JP2003007018A - ディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置 - Google Patents
ディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置Info
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Abstract
しめると共にヘッドクランプの軽量化を図り、高速化、
調整の容易化などを図る。 【解決手段】 ディスク特性評価装置には、ヘッドクラ
ンプ装置9に備えたヘッドクランプ17に着脱自在なサ
スペンション11の先端部に磁気ヘッド5が備えられて
いる。ヘッドローディング装置1はサスペンションの先
端側が磁気ディスク3の面に対して接近、離反するロー
ド・アンロード方向に移動可能に設けられている。ヘッ
ドローディング装置1のロード本体29はヘッドクラン
プ装置9の周辺外部に近接して設けられる。ヘッドロー
ディング装置1の移動機構30がロード本体29に上下
方向へ回動自在に軸承され、移動機構30の移動動作に
伴ってサスペンション11の先端部に係合してサスペン
ション11の先端側を回動せしめて磁気ヘッド5を磁気
ディスク3からロード・アンロードせしめる爪部として
のワイヤ63が移動機構30の先端部に設けられる。
Description
価装置用ヘッドローディング装置に関する。
つれて、基幹部品である磁気ディスク、磁気ヘッドの電
磁変換特性を測定する評価装置の性能向上を図る必要が
ある。
ヘッドのコア幅が狭くなる傾向にあるため、正確な測定
を行うためには、評価装置自体のトラック位置決め精度
の向上が不可欠であり、従来パルスモータ駆動あるいは
超音波モータなどで駆動される粗動ステージ上に、ピエ
ゾ素子による微動ステージを組み合わせることにより、
磁気ヘッドの位置決め精度の向上が図られている。
従来例として、図8,図9に示されているような従来の
ディスク特性評価装置101がある。
部にスピンドルモータ103(エアスピンドル)を備え
たスピンドルモータハウジング105が定盤状のベース
107の上面の取付面に設けられている。スピンドルモ
ータハウジング105の上部にはスピンドルモータ10
3により回転駆動されるディスククランプ109が設け
られ、このディスククランプ109の上端部に磁気ディ
スク111がクランプ・アンクランプされるように構成
されている。
ィスククランプ109に対して図8において上方に隣接
した位置に、磁気ヘッド113,115をX軸方向(図
8において左右方向)に位置決めするための粗動ステー
ジ117(Xステージ)が設けられており、この粗動ス
テージ117はXステージ駆動用の駆動モータ119に
よりX軸ボールねじ121を介してX軸方向に駆動され
る。
気ディスク111と平行して平滑に固定されたセグメン
トギヤ123が設けられており、このセグメントギヤ1
23は半円弧状に形成され外周端縁にラック125が設
けられている。
らなる一対の磁気ヘッド113,115を備えたヘッド
クランプ装置127を設けたヘッドローダ129が上記
のセグメントギヤ123の上を半円弧状に移動自在に設
けられており、前記ヘッドローダ129にはセグメント
ギヤ123のラック125に噛合するピニオン131が
設けられている。このピニオン131はヘッドローダ装
置としての例えばヘッドローダ129に設けられたスキ
ュー角用モータにより減速機(図示省略)を経て回転伝
達・駆動されて、セグメントギヤ123のラック125
と噛み合い、その外周面に沿って回転角を90°とする
回転移動が行われることにより、ヘッドローダ129が
回転して、磁気ヘッド113,115の位置決めが行わ
れる。なお、図8において磁気ヘッド113,115の
位置と磁気ディスク111の回転中心の位置はX軸方向
に同一線上にある。
示されているようにヘッドローダ129の上部をX軸方
向に微小移動せしめるためのピエゾアクチュエータ13
3が設けられている。
装置127はダウンフェース側の上ヘッドクランプ13
5(図9では図示省略)とアップフェース側の下ヘッド
クランプ137とからなり、各上、下ヘッドクランプ1
35,137は上下に対称をなして構造的にはほぼ同様
であるので、下ヘッドクランプ137について詳しく説
明する。
139を介して上下動自在に設けられており、下取付用
ベース139に対して着脱可能に設けられている。下ヘ
ッドクランプ137の前方端にはクランプ部141を介
して磁気ヘッド115(アップフェース)を先端に備え
たサスペンション143がクランプされている。
装置がヘッドローダ129に内蔵されており、各上、下
ヘッドクランプ135,137はそれぞれ独立して上下
動制御され、磁気ヘッド113,115が磁気ディスク
111を上下方向から挟むように上下方向に進退移動可
能である。
3の先端部にはランプロード構造用の磁気ヘッド115
が備えられており、サスペンション143の後端はベー
スプレート145に一体的に設けられている。なお、ラ
ンプロード構造用の磁気ヘッド115には先端にランプ
ロード用の突起部147が付いている。
ス139に着脱自在なインサートブロック149の前方
端には基部側が平面上でT字形状をなし且つ先端側が細
型に延伸された形状をなすFBマウントブロック151
が一体的に設けられている。
側の上面には、ベースプレート145を取り付けるため
のフィクスチャーベース153が設けられ、このフィク
スチャーベース153の上面に載置したベースプレート
145の後端部をクランプするためのクランプ部141
を備えたクランプブロック155がガイドレール157
を介して前後方向にスライド自在に設けられている。
部の上面にはヘッドローディング装置159が設けられ
ている。このヘッドローディング装置159はワイヤベ
ース161がガイドレール163を介して前後方向にス
ライド自在に設けられており、ワイヤベース161は断
面L字形状をなしており、ワイヤベース引張用のスプリ
ング165により常時後方側に引っ張られる方向に付勢
され、所定の原位置で停止するように設けられている。
で2つのワイヤ支持部材167がランプロード用の突起
部147の左右両側に位置してワイヤベース161の上
面から図10において上方へ突設されており、上記の2
つのワイヤ支持部材167の上端にはワイヤ169がほ
ぼ水平方向に緊張した状態で取り付けられている。つま
り、2つのワイヤ支持部材167とワイヤ169とから
門型に形成されて、ワイヤ169の図10において下方
側に上記の突起部147が嵌挿可能な間隔を有する構造
となっている。
クランプ部141によりクランプされると、サスペンシ
ョン143の先端側が若干上方へ跳ね上げられた状態に
なる。ランプロード用の突起部147がワイヤ169の
下をくぐるように例えば作業者の手でサスペンション1
43を押し下げながらワイヤベース161を前後に移動
せしめることにより、突起部147が原位置にてワイヤ
169で下方へ押さえられてサスペンション143が上
下方向に安定した状態になる。
37が上昇して、図11(A)に示されているように磁
気ヘッド115の上面が磁気ディスク111の下面に所
定の位置へ位置決めされ、磁気ディスク111の回転時
にサスペンション143の突起部147がワイヤ169
から離れて磁気ヘッド115と磁気ディスク111の間
に正常なエアギャップが生じて読み取り/書き込みが行
われる。
プ137が下降して、図11(B)に示されているよう
に磁気ヘッド115の上面が磁気ディスク111の下面
から離反する。
101においては、磁気ヘッド113,115の特性を
評価する場合、磁気ディスク111がスピンドルモータ
103により所定の回転数に設定された後、粗動ステー
ジ117が例えばトラック幅方向のX軸方向に送られ
て、磁気ヘッド113,115が所定位置に位置決めさ
れる。
セット角であるスキュー角が設定された後、HGA先端
部の磁気ヘッド113,115が、所定の浮上量になる
ようにヘッドローダ129によりロードされる。つま
り、上ヘッドクランプ135と下ヘッドクランプ137
がそれぞれ上下動調整される。
ク位置をトラック幅方向に微動させながら特性評価が行
われるトラックプロファイル特性評価や、エラーレート
特性評価(バスタブ特性)においては、ピエゾアクチュ
エータ133によって磁気ヘッド113,115を微小
量だけオフセットさせながら測定することにより磁気ヘ
ッド113,115の位置決め分解能を向上させてい
る。
スク特性評価装置101においては、磁気ヘッド11
3,115をロード・アンロードせしめるときは、上、
下ヘッドクランプ135,137が磁気ディスク111
の面に対して平行な状態で垂直方向に上下動する構造で
あるので、上、下ヘッドクランプ135,137が複雑
な機構であるためにヘッドクランプ装置127の昇降駆
動機構が高い剛性を必要とし、この昇降駆動機構自体も
複雑でコスト高であるという問題点があった。
27がピエゾアクチュエータ133の上に乗っているの
で、重量が大きいためにピエゾアクチュエータ133に
よる微調整が難しいという問題点があった。
されたもので、その目的は、ヘッドクランプのロード機
構の剛性を向上せしめると共にヘッドクランプの軽量化
を図り、高速化、調整の容易化などを図り得るディスク
特性評価装置用ヘッドローディング装置を提供すること
にある。
に請求項1によるこの発明のディスク特性評価装置用ヘ
ッドローディング装置は、同心円の複数のトラックを備
えた磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、磁
気ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行う
べく所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めすると
共に、前記磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンション
を着脱自在に設けたヘッドクランプ装置と、前記サスペ
ンションの先端側を前記磁気ディスクの面に対して接
近、離反するロード・アンロード方向に移動可能に設け
たヘッドローディング装置とを備え、このヘッドローデ
ィング装置のロード本体を、前記ヘッドクランプ装置の
周辺外部に近接して設け、このロード本体に、前記ロー
ド・アンロード方向と同方向へ移動可能な移動機構を設
け、この移動機構の移動動作に伴って前記サスペンショ
ンの先端部に係合してサスペンションの先端側を移動せ
しめて磁気ヘッドを磁気ディスクからロード・アンロー
ドせしめる係合爪部を前記移動機構の先端部に設けてな
ることを特徴とするものである。
先端側が磁気ディスクの面に対して接近、離反するロー
ド・アンロード方向と同方向に移動することにより、ロ
ードアームの先端部の係合爪部がサスペンションの先端
部に係合するので、サスペンションの磁気ヘッドは磁気
ディスクに対して容易にロード・アンロードされる。ヘ
ッドローディング装置とヘッドクランプ装置とは別々に
設けられているので、ヘッドローディング装置の高剛性
化が図られると共に、ヘッドクランプ装置を含めて全体
的に簡単な構造となって部品点数が低減することからコ
ストダウンが図られる。
量化に伴ってディスク特性評価の高速化、ロード・アン
ロード作用の調整容易化、組み立て容易化が図られる。
磁気ヘッド並びに磁気ディスクを損傷するなどの事故を
防止することになる。
価装置用ヘッドローディング装置は、請求項1記載のデ
ィスク特性評価装置用ヘッドローディング装置におい
て、前記係合爪部が、前記移動機構の先端部に前記サス
ペンションの先端部を嵌挿可能な間隔を介して前記ロー
ド・アンロード方向とほぼ同方向に向けて突設した2つ
の線材支持部材と、前記2つの線材支持部材の間に前記
サスペンションの先端部をサスペンションの回動方向の
所定位置に押さえるべく磁気ディスクの面に対してほぼ
平行方向に緊張して設けた線材と、からなることを特徴
とするものである。
ディスクの面に対してほぼ平行方向に緊張して設けられ
ているのでサスペンションの先端部に容易に係合し、サ
スペンションの磁気ヘッドは磁気ディスクに対して確実
にロード・アンロードされる。
価装置用ヘッドローディング装置は、請求項1又は2記
載のディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置に
おいて、前記ロード本体に、前記移動機構のロード・ア
ンロード量を規制するストッパ部材を前記移動機構の移
動軌跡上に微調整移動自在に設けてなることを特徴とす
るものである。
ロード量はストッパ部材により容易に微調整されるの
で、安定したディスク特性評価が行われる。
価装置用ヘッドローディング装置の実施の形態について
図面を参照して説明する。なお、この実施の形態に係わ
るディスク特性評価装置は、基本的には従来の技術にて
説明したように図8及び図9に示されているディスク特
性評価装置とほぼ同様であるので詳細な説明は省略し、
異なる点について説明する。
の形態のヘッドローディング装置1は磁気ディスク3に
対して磁気ヘッド5を上下動せしめるロード機構を備え
ており、ピエゾアクチュエータ7の外側に配置されて、
ヘッドクランプ装置9とは分離されている。
にランプロード構造用の磁気ヘッド5が備えられてお
り、このサスペンション11の先端にはランプロード用
の突起部13が付いている。また、サスペンション11
の後端はベースプレート15に一体的に設けられてい
る。
されているようにヘッドクランプ17がピエゾアクチュ
エータ7の上に乗せられており、ヘッドクランプ17の
前方端にはこの実施の形態では側面で基部側が縦片のL
字形状をなし且つ先端側に延伸された形状をなすマウン
トブロック19が一体的に設けられている。
面には、ベースプレート15を取り付けるためのフィク
スチャーベース21が設けられ、このフィクスチャーベ
ース21の上面に載置したベースプレート15の後端部
をクランプするためのクランプ部23を備えたクランプ
ブロック25がガイドレール27を介して前後方向にス
ライド自在に設けられている。
グ装置1について詳しく説明すると、ロード本体として
の例えばブロック形状をなすロードベース29がヘッド
クランプ装置9とは分離した位置に立設されており、ロ
ードベース29の図1において下方の側壁面には移動機
構30が設けられている。
ように横方向に延伸された第1係止片31のほぼ中央部
がピン32にて軸承されており、第1係止片31の両端
がピン32を支点として上下方向に揺動可能となってい
る。
ード位置ストッパ部33が設けられている。このロード
位置ストッパ部33に係合して第1係止片31の反時計
回り方向の回動を停止せしめるロードストッパピン35
がロードベース29の上部に第1ブラケット37を介し
て上下方向に位置調整可能に設けられている。より詳し
くは、ロードストッパピン35は下方へ延伸された状態
で第1ブラケット37に螺合されており、ロードストッ
パピン35の下端がロード位置ストッパ部33に当接可
能となっている。また、第1係止片31の図2において
左端の下面には第1係合部39が突設されている。
1により常時反時計回り方向へ付勢されているので、ロ
ード位置ストッパ部33がロードストッパピン35に当
接してロード位置に位置している。
おいて右側には、磁気ヘッド5をアンロードすべく前記
第1係止片31の右端に係合して第1係止片31を時計
回り方向へ回動せしめるためのロード・アンロード作動
部材43が図2において左方向へ進退移動自在に設けら
れている。なお、ロード・アンロード作動部材43の先
端部の下端はテーパ面45となっている。
おいて左側に横方向に延伸された第2係止片47のほぼ
中央部がピン48にて軸承されており、第2係止片47
の両端がピン48を支点として上下方向に揺動可能とな
っている。
係合部49が前記第1係止片31の第1係合部39に係
合可能となっており、第2係止片47の図2において右
端側にはアンロード位置ストッパ部51が設けられてい
る。このアンロード位置ストッパ部51に係合して第2
係止片47の反時計回り方向の回動を停止せしめるアン
ロードストッパピン53がロードベース29の側壁に第
2ブラケット55を介して上下方向に位置調整可能に設
けられている。前記アンロードストッパピン53は下方
へ延伸された状態で第2ブラケット55に螺合されてお
り、アンロードストッパピン53の下端がアンロード位
置ストッパ部51に当接可能となっている。
7により常時反時計回り方向へ付勢されているので、第
2係止片47の右端の第2係合部49が第1係止片31
の第1係合部39に突き当てられてロード位置に保持さ
れている。なお、第2スプリング57は上記の第1スプ
リング41の付勢力より小さいものである。
には、ロードアーム59が平面上でL字形状をなし且つ
先端が図1において下方へ延伸された状態、つまりサス
ペンション11の先端の下方に位置する状態で取り付け
られている。以上のように、ロードアーム59はサスペ
ンション11の先端側が磁気ディスク3の面に対して接
近、離反するロード・アンロード方向と同方向に回動自
在に構成されている。
アーム59の回動動作に伴ってサスペンション11の突
起部13に係合してサスペンション11の先端側を回動
せしめて磁気ヘッド5を磁気ディスク3からロード・ア
ンロードせしめる係合爪部としての例えば爪部60が設
けられている。
は、例えば2つの線材支持部材としての例えばワイヤ支
持部材61がランプロード用の突起部13の左右両側に
位置してロードアーム59の上面から図6において上方
へ突設されており、上記の2つのワイヤ支持部材61の
上端には線材としての例えばワイヤ63がほぼ水平方向
に緊張した状態で取り付けられている。つまり、2つの
ワイヤ支持部材61とワイヤ63とから門型に形成され
て、ワイヤ63の図6において下方側に上記の突起部1
3が嵌挿可能な間隔を有する構造となっている。
5と磁気ディスク3とのエアギャップを考慮すると、ワ
イヤ63は、磁気ヘッド5の厚みより小さい径からなる
細線であることが望ましく、例えば直径0.1mmのピア
ノ線のように細くて強度の大きいものが望ましいが、こ
の限りではない。
後方側(図4において右方向)へスライドされた状態
で、サスペンション11と一体のベースプレート15が
フィクスチャーベース21の上面に載置され、クランプ
ブロック25を前方側(図1,図2および図4において
左方向)へスライドしてベースプレート15の後端部が
クランプブロック25にてクランプされると、サスペン
ション11の先端側が若干上方へ跳ね上げられた状態に
なる。しかし、サスペンション11は先端側が上下方向
に回動可能である。
押し下げられてランプロード用の突起部13がワイヤ6
3の下をくぐるようにして装着される。突起部13はワ
イヤ63で下方へ押さえられるので、サスペンション1
1が上下方向に、換言すれば磁気ヘッド5が磁気ディス
ク3の面に対して接近、離反するロード・アンロード方
向に安定した状態で回動可能となる。
の図2において上面に設けられており、磁気ヘッド5の
上面がワイヤ63より上方(つまり、磁気ディスク3の
面側)に位置している。
おいて左方向へ前進されると、ロード・アンロード作動
部材43の先端のテーパ面45により第1係止片31が
第1スプリング41の付勢力に抗して図3に示されてい
るようにピン32を支点として時計回り方向へ回動す
る。これに伴って、第2係止片47もピン48を支点と
して第2スプリング57の付勢力により反時計回り方向
へ回動し、図3に示されているようにアンロード位置ス
トッパ部51がアンロードストッパピン53の下端に当
接して停止する。
ロードアーム59が反時計回り方向へ回動するので、ロ
ードアーム59の先端が下降してワイヤ63がサスペン
ション11の突起部13を介してサスペンション11の
先端側を下降せしめる。磁気ヘッド5は図7に示されて
いるように磁気ディスク3の下面から離反することにな
る。このときのアンロード量はアンロードストッパピン
53の上下方向の移動調整により決定される。
ド作動部材43が図2において右方向へ後退されること
により、第1係止片31の右端の係合部が開放されるた
めに第1スプリング41の付勢力により第1係止片31
がピン32を支点として反時計回り方向へ回動し、図2
に示されているようにロード位置ストッパ部33がロー
ドストッパピン35の下端に当接して停止する。
支点として時計回り方向へ回動して前方端側のロードア
ーム59の先端が上昇するので、ワイヤ63がサスペン
ション11の突起部13を開放してサスペンション11
の先端側が上昇する。磁気ヘッド5は図6に示されてい
るように磁気ディスク3の下面のロード位置に位置決め
される。このときのロード位置はロードストッパピン3
5の上下方向の移動調整により決定される。
アンロードストッパピン53は、前記ロードアーム59
の回動軌跡上に設けられて、ロードアーム59のロード
・アンロード量を規制するストッパ部材を構成するもの
である。
回転時に、図6に示されているようにサスペンション1
1の突起部13がワイヤ63から離れて磁気ヘッド5と
磁気ディスク3の間に正常なエアギャップGが生じて読
み取り/書き込みが行われる。ちなみに、突起部13と
ワイヤ63の隙間Aは0.1mm程度であり、磁気ヘッド
5と磁気ディスク3の間のエアギャップGは実際には数
10nm(1nm=1×10−6mm)程度となる。
グ装置1は、ヘッドクランプ装置9を含めて総合的に簡
単な構造となるために、部品点数が低減するのでコスト
ダウンを図ることができ、しかも、ヘッドクランプ装置
9の軽量化に伴ってディスク特性評価の高速化、ロード
・アンロード作用の調整容易化、組み立て容易化を図る
ことができる。また、磁気ヘッド5並びに磁気ディスク
3を損傷するなどの事故を防止することができる。
定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他
の態様で実施し得るものである。
の爪部60はサスペンションの先端に前方に突出した突
起部に係合するように構成されているが、この発明のヘ
ッドローディング装置においては上記の突起部13のな
いサスペンション11に対しても適用されるものであ
る。つまり、係合爪部はサスペンション11の先端部に
係合可能に設けることができる。この「サスペンション
の先端部」とは、例えば、サスペンション11の先端と
磁気ヘッド5との間の先端部、あるいは磁気ヘッド5の
後方側近傍のサスペンション11の先端部であっても構
わない。したがって、この発明では、上記の突起部13
も含めたサスペンション11の先端部に対して適用され
るものである。
ら理解されるように、請求項1の発明によれば、移動機
構を、サスペンションの先端側が磁気ディスクの面に対
して接近、離反するロード・アンロード方向と同方向に
移動せしめて、ロードアームの先端部の係合爪部をサス
ペンションの先端部に係合せしめ、サスペンションの磁
気ヘッドを磁気ディスクに対して容易にロード・アンロ
ードできる。ヘッドローディング装置とヘッドクランプ
装置とは別々に設けたので、ヘッドローディング装置の
高剛性化を図ることができ、ヘッドクランプ装置を含め
て全体的に簡単な構造となって部品点数を低減したので
コストダウンを図ることができる。
量化できるので、ディスク特性評価の高速化、ロード・
アンロード作用の調整容易化、組み立て容易化を図るこ
とができる。また、磁気ヘッド並びに磁気ディスクを損
傷するなどの事故を防止できる。
の線材を磁気ディスクの面に対してほぼ平行方向に緊張
して設けたのでサスペンションの先端部に容易に係合で
き、サスペンションの磁気ヘッドを磁気ディスクに対し
て確実にロード・アンロードできる。
よりロードアームのロード・アンロード量を容易に微調
整できるので、安定したディスク特性評価を行うことが
できる。
ング装置並びにヘッドクランプ装置の平面図である。
ング装置のロード状態の側面図である。
ング装置のアンロード状態の側面図である。
価装置のロード状態の図である。
価装置のアンロード状態の図である。
図である。
図である。
る。
で、(B)は従来におけるアンロード状態の拡大図であ
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 同心円の複数のトラックを備えた磁気デ
ィスクを回転させながら、磁気ディスク、磁気ヘッドの
少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行うべく所定の
トラック位置に磁気ヘッドを位置決めすると共に、前記
磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを着脱自在
に設けたヘッドクランプ装置と、前記サスペンションの
先端側を前記磁気ディスクの面に対して接近、離反する
ロード・アンロード方向に移動可能に設けたヘッドロー
ディング装置とを備え、このヘッドローディング装置の
ロード本体を、前記ヘッドクランプ装置の周辺外部に近
接して設け、このロード本体に、前記ロード・アンロー
ド方向と同方向へ移動可能な移動機構を設け、この移動
機構の移動動作に伴って前記サスペンションの先端部に
係合してサスペンションの先端側を移動せしめて磁気ヘ
ッドを磁気ディスクからロード・アンロードせしめる係
合爪部を前記移動機構の先端部に設けてなることを特徴
とするディスク特性評価装置用ヘッドローディング装
置。 - 【請求項2】 前記係合爪部が、前記移動機構の先端部
に前記サスペンションの先端部を嵌挿可能な間隔を介し
て前記ロード・アンロード方向とほぼ同方向に向けて突
設した2つの線材支持部材と、前記2つの線材支持部材
の間に前記サスペンションの先端部をサスペンションの
回動方向の所定位置に押さえるべく磁気ディスクの面に
対してほぼ平行方向に緊張して設けた線材と、からなる
ことを特徴とする請求項1記載のディスク特性評価装置
用ヘッドローディング装置。 - 【請求項3】 前記ロード本体に、前記移動機構のロー
ド・アンロード量を規制するストッパ部材を前記移動機
構の移動軌跡上に微調整移動自在に設けてなることを特
徴とする請求項1又は2記載のディスク特性評価装置用
ヘッドローディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189796A JP2003007018A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | ディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189796A JP2003007018A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | ディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003007018A true JP2003007018A (ja) | 2003-01-10 |
Family
ID=19028664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001189796A Pending JP2003007018A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | ディスク特性評価装置用ヘッドローディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003007018A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009004050A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドローディング機構およびこれを用いる検査装置 |
| JP2011192327A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドローディング装置及び検査装置 |
| CN103236266A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-08-07 | 哈尔滨理工大学 | 磁头冲浪状态监测系统及磁头冲浪状态监测方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06223518A (ja) * | 1993-01-21 | 1994-08-12 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ヘッドローディング装置 |
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-
2001
- 2001-06-22 JP JP2001189796A patent/JP2003007018A/ja active Pending
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