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JP2003004484A - Rotation sensor - Google Patents

Rotation sensor

Info

Publication number
JP2003004484A
JP2003004484A JP2001184705A JP2001184705A JP2003004484A JP 2003004484 A JP2003004484 A JP 2003004484A JP 2001184705 A JP2001184705 A JP 2001184705A JP 2001184705 A JP2001184705 A JP 2001184705A JP 2003004484 A JP2003004484 A JP 2003004484A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording
magnetized
rotation sensor
magnetic
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001184705A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsumi Yoneda
立美 米田
Kenichi Hoshina
顕一 保科
Haruhiro Tokida
晴弘 常田
Akihiro Ito
彰啓 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001184705A priority Critical patent/JP2003004484A/en
Publication of JP2003004484A publication Critical patent/JP2003004484A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To grasp the location of a rotator in the circumferential direction with high accuracy and eliminate magnetic effects to another track. SOLUTION: In a polarized area formed in the outer circumferential part of the rotator 11, different magnetic poles are arranged alternately along the circumferential direction, and comprise a recording polarized part 11a formed in part over the whole circumference of the outer circumferential part. By magnetically detecting point in a track which contains the recording polarized part 11a, this rotation sensor determines whether the detected point is a point on the recording polarized part 11a or a point which is not on the polarized area. By narrowing the interval between the adjacent magnetic poles on the recording polarized part 11a, the polarized area becomes an aggregate of relatively fine magnetic poles to weaken magnetic forces.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回転センサに関す
る。さらに詳述すると、本発明は、回転体の周面あるい
は主面に設けた着磁領域の磁気情報を得て回転体の回転
量および周方向位置を検出する回転センサの構成に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a rotation sensor. More specifically, the present invention relates to the configuration of a rotation sensor that obtains magnetic information of a magnetized region provided on a peripheral surface or a main surface of a rotating body to detect a rotation amount and a circumferential position of the rotating body.

【0002】[0002]

【従来の技術】ダイレクトドライブ型などのモータに
は、ロータに着磁領域を設けてロータの回転量と原点位
置とを磁気抵抗センサ(MRセンサ)で検出するように
したものがある。例えば、ロータの外周部を周回する着
磁領域により、位相のずれたA・B相信号を検出してロ
ータの回転量を検出することができる。また、ロータ上
の周方向1箇所にのみ着磁ポイントを設けておき、原点
位置センサによってこの着磁ポイントが通過したときワ
ンパルスのZ相信号を検出して原点位置情報を得ること
ができる。
2. Description of the Related Art Some direct drive type motors are provided with a magnetized area in a rotor so that the amount of rotation of the rotor and the origin position can be detected by a magnetoresistive sensor (MR sensor). For example, the amount of rotation of the rotor can be detected by detecting the phase-shifted A and B phase signals by the magnetized region that circulates around the outer periphery of the rotor. Further, the magnetizing point is provided only at one position on the rotor in the circumferential direction, and the origin position information can be obtained by detecting the one-phase Z-phase signal when the origin point sensor passes the magnetizing point.

【0003】さらに、特公平4−77245号公報記載
の磁気式ロータリエンコーダでは、図10に示すように
主面の周方向に連続的に着磁されたU字状トラック(周
の約半分を占めるトラック)101を形成している。こ
の場合、このトラック101によって現在位置が右半周
あるいは左半周のいずれにあるのか判断できることか
ら、原点位置を検出する前であっても現在の周方向位置
を大まかに把握できる。
Further, in the magnetic rotary encoder disclosed in Japanese Patent Publication No. 4-77245, a U-shaped track (occupying approximately half of the circumference) continuously magnetized in the circumferential direction of the main surface as shown in FIG. (Track) 101 is formed. In this case, since it is possible to determine whether the current position is on the right half circle or the left half circle by the track 101, it is possible to roughly grasp the current circumferential position even before the origin position is detected.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
磁気式ロータリエンコーダによると、U字状トラック1
01の磁気が強い場合には他のトラックの磁気情報に影
響を及ぼす問題がある。また、図11に示すように、磁
気抵抗センサ102はトラック101の外にまで余分な
パターンを配置する必要があるので、チップ面積が広く
なって大型化する問題もある。
However, according to the above magnetic rotary encoder, the U-shaped track 1 is used.
When the magnetism of 01 is strong, there is a problem that the magnetic information of other tracks is affected. Further, as shown in FIG. 11, since the magnetoresistive sensor 102 needs to have an extra pattern arranged even outside the track 101, there is a problem that the chip area becomes large and the size becomes large.

【0005】そこで、本発明は、回転体の周方向位置を
精度よく把握することができ、しかも他のトラックへの
磁気的影響をなくすようにした回転センサを提供するこ
とを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a rotation sensor capable of accurately grasping the circumferential position of a rotating body and eliminating magnetic influence on other tracks.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、回転体の外周部に形成され
た着磁領域と、該着磁領域の磁気を検出する磁気検出部
とを備え、回転体の回転量および周方向位置を検出する
回転センサにおいて、着磁領域は、異なる磁極が周方向
に沿って交互に配列され、外周部の全周の一部に形成さ
れた記録着磁部を有している。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a magnetizing area formed on an outer peripheral portion of a rotating body, and a magnetic detecting section for detecting magnetism of the magnetizing area. In the rotation sensor for detecting the amount of rotation and the position in the circumferential direction of the rotating body, different magnetic poles are alternately arranged along the circumferential direction in the magnetized region, and the magnetized region is formed on a part of the entire circumference of the outer peripheral portion. It has a recording magnetizing section.

【0007】この回転センサは、記録着磁部を含むトラ
ック上のいずれかの点を磁気検出することにより、その
被検出点が記録着磁部上の点なのか、それともこの着磁
領域上にない点なのか判別することができる。そして、
この判別結果から、着磁領域の絶対位置検出ができる。
This rotation sensor magnetically detects any point on the track including the recording magnetized portion to determine whether the detected point is a point on the recording magnetized portion or on the magnetized area. It is possible to determine if there is no point. And
From this determination result, the absolute position of the magnetized area can be detected.

【0008】しかも、記録着磁部上の隣り合う磁極間隔
を狭くすることにより、着磁領域は比較的細かな磁極の
集合となって磁力が弱くなる。この場合、隣接する他の
着磁領域(トラック)に対する磁気の影響が減少する。
Moreover, by narrowing the interval between adjacent magnetic poles on the recording magnetized portion, the magnetized region becomes a set of relatively fine magnetic poles, and the magnetic force becomes weak. In this case, the influence of magnetism on other adjacent magnetized regions (tracks) is reduced.

【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載の回
転センサにおいて、記録着磁部を外周部の半周にのみ形
成しているものである。したがって、このトラック上の
被検出点が二等分された180度領域のどちらに位置す
る点なのか判別することができる。
According to a second aspect of the present invention, in the rotation sensor according to the first aspect, the recording magnetized portion is formed only on a half circumference of the outer peripheral portion. Therefore, it is possible to determine in which of the bisected 180 ° regions the detected point on this track is located.

【0010】請求項3記載の発明は、請求項1記載の回
転センサにおいて、記録着磁部から得られる2つの相の
信号の二乗和で信号処理するものである。この場合、2
つの信号の位相をずらし、不連続信号を連続信号として
捉えることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the rotation sensor according to the first aspect, signal processing is performed by a sum of squares of signals of two phases obtained from the recording magnetizing unit. In this case, 2
By shifting the phase of two signals, a discontinuous signal can be regarded as a continuous signal.

【0011】請求項4記載の発明は、請求項1記載の回
転センサにおいて、着磁領域は、異なる磁極が周方向に
沿って交互に配列されて外周部の全周に形成された第2
の記録着磁部を有し、第1の記録着磁部の各磁極間隔は
第2の記録着磁部の各磁極間隔の3倍以下に形成されて
いるものである。この場合、第2の記録着磁部およびそ
の他のトラックに対する第1の記録着磁部の磁力による
影響が少ない。
According to a fourth aspect of the present invention, in the rotation sensor according to the first aspect, the magnetizing region is formed by a second magnetic pole having different magnetic poles alternately arranged along the circumferential direction and formed on the entire circumference of the outer peripheral portion.
Recording magnetically polarized portion, and the magnetic pole spacing of the first recording magnetically polarized portion is formed to be three times or less than the magnetic pole spacing of the second recording magnetically polarized portion. In this case, the influence of the magnetic force of the first recording magnetized portion on the second recording magnetized portion and other tracks is small.

【0012】請求項5記載の発明は、請求項1記載の回
転センサにおいて、記録着磁部の境界信号を回転体の原
点信号として用いるものである。この場合、記録着磁部
および検出センサにより、180度領域ごとの位置信号
と180度ごとの境界信号が得られ、この境界信号を原
点信号として用いることができる。したがって、ワンパ
ルスのZ相信号を発するための基準位置センサなどは不
要である。
According to a fifth aspect of the present invention, in the rotation sensor according to the first aspect, the boundary signal of the recording magnetized portion is used as the origin signal of the rotating body. In this case, the recording magnetizing unit and the detection sensor obtain a position signal for each 180 degree region and a boundary signal for each 180 degrees, and this boundary signal can be used as an origin signal. Therefore, a reference position sensor or the like for issuing a one-pulse Z-phase signal is unnecessary.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The structure of the present invention will be described below in detail based on an example of an embodiment shown in the drawings.

【0014】図1〜図8に、本発明の回転センサ1を示
す。回転センサ1は、回転体11の外周部に形成された
着磁領域と、該着磁領域の磁気を検出する磁気検出部1
2とを備え、回転体11の回転量および周方向位置を検
出するものであり、本実施形態では、外周部に周状に形
成された第2の記録着磁部11bと、該第2の記録着磁
部11bと同心状であって周回の一部に形成された第1
の記録着磁部11aとを有している。回転体11は、例
えばエンコーダ等に用いられる磁気ドラムである(以下
「回転磁気ドラム11」という)。
1 to 8 show a rotation sensor 1 of the present invention. The rotation sensor 1 includes a magnetized region formed on the outer peripheral portion of the rotating body 11 and a magnetic detection unit 1 for detecting the magnetism of the magnetized region.
2 for detecting the amount of rotation and the position in the circumferential direction of the rotating body 11, and in the present embodiment, the second recording magnetized portion 11b circumferentially formed on the outer peripheral portion and the second recording magnetized portion 11b. A first concentric with the recording magnetized portion 11b and formed on a part of the circumference.
Recording magnetizing portion 11a. The rotating body 11 is, for example, a magnetic drum used in an encoder or the like (hereinafter referred to as “rotating magnetic drum 11”).

【0015】なお、本明細書でいう外周部とは、回転磁
気ドラム11の周面のみならず主面(上面あるいは底
面)をも含むものとする。したがって、本実施形態にお
いて回転磁気ドラム11の周面に設けられている記録着
磁部11a,11bは、回転磁気ドラム11の上面ある
いは底面に設けられていてもよい。
The outer peripheral portion in this specification includes not only the peripheral surface of the rotating magnetic drum 11 but also the main surface (top surface or bottom surface). Therefore, the recording magnetized portions 11a and 11b provided on the peripheral surface of the rotary magnetic drum 11 in the present embodiment may be provided on the upper surface or the bottom surface of the rotary magnetic drum 11.

【0016】まず、図2に示すように、回転磁気ドラム
11の外周部には、周方向に沿って異なる磁極が交互に
順次配列された360度着磁の第2の記録着磁部11b
が環状に形成されている。実際の磁極を詳しく示すと、
図7のように相互に隣接する部分が逆向きとなるように
着磁され、逆向きに配置された小さな磁極の集まりとな
っているが、図1、図2では便宜上簡素化して示してい
る。このとき隣接するNS極の距離をλとすると、λは
0.05〜5mmの範囲内にあることが好ましく、より
好ましくは0.8mm程度である。
First, as shown in FIG. 2, the outer peripheral portion of the rotary magnetic drum 11 is a 360 ° -magnetized second recording magnetizing portion 11b in which different magnetic poles are alternately arranged in the circumferential direction.
Is formed in a ring shape. If you show the actual magnetic pole in detail,
As shown in FIG. 7, the portions adjacent to each other are magnetized so as to be in opposite directions, and are a collection of small magnetic poles arranged in opposite directions. However, in FIG. 1 and FIG. 2, they are simplified for convenience. . At this time, when the distance between the adjacent NS poles is λ, λ is preferably in the range of 0.05 to 5 mm, more preferably about 0.8 mm.

【0017】一方、第1の記録着磁部11aは、第2の
記録着磁部11bと同心状であって周回の一部に形成さ
れるとともに、異なる磁極が周方向に沿って交互に配列
されているものである。図1に示すように、本実施形態
ではこの第1の記録着磁部11aを外周部のちょうど半
周分に中心角180度となるように設け、反対側の半周
分は非着磁部分とすることによって180度ごとの着磁
領域および非着磁領域を形成している。
On the other hand, the first recording magnetized portion 11a is concentric with the second recording magnetized portion 11b and is formed in a part of the circumference, and different magnetic poles are alternately arranged along the circumferential direction. It has been done. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the first recording magnetized portion 11a is provided so as to have a central angle of 180 degrees in a half circumference of the outer peripheral portion, and the opposite half circumference is a non-magnetized portion. As a result, a magnetized region and a non-magnetized region are formed every 180 degrees.

【0018】また、磁気検出部(センサーモジュール)
12が、第2の記録着磁部11bに対して近接するよう
に回転磁気ドラム11に周面対向して配置されている
(図2)。ここで、磁気検出部12は2つの磁気抵抗
(MR)素子12bを有し、これらが周方向にずらして
配置され、第2の記録着磁部11bから位相がずれたA
相、B相2つの信号を得ている。本実施形態では、2つ
の磁気抵抗(MR)素子12bを電気角90度ずらして
配置している。また、回転磁気ドラム11と磁気抵抗
(MR)素子12bのギャップは増幅された出力波形を
観測して調整する。そのギャップ幅は概ね0.3mmで
あるが、適宜調整するようにする。
Further, the magnetic detection section (sensor module)
Reference numeral 12 is arranged so as to face the rotary magnetic drum 11 so as to be close to the second recording magnetized portion 11b (FIG. 2). Here, the magnetic detection unit 12 has two magnetoresistive (MR) elements 12b, which are arranged in a staggered manner in the circumferential direction and are out of phase with the second recording magnetized section 11b.
Two signals of phase and B phase are obtained. In this embodiment, the two magnetoresistive (MR) elements 12b are arranged so as to be displaced by an electrical angle of 90 degrees. The gap between the rotating magnetic drum 11 and the magnetoresistive (MR) element 12b is adjusted by observing the amplified output waveform. The gap width is about 0.3 mm, but it should be adjusted appropriately.

【0019】また、これと同様に、他の磁気検出部12
が第1の記録着磁部11aに対し近接して配置されてい
る。この磁気検出部12は周方向に電気角90度ずらし
て配置されたAB相と同じ構成の2つの磁気抵抗(M
R)素子12bからなり、第1の記録着磁部11aから
位相がずれたC相、D相2つの信号を得ている。AB相
と同様にC相とD相は90度位相ずれで出力が取り出さ
れる(図6)。
Further, similarly to this, another magnetic detector 12
Are arranged close to the first recording magnetized portion 11a. This magnetic detection unit 12 has two magnetic resistances (M
(R) element 12b, and two signals of C phase and D phase, which are out of phase with each other, are obtained from the first recording magnetized portion 11a. Similar to the AB phase, the outputs of the C phase and the D phase are extracted with a phase shift of 90 degrees (Fig. 6).

【0020】磁気抵抗(MR)素子12bから取り出さ
れたC相とD相の信号はそれぞれ増幅し、A/D変換し
た後のデジタル数値を二乗和するようにしている。つま
り、180度検出信号Z=Csin2Ve+Dsin2Vd(VeはC
相の出力電圧、VdはD相の出力電圧)となり、イメージ
を示すと図6に示すリサージュ図形のようになる。本実
施形態では、Zの最大値を1のレベルとして概ね0.5
のレベルをしきい値として比較し、デジタル信号として
いる。つまり、0.5レベル以上を1、それ以下を0の
信号として取り出す。これにより、第1の記録着磁部1
1aが占める範囲からは1、残りの範囲からは0の信号
を得ることができる。なお、ここではしきい値を0.5
のレベルとしているが、適宜0.1〜0.9レベルの任
意のしきい値としてよい。
The C-phase and D-phase signals extracted from the magnetoresistive (MR) element 12b are respectively amplified, and the digital values after A / D conversion are summed squared. That is, the 180 degree detection signal Z = Csin 2 Ve + Dsin 2 Vd (Ve is C
The output voltage of the phase, Vd is the output voltage of the D phase), and the image is as shown in the Lissajous figure shown in FIG. In the present embodiment, the maximum value of Z is set to 1 level and is approximately 0.5.
Is compared as a threshold value to obtain a digital signal. That is, a signal having a level of 0.5 or higher is taken out as a signal of 1, and a signal having a level of 0.5 or less is taken out as 0. As a result, the first recording magnetizing unit 1
A signal of 1 can be obtained from the range occupied by 1a, and a signal of 0 can be obtained from the remaining range. Here, the threshold value is 0.5
However, any threshold value of 0.1 to 0.9 level may be appropriately used.

【0021】ここで、第1の記録着磁部11a中におけ
る隣り合う磁極間隔を狭くすることによって、第2の記
録着磁部11b(およびその他のトラック)への磁気影
響を軽減することが可能となる。この場合、第1の記録
着磁部11aの磁極間隔は、第2の記録着磁部11bの
磁極間隔の3倍以下とすることが好ましく、さらに好ま
しくはほぼ同じ距離の磁極間隔とすることである。ちな
みに、AB相とCD相との着磁空隙の好ましい値は0.
5〜1mmであるがこれには限られない。
Here, the magnetic effect on the second recording magnetized portion 11b (and other tracks) can be reduced by narrowing the interval between adjacent magnetic poles in the first recording magnetized portion 11a. Becomes In this case, it is preferable that the magnetic pole spacing of the first recording magnetized portion 11a be equal to or less than three times the magnetic pole spacing of the second recording magnetized portion 11b, and more preferably the magnetic pole spacing of approximately the same distance. is there. By the way, the preferable value of the magnetization gap between the AB phase and the CD phase is 0.
It is 5 to 1 mm, but is not limited to this.

【0022】また、第1の記録着磁部11aの始端(ま
たは終端)を回転磁気ドラム11の原点位置に一致させ
ることができる。この場合、図8に示すように第1の記
録着磁部(図中の定常着磁部分)11aと非着磁部(図
中の消磁部分)との間に境界部出力信号として過渡部分
が生じるので、例えばこの出力信号をしきい値で反転し
たポイントを原点信号として用いるなどして原点エッジ
を定める。本実施形態によると、第1の記録着磁部11
aの境界信号を回転磁気ドラム11の原点信号として用
いることが可能となるので、回転磁気ドラム11の外周
部にワンポイント着磁されたZ相用の原点検出用着磁部
を設ける必要がなくなる。したがって、第1の記録着磁
部11aおよび磁気検出部12は180度領域信号と1
80度ポイント基準信号の2つの機能をもっている。
Further, the start end (or end) of the first recording magnetized portion 11a can be aligned with the origin position of the rotary magnetic drum 11. In this case, as shown in FIG. 8, a transient portion is generated as a boundary output signal between the first recording magnetized portion (steady magnetized portion in the figure) 11a and the non-magnetized portion (demagnetized portion in the figure). Therefore, the origin edge is determined by using, for example, a point obtained by inverting this output signal with a threshold value as the origin signal. According to the present embodiment, the first recording magnetizing unit 11
Since the boundary signal of a can be used as the origin signal of the rotary magnetic drum 11, it is not necessary to provide the one-point magnetized origin detecting magnetizing portion for the Z phase on the outer peripheral portion of the rotary magnetic drum 11. . Therefore, the first recording magnetizing unit 11a and the magnetic detecting unit 12 receive the 180 degree region signal and 1
It has two functions of 80 degree point reference signal.

【0023】ここで、磁気検出部12は、平板状の回路
基板12aの一方側(図2下側)の平面部に対して、磁
気抵抗(MR)素子12bが装着された構成を備えたも
のである。図3、図4に示されているように、上記磁気
抵抗(MR)素子12bは、平面四角形状の感光性ガラ
ス板からなるチップ基板12b1を備えており、そのチ
ップ基板12b1の表裏両平面のうちの、上述した第2
の記録着磁部11bに対面する図3上側の一方側の平面
部には、Ni−Fe膜等の磁気抵抗効果を有するストラ
イプ状の強磁性薄膜体12b2が、蒸着装置などを用い
て成膜され、フォトリソ工程によってパターン成形され
ている。このストライプ状の強磁性薄膜体12b2は、
複数本のものが略平行に配置されていて、各々が、線幅
約8μmにて形成されている。また、電極パターン12
b3も同時加工されている。
Here, the magnetic detector 12 has a structure in which a magnetoresistive (MR) element 12b is mounted on a flat surface on one side (lower side in FIG. 2) of a flat plate-shaped circuit board 12a. Is. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the magnetoresistive (MR) element 12b includes a chip substrate 12b1 made of a photosensitive glass plate having a square planar shape. Of the above, the second
A stripe-shaped ferromagnetic thin film 12b2 having a magnetoresistive effect such as a Ni—Fe film is formed on a flat surface on one side of FIG. 3 facing the recording magnetized portion 11b by using a vapor deposition device or the like. And is patterned by a photolithography process. The stripe-shaped ferromagnetic thin film 12b2 is
Plural pieces are arranged substantially in parallel, and each of them is formed with a line width of about 8 μm. In addition, the electrode pattern 12
b3 is also processed at the same time.

【0024】それらの各強磁性薄膜体12b2の両端部
分には、図に示されているような表面補助電極部12b
3がそれぞれ接続されている。このとき、上記各表面電
極部12b3に対応する部位には、スルーホール電極1
2b4が、上記チップ基板12b1を厚さ方向に貫通す
るようにして設けられている。これらスルーホール電極
12b4を成形するにあたっては、まず、上記チップ基
板12b1を構成している感光性ガラス板の穴の部分に
露光を行い、熱処理により現像を行った後にフッ酸等で
エッチングすることによって穴加工する。更に、その加
工穴内に銀ペーストを充填してから焼成を行うことによ
って上記スルーホール電極12b4が形成される。この
ようなスルーホール電極12b4の延出端側、すなわち
上記チップ基板12b1における図3下側に位置する裏
側の表面部には、裏面補助電極部12b5が銀ペースト
のスクリーン印刷、焼成工程にて形成されている。ま
た、この裏面補助電極部12b5の半田バンプ12b
5’が、半田ペーストのスクリーン印刷、リフロー工程
にて形成されている。
At both ends of each of the ferromagnetic thin film bodies 12b2, a surface auxiliary electrode portion 12b as shown in the figure is formed.
3 are connected to each other. At this time, the through-hole electrode 1 is formed in the portion corresponding to each surface electrode portion 12b3.
2b4 is provided so as to penetrate the chip substrate 12b1 in the thickness direction. In forming these through-hole electrodes 12b4, first, the holes of the photosensitive glass plate constituting the chip substrate 12b1 are exposed to light, developed by heat treatment, and then etched with hydrofluoric acid or the like. Make holes. Further, the through hole electrode 12b4 is formed by filling the processed hole with silver paste and then firing. On the extended end side of the through-hole electrode 12b4, that is, on the surface of the back side of the chip substrate 12b1 located on the lower side in FIG. 3, the back side auxiliary electrode section 12b5 is formed by a screen printing and firing process of silver paste. Has been done. Also, the solder bumps 12b of the back surface auxiliary electrode portion 12b5
5'is formed by solder paste screen printing and a reflow process.

【0025】更に、上記強磁性薄膜体12b2及び表面
補助電極部12b3の上には、Si0などからなる無
機質の第1保護膜12b6が、約1μm程度の膜厚を備
えるようにスパッタリングで形成されているとともに、
更にその上からは、エポキシ樹脂などからなる第2保護
膜12b7が、約10〜20μm程度の膜厚でスクリー
ン印刷等により形成されている。そして、このような構
造をなす磁気抵抗(MR)素子12bは、多数のものが
一体的にウエハ上に形成された後、ダイシング工程によ
ってチップ状に分割して個々のものが形成される。
Further, an inorganic first protective film 12b6 made of SiO 2 or the like is formed on the ferromagnetic thin film body 12b2 and the surface auxiliary electrode portion 12b3 by sputtering so as to have a film thickness of about 1 μm. Along with
Further thereon, a second protective film 12b7 made of epoxy resin or the like is formed by screen printing or the like with a film thickness of about 10 to 20 μm. A large number of magnetoresistive (MR) elements 12b having such a structure are integrally formed on a wafer and then divided into chips by a dicing process to form individual elements.

【0026】このような構造をなす磁気抵抗(MR)素
子12bは、前述したように、平板状の回路基板12a
の一方側(図2下側)の平面部に固着されているが、こ
れら磁気抵抗(MR)素子12bと回路基板12aとの
間部分には、粘度が低く流動性のよいエポキシ樹脂12
cが、アンダーフィル工程によって流し込まれて硬化さ
れており、それによって機械的強度が向上されていると
ともに、エレクトロマイグレーションを防止して電気的
な信頼性を向上させるようにしている。
The magnetoresistive (MR) element 12b having such a structure is, as described above, a flat circuit board 12a.
Although fixed to the flat surface on one side (lower side in FIG. 2), the epoxy resin 12 having low viscosity and good fluidity is provided between the magnetoresistive (MR) element 12b and the circuit board 12a.
c is poured and hardened by the underfill process, whereby the mechanical strength is improved and, at the same time, electromigration is prevented and electrical reliability is improved.

【0027】このとき、上記回路基板12aは、上述し
た磁気抵抗(MR)素子12bのチップ基板12b1よ
りやや大きな平面略矩形状になされており、当該回路基
板12aの他方側(図2上側)の表面部に、上記磁気抵
抗(MR)素子12bからの検出出力を増幅する初段ア
ンプ(増幅回路)を含むICチップ12d1、及びその
他の電子部品12d2が装架されている。そのうち、上
記初段アンプ(増幅回路)の入力端子は、上記回路基板
12aの一方側(図2上側)の表面部に設けられている
が、特に、上述した磁気抵抗(MR)素子12bの近傍
に配置されている。そして、その初段増幅回路の入力端
子に接続するようにして、上記磁気抵抗(MR)素子1
2bのチップ基板12b1が、マウンター等によって他
の電子部品と同時に表面実装されて回路基板12aに重
合され、その後、リフローによって回路基板との接続が
完了されるようになっている。
At this time, the circuit board 12a is formed in a substantially rectangular plane shape slightly larger than the chip board 12b1 of the magnetoresistive (MR) element 12b described above, and the other side (upper side in FIG. 2) of the circuit board 12a. An IC chip 12d1 including an initial stage amplifier (amplifying circuit) that amplifies the detection output from the magnetoresistive (MR) element 12b and other electronic components 12d2 are mounted on the surface portion. Among them, the input terminal of the first-stage amplifier (amplification circuit) is provided on the surface portion on one side (the upper side in FIG. 2) of the circuit board 12a, and particularly in the vicinity of the magnetoresistive (MR) element 12b described above. It is arranged. Then, the magnetoresistive (MR) element 1 is connected to the input terminal of the first-stage amplifier circuit.
The 2b chip substrate 12b1 is surface-mounted at the same time as other electronic components by a mounter or the like to be superposed on the circuit substrate 12a, and thereafter, the connection with the circuit substrate is completed by reflow.

【0028】さらに、上記回路基板12aの他方側(図
2上側)の平面部には、上述した各電子部品とともに前
述した磁気抵抗(MR)素子12bに対して磁気バイア
スを印加するバイアス磁石12d3が取り付けられてい
る。このバイアス磁石12d3は、上記チップ基板12
b1に対応した略中央位置に配置されており、硬化速度
が早い接着剤を塗布して回路基板12a側に固定されて
いる。なお、このバイアス磁石12d3は、瞬間接着剤
などで仮固定した後に、エポキシ樹脂やUV樹脂を用い
て固定するようにすることもできる。このとき、上記バ
イアス磁石12d3は、上述した回路基板12aより小
さな平面略矩形状に形成されており、これら回路基板1
2a及びバイアス磁石12d3において互いに対応する
矩形状の各辺部どうしが、平行状態となるように位置決
めされている。
Further, a bias magnet 12d3 for applying a magnetic bias to the above-mentioned magnetoresistive (MR) element 12b together with the above-mentioned electronic parts is provided on the plane portion on the other side (upper side in FIG. 2) of the circuit board 12a. It is installed. The bias magnet 12d3 is used for the chip substrate 12
It is arranged at a substantially central position corresponding to b1 and is fixed to the circuit board 12a side by applying an adhesive having a high curing speed. The bias magnet 12d3 may be temporarily fixed with an instant adhesive or the like and then fixed with an epoxy resin or a UV resin. At this time, the bias magnet 12d3 is formed in a plane substantially rectangular shape smaller than the circuit board 12a described above.
The rectangular side portions of the 2a and the bias magnet 12d3 that correspond to each other are positioned so as to be in a parallel state.

【0029】上記バイアス磁石12d3には、平面矩形
状を二分するようにして異なる磁極が着磁されており、
その矩形状に形成されたバイアス磁石12d3の磁区
は、矩形状の各辺部と平行となるように形成されてい
て、それによって、上述した磁気抵抗(MR)素子12
bにおけるストライプ状の強磁性薄膜体12b2に対し
て直交する方向に磁束が形成されるようになっている。
より具体的には、上記平面矩形状のバイアス磁石12d
3は、上述したチップ基板12b1に対して回路基板1
2aを介して略平行状態となるように搭載されており、
当該バイアス磁石12d3の中心位置が、チップ基板1
2b1の中心位置と一致する位置に固定されている。
On the bias magnet 12d3, different magnetic poles are magnetized so as to divide the plane rectangular shape into two.
The magnetic domain of the bias magnet 12d3 formed in the rectangular shape is formed so as to be parallel to each side portion of the rectangular shape, whereby the above-described magnetoresistive (MR) element 12 is formed.
Magnetic flux is formed in a direction orthogonal to the stripe-shaped ferromagnetic thin film body 12b2 in b.
More specifically, the planar rectangular bias magnet 12d
3 is a circuit board 1 with respect to the chip board 12b1 described above.
It is mounted so as to be in a substantially parallel state via 2a,
The center position of the bias magnet 12d3 is the chip substrate 1
It is fixed at a position that coincides with the center position of 2b1.

【0030】このときの上記バイアス磁石12d3の大
きさ及び種類、並びに当該バイアス磁石12d3と上述
した磁気抵抗(MR)素子12bとの距離は、抵抗変化
のダイナミックレンジのほぼ中央に信号磁界の中点が位
置するように設定されており、抵抗変化の飽和ポイント
が、強磁性薄膜体12b2の延在方向に直交する方向に
印加されるように選定されている。例えば、図5に示さ
れた、磁気抵抗(MR)素子12bのうちの一つの抵抗
変化率(縦軸;MR特性)に対して、本実施形態におけ
るバイアス磁石12d3の磁束密度(横軸)を、例えば
8mTに設定することによって、前述した回転磁気ドラ
ム11の第2の記録着磁部11bから得られる磁界を、
0を中心として±4mT以下の実用領域に設定すること
ができる。
At this time, the size and type of the bias magnet 12d3 and the distance between the bias magnet 12d3 and the above-mentioned magnetoresistive (MR) element 12b are set so that the midpoint of the signal magnetic field is approximately at the center of the dynamic range of resistance change. Is set so that the saturation point of the resistance change is applied in the direction orthogonal to the extending direction of the ferromagnetic thin film body 12b2. For example, the magnetic flux density (horizontal axis) of the bias magnet 12d3 in the present embodiment is plotted against the resistance change rate (vertical axis; MR characteristic) of one of the magnetoresistive (MR) elements 12b shown in FIG. , The magnetic field obtained from the second recording magnetized portion 11b of the rotating magnetic drum 11 is set to, for example, 8 mT.
It can be set to a practical range of ± 4 mT or less centered on 0.

【0031】このとき、上記回路基板12aに対して磁
気抵抗(MR)素子12bが取り付けられた磁気検出部
(センサーモジュール)12と、前述した回転磁気ドラ
ム11の第2の記録着磁部11bとの間の隙間(ギャッ
プ)は、検出出力(MR出力)の特性を見ながら調整さ
れ、その後に固定が行われる。例えば、信号磁界が強す
ぎると、リサージュ波形が円形ではなく角形になってし
まう。理想的な信号磁界は、リサージュ波形ができるだ
け大きく、かつ円形になることであるが、そのような出
力波形を得るためには、上述した図5に関して説明した
ように、MR特性のダイナミックレンジを落とすことな
く、MR特性の直線領域が信号磁界の中心になるような
バイアス磁界を印加することで、図6に示されているよ
うな円形状のリサージュ波形が得られることとなる。
At this time, the magnetic detection section (sensor module) 12 in which the magnetoresistive (MR) element 12b is attached to the circuit board 12a, and the second recording magnetized section 11b of the rotary magnetic drum 11 described above. The gap between the two is adjusted while observing the characteristics of the detection output (MR output), and then fixed. For example, if the signal magnetic field is too strong, the Lissajous waveform will be rectangular rather than circular. The ideal signal magnetic field is that the Lissajous waveform is as large as possible and circular, but in order to obtain such an output waveform, the dynamic range of the MR characteristic is lowered as described with reference to FIG. Without applying the bias magnetic field such that the linear region of the MR characteristic becomes the center of the signal magnetic field, a circular Lissajous waveform as shown in FIG. 6 can be obtained.

【0032】上述のように、本実施形態の回転センサ1
は、回転磁気ドラム11の周方向位置を精度よく把握す
ることができるし、第2の記録着磁部11bなど他のト
ラックへの磁気的影響をなくすことができる。しかも、
第1の記録着磁部11aは、AB相側と全く同じ着磁装
置、同じセンサを用いることができるため、設計的にも
設備的にも有利であり、コストダウンにつながる。ま
た、第1の記録着磁部11a側は、1センサでありなが
ら180度領域ごとの位置信号と180度ごとの境界信
号が得られ、この境界信号を原点信号として用いること
ができるので基準位置センサなどは不要である。
As described above, the rotation sensor 1 of this embodiment
Can accurately grasp the circumferential position of the rotating magnetic drum 11, and can eliminate the magnetic influence on other tracks such as the second recording magnetized portion 11b. Moreover,
Since the first recording magnetizing unit 11a can use the same magnetizing device and the same sensor as those on the AB phase side, it is advantageous in terms of design and equipment, leading to cost reduction. On the side of the first recording magnetizing unit 11a, a position signal for each 180 degree region and a boundary signal for each 180 degrees can be obtained even though it is a single sensor, and since this boundary signal can be used as an origin signal, the reference position No sensor is required.

【0033】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば、本実施形態では第1の記録着磁部11a
を外周部のうち半周分に中心角180度に設けている
が、実用範囲内の任意角度、例えば5〜175度の着磁
としてもよい。ただし、着磁範囲が180度を超える場
合が特に排除されるわけではない。
The above-described embodiment is an example of the preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the present embodiment, the first recording magnetizing unit 11a
Is provided at a central angle of 180 degrees in half of the outer peripheral portion, but may be magnetized at an arbitrary angle within a practical range, for example, 5 to 175 degrees. However, the case where the magnetizing range exceeds 180 degrees is not particularly excluded.

【0034】また、磁気抵抗(MR)素子12bとして
スルーホール型のものを用いたが、一般的なガラス基板
を用いた素子としてもよい。
Further, although the through-hole type is used as the magnetoresistive (MR) element 12b, an element using a general glass substrate may be used.

【0035】また、本実施形態では回転磁気ドラム11
と磁気抵抗(MR)素子12bを用いているが特にこれ
らに限られることはなく、例えばこれらの代わりに歯形
ドラムコイルピックアップを用いたレゾルバを適用して
もよい。
Further, in this embodiment, the rotating magnetic drum 11 is used.
And the magnetoresistive (MR) element 12b are used, but the present invention is not limited thereto. For example, a resolver using a toothed drum coil pickup may be applied instead of them.

【0036】また、本実施形態では回転センサ1を回転
モータのエンコーダに適用した好適例を示したが、回転
モータに限らず、例えばリニアモータなどへ適用するこ
とが可能である。
Further, in the present embodiment, the preferred example in which the rotation sensor 1 is applied to the encoder of the rotary motor has been shown, but the present invention is not limited to the rotary motor and can be applied to, for example, a linear motor.

【0037】また、本実施形態では磁気抵抗(MR)素
子12bの出力を二乗和しているが、磁気抵抗(MR)
出力または増幅後の出力を直接比較し、C相とC相イン
バータ出力とD相のOR回路にて論理出力和としてもよ
い。
In this embodiment, the output of the magnetoresistive (MR) element 12b is sum of squares.
The outputs or the outputs after amplification may be directly compared, and the OR output of the C phase and C phase inverter outputs and the D phase may be used as the logical output sum.

【0038】また、本実施形態ではC相、D相の出力の
二乗和を計算して信号処理するが、例えばピークホール
ドによって信号処理することもできる。すなわち、信号
波形のピークだけをコンデンサでチャージしてつなぎ連
続信号を得るなどして、信号処理することができる。
Further, in the present embodiment, the square sum of the outputs of the C phase and the D phase is calculated and the signal processing is performed, but the signal processing may be performed by peak hold, for example. That is, it is possible to perform signal processing by charging only the peak of the signal waveform with a capacitor and connecting them to obtain a continuous signal.

【0039】また、本実施形態では、図7に示したよう
に相互隣接する部分が逆向きとなるように着磁領域を着
磁したが、例えば図9に示すように双極が径方向に位置
する小さな各磁極を周方向へ交互に並べたように着磁し
てもよい。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the magnetized regions are magnetized so that mutually adjacent portions are in opposite directions. For example, as shown in FIG. 9, the dipoles are located in the radial direction. The small magnetic poles may be magnetized so as to be alternately arranged in the circumferential direction.

【0040】また、本実施形態では磁気を利用して回転
体11の回転量および周方向位置を検出しているが、こ
れ以外の手段、例えばスリットに照射した光を検出する
ようにした光学的手段、あるいはストライプパターンの
色調読み取りなどによって回転量等を検出することが可
能である。
Further, in the present embodiment, the amount of rotation and the circumferential position of the rotating body 11 is detected by utilizing magnetism, but other means, for example, an optical system for detecting the light irradiated to the slit is used. The amount of rotation and the like can be detected by means, or by reading the color tone of the stripe pattern.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
1記載の回転センサによると、記録着磁部を含むトラッ
ク上のいずれかの点を磁気検出することにより、その被
検出点が記録着磁部内の点なのか判別し、検出時の回転
体の向きを把握できる。したがって、例えばモータに電
源を新たに入れ、回転体の位置メモリをバックアップし
ていないような場合でも、回転体がどちらの領域側に回
転しているか確認することができる。この場合、その後
の無駄な動作を省いて効率を上げることができるし、誤
動作をなくして安全性を確保することにも役立つ。ま
た、180度領域を絶対位置検出することによりエンコ
ーダを用いた制御の論理信号として活用できる。
As is apparent from the above description, according to the rotation sensor of the first aspect, the detected point is recorded by magnetically detecting any point on the track including the recording magnetized portion. The direction of the rotating body at the time of detection can be grasped by discriminating whether or not it is a point in the magnetized portion. Therefore, for example, even when the power is newly turned on to the motor and the position memory of the rotating body is not backed up, it is possible to confirm which region the rotating body is rotating. In this case, it is possible to improve efficiency by omitting the unnecessary operation after that, and it is also useful for eliminating malfunction and ensuring safety. Further, by detecting the absolute position of the 180 degree region, it can be utilized as a logic signal for control using an encoder.

【0042】しかも、この回転センサによると、記録着
磁部内における隣り合う磁極間隔を狭くすることによ
り、他の着磁領域(トラック)に対する磁気の影響をな
くすことができる。また、磁気抵抗センサの余分なパタ
ーンを配置する必要がなくなり小型化が可能となる。
In addition, according to this rotation sensor, the influence of magnetism on other magnetized regions (tracks) can be eliminated by narrowing the gap between adjacent magnetic poles in the recording magnetized portion. Further, it is not necessary to dispose an extra pattern of the magnetoresistive sensor, and the size can be reduced.

【0043】請求項2記載の回転センサによると、記録
着磁部を外周部の半周にのみ形成していることから、回
転体が二等分された180度領域のどちら側に回転して
いるのか検出できる。
According to the rotation sensor of the second aspect, since the recording magnetized portion is formed only on the half circumference of the outer peripheral portion, the rotating body rotates on either side of the bisected 180 degree region. Can be detected.

【0044】また、請求項3記載の回転センサによる
と、記録着磁部から得られる2つの相の信号の二乗和で
信号処理することから、不連続信号を連続信号として捉
え、時間ずれなく記録着磁部を精度よく検出できる。
Further, according to the rotation sensor of the third aspect, since the signal processing is performed by the sum of squares of the signals of the two phases obtained from the recording magnetizing unit, the discontinuous signal is recognized as a continuous signal and the recording is performed without time lag. The magnetized portion can be detected accurately.

【0045】また、請求項4記載の回転センサによる
と、記録着磁部の各磁極間隔を大きくとも第2の記録着
磁部の磁極間隔の3倍としているので、第2の記録着磁
部およびその他のトラックに対する磁力の影響を少なく
することができる。
According to the rotation sensor of the fourth aspect, since the magnetic pole spacing of the recording magnetizing portion is at most three times the magnetic pole spacing of the second recording magnetizing portion, the second recording magnetizing portion is provided. And the influence of magnetic force on other tracks can be reduced.

【0046】請求項5記載の回転センサによると、記録
着磁部の境界信号を回転体の原点信号として用いている
ので、ワンパルスのZ相信号を発するための基準位置セ
ンサなどが不要となり、構成を簡素化することが可能と
なる。
According to the rotation sensor of the fifth aspect, since the boundary signal of the recording magnetized portion is used as the origin signal of the rotating body, a reference position sensor for issuing a one-pulse Z-phase signal is unnecessary, and the structure Can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態を示す図で、第1の記録着
磁部および第2の記録着磁部が周面に設けられた回転体
の斜視図である。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and is a perspective view of a rotating body provided with a first recording magnetized portion and a second recording magnetized portion on a peripheral surface.

【図2】磁気検出部およびその周囲を示す平面説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory plan view showing a magnetic detection unit and its surroundings.

【図3】図2に示された回転センサに用いられている磁
気抵抗(MR)素子の構造を表した縦断面説明図であ
る。
3 is a longitudinal cross-sectional explanatory view showing the structure of a magnetoresistive (MR) element used in the rotation sensor shown in FIG.

【図4】図3に示された磁気抵抗(MR)素子の感磁部
の構造を表した平面説明図である。
4 is a plan view showing the structure of a magnetic sensing section of the magnetoresistive (MR) element shown in FIG.

【図5】図2に示された回転センサに用いられている磁
気抵抗(MR)素子の抵抗変化特性の一例を表した線図
である。
5 is a diagram showing an example of resistance change characteristics of a magnetoresistive (MR) element used in the rotation sensor shown in FIG.

【図6】第1の記録着磁部から得られるC相、D相出力
波形の一例をしめすグラフと、二乗和信号によって得ら
れる出力のイメージを示すリサージュ図形である。
FIG. 6 is a graph showing an example of C-phase and D-phase output waveforms obtained from the first recording magnetized portion, and a Lissajous figure showing an image of the output obtained by the sum of squares signal.

【図7】周方向に沿って異なる磁極が交互に順次配列さ
れた場合の実際の磁極の様子を示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic view showing an actual state of magnetic poles when different magnetic poles are alternately arranged along the circumferential direction.

【図8】第1の記録着磁部の始端または終端を回転磁気
ドラムの原点位置に一致させた場合の原点位置付近の一
波形例を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing an example of a waveform in the vicinity of the origin position when the starting end or the terminating end of the first recording magnetized portion is aligned with the origin position of the rotating magnetic drum.

【図9】周方向に沿って異なる磁極が交互に順次配列さ
れた場合の実際の磁極の他の様子を示す概略図である。
FIG. 9 is a schematic view showing another state of an actual magnetic pole when different magnetic poles are alternately arranged in sequence along the circumferential direction.

【図10】回転体の主面の周方向に連続的に着磁された
従来型のU字状トラックの一例を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing an example of a conventional U-shaped track continuously magnetized in the circumferential direction of the main surface of the rotating body.

【図11】従来の磁気抵抗センサの一形状例を示す図で
ある。
FIG. 11 is a diagram showing an example of the shape of a conventional magnetoresistive sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回転センサ 11 回転磁気ドラム(回転体) 11a 第1の記録着磁部(着磁領域) 11b 第2の記録着磁部(着磁領域) 12 磁気検出部(センサーモジュール) 1 rotation sensor 11 Rotating magnetic drum (rotating body) 11a First recording magnetization portion (magnetization area) 11b Second recording magnetized portion (magnetized area) 12 Magnetic detector (sensor module)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 常田 晴弘 長野県諏訪郡原村10801番地の2 株式会 社三協精機製作所諏訪南工場内 (72)発明者 伊藤 彰啓 長野県諏訪郡原村10801番地の2 株式会 社三協精機製作所諏訪南工場内 Fターム(参考) 2F077 AA31 AA38 CC02 CC08 NN03 NN04 NN21 NN24 NN27 PP06 PP14 PP19 PP26 QQ05 QQ12 TT00 VV01 2F103 BA32 BA42 CA01 DA01 DA13 EA04 EA12 EA13 ED00    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Haruhiro Tsuneda             2 Stock Association at 10801 Hara-mura, Suwa-gun, Nagano Prefecture             Inside Sanwa Seiki Seisakusho Suwa Minami Factory (72) Inventor Akihiro Ito             2 Stock Association at 10801 Hara-mura, Suwa-gun, Nagano Prefecture             Inside Sanwa Seiki Seisakusho Suwa Minami Factory F term (reference) 2F077 AA31 AA38 CC02 CC08 NN03                       NN04 NN21 NN24 NN27 PP06                       PP14 PP19 PP26 QQ05 QQ12                       TT00 VV01                 2F103 BA32 BA42 CA01 DA01 DA13                       EA04 EA12 EA13 ED00

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転体の外周部に形成された着磁領域
と、該着磁領域の磁気を検出する磁気検出部とを備え、
前記回転体の回転量および周方向位置を検出する回転セ
ンサにおいて、前記着磁領域は、異なる磁極が周方向に
沿って交互に配列され、前記外周部の全周の一部に形成
された記録着磁部を有していることを特徴とする回転セ
ンサ。
1. A magnetized region formed on an outer peripheral portion of a rotating body, and a magnetism detection unit for detecting magnetism in the magnetized region,
In the rotation sensor that detects the rotation amount and the circumferential position of the rotating body, in the magnetized area, different magnetic poles are alternately arranged along the circumferential direction, and the recording is formed on a part of the entire circumference of the outer peripheral portion. A rotation sensor having a magnetized portion.
【請求項2】 前記記録着磁部を前記外周部の半周にの
み形成していることを特徴とする請求項1記載の回転セ
ンサ。
2. The rotation sensor according to claim 1, wherein the recording magnetized portion is formed only on a half circumference of the outer peripheral portion.
【請求項3】 前記記録着磁部から得られる2つの相の
信号の二乗和で信号処理することを特徴とする請求項1
記載の回転センサ。
3. The signal processing is performed by sum of squares of signals of two phases obtained from the recording magnetizing unit.
The described rotation sensor.
【請求項4】 前記着磁領域は、異なる磁極が周方向に
沿って交互に配列されて前記外周部の全周に形成された
第2の記録着磁部を有し、前記第1の記録着磁部の各磁
極間隔は前記第2の記録着磁部の各磁極間隔の3倍以下
に形成されていることを特徴とする請求項1記載の回転
センサ。
4. The magnetized area has a second recording magnetized portion formed by arranging different magnetic poles alternately along the circumferential direction and formed on the entire circumference of the outer peripheral portion, wherein the first recording is performed. 2. The rotation sensor according to claim 1, wherein the magnetic pole spacing of the magnetized portion is formed to be three times or less than the magnetic pole spacing of the second recording magnetized portion.
【請求項5】 前記記録着磁部の境界信号を前記回転体
の原点信号として用いることを特徴とする請求項1記載
の回転センサ。
5. The rotation sensor according to claim 1, wherein a boundary signal of the recording magnetized portion is used as an origin signal of the rotating body.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007007585A1 (en) * 2005-07-08 2007-01-18 Nidec Sankyo Corporation Magnetic encoder
JP2008046104A (en) * 2006-07-21 2008-02-28 Nidec Sankyo Corp Manufacturing method of magnetic encoder and magnetic scale
JP2009103516A (en) * 2007-10-22 2009-05-14 Sony Corp POSITION DETECTION DEVICE AND BIAS MAGNETIC GENERATION DEVICE
JP2009204340A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Tokai Rika Co Ltd Position detecting device and shift lever device
JP2017083357A (en) * 2015-10-29 2017-05-18 オークマ株式会社 Rotor centering method of reluctance resolver
JP2017083355A (en) * 2015-10-29 2017-05-18 オークマ株式会社 Rotor alignment method of reluctance resolver

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007007585A1 (en) * 2005-07-08 2007-01-18 Nidec Sankyo Corporation Magnetic encoder
JP2008046104A (en) * 2006-07-21 2008-02-28 Nidec Sankyo Corp Manufacturing method of magnetic encoder and magnetic scale
JP2009103516A (en) * 2007-10-22 2009-05-14 Sony Corp POSITION DETECTION DEVICE AND BIAS MAGNETIC GENERATION DEVICE
JP2009204340A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Tokai Rika Co Ltd Position detecting device and shift lever device
JP2017083357A (en) * 2015-10-29 2017-05-18 オークマ株式会社 Rotor centering method of reluctance resolver
JP2017083355A (en) * 2015-10-29 2017-05-18 オークマ株式会社 Rotor alignment method of reluctance resolver

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