JP2003068865A - Semiconductor device self-diagnosis method and apparatus - Google Patents
Semiconductor device self-diagnosis method and apparatusInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各機能ブロックの自己診断、例えば、半導体
装置の電源投入時の自動診断ができるようにすることに
より、出荷後の半導体デバイスの動作不良などを容易に
診断できる方法および装置を提供する。
【解決手段】 メモリにあらかじめ記憶された診断プロ
グラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信する
BISTコントローラ20と、前記診断条件に基づい
て、対応する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロ
ックから診断結果を取得し、その診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する前記BIST回路201と、
前記診断結果に基づいて、正常・異常表示を行う主コン
トローラ40と備え、前記BIST回路201で得られ
た診断結果をBISTコントローラ20を介して主コン
トローラ40に送信し、主コントローラ40で正常・異
常の表示を行う。
(57) [Problem] To provide a method for easily diagnosing a malfunction of a semiconductor device after shipment by enabling a self-diagnosis of each functional block, for example, an automatic diagnosis at the time of power-on of a semiconductor device. And equipment. According to a diagnostic program stored in a memory in advance, a BIST controller that transmits a diagnostic condition to each functional block, a corresponding functional block is diagnosed based on the diagnostic condition, and a diagnosis result is obtained from the corresponding functional block. And the BIST circuit 201 for transmitting the diagnosis result to the BIST controller 20;
A main controller 40 for displaying a normal / abnormal display based on the diagnosis result; transmitting a diagnosis result obtained by the BIST circuit 201 to the main controller 40 via the BIST controller 20; Is displayed.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の機能ブロッ
クを有する半導体集積回路(LSI)(以下、半導体デ
バイスと称する)が搭載された基板において、半導体デ
バイスが有する各機能ブロック動作を自己診断する方法
および装置に関するものである。より詳細には、外部の
ヒューマンインタフェース装置からの指示に基づいて、
各機能ブロックに対して通常に行われる数値演算または
画像処理等の処理(通常処理と称する)とは別に、各機
能ブロックのそれぞれに対応して設けられたBIST
(Built In Self Test)回路を用いて半導体デバイスが
有する各機能ブロックの自己診断を行う方法および装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention self-diagnoses each function block operation of a semiconductor device on a substrate on which a semiconductor integrated circuit (LSI) having a plurality of function blocks (hereinafter referred to as a semiconductor device) is mounted. A method and apparatus. More specifically, based on an instruction from an external human interface device,
A BIST provided corresponding to each of the functional blocks, apart from a process such as a numerical operation or an image process that is normally performed on each of the functional blocks (referred to as a normal process).
The present invention relates to a method and apparatus for self-diagnosing each functional block of a semiconductor device using a (Built In Self Test) circuit.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体デバイスの各機能ブロックの動作
を診断する方法としては、特開2000−250946
号に開示されたLSI回路のテスト容易化設計方法が知
られている。図3は特開2000−250946号に開
示されたLSI回路テスト装置を示す図である。2. Description of the Related Art A method for diagnosing the operation of each functional block of a semiconductor device is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-250946.
There is known an LSI circuit testability designing method disclosed in the above publication. FIG. 3 is a diagram showing an LSI circuit test device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-250946.
【0003】図3において、LSI回路テスト装置は、
テストパターン生成器352、被テストブロック35
5、テスト結果解析器357、およびこれらを制御して
テスト解析結果358を出力するためのBIST制御回
路351から構成される。BIST制御回路351は、
テストモード設定用の外部入力信号350に基づいて、
被テストブロック355を含む半導体集積回路をテスト
モードに設定する。外部入力信号350に基づいて、B
IST制御回路351が初期化された後、被テストブロ
ック355の自己テストが実行される。In FIG. 3, the LSI circuit test apparatus is
Test pattern generator 352, tested block 35
5, a test result analyzer 357, and a BIST control circuit 351 for controlling them and outputting a test analysis result 358. The BIST control circuit 351
Based on the external input signal 350 for setting the test mode,
The semiconductor integrated circuit including the block under test 355 is set to the test mode. Based on the external input signal 350, B
After the IST control circuit 351 is initialized, the self-test of the block under test 355 is executed.
【0004】自己テストの実行中は被テストブロック3
55への入力353はテストパターン生成器352によ
り自動的に生成される。また、被テストブロックからの
テスト結果出力356は、テスト結果解析器357に入
力され、逐一期待値と比較される。最終的に被テストブ
ロック355のテスト解析結果358が出力され、被テ
ストブロック355の良否の判定が行われる。Block under test 3 during execution of self-test
Input 353 to 55 is automatically generated by test pattern generator 352. The test result output 356 from the block under test is input to the test result analyzer 357 and compared with the expected value one by one. Finally, the test analysis result 358 of the block under test 355 is output, and the quality of the block under test 355 is determined.
【0005】しかしながら、このような従来のLSI回
路テスト装置においては、各被テストブロック355に
対してBIST制御回路351が設けられ、出荷時等に
被テストブロック355の動作診断が行われていたが、
出荷された後の被テストブロック355の動作を自動的
に診断することはできなかった。However, in such a conventional LSI circuit test apparatus, the BIST control circuit 351 is provided for each tested block 355, and the operation diagnosis of the tested block 355 is performed at the time of shipment. ,
It was not possible to automatically diagnose the operation of the tested block 355 after it was shipped.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】複数の半導体デバイス
を同一の回路基板に搭載した製品の出荷後の経年変化な
どにより半導体デバイスが劣化したような場合に対し
て、半導体デバイスの機能ブロックの診断を簡便に実施
することができなかった。Diagnosis of the functional blocks of a semiconductor device is performed in the case where the semiconductor device is deteriorated due to secular change after shipment of products in which a plurality of semiconductor devices are mounted on the same circuit board. It could not be carried out simply.
【0007】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、半導体デバイスの各機
能ブロックに対応してBIST回路を設けるとともに、
BISTコントローラとメモリを設けることにより、半
導体デバイスの通常動作中に、例えば、半導体装置の電
源投入時に、半導体デバイスの自動診断を行い、それに
よって、経年変化による半導体デバイスの動作不良など
を常時診断できる方法および装置を提供するものであ
る。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a BIST circuit corresponding to each functional block of a semiconductor device, and
By providing the BIST controller and the memory, the semiconductor device can be automatically diagnosed during normal operation of the semiconductor device, for example, when the power of the semiconductor device is turned on, thereby constantly diagnosing malfunction of the semiconductor device due to aging. Methods and apparatus are provided.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、基板上に搭載された複数の機能ブロック
を有する半導体デバイスの自己診断方法において、メモ
リにあらかじめ記憶された診断プログラムに従って、B
ISTコントローラが各機能ブロックに診断条件を送信
するステップと、前記診断条件に基づいて、前記BIS
T回路が対応する機能ブロックを診断するステップと、
前記BIST回路が対応する機能ブロックから診断結果
を取得し、その診断結果をBISTコントローラに送信
するステップと、前記BISTコントローラが診断結果
を通常処理を制御する主コントローラに送信するステッ
プと、前記診断結果に基づいて、主コントローラが正常
・異常表示を行うステップと備えたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a self-diagnosis method for a semiconductor device having a plurality of functional blocks mounted on a substrate, according to a diagnosis program stored in advance in a memory. , B
An IST controller transmitting a diagnostic condition to each functional block, and the BIS based on the diagnostic condition.
Diagnosing the functional block corresponding to the T circuit,
Acquiring the diagnostic result from the functional block corresponding to the BIST circuit and transmitting the diagnostic result to the BIST controller; the BIST controller transmitting the diagnostic result to the main controller controlling the normal processing; Based on the above, the main controller is provided with a step of performing normal / abnormal display.
【0009】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記メモリには、さらに、診断期待値
をあらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前
記診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待
値をBIST回路に送信するステップを備えたことを特
徴とする。Further, in the present invention, in the semiconductor device self-diagnosis method, a diagnostic expected value is further stored in advance in the memory, and the BIST controller reads the diagnostic expected value read from the memory together with the diagnostic condition. Is transmitted to the BIST circuit.
【0010】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記BIST回路が前記診断結果を前
記診断期待値と比較し、診断結果が診断期待値と不一致
であるときに、前記BIST回路がBISTコントロー
ラに異常信号を送信するステップと、前記異常信号を受
信すると、前記BISTコントローラが、その異常信号
を前記主コントローラに送信するステップと、前記異常
信号を受信すると、前記主コントローラが異常を表示し
または異常を警告するステップとを備えたことを特徴と
する。Further, the present invention is a semiconductor device self-diagnosis method, wherein the BIST circuit compares the diagnostic result with the diagnostic expected value, and when the diagnostic result does not match the diagnostic expected value, the BIST circuit is A step of transmitting an abnormal signal to the BIST controller; a step of the BIST controller transmitting the abnormal signal to the main controller when the abnormal signal is received; and a step of displaying the abnormal state of the main controller when the abnormal signal is received. Or warning of an abnormality.
【0011】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に前記各機能ブロックの診断処理
を行うことを特徴とする。Further, according to the present invention, in the method of self-diagnosing a semiconductor device, the BIST controller performs a diagnostic process on each of the functional blocks when the semiconductor device is powered on.
【0012】さらに、本発明は、基板上に搭載された複
数の機能ブロックを有する半導体デバイスの自己診断装
置において、メモリにあらかじめ記憶された診断プログ
ラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信するB
ISTコントローラと、前記診断条件に基づいて、対応
する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロックから
診断結果を取得し、その診断結果を前記BISTコント
ローラに送信するBIST回路と、前記診断結果に基づ
いて、正常・異常表示を行う主コントローラと備え、前
記BIST回路で得られた診断結果を前記BISTコン
トローラを介して前記主コントローラに送信し、前記主
コントローラで正常・異常表示を行うことを特徴とす
る。Further, according to the present invention, in a semiconductor device self-diagnosis apparatus having a plurality of functional blocks mounted on a substrate, a diagnostic condition is transmitted to each functional block according to a diagnostic program stored in advance in a memory B.
An IST controller, a BIST circuit that diagnoses a corresponding functional block based on the diagnostic condition, obtains a diagnostic result from the corresponding functional block, and sends the diagnostic result to the BIST controller; and a BIST circuit based on the diagnostic result. A normal controller for displaying normality / abnormality, the diagnostic result obtained by the BIST circuit is transmitted to the main controller via the BIST controller, and the normality / abnormality is displayed by the main controller. .
【0013】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、前記メモリに、さらに、診断期待値を
あらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記
診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値
をBIST回路に送信する手段を備えたことを特徴とす
る。Further, according to the present invention, in a self-diagnosis apparatus for a semiconductor device, a diagnostic expected value is further stored in advance in the memory, and the BIST controller, together with the diagnostic condition, the diagnostic expected value read from the memory. It is characterized in that means for transmitting to the BIST circuit is provided.
【0014】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、さらに、前記BIST回路は、前記診
断結果を前記診断期待値と比較する比較手段と、診断結
果が診断期待値と不一致であるときに、BISTコント
ローラに異常信号を送信する手段とを備え、前記BIS
Tコントローラは、前記BIST回路から前記異常信号
を受信すると、その異常信号を前記主コントローラに送
信する手段を備え、前記主コントローラは、前記BIS
Tコントローラから前記異常信号を受信すると、異常を
表示しまたは異常を警告する手段とを備えたことを特徴
とする。The present invention also provides a self-diagnosis apparatus for a semiconductor device, wherein the BIST circuit compares the diagnostic result with the expected diagnostic value, and the diagnostic result does not match the expected diagnostic value. And a means for transmitting an abnormal signal to the BIST controller.
The T controller includes means for transmitting the abnormal signal to the main controller when the abnormal signal is received from the BIST circuit, and the main controller is configured to transmit the abnormal signal to the BIS.
When the abnormality signal is received from the T controller, it is provided with means for displaying the abnormality or warning the abnormality.
【0015】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に、前記各機能ブロックの診断処
理を行うことを特徴とする。Further, according to the present invention, in a self-diagnosis apparatus for a semiconductor device, the BIST controller performs a diagnosis process for each of the functional blocks when the power of the semiconductor device is turned on.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施の形態の
半導体デバイスの自己診断を行う装置の装置構成を示す
図である。図1において、本発明の半導体デバイスの自
己診断装置は、複数の機能ブロックおよび複数のBIS
T回路を有する半導体デバイス10、複数の機能ブロッ
クおよび複数のBIST回路を有する半導体デバイス1
1、半導体デバイス10および半導体デバイス11を制
御するための主コントローラ40、BIST回路を制御
するためのBISTコントローラ20、BISTコント
ローラ20を制御するためのプログラムを格納するメモ
リおよび一次メモリを有するメモリ30から構成され
る。1 is a diagram showing an apparatus configuration of an apparatus for self-diagnosing a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. 1, a semiconductor device self-diagnosis apparatus according to the present invention includes a plurality of functional blocks and a plurality of BISs.
Semiconductor device 10 having a T circuit, semiconductor device 1 having a plurality of functional blocks and a plurality of BIST circuits
1, a main controller 40 for controlling the semiconductor device 10 and the semiconductor device 11, a BIST controller 20 for controlling the BIST circuit, a memory storing a program for controlling the BIST controller 20 and a memory 30 having a primary memory Composed.
【0017】ここで、半導体デバイス10および半導体
デバイス11は、それぞれ診断対象の半導体デバイスで
ある。半導体デバイス10は、機能ブロック(#1)1
01および機能ブロック(#2)102を有するととも
に機能ブロック(#1)101に対して自己診断を実施
するBIST回路(#1)201および機能ブロック
(#2)102に対して自己診断を実施するBIST回
路(#2)202を有している。なお、BIST回路2
01および202は、半導体デバイス10中に内蔵さ
れ、それぞれ機能ブロック101および102の近傍に
設けられる。Here, each of the semiconductor device 10 and the semiconductor device 11 is a semiconductor device to be diagnosed. The semiconductor device 10 includes a functional block (# 1) 1
01 and the functional block (# 2) 102, and self-diagnoses the functional block (# 1) 101. The BIST circuit (# 1) 201 and the functional block (# 2) 102 perform self-diagnosis. It has a BIST circuit (# 2) 202. The BIST circuit 2
01 and 202 are built in the semiconductor device 10 and provided near the functional blocks 101 and 102, respectively.
【0018】また、同様に、半導体デバイス11は、機
能ブロック(#i)111および機能ブロック(#N)
112を有するとともに、機能ブロック(#i)111
の自己診断を行うBIST回路(#i)211および機
能ブロック(#N)112の自己診断を行うBIST回
路(#N)212を有している。同様に、BIST回路
211および212は、それぞれ機能ブロック111お
よび112の近傍に設けられている。Similarly, the semiconductor device 11 includes a functional block (#i) 111 and a functional block (#N).
112 and a functional block (#i) 111
BIST circuit (#i) 211 that performs self-diagnosis of BIST circuit and BIST circuit (#N) 212 that performs self-diagnosis of functional block (#N) 112. Similarly, the BIST circuits 211 and 212 are provided near the functional blocks 111 and 112, respectively.
【0019】BISTコントローラ20は、信号線30
1,302,311および312によって、それぞれB
IST回路201,202,211および212と接続
され、各機能ブロックに対応した診断条件をBIST回
路に送信する。各BIST回路は、BISTコントロー
ラ20から受信した診断条件を、診断すべき機能ブロッ
クに送信する。さらに、BISTコントローラ20は、
機能ブロックから診断結果を受信すると、BISTコン
トローラ20にその診断結果を送信する。BISTコン
トローラ20は各BIST回路から受信した診断結果と
メモリ30から受信した診断期待値とを照合する。メモ
リ30は、信号線21によりBISTコントローラ20
と接続され、前記各BIST回路が各機能ブロックを診
断するための診断条件、各機能ブロックに対する診断期
待値および各機能ブロックの診断結果を各機能ブロック
対応に記憶する。The BIST controller 20 includes a signal line 30.
1, 302, 311 and 312 respectively, B
It is connected to the IST circuits 201, 202, 211 and 212, and transmits diagnostic conditions corresponding to each functional block to the BIST circuit. Each BIST circuit transmits the diagnostic condition received from the BIST controller 20 to the functional block to be diagnosed. Furthermore, the BIST controller 20
When the diagnostic result is received from the functional block, the diagnostic result is transmitted to the BIST controller 20. The BIST controller 20 collates the diagnostic result received from each BIST circuit with the diagnostic expected value received from the memory 30. The memory 30 uses the signal line 21 for the BIST controller 20.
The BIST circuit stores the diagnostic conditions for diagnosing each functional block, the diagnostic expected value for each functional block, and the diagnostic result of each functional block for each functional block.
【0020】主コントローラ40は、信号線50を介し
て図示されていない外部装置、例えば、試験用テスタま
たはキーボードのようなヒューマンインタフェース装置
と接続され、一方、信号線22を介してBISTコント
ローラ20と接続され、入出力信号線41、42、43
および44を介して対応の機能ブロックの入出力端子と
接続される。主コントローラ40は、外部のヒューマン
インタフェース装置からの指示に基づいて、各機能ブロ
ックを用いて、通常の数値演算または画像処理等の処理
を行う。一方、主コントローラ40は外部のテスタから
受信した診断パターンに基づいて各機能ブロックの診断
を行うこともできる。また、主コントローラ40は、B
ISTコントローラ20で得られた各半導体デバイスの
機能ブロックの自己診断結果を外部テスタなどに送信す
ることができる。The main controller 40 is connected via a signal line 50 to an external device (not shown), for example, a human interface device such as a test tester or a keyboard, while the main controller 40 is connected to the BIST controller 20 via a signal line 22. Connected, input / output signal lines 41, 42, 43
And 44 are connected to the input / output terminals of the corresponding functional block. The main controller 40 uses the functional blocks to perform normal numerical operation or image processing based on an instruction from an external human interface device. On the other hand, the main controller 40 can also diagnose each functional block based on the diagnostic pattern received from the external tester. Further, the main controller 40 is
The self-diagnosis result of the functional block of each semiconductor device obtained by the IST controller 20 can be transmitted to an external tester or the like.
【0021】図2は、本発明の一実施の形態の機能ブロ
ックの診断処理を示すフローチャートの一例を示す図で
ある。ここでは、出荷後の半導体装置の障害を、半導体
装置の電源投入時に自動的に診断する例について説明す
る。図2において、ステップS1は、電源投入を検出
し、BIST回路による診断を開始するための契機とな
る処理である。ステップS1で電源投入が検出されると
(ステップS1でYesの場合)、BISTコントロー
ラ20が起動される(ステップS2)。BISTコント
ローラ20は、診断対象のN個の機能ブロックの内で第
1番目の機能ブロックから順次、診断処理を開始するた
めに、機能ブロック番号iを1に設定する(ステップS
3)。FIG. 2 is a diagram showing an example of a flow chart showing a diagnostic process of a functional block according to an embodiment of the present invention. Here, an example of automatically diagnosing a fault of the semiconductor device after shipment when the power of the semiconductor device is turned on will be described. In FIG. 2, step S1 is a process that is a trigger for detecting power-on and starting diagnosis by the BIST circuit. When the power-on is detected in step S1 (Yes in step S1), the BIST controller 20 is activated (step S2). The BIST controller 20 sequentially sets the functional block number i to 1 in order to start the diagnostic process from the first functional block of the N functional blocks to be diagnosed (step S).
3).
【0022】ステップS4で、BISTコントローラ2
0は、ステップS3において設定した診断対象の機能ブ
ロック(#i)に対する診断条件をメモリ30から読み
出し、前記BIST回路(#i)に送信する。In step S4, the BIST controller 2
0 reads out the diagnostic condition for the functional block (#i) to be diagnosed set in step S3 from the memory 30 and sends it to the BIST circuit (#i).
【0023】BIST回路(#i)は、前記機能ブロッ
クの診断条件を受信すると、その診断条件に基づき、機
能ブロック(#i)を診断する(ステップS5)。BI
ST回路(#i)は、前記機能ブロック(#i)の診断
が終了すると、BISTコントローラ20から受信した
前記機能ブロックの診断期待値と前記機能ブロックから
得られた診断結果を比較する(ステップS6)。When the BIST circuit (#i) receives the diagnostic condition of the functional block, the BIST circuit (#i) diagnoses the functional block (#i) based on the diagnostic condition (step S5). BI
When the diagnosis of the functional block (#i) is completed, the ST circuit (#i) compares the diagnostic expected value of the functional block received from the BIST controller 20 with the diagnostic result obtained from the functional block (step S6). ).
【0024】ステップS7において、前記BIST回路
(#i)は、前記解析結果から診断期待値と機能ブロッ
クから得られた診断結果とが一致するか否かを判断す
る。その結果、両データが一致する場合には(ステップ
S7でYesの場合)、BIST回路(#i)は、その
機能ブロックが正常であると判断してステップS8の処
理に移る。ステップS8においては、BIST回路(#
i)は、機能ブロック(#i)の診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する。その結果を受信すると、B
ISTコントローラ20は、ステップS11で、メモリ
30に前記結果の書き込み要求信号を送信し、メモリ3
0はその診断結果を機能ブロック対応に記憶する。In step S7, the BIST circuit (#i) determines from the analysis result whether the diagnostic expected value and the diagnostic result obtained from the functional block match. As a result, if the two data match (Yes in step S7), the BIST circuit (#i) determines that the functional block is normal and moves to step S8. In step S8, the BIST circuit (#
i) transmits the diagnosis result of the functional block (#i) to the BIST controller 20. When the result is received, B
In step S11, the IST controller 20 transmits the result write request signal to the memory 30, and the memory 3
0 stores the diagnosis result corresponding to the functional block.
【0025】一方、両データが不一致の場合には(ステ
ップS7でNoの場合)、その機能ブロックは診断結果
が異常と判断して、ステップS9で、前記BIST回路
(#i)は、BISTコントローラ20に異常情報を送
信する。その情報を受信すると、BISTコントローラ
20は、当該機能ブロックの異常表示要求信号を、主コ
ントローラ40に送信する(ステップS10)。On the other hand, if the two data do not match (No in step S7), the functional block determines that the diagnosis result is abnormal, and in step S9, the BIST circuit (#i) causes the BIST controller to operate. 20 to send the abnormality information. Upon receiving the information, the BIST controller 20 transmits an abnormality display request signal for the functional block to the main controller 40 (step S10).
【0026】ステップS12で、BISTコントローラ
20が診断対象となっている機能ブロックの全数(N
個)の診断が完了したか否かを判断し、未完了の場合に
は、ステップS13に移り、次の機能ブロック番号(i
+1)を設定して、ステップS4の処理に移る。ステッ
プS12において、診断対象の機能ブロック全数の診断
が完了した場合には(ステップS12でYesの場
合)、BISTコントローラ20は、診断結果を主コン
トローラ40に送信する(ステップS14)。ステップ
S14で、主コントローラ40は、信号線50を介して
外部のディスプレイ等に正常・異常の表示を行い、また
は異常の場合には警報等を発する(ステップS15)。In step S12, the BIST controller 20 determines the total number of functional blocks (N
It is determined whether or not the diagnosis of each) has been completed. If the diagnosis is not completed, the process proceeds to step S13, and the next functional block number (i
+1) is set, and the process proceeds to step S4. When the diagnosis of all functional blocks to be diagnosed is completed in step S12 (Yes in step S12), the BIST controller 20 transmits the diagnosis result to the main controller 40 (step S14). In step S14, the main controller 40 displays normality / abnormality on an external display or the like via the signal line 50, or issues an alarm or the like in the case of abnormality (step S15).
【0027】以上述べた実施の形態は本発明を説明する
ための一例であり、本発明は、前記の実施の形態に限定
されるものではなく、発明の要旨の範囲で種々の変形が
可能である。前記の実施の形態では、診断は電源投入時
に行う場合について説明したが、これに限ることはな
く、半導体装置の運転時に、任意の間隔で、または電源
切断時に診断処理を行ってもよい。The embodiment described above is an example for explaining the present invention, and the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and various modifications can be made within the scope of the invention. is there. In the above-described embodiment, the case where the diagnosis is performed when the power is turned on has been described. However, the present invention is not limited to this, and the diagnosis process may be performed at an arbitrary interval during the operation of the semiconductor device or when the power is turned off.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機能ブロック対応にBIST回路を設けた半導体デバイ
スに、BISTコントローラ、診断のための診断プログ
ラムおよび診断結果等を記憶するメモリを設け、BIS
Tコントローラは、主コントローラが動作する前または
動作中に、機能ブロックを診断するようにしたので、半
導体デバイスの出荷後において、半導体デバイスの診断
を容易に行うことができる。特に、半導体装置の電源投
入時に各機能ブロックの診断処理を行うようにすれば、
半導体デバイスの動作前に半導体デバイスの障害を検出
できるので半導体デバイスの動作中に生じるデータの損
失等を防止できる効果がある。As described above, according to the present invention,
A BIST controller, a memory for storing a diagnostic program for diagnosis, a diagnostic result, and the like are provided in a semiconductor device provided with a BIST circuit corresponding to a functional block.
Since the T controller diagnoses the function block before or during the operation of the main controller, the semiconductor device can be easily diagnosed after the shipment of the semiconductor device. In particular, if the diagnostic processing of each functional block is performed when the power of the semiconductor device is turned on,
Since the failure of the semiconductor device can be detected before the operation of the semiconductor device, there is an effect that data loss or the like that occurs during the operation of the semiconductor device can be prevented.
【0029】また、BIST回路は、機能ブロックの診
断結果とその診断期待値とが不一致のとき、BISTコ
ントローラを介して主コントローラに異常信号を送信
し、その信号を受信した主コントローラは、ヒューマン
インタフェースを介して外部表示装置等に機能ブロック
の異常表示ができるので、半導体装置の動作時における
機能ブロックの異常をあらかじめ知ることができる。Further, the BIST circuit transmits an abnormal signal to the main controller via the BIST controller when the diagnosis result of the functional block and the diagnosis expected value do not match, and the main controller receiving the signal transmits the abnormal signal to the human interface. Since the abnormality of the functional block can be displayed on the external display device or the like via the, it is possible to know the abnormality of the functional block during the operation of the semiconductor device in advance.
【図1】 本発明の一実施の形態の半導体デバイスの自
己診断装置の装置構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an apparatus configuration of a semiconductor device self-diagnosis apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の一実施の形態の機能ブロックの診断
処理を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a diagnostic process of a functional block according to an embodiment of the present invention.
【図3】 従来のLSI回路テスト装置を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram showing a conventional LSI circuit test apparatus.
10、11…半導体デバイス 101,102,111,112…機能ブロック 201,202,211,212…BIST回路 20…BISTコントローラ 30…メモリ 40…主コントローラ 10, 11 ... Semiconductor device 101, 102, 111, 112 ... Functional blocks 201, 202, 211, 212 ... BIST circuit 20 ... BIST controller 30 ... Memory 40 ... Main controller
Claims (8)
を有する半導体デバイスの自己診断方法において、 メモリにあらかじめ記憶された診断プログラムに従っ
て、BIST回路を制御するBISTコントローラが各
機能ブロックに診断条件を送信するステップと、 前記診断条件に基づいて、前記BIST回路が対応する
機能ブロックを診断するステップと、 前記BIST回路が対応する機能ブロックから診断結果
を取得し、その診断結果をBISTコントローラに送信
するステップと、 前記BISTコントローラが診断結果を通常処理を制御
する主コントローラに送信するステップと、 前記診断結果に基づいて、前記主コントローラが正常・
異常表示を行うステップと備えたことを特徴とする半導
体デバイスの自己診断方法。1. A self-diagnosis method for a semiconductor device having a plurality of functional blocks mounted on a substrate, wherein a BIST controller controlling a BIST circuit sets a diagnostic condition for each functional block according to a diagnostic program stored in advance in a memory. A step of transmitting, a step of diagnosing the functional block corresponding to the BIST circuit based on the diagnostic condition, a step of acquiring a diagnostic result from the functional block corresponding to the BIST circuit, and transmitting the diagnostic result to the BIST controller A step in which the BIST controller sends a diagnosis result to a main controller that controls a normal process;
A semiconductor device self-diagnosis method comprising a step of displaying an abnormality.
あらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記
診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値
をBIST回路に送信するステップを備えたことを特徴
とする請求項1記載の半導体デバイスの自己診断方法。2. The memory further stores a diagnostic expected value in advance, and the BIST controller includes a step of transmitting the diagnostic expected value read from the memory to the BIST circuit together with the diagnostic condition. The self-diagnosis method for a semiconductor device according to claim 1, which is characterized in that.
診断期待値と比較し、診断結果が診断期待値と不一致で
あるときに、前記BIST回路が前記BISTコントロ
ーラに異常信号を送信するステップと、 前記異常信号を受信すると、前記BISTコントローラ
が、その異常信号を前記主コントローラに送信するステ
ップと、 前記異常信号を受信すると、前記主コントローラが異常
を表示しまたは異常を警告するステップとを備えたこと
を特徴とする請求項2記載の半導体デバイスの自己診断
方法。3. The BIST circuit compares the diagnostic result with the diagnostic expected value, and when the diagnostic result does not match the diagnostic expected value, the BIST circuit transmits an abnormal signal to the BIST controller. When the BIST controller receives the abnormal signal, the BIST controller transmits the abnormal signal to the main controller, and when the abnormal signal is received, the main controller displays the abnormal condition or warns the abnormal condition. The self-diagnosis method for a semiconductor device according to claim 2, wherein.
の電源投入時に前記各機能ブロックの診断処理を行うこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体デバイスの自己診
断方法。4. The method for self-diagnosing a semiconductor device according to claim 1, wherein the BIST controller performs a diagnostic process on each of the functional blocks when the power of the apparatus is turned on.
を有する半導体デバイスの自己診断装置において、 メモリにあらかじめ記憶された診断プログラムに従っ
て、各機能ブロックに診断条件を送信するBISTコン
トローラと、 前記診断条件に基づいて、対応する機能ブロックを診断
し、対応する機能ブロックから診断結果を取得し、その
診断結果を前記BISTコントローラに送信するBIS
T回路と、 前記診断結果に基づいて、正常・異常表示を行う主コン
トローラと備え、 前記BIST回路で得られた診断結果を前記BISTコ
ントローラを介して前記主コントローラに送信し、前記
主コントローラで正常・異常表示を行うことを特徴とす
る半導体デバイスの自己診断装置。5. A self-diagnosis apparatus for a semiconductor device having a plurality of functional blocks mounted on a board, a BIST controller transmitting diagnostic conditions to each functional block according to a diagnostic program stored in advance in a memory, and the diagnostic A BIS that diagnoses a corresponding functional block based on a condition, obtains a diagnostic result from the corresponding functional block, and transmits the diagnostic result to the BIST controller.
A T controller and a main controller for displaying normal / abnormal display based on the diagnosis result. The diagnosis result obtained by the BIST circuit is transmitted to the main controller via the BIST controller, and the main controller performs normal operation. A semiconductor device self-diagnosis device characterized by displaying an abnormality.
らかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記診
断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値を
前記BIST回路に送信する手段を備えたことを特徴と
する請求項5記載の半導体デバイスの自己診断装置。6. The memory further stores an expected diagnostic value in advance, and the BIST controller includes means for transmitting the expected diagnostic value read from the memory together with the diagnostic condition to the BIST circuit. 6. The self-diagnosis device for a semiconductor device according to claim 5.
比較する比較手段と、診断結果が診断期待値と不一致で
あるときに、前記BISTコントローラに異常信号を送
信する手段とを備え、 前記BISTコントローラは、前記BIST回路から前
記異常信号を受信すると、その異常信号を前記主コント
ローラに送信する手段を備え、 前記主コントローラは、前記BISTコントローラから
前記異常信号を受信すると、異常を表示しまたは異常を
警告する手段とを備えたことを特徴とする請求項6記載
の半導体デバイスの自己診断装置。7. The BIST circuit further comprises a comparing means for comparing the diagnostic result with the diagnostic expected value, and means for transmitting an abnormal signal to the BIST controller when the diagnostic result does not match the diagnostic expected value. And, the BIST controller comprises means for transmitting the abnormal signal to the main controller when the abnormal signal is received from the BIST circuit, the main controller receiving the abnormal signal from the BIST controller, 7. A self-diagnosis apparatus for a semiconductor device according to claim 6, further comprising means for displaying an abnormality or warning an abnormality.
の電源投入時に、前記各機能ブロックの診断処理を行う
ことを特徴とする請求項5記載の半導体デバイスの自己
診断装置。8. The self-diagnosis apparatus for a semiconductor device according to claim 5, wherein the BIST controller performs a diagnostic process of each of the functional blocks when the power of the apparatus is turned on.
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