JP2003085778A - 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置 - Google Patents
光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置Info
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録再生特性の変動を生じることなく、また
安定したトラッキングサーボを行うためにプッシュプル
信号振幅が十分得られ、且つウォブル信号の再生も安定
に行うことのできる実用的な高記録密度の光学記録再生
媒体を提供する。 【解決手段】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体であって、光学記録再生媒
体の光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎとし
たときに、このグルーブの位相深さｘを、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成する。
安定したトラッキングサーボを行うためにプッシュプル
信号振幅が十分得られ、且つウォブル信号の再生も安定
に行うことのできる実用的な高記録密度の光学記録再生
媒体を提供する。 【解決手段】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体であって、光学記録再生媒
体の光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎとし
たときに、このグルーブの位相深さｘを、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録トラックに沿
ってグルーブが形成され、所定の波長の光が照射されて
記録及び／又は再生がなされる光学記録再生媒体、光学
記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装
置に係わる。
ってグルーブが形成され、所定の波長の光が照射されて
記録及び／又は再生がなされる光学記録再生媒体、光学
記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装
置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】光学記録再生媒体として、円盤状に形成
されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。
されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。
【０００３】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成される、いわゆる案内溝であり、グル
ーブとグルーブの開口端間をランドと称す。
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成される、いわゆる案内溝であり、グル
ーブとグルーブの開口端間をランドと称す。
【０００４】そしてグルーブが形成されて成る光ディス
クでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られ
るプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号に
よって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッ
シュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラ
ック中心に対して対称に配置された２つの光検出器によ
り検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとる
ことにより得られる。
クでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られ
るプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号に
よって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッ
シュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラ
ック中心に対して対称に配置された２つの光検出器によ
り検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとる
ことにより得られる。
【０００５】ところで、従来、これらの光ディスクで
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
ＮＡを大きくしたりすることにより、光学的に実現させ
てきた。
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
ＮＡを大きくしたりすることにより、光学的に実現させ
てきた。
【０００６】従来、ＣＤ（Compact Disc）の追記型のい
わゆるＣＤ−Ｒや光磁気ディスクの書換え可能型のＭＤ
（Mini Disc ）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）の
追記型のＤＶＤ−Ｒ、又はＤＶＤの書換え可能型のいわ
ゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶＤ−ＲＷ（いずれも光ディ
スクの登録商標）の各フォーマットでは、グルーブに記
録するグルーブ記録フォーマットが提案されている。Ｉ
ＳＯ系の光磁気ディスクの各フォーマットでは、ランド
に記録するランド記録フォーマットが提案されている。
わゆるＣＤ−Ｒや光磁気ディスクの書換え可能型のＭＤ
（Mini Disc ）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）の
追記型のＤＶＤ−Ｒ、又はＤＶＤの書換え可能型のいわ
ゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶＤ−ＲＷ（いずれも光ディ
スクの登録商標）の各フォーマットでは、グルーブに記
録するグルーブ記録フォーマットが提案されている。Ｉ
ＳＯ系の光磁気ディスクの各フォーマットでは、ランド
に記録するランド記録フォーマットが提案されている。
【０００７】一方ＤＶＤ−ＲＡＭ（Random Access Memo
ry）等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。
ry）等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。
【０００８】また近年、次世代光ディスクとして開発が
進められているＤＶＲ（Digital Video Recordable）
や、ＭＤが小径化されたいわゆるμ（マイクロ）−Disc
等の高密度光ディスクでは、ランドグルーブ記録方式が
採られ、図５にその一例を模式的に示すように、グルー
ブ２が、隣接するグルーブ２に同期してウォブル即ち蛇
行しているフォーマットが提案されている。９はランド
を示す。このウォブル信号は、クロックを発生させて同
期信号等に使われる。データ情報は、ランド９上と、グ
ルーブ２上に記録されることから、従来の２倍の記録密
度を達成することができる。
進められているＤＶＲ（Digital Video Recordable）
や、ＭＤが小径化されたいわゆるμ（マイクロ）−Disc
等の高密度光ディスクでは、ランドグルーブ記録方式が
採られ、図５にその一例を模式的に示すように、グルー
ブ２が、隣接するグルーブ２に同期してウォブル即ち蛇
行しているフォーマットが提案されている。９はランド
を示す。このウォブル信号は、クロックを発生させて同
期信号等に使われる。データ情報は、ランド９上と、グ
ルーブ２上に記録されることから、従来の２倍の記録密
度を達成することができる。
【０００９】しかしながら、ＤＶＤ−ＲＡＭ等において
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。
【００１０】また、"ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体
において、記録再生特性の異なる領域が存在するという
問題がある。
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体
において、記録再生特性の異なる領域が存在するという
問題がある。
【００１１】更にまた、ＤＶＲ等の高密度光ディスクに
おいて、読み取り面に近い方、即ちＤＶＲの場合は、光
照射側に近いランド上の記録再生特性は良好であるが、
読み取り面から遠い方、即ちＤＶＲの場合光照射側から
遠いグルーブでの記録再生特性を良好に保持することは
困難な結果を得ている。
おいて、読み取り面に近い方、即ちＤＶＲの場合は、光
照射側に近いランド上の記録再生特性は良好であるが、
読み取り面から遠い方、即ちＤＶＲの場合光照射側から
遠いグルーブでの記録再生特性を良好に保持することは
困難な結果を得ている。
【００１２】ＤＶＤ−ＲＯＭ（Read Only Memory）ディ
スク等において、このようなランドグルーブ記録方式の
フォーマットで信号を直接記録することは現状では可能
であるが、ランド上の記録とグルーブ上の記録とで記録
再生特性を良好で且つ均一にすることが望まれている。
スク等において、このようなランドグルーブ記録方式の
フォーマットで信号を直接記録することは現状では可能
であるが、ランド上の記録とグルーブ上の記録とで記録
再生特性を良好で且つ均一にすることが望まれている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ＤＶ
Ｒ等の高密度光ディスクにおいて、グルーブ部は読み取
り面に遠い方であり、このグルーブ部での記録再生特性
を良好にすることは困難である。
Ｒ等の高密度光ディスクにおいて、グルーブ部は読み取
り面に遠い方であり、このグルーブ部での記録再生特性
を良好にすることは困難である。
【００１４】これに対し、光学記録再生媒体の製造工程
において、基板に形成する凹凸パターンを反転して製造
する方法が考えられる。すなわち、通常の光学記録再生
媒体の製造過程においては、フォトリソグラフィ等によ
ってガラス原盤上の感光層に微細な凹凸パターンを形成
した後、メッキ等によって例えばＮｉより成るマスター
スタンパを形成する。
において、基板に形成する凹凸パターンを反転して製造
する方法が考えられる。すなわち、通常の光学記録再生
媒体の製造過程においては、フォトリソグラフィ等によ
ってガラス原盤上の感光層に微細な凹凸パターンを形成
した後、メッキ等によって例えばＮｉより成るマスター
スタンパを形成する。
【００１５】そしてこのマスタースタンパを金型等に載
置して樹脂を射出する射出成形法、または、基板上に、
例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂層にこのスタ
ンパーを押圧して、目的とする凹凸パターンを形成す
る、いわゆる２Ｐ（Photo-Polymerization）法によっ
て、表面に所定の微細な凹凸パターンが形成された光学
記録再生媒体の基板を形成することができる。
置して樹脂を射出する射出成形法、または、基板上に、
例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂層にこのスタ
ンパーを押圧して、目的とする凹凸パターンを形成す
る、いわゆる２Ｐ（Photo-Polymerization）法によっ
て、表面に所定の微細な凹凸パターンが形成された光学
記録再生媒体の基板を形成することができる。
【００１６】従って、上述したように、グルーブ部が読
み取り光から遠い側に設けられて記録再生特性が良好に
保持できない場合は、上述のマスタースタンパの複製ス
タンパ、即ちいわゆるマザースタンパを、電気メッキ法
等によって転写形成することにより、凹凸パターンを逆
にして、基板上のグルーブパターンを、読み取り側に近
い法に設ける構成として、記録再生特性の向上をはかる
ことができる。
み取り光から遠い側に設けられて記録再生特性が良好に
保持できない場合は、上述のマスタースタンパの複製ス
タンパ、即ちいわゆるマザースタンパを、電気メッキ法
等によって転写形成することにより、凹凸パターンを逆
にして、基板上のグルーブパターンを、読み取り側に近
い法に設ける構成として、記録再生特性の向上をはかる
ことができる。
【００１７】しかしながら、グルーブ記録又はランド記
録フォーマットを採る場合は、ランドグルーブ記録フォ
ーマットを採る場合と同様の高記録密度を達成しようと
すると、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合の
２倍のトラック密度にすること、即ちトラックピッチを
半分とする必要があり、プッシュプル信号等のトラッキ
ングサーボ信号の振幅量が小さくなり、安定にトラッキ
ングすることや、ウォブル信号の再生が難しくなる。
録フォーマットを採る場合は、ランドグルーブ記録フォ
ーマットを採る場合と同様の高記録密度を達成しようと
すると、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合の
２倍のトラック密度にすること、即ちトラックピッチを
半分とする必要があり、プッシュプル信号等のトラッキ
ングサーボ信号の振幅量が小さくなり、安定にトラッキ
ングすることや、ウォブル信号の再生が難しくなる。
【００１８】例えば、ランドグルーブ記録フォーマット
は、トラックピッチが０．６０μｍ、即ちランド幅が
０．３０μｍ、グルーブ幅が０．３０μｍとされてお
り、プッシュプル信号振幅は９０％程度である。
は、トラックピッチが０．６０μｍ、即ちランド幅が
０．３０μｍ、グルーブ幅が０．３０μｍとされてお
り、プッシュプル信号振幅は９０％程度である。
【００１９】しかし、グルーブ記録フォーマットで同様
の記録密度を達成する場合は、トラックピッチを０．３
２μｍとすると、プッシュプル信号振幅は１８％程度で
ある。
の記録密度を達成する場合は、トラックピッチを０．３
２μｍとすると、プッシュプル信号振幅は１８％程度で
ある。
【００２０】従来の光ディスクにおいて、トラックピッ
チは、再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数に
対応するトラックピッチの２倍〜３／２程度ととする
と、安定したトラッキングサーボや安定しウォブル信号
の再生を実現し、トラッキングサーボ信号振幅を十分な
レベルとして得られるとされる。
チは、再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数に
対応するトラックピッチの２倍〜３／２程度ととする
と、安定したトラッキングサーボや安定しウォブル信号
の再生を実現し、トラッキングサーボ信号振幅を十分な
レベルとして得られるとされる。
【００２１】ここで、カットオフ周波数とは、再生信号
振幅がほぼ０となる周波数のことであり、データの再生
に使用するレーザ光の波長をλとし、光ディスク上にレ
ーザ光を集光する対物レンズの開口数をＮＡとしたと
き、２ＮＡ／λで表される。
振幅がほぼ０となる周波数のことであり、データの再生
に使用するレーザ光の波長をλとし、光ディスク上にレ
ーザ光を集光する対物レンズの開口数をＮＡとしたと
き、２ＮＡ／λで表される。
【００２２】上述のＤＶＲの場合、開口数ＮＡ＝０．８
５、再生光の波長λ＝４０６ｎｍであるから、カットオ
フ周波数（２ＮＡ／λ）は、４１８７本／ｍｍであり、
これに対応するトラックピッチは０．２３９μｍであ
る。
５、再生光の波長λ＝４０６ｎｍであるから、カットオ
フ周波数（２ＮＡ／λ）は、４１８７本／ｍｍであり、
これに対応するトラックピッチは０．２３９μｍであ
る。
【００２３】ＤＶＲのトラックピッチを０．３２μｍと
すると、カットオフ周波数のトラックピッチ（０．２３
９μｍ）の４／３（０．３２／０．２３９≒１．３３
９）程度となり、十分なトラッキングサーボ信号振幅、
即ちプッシュプル信号振幅が得られないこととなる。
すると、カットオフ周波数のトラックピッチ（０．２３
９μｍ）の４／３（０．３２／０．２３９≒１．３３
９）程度となり、十分なトラッキングサーボ信号振幅、
即ちプッシュプル信号振幅が得られないこととなる。
【００２４】近年の高密度光ディスクでは、トラッキン
グエラー信号としてプッシュプル信号が用いられている
が、トラッキングサーボを安定に行うには、プッシュプ
ル信号振幅比が十分大である必要があり、例えばプッシ
ュプル信号振幅を最大にするためのフォーカス位置の調
整を行うなどの工夫により、０．１４以上程度とする必
要がある。また、ウォブル信号の再生を安定に行うよう
にすることが望まれている。
グエラー信号としてプッシュプル信号が用いられている
が、トラッキングサーボを安定に行うには、プッシュプ
ル信号振幅比が十分大である必要があり、例えばプッシ
ュプル信号振幅を最大にするためのフォーカス位置の調
整を行うなどの工夫により、０．１４以上程度とする必
要がある。また、ウォブル信号の再生を安定に行うよう
にすることが望まれている。
【００２５】本発明は、上述したような問題を解決し、
記録再生特性の変動を生じることなく、また安定したト
ラッキングサーボを行うためにプッシュプル信号振幅が
十分得られ、且つウォブル信号の再生も安定に行うこと
のできる実用的な高記録密度の光学記録再生媒体、光学
記録再生媒体製造用のマザースタンパ、更に光学記録再
生装置を提供することを目的とする。
記録再生特性の変動を生じることなく、また安定したト
ラッキングサーボを行うためにプッシュプル信号振幅が
十分得られ、且つウォブル信号の再生も安定に行うこと
のできる実用的な高記録密度の光学記録再生媒体、光学
記録再生媒体製造用のマザースタンパ、更に光学記録再
生装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録トラック
に沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射
されて記録及び／又は再生がなされる光学記録再生媒体
であって、光学記録再生媒体の光入射面からグルーブに
至る媒質の屈折率をｎとしたときに、このグルーブの位
相深さｘを、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成する。または、グルーブの位相深さｘを、 λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ として構成する。
に沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射
されて記録及び／又は再生がなされる光学記録再生媒体
であって、光学記録再生媒体の光入射面からグルーブに
至る媒質の屈折率をｎとしたときに、このグルーブの位
相深さｘを、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成する。または、グルーブの位相深さｘを、 λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ とすると共に、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの
比ｗ／ｐを、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ として構成する。
【００２７】また本発明は、上述の構成による光学記録
再生媒体において、グルーブが形成された基板の上に、
少なくとも記録層及び保護層を設け、グルーブは、光入
射面に近い側に突出する上面を有し、このグルーブの上
面を情報の記録再生がなされる情報面として構成する。
再生媒体において、グルーブが形成された基板の上に、
少なくとも記録層及び保護層を設け、グルーブは、光入
射面に近い側に突出する上面を有し、このグルーブの上
面を情報の記録再生がなされる情報面として構成する。
【００２８】また更に本発明は、上述の構成による光学
記録再生媒体において、グルーブをウォブリンググルー
ブとして構成する。更に本発明は、上述の構成による光
学記録再生媒体において、トラックピッチを、３００ｎ
ｍ以上３２５ｎｍ以下として構成する。
記録再生媒体において、グルーブをウォブリンググルー
ブとして構成する。更に本発明は、上述の構成による光
学記録再生媒体において、トラックピッチを、３００ｎ
ｍ以上３２５ｎｍ以下として構成する。
【００２９】更にまた本発明は、上述の光学記録再生媒
体に対する記録及び／又は再生に使用される対物レンズ
の開口数をＮＡとしたとき、このＮＡを０．８５以上と
する。
体に対する記録及び／又は再生に使用される対物レンズ
の開口数をＮＡとしたとき、このＮＡを０．８５以上と
する。
【００３０】また本発明は、記録トラックに沿ってグル
ーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録及
び／又は再生がなされる光学記録再生媒体を製造する際
に使用される光学記録再生媒体製造用マザースタンパで
あって、光学記録再生媒体の光入射面からグルーブに到
る媒質の屈折率をｎとしたときに、このグルーブパター
ンの位相深さｘ’を、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎ とすると共に、このグルーブパターンの幅ｗ’と、トラ
ックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ として構成する。または、グルーブパターンの位相深さ
ｘ’を、 λ／２．７７ｎ≦ｘ’≦λ／２．４１ｎ とすると共に、このグルーブパターンの幅ｗ’と、トラ
ックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ として構成する。
ーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録及
び／又は再生がなされる光学記録再生媒体を製造する際
に使用される光学記録再生媒体製造用マザースタンパで
あって、光学記録再生媒体の光入射面からグルーブに到
る媒質の屈折率をｎとしたときに、このグルーブパター
ンの位相深さｘ’を、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎ とすると共に、このグルーブパターンの幅ｗ’と、トラ
ックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ として構成する。または、グルーブパターンの位相深さ
ｘ’を、 λ／２．７７ｎ≦ｘ’≦λ／２．４１ｎ とすると共に、このグルーブパターンの幅ｗ’と、トラ
ックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ として構成する。
【００３１】また本発明による光学記録再生媒体は、上
述の光学記録再生媒体製造用マザースタンパによって基
板を転写成形し、この基板上に、少なくとも記録層及び
保護層を設け、上述のグルーブを、光入射面に近い側に
突出する上面を有する構成とし、且つこの上面を情報の
記録再生がなされる情報面として構成する。
述の光学記録再生媒体製造用マザースタンパによって基
板を転写成形し、この基板上に、少なくとも記録層及び
保護層を設け、上述のグルーブを、光入射面に近い側に
突出する上面を有する構成とし、且つこの上面を情報の
記録再生がなされる情報面として構成する。
【００３２】更に本発明による光学記録再生装置は、上
述の構成による光学記録再生媒体に対し、そのグルーブ
の光入射面に近い上面のみに、情報の記録再生を行う構
成とする。
述の構成による光学記録再生媒体に対し、そのグルーブ
の光入射面に近い上面のみに、情報の記録再生を行う構
成とする。
【００３３】上述したように、本発明においては、光学
記録再生媒体のグルーブをウォブルグルーブとしてその
深さを λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とし、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの比ｗ／ｐ
を、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成することによって、十分なプッシュプル信号
振幅を得ることができた。
記録再生媒体のグルーブをウォブルグルーブとしてその
深さを λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とし、グルーブの幅ｗと、トラックピッチｐの比ｗ／ｐ
を、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ として構成することによって、十分なプッシュプル信号
振幅を得ることができた。
【００３４】または、グルーブの位相深さを、
λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ
とすると共に、このグルーブの幅ｗと、トラックピッチ
ｐの比ｗ／ｐを、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ として構成することによって、十分安定してプッシュプ
ル信号振幅を得ることができた。
ｐの比ｗ／ｐを、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ として構成することによって、十分安定してプッシュプ
ル信号振幅を得ることができた。
【００３５】更に本発明においては、上述の構成による
光学記録再生媒体において、グルーブが形成された基板
の上に、少なくとも記録層及び保護層を設け、グルーブ
を、光入射面に近い側に突出する上面を有する構成と
し、即ち読み取り側に近い方にグルーブが設けられる構
成として、このグルーブの上面を情報の記録再生がなさ
れる情報面として構成することによって、ランドグルー
ブ記録を採る場合のような、記録再生特性の変動を生じ
ることなく、また光学記録再生装置の再生光学系を複雑
化することもなく、更に、トラックピッチを３００ｎｍ
以上３２５ｎｍ以下とする場合は、前述のランドグルー
ブ記録方式を採る場合と同程度の高記録密度化をはかる
ことができて、安定した記録再生特性が得られる光学記
録再生媒体又は光学記録再生装置を提供することができ
る。
光学記録再生媒体において、グルーブが形成された基板
の上に、少なくとも記録層及び保護層を設け、グルーブ
を、光入射面に近い側に突出する上面を有する構成と
し、即ち読み取り側に近い方にグルーブが設けられる構
成として、このグルーブの上面を情報の記録再生がなさ
れる情報面として構成することによって、ランドグルー
ブ記録を採る場合のような、記録再生特性の変動を生じ
ることなく、また光学記録再生装置の再生光学系を複雑
化することもなく、更に、トラックピッチを３００ｎｍ
以上３２５ｎｍ以下とする場合は、前述のランドグルー
ブ記録方式を採る場合と同程度の高記録密度化をはかる
ことができて、安定した記録再生特性が得られる光学記
録再生媒体又は光学記録再生装置を提供することができ
る。
【００３６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明するが、本発明は以下の例に限定
されることなく、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の
構成を採り得ることはいうまでもない。
を参照して詳細に説明するが、本発明は以下の例に限定
されることなく、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の
構成を採り得ることはいうまでもない。
【００３７】この例においては、図１にその一部を拡大
した断面構成を模式的に示すように、基板１の上に、光
入射面に近い側、図示の例では上側に突出するグルーブ
２が形成されて成り、この上に例えば反射層３、第１の
誘電体層４、記録層５、第２の誘電体層６及び光透過性
の保護層７が順次積層形成されて光学記録再生媒体が構
成される。
した断面構成を模式的に示すように、基板１の上に、光
入射面に近い側、図示の例では上側に突出するグルーブ
２が形成されて成り、この上に例えば反射層３、第１の
誘電体層４、記録層５、第２の誘電体層６及び光透過性
の保護層７が順次積層形成されて光学記録再生媒体が構
成される。
【００３８】８は対物レンズ等の光ピックアップを示
し、レーザ光等の再生光Ｌがグルーブ２上に照射され
て、このグルーブ２の上面に記録された情報が読みだす
ようになされている。
し、レーザ光等の再生光Ｌがグルーブ２上に照射され
て、このグルーブ２の上面に記録された情報が読みだす
ようになされている。
【００３９】そして特に本発明においては、上述のグル
ーブ２の深さ（図示の例では高さにに相当する）をｄと
し、図１においてレーザ光Ｌで示す再生光の波長をλ、
光入射面からグルーブ２に至る媒質、即ち図１の例にお
いては保護層７の屈折率をｎとしたときに、その位相深
さｘが、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ となるように構成すると共に、グルーブ２の幅ｗと、ト
ラックピッチｐの比ｗ／ｐが、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ となるように構成する。
ーブ２の深さ（図示の例では高さにに相当する）をｄと
し、図１においてレーザ光Ｌで示す再生光の波長をλ、
光入射面からグルーブ２に至る媒質、即ち図１の例にお
いては保護層７の屈折率をｎとしたときに、その位相深
さｘが、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ となるように構成すると共に、グルーブ２の幅ｗと、ト
ラックピッチｐの比ｗ／ｐが、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ となるように構成する。
【００４０】又は、グルーブ２の位相深さｘを、
λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ
となるように構成すると共に、グルーブ２の幅ｗと、ト
ラックピッチｐの比ｗ／ｐが、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ となるように構成する。
ラックピッチｐの比ｗ／ｐが、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ となるように構成する。
【００４１】次に、このような本発明による光学記録再
生媒体の製造工程の一例を図２Ａ〜Ｃの光学記録再生媒
体製造用マザースタンパの製造工程図を参照して説明す
る。
生媒体の製造工程の一例を図２Ａ〜Ｃの光学記録再生媒
体製造用マザースタンパの製造工程図を参照して説明す
る。
【００４２】図２Ａにおいて、１１はガラス等より成る
原盤用基板を示す。この原盤用基板１１の表面に、フォ
トレジスト等より成る感光層１２が被着形成され、後述
する所定のパターン露光及び現像によって、例えばウォ
ブリンググルーブに対応するグルーブパターン１３が、
原盤用基板１１の表面を露出するように、即ち感光層１
２が除去されたいわば凹状パターンとして形成される。
原盤用基板を示す。この原盤用基板１１の表面に、フォ
トレジスト等より成る感光層１２が被着形成され、後述
する所定のパターン露光及び現像によって、例えばウォ
ブリンググルーブに対応するグルーブパターン１３が、
原盤用基板１１の表面を露出するように、即ち感光層１
２が除去されたいわば凹状パターンとして形成される。
【００４３】その後、図示しないが、このパターニング
された感光層１２上を覆って、全面的に無電界メッキ法
等により、ニッケル被膜等より成る導電化膜を被着した
後、導電化膜が被着された原盤用基板１１を電鋳装置に
取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に例えば３
００±５μｍ程度の厚さになるようにニッケルメッキ層
を形成する。
された感光層１２上を覆って、全面的に無電界メッキ法
等により、ニッケル被膜等より成る導電化膜を被着した
後、導電化膜が被着された原盤用基板１１を電鋳装置に
取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に例えば３
００±５μｍ程度の厚さになるようにニッケルメッキ層
を形成する。
【００４４】続いて、ニッケルメッキ層が厚く被着され
た原盤用基板１１から、ニッケルメッキ層をカッター等
で剥離し、凹凸パターンが形成された感光層をアセトン
等を用いて洗浄して、図２Ｂに示すように、原盤１１上
でのウォブリンググルーブパターン１３が反転したパタ
ーンの反転ウォブリンググルーブパターン１３ｎが形成
されたスタンパ１４、即ちいわゆるマスタースタンパが
形成される。
た原盤用基板１１から、ニッケルメッキ層をカッター等
で剥離し、凹凸パターンが形成された感光層をアセトン
等を用いて洗浄して、図２Ｂに示すように、原盤１１上
でのウォブリンググルーブパターン１３が反転したパタ
ーンの反転ウォブリンググルーブパターン１３ｎが形成
されたスタンパ１４、即ちいわゆるマスタースタンパが
形成される。
【００４５】その後、このスタンパ１４の凹凸パターン
が形成された面上に例えば離型剤を塗布した後、例えば
電気メッキ法により、図２Ｃに示すように、スタンパー
１４の凹凸パターンを転写したマザースタンパ１５を形
成する。
が形成された面上に例えば離型剤を塗布した後、例えば
電気メッキ法により、図２Ｃに示すように、スタンパー
１４の凹凸パターンを転写したマザースタンパ１５を形
成する。
【００４６】このマザースタンパ１７は、図２Ａにおい
て説明した原盤用基板１１上の感光層１２のパターンと
同様に、所定のウォブリンググルーブパターン１６が凹
状に形成されて成る。
て説明した原盤用基板１１上の感光層１２のパターンと
同様に、所定のウォブリンググルーブパターン１６が凹
状に形成されて成る。
【００４７】本発明においては、このマザースタンパ１
７において、再生光の波長をλ、この上に形成する保護
層７の屈折率をｎとしたときに、その位相深さｘ’を、
λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎとなるように
構成すると共に、グルーブパターン１６の幅ｗ’と、ト
ラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ となるように構成する。
７において、再生光の波長をλ、この上に形成する保護
層７の屈折率をｎとしたときに、その位相深さｘ’を、
λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎとなるように
構成すると共に、グルーブパターン１６の幅ｗ’と、ト
ラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ となるように構成する。
【００４８】または、位相深さｘ’を、
λ／２．７７ｎ≦ｘ’≦λ／２．４１ｎ
となるように構成すると共に、グルーブパターン１６の
幅ｗ’と、トラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ となるように構成する。
幅ｗ’と、トラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’を、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ となるように構成する。
【００４９】次に、上述の図２Ａにおいて説明した、光
学記録再生媒体作製用原盤の具体的な露光工程を、図３
を参照して、光学記録装置の構成例と共に詳細に説明す
る。
学記録再生媒体作製用原盤の具体的な露光工程を、図３
を参照して、光学記録装置の構成例と共に詳細に説明す
る。
【００５０】先ず、この光学記録装置の構成について説
明する。上述のパターン露光工程においては、レーザビ
ームを対物レンズで集光し、原盤用基板の上のフォトレ
ジストを露光する方法が一般的に採られている。このよ
うな光学記録装置の一例を図３に示す。
明する。上述のパターン露光工程においては、レーザビ
ームを対物レンズで集光し、原盤用基板の上のフォトレ
ジストを露光する方法が一般的に採られている。このよ
うな光学記録装置の一例を図３に示す。
【００５１】図３において、２０は気体レーザ等の光源
を示す。光源としては、特に限定されるものではなく、
適宜選択して用いることができるが、この例において
は、Ｋｒレーザ（波長λ＝３５１ｎｍ）の記録用レーザ
光を発振するレーザ源を用いた。
を示す。光源としては、特に限定されるものではなく、
適宜選択して用いることができるが、この例において
は、Ｋｒレーザ（波長λ＝３５１ｎｍ）の記録用レーザ
光を発振するレーザ源を用いた。
【００５２】ここから出射されたレーザ光は、電気変調
器（ＥＯＭ）２１、検光子２２を通過した後、ビームス
プリッターＢＳ１によって一部反射される。ビームスプ
リッターＢＳ１を透過したレーザ光は、フォトディテク
ター（ＰＤ）２４によって検出され、図示しないが、記
録光パワー制御回路等の制御部において、比較電圧Ref
と比較して変調器２１にフィードバックされる。
器（ＥＯＭ）２１、検光子２２を通過した後、ビームス
プリッターＢＳ１によって一部反射される。ビームスプ
リッターＢＳ１を透過したレーザ光は、フォトディテク
ター（ＰＤ）２４によって検出され、図示しないが、記
録光パワー制御回路等の制御部において、比較電圧Ref
と比較して変調器２１にフィードバックされる。
【００５３】ビームスプリッターＢＳ１で反射されたレ
ーザ光は、変調部２５に入射される。変調部２５におい
て、レーザ光をレンズＬ１で集光し、その焦点面上にＡ
ＯＭ（Acousto-Optic Modulator;音響光学変調素子）よ
り構成されるＡＯ変調器２８を配置する。
ーザ光は、変調部２５に入射される。変調部２５におい
て、レーザ光をレンズＬ１で集光し、その焦点面上にＡ
ＯＭ（Acousto-Optic Modulator;音響光学変調素子）よ
り構成されるＡＯ変調器２８を配置する。
【００５４】このＡＯ変調器２８には、記録信号に対応
する超音波がドライバ２７から入力され、この超音波に
基づいてレーザ光の強度が強度変調される。レーザ光
は、ＡＯ変調器２８の回折格子により回折され、その回
折光のうち１次回折光のみがスリットを透過するように
なされる。
する超音波がドライバ２７から入力され、この超音波に
基づいてレーザ光の強度が強度変調される。レーザ光
は、ＡＯ変調器２８の回折格子により回折され、その回
折光のうち１次回折光のみがスリットを透過するように
なされる。
【００５５】強度変調を受けた１次回折光は、レンズＬ
２によって集光された後、ミラーＭ１により反射されて
進行方向が９０°曲げられた上で、移動光学テーブル４
０に水平に且つ光軸に沿って導入される。
２によって集光された後、ミラーＭ１により反射されて
進行方向が９０°曲げられた上で、移動光学テーブル４
０に水平に且つ光軸に沿って導入される。
【００５６】グルーブをウォブルするパターンとする場
合は、移動光学テーブル４０に入射したレーザ光は、偏
向光学系ＯＤにおいて、光学偏向が施された上で、ミラ
ーＭ２によって反射されて再び進行方向が９０°曲げら
れて、偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
合は、移動光学テーブル４０に入射したレーザ光は、偏
向光学系ＯＤにおいて、光学偏向が施された上で、ミラ
ーＭ２によって反射されて再び進行方向が９０°曲げら
れて、偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００５７】光学記録再生媒体を製造するにあたって、
例えばグルーブを形成するいわゆる記録領域の一部、又
はこの記録領域外の例えば内周部にピットを形成する場
合は、光学偏光せずにミラーＭ２で反射されて偏光ビー
ムスプリッタＰＢＳに入射し、所定のパターンに対応す
るＯＮ／ＯＦＦを例えば上述のドライバ２７から入力す
ることによって、目的とするピットパターンを形成する
こともできる。
例えばグルーブを形成するいわゆる記録領域の一部、又
はこの記録領域外の例えば内周部にピットを形成する場
合は、光学偏光せずにミラーＭ２で反射されて偏光ビー
ムスプリッタＰＢＳに入射し、所定のパターンに対応す
るＯＮ／ＯＦＦを例えば上述のドライバ２７から入力す
ることによって、目的とするピットパターンを形成する
こともできる。
【００５８】そして、偏光ビームスプリッタＰＢＳによ
って再度９０°進行方向が曲げられたレーザ光は、拡大
レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラー
Ｍ３によって反射されて対物レンズ５４へと導かれ、こ
の対物レンズ５４によって、原盤用基板１１の上の感光
層１２に集光される。原盤用基板１１は、図示しないが
回転駆動手段により矢印ａで示すように回転される。一
点鎖線ｃは、基板１１の中心軸を示す。
って再度９０°進行方向が曲げられたレーザ光は、拡大
レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラー
Ｍ３によって反射されて対物レンズ５４へと導かれ、こ
の対物レンズ５４によって、原盤用基板１１の上の感光
層１２に集光される。原盤用基板１１は、図示しないが
回転駆動手段により矢印ａで示すように回転される。一
点鎖線ｃは、基板１１の中心軸を示す。
【００５９】記録用のレーザ光Ｌは、移動光学テーブル
４０によって平行移動される。これにより、レーザ光の
照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応する潜像が、感光
層１２の全面にわたって形成されることとなる。
４０によって平行移動される。これにより、レーザ光の
照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応する潜像が、感光
層１２の全面にわたって形成されることとなる。
【００６０】ここで、偏向光学系ＯＤは、ウェッジプリ
ズム４７、音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Optical
Deflector)４８、ウェッジプリズム４９により構成され
る。レーザ光Ｌは、ウェッジプリズム４７を介して音響
光学偏向器４８に入射し、この音響光学偏向器４８によ
って、所望する露光パターンに対応するように光学偏向
が施される。
ズム４７、音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Optical
Deflector)４８、ウェッジプリズム４９により構成され
る。レーザ光Ｌは、ウェッジプリズム４７を介して音響
光学偏向器４８に入射し、この音響光学偏向器４８によ
って、所望する露光パターンに対応するように光学偏向
が施される。
【００６１】この音響光学偏向器４８に使用される音響
光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ2 ）か
ら成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏
向器４８によって光学偏向が施されたレーザ光Ｌは、ウ
ェッジプリズム４９を介して偏向光学系ＯＤから出射さ
れる。
光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ2 ）か
ら成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏
向器４８によって光学偏向が施されたレーザ光Ｌは、ウ
ェッジプリズム４９を介して偏向光学系ＯＤから出射さ
れる。
【００６２】尚、ウェッジプリズム４７、４９は、音響
光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすようにレーザ光Ｌが入射すると共に、音
響光学偏向器４８によってレーザ光Ｌに対して光学偏向
を施しても、ビームの水平高さが変わらないようにする
機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプリズム４
７、４９と音響光学偏向器４８は、音響光学偏向器４８
の音響光学素子の格子面がレーザ光Ｌに対してブラッグ
条件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出射されたとき
のレーザ光の水平高さが変わらないように配置される。
光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすようにレーザ光Ｌが入射すると共に、音
響光学偏向器４８によってレーザ光Ｌに対して光学偏向
を施しても、ビームの水平高さが変わらないようにする
機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプリズム４
７、４９と音響光学偏向器４８は、音響光学偏向器４８
の音響光学素子の格子面がレーザ光Ｌに対してブラッグ
条件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出射されたとき
のレーザ光の水平高さが変わらないように配置される。
【００６３】ここで、音響光学偏向器４８には、この音
響光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０
が取り付けられており、この駆動用ドライバ５０には、
電圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscilla
tor)５１からの高周波信号が、正弦波で変調され供給さ
れる。そして、感光層の露光の際には、所望する露光パ
ターンに応じた信号が電圧制御発振器５１から駆動用ド
ライバ５０に入力され、この信号に応じて駆動用ドライ
バ５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これに
より、レーザ光Ｌに対して所望のウォブリングに対応し
た光学偏向が施される。
響光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０
が取り付けられており、この駆動用ドライバ５０には、
電圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscilla
tor)５１からの高周波信号が、正弦波で変調され供給さ
れる。そして、感光層の露光の際には、所望する露光パ
ターンに応じた信号が電圧制御発振器５１から駆動用ド
ライバ５０に入力され、この信号に応じて駆動用ドライ
バ５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これに
より、レーザ光Ｌに対して所望のウォブリングに対応し
た光学偏向が施される。
【００６４】具体的には、例えば、周波数９５６ｋＨｚ
にてグルーブをウォブリングさせることにより、グルー
ブにアドレス情報を付加するような場合には、例えば中
心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数９５６ｋ
Ｈｚの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振器５１か
ら駆動用ドライバ５０に供給する。
にてグルーブをウォブリングさせることにより、グルー
ブにアドレス情報を付加するような場合には、例えば中
心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数９５６ｋ
Ｈｚの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振器５１か
ら駆動用ドライバ５０に供給する。
【００６５】そして、この信号に応じて、駆動用ドライ
バ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し、この音響
光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数９５６ｋＨｚのウォブリングに
対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施す。こ
れにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポット位
置が、周波数９５６ｋＨｚ、振幅±１０ｎｍにて、原盤
用基板１１の半径方向に振動するように光学偏向を行っ
た。
バ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し、この音響
光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数９５６ｋＨｚのウォブリングに
対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施す。こ
れにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポット位
置が、周波数９５６ｋＨｚ、振幅±１０ｎｍにて、原盤
用基板１１の半径方向に振動するように光学偏向を行っ
た。
【００６６】ここで、偏光ビームスプリッタＰＢＳは、
Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされ、光学
偏向されたレーザ光はＳ偏光であり、ＰＢＳにおいて反
射するようになされる。
Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされ、光学
偏向されたレーザ光はＳ偏光であり、ＰＢＳにおいて反
射するようになされる。
【００６７】以下の実施例においては、対物レンズの開
口数ＮＡを０．９とした。音響光学変調器２８のＡＯＭ
としては、酸化テルルを用いた。入力端子からドライバ
２７を介して供給される信号は、グルーブを形成する場
合は一定レベルのＤＣ（直流）信号である。この例で
は、変調光学系２５の光学レンズとしては、集光レンズ
Ｌ１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ２の焦
点距離を１００ｍｍとし、また移動光学テーブル４０の
拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとした。
口数ＮＡを０．９とした。音響光学変調器２８のＡＯＭ
としては、酸化テルルを用いた。入力端子からドライバ
２７を介して供給される信号は、グルーブを形成する場
合は一定レベルのＤＣ（直流）信号である。この例で
は、変調光学系２５の光学レンズとしては、集光レンズ
Ｌ１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ２の焦
点距離を１００ｍｍとし、また移動光学テーブル４０の
拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとした。
【００６８】上述の構成による光学記録装置における露
光条件は、ウォブルグルーブに対し線速度５．２８ｍ／
ｓ、レーザパワー０．４ｍＪ／ｍ程度とし、トラックピ
ッチを３２０ｎｍとして、原盤用基板１１上の感光層１
２にパターン露光を行った。
光条件は、ウォブルグルーブに対し線速度５．２８ｍ／
ｓ、レーザパワー０．４ｍＪ／ｍ程度とし、トラックピ
ッチを３２０ｎｍとして、原盤用基板１１上の感光層１
２にパターン露光を行った。
【００６９】続いて、この原盤用基板１１を感光層１２
が上部になるように現像機のターンテーブルに載置し
て、この原盤用基板１１の表面が水平面となるようにし
て回転させる。この状態で、感光層１２上に現像液を滴
下して、感光層１２の現像処理を行い、信号形成領域
に、記録信号に基づく凹凸パターンが形成され、上述の
図２Ａにおいて説明した光学記録再生媒体製造用の原盤
を形成する。
が上部になるように現像機のターンテーブルに載置し
て、この原盤用基板１１の表面が水平面となるようにし
て回転させる。この状態で、感光層１２上に現像液を滴
下して、感光層１２の現像処理を行い、信号形成領域
に、記録信号に基づく凹凸パターンが形成され、上述の
図２Ａにおいて説明した光学記録再生媒体製造用の原盤
を形成する。
【００７０】そしてこの後、上述の図２Ｂ〜Ｃにおいて
説明した製造工程によって、上述の光学記録装置による
パターン露光と現像工程によって作製した凹凸パターン
とは反転する凹凸パターンが形成された光学記録再生媒
体製造用マザースタンパを形成し、更にこのマザースタ
ンパから射出成形法又は２Ｐ法等によって、この例にお
いては射出成形によりポリカーボネート等の光透過性樹
脂より成る光学記録再生媒体用の基板を成形する。
説明した製造工程によって、上述の光学記録装置による
パターン露光と現像工程によって作製した凹凸パターン
とは反転する凹凸パターンが形成された光学記録再生媒
体製造用マザースタンパを形成し、更にこのマザースタ
ンパから射出成形法又は２Ｐ法等によって、この例にお
いては射出成形によりポリカーボネート等の光透過性樹
脂より成る光学記録再生媒体用の基板を成形する。
【００７１】この例においては、成形した基板の厚さを
１．１ｍｍとし、その信号形成面に、Ａｌ合金等から成
る反射層３、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 等より成る第１の誘電体
層４、ＧｅＳｂＴｅ合金等より成る相変化材料より成る
記録層５、ＺｎＳ−ＳｉＯ2等より成る第２の誘電体層
６を順次スパッタリング等によって成膜する。その後、
第２の誘電体層５の上に紫外線硬化樹脂をスピンコート
法により塗布し、この紫外線硬化樹脂に対して紫外線を
照射し硬化させることによって、厚さ０．１ｍｍの保護
層７を形成する。以上の工程によって、ＤＶＲ型構成の
光学記録再生媒体が形成される。
１．１ｍｍとし、その信号形成面に、Ａｌ合金等から成
る反射層３、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 等より成る第１の誘電体
層４、ＧｅＳｂＴｅ合金等より成る相変化材料より成る
記録層５、ＺｎＳ−ＳｉＯ2等より成る第２の誘電体層
６を順次スパッタリング等によって成膜する。その後、
第２の誘電体層５の上に紫外線硬化樹脂をスピンコート
法により塗布し、この紫外線硬化樹脂に対して紫外線を
照射し硬化させることによって、厚さ０．１ｍｍの保護
層７を形成する。以上の工程によって、ＤＶＲ型構成の
光学記録再生媒体が形成される。
【００７２】このようにして形成した光学記録再生媒体
の凹凸パターンの再生特性の評価を、波長λ＝４０６ｎ
ｍ、開口数ＮＡ＝０．８５の光学系を備えた光学記録再
生装置を用いて行った。この装置の模式的な構成を図４
に示す。
の凹凸パターンの再生特性の評価を、波長λ＝４０６ｎ
ｍ、開口数ＮＡ＝０．８５の光学系を備えた光学記録再
生装置を用いて行った。この装置の模式的な構成を図４
に示す。
【００７３】図４において、６１は波長λ＝４０６ｎｍ
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、
グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び
±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。こ
れらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッ
タ（ＰＢＳ）６４、１／４波長板６５を円偏光として透
過して、開口数ＮＡ＝０．８５の対物レンズよりなる光
ピックアップ６６によって、光学記録再生媒体１０の所
定の記録トラック上に集光される。主ビームの中央のス
ポットは記録情報の記録再生に用いられ、副ビームの光
スポットはトラッキングエラーの検出用に用いられる。
図４において、６７は例えば再生用に使用する磁気ヘッ
ド、６８は光学記録再生媒体１０を矢印ｂで示すように
回転する回転手段を示す。実線ｄは光学記録再生媒体１
０の回転軸を示す。
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、
グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び
±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。こ
れらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッ
タ（ＰＢＳ）６４、１／４波長板６５を円偏光として透
過して、開口数ＮＡ＝０．８５の対物レンズよりなる光
ピックアップ６６によって、光学記録再生媒体１０の所
定の記録トラック上に集光される。主ビームの中央のス
ポットは記録情報の記録再生に用いられ、副ビームの光
スポットはトラッキングエラーの検出用に用いられる。
図４において、６７は例えば再生用に使用する磁気ヘッ
ド、６８は光学記録再生媒体１０を矢印ｂで示すように
回転する回転手段を示す。実線ｄは光学記録再生媒体１
０の回転軸を示す。
【００７４】そして、光学記録再生媒体１０からの反射
光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経
由して円偏光はＳ偏光になり偏光ビームスプリッタ６４
に反射され、偏光ビームスプリッタ７０に入射する。偏
光ビームスプリッタ７０は、入射されたレーザ光をＳ偏
光成分とＰ偏光成分とに偏光分離し、レーザ光を組み合
わせレンズ７１とレンズ７４とに入射させる。
光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経
由して円偏光はＳ偏光になり偏光ビームスプリッタ６４
に反射され、偏光ビームスプリッタ７０に入射する。偏
光ビームスプリッタ７０は、入射されたレーザ光をＳ偏
光成分とＰ偏光成分とに偏光分離し、レーザ光を組み合
わせレンズ７１とレンズ７４とに入射させる。
【００７５】組み合わせレンズ７１に入射されたレーザ
光は、レーザビームに比点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号即ちフォーカスエラ
ー信号及びトラッキングエラー信号として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディ
テクタ７３（Ａ〜Ｆ）を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ
〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両
側部に位置するＥ、Ｆに入射する。
光は、レーザビームに比点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号即ちフォーカスエラ
ー信号及びトラッキングエラー信号として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディ
テクタ７３（Ａ〜Ｆ）を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ
〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両
側部に位置するＥ、Ｆに入射する。
【００７６】また、偏光ビームスプリッタ７０で反射さ
れたレーザ光は、レンズ７４を介してもう一方のフォト
ダイオード７５に入射される。フォトダイオード７５は
ディテクタ７６（Ｇ）を有し、偏光ビームスプリッタ７
０において反射されたレーザ光を検出する。
れたレーザ光は、レンズ７４を介してもう一方のフォト
ダイオード７５に入射される。フォトダイオード７５は
ディテクタ７６（Ｇ）を有し、偏光ビームスプリッタ７
０において反射されたレーザ光を検出する。
【００７７】各ディテクタ７３、７６のＡ〜Ｇにより出
力される信号Ａ〜Ｇが、図示しないが所定の回路系にお
いて、以下のように加算減算処理されて所定の信号が出
力される。即ち、 光学記録再生媒体の再生信号（ＭＯ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋
Ｃ＋Ｄ）−Ｇ ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）又はＧ プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ａ＋Ｃ）
−（Ｂ＋Ｄ） とする。このような構成による光学記録再生装置におい
て、上述の本発明構成による光学記録再生媒体の評価を
行った。
力される信号Ａ〜Ｇが、図示しないが所定の回路系にお
いて、以下のように加算減算処理されて所定の信号が出
力される。即ち、 光学記録再生媒体の再生信号（ＭＯ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋
Ｃ＋Ｄ）−Ｇ ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）又はＧ プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ａ＋Ｃ）
−（Ｂ＋Ｄ） とする。このような構成による光学記録再生装置におい
て、上述の本発明構成による光学記録再生媒体の評価を
行った。
【００７８】以下の各例においては、感光層２の材料、
この場合フォトレジストの材料の希釈率と、レジスト塗
布時のスピンコートの回転数を換えて感光層２の厚さを
制御して、グルーブの深さをそれぞれ１７ｎｍ、２０ｎ
ｍ、２３ｎｍ、３４ｎｍ、４７ｎｍ、５５ｎｍの光学記
録再生媒体Ａ〜Ｆを上述の工程により製造した。
この場合フォトレジストの材料の希釈率と、レジスト塗
布時のスピンコートの回転数を換えて感光層２の厚さを
制御して、グルーブの深さをそれぞれ１７ｎｍ、２０ｎ
ｍ、２３ｎｍ、３４ｎｍ、４７ｎｍ、５５ｎｍの光学記
録再生媒体Ａ〜Ｆを上述の工程により製造した。
【００７９】更に、各光学記録再生媒体の原盤を作製す
る際の記録光パワーを変えることにより、グルーブの幅
を１２５ｎｍから２２０ｎｍまで変化させて製造して、
各光学記録再生媒体のプッシュプル信号量を測定した。
この結果を以下の表１に示す。尚、再生光の波長λは上
述したように４０６ｎｍ、保護層７の屈折率は１．４８
である。表１において信号量を記載していない欄は、再
生できなかったことを示す。
る際の記録光パワーを変えることにより、グルーブの幅
を１２５ｎｍから２２０ｎｍまで変化させて製造して、
各光学記録再生媒体のプッシュプル信号量を測定した。
この結果を以下の表１に示す。尚、再生光の波長λは上
述したように４０６ｎｍ、保護層７の屈折率は１．４８
である。表１において信号量を記載していない欄は、再
生できなかったことを示す。
【００８０】
【表１】
【００８１】前述したように、プッシュプル信号振幅
は、プッシュプル信号量が最大となるようにフォーカス
微調整を行う場合、安定したトラッキングサーボ、また
はウォブリング信号を再生するためには、０．１４程度
以上必要とされる。
は、プッシュプル信号量が最大となるようにフォーカス
微調整を行う場合、安定したトラッキングサーボ、また
はウォブリング信号を再生するためには、０．１４程度
以上必要とされる。
【００８２】上記表１の結果からわかるように、光学記
録再生媒体Ａ〜Ｆは、全面において安定なトラッキング
サーボ信号を得ることができた。
録再生媒体Ａ〜Ｆは、全面において安定なトラッキング
サーボ信号を得ることができた。
【００８３】更に、ウォブルグルーブのアドレス情報を
安定に再生できる領域は、光学記録再生媒体Ａ〜Ｆのう
ちグルーブ幅が１２５ｎｍから１９０ｎｍの範囲とされ
たものであった。グルーブ幅が２２０ｎｍの領域は、ア
ドレス情報を安定に再生できないことがあった。
安定に再生できる領域は、光学記録再生媒体Ａ〜Ｆのう
ちグルーブ幅が１２５ｎｍから１９０ｎｍの範囲とされ
たものであった。グルーブ幅が２２０ｎｍの領域は、ア
ドレス情報を安定に再生できないことがあった。
【００８４】また、ウォブルグルーブのアドレス情報を
安定に再生できる領域、即ちグルーブ幅が１２５、１６
０、１９０ｎｍとされた光学記録再生媒体Ａ〜Ｆの、読
み取り面に近いグルーブ２の上面に、１−７変調で情報
の記録及び再生を行ったところ、光学記録再生媒体の情
報面全面においてジッター１０％以下で再生を行うこと
ができ、良好な記録再生特性を実現することができた。
安定に再生できる領域、即ちグルーブ幅が１２５、１６
０、１９０ｎｍとされた光学記録再生媒体Ａ〜Ｆの、読
み取り面に近いグルーブ２の上面に、１−７変調で情報
の記録及び再生を行ったところ、光学記録再生媒体の情
報面全面においてジッター１０％以下で再生を行うこと
ができ、良好な記録再生特性を実現することができた。
【００８５】これらの結果から、３２０ｎｍの狭トラッ
クピッチのウォブルグルーブ記録フォーマットを採る光
学記録再生媒体において、グルーブ深さを１７ｎｍ〜５
５ｎｍとしたときに、即ち波長λ＝４０６ｎｍ、屈折率
ｎ＝１．４８に対し、位相深さをλ／１６．１４ｎ以上
λ／４．９９ｎ以下とし、更に、グルーブの幅を１２５
ｎｍ以上１９０ｎｍ以下とし、従ってグルーブ幅とトラ
ックピッチの比を、０．３９１以上０．５９４以下とす
るときに、グルーブ形状は記録再生特性を損なうことな
く最適な形状となり、良好な記録再生特性を保持しつつ
記録密度の高密度化、大容量化をはかることができるこ
とがわかる。
クピッチのウォブルグルーブ記録フォーマットを採る光
学記録再生媒体において、グルーブ深さを１７ｎｍ〜５
５ｎｍとしたときに、即ち波長λ＝４０６ｎｍ、屈折率
ｎ＝１．４８に対し、位相深さをλ／１６．１４ｎ以上
λ／４．９９ｎ以下とし、更に、グルーブの幅を１２５
ｎｍ以上１９０ｎｍ以下とし、従ってグルーブ幅とトラ
ックピッチの比を、０．３９１以上０．５９４以下とす
るときに、グルーブ形状は記録再生特性を損なうことな
く最適な形状となり、良好な記録再生特性を保持しつつ
記録密度の高密度化、大容量化をはかることができるこ
とがわかる。
【００８６】また更に、フォトレジストの厚さを変える
ことにより、グルーブ深さ９９ｎｍ、１０３ｎｍ、１１
１ｎｍ、１１４ｎｍのディスクＧ〜Ｊを作製した。この
場合においても各ディスクの記録用レーザ光のパワーを
変えることにより、グルーブ幅を１３５ｎｍ、１５５ｎ
ｍ、１７５ｎｍ、１８５ｎｍとして記録を行い、そのプ
ッシュプル信号量を上述の光学記録再生装置において測
定した。この結果を、以下の表２に示す。
ことにより、グルーブ深さ９９ｎｍ、１０３ｎｍ、１１
１ｎｍ、１１４ｎｍのディスクＧ〜Ｊを作製した。この
場合においても各ディスクの記録用レーザ光のパワーを
変えることにより、グルーブ幅を１３５ｎｍ、１５５ｎ
ｍ、１７５ｎｍ、１８５ｎｍとして記録を行い、そのプ
ッシュプル信号量を上述の光学記録再生装置において測
定した。この結果を、以下の表２に示す。
【００８７】
【表２】
【００８８】これらディスクＧ〜Ｊの全面において、安
定なトラッキングサーボ信号を得ることができた。更
に、ウォブルグルーブのアドレス情報を再生したとこ
ろ、ディスクＧ及びＪのグルーブ幅が１３５ｎｍ、１８
５ｎｍの領域では再生でのエラーレートの悪化が見られ
たが、アドレス情報の安定な再生は可能であった。即
ち、安定に再生できる領域は、ディスクＧ〜Ｊの、グル
ーブ幅が１３５ｎｍ以上１８５ｎｍ以下の領域であるこ
とがわかる。
定なトラッキングサーボ信号を得ることができた。更
に、ウォブルグルーブのアドレス情報を再生したとこ
ろ、ディスクＧ及びＪのグルーブ幅が１３５ｎｍ、１８
５ｎｍの領域では再生でのエラーレートの悪化が見られ
たが、アドレス情報の安定な再生は可能であった。即
ち、安定に再生できる領域は、ディスクＧ〜Ｊの、グル
ーブ幅が１３５ｎｍ以上１８５ｎｍ以下の領域であるこ
とがわかる。
【００８９】即ち、３２０ｎｍの狭トラックピッチのウ
ォブルグルーブ記録フォーマットを採る光学記録再生媒
体において、グルーブ深さを９９ｎｍ〜１１４ｎｍとし
たときに、即ち波長λ＝４０６ｎｍ、屈折率ｎ＝１．４
８に対し、位相深さをλ／２．７７ｎ以上λ／２．４１
ｎ以下とし、グルーブの幅を１３５ｎｍ以上１８５ｎｍ
以下とし、従ってグルーブ幅とトラックピッチの比を、
０．４２２以上０．５７８以下とするときに、グルーブ
形状は記録再生特性を損なうことなく最適な形状とな
り、良好な記録再生特性を保持しつつ記録密度の高密度
化、大容量化をはかることができることがわかる。
ォブルグルーブ記録フォーマットを採る光学記録再生媒
体において、グルーブ深さを９９ｎｍ〜１１４ｎｍとし
たときに、即ち波長λ＝４０６ｎｍ、屈折率ｎ＝１．４
８に対し、位相深さをλ／２．７７ｎ以上λ／２．４１
ｎ以下とし、グルーブの幅を１３５ｎｍ以上１８５ｎｍ
以下とし、従ってグルーブ幅とトラックピッチの比を、
０．４２２以上０．５７８以下とするときに、グルーブ
形状は記録再生特性を損なうことなく最適な形状とな
り、良好な記録再生特性を保持しつつ記録密度の高密度
化、大容量化をはかることができることがわかる。
【００９０】また、ディスクＧ〜Ｊの全面のウォブルグ
ルーブ部、即ち光入射側に近い記録領域に１−７変調方
式で記録再生を行い、ディスク全面においてジッタ−１
２％以下の再生を行うことができ、良好な記録再生特性
を実現できた。
ルーブ部、即ち光入射側に近い記録領域に１−７変調方
式で記録再生を行い、ディスク全面においてジッタ−１
２％以下の再生を行うことができ、良好な記録再生特性
を実現できた。
【００９１】尚、上述の各例においては、グルーブのト
ラックピッチを全て３２０ｎｍとしたものであるが、ト
ラックピッチを３００ｎｍ、３１０ｎｍ、３１５ｎｍ、
３２５ｎｍとし、グルーブの深さは３４ｎｍ、従って位
相深さはλ／８．０７ｎと、グルーブ幅とトラックピッ
チの比ｗ／ｐは０．５とした光学記録再生媒体を製造
し、そのプッシュプル信号振幅を測定した。この結果
を、トラックピッチ３２０ｎｍとしたものも含めて、以
下の表３に示す。
ラックピッチを全て３２０ｎｍとしたものであるが、ト
ラックピッチを３００ｎｍ、３１０ｎｍ、３１５ｎｍ、
３２５ｎｍとし、グルーブの深さは３４ｎｍ、従って位
相深さはλ／８．０７ｎと、グルーブ幅とトラックピッ
チの比ｗ／ｐは０．５とした光学記録再生媒体を製造
し、そのプッシュプル信号振幅を測定した。この結果
を、トラックピッチ３２０ｎｍとしたものも含めて、以
下の表３に示す。
【００９２】
【表３】
【００９３】この結果から、トラックピッチが３１０ｎ
ｍの場合は、グルーブの位相深さがほぼλ／８ｎで信号
量が０．１８であり、更にトラックピッチを微小化して
３００ｎｍとした場合は、同じくグルーブの位相深さλ
／８ｎで信号量は０．１４と低下してしまい、実用的な
ウォブル再生の下限であることがわかった。従って、ト
ラックピッチを３００ｎｍ以上３２５ｎｍ以下、更に好
ましくは３１０ｎｍ以上３２５ｎｍ以下とする場合に
は、安定したウォブル信号の再生が可能であることがわ
かる。
ｍの場合は、グルーブの位相深さがほぼλ／８ｎで信号
量が０．１８であり、更にトラックピッチを微小化して
３００ｎｍとした場合は、同じくグルーブの位相深さλ
／８ｎで信号量は０．１４と低下してしまい、実用的な
ウォブル再生の下限であることがわかった。従って、ト
ラックピッチを３００ｎｍ以上３２５ｎｍ以下、更に好
ましくは３１０ｎｍ以上３２５ｎｍ以下とする場合に
は、安定したウォブル信号の再生が可能であることがわ
かる。
【００９４】また、グルーブの位相深さがほぼλ／２．
６６ｎとされた光学記録再生媒体においてトラックピッ
チを３００ｎｍから３２５ｎｍまで変化させてプッシュ
プル信号振幅を測定したところ、同様の結果を得た。即
ち、トラックピッチを３００ｎｍ以上３２５ｎｍ以下、
より好ましくは３１０ｎｍ以上３２５ｎｍ以下に選定す
る場合には、安定したウォブル信号の再生ができること
がわかる。
６６ｎとされた光学記録再生媒体においてトラックピッ
チを３００ｎｍから３２５ｎｍまで変化させてプッシュ
プル信号振幅を測定したところ、同様の結果を得た。即
ち、トラックピッチを３００ｎｍ以上３２５ｎｍ以下、
より好ましくは３１０ｎｍ以上３２５ｎｍ以下に選定す
る場合には、安定したウォブル信号の再生ができること
がわかる。
【００９５】上述したように、本発明構成とする場合
は、前述のランドグルーブ記録方式を採る場合とほぼ同
程度のトラック密度とし、従って従来の２倍程度の高記
録密度化をはかることができる。しかも、ランドグルー
ブ記録方式を採る場合のように、再生時に複数のフォー
カス点を設定する必要がなく、記録再生特性のばらつき
を生じることもない。
は、前述のランドグルーブ記録方式を採る場合とほぼ同
程度のトラック密度とし、従って従来の２倍程度の高記
録密度化をはかることができる。しかも、ランドグルー
ブ記録方式を採る場合のように、再生時に複数のフォー
カス点を設定する必要がなく、記録再生特性のばらつき
を生じることもない。
【００９６】即ち、このような本発明による光学記録再
生媒体を用いる光学記録再生装置において、その保護層
側から再生光を照射して、グルーブの突出する上面に記
録情報の記録再生を行う構成とすることによって、光学
系の複雑化を招くことなく、記録再生特性を良好の保持
しつつ従来の２倍程度の高記録密度化をはかることがで
きることとなる。
生媒体を用いる光学記録再生装置において、その保護層
側から再生光を照射して、グルーブの突出する上面に記
録情報の記録再生を行う構成とすることによって、光学
系の複雑化を招くことなく、記録再生特性を良好の保持
しつつ従来の２倍程度の高記録密度化をはかることがで
きることとなる。
【００９７】以上本発明の実施の形態と実施例の各例を
説明したが、本発明は上述の実施例に限定されることな
く、相変化材料層を含む各層の材料構成を変更するな
ど、またその他例えば記録層として光磁気記録層、色素
材料層を用いる場合や基板材料や構成等、本発明構成を
逸脱しない範囲で種々の変形変更が可能であることはい
うまでもない。
説明したが、本発明は上述の実施例に限定されることな
く、相変化材料層を含む各層の材料構成を変更するな
ど、またその他例えば記録層として光磁気記録層、色素
材料層を用いる場合や基板材料や構成等、本発明構成を
逸脱しない範囲で種々の変形変更が可能であることはい
うまでもない。
【００９８】また、情報としては記録情報に限定される
ことなく、信号の記録再生や或いは情報及び信号の記録
再生両方の機能を有する光学記録再生媒体、光学記録再
生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置にも
適用することができる。
ことなく、信号の記録再生や或いは情報及び信号の記録
再生両方の機能を有する光学記録再生媒体、光学記録再
生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置にも
適用することができる。
【００９９】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、従来
の２倍程度の高記録密度化をはかることのできる狭トラ
ックピッチのグルーブを設ける構成とする場合において
も、最適なグルーブ形状を採ることによって、良好な記
録再生特性を保持して、且つ光学系の複雑化を回避し
て、確実安定な記録再生を行うことのできる高記録密度
の光学記録再生媒体及び光学記録再生装置を提供するこ
とができる。
の２倍程度の高記録密度化をはかることのできる狭トラ
ックピッチのグルーブを設ける構成とする場合において
も、最適なグルーブ形状を採ることによって、良好な記
録再生特性を保持して、且つ光学系の複雑化を回避し
て、確実安定な記録再生を行うことのできる高記録密度
の光学記録再生媒体及び光学記録再生装置を提供するこ
とができる。
【０１００】また、ウォブルグルーブを設ける場合、そ
のアドレス情報を安定に再生することを実現でき、全て
の記録領域におけるウォブル信号の再生が可能な記録再
生特性に優れた高密度の光学記録再生媒体、及びこれを
用いた光学記録再生装置を提供することができる。
のアドレス情報を安定に再生することを実現でき、全て
の記録領域におけるウォブル信号の再生が可能な記録再
生特性に優れた高密度の光学記録再生媒体、及びこれを
用いた光学記録再生装置を提供することができる。
【図１】光学記録再生媒体の一例の略線的拡大断面図で
ある。
ある。
【図２】光学記録再生媒体の製造工程の一例を示す工程
図である。
図である。
【図３】光学記録装置の一例の構成図である。
【図４】光学記録再生装置の一例の構成図である。
【図５】光学記録再生媒体の一例の一部拡大平面図であ
る。
る。
１ 基板、２ グルーブ、３ 反射層、４ 第１の誘電
体層、５ 記録層、６第２の誘電体層、７ 保護層、８
光ピックアップ、９ ランド、１１ 原盤用基板、１
２ 感光層、１３ グルーブパターン、１３ｎ 反転グ
ルーブパターン、１４ スタンパ、１５ マザースタン
パ、１６ グルーブパターン、２０ 光源、２１ 電気
変調器、２２ 検光子、２４ フォトディテクタ、２５
変調光学系、２７ ドライバ、２８ 音響光学変調
器、４０ 移動光学テーブル、４７ウェッジプリズム、
４８ 音響光学偏向器、４９ ウェッジプリズム、５０
駆動用ドライバ、５１ 電圧制御発振器、５４ 対物レ
ンズ ６１ 光源、６２コリメートレンズ、６３ グレ
ーティング、６４ 偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、
６５ １／４波長板、６６ 光プックアップ、６７ 磁
気ヘッド、６８回転手段、７０ 偏光ビームスプリッ
タ、７１ 組み合わせレンズ、７２ フォトダイオー
ド、７３ ディテクタ、７４ レンズ、７５ フォトダ
イオード、７６ ディテクタ
体層、５ 記録層、６第２の誘電体層、７ 保護層、８
光ピックアップ、９ ランド、１１ 原盤用基板、１
２ 感光層、１３ グルーブパターン、１３ｎ 反転グ
ルーブパターン、１４ スタンパ、１５ マザースタン
パ、１６ グルーブパターン、２０ 光源、２１ 電気
変調器、２２ 検光子、２４ フォトディテクタ、２５
変調光学系、２７ ドライバ、２８ 音響光学変調
器、４０ 移動光学テーブル、４７ウェッジプリズム、
４８ 音響光学偏向器、４９ ウェッジプリズム、５０
駆動用ドライバ、５１ 電圧制御発振器、５４ 対物レ
ンズ ６１ 光源、６２コリメートレンズ、６３ グレ
ーティング、６４ 偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、
６５ １／４波長板、６６ 光プックアップ、６７ 磁
気ヘッド、６８回転手段、７０ 偏光ビームスプリッ
タ、７１ 組み合わせレンズ、７２ フォトダイオー
ド、７３ ディテクタ、７４ レンズ、７５ フォトダ
イオード、７６ ディテクタ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年１０月２３日（２００２．１０．
２３）
２３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００７３】図４において、６１は波長λ＝４０６ｎｍ
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、
グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び
±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。こ
れらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッ
タ（ＰＢＳ）６４、１／４波長板６５を円偏光として透
過して、開口数ＮＡ＝０．８５の対物レンズよりなる光
ピックアップ６６によって、光学記録再生媒体１０の所
定の記録トラック上に集光される。主ビームの中央のス
ポットは記録情報の記録再生に用いられ、副ビームの光
スポットはトラッキングエラーの検出用に用いられる。
６８は光学記録再生媒体１０を矢印ｂで示すように回転
する回転手段を示す。実線ｄは光学記録再生媒体１０の
回転軸を示す。
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、
グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び
±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。こ
れらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッ
タ（ＰＢＳ）６４、１／４波長板６５を円偏光として透
過して、開口数ＮＡ＝０．８５の対物レンズよりなる光
ピックアップ６６によって、光学記録再生媒体１０の所
定の記録トラック上に集光される。主ビームの中央のス
ポットは記録情報の記録再生に用いられ、副ビームの光
スポットはトラッキングエラーの検出用に用いられる。
６８は光学記録再生媒体１０を矢印ｂで示すように回転
する回転手段を示す。実線ｄは光学記録再生媒体１０の
回転軸を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００７４】そして、光学記録再生媒体１０からの反射
光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経
由して円偏光はＳ偏光になり、偏光ビームスプリッタ６
４に反射され、組み合わせレンズ７１に入射される。
光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経
由して円偏光はＳ偏光になり、偏光ビームスプリッタ６
４に反射され、組み合わせレンズ７１に入射される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００７５】組み合わせレンズ７１に入射されたレーザ
光は、レーザビームに非点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号即ちフォーカスエラ
ー信号及びトラッキングエラー信号として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディ
テクタ７３（Ａ〜Ｈ）を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ
〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両
側部に位置するディテクタＥ〜Ｈに入射する。
光は、レーザビームに非点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号即ちフォーカスエラ
ー信号及びトラッキングエラー信号として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディ
テクタ７３（Ａ〜Ｈ）を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ
〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両
側部に位置するディテクタＥ〜Ｈに入射する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００７７】ディテクタ７３のＡ〜Ｈにより出力される
信号Ａ〜Ｈが、図示しないが所定の回路系において、以
下のように加算減算処理されて信号が出力される。この
例においては、所定の間隔に配置して照射した上記３本
のレーザ光を利用した差動プッシュプル（ＤＰＰ；Diff
erential Push-Pull）方式によりトラッキングサーボ信
号を得た。即ち、 光学記録再生媒体の再生信号＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ） ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ） プッシュプル信号＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ｂ＋Ｃ）
−（Ａ＋Ｄ）−ｋ（（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ）） （ｋは所定の定数） とする。このような構成による光学記録再生装置におい
て、上述の本発明構成による光学記録再生媒体の評価を
行った。
信号Ａ〜Ｈが、図示しないが所定の回路系において、以
下のように加算減算処理されて信号が出力される。この
例においては、所定の間隔に配置して照射した上記３本
のレーザ光を利用した差動プッシュプル（ＤＰＰ；Diff
erential Push-Pull）方式によりトラッキングサーボ信
号を得た。即ち、 光学記録再生媒体の再生信号＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ） ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ） プッシュプル信号＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ｂ＋Ｃ）
−（Ａ＋Ｄ）−ｋ（（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ）） （ｋは所定の定数） とする。このような構成による光学記録再生装置におい
て、上述の本発明構成による光学記録再生媒体の評価を
行った。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】
１ 基板、２ グルーブ、３ 反射層、４ 第１の誘電
体層、５ 記録層、６第２の誘電体層、７ 保護層、８
光ピックアップ、９ ランド、１０ 光学記録再生媒
体、１１ 原盤用基板、１２ 感光層、１３ グルーブ
パターン、１３ｎ 反転グルーブパターン、１４ スタ
ンパ、１５ マザースタンパ、１６ グルーブパター
ン、２０ 光源、２１ 電気変調器、２２ 検光子、２
４ フォトディテクタ、２５ 変調光学系、２７ ドラ
イバ、２８ 音響光学変調器、４０移動光学テーブル、
４７ ウェッジプリズム、４８ 音響光学偏向器、４９
ウェッジプリズム、５０ 駆動用ドライバ、５１ 電圧
制御発振器、５４ 対物レンズ、６１ 光源、６２ コ
リメートレンズ、６３ グレーティング、６４偏光ビー
ムスプリッタ（ＰＢＳ）、６５ １／４波長板、６６
光ピックアップ、６７ 磁気ヘッド、６８ 回転手段、
７１ 組み合わせレンズ、７２ フォトダイオード、７
３ ディテクタ
体層、５ 記録層、６第２の誘電体層、７ 保護層、８
光ピックアップ、９ ランド、１０ 光学記録再生媒
体、１１ 原盤用基板、１２ 感光層、１３ グルーブ
パターン、１３ｎ 反転グルーブパターン、１４ スタ
ンパ、１５ マザースタンパ、１６ グルーブパター
ン、２０ 光源、２１ 電気変調器、２２ 検光子、２
４ フォトディテクタ、２５ 変調光学系、２７ ドラ
イバ、２８ 音響光学変調器、４０移動光学テーブル、
４７ ウェッジプリズム、４８ 音響光学偏向器、４９
ウェッジプリズム、５０ 駆動用ドライバ、５１ 電圧
制御発振器、５４ 対物レンズ、６１ 光源、６２ コ
リメートレンズ、６３ グレーティング、６４偏光ビー
ムスプリッタ（ＰＢＳ）、６５ １／４波長板、６６
光ピックアップ、６７ 磁気ヘッド、６８ 回転手段、
７１ 組み合わせレンズ、７２ フォトダイオード、７
３ ディテクタ
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 中野 淳
東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ
ー株式会社内
Ｆターム(参考） 5D029 WA02 WB11 WB17 WC04 WC05
WC10 WD10 WD11 WD12
5D090 AA01 BB01 BB05 BB10 CC12
CC14 DD02 FF11 GG03 GG40
5D119 AA22 BA01 BB04 JA43 JB02
5D121 BB01 BB26 CA03
5D789 AA22 BA01 BB04 JA43 JB02
Claims (17)
- 【請求項１】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体であって、 上記光学記録再生媒体の光入射面から上記グルーブに至
る媒質の屈折率をｎとしたときに、上記グルーブの位相
深さｘが、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とされると共に、上記グルーブの幅ｗと、トラックピッ
チｐの比ｗ／ｐが、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。 - 【請求項２】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体であって、 上記光学記録再生媒体の光入射面から上記グルーブに至
る媒質の屈折率をｎとしたときに、上記グルーブの位相
深さｘが、 λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ とされると共に、上記グルーブの幅ｗと、トラックピッ
チｐの比ｗ／ｐが、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。 - 【請求項３】 上記グルーブが形成された基板の上に、
少なくとも記録層及び保護層が設けられ、 上記グルーブは、上記光入射面に近い側に突出する上面
を有し、上記グルーブの上面が情報の記録再生がなされ
る情報面とされて成ることを特徴とする上記請求項１又
は２に記載の光学記録再生媒体。 - 【請求項４】 上記グルーブがウォブリンググルーブと
されて成ることを特徴とする上記請求項１、２又は３に
記載の光学記録再生媒体。 - 【請求項５】 上記トラックピッチが、３００ｎｍ以上
３２５ｎｍ以下とされることを特徴とする上記請求項
１、２、３又は４に記載の光学記録再生媒体。 - 【請求項６】 上記光学記録再生媒体に対する記録及び
／又は再生に使用される対物レンズの開口数をＮＡとし
たとき、上記ＮＡが０．８５以上であることを特徴とす
る上記請求項１、２、３、４又は５に記載の光学記録再
生記録媒体。 - 【請求項７】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体を製造する際に使用される
光学記録再生媒体製造用マザースタンパであって、 上記光学記録再生媒体の光入射面から上記グルーブに到
る媒質の屈折率をｎとしたときに、上記グルーブに対応
するグルーブパターンの位相深さｘ’が、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎ とされると共に、上記グルーブパターンの幅ｗ’と、ト
ラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’が、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体製造用
マザースタンパ。 - 【請求項８】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光学記録再生媒体を製造する際に使用される
光学記録再生媒体製造用マザースタンパであって、 上記光学記録再生媒体の光入射面から上記グルーブに到
る媒質の屈折率をｎとしたときに、上記グルーブに対応
するグルーブパターンの位相深さｘ’が、 λ／２．７７ｎ≦ｘ’≦λ／２．４１ｎ とされると共に、上記グルーブパターンの幅ｗ’と、ト
ラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’が、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体製造用
マザースタンパ。 - 【請求項９】 上記グルーブパターンが、ウォブリング
グルーブパターンとされて成ることを特徴とする上記請
求項７又は８に記載の光学記録再生媒体製造用マザース
タンパ。 - 【請求項１０】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
され、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再
生がなされる光学記録再生媒体であって、 上記光学記録再生媒体の光入射面から上記グルーブに到
る媒質の屈折率をｎとしたときに、上記グルーブに対応
するグルーブパターンの位相深さｘ’が、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ’≦λ／４．９９ｎ とされると共に、上記グルーブに対応するグルーブパタ
ーンの幅ｗ’と、トラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’
が、 ０．３９１≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５９４ とされて成るマザースタンパを用いて転写成型された基
板を用い、 上記基板上に、少なくとも記録層及び保護層が設けら
れ、 上記グルーブは、上記光入射面に近い側に突出する上面
を有し、且つ上記上面が情報の記録再生がなされる情報
面とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。 - 【請求項１１】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
され、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再
生がなされる光学記録再生媒体であって、上記光学記録
再生媒体の光入射面から上記グルーブに到る媒質の屈折
率をｎとしたときに、上記グルーブに対応するグルーブ
パターンの位相深さｘ’が、 λ／２．７７ｎ≦ｘ’≦λ／２．４１ｎ とされると共に、上記グルーブに対応するグルーブパタ
ーンの幅ｗ’と、トラックピッチｐ’の比ｗ’／ｐ’
が、 ０．４２２≦（ｗ’／ｐ’）≦０．５７８ とされて成るマザースタンパを用いて転写成型された基
板を用い、 上記基板上に、少なくとも記録層及び保護層が設けら
れ、 上記グルーブは、上記光入射面に近い側に突出する上面
を有し、且つ上記上面が情報の記録再生がなされる情報
面とされて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。 - 【請求項１２】 上記グルーブはウォブリンググルーブ
とされて成ることを特徴とする上記請求項１０又は１１
に記載の光学記録再生媒体。 - 【請求項１３】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
され、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再
生がなされる光学記録再生媒体を用いる光学記録再生装
置であって、 上記光学記録再生媒体は、上記光学記録再生媒体の光入
射面から上記グルーブに至る媒質の屈折率をｎとしたと
きに、上記グルーブの位相深さｘが、 λ／１６．１４ｎ≦ｘ≦λ／４．９９ｎ とされると共に、上記グルーブの幅ｗと、トラックピッ
チｐの比ｗ／ｐが、 ０．３９１≦（ｗ／ｐ）≦０．５９４ とされて成り、 上記グルーブの上記光入射面に近い上面のみに、情報の
記録再生を行うことを特徴とする光学記録再生装置。 - 【請求項１４】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
され、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再
生がなされる光学記録再生媒体を用いる光学記録再生装
置であって、上記光学記録再生媒体は、上記光学記録再
生媒体の光入射面から上記グルーブに至る媒質の屈折率
をｎとしたときに、上記グルーブの位相深さｘが、 λ／２．７７ｎ≦ｘ≦λ／２．４１ｎ とされると共に、上記グルーブの幅ｗと、トラックピッ
チｐの比ｗ／ｐが、 ０．４２２≦（ｗ／ｐ）≦０．５７８ とされて成り、上記グルーブの上記光入射面に近い上面
のみに、情報の記録再生を行うことを特徴とする光学記
録再生装置。 - 【請求項１５】 上記グルーブがウォブリンググルーブ
とされ、そのウォブリング情報の再生がなされることを
特徴とする上記請求項１３又は１４に記載の光学記録再
生装置。 - 【請求項１６】 上記グルーブのトラックピッチが、３
００ｎｍ以上３２５ｎｍ以下とされることを特徴とする
上記請求項１３、１４又は１５に記載の光学記録再生装
置。 - 【請求項１７】 上記光学記録再生媒体に対する記録及
び／又は再生に使用される対物レンズの開口数をＮＡと
したときに、上記ＮＡが０．８５以上とされることを特
徴とする上記請求項１３、１４、１５又は１６に記載の
光学記録再生装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002034242A JP2003085778A (ja) | 2001-06-29 | 2002-02-12 | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置 |
| EP02743734A EP1403859A4 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-26 | OPTICAL RECORDING, REPRODUCTION MEDIUM, MOTHER'S PATTERN FOR PRODUCING AN OPTICAL RECORDING, REPRODUCTION MEDIUM AND OPTICAL RECORDING, REPRODUCTION DEVICE |
| KR1020037002409A KR100909603B1 (ko) | 2001-06-29 | 2002-06-26 | 광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더스탬퍼 및 광학 기록 재생 장치 |
| US10/362,220 US7242662B2 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-26 | Optical recording/reproducing medium, mother stamper for producing optical recording/reproducing medium and optical recording/reproducing device |
| PCT/JP2002/006442 WO2003003362A1 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-26 | Optical recording/reproducing medium, mother stamper for producing optical recording/reproducing medium and optical recording/reproducing device |
| CNB028024621A CN1267915C (zh) | 2001-06-29 | 2002-06-26 | 光学记录还原介质和制造光学记录还原介质的母盘模片 |
| TW091114341A TWI227487B (en) | 2001-06-29 | 2002-06-28 | Optical recording reproducing medium, mother stamper for producing optical recording reproducing medium and optical recording reproducing device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001199303 | 2001-06-29 | ||
| JP2001-199303 | 2001-06-29 | ||
| JP2002034242A JP2003085778A (ja) | 2001-06-29 | 2002-02-12 | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003085778A true JP2003085778A (ja) | 2003-03-20 |
Family
ID=26617904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002034242A Pending JP2003085778A (ja) | 2001-06-29 | 2002-02-12 | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用マザースタンパ及び光学記録再生装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7242662B2 (ja) |
| EP (1) | EP1403859A4 (ja) |
| JP (1) | JP2003085778A (ja) |
| KR (1) | KR100909603B1 (ja) |
| CN (1) | CN1267915C (ja) |
| TW (1) | TWI227487B (ja) |
| WO (1) | WO2003003362A1 (ja) |
Cited By (8)
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|---|---|---|---|---|
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| US7141289B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-11-28 | Tdk Corporation | Optical information recording medium |
| US7157128B2 (en) | 2003-07-23 | 2007-01-02 | Tdk Corporation | Optical information recording medium |
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| US7479363B2 (en) | 2002-04-26 | 2009-01-20 | Tdk Corporation | Optical recording medium and method for optically recording data in the same |
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|---|---|---|---|---|
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| CN1244096C (zh) * | 2001-10-10 | 2006-03-01 | 索尼公司 | 光学透镜、聚光透镜、光学拾取器和光学记录/再现装置 |
| JP3714331B2 (ja) * | 2003-02-14 | 2005-11-09 | ソニー株式会社 | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 |
| JP2005078782A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-24 | Tdk Corp | 光記録媒体及びその製造方法、並びに、光記録媒体に対するデータ記録方法及びデータ再生方法 |
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| US7870990B2 (en) * | 2005-04-29 | 2011-01-18 | Sukhvinder Singh Dhanjal | Cleaning a hot soldering iron tip using dry melamine sponge |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6343062B1 (en) | 1997-09-26 | 2002-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals |
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| EP0939398B1 (en) | 1998-02-26 | 2008-01-02 | Victor Company of Japan, Ltd. | Optical disc record carrier with wobbled grooves that permit recording on the grooves and lands, apparatus for manufacturing such a record carrier, and recording and/or reproducing apparatus for such a record carrier |
| JP3615054B2 (ja) * | 1998-06-04 | 2005-01-26 | ソニー株式会社 | 光学記録媒体 |
| JP3488124B2 (ja) * | 1999-03-17 | 2004-01-19 | 富士通株式会社 | 光情報記憶媒体 |
| JP3104699B1 (ja) * | 1999-06-01 | 2000-10-30 | 株式会社ニコン | 細溝付き成形基板の製造方法 |
| JP2001093151A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-04-06 | Victor Co Of Japan Ltd | 光ディスク管理システム、光ディスク |
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