JP2003071687A - 平面研削方法及び平面研削盤 - Google Patents
平面研削方法及び平面研削盤Info
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラネタリー機構を利用した平面研削方法及
び平面研削盤において、研削精度の向上、剛性向上及び
構造の簡素化を図ることである。 【解決手段】 研削方法として、回転砥石５の砥石軸芯
Ｏ1位置を固定し、加工物Ｗを、自転させると共に上記
砥石軸芯Ｏ1回りに公転させる。好ましくは、加工物Ｗ
を、自転軸芯Ｏ2の公転軌跡Ｃ1が回転砥石５の研削範囲
内に納まるように公転させる。平面研削盤としては、砥
石軸芯Ｏ1位置が固定された回転砥石軸１と、加工物Ｗ
を自転可能かつ上記砥石軸芯Ｏ1回り公転可能に保持す
る加工物駆動用のプラネタリー機構を備えている。ま
た、上記プラネタリー機構は、加工物Ｗの自転軸芯Ｏ2
の公転軌跡Ｃ1が回転砥石５の研削範囲内に納まるよう
に公転半径Ｅを設定する。
び平面研削盤において、研削精度の向上、剛性向上及び
構造の簡素化を図ることである。 【解決手段】 研削方法として、回転砥石５の砥石軸芯
Ｏ1位置を固定し、加工物Ｗを、自転させると共に上記
砥石軸芯Ｏ1回りに公転させる。好ましくは、加工物Ｗ
を、自転軸芯Ｏ2の公転軌跡Ｃ1が回転砥石５の研削範囲
内に納まるように公転させる。平面研削盤としては、砥
石軸芯Ｏ1位置が固定された回転砥石軸１と、加工物Ｗ
を自転可能かつ上記砥石軸芯Ｏ1回り公転可能に保持す
る加工物駆動用のプラネタリー機構を備えている。ま
た、上記プラネタリー機構は、加工物Ｗの自転軸芯Ｏ2
の公転軌跡Ｃ1が回転砥石５の研削範囲内に納まるよう
に公転半径Ｅを設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は加工物の平面を回
転砥石により研削する平面研削方法及び平面研削盤に関
する。
転砥石により研削する平面研削方法及び平面研削盤に関
する。
【０００２】
【従来の技術】回転砥石を用いた平面研削方法及び平面
研削盤において、研削面全体の均一な研削を図るため、
いわゆるプラネタリー研削方式を採用した平面研削方法
及び平面研削盤がある。
研削盤において、研削面全体の均一な研削を図るため、
いわゆるプラネタリー研削方式を採用した平面研削方法
及び平面研削盤がある。
【０００３】従来のこの種プラネタリー研削方式は、加
工物を定位置に固定し、回転砥石を砥石軸芯回りに自転
させながら加工物周囲を公転させることにより、加工物
の平面を研削する方式となっている。
工物を定位置に固定し、回転砥石を砥石軸芯回りに自転
させながら加工物周囲を公転させることにより、加工物
の平面を研削する方式となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のように、プラネ
タリー機構を回転砥石の駆動に利用し、回転砥石を自転
させると共に加工物の周りを公転させることにより平面
研削を行なう方式では、次のような課題をある。
タリー機構を回転砥石の駆動に利用し、回転砥石を自転
させると共に加工物の周りを公転させることにより平面
研削を行なう方式では、次のような課題をある。
【０００５】（１）砥石軸を自転及び公転可能に支持す
るプラネタリー機構は、コラム等に片持支持せざるを得
ないが、このような片持ち支持構造は、砥石軸の剛性低
下及び振動発生の原因になる。
るプラネタリー機構は、コラム等に片持支持せざるを得
ないが、このような片持ち支持構造は、砥石軸の剛性低
下及び振動発生の原因になる。
【０００６】（２）砥石軸を自転及び公転可能に支持す
るプラネタリー機構は構造が複雑化するため、砥石軸内
から研削面に流す冷却液の配管構造も複雑化する。
るプラネタリー機構は構造が複雑化するため、砥石軸内
から研削面に流す冷却液の配管構造も複雑化する。
【０００７】（３）砥石軸を自転及び公転可能に支持す
るプラネタリー機構は構造が複雑なため、砥石軸の寸法
が制限され、この点でも砥石軸の剛性低下の原因にな
る。
るプラネタリー機構は構造が複雑なため、砥石軸の寸法
が制限され、この点でも砥石軸の剛性低下の原因にな
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明は上記課題を解
決するものであり、請求項１記載の平面研削方法は、加
工物を、プラネタリー機構により自転させると共に砥石
軸芯回りに公転させることにより、加工物の研削面を平
面研削することを特徴としている。
決するものであり、請求項１記載の平面研削方法は、加
工物を、プラネタリー機構により自転させると共に砥石
軸芯回りに公転させることにより、加工物の研削面を平
面研削することを特徴としている。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の平
面研削方法において、加工物を、自転軸芯の公転軌跡が
回転砥石の研削範囲内に納まるように公転させることを
特徴としている。
面研削方法において、加工物を、自転軸芯の公転軌跡が
回転砥石の研削範囲内に納まるように公転させることを
特徴としている。
【００１０】請求項３記載の平面研削盤は、砥石軸芯位
置が固定された砥石軸と、加工物を自転可能かつ砥石軸
芯回り公転可能に保持する加工物駆動用のプラネタリー
機構を備えたことを特徴としている。
置が固定された砥石軸と、加工物を自転可能かつ砥石軸
芯回り公転可能に保持する加工物駆動用のプラネタリー
機構を備えたことを特徴としている。
【００１１】請求項４記載の発明は、請求項３記載の平
面研削盤において、プラネタリー機構は、加工物の自転
軸芯の公転軌跡が回転砥石の研削範囲内に納まるように
公転半径を設定してあることを特徴としている。
面研削盤において、プラネタリー機構は、加工物の自転
軸芯の公転軌跡が回転砥石の研削範囲内に納まるように
公転半径を設定してあることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】［回転砥石］図１は本願発明が適
用される立軸型平面研削盤を一部断面で示す正面図であ
り、砥石軸１は垂直姿勢に配置されると共に昇降操作可
能にコラム（図示せず）に支持されている。砥石軸１の
回転軸芯Ｏ１位置は固定されており、図示しない駆動機
構により回転軸芯Ｏ1回りに回転（Ｘ1)するようになっ
ている。砥石軸１の下端には砥石ホルダー２が設けら
れ、該砥石ホルダー２の下面に円筒状の回転砥石５が着
脱自在に固定されている。砥石軸１内には下端が開口す
る冷却液通路６が形成されており、該冷却液通路６は図
示しない冷却液供給源に接続し、研削面３０に冷却液を
供給できるようになっている。
用される立軸型平面研削盤を一部断面で示す正面図であ
り、砥石軸１は垂直姿勢に配置されると共に昇降操作可
能にコラム（図示せず）に支持されている。砥石軸１の
回転軸芯Ｏ１位置は固定されており、図示しない駆動機
構により回転軸芯Ｏ1回りに回転（Ｘ1)するようになっ
ている。砥石軸１の下端には砥石ホルダー２が設けら
れ、該砥石ホルダー２の下面に円筒状の回転砥石５が着
脱自在に固定されている。砥石軸１内には下端が開口す
る冷却液通路６が形成されており、該冷却液通路６は図
示しない冷却液供給源に接続し、研削面３０に冷却液を
供給できるようになっている。
【００１３】［加工物駆動用のプラネタリー機構］回転
砥石５の下方にはプラネタリー用のハウジング１０が配
置されており、該ハウジング１０は静止部材であって床
面等に固定されている。該ハウジング１０の上壁に形成
されたドラム支持用ボス部１０ａには、加工物公転用の
回転ドラム１１が砥石軸芯Ｏ1と同一軸芯回りに回転可
能に支持されている。回転ドラム１１の下端部には従動
プーリ１２が固着され、該従動プーリ１２はハウジング
１０の外壁面に設けられた加工物公転用の駆動モータ１
４の駆動プーリ１５にベルト１６を介して連動連結して
いる。回転ドラム１１の上端にはカバー１８が固着され
ている。
砥石５の下方にはプラネタリー用のハウジング１０が配
置されており、該ハウジング１０は静止部材であって床
面等に固定されている。該ハウジング１０の上壁に形成
されたドラム支持用ボス部１０ａには、加工物公転用の
回転ドラム１１が砥石軸芯Ｏ1と同一軸芯回りに回転可
能に支持されている。回転ドラム１１の下端部には従動
プーリ１２が固着され、該従動プーリ１２はハウジング
１０の外壁面に設けられた加工物公転用の駆動モータ１
４の駆動プーリ１５にベルト１６を介して連動連結して
いる。回転ドラム１１の上端にはカバー１８が固着され
ている。
【００１４】回転ドラム１１内には、砥石軸芯（回転ド
ラム軸芯）Ｏ1から偏芯した位置に、砥石軸芯Ｏ1と平行
な自転軸芯Ｏ2を有する加工物自転用の回転軸２０が回
転可能に支持されている。加工物自転用の回転軸２０の
上端には、加工物治具２１を介して加工物Ｗが着脱可能
に固定され、上記回転軸２０の下端には伝動ギヤ２３が
固着されている。該伝動ギヤ２３は、回転ドラム１１の
下方に配置された加工物自転用の駆動モータ２４の駆動
ギヤ２５に噛み合っている。上記加工物自転用の駆動モ
ータ２４は、砥石軸芯（回転ドラム軸芯）Ｏ1と同一軸
芯に配置されると共に、取付台２６等に固定されてい
る。
ラム軸芯）Ｏ1から偏芯した位置に、砥石軸芯Ｏ1と平行
な自転軸芯Ｏ2を有する加工物自転用の回転軸２０が回
転可能に支持されている。加工物自転用の回転軸２０の
上端には、加工物治具２１を介して加工物Ｗが着脱可能
に固定され、上記回転軸２０の下端には伝動ギヤ２３が
固着されている。該伝動ギヤ２３は、回転ドラム１１の
下方に配置された加工物自転用の駆動モータ２４の駆動
ギヤ２５に噛み合っている。上記加工物自転用の駆動モ
ータ２４は、砥石軸芯（回転ドラム軸芯）Ｏ1と同一軸
芯に配置されると共に、取付台２６等に固定されてい
る。
【００１５】図２は回転砥石５及びプラネタリー機構の
平面図であり、加工物自転用の回転軸２０の偏芯量（公
転半径）Ｅは、少なくとも円筒状回転砥石５の外周面５
ａの半径Ｒ1より小さく設定されており、該実施の形態
では、回転砥石５の外周面５ａの半径Ｒ1よりは小さ
く、かつ、回転砥石５の内周面５ｂの半径よりも若干大
きい程度に設定されている。符号Ｃ１で示す円周は自転
用回転軸芯Ｏ2の公転軌跡を示している。このように加
工物Ｗの公転半径Ｅを回転砥石５の外周面５ａの半径Ｒ
より小さく設定することにより、加工物Ｗは、いずれの
公転位置(たとえば公転位置Ａ1,Ａ2，Ａ3，Ａ4等）にお
いても、自転軸芯Ｏ2回りの自転により加工物Ｗの研削
面（上面）全体が研削され得るようになっている。
平面図であり、加工物自転用の回転軸２０の偏芯量（公
転半径）Ｅは、少なくとも円筒状回転砥石５の外周面５
ａの半径Ｒ1より小さく設定されており、該実施の形態
では、回転砥石５の外周面５ａの半径Ｒ1よりは小さ
く、かつ、回転砥石５の内周面５ｂの半径よりも若干大
きい程度に設定されている。符号Ｃ１で示す円周は自転
用回転軸芯Ｏ2の公転軌跡を示している。このように加
工物Ｗの公転半径Ｅを回転砥石５の外周面５ａの半径Ｒ
より小さく設定することにより、加工物Ｗは、いずれの
公転位置(たとえば公転位置Ａ1,Ａ2，Ａ3，Ａ4等）にお
いても、自転軸芯Ｏ2回りの自転により加工物Ｗの研削
面（上面）全体が研削され得るようになっている。
【００１６】
【作用】（１）図１において、加工物装着時は、回転砥
石５を回転砥石軸１と共に上昇させておき、加工物自転
用の回転軸２０の上端に、加工物治具２１を介して加工
物Ｗを固定する。
石５を回転砥石軸１と共に上昇させておき、加工物自転
用の回転軸２０の上端に、加工物治具２１を介して加工
物Ｗを固定する。
【００１７】（２）加工物自転用の駆動モータ２４を駆
動することにより、駆動ギヤ２５及び伝動ギヤ２３を介
して加工物自転用の回転軸２０を自転軸芯Ｏ2回りに回
転させ、それにより加工物Ｗを自転軸芯Ｏ2回りに自転
（Ｘ2)させる。
動することにより、駆動ギヤ２５及び伝動ギヤ２３を介
して加工物自転用の回転軸２０を自転軸芯Ｏ2回りに回
転させ、それにより加工物Ｗを自転軸芯Ｏ2回りに自転
（Ｘ2)させる。
【００１８】（３）回転砥石５を回転させながら下降さ
せ、所定の研削代により加工物Ｗの上端研削面３０を研
削すると共に、加工物公転用の駆動モータ１４を駆動
し、回転ドラム１１を砥石軸芯Ｏ1回りに回転すること
により、加工物Ｗを砥石軸芯Ｏ1回りに公転させる。研
削中は、砥石軸１の冷却液通路６から研削面３０に向け
て冷却液を供給し、研削面３０を冷却する。
せ、所定の研削代により加工物Ｗの上端研削面３０を研
削すると共に、加工物公転用の駆動モータ１４を駆動
し、回転ドラム１１を砥石軸芯Ｏ1回りに回転すること
により、加工物Ｗを砥石軸芯Ｏ1回りに公転させる。研
削中は、砥石軸１の冷却液通路６から研削面３０に向け
て冷却液を供給し、研削面３０を冷却する。
【００１９】このように、加工物Ｗを自転軸芯Ｏ2回り
に自転させると共に砥石軸芯Ｏ1回りに回転砥石周囲を
公転させ、研削面３０を平面研削する。
に自転させると共に砥石軸芯Ｏ1回りに回転砥石周囲を
公転させ、研削面３０を平面研削する。
【００２０】自転用の駆動モータ２４を回転ドラム１１
の回転軸芯Ｏ1と同一軸芯上に配置し、取付台２６等の
静止部材に固定しているので、回転ドラム１１の回転中
でも何等支障なく自転用の回転軸２０に自転用動力を伝
達することができ、しかも、回転ドラム１１に駆動モー
タを取り付ける場合に比べると、該駆動モータ２４の配
線等が簡単になる。
の回転軸芯Ｏ1と同一軸芯上に配置し、取付台２６等の
静止部材に固定しているので、回転ドラム１１の回転中
でも何等支障なく自転用の回転軸２０に自転用動力を伝
達することができ、しかも、回転ドラム１１に駆動モー
タを取り付ける場合に比べると、該駆動モータ２４の配
線等が簡単になる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本願発明によると、
回転砥石５の砥石軸芯Ｏ1位置を固定し、加工物をプラ
ネタリー機構により、自転させると共に砥石軸芯Ｏ1回
りに砥石周囲を公転させることにより、加工物を平面研
削するようにしているので、次のような利点がある。
回転砥石５の砥石軸芯Ｏ1位置を固定し、加工物をプラ
ネタリー機構により、自転させると共に砥石軸芯Ｏ1回
りに砥石周囲を公転させることにより、加工物を平面研
削するようにしているので、次のような利点がある。
【００２２】（１）回転砥石５の砥石軸芯Ｏ1位置を固
定式としているので、砥石軸１の径寸法等の限定が殆ど
なくなり、砥石軸１の剛性向上が簡単に行なえる。
定式としているので、砥石軸１の径寸法等の限定が殆ど
なくなり、砥石軸１の剛性向上が簡単に行なえる。
【００２３】（２）プラネタリー機構を、加工物の自転
及び公転のために用いるので、プラネタリー機構を重心
の低い位置で両持ち支持することにより、支持剛性が向
上し、研削中の振動等の発生を抑えることができ、加工
精度が向上する。
及び公転のために用いるので、プラネタリー機構を重心
の低い位置で両持ち支持することにより、支持剛性が向
上し、研削中の振動等の発生を抑えることができ、加工
精度が向上する。
【００２４】（３）回転砥石５の砥石軸芯Ｏ1位置を固
定式としているので、砥石軸１の昇降機構を簡素化する
ことができると共に強度を向上させることができる。
定式としているので、砥石軸１の昇降機構を簡素化する
ことができると共に強度を向上させることができる。
【００２５】（４）回転砥石５の砥石軸芯Ｏ1位置を固
定式としているので、研削面３０に供給する冷却液通路
６の配管構造が簡素化できる。
定式としているので、研削面３０に供給する冷却液通路
６の配管構造が簡素化できる。
【００２６】（５）プラネタリー機構を、加工物の自転
及び公転のために用いるので、プラネタリー機構を重心
の低い位置で両持ち支持することにより、従来のように
コラムに保持されて回転砥石を自転及び公転可能に支持
するものに比べて、寸法限定が緩和され、剛性向上が可
能となる。
及び公転のために用いるので、プラネタリー機構を重心
の低い位置で両持ち支持することにより、従来のように
コラムに保持されて回転砥石を自転及び公転可能に支持
するものに比べて、寸法限定が緩和され、剛性向上が可
能となる。
【００２７】（６）加工物を、自転軸芯Ｏ1の公転軌跡
Ｃ1が回転砥石５の研削範囲内に納まるように公転させ
ることにより、研削面全体における研削精度が一層均一
化される。
Ｃ1が回転砥石５の研削範囲内に納まるように公転させ
ることにより、研削面全体における研削精度が一層均一
化される。
【図１】 本願発明が適用される平面研削盤を、一部断
面にして示す正面図である。
面にして示す正面図である。
【図２】 回転砥石及びプラネタリー機構の平面図であ
る。
る。
１ 砥石軸
５ 回転砥石
１０ プラネタリー機構のハウジング
１１ 加工物公転用の回転ドラム
１２、１５ 加工物公転用のプーリ
１４ 加工物公転用の駆動モータ
２０ 加工物自転用の回転軸
２４ 加工物自転用の駆動モータ
Claims (4)
- 【請求項１】 回転砥石の砥石軸芯位置を固定し、 加工物を、プラネタリー機構により自転させると共に砥
石軸芯回りに公転させることにより、加工物の研削面を
平面研削することを特徴とする平面研削方法。 - 【請求項２】 加工物を、自転軸芯の公転軌跡が回転砥
石の研削範囲内に納まるように公転させることを特徴と
する請求項１記載の平面研削方法。 - 【請求項３】 砥石軸芯位置が固定された砥石軸と、 加工物を自転可能かつ砥石軸芯回り公転可能に保持する
加工物駆動用のプラネタリー機構を備えたことを特徴と
する平面研削盤。 - 【請求項４】 プラネタリー機構は、加工物の自転軸芯
の公転軌跡が回転砥石の研削範囲内に納まるように公転
半径を設定してあることを特徴とする請求項３記載の平
面研削盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257821A JP2003071687A (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 平面研削方法及び平面研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257821A JP2003071687A (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 平面研削方法及び平面研削盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003071687A true JP2003071687A (ja) | 2003-03-12 |
Family
ID=19085427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001257821A Pending JP2003071687A (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | 平面研削方法及び平面研削盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003071687A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006026751A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
| JP2006142437A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Amada Co Ltd | ノズルクリーニング装置 |
| JP2014027006A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
| CN104149022A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-19 | 江苏远业液压机械有限公司 | 球面研磨机 |
| CN108326684A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-07-27 | 青岛瑞顺通工贸有限公司 | 一种海绵柱连续磨削机 |
| WO2025187311A1 (ja) * | 2024-03-05 | 2025-09-12 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
-
2001
- 2001-08-28 JP JP2001257821A patent/JP2003071687A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006026751A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
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| CN104149022B (zh) * | 2014-08-06 | 2017-01-18 | 江苏远业液压机械有限公司 | 球面研磨机 |
| CN108326684A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-07-27 | 青岛瑞顺通工贸有限公司 | 一种海绵柱连续磨削机 |
| WO2025187311A1 (ja) * | 2024-03-05 | 2025-09-12 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
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