resin material that uses both UV and heat may be used.

【0041】(第2の実施の形態)別の本発明の一実施
の形態における電気接続部材であるACP及びそれを用い
たベアチップモジュールについて、図4及び図5を用い
て説明する。図4は本発明のACPを接続部材としたベア
チップモジュールの構成を示す断面図であり、図5は本
発明のACPを構成する導電性粒子群の拡大図を示してい
る。
(Second Embodiment) An ACP which is an electric connecting member and a bare chip module using the same in another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a sectional view showing the structure of a bare chip module using the ACP of the present invention as a connecting member, and FIG. 5 is an enlarged view of the conductive particle group constituting the ACP of the present invention.

【0042】図4において、9は導電性粒子群6を構成
する絶縁樹脂Bである。その他については、第1の実施の
形態に記載した図1及び図2と同一であるので説明を省
略する。本実施の形態においては、絶縁樹脂B9は液状
の熱硬化型樹脂からなり、かつ絶縁樹脂A5と異なる物
性を有する。また、ベアチップモジュールの製造方法に
ついても第1の実施の形態と同一であるので説明を省略
する。
In FIG. 4, 9 is an insulating resin B which constitutes the conductive particle group 6. Others are the same as those in FIGS. 1 and 2 described in the first embodiment, and therefore the description thereof will be omitted. In the present embodiment, the insulating resin B9 is made of a liquid thermosetting resin and has physical properties different from those of the insulating resin A5. Further, the method of manufacturing the bare chip module is also the same as that of the first embodiment, and therefore its explanation is omitted.

【0043】本実施の形態において使用する液状の熱硬
化型樹脂材料はA、B共に、ゴム変性エポキシ樹脂で粘
度は500poise(回転子の回転数0.5rpm、25℃)程度
である。その他については、第1の実施の形態と同じと
した。
The liquid thermosetting resin material used in this embodiment is a rubber-modified epoxy resin for both A and B, and has a viscosity of about 500 poise (rotor speed 0.5 rpm, 25 ° C.). Others are the same as those in the first embodiment.

【0044】本実施の形態のACPでは第1の実施の形態
に記載した効果以外にも、以下の効果を併せ持つ。ま
ず、上記した構成において、絶縁樹脂A5と絶縁樹脂B9
は硬化反応開始温度が異なる場合、即ち、絶縁樹脂B9
が絶縁樹脂A5に比べて低温で硬化する熱硬化型樹脂材料
とした構成では、実装時に必要とする加圧量が少なくて
も良く、その結果としてベアチップ1及び回路基板3に
与えるダメージが少なくなるので、更に品質の高い安定
した電気的接続が行なえる。この理由は、電気的接続
は、加圧することにより導電性粒子群6が絶縁樹脂A5
を押し退けてバンプ2と搭載パッド4に当接することで
確立するが、本構成の場合、先に硬化した導電性粒子群
6が、まだ溶融軟化状態の絶縁樹脂A5中を低い加圧力で
も容易に押し進むことが出来る事による。
The ACP of this embodiment has the following effects in addition to the effects described in the first embodiment. First, in the above configuration, the insulating resin A5 and the insulating resin B9
When the curing reaction start temperature is different, that is, the insulating resin B9
However, in the configuration in which the thermosetting resin material that cures at a lower temperature than the insulating resin A5 is used, the amount of pressurization required at the time of mounting may be small, resulting in less damage to the bare chip 1 and the circuit board 3. Therefore, stable and high quality electrical connection can be performed. The reason for this is that the electrical connection is such that the conductive particle group 6 is made into the insulating resin A5 by applying pressure.
It is established by pushing away and contacting the bump 2 and the mounting pad 4, but in the case of this configuration, the conductive particle group 6 that has been previously hardened can be easily applied to the insulating resin A5 that is still in the melt-softened state even with a low pressure. It is possible to push forward.

【0045】次に、絶縁樹脂A5と絶縁樹脂B9の弾性率
が異なる場合、即ち絶縁樹脂A5が絶縁樹脂B9に比べて弾
性率が高い場合、更に高い接続品質が得られる。この理
由としては、何らかの応力発生に対して、これを緩和す
る方向に絶縁樹脂A5は変形するが、更にフレキシブル性
を有する絶縁樹脂B9から成る導電性粒子群6は、この変
形に容易に追従することで破断することがなく、導電性
粒子間7の接触が維持される事による。
Next, when the insulating resin A5 and the insulating resin B9 have different elastic moduli, that is, when the insulating resin A5 has a higher elastic modulus than the insulating resin B9, higher connection quality can be obtained. The reason for this is that the insulating resin A5 is deformed in a direction to alleviate the generation of some stress, but the conductive particle group 6 made of the insulating resin B9 having further flexibility easily follows this deformation. As a result, there is no breakage and the contact between the conductive particles 7 is maintained.

【0046】また、絶縁樹脂A5と絶縁樹脂B9のガラス転
移温度が異なる場合、即ち、絶縁樹脂A5のガラス転移温
度が絶縁樹脂B9に比べ高い場合、特に高温環境下におい
てより高い接続品質が得られる。この理由としては、ガ
ラス転移温度の低い絶縁樹脂B9からなる導電性粒子群6
は、高温環境下では絶縁樹脂A5に比べ低弾性特性を示す
ので前記した通りのフレキシブル性による作用を発現す
る事と、かつ高熱膨張率特性を示すため常に加圧された
状態が維持される状態となる事により導電性粒子7間の
接触が維持されるためである。
Further, when the glass transition temperatures of the insulating resin A5 and the insulating resin B9 are different, that is, when the glass transition temperature of the insulating resin A5 is higher than that of the insulating resin B9, higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment. . The reason for this is that the conductive particle group 6 made of insulating resin B9 having a low glass transition temperature is used.
In the high temperature environment, since it exhibits a low elasticity property compared to the insulating resin A5, it exhibits the effect of flexibility as described above, and in addition, it exhibits a high coefficient of thermal expansion, so that the state of being constantly pressurized is maintained. This is because the contact between the conductive particles 7 is maintained as a result.

【0047】(第3の実施の形態)別の本発明の別の実
施の形態における電気接続部材であるACP及びそれを用
いたベアチップモジュールについて、図4から図5を用
いて説明する。図において9の絶縁樹脂Bは、本実施の
形態では固化した状態の熱硬化型絶縁樹脂であるとした
構成である。その他については、第2の実施の形態と同
一であるので説明を省略する。また、ベアチップモジュ
ールの製造方法についても同一であるので説明を省略す
る。
(Third Embodiment) An ACP which is an electrical connecting member and a bare chip module using the same in another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 5. In the figure, the insulating resin B in FIG. 9 is a thermosetting insulating resin in a solidified state in the present embodiment. Since the other points are the same as those in the second embodiment, description thereof will be omitted. Further, since the manufacturing method of the bare chip module is the same, the explanation is omitted.

【0048】本実施の形態において使用する絶縁樹脂材
料Bは固化したゴム変性エポキシ樹脂である。その他に
ついては、第2の実施の形態と同じとした。
The insulating resin material B used in this embodiment is a solidified rubber-modified epoxy resin. Others are the same as those in the second embodiment.

【0049】本実施の形態では9の絶縁樹脂Bは固化し
た状態の熱硬化型絶縁樹脂とすることで液状樹脂を使用
した構成に比べ、ベアチップモジュール製造プロセス中
の加熱処理により絶縁樹脂B9が溶融軟化して導電性粒子
7が広がる現象が抑えられるので、隣接する導電性粒子
群6間での初期的なショート発生が抑制される。更に
は、導電性粒子群6の分散密度を高くすることが可能と
なるので、より狭い接続ピッチの電気的接続を安定して
実現できるという効果をもつ。
In this embodiment, the insulating resin B of 9 is a thermosetting insulating resin in a solidified state, so that the insulating resin B9 is melted by the heat treatment in the bare chip module manufacturing process as compared with the configuration using the liquid resin. Since the phenomenon that the conductive particles 7 are softened and the conductive particles 7 spread is suppressed, the occurrence of an initial short circuit between the adjacent conductive particle groups 6 is suppressed. Furthermore, since the dispersion density of the conductive particle group 6 can be increased, there is an effect that electrical connection with a narrower connection pitch can be stably realized.

【0050】本構成においても、絶縁樹脂A5と絶縁樹
脂B9の弾性率が異なる場合、即ち絶縁樹脂A5が絶縁樹脂
B9に比べて弾性率が高い場合、あるいは、絶縁樹脂A5と
絶縁樹脂B9のガラス転移温度が異なる場合、即ち、絶縁
樹脂A5が絶縁樹脂B9に比べガラス転移温度が高い場合に
も、第2の実施の形態に記載したのと同様な効果が得ら
れる。
Also in this configuration, when the insulating resin A5 and the insulating resin B9 have different elastic moduli, that is, the insulating resin A5 is the insulating resin.
When the elastic modulus is higher than that of B9, or when the glass transition temperatures of the insulating resin A5 and the insulating resin B9 are different, that is, when the insulating resin A5 has a higher glass transition temperature than the insulating resin B9, the second The same effect as that described in the embodiment can be obtained.

【0051】(第4の実施の形態)別の本発明の別の実
施の形態における電気接続部材であるACP及びそれを用
いたベアチップモジュールについて図4及び図5を用い
て説明する。図において本実施の形態では、9の絶縁樹
脂Bは固化した状態の熱可塑型樹脂であるとした構成で
ある。その他については、第2の実施の形態と同一であ
るので説明を省略する。また、ベアチップモジュールの
製造方法についても同一であるので説明を省略する。
(Fourth Embodiment) Another embodiment of an ACP, which is an electrical connecting member, and a bare chip module using the same in another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5. In the figure, in the present embodiment, the insulating resin B 9 is a thermoplastic resin in a solidified state. Since the other points are the same as those in the second embodiment, description thereof will be omitted. Further, since the manufacturing method of the bare chip module is the same, the explanation is omitted.

【0052】本実施の形態において使用する熱可塑型絶
縁樹脂材料Bは固化したポリエステル系樹脂である。そ
の他については、第2の実施の形態と同じである。
The thermoplastic insulating resin material B used in this embodiment is a solidified polyester resin. Others are the same as those in the second embodiment.

【0053】本実施の形態では9は熱可塑型絶縁樹脂で
あるので、特に高温環境下においてより高い接続品質が
得られる。この理由としては、何らかの応力発生に対し
て、これを緩和する方向に絶縁樹脂A5は変形するが、熱
可塑型絶縁樹脂B9からなる導電性粒子群6は高温下では
極めて低い弾性特性を示すため、この変形に容易に追従
することで破断することがなく、導電性粒子間7の接触
が維持される事による。
In the present embodiment, 9 is a thermoplastic insulating resin, so that higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment. The reason for this is that the insulating resin A5 is deformed in a direction to alleviate the occurrence of some stress, but the conductive particle group 6 made of the thermoplastic insulating resin B9 exhibits extremely low elasticity at high temperatures. By easily following this deformation, there is no breakage and the contact between the conductive particles 7 is maintained.

【0054】また熱可塑型絶縁樹脂B9からなる導電性粒
子群6が高温下では極めて低い弾性特性を示すことは、
ベアチップモジュール製造プロセス中において、電気的
接続部位にシリカフィラー8が噛み込んだ際にも、加え
られる圧力が極めて低い段階で容易に導電性粒子群6に
埋没する作用を与える。従って、極めて安定して電気的
接続を確保できることとなる。
The conductive particle group 6 made of the thermoplastic insulating resin B9 exhibits extremely low elasticity at high temperatures.
In the bare chip module manufacturing process, even when the silica filler 8 is caught in the electrical connection site, it has the effect of being easily embedded in the conductive particle group 6 when the applied pressure is extremely low. Therefore, the electrical connection can be secured extremely stably.

【0055】(第5の実施の形態)本発明の一実施の形
態における電気接続部材であるACF及びそれを用いたベ
アチップモジュールを、図6を用いて説明する。図6は
本発明のACFを接続部材としたベアチップモジュールの
構成を示す図である。図6において、5はACFを構成
するシート状の絶縁樹脂Aであり、本実施の形態では熱
硬化型絶縁樹脂材料からなる。その他については、第1
の実施の形態と同一であるので説明を省略する。
(Fifth Embodiment) An ACF which is an electrical connecting member and a bare chip module using the same in an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a bare chip module using the ACF of the present invention as a connecting member. In FIG. 6, reference numeral 5 is a sheet-shaped insulating resin A that constitutes the ACF, and is made of a thermosetting insulating resin material in the present embodiment. For others, first
The description is omitted because it is the same as the embodiment.

【0056】次に、本発明のACFを用いたベアチップモ
ジュールの製造方法について説明する。予め、回路基板
3上のベアチップ1を搭載する所定領域全域に渡って本
発明のACFを貼り付けた後、ベアチップ1をAuバンプ2
が電気的に接続する所定の搭載パッド4に導電性粒子群
6を介して当接する位置に搭載する。その後、ベアチッ
プ1の背面かつ、または回路基板の3背面より加圧、加
熱することによりAuバンプ2と搭載パッド4が導電性粒
子群6を介して当接することにより電気的接続が完了し
た後、シート状の絶縁樹脂A5が硬化することにより電
気的接続の機械的保持がなされ、ベアチップモジュール
が完成する。
Next, a method of manufacturing a bare chip module using the ACF of the present invention will be described. The ACF of the present invention is attached in advance over the entire predetermined area on the circuit board 3 where the bare chip 1 is mounted, and then the bare chip 1 is attached to the Au bumps 2.
Is mounted at a position where it abuts on a predetermined mounting pad 4 electrically connected thereto via the conductive particle group 6. After that, by applying pressure and heating from the back surface of the bare chip 1 and / or the back surface of the circuit board 3 to bring the Au bump 2 and the mounting pad 4 into contact with each other through the conductive particle group 6, the electrical connection is completed, By curing the sheet-shaped insulating resin A5, the electrical connection is mechanically held, and the bare chip module is completed.

【0057】本実施の形態において使用する絶縁樹脂A
はゴム変性エポキシ樹脂である。本実施の形態において
使用する導電性粒子は銀−パラジウムの合金粉で、平均
粒径は一次粒子で約0.3μm、二次粒子は約5μmで
ある。貼り付けるシートのサイズはベアチップサイズよ
り少し大きめである。本実施の形態において、加熱は接
続部温度約200℃で約20秒間加熱する。またその際
の加圧量は1バンプあたりの平均0.8Nである。
Insulating resin A used in this embodiment
Is a rubber-modified epoxy resin. The conductive particles used in the present embodiment are silver-palladium alloy powders, and the average particle size is about 0.3 μm for primary particles and about 5 μm for secondary particles. The size of the attached sheet is slightly larger than the bare chip size. In the present embodiment, the heating is performed at a connection portion temperature of about 200 ° C. for about 20 seconds. The amount of pressurization at that time is 0.8 N on average per bump.

【0058】本実施の形態においても第1の実施の形態
に記載したのと同様に、図2に示したように加圧前、即
ちベアチップ1実装前の状態では導電性粒子群6を構成
する導電性粒子7間には隙間が存在しているため、ベア
チップ1実装に必要な加圧を施しても電気的接続に寄与
する個々の導電性粒子7の変形率は、従来のACP中で電
気的接続に寄与していた導電性粒子の変形率に比べて、
十分小さい。その結果として、導電性粒子7が塑性変形
を起こす程度が小さくなることで、多くの導電性粒子7
は一定の復元力を有することから、ACFを構成する絶
縁樹脂A5の弛緩作用に対する電気的接続の保持力が高
く、接続品質の向上する。
Also in this embodiment, as described in the first embodiment, as shown in FIG. 2, the conductive particle group 6 is formed before the pressure is applied, that is, before the bare chip 1 is mounted. Since there are gaps between the conductive particles 7, the deformation rate of each conductive particle 7 that contributes to the electrical connection even if the pressure necessary for mounting the bare chip 1 is applied is the same as that in the conventional ACP. The deformation rate of the conductive particles that contributed to the dynamic connection,
Small enough. As a result, since the conductive particles 7 are less likely to undergo plastic deformation, many conductive particles 7 are
Has a constant restoring force, the holding force of the electrical connection against the relaxing action of the insulating resin A5 forming the ACF is high, and the connection quality is improved.

【0059】更には、図3に示したように電気接続部位
にシリカフィラー8が噛み込んだ際にも、シリカフィラ
ーは導電性粒子群6中に埋没することにより電気的接続
の障害となることはなく、極めて安定して電気的接続を
確保できることとなる。
Furthermore, as shown in FIG. 3, even when the silica filler 8 is caught in the electrical connection portion, the silica filler is buried in the conductive particle group 6 and becomes an obstacle to electrical connection. Instead, the electrical connection can be secured extremely stably.

【0060】なお、本発明においてもシート状の絶縁樹
脂A5は熱硬化型樹脂材料としたが、これに限らずUV硬
化型あるいはUVと熱の併用硬化型樹脂材料を使用しても
良い。
Although the sheet-shaped insulating resin A5 is also a thermosetting resin material in the present invention, it is not limited to this, and a UV curing type or a combination UV and heat curing type resin material may be used.

【0061】(第6の実施の形態)本発明の別の実施の
形態における電気接続部材であるACF及びそれを用いた
ベアチップモジュールを、図6を用いて説明する。本実
施の形態においては、図の5のシート状の絶縁樹脂Aは
熱可塑型樹脂材料とした構成である。その他について
は、第5の実施の形態と同一であるので説明を省略す
る。また、ベアチップモジュールの製造方法も、第5の
実施の形態に記載したのと同一であるので説明を省略す
る。
(Sixth Embodiment) An ACF as an electrical connecting member and a bare chip module using the same in another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the sheet-shaped insulating resin A in FIG. 5 is a thermoplastic resin material. Since the other points are the same as those in the fifth embodiment, description thereof will be omitted. The method of manufacturing the bare chip module is also the same as that described in the fifth embodiment, and therefore the description thereof is omitted.

【0062】本実施の形態において使用するシート状の
絶縁樹脂Aはポリエステル系樹脂である。その他につい
ては、第5の実施の形態と同じである。
The sheet-shaped insulating resin A used in this embodiment is a polyester resin. Others are the same as those in the fifth embodiment.

【0063】本実施の形態では第5の実施の形態に記載
した効果以外に、シート状の絶縁樹脂A5として熱可塑
型樹脂からなる構成とした事により、ベアチップモジュ
ール製造プロセスにおける加熱処理により軟化した状態
となるので、その結果として加えられる圧力が極めて低
い段階で容易に導電性粒子7間の隙間部にある絶縁樹脂
A5は排除される。また、電気的接続部位に噛み込んだ
シリカフィラー8も容易に導電性粒子群6に埋没するた
め、電気的接続の阻害要因とならない。従って、極めて
安定して電気的接続を確保できることとなる。
In this embodiment, in addition to the effect described in the fifth embodiment, since the sheet-shaped insulating resin A5 is made of a thermoplastic resin, it is softened by the heat treatment in the bare chip module manufacturing process. As a result, the insulating resin in the gap between the conductive particles 7 can be easily formed when the resulting pressure is extremely low.
A5 is eliminated. Further, since the silica filler 8 bitten into the electrical connection site is also easily buried in the conductive particle group 6, it does not become an obstacle to electrical connection. Therefore, the electrical connection can be secured extremely stably.

【0064】(第7の実施の形態)別の発明の一実施の
形態における電気接続部材であるACF及びそれを用いた
ベアチップモジュールについて、図7を用いて説明す
る。図7は別の本発明のACFを接続部材としたベアチッ
プモジュールの構成を示す断面図である。図において、
9は導電性粒子群6を構成する絶縁樹脂Bである。本実
施の形態においては、5のシート状の絶縁樹脂A及び9
の絶縁樹脂Bは共に固化した状態の熱硬化型樹脂材料が
用いられる。その他については、第2の実施の形態と同
一であるので説明を省略する。また、ベアチップモジュ
ールの製造方法も、第5の実施の形態に記載したのと同
一であるので説明を省略する。
(Seventh Embodiment) An ACF as an electrical connecting member and a bare chip module using the same in another embodiment of the invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a sectional view showing the structure of another bare chip module using another ACF of the present invention as a connecting member. In the figure,
Reference numeral 9 is an insulating resin B that constitutes the conductive particle group 6. In the present embodiment, the sheet-shaped insulating resins A and 9
As the insulating resin B, a thermosetting resin material in a solidified state is used. Since the other points are the same as those in the second embodiment, description thereof will be omitted. The method of manufacturing the bare chip module is also the same as that described in the fifth embodiment, and therefore the description thereof is omitted.

【0065】本実施の形態において熱硬化型樹脂材料
A、Bは共に、ゴム変性エポキシ樹脂である。その他に
ついては、第5の実施の形態と同じである。
In the present embodiment, both thermosetting resin materials A and B are rubber-modified epoxy resin. Others are the same as those in the fifth embodiment.

【0066】本発明のACFでは第5の実施の形態に記載
した効果以外にも、第2の実施の形態に記載したのと同
様に以下の効果を併せ持つ。
In addition to the effects described in the fifth embodiment, the ACF of the present invention has the following effects in the same manner as described in the second embodiment.

【0067】具体的には上記した構成において、絶縁樹
脂A5と絶縁樹脂B9の弾性率が異なる場合、即ち絶縁樹
脂A5が絶縁樹脂B9に比べて弾性率が高い場合には、更に
高い接続品質が得られる。また、絶縁樹脂A5と絶縁樹脂
B9のガラス転移温度が異なる場合、即ち、絶縁樹脂A5の
ガラス転移温度が絶縁樹脂B9に比べ高い場合には、特に
高温環境下においてより高い接続品質が得られる。
Specifically, in the above structure, when the insulating resin A5 and the insulating resin B9 have different elastic moduli, that is, when the insulating resin A5 has a higher elastic modulus than the insulating resin B9, a higher connection quality is obtained. can get. Insulation resin A5 and insulation resin
When the glass transition temperature of B9 is different, that is, when the glass transition temperature of the insulating resin A5 is higher than that of the insulating resin B9, higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment.

【0068】(第8の実施の形態)別の発明の別の実施
の形態における電気接続部材であるACF及びそれを用い
たベアチップモジュールについて、図7を用いて説明す
る。図において、本実施の形態のACFでは固化した状態
の熱硬化型樹脂であるシート状の絶縁樹脂A5と絶縁樹脂
B9と同一材料にて構成されているが硬化反応度が異なる
構成としている。その他については、第2の実施の形態
と同一であるので説明を省略する。また、ベアチップモ
ジュールの製造方法も、第5の実施の形態に記載したの
と同一であるので説明を省略する。本実施の形態におい
て熱硬化型樹脂材料A、Bは共に、ゴム変性エポキシ樹
脂である。その他については、第5の実施の形態と同じ
である。
(Eighth Embodiment) An ACF as an electrical connecting member and a bare chip module using the same in another embodiment of another invention will be described with reference to FIG. In the figure, in the ACF of this embodiment, a sheet-like insulating resin A5 and an insulating resin which are thermosetting resins in a solidified state are used.
It is made of the same material as B9, but has a different curing reactivity. Since the other points are the same as those in the second embodiment, description thereof will be omitted. The method of manufacturing the bare chip module is also the same as that described in the fifth embodiment, and therefore the description thereof is omitted. In the present embodiment, both thermosetting resin materials A and B are rubber-modified epoxy resin. Others are the same as those in the fifth embodiment.

【0069】本発明のACFでは上記した構成、具体的に
は絶縁樹脂B9はシート状の絶縁樹脂A5に比べ硬化反応が
進んでおり硬い状態にあるので、実装時に必要とする加
圧量が少なくても良く、その結果としてベアチップ1及
び回路基板3に与えるダメージが少なくなるので、更に
品質の高い安定した電気的接続が行なえる。この理由
は、電気的接続は導電性粒子群6が絶縁樹脂A5を加圧
により押し退けてバンプ2と搭載パッド4に当接するこ
とにより確立するが、本構成の場合、硬い状態にある絶
縁樹脂B9からなる導電性粒子群6が、軟らかい状態にあ
る絶縁樹脂A5中を加えられる圧力が極めて低い段階でも
容易に押し進むことによる。
In the ACF of the present invention, the insulating resin B9 is in a hard state because the curing reaction of the insulating resin B9 is more advanced than that of the sheet-shaped insulating resin A5, so that the amount of pressurization required at the time of mounting is small. Since, as a result, the damage to the bare chip 1 and the circuit board 3 is reduced, stable electrical connection with higher quality can be performed. The reason for this is that the electrical connection is established by the conductive particle group 6 pushing away the insulating resin A5 by pressure and contacting the bump 2 and the mounting pad 4, but in the case of this configuration, the insulating resin B9 in a hard state is formed. This is because the conductive particle group 6 composed of 6 easily pushes even in the stage where the pressure applied to the insulating resin A5 in the soft state is extremely low.

【0070】(第9の実施の形態)別の発明の一実施の
形態の電気接続部材及びそれを用いたベアチップモジュ
ールを、図8及び図9を用いて説明する。図8は本発明
の電気接続部材の構成を示す断面図であり、図9は本発
明の電気接続部材を用いたベアチップモジュールの構成
を示す断面図である。
(Ninth Embodiment) An electric connection member and a bare chip module using the same according to another embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a sectional view showing the structure of the electrical connecting member of the present invention, and FIG. 9 is a sectional view showing the structure of a bare chip module using the electrical connecting member of the present invention.

【0071】図において10は接着層である。また本実
施の形態においては、5のシート状の絶縁樹脂Aは熱硬
化型樹脂材料からなる。その他については、第5の実施
の形態と同一であるので説明を省略する。ベアチップモ
ジュールの製造方法も、第5の実施の形態に記載したの
と同一であるので説明を省略する。
In the figure, 10 is an adhesive layer. In the present embodiment, the sheet-shaped insulating resin A of 5 is made of a thermosetting resin material. Since the other points are the same as those in the fifth embodiment, description thereof will be omitted. The manufacturing method of the bare chip module is also the same as that described in the fifth embodiment, and therefore its description is omitted.

【0072】シート状絶縁樹脂A及び接着層はゴム変性
エポキシ樹脂である。その他については、第5の実施の
形態と同じである。
The sheet-shaped insulating resin A and the adhesive layer are rubber-modified epoxy resins. Others are the same as those in the fifth embodiment.

【0073】本発明の電気接続部材は、5のシート状の
絶縁樹脂A表裏2面に接着層10を形成した構成として
いる。これにより、シート状の絶縁樹脂A5に対する必
要な接着強度の要求は少なくなるので、硬化が略完了し
た樹脂材料を用いても良い。その結果として、導電性粒
子群6を構成する導電性粒子7がベアチップモジュール
製造のプロセス中における加熱処理によって絶縁樹脂A
5が溶融軟化することにより広がることがなく、隣接す
る導電性粒子群6間での初期的なショート発生が抑制さ
れる。従って、更に狭い接続ピッチでの接続も可能とな
る事から、高い品質を有する電気的接続を安定して行な
える。
The electrical connecting member of the present invention has a structure in which the adhesive layer 10 is formed on the two front and back surfaces of the sheet-shaped insulating resin A of 5. As a result, the required adhesive strength with respect to the sheet-shaped insulating resin A5 is reduced, so that a resin material that has been substantially cured may be used. As a result, the conductive particles 7 constituting the conductive particle group 6 are heated by the insulating resin A by the heat treatment during the process of manufacturing the bare chip module.
5 does not spread due to melting and softening, and the occurrence of an initial short circuit between adjacent conductive particle groups 6 is suppressed. Therefore, it is possible to connect at a narrower connection pitch, and stable electrical connection with high quality can be performed.

【0074】また、図に示すように導電性粒子群6の両
端がシート状の絶縁樹脂A5から露出した構成とする
と、より安定した電気的接続が行なえる。
Further, if both ends of the conductive particle group 6 are exposed from the sheet-like insulating resin A5 as shown in the figure, more stable electrical connection can be achieved.

【0075】(第10の実施の形態)別の発明の別の実
施の形態における電気接続部材及びそれを用いたベアチ
ップモジュールを、図10を用いて説明する。図10は
本発明の電気接続部材を用いたベアチップモジュールの
構成を示す断面図である。
(Tenth Embodiment) An electrical connecting member and a bare chip module using the same according to another embodiment of the invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view showing the structure of a bare chip module using the electrical connecting member of the present invention.

【0076】図10において導電性粒子群6は導電性粒
子7の集合体と絶縁樹脂B9により構成されている以外
は、第9の実施の形態と同一であるので説明を省略す
る。なお本実施の形態においては、絶縁樹脂B9は熱硬化
型樹脂材料からなる。また、ベアチップモジュールの製
造方法は、第5の実施の形態に記載したのと同一である
ので説明を省略する。
In FIG. 10, the conductive particle group 6 is the same as that of the ninth embodiment except that it is composed of an aggregate of the conductive particles 7 and the insulating resin B9, and the description thereof will be omitted. In this embodiment, the insulating resin B9 is made of a thermosetting resin material. Further, the method of manufacturing the bare chip module is the same as that described in the fifth embodiment, and therefore its explanation is omitted.

【0077】絶縁樹脂Bはゴム変性エポキシ樹脂であ
る。その他については第9の実施の形態と同じである。
The insulating resin B is a rubber-modified epoxy resin. Others are the same as those in the ninth embodiment.

【0078】本発明の電気接続部材では、第9の実施の
形態に記載した発明の効果に付加して、第2の実施の形
態に記載したのと同様に以下の効果も併せ持つ。具体的
には上記した構成において、シート状の絶縁樹脂A5と
絶縁樹脂B9の弾性率が異なる場合、即ち絶縁樹脂A5が絶
縁樹脂B9に比べて弾性率が高い場合、更に高い接続品質
が得られる。また、絶縁樹脂A5と絶縁樹脂B9のガラス転
移温度が異なる場合、即ち、絶縁樹脂A5のガラス転移温
度が絶縁樹脂B9に比べ高い場合、特に高温環境下におい
てより高い接続品質が得られる。
In addition to the effects of the invention described in the ninth embodiment, the electrical connecting member of the present invention also has the following effects in the same manner as described in the second embodiment. Specifically, in the above configuration, if the sheet-shaped insulating resin A5 and the insulating resin B9 have different elastic moduli, that is, if the insulating resin A5 has a higher elastic modulus than the insulating resin B9, higher connection quality can be obtained. . Further, when the glass transition temperatures of the insulating resin A5 and the insulating resin B9 are different, that is, when the glass transition temperature of the insulating resin A5 is higher than that of the insulating resin B9, higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment.

【0079】(第11の実施の形態)別の発明の別の実
施の形態における電気接続部材及びそれを用いたベアチ
ップモジュールを、図10を用いて説明する。
(Eleventh Embodiment) An electrical connecting member and a bare chip module using the same according to another embodiment of the invention will be described with reference to FIG.

【0080】本実施の形態においては、9の絶縁樹脂B
が熱可塑型樹脂材料からなる点が、第9の実施の形態と
異なる。その他については同一であり説明を省略する。
ベアチップモジュールの製造方法も、第5の実施の形態
に記載したのと同一であるので説明を省略する。
In this embodiment, the insulating resin B of 9 is used.
Differs from the ninth embodiment in that is made of a thermoplastic resin material. Others are the same and the description is omitted.
The manufacturing method of the bare chip module is also the same as that described in the fifth embodiment, and therefore its description is omitted.

【0081】本実施の形態の電気接続部材では、第9の
実施の形態に記載した発明の効果に付加して、第4の実
施の形態に記載したのと同様に以下の効果も併せ持つ。
In addition to the effects of the invention described in the ninth embodiment, the electrical connecting member of the present embodiment also has the following effects in the same manner as described in the fourth embodiment.

【0082】即ち、絶縁樹脂B9は熱可塑型絶縁樹脂で
あるので、特に高温環境下においてより高い接続品質が
得られる。また、ベアチップモジュール製造プロセス中
では、電気的接続部位にシリカフィラー8などの異物が
噛み込んだ際にも、加えられる圧力が極めて低い段階で
容易に導電性粒子群6に埋没するので、極めて安定して
電気的接続を確保できることとなる。
That is, since the insulating resin B9 is a thermoplastic type insulating resin, higher connection quality can be obtained especially in a high temperature environment. Further, in the bare chip module manufacturing process, even when foreign matter such as silica filler 8 is caught in the electrical connection site, it is easily buried in the conductive particle group 6 when the applied pressure is extremely low, so that it is extremely stable. Then, electrical connection can be secured.

【0083】また、全ての実施の形態においてモジュー
ル構成ではベアチップ1と回路基板3の電気的接続を示
しているが、これはチップ抵抗などの電子部品と回路基
板、回路基板同士の電気的接続などあらゆる電気的接続
にも適用可能である。また、ベアチップ1には金バンプ
2が形成しているが、金バンプ2以外の材質でも良い。
また、要求される品質レベルに応じては、特にバンプを
形成しなくても良い。
In all of the embodiments, the bare chip 1 and the circuit board 3 are electrically connected to each other in the module configuration. However, this is an electrical connection between an electronic component such as a chip resistor and a circuit board, or between circuit boards. It can also be applied to any electrical connection. Further, although the gold bump 2 is formed on the bare chip 1, a material other than the gold bump 2 may be used.
Further, depending on the required quality level, it is not necessary to form bumps.

【0084】[0084]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電気接続
部材とそれを用いた電気部品は、従来例に比べて、導電
性粒子の塑性変形がなくなり復元力を有することによ
り、絶縁樹脂の劣化に伴う弛緩作用に追従可能となり、
極めて接続品質を有する電気部品を製造できるという効
果を有する。また、実装工程において電気接続部に噛み
込んだ電気接続部材に含まれるシリカフィラーは容易に
導電性粒子群に埋没するので、安定して電気部品を製造
できるという効果も有する。
As described above, the electric connecting member of the present invention and the electric component using the electric connecting member have a resilience by eliminating the plastic deformation of the conductive particles, as compared with the conventional example, so that the insulating resin It becomes possible to follow the relaxation action due to deterioration,
It has an effect that an electric component having extremely high connection quality can be manufactured. In addition, since the silica filler contained in the electrical connecting member that has been bitten into the electrical connecting portion in the mounting step is easily buried in the conductive particle group, there is an effect that a stable electrical component can be manufactured.

【0085】また、樹脂Aの特性と樹脂Bの特性を、そ
れぞれ工夫して組み合わせることにより、更に高い品質
を有する電気部品を、より安定して製造できるという効
果も有する。
Further, by devising and combining the characteristics of the resin A and the characteristics of the resin B, it is possible to more stably manufacture an electric component having higher quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態1におけるACPを接続部材と
したベアチップモジュールの構成を説明する断面図。
FIG. 1 is a sectional view illustrating a configuration of a bare chip module using an ACP as a connecting member according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同、ACPを構成する導電性粒子群を加圧した状
態を説明する断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state where the conductive particle group forming the ACP is pressurized.

【図3】同、ACPにおいてシリカフィラー噛み込みによ
る接続不良を発生の回避するメカニズムを説明する断面
図。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a mechanism for avoiding the occurrence of defective connection due to the silica filler being caught in the ACP.

【図4】本発明の実施形態2〜4におけるACPを接続部
材としたベアチップモジュールの構成を説明する断面
図。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a bare chip module using ACPs as connection members according to Embodiments 2 to 4 of the present invention.

【図5】本発明の実施の形態5におけるACPを構成する
導電性粒子群の拡大断面図。
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a conductive particle group that constitutes an ACP according to a fifth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施の形態6におけるACFを接続部材
としたベアチップモジュールの構成を説明する断面図。
FIG. 6 is a sectional view illustrating a configuration of a bare chip module using an ACF as a connecting member according to a sixth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施の形態7〜8におけるACFを接続
部材としたベアチップモジュールの構成を説明する断面
図。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a bare chip module using ACFs as connection members according to Embodiments 7 to 8 of the present invention.

【図8】本発明の実施の形態9における電気接続部材の
構成を説明する断面図。
FIG. 8 is a sectional view illustrating a configuration of an electrical connecting member according to a ninth embodiment of the present invention.

【図9】同、ベアチップモジュールの構成を説明する断
面図。
FIG. 9 is a sectional view illustrating the configuration of the bare chip module of the same.

【図10】本発明の実施の形態10における接続部材を
用いたベアチップモジュールの構成を説明する断面図。
FIG. 10 is a sectional view illustrating the configuration of a bare chip module using a connecting member according to a tenth embodiment of the present invention.

【図11】従来のACPを接続部材としたベアチップモジ
ュールの構成を説明する断面図。
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a bare chip module using a conventional ACP as a connecting member.

【図12】従来のACFを接続部材としたベアチップモジ
ュールの構成を説明する断面図。
FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a bare chip module using a conventional ACF as a connecting member.

【図13】同、ACP樹脂の弛緩作用による接続不良を説
明する断面図。
FIG. 13 is a cross-sectional view explaining a connection failure due to a relaxation action of the ACP resin.

【図14】同、導電性粒子として樹脂ボールを採用した
場合の接続不良を説明する断面図。
FIG. 14 is a sectional view for explaining a connection failure when resin balls are used as the conductive particles.

【図15】同、シリカフィラー噛み込みによる接続不良
を発生を説明する断面図。
FIG. 15 is a sectional view for explaining the occurrence of connection failure due to the silica filler being bitten in.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,101 ベアチップモジュール 2,102 Auバンプ 3,103 回路基板 4,104 搭載パッド 5,105 絶縁樹脂A 6 導電性粒子群 7,106 導電性粒子 8,114 シリカフィラー 9 絶縁樹脂B 10 接着層 105 ACPを構成する液状絶縁樹脂 107 ACFを構成するシート状絶縁樹脂 108 ACP 109 ACF 110 樹脂ボール 111 Ni皮膜 112 Au皮膜 113 クラック 1,101 Bare chip module 2,102 Au bump 3,103 circuit board 4,104 mounting pad 5,105 Insulation resin A 6 Conductive particle group 7,106 conductive particles 8,114 Silica filler 9 Insulating resin B 10 Adhesive layer 105 Liquid insulating resin that constitutes ACP 107 Sheet-shaped insulating resin that constitutes ACF 108 ACP 109 ACF 110 resin balls 111 Ni film 112 Au film 113 crack

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/36 H05K 3/36 A Fターム(参考) 5E085 BB08 BB17 BB30 DD06 JJ36 5E319 AA01 AC01 BB11 CC61 CD26 GG20 5E344 CD02 DD06 EE16 5G301 DA03 DA11 DA42 DD03 5G307 HA02 HB03 HC01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H05K 3/36 H05K 3/36 AF terms (reference) 5E085 BB08 BB17 BB30 DD06 JJ36 5E319 AA01 AC01 BB11 CC61 CD26 GG20 5E344 CD02 DD06 EE16 5G301 DA03 DA11 DA42 DD03 5G307 HA02 HB03 HC01

Claims (24)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 微細な導電性粒子が集合した導電性粒子
群が、液状の電気絶縁性を有する樹脂中にほぼ均一に分
散している電気接続部材。
1. An electrical connecting member in which a group of conductive particles in which fine conductive particles are aggregated is dispersed almost uniformly in a liquid resin having an electrically insulating property.
【請求項2】 前記絶縁性を有する樹脂は、熱硬化型樹
脂である請求項1に記載の電気接続部材。
2. The electrical connecting member according to claim 1, wherein the resin having an insulating property is a thermosetting resin.
【請求項3】 導電性粒子群と、液状の電気絶縁性を有
する樹脂との組成割合が、導電性粒子群を100重量部
としたとき、樹脂が500〜1500重量部の範囲であ
る請求項1または2に記載の電気接続部材。
3. The composition ratio of the conductive particle group and the liquid electrically insulating resin is in the range of 500 to 1500 parts by weight when the conductive particle group is 100 parts by weight. The electrical connection member according to 1 or 2.
【請求項4】 液状の電気絶縁性を有する樹脂が樹脂A
であり、導電性粒子群中及びその周囲には別の未硬化で
液状または固体状態の電気絶縁性樹脂Bが存在している
請求項1〜3のいずれかに記載の電気接続部材。
4. A liquid A resin having electrical insulation is a resin A.
The electrical connection member according to any one of claims 1 to 3, wherein another uncured liquid or solid state electrically insulating resin B is present in and around the conductive particle group.
【請求項5】 前記樹脂A及びBは、ともに熱硬化型樹
脂である請求項4に記載の電気接続部材。
5. The electrical connecting member according to claim 4, wherein both the resins A and B are thermosetting resins.
【請求項6】 樹脂Aと樹脂Bの硬化開始温度が異な
り、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項4に記載
の電気接続部材。
6. The electrical connecting member according to claim 4, wherein the curing start temperatures of the resin A and the resin B are different, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項7】 樹脂Aと樹脂Bの弾性率が異なり、樹脂
Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項4に記載の電気接
続部材。
7. The electrical connecting member according to claim 4, wherein the elastic moduli of the resin A and the resin B are different, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項8】 樹脂Aと樹脂Bのガラス転移温度が異な
り、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項4に記載
の電気的接続部材。
8. The electrical connecting member according to claim 4, wherein the resin A and the resin B have different glass transition temperatures, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項9】 導電性粒子群を100重量部としたと
き、樹脂A及び樹脂Bの合計が500〜1500重量部
の範囲の範囲である請求項4〜8のいずれかに記載の電
気接続部材。
9. The electrical connecting member according to claim 4, wherein the total amount of the resin A and the resin B is in the range of 500 to 1500 parts by weight when the conductive particle group is 100 parts by weight. .
【請求項10】 樹脂Aは熱硬化型樹脂であり、樹脂B
は熱可塑型樹脂である請求項4に記載の電気接続部材。
10. The resin A is a thermosetting resin, and the resin B
Is a thermoplastic resin, The electrical connecting member according to claim 4.
【請求項11】 微細な導電性粒子が集合した導電性粒
子群が、接着硬化性能を有するシート状の電気絶縁性を
有する樹脂中に略均一に分散している電気接続部材。
11. An electrical connecting member in which a group of conductive particles, in which fine conductive particles are aggregated, is dispersed substantially uniformly in a sheet-like resin having an adhesive curing property and having an electrical insulating property.
【請求項12】 前記接着硬化性能を有するシート状の
電気絶縁性を有する樹脂は、未硬化状態の熱硬化型樹脂
である請求項11に記載の電気接続部材。
12. The electrical connecting member according to claim 11, wherein the sheet-like resin having an adhesive curing property and having an electrical insulating property is an uncured thermosetting resin.
【請求項13】 前記接着硬化性能を有するシート状の
電気絶縁性を有する樹脂は、熱可塑型樹脂である請求項
11に記載の電気接続部材。
13. The electrical connecting member according to claim 11, wherein the sheet-shaped resin having an adhesive and hardening property and having an electrical insulating property is a thermoplastic resin.
【請求項14】 導電性粒子群と、液状の電気絶縁性を
有する樹脂との組成割合が、導電性粒子群を100重量
部としたとき、樹脂が500〜1500重量部の範囲で
ある請求項11〜13のいずれかに記載の電気接続部
材。
14. The composition ratio of the electrically conductive particle group and the liquid electrically insulating resin is in the range of 500 to 1,500 parts by weight based on 100 parts by weight of the electrically conductive particle group. The electrical connection member according to any one of 11 to 13.
【請求項15】 前記導電性粒子群中及びその周囲に
は、樹脂Aとは別の固化状態の電気絶縁性を有する樹脂
Bが存在している請求項12〜14のいずれかに記載の
電気接続部材。
15. The electricity according to claim 12, wherein a resin B having an electric insulation property in a solidified state different from the resin A is present in and around the conductive particle group. Connection member.
【請求項16】 前記電気絶縁性を有する樹脂A及びB
は、共に熱硬化型樹脂である請求項15に記載の電気接
続部材。
16. The resins A and B having the electrical insulation property
16. The electric connecting member according to claim 15, wherein both are thermosetting resins.
【請求項17】 樹脂Aと樹脂Bの硬化開始温度が異な
り、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項15に記
載の電気接続部材。
17. The electrical connecting member according to claim 15, wherein the curing start temperatures of the resin A and the resin B are different, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項18】 樹脂Aと樹脂Bの弾性率が異なり、樹
脂Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項15に記載の電
気接続部材。
18. The electrical connecting member according to claim 15, wherein the elastic moduli of the resin A and the resin B are different, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項19】 樹脂Aと樹脂Bのガラス転移温度が異
なり、樹脂Aの方が樹脂Bに比較して高い請求項15に
記載の電気的接続部材。
19. The electrical connecting member according to claim 15, wherein the glass transition temperatures of the resin A and the resin B are different, and the resin A is higher than the resin B.
【請求項20】 導電性粒子群を100重量部としたと
き、樹脂A及び樹脂Bの合計が500〜1500重量部
の範囲である請求項15〜19のいずれかに記載の電気
接続部材。
20. The electrical connecting member according to claim 15, wherein the total amount of the resin A and the resin B is in the range of 500 to 1500 parts by weight when the conductive particle group is 100 parts by weight.
【請求項21】 シートの表面及び裏面から選ばれる少
なくとも一面にはさらに接着硬化する接着層を形成した
請求項11〜20のいずれかに記載の電気接続部材。
21. The electrical connecting member according to claim 11, wherein an adhesive layer that is adhesively cured is further formed on at least one surface selected from the front surface and the back surface of the sheet.
【請求項22】 前記シート状の電気絶縁性を有する樹
脂は、硬化がほぼ完了した状態の熱硬化型樹脂材料であ
る請求項11〜21のいずれかに記載の電気接続部材。
22. The electrical connecting member according to claim 11, wherein the sheet-shaped resin having electrical insulation is a thermosetting resin material in a state where curing is substantially completed.
【請求項23】 前記導電性粒子の一部は、前記シート
表面に露出している請求項11〜22のいずれかに記載
の電気接続部材。
23. The electrical connecting member according to claim 11, wherein a part of the conductive particles is exposed on the surface of the sheet.
【請求項24】 請求項1〜23のいずれかに記載の電
気接続部材を用いて、電極端子とこれと電気的に接続す
る別の電極端子が当接する位置にて、前記電気接続部材
中の前記導電性粒子群を介して電気的に接続した状態で
接続され、前記電気接続部材中の樹脂が硬化されている
電気部品。
24. The electric connecting member according to claim 1, wherein the electrode terminal and another electrode terminal electrically connected thereto are in contact with each other in the electric connecting member. An electrical component which is connected in a state of being electrically connected through the conductive particle group and in which a resin in the electrical connection member is cured.
JP2001199143A 2001-06-29 2001-06-29 Electrical connection members and electrical components using them Withdrawn JP2003017149A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001199143A JP2003017149A (en) 2001-06-29 2001-06-29 Electrical connection members and electrical components using them

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001199143A JP2003017149A (en) 2001-06-29 2001-06-29 Electrical connection members and electrical components using them

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003017149A true JP2003017149A (en) 2003-01-17

Family

ID=19036474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001199143A Withdrawn JP2003017149A (en) 2001-06-29 2001-06-29 Electrical connection members and electrical components using them

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003017149A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018070208A1 (en) * 2016-10-11 2018-04-19 日立化成株式会社 Connection structure, circuit connection member, and adhesive composition
JP2020140171A (en) * 2019-03-01 2020-09-03 株式会社ジャパンディスプレイ Display device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018070208A1 (en) * 2016-10-11 2018-04-19 日立化成株式会社 Connection structure, circuit connection member, and adhesive composition
JPWO2018070208A1 (en) * 2016-10-11 2019-08-08 日立化成株式会社 Connection structure, circuit connection member, and adhesive composition
JP2020140171A (en) * 2019-03-01 2020-09-03 株式会社ジャパンディスプレイ Display device
WO2020179206A1 (en) * 2019-03-01 2020-09-10 株式会社ジャパンディスプレイ Display device
JP7264669B2 (en) 2019-03-01 2023-04-25 株式会社ジャパンディスプレイ Display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6338195B1 (en) Connection sheet and electrode connection structure for electrically interconnecting electrodes facing each other, and method using the connection sheet
CN101361413B (en) Electronic component mounting adhesive and electronic component mounting structure
JP2848357B2 (en) Semiconductor device mounting method and its mounting structure
US6270363B1 (en) Z-axis compressible polymer with fine metal matrix suspension
JP3910527B2 (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
KR100288035B1 (en) Flip chip connection method, flip chip connection structure and electronic device using same
WO2009096216A1 (en) Electronic part mounting structure, electronic part mounting method, and electronic part mounting substrate
CN101395976A (en) Electronic component mounted body, electronic component with solder bump, solder resin mixture material, electronic component mounting method, and electronic component manufacturing method
JPWO2008136419A1 (en) Semiconductor device, manufacturing method, and repair method
JP3436170B2 (en) Anisotropic conductive film, semiconductor device using the same, and method of manufacturing the same
JP5052605B2 (en) Semiconductor chip
JP3520208B2 (en) Method of mounting semiconductor element on circuit board and semiconductor device
JP2003017149A (en) Electrical connection members and electrical components using them
JP3575384B2 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JPH114064A (en) Anisotropic conductive resin and electronic component mounting structure using the same
JP5245270B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP4378788B2 (en) IC chip connection method
JP3566680B2 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JPH10313022A (en) Semiconductor device
JP3120837B2 (en) Resin film for electrical connection and electrical connection method using the resin film
JPH09172110A (en) Semiconductor device
JP3014020B2 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JP2957955B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JPH1154555A (en) Semiconductor device mounting structure, method of manufacturing the same, and anisotropic conductive film
KR100735211B1 (en) Anisotropic conductive film with conductive particles with excellent connection reliability

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080902