JP2003001160A

JP2003001160A - 液晶塗布装置および液晶滴下貼り合わせ装置

Info

Publication number: JP2003001160A
Application number: JP2001191271A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiro Taguchi; 竜大田口
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2001-06-25
Filing date: 2001-06-25
Publication date: 2003-01-07
Also published as: US6772917B2; KR100479841B1; KR20030001268A; US20020196381A1

Abstract

(57)【要約】【課題】定量安定性に優れるディスペンサ方式の液晶
塗布装置の提供。【解決手段】ヘッド部１ａを超音波振動子１ｂの超音
波放出面１００に接続して超音波振動子１ｂを駆動する
ことにより、粒径の揃った粒状液晶５ａがヘッド部１ａ
に設けられた孔１ｄから吐出される。放電板６は吐出さ
れた粒状液晶５ａをイオン化するための装置であり、ス
イッチ８をオンすると粒状液晶５ａがイオン化され、イ
オン化された粒状液晶５ａは偏向板９により偏向されて
基板１２に達する。一方、スイッチ８をオフすると粒状
液晶５ａはイオン化されないので、吐出された粒状液晶
５ａは偏向板９に偏向されることなくガータ１１により
捕捉される。スイッチ８を超音波振動子１ｂの周波数と
同期させてオンオフすることにより、所望の量の液晶を
基板１２に滴下することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に液晶等を塗
布するための液晶塗布装置、および、その液晶塗布装置
を備えた液晶滴下貼り合わせ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】情報機器等の表示装置に用いられる液晶
パネルは、一対のガラス基板の間にスペーサを挿入して
数μｍ程度の隙間（液晶注入空間）を形成し、その隙間
に液晶を充填したものである。基板間に液晶を充填する
方法の一つとしては、図９に示すように一対の基板を接
着剤１０１で貼り合わせたパネル１００に注入口１０２
を形成し、その注入口１０２から差圧を利用して液晶を
注入する方法がある。

【０００３】液晶１０４を収容した液晶容器１０５とパ
ネル１００とを真空槽内に装填し、図９のようにパネル
１００の注入口１０２を液晶溜まり内に浸す。その後、
真空槽内にガスを供給して加圧（または大気圧）状態に
する。基板と接着剤１０１とで形成された液晶注入空間
１０３は真空排気されているため、差圧により液晶容器
１０５から液晶注入空間１０３へと液晶１０４が侵入す
る。液晶空間１０３が液晶１０４で満たされたならば、
注入口１０２を接着剤により封止する。

【０００４】しかしながら、パネル１００の大型化やパ
ネル間隙間寸法の微小化が進むにつれて、図９に示すよ
うな液晶注入方法では注入時間が長時間となって生産性
が落ちるという問題があった。そこで、このような注入
法に代わって、図１０に示すようなディスペンサ１０６
を用いて一方の基板に液晶を塗布した後に、その基板を
他方の基板と貼り合わせるという方法が行われている。

【０００５】このようなディスペンサ方式では、圧縮空
気等のガス圧を利用してタンク１０８内の液晶１０４を
ディスペンサ１０６に圧送し、ディスペンサ１０６のノ
ズル１０７から液晶１０４の液滴を基板１０９上に吐出
している。基板１０９には封止材を兼ねる接着剤１１０
が塗布されており、基板１０９またはディスペンサ１０
６を移動することによって、接着剤１１０で囲まれた領
域に液晶液滴１０４を均一に滴下する。その後、この基
板１０９を他方の基板（不図示）と貼り合わせることに
よって液晶パネルが得られる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディスペンサ方式では、ガス圧を利用して液晶１０４を
ディスペンサ１０６に圧送して吐出させているため、吐
出開始時に昇圧遅れが発生するなど吐出開始及び停止時
の状況による吐出量のばらつきが大きく、吐出量の定量
安定性が損なわれるという問題があった。また、ガス圧
制御により吐出のオン・オフを行っているため、吐出量
の分解能が悪く、要求される吐出量が微小になればなる
ほど定量安定性が損なわれてしまう。

【０００７】本発明の目的は、定量安定性に優れるディ
スペンサ方式の液晶塗布装置を提供するとともに、その
液晶塗布装置を備えた液晶滴下貼り合わせ装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図１，５および８に対応付けて説明する。（１）図１に対応付けて説明すると、請求項１の発明
は、基板１２上に液晶を滴下する液晶塗布装置に適用さ
れ、超音波振動子１ｂの振動により液晶５ａを吐出する
液晶吐出装置１と、液晶吐出装置１から吐出された液晶
５ａを基板１２へ導くか導かないかを切り替える切替装
置６，８，９，１１と、基板１２上に所定量の液晶５ａ
が滴下されるように切替装置６，８，９，１１を制御す
る制御装置１５とを備えて上述の目的を達成する。（２）図５に対応付けて説明すると、請求項２の発明
は、請求項１に記載の液晶塗布装置において、切替装置
は、液晶吐出装置１から吐出された液晶５ａを捕捉する
シャッタ板３０と、シャッタ板３０を液晶通路中に挿脱
するシャッタ板駆動装置３１とを有するものである。（３）図１に対応付けて説明すると、請求項３の発明
は、請求項１に記載の液晶塗布装置において、切替装置
は、液晶吐出装置１から吐出された液晶５ａをイオン化
するイオン化装置６と、液晶５ａの吐出方向に配設され
て液晶５ａを捕捉する捕捉部材１１と、イオン化された
液晶５ａを偏向して前記基板へと導く偏向装置９とを備
え、制御装置１５は、基板１２上に所定量の液晶５ａが
滴下されるようにイオン化装置６のオンオフを制御する
ものである。（４）図８に対応付けて説明すると、請求項３の発明
は、第１の基板１２Ｂと片面に液晶を滴下した第２の基
板１２Ａとを、液晶５が第１および第２の基板１２Ｂ，
１２Ａ間に挟持されるように貼り合わせて液晶パネル５
０を形成する液晶滴下貼り合わせ装置４０に適用され、
請求項１〜３に記載の液晶塗布装置４１を用いて液晶の
滴下を行うようにしたことにより上述の目的を達成す
る。

【０００９】なお、上記課題を解決するための手段の項
では、本発明を分かり易くするために発明の実施の形態
の図を用いたが、これにより本発明が発明の実施の形態
に限定されるものではない。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。図１は本発明による液晶塗布装置の
一実施の形態を示す図であり、装置の概略構成を示すブ
ロック図である。ディスペンサ１は、超音波振動子１ｂ
と、超音波振動子１ｂの超音波放射面１００に接続され
たヘッド部１ａとから成る。ヘッド部１ａは、いわゆる
超音波伝送用ホーンを構成しており、その先端において
振動振幅が大きくなるように設計されている。ヘッド部
１ａ内には管路１ｃおよび空洞１ｅが形成されている。
空洞１ｅには、液晶タンク３の液晶５が液送用ポンプ４
により供給されている。振動子１ｂは多数の圧電素子の
板を極性を合わせて積層したものであり、発振器２によ
り高周波電圧（例えば、周波数ｆ＝６６ｋＨｚの高周波
電圧）を印加すると、振動子１ｂは周波数ｆで軸方向
（図のｚ軸方向）に伸縮振動する。

【００１１】ポンプ４により供給された液晶５は、ヘッ
ド部１ａの先端に形成された孔１ｄから吐出される。ヘ
ッド部１ａに振動子１ｂの振動が加えられると吐出液晶
は粒状に切断され、粒状液晶５ａが孔１ｄからｚ方向に
勢いよく吐出される。上述したように、ヘッド部１ａ
は、孔１ｄが形成された先端部の振幅が大きくなるよう
に設計されている。そのため、孔１ｄが形成されている
面は図のｚ方向に振動する。図２は粒状液晶５ａの形成
を定性的に示す図であり、時間経過とともに（ａ）〜
（ｄ）の順に進行する。

【００１２】図２（ａ）に示すような状態にあった壁面
１ｆが図２（ｂ）のようにプラスｚ方向に変形すると、
液晶５もｚ方向に移動して一部が孔１ｄから突出する。
次に、プラスｚ方向に変形した壁面１ｆが図２（ｃ）の
ように元の状態に戻ったとき、孔１ｄから突出した液晶
５は慣性によってさらにプラスｚ方向に移動する。さら
に、図２（ｄ）のように壁面１ｆがマイナスｚ方向に変
形すると、孔１ｄから突出していた部分が分離して粒状
液晶５ａとなってｚ方向に進行する。

【００１３】図１に戻って、ヘッド部１ａの孔１ｄから
吐出された粒状液晶５ａは、帯電板６によりイオン化さ
れる。帯電板６は筒状の電極であり、電源７によりプラ
スの電圧が印加されている。８は電源７による印加電圧
をオン・オフするためのスイッチであり、コントローラ
１５によりスイッチ８のオン・オフが制御される。スイ
ッチ８をオン状態にして粒状液晶５ａをヘッド部１ａか
ら吐出させると、粒状液晶５ａが帯電板６の筒内を通過
する間にプラスにイオン化される。一方、スイッチ８が
オフ状態とされると、粒状液晶５ａが帯電板６を通過し
てもイオン化されることはない。

【００１４】プラスにイオン化された粒状液晶５ａは偏
向板９によりｙ方向に偏向され、基板１２上に衝突す
る。偏向板９には電源１０により３０００Ｖの電圧が印
加されている。一方、イオン化されていない粒状液晶５
ａ’は偏向板９の間をｚ方向に直進し、ガータ１１によ
り捕捉される。ガータ１１により捕捉された液晶５は、
管路１３を介して液晶タンク３に戻される。二点鎖線で
囲まれたディスペンサ１，帯電板６，偏向板９およびガ
ータ１１の部分（以下では、この部分を塗布ユニット１
６と呼ぶ）は、ｘｙ駆動部１４により図のｘ方向および
ｙ方向に一体に移動することができる。なお、発振器
２，ポンプ４および電源１０はコントローラ１５により
制御される。

【００１５】図３は液晶パネル用基板１２への液晶塗布
例を示す図である。基板１２の周辺部には予めＵＶ硬化
性樹脂２０が塗布され、基板１２のＵＶ硬化性樹脂２０
で囲まれた領域に液晶５が複数箇所に滴下される。ＵＶ
硬化性樹脂２０は基板貼り合わせの際の接着剤として機
能する他、２枚の基板間に液晶５を封止するための封止
材としても機能する。図３に示す例では、格子の交点上
に液晶５を島状に塗布する。このように液晶を塗布した
後に真空中にて他方の基板を貼り合わせてプレスするこ
とにより、液晶パネルが形成される。

【００１６】図４は、図３のように格子点上に液晶５を
塗布する際の塗布手順を説明する図であり、（ａ）〜
（ｃ）の順に塗布動作が進行する。まず、図４（ａ）に
示すように、ｘｙ駆動部１４は偏向板９で偏向された粒
状液晶５ａが基板１２の格子点上に衝突する位置に塗布
ユニット１６を位置決めする。次いで、スイッチ８を所
定時間だけオン状態にして、ディスペンサ１から吐出さ
れた粒状液晶５ａをイオン化する。イオン化された粒状
液晶５ａは偏向板９に偏向されて基板１２上の格子点上
に付着し、島状の液晶５を形成する。

【００１７】このように超音波振動によってディスペン
サ１からから吐出される粒状液晶５ａは粒径が非常に均
一であり、その大きさ（液晶量）は液晶５の粘度、ポン
プ４の送液量、振動子１ａの振動数ｆ、孔１ｄの孔径等
に依存している。そのため、液送量、振動数ｆおよびを
孔径を適切に設定することにより、所望の液晶量の粒状
液晶５ａが得られる。また、島状液晶５の液晶量は粒状
液晶５ａを何個付着させるかによって決まり、所定付着
個数だけ粒状液晶５ａがイオン化されるように、スイッ
チ８のオン・オフタイミングを発振器２の周波数ｆとリ
ンクさせて制御する。

【００１８】所定個数の粒状液晶５ａを付着させて島状
液晶５を形成したならば、図４（ｂ）のようにスイッチ
８をオフ状態にし、ｘｙ駆動部１４により塗布ユニット
１６をマイナスｙ方向に所定量だけ移動する。スイッチ
８がオフ状態とされている間は、ディスペンサ１からか
ら吐出された粒状液晶５ａはイオン化されないため、偏
向板９で偏向されることなくｚ方向に直進してガータ１
１により捕捉される。その結果、粒状液晶５ａが基板１
２上に付着することがない。次いで、図４（ｃ）に示す
ように塗布ユニット１６が所定位置に達するとｘｙ駆動
部１４を停止し、スイッチ８を所定時間だけオン状態と
する。その結果、基板１２の格子点上に島状液晶５が形
成される。このような付着動作を繰り返して、図３に示
すようにＵＶ硬化性樹脂２０に囲まれた領域の全域に島
状液晶５を形成する。なお、本実施の形態では、塗布ユ
ニット１６をｘｙ方向に移動させたが、基板１２をｘｙ
方向に移動させるようにしても良い。

【００１９】「変形例１」上述した実施の形態では、デ
ィスペンサ１から吐出された粒状液晶５ａが基板１２上
に付着されるか否かは、粒状液晶５ａを帯電板６でイオ
ン化するか否かにより決定される。すなわち、帯電板
６，スイッチ８，偏向板９およびガータ１１は、粒状液
晶５ａを基板１２上に付着させるか否かを決めるシャッ
タ機構を形成している。図５はこのシャッタ機構の変形
例を示したものであり、シャッタ機構はシャッタ板３０
とシャッタ板３０をｙ方向に移動するシャッタ板駆動部
３１とから成る。

【００２０】この変形例１では、ディスペンサ１の孔１
ｄから吐出された粒状液晶５ａは、図のｚ方向にのみ進
行する。シャッタ板駆動部３１によりシャッタ板３０を
ｙ方向に移動して二点鎖線のように粒状液晶５ａの経路
中に配設すると、粒状液晶５ａはシャッタ板３０に遮ら
れて基板１２に付着することがない。シャッタ板３０に
付着した液晶５はシャッタ板表面上を下方に移動して、
シャッタ板３０の下部に形成された液溜まり部３０ａに
溜まる。この液溜まり部３０ａ内の液晶５は管路１３を
介して液晶タンク３へ戻される。

【００２１】一方、シャッタ板３０を図５の実線で示す
位置に位置決めすると、ディスペンサ１から吐出された
粒状液晶５ａは、ｚ方向に進行して基板１２上に付着す
る。シャッタ板駆動部３１によるシャッタ板３０の移動
を発振器２の周波数ｆと連動して行わせることにより、
基板１２方向に進行する粒状液晶５ａを個数単位で制御
することができる。

【００２２】「変形例２」上述した実施の形態では、ポ
ンプ４で液晶５をディスペンサ１に送液していたが、図
６のような構成とすることにより液送用ポンプ４を省略
することが可能となる。すなわち、ポンプ４に代えて逆
止弁３３を管路３２中に設ける。粒状液晶５ａの形成過
程は上述した実施の形態と同様であり、図２に示したよ
うな手順で粒状液晶５ａが形成される。ただし、液晶５
の粘度が高いような場合には、ポンプ４を用いた方が液
送によって液晶５の孔１ｄからの吐出がよりスムーズに
行われる。

【００２３】《液晶滴下貼り合わせ装置の説明》次に、
上述した塗布装置を用いた液晶滴下貼り合わせ装置につ
いて説明する。図７は液晶滴下貼り合わせ装置４０で行
われる各工程を説明する図であり、図８は液晶滴下貼り
合わせ装置４０の平面図である。最初に図７を用いて各
工程について説明する。液晶パネルの一方の基板である
ＴＦＴ基板１２Ａにスペーサを散布し、その後、ＴＦＴ
基板１２Ａを装置４０内に設けられた塗布装置４１の吸
着チャック４４Ａに装着する。

【００２４】塗布装置４１のｘｙ駆動部１４には、前述
した塗布ユニット１６と、ＵＶ硬化性樹脂２０のシール
剤を基板１２Ａに塗布するためのディスペンサ４３とが
固定されている。ディスペンサ４３は、従来と同様にガ
ス圧によりＵＶ硬化性樹脂２０を吐出するものである。
この塗布装置４１では、図３に示すように基板１２Ａへ
のＵＶ硬化性樹脂２０の塗布と液晶５の塗布とが行われ
る。ＵＶ硬化性樹脂２０および液晶５が塗布された基板
１２Ａは、吸着チャック４４Ａから真空チャンバ４２内
に設けられた静電チャック４５Ａに移し替えられて装着
される。

【００２５】一方、液晶パネルの他方の基板であるカラ
ーフィルタ基板１２Ｂは、後述する反転／搬送ロボット
５４により反転された後、液晶側の面を下方に向けて真
空チャンバ４２内の静電チャック４５Ｂに装着される。
静電チャック４５Ｂは、アライメント／仮貼り合わせ用
のアライメント装置４７の上部装着部４７Ｂに装着され
ており、その装着面は静電チャック４５Ａの装着面と対
向している。上部装着部４７Ｂはｚ方向（図示上下方
向）に移動可能となっている。また、静電チャック４５
Ａはアライメント装置４７の下部装着部４７Ａに装着さ
れており、下部装着部４７Ａは装着された静電チャック
４５Ａをｘｙ方向およびｚ軸の回りの角度θに関して位
置決めすることができる。真空チャンバ４２内に基板１
２Ａ，１２Ｂが搬送されたならば、バルブ４９を開いて
真空ポンプ４８によりチャンバ内を真空排気して液晶５
の真空脱泡を行う。

【００２６】液晶５の真空脱泡が終了したならば、基板
１２Ａと基板１２Ｂとのアライメントを行った後に両者
の仮貼り合わせを行う。この際に、基板１２Ａに塗布さ
れたＵＶ硬化性樹脂２０にＵＶスポット光を数カ所照射
して、基板１２Ａと基板１２Ｂとを仮止めする。仮貼り
合わせ終了後にチャンバ４２内を大気開放して、基板１
２Ａ，１２Ｂを貼り合わせた液晶パネル５０を吸着チャ
ック４４Ｂに装着する。その後、基板間ギャップが所定
寸法となるように非接触エアプレスで液晶パネル５０を
プレスし、ＵＶ光をＵＶ硬化性樹脂２０の全面に照射し
てシール剤であるＵＶ硬化性樹脂２０を硬化させる。基
板１２Ａと基板１２Ｂとが貼り合わされて一体化された
液晶パネル２０は、装置４０から取り出される。

【００２７】次いで、図８を用いて貼り合わせ装置４０
の概略構成を説明する。５１は基板１２Ａが複数枚収納
される基板カセットであり、搬送ロボット５２により基
板カセット５１から基板１２Ａを１枚取り出して塗布装
置４１の吸着チャック４４Ａ上に装着する。なお、基板
カセット５１に収納された基板１２Ａにはスペーサが既
に散布されている。塗布装置４１には図の左右方向（ｘ
方向）に移動可能な移動ステージ６０が設けられてお
り、吸着チャック４４Ａはこの移動ステージ６０上に載
置されている。塗布装置４１では、上述したようにＵＶ
硬化性樹脂２０および液晶５の塗布が行われる。符号５
５で示す部分には図７の塗布ユニット１６とディスペン
サ４３とが設けられている。塗布終了後の基板１２Ａ
は、真空チャンバ４２のゲートバルブ４２ａを介してチ
ャンバ内の静電チャック４５Ａ（図７参照）に装着され
る。このとき、移動ステージ６０は図示右方向に移動
し、基板１２Ａを真空チャンバ４２内まで搬送する。

【００２８】一方、基板カセット５３には基板１２Ｂが
複数収納されており、反転／搬送ロボット５４により基
板カセット５３から基板１２Ｂを１枚取り出し、その基
板１２Ｂを１８０度反転させた後に真空チャンバ４２内
の静電チャック４５Ｂ（図７参照）に装着する。基板１
２Ｂはゲートバルブ４２ｂを介して真空チャンバ４２内
に搬入される。その後、真空チャンバ４２内を真空排気
して真空脱泡および基板１２Ａ，１２Ｂの仮貼り合わせ
を行う。貼り合わせ終了後は真空チャンバ４２内が大気
開放され、プレス装置５６の移動ステージ６１がゲート
バルブ４２ｃを介してチャンバ４２内に移動する。貼り
合わされた液晶パネル５０は、チャンバ４２内において
移動ステージ６１上に載置される。

【００２９】その後、移動ステージ６１は図示右方向に
移動して、液晶パネル５０をプレス装置５６の所定位置
に位置決めする。プレス装置５６におけるプレス工程が
終了すると、液晶パネル５０は搬送ロボット５７により
搬送されてパネルカセット５８内に収納される。

【００３０】上述した塗布装置では、超音波振動子１ｂ
の超音波振動を利用したディスペンサ１により粒径の揃
った粒状液晶５ａ形成し、帯電板６，偏向板９およびガ
ータ１１から成るシャッタ機構を制御することによっ
て、所望の個数の粒状液晶５ａから成る島状液晶５を基
板１２上に滴下することができる。その結果、液晶の定
量安定性に優れた塗布装置を得ることができる。また、
この塗布装置を液晶パネル製造装置である液晶貼り合わ
せ装置に用いることにより、液晶パネルの液晶量の安定
した複数の液晶パネルを形成することができる。

【００３１】さらに、上述したディスペンサ１を用いる
と微小粒径の粒状液晶５ａ形成することができるため、
島状液晶５の液晶量を細かく制御することが可能であ
り、ギャップの小さな液晶パネルであっても正確な量の
液晶を塗布することができる。

【００３２】なお、上述した実施の形態では、ポンプ４
を用いて液晶をヘッド部１ａに供給しているが、従来の
ような圧縮ガスを用いた圧送でも良い。ディスペンサ１
からの粒状液晶５ａの吐出は主に超音波振動により支配
されているので、圧送の分解能への影響や圧送時の昇圧
遅れはほとんど無い。また、上述した塗布装置では液晶
の塗布を例に説明したが、本実施の形態の塗布装置は液
晶に限らず他の液状体の塗布にも適用することが可能で
ある。

【００３３】以上説明した実施の形態と特許請求の範囲
の要素との対応において、帯電板６はイオン化装置を、
偏向板９は偏向装置を、ガータ１１は捕捉部材を、基板
１２Ｂは第１の基板を、基板１２Ａは第２の基板を、帯
電板６，スイッチ８，偏向板９およびガータ１１は切替
装置をそれぞれ構成する。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜３の発
明によれば、超音波振動を用いることにより粒径の均一
な液晶が吐出される。そして、切替装置を制御して液晶
の基板への滴下を制御するようにしたので、基板に塗布
される液晶量を精度良く管理することができ、定量安定
性に優れた液晶塗布装置が得られる。請求項４の発明で
は、第２の基板に安定的にかつ精度良く液晶を塗布する
ことができるので、性能の揃った液晶パネルを多数形成
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による塗布装置の一実施の形態を示す図
であり、装置の概略構成を示すブロック図である。

【図２】粒状液晶５ａの形成を定性的に示す図であり、
時間経過とともに（ａ）〜（ｄ）の順に進行する。

【図３】液晶パネル用基板１２への液晶塗布例を示す図
である。

【図４】格子点上に液晶５を塗布する際の塗布手順を説
明する図であり、（ａ）〜（ｃ）の順に塗布動作が進行
する。

【図５】シャッタ機構の第１の変形例を示す図である。

【図６】シャッタ機構の第２の変形例を示す図である。

【図７】液晶滴下貼り合わせ装置４０で行われる各工程
を説明する図である。

【図８】液晶滴下貼り合わせ装置４０の平面図である。

【図９】従来の液晶注入方法を説明する図である。

【図１０】従来のディスペンサを用いた液晶塗布を説明
する図である。

【符号の説明】

１ディスペンサ１ａヘッド部１ｂ超音波振動子１ｃ空洞２発振器３液晶タンク４液送ポンプ５液晶５ａ粒状液晶６帯電板８スイッチ９偏向板１１ガータ１２，１２Ａ，１２Ｂ基板１５コントローラ４０液晶滴下貼り合わせ装置４１液晶塗布装置１００超音波放出面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に液晶を滴下する液晶塗布装置に
おいて、超音波振動子の振動により液晶を吐出する液晶吐出装置
と、前記液晶吐出装置から吐出された液晶を前記基板へ導く
か導かないかを切り替える切替装置と、前記基板上に所定量の液晶が滴下されるように前記切替
装置を制御する制御装置とを備えることを特徴とする液
晶塗布装置。
【請求項２】請求項１に記載の液晶塗布装置におい
て、前記切替装置は、前記液晶吐出装置から吐出された液晶を捕捉するシャッ
タ板と、前記シャッタ板を液晶通路中に挿脱するシャッタ板駆動
装置とを有することを特徴とする液晶塗布装置。
【請求項３】請求項１に記載の液晶塗布装置におい
て、前記切替装置は、前記液晶吐出装置から吐出された液晶をイオン化するイ
オン化装置と、前記液晶の吐出方向に配設されて前記液晶を捕捉する捕
捉部材と、前記イオン化された液晶を偏向して前記基板へと導く偏
向装置とを備え、前記制御装置は、前記基板上に所定量の液晶が滴下され
るように前記イオン化装置のオンオフを制御することを
特徴とする液晶塗布装置。
【請求項４】第１の基板と片面に液晶が滴下された第
２の基板とを、前記液晶が前記第１および第２の基板間
に挟持されるように貼り合わせて液晶パネルを形成する
液晶滴下貼り合わせ装置において、前記請求項１〜３に記載の液晶塗布装置を用いて液晶の
滴下を行うようにしたことを特徴とする液晶滴下貼り合
わせ装置。