JP2003092464A - 回路基板、半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 - Google Patents
回路基板、半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法Info
- Publication number
- JP2003092464A JP2003092464A JP2001282257A JP2001282257A JP2003092464A JP 2003092464 A JP2003092464 A JP 2003092464A JP 2001282257 A JP2001282257 A JP 2001282257A JP 2001282257 A JP2001282257 A JP 2001282257A JP 2003092464 A JP2003092464 A JP 2003092464A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- sealing material
- semiconductor package
- area array
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 59
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 21
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
ために必要となる封止材の量を低減する電子部品の実装
構造を提供する。 【解決手段】 電子部品1が実装される回路基板3であ
って、電子部品1の周縁部のはんだバンプ2が接続され
る任意の接続パッド4の周囲に微小溝5を設ける。
Description
Package )/BGA(Ball Grid Array )パッケージ等
の表面実装型エリアアレイパッケージと回路基板との接
合部の信頼性を向上させる半導体パッケージの実装構造
に関する。
て処理速度の高速化が要求されるのに伴い、半導体チッ
プの入出力ピン数は増加する傾向にある。この入出力ピ
ン数増加の要求に応えるため、入出力ピンである「はん
だバンプ」が半導体パッケージの下面に配置されたBG
Aパッケージが採用されることも多い。
品(半導体パッケージ)と回路基板とははんだバンプを
介して接続される。しかし、この接続部分は強度が低
く、落下や衝撃等による外力に対して脆弱であるため、
電子部品と回路基板との間に封止材を充填することによ
り接続部分の保護や強度補強を行っている。
め、電子部品自身やこれが実装されている回路基板は熱
によって変形を生じてしまう。封止材は、この変形によ
って電子部品と回路基板との接続部分に生じた応力を緩
和する働きをもする。
導体パッケージの実装構造では、接続部分の強度を向上
させるために電子部品の裏面全体に封止材を充填してい
た。このため、封止材の充填量が多くなってしまい、小
型電子機器において軽量化が妨げられる原因となってい
た。
においては、電子部品の裏面全体に封止材が充填されて
いるため、電子部品を回路基板から剥がすことは難し
い。よって、リペア(パッケージ交換)作業が困難であ
るという問題があった。
構造では、実装の際に電子部品の周囲から封止材を充填
するため、封止材が電子部品の周囲にはみ出してしまい
隣接する電子部品にまで及ぶこともある。この場合は、
リペア作業を行う際に隣接する電子部品まで交換しなけ
ればならなくなってしまうため、電子部品のリペア作業
を困難にする原因になるという問題があった。
て特開2001−44606号公報に開示される「半導
体パッケージの実装構造体およびその実装方法並びにそ
のリワーク方法」がある。上記公報に開示される発明で
は、配線基板の端子電極とはんだバンプとを導電性接着
剤で固めて電気的および機械的に接続実装している。
面を平坦化させる必要があるため、従来の半導体パッケ
ージをそのまま適用することはできない。また、半導体
パッケージを実装する際に、端子電極とはんだバンプと
の接続箇所全てに導電性接着材を塗布しなければならな
いため、工数が増加してしまう。このように上記公報に
開示される発明は、パッケージの取り外しは容易に行え
ても取り付けが難しいため、リペア作業が容易であると
はいえなかった。
あり、電子部品と回路基板との接続部分を補強するため
に必要となる封止材の量を低減する半導体パッケージの
実装構造を提供することを目的とする。また、電子部品
のリペア作業を容易にする半導体パッケージの実装構造
を提供することを目的とする。
本発明による回路基板は、表面実装型エリアアレイパッ
ケージが実装される回路基板であって、表面実装型エリ
アアレイパッケージの周縁部の端子が接続される任意の
電極の周囲に溝が設けられたことを特徴とする。上記回
路基板において、周囲に溝が設けられる電極は、表面実
装型エリアアレイパッケージの四隅の端子が接続される
電極であると好ましい。なお、溝を設ける電極は1つで
も複数でもよく、あるいは全ての電極の周囲に溝を設け
てもよい。本発明による回路基板は、表面実装型エリア
アレイパッケージが接続される面に溝が設けられたこと
により、表面実装型エリアアレイパッケージとの接続部
分を補強するために注入する封止材を任意の部分のみに
配置できる。さらに、表面実装型エリアアレイパッケー
ジの四隅の端子が接続される電極に溝を設けることによ
り、パッケージに対する外力が最も強く作用する四隅部
分の接続強度を補強できる。
る半導体パッケージの実装構造は、表面実装型エリアア
レイパッケージを請求項1または2記載の回路基板に実
装した半導体パッケージの実装構造であって、端子と電
極とが接続され、溝に封止材を注入されて、表面実装型
エリアアレイパッケージと回路基板との接続部分を補強
されたことを特徴とする。上記半導体パッケージの実装
構造において、封止材は熱硬化性樹脂であると好まし
い。本発明による半導体パッケージの実装構造は、表面
実装型エリアアレイパッケージと回路基板との接続強度
を補強するために必要となる封止材の量を低減できる。
さらに、封止材を熱硬化性樹脂とすることにより、表面
実装型エリアアレイパッケージと回路基板との接続強度
を複数箇所で均一に補強できる。
る半導体パッケージの実装方法は、表面実装型エリアア
レイパッケージの周縁部の端子が配置される任意の電極
の周囲に溝が設けられた回路基板に表面実装型エリアア
レイパッケージを実装する半導体パッケージの実装方法
であって、端子と電極とを接続する工程と、溝に封止材
を注入して、表面実装型エリアアレイパッケージと回路
基板の接続強度を補強する箇所に封止材を配置する工程
と、封止材を硬化させる工程とを有することを特徴とす
る。あるいは、本発明による半導体パッケージの実装方
法は、表面実装型エリアアレイパッケージの四隅の端子
が配置される電極の周囲に溝が設けられた回路基板に表
面実装型エリアアレイパッケージを実装する半導体パッ
ケージの実装方法であって、端子と電極とを接続する工
程と、溝に封止材を注入して、表面実装型エリアアレイ
パッケージの四隅の端子と電極との接続箇所近傍に封止
材を配置する工程と、封止材を硬化させる工程とを有す
ることを特徴とする。本発明による半導体パッケージの
実装方法によれば、半導体パッケージと回路基板との接
続部分を補強するために必要となる封止材の量を低減し
た半導体パッケージの実装構造を実現できる。
に実施した第1の実施形態による半導体パッケージの実
装構造について説明する。図2に、本実施形態による半
導体パッケージの実装構造に適用する電子部品および回
路基板を示す。電子部品1は、CSP/BGAパッケー
ジ等のエリアアレイ型パッケージである。電子部品1
は、回路基板3との接続面に、はんだバンプ2を有す
る。はんだバンプ2は、電子部品1と回路基板3とを接
続する突起電極であり、回路基板3に電子部品1を実装
する際の接着材でもある。さらに、はんだバンプ2は、
サーマル・ボールとも呼ばれ、電子部品1が発する熱を
放散させる機能をも有する。回路基板3は、電子部品1
の実装に用いられる。回路基板3は、ガラスエポキシ樹
脂やBTレジン等の樹脂、セラミックス基板等の従来技
術によるものを適用できる。
基板3との接続部分を拡大して示す。図に示すように、
電子部品1と回路基板3とは、はんだバンプ2と接続パ
ッド4とを介して接続される。電子部品1の周縁部に配
置されたはんだバンプ2が接続される接続パッド4の周
辺には、微小溝5を設ける。微小溝5の断面形状は、エ
ッジがない形状とするほうが好ましく、半円形にすると
特に好ましい。微小溝5には封止材6が充填される。封
止材6は、はんだバンプ2と接続パッド4との接続を補
強するとともに、電子部品1と回路基板3との接続部分
を固定、保護する。
実装する際に従来使用されていた樹脂を適用できる。た
だし、適用する樹脂の粘度が低いと微小溝5から封止材
6が流出してしまうため、ある程度の粘度(100〜1
000Poise)を有する樹脂を使用することが好ま
しい。なお、本実施形態では、封止材6に熱硬化性樹脂
であるエポキシ系樹脂を主成分としたものを適用する。
導体パッケージの実装構造は、電子部品の裏面全体に封
止材を注入していた従来技術による実装構造とは異な
り、電子部品の周縁部(好ましくは四隅部分)のみを封
止材で補強する。回路基板に実装された電子部品に作用
する外力は、電子部品の中央部分から遠い部分、すなわ
ち電子部品の周縁部(特に四隅部分)で強く作用する。
本実施形態による半導体パッケージの実装構造は、これ
らの外力が強く作用する部分を補強しているため、電子
部品の裏面全体に封止材で補強した場合と同等の効果が
得られる。
注入する封止材の量を低減できるため、実装品を軽量化
できる。さらに、封止材の使用量を必要最小限に抑えら
れるため、コストを低減できる。なお、封止材は必ずし
も全ての溝に注入する必要はなく、回路基板に設けられ
た全ての溝に注入してもよいし、一部の溝のみに注入し
てもよい。例えば、電子部品の周縁部の端子が接続され
る全ての電極の周囲に溝が設けられている場合に、四隅
部分近傍の溝のみに封止材を注入してもよい。
った場合は、封止材が注入されていない箇所において電
子部品と回路基板との隙間を利用して、容易に電子部品
を取り外すことができる。このため、電子部品のリペア
作業を容易に行える。
実施した第2の実施形態による半導体パッケージの実装
方法について説明する。図3に、本発明による半導体パ
ッケージの実装方法に適用する電子部品と回路基板とを
示す。電子部品1は、CSP/BGAパッケージ等のエ
リアアレイ型パッケージである。電子部品1は、回路基
板3との接続面にはんだバンプ2を有する。はんだバン
プ2は、電子部品1と回路基板3とを接続する突起電極
であり、回路基板3に電子部品1を装する際の接着材で
もある。さらに、はんだバンプ2は、サーマル・ボール
とも呼ばれ、電子部品1が発する熱を放散させる機能を
も有する。回路基板3は、ガラスエポキシ樹脂やBTレ
ジン等の樹脂、セラミック基板等を適用できる。回路基
板3は、電子部品1が実装された場合に、はんだバンプ
2と対応する箇所に接続パッド4を備える。電子部品1
の四隅部分(コーナー部)のはんだバンプ2が配置され
る接続パッド4の周囲には、微小溝5を設ける。
ジの実装方法の流れを示す。まず、図5に示すように、
回路基板3に電子部品1を実装する(ステップS10
1)。電子部品1と回路基板3との実装には従来の実装
方法、すなわち、はんだバンプを用いた従来のエリアア
レイ型半導体パッケージの実装方法を適用できる。
設けられた微小溝5に封止材6を注入する(ステップS
102)。なお、封止材6を注入する際には不図示のデ
ィスペンサーを使用して、ディスペンサーのノズルを微
小溝5の付近にセットし、封止材6が微小溝5および電
子部品1のコーナー部のはんだバンプ2を伝わるように
注入するとよい。また、ヒータ機能を備えたステージ7
の温度を制御し、封止材を注入しやすくするとよい。本
実施形態においては、第1の実施形態と同様、エポキシ
系樹脂を主成分とする熱硬化性樹脂を封止材6として適
用する。よって、封止の際には封止材6の粘度を下げ、
注入しやすくするように、ステージ温度を50〜100
℃に保持することが好ましい。
に封止材6が注入され、その他の部分では電子部品1と
回路基板3との間に封止材6が介在しない。
加熱して封止材6を硬化させる(ステップS103)。
図6に示すようにオーブンを用いて加熱する場合、オー
ブン内温度を熱硬化温度(100〜150℃)以上に保
持する。なお、最適な硬化条件は、封止材6に適用した
樹脂の成分や加熱方法等によって異なるため、効果条件
を適宜設定して回路基板3と電子部品1との接続部分の
強度を補強する効果が得られるようにする。なお、加熱
方法はオーブンを用いる方法に限定されるものではな
く、他の方法を適用してもよい。
実装方法によれば、回路基板に設けた溝の部分に封止材
を注入するため、実装した電子部品の外側に封止材が流
出することがない。よって、隣接する電子部品のリペア
作業に支障をきたすことがない。さらに電子部品を固定
するために必要な封止材の量は極めて少量でよいため、
封止材内部で発生するボイドを低減でき、さらに充填/
硬化時間を短縮することが可能となる。
を固定するように封止材を充填することが好ましいが、
必ずしも電子部品の四隅を固定する必要はなく、電子部
品の形状等に応じて、封止材による電子部品の固定位置
を適宜変更してもよい。例えば、電子部品の形状が矩形
でない場合は、電子部品に対する外力が強く作用する箇
所に溝を設け、この近傍を封止材で補強すれば同様の効
果が得られる。
パッケージに限定されるものではない。例えば、電子部
品のインタポーザ(外部端子を形成する部材)と回路基
板とを封止材で直接固定するLGA(land grid array
)パッケージ等に適用することも可能である。
るものではなく、光硬化性樹脂等を適用してもよい。こ
のように、本発明は様々に変更することができる。
を適用した回路基板によれば、表面実装型エリアアレイ
パッケージの周縁部の端子が接続される任意の電極の周
囲に溝を設けたことにより、パッケージを実装した際
に、接続部分の周囲に配置された溝のうち任意の部分の
みを封止材で補強できる。よって、エリアアレイパッケ
ージを封止する際に必要となる封止材の量を低減でき
る。
の実装構造は、接続部分の周囲に配置された溝のうち任
意の部分のみを封止材で補強するため、エリアアレイパ
ッケージを封止する際に必要となる封止材の量を低減で
きる。この溝を表面実装型エリアアレイパッケージの四
隅の端子が接続される電極の周囲に設けるようにすれ
ば、パッケージ対する外力が最も強く作用する四隅部分
の接続強度を補強でき、さらには電子部品のリペア作業
が容易になる。
の実装方法によれば、一般的な半導体パッケージを適用
して、上記効果を奏する半導体パッケージの実装構造を
実現できる。これにより、半導体パッケージを実装した
構造体を小型化・軽量化・低コスト化できる。加えて、
封止材を充填/硬化させる工程で要する時間を短縮でき
る。また、電極の周囲に設けた溝を利用して封止材を注
入できるため、パッケージ下部から流出した封止材が他
の電子部品にまで及ぶことがない。
半導体パッケージの実装構造における電子部品と回路基
板との接続部分を示す図である。
構造を示す図である。
半導体パッケージの実装方法において、電子部品と回路
基板とを実装する前の状態を示す図である。
方法における処理の流れを示すフローチャートである。
方法において、電子部品と回路基板とを実装した状態を
示す図である。
方法において、封止材を注入した状態を示す図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 表面実装型エリアアレイパッケージが実
装される回路基板であって、 前記表面実装型エリアアレイパッケージの周縁部の端子
が接続される任意の電極の周囲に溝が設けられことを特
徴とする回路基板。 - 【請求項2】 前記周囲に溝が設けられる電極は、前記
表面実装型エリアアレイパッケージの四隅の端子が接続
される電極であることを特徴とする請求項1記載の回路
基板。 - 【請求項3】 前記表面実装型エリアアレイパッケージ
を請求項1または2記載の回路基板に実装した半導体パ
ッケージの実装構造であって、 前記端子と前記電極とが接続され、 前記溝に封止材が注入されて、前記表面実装型エリアア
レイパッケージと前記回路基板との接続部分が補強され
たことを特徴とする半導体パッケージの実装構造。 - 【請求項4】 前記封止材は熱硬化性樹脂であることを
特徴とする請求項3記載の半導体パッケージの実装構
造。 - 【請求項5】 表面実装型エリアアレイパッケージの周
縁部の端子が配置される任意の電極の周囲に溝が設けら
れた回路基板へ前記表面実装型エリアアレイパッケージ
を実装する半導体パッケージの実装方法であって、 前記端子と前記電極とを接続する工程と、 前記溝に封止材を注入して、前記表面実装型エリアアレ
イパッケージと前記回路基板の接続強度を補強する箇所
に前記封止材を配置する工程と、 前記封止材を硬化させる工程とを有することを特徴とす
る半導体パッケージの実装方法。 - 【請求項6】 表面実装型エリアアレイパッケージの四
隅の端子が配置される電極の周囲に溝が設けられた回路
基板へ前記表面実装型エリアアレイパッケージを実装す
る半導体パッケージの実装方法であって、 前記端子と前記電極とを接続する工程と、 前記溝に封止材を注入して、前記表面実装型エリアアレ
イパッケージの四隅の端子と前記電極との接続箇所近傍
に封止材を配置する工程と、 前記封止材を硬化させる工程とを有することを特徴とす
る半導体パッケージの実装方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001282257A JP4765233B2 (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001282257A JP4765233B2 (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003092464A true JP2003092464A (ja) | 2003-03-28 |
| JP4765233B2 JP4765233B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=19105934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001282257A Expired - Fee Related JP4765233B2 (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4765233B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6093831A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Yaesu Musen Co Ltd | 音声信号処理回路 |
| CN101868132A (zh) * | 2009-04-17 | 2010-10-20 | 富士通株式会社 | 防尘防水壳体 |
| WO2014041709A1 (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-20 | パナソニック株式会社 | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
| JP2015153765A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
| JP2017123446A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置および半導体パッケージ装置 |
| US9824961B2 (en) | 2013-11-26 | 2017-11-21 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1145961A (ja) * | 1997-05-26 | 1999-02-16 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
| JP2000299356A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Sharp Corp | Bga型半導体パッケージの実装構造およびその実装方法 |
| JP2001144116A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 電子部品の実装方法及び構造、並びに回路基板 |
| JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
-
2001
- 2001-09-17 JP JP2001282257A patent/JP4765233B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1145961A (ja) * | 1997-05-26 | 1999-02-16 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
| JP2000299356A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Sharp Corp | Bga型半導体パッケージの実装構造およびその実装方法 |
| JP2001144116A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 電子部品の実装方法及び構造、並びに回路基板 |
| JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6093831A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Yaesu Musen Co Ltd | 音声信号処理回路 |
| CN101868132A (zh) * | 2009-04-17 | 2010-10-20 | 富士通株式会社 | 防尘防水壳体 |
| CN101868132B (zh) * | 2009-04-17 | 2012-06-27 | 富士通株式会社 | 防尘防水壳体 |
| WO2014041709A1 (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-20 | パナソニック株式会社 | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
| JP2014057008A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Panasonic Corp | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
| US9824961B2 (en) | 2013-11-26 | 2017-11-21 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
| US9953905B2 (en) | 2013-11-26 | 2018-04-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
| JP2015153765A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
| JP2017123446A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置および半導体パッケージ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4765233B2 (ja) | 2011-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3878430B2 (ja) | 半導体装置 | |
| US7135769B2 (en) | Semiconductor packages and methods of manufacturing thereof | |
| TW322611B (ja) | ||
| US6046077A (en) | Semiconductor device assembly method and semiconductor device produced by the method | |
| CN100373597C (zh) | 集成电路封装结构及底部填充胶工艺 | |
| CN100407422C (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
| TWI228806B (en) | Flip chip package | |
| EP1463104A2 (en) | Overmolded electronic package including circuit-carrying substrate | |
| JPH11163186A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2004260138A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPH11312712A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPH07202076A (ja) | 電子部品パッケージ | |
| JPH0846098A (ja) | 直接的熱伝導路を形成する装置および方法 | |
| US7300822B2 (en) | Low warpage flip chip package solution-channel heat spreader | |
| KR20090019751A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
| JP3552422B2 (ja) | ボールグリッドアレイ半導体装置及びその実装方法 | |
| JP2002270717A (ja) | 半導体装置 | |
| US20070178627A1 (en) | Flip-chip semiconductor device and method for fabricating the same | |
| JP4765233B2 (ja) | 半導体パッケージの実装構造および半導体パッケージの実装方法 | |
| KR100748558B1 (ko) | 칩 사이즈 패키지 및 그 제조 방법 | |
| KR100674501B1 (ko) | 플립 칩 본딩 기술을 이용한 반도체 칩 실장 방법 | |
| JPH10112515A (ja) | ボールグリッドアレイ半導体装置及びその製造方法 | |
| JP2001210778A (ja) | 半導体装置 | |
| KR20090122514A (ko) | 플립 칩 패키지 및 그 제조방법 | |
| TW591727B (en) | Method for producing a protection for chip edges and arrangement for the protection of chip edges |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080611 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100720 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100915 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110415 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110517 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110530 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |