JP2002326384A - Optical printer head - Google Patents
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- H10W70/60—
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- H10W72/536—
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- H10W72/5363—
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- H10W72/884—
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- H10W90/734—
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- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】画像データに対応した所定の画像を得ることが
可能で、しかも生産性に優れた高信頼性の光プリンタヘ
ッドを提供する。
【解決手段】多数の薄膜配線2を有する基板1上に、上
面に多数の発光素子4と前記薄膜配線2に電気的に接続
される多数の接続パッド5とを有する発光素子アレイチ
ップ3、及び上面に前記発光素子4の発光を制御する電
子回路10と前記薄膜配線2に電気的に接続される多数
の接続パッド8とが集積されたドライバーIC7を載置
してなる光プリンタヘッドであって、前記発光素子アレ
イチップ3の上面と前記ドライバーIC7の上面とを略
等しい高さに位置させるとともに、前記薄膜配線2の一
端を発光素子アレイチップ3の接続パッド5上まで、他
端をドライバーIC7の接続パッド8上まで延在し、両
接続パッド5,8を薄膜配線2を介して電気的に接続す
る。
(57) [Problem] To provide a highly reliable optical printer head capable of obtaining a predetermined image corresponding to image data and having excellent productivity. A light emitting element array chip having, on an upper surface thereof, a plurality of light emitting elements and a plurality of connection pads electrically connected to the thin film wiring on a substrate having a plurality of thin film wirings, and An optical printer head comprising a driver IC 7 on which an electronic circuit 10 for controlling light emission of the light emitting element 4 and a large number of connection pads 8 electrically connected to the thin film wiring 2 are mounted. The upper surface of the light emitting element array chip 3 and the upper surface of the driver IC 7 are positioned at substantially the same height, one end of the thin film wiring 2 extends up to the connection pad 5 of the light emitting element array chip 3, and the other end connects to the driver IC 7. The connection pads 5 and 8 are electrically connected to each other via the thin film wiring 2.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真プリンタ
等の光書込み手段として用いられる光プリンタヘッドに
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical printer head used as an optical writing means for an electrophotographic printer or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、電子写真プリンタ等の光書込
み手段として光プリンタヘッドが用いられている。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical printer head has been used as an optical writing means for an electrophotographic printer or the like.
【0003】かかる従来の光プリンタヘッドは、例えば
図5に示す如く、多数の回路配線12を有した基板11
上に、上面に多数の発光素子14及び接続パッド15を
有する発光素子アレイチップ13と、上面に前記発光素
子14の発光を制御する電子回路19及び接続パッド1
8を有するドライバーIC17とを載置させるととも
に、前記接続パッド15、18と回路配線12とを金
(Au)等の金属から成るボンディングワイヤ16にて
電気的に接続した構造のものが知られており、外部から
の画像データに基づいて発光素子アレイチップ13の発
光素子14をドライバーIC17の駆動に伴って個々に
選択的に発光させるとともに、該発光した光を図示しな
いロッドレンズアレイ等の光学系を介して外部の感光体
ドラムに照射・結像させ、感光体ドラムに所定の潜像を
形成することによって光プリンタヘッドとして機能す
る。[0005] Such a conventional optical printer head is, for example, as shown in FIG.
A light emitting element array chip 13 having a plurality of light emitting elements 14 and connection pads 15 on an upper surface, an electronic circuit 19 for controlling light emission of the light emitting elements 14 and a connection pad 1 on an upper surface
A driver IC 17 having a mounting wire 8 is mounted, and the connection pads 15, 18 and the circuit wiring 12 are electrically connected to each other by a bonding wire 16 made of a metal such as gold (Au). The light emitting elements 14 of the light emitting element array chip 13 are selectively and individually emitted according to the driving of the driver IC 17 based on image data from the outside, and the emitted light is transmitted through an optical system such as a rod lens array (not shown). By irradiating and forming an image on an external photoconductor drum via the photoconductor drum, a predetermined latent image is formed on the photoconductor drum, thereby functioning as an optical printer head.
【0004】そして、感光体ドラムに形成された潜像
は、その後、現像のプロセスを経てトナー像となり、こ
のトナー像を記録紙に転写・定着させることによって記
録紙に所定の印画が形成される。The latent image formed on the photoreceptor drum then undergoes a development process to become a toner image, and this toner image is transferred and fixed on the recording paper to form a predetermined print on the recording paper. .
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光プリンタヘッドを例えばA3サイズ、600
dpi(dot per inch)の製品仕様にて構成した場合、
接続パッド15、18と回路配線12との接続箇所は約
15000箇所にも及び、両者は約15000本もの多
数のボンディングワイヤ16で個々に接続されることと
なる。それ故、これらのボンディングワイヤ16を従来
周知のワイヤボンディング法によってボンディングする
と、その接続作業には極めて長時間を要し、光プリンタ
ヘッドの生産性向上に供することができない上に、光プ
リンタヘッドの使用時等にボンディングワイヤ16が外
部からの振動や衝撃によって倒れ、隣接するボンディン
グワイヤ同士を短絡させることがあり、このことが光プ
リンタヘッドの信頼性を低下させていた。However, the above-mentioned conventional optical printer head is, for example, an A3 size, 600
When configured with the product specifications of dpi (dot per inch),
There are approximately 15,000 connection points between the connection pads 15 and 18 and the circuit wiring 12, and both are individually connected by a large number of bonding wires 16 of about 15,000. Therefore, if these bonding wires 16 are bonded by a conventionally well-known wire bonding method, the connecting operation takes an extremely long time, and cannot be used for improving the productivity of the optical printer head. At the time of use, the bonding wire 16 may fall down due to external vibrations or shocks, and short-circuit the adjacent bonding wires, which lowers the reliability of the optical printer head.
【0006】また上述の光プリンタヘッドにおけるボン
ディングワイヤ16は従来周知のワイヤボンディング法
にて回路配線12や発光素子アレイチップ13等に対し
接続されたものであり、通常、ファーストボンディング
が発光素子アレイチップ13側で、セカンドボンディン
グが回路配線12側でなされている。この場合、接続パ
ッド15に接合されるボンディングワイヤ16の一端部
には、ボール状のネイルヘッド16aが形成されること
から、光プリンタヘッドを使用した際に、発光素子14
の発した光の一部がボンディングワイヤ16のネイルヘ
ッド16aで反射し、このような反射光が外部の感光体
に照射されると、感光体には反射光の照射に起因した不
要な潜像が形成されることとなり、画像データに対応し
た正確な画像を得ることが不可となる欠点も有してい
た。The bonding wires 16 in the above-described optical printer head are connected to the circuit wiring 12, the light emitting element array chip 13, and the like by a conventionally known wire bonding method. On the 13th side, second bonding is performed on the circuit wiring 12 side. In this case, since a ball-shaped nail head 16a is formed at one end of the bonding wire 16 bonded to the connection pad 15, when the optical printer head is used, the light emitting element 14
When a part of the light emitted is reflected by the nail head 16a of the bonding wire 16 and such reflected light is applied to an external photosensitive member, an unnecessary latent image caused by the reflected light irradiation is applied to the photosensitive member. Is formed, and it is impossible to obtain an accurate image corresponding to the image data.
【0007】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもの
で、その目的は、画像データに対応した所定の画像を得
ることが可能で、しかも生産性に優れた高信頼性の光プ
リンタヘッドを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks, and has as its object to provide a highly reliable optical printer head capable of obtaining a predetermined image corresponding to image data and having excellent productivity. To provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の光プリンタヘッ
ドは、多数の薄膜配線を有する基板上に、上面に多数の
発光素子と前記薄膜配線に電気的に接続される多数の接
続パッドとを有する発光素子アレイチップ、及び上面に
前記発光素子の発光を制御する電子回路と前記薄膜配線
に電気的に接続される多数の接続パッドとが集積された
ドライバーICを載置してなる光プリンタヘッドであっ
て、前記発光素子アレイチップの上面と前記ドライバー
ICの上面とを略等しい高さに位置させるとともに、前
記薄膜配線の一端を発光素子アレイチップの接続パッド
上まで、他端をドライバーICの接続パッド上まで延在
し、前記発光素子アレイチップの接続パッドと該パッド
に対応するドライバーICの接続パッドとを前記薄膜配
線を介して電気的に接続したことを特徴とするものであ
る。An optical printer head according to the present invention comprises, on a substrate having a plurality of thin film wirings, a large number of light emitting elements and a plurality of connection pads electrically connected to the thin film wirings on an upper surface. An optical printer head having mounted thereon a light emitting element array chip, and a driver IC on which an electronic circuit for controlling light emission of the light emitting element and a number of connection pads electrically connected to the thin film wiring are integrated. Wherein the upper surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the driver IC are positioned at substantially the same height, one end of the thin film wiring extends to a connection pad of the light emitting element array chip, and the other end of the driver IC. The connection pad of the light emitting element array chip and the connection pad of the driver IC corresponding to the pad are electrically extended through the thin film wiring. It is characterized in that it has connections.
【0009】また本発明の光プリンタヘッドは、前記発
光素子アレイチップの側面と基板上面との間に形成され
る角部、並びに前記ドライバーICの側面と基板上面と
の間に形成される角部に樹脂材が配設されており、該樹
脂材の表面を介して前記薄膜配線が基板上より発光素子
アレイチップ及びドライバーICの接続パッド上まで延
在されていることを特徴とするものである。The optical printer head according to the present invention may further comprise a corner formed between the side surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the substrate, and a corner formed between the side surface of the driver IC and the upper surface of the substrate. A resin material, and the thin-film wiring extends from over the substrate to over the connection pads of the light emitting element array chip and the driver IC via the surface of the resin material. .
【0010】更に本発明の光プリンタヘッドは、前記樹
脂材の頂部が発光素子アレイチップ、ドライバーICの
外周部近傍に位置しており、且つその厚みが発光素子ア
レイチップ、ドライバーICより離間する方向に向かっ
て漸次薄くなしてあることを特徴とするものである。Further, in the optical printer head according to the present invention, the top of the resin material is located near the outer periphery of the light emitting element array chip and the driver IC, and the thickness thereof is away from the light emitting element array chip and the driver IC. It is characterized by being gradually thinned toward.
【0011】また更に本発明の光プリンタヘッドは、前
記発光素子アレイチップ上面の角部が前記樹脂材でもっ
て被覆されていることを特徴とするものである。Further, the optical printer head according to the present invention is characterized in that a corner of the upper surface of the light emitting element array chip is covered with the resin material.
【0012】本発明の光プリンタヘッドによれば、多数
の薄膜配線を有する基板上に、上面に多数の発光素子と
前記薄膜配線に電気的に接続される多数の接続パッドと
を有する発光素子アレイチップ、及び上面に前記発光素
子の発光を制御する電子回路と前記薄膜配線に電気的に
接続される多数の接続パッドとが集積されたドライバー
ICを載置させるとともに、前記薄膜配線の一端を発光
素子アレイチップの接続パッド上まで、他端をドライバ
ーICの接続パッド上までそれぞれ延在し、前記発光素
子アレイチップの接続パッドと該パッドに対応するドラ
イバーICの接続パッドとを前記薄膜配線を介して電気
的に接続させるようにしたことから、多数の薄膜配線を
基板等の上面にパターン形成する際に、これら薄膜配線
を発光素子アレイチップやドライバーICの上面に設け
られている多数の接続パッドに対して同時に、かつ一括
的に接続することができ、これらをワイヤボンディング
等で接続する場合に比し接続作業に要する時間を大幅に
短縮して、光プリンタヘッドの生産性を向上させること
ができる。According to the optical printer head of the present invention, a light emitting element array having a plurality of light emitting elements on its upper surface and a plurality of connection pads electrically connected to the thin film wirings on a substrate having a plurality of thin film wirings. A chip and a driver IC in which an electronic circuit for controlling light emission of the light emitting element and a number of connection pads electrically connected to the thin film wiring are mounted on the upper surface, and one end of the thin film wiring emits light. The other end extends to the connection pad of the element array chip and the other end to the connection pad of the driver IC. The connection pad of the light emitting element array chip and the connection pad of the driver IC corresponding to the pad extend through the thin film wiring. When a large number of thin film wirings are patterned on the upper surface of a substrate or the like, these thin film wirings are connected to a light emitting element array. Can be simultaneously and collectively connected to a large number of connection pads provided on the upper surface of the chip or driver IC, and the time required for connection work is significantly greater than when these are connected by wire bonding etc. And the productivity of the optical printer head can be improved.
【0013】しかも本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、多数の接続パッドが設けられている発光素子アレイ
チップの上面とドライバーICの上面は略等しい高さに
位置設定されているため、多数の薄膜配線を従来周知の
フォトリソグラフィー技術によってパターニングする際
に、露光源から発光素子アレイチップの接続パッドまで
の距離と露光源からドライバーICの接続パッドまでの
距離とは略等しくなり、発光素子アレイチップやドライ
バーICの上面の高さ位置で最適となるように露光条件
を設定することにより、特に高い露光精度が要求される
2種類の接続パッドの近傍において双方にとって最適な
条件で一括的に露光することができるようになり、多数
の薄膜配線を正確にパターニングして、光プリンタヘッ
ドの生産性を高く維持することが可能となる。Further, according to the optical printer head of the present invention, since the upper surface of the light emitting element array chip on which a large number of connection pads are provided and the upper surface of the driver IC are set at substantially the same height, a large number of thin films are provided. When the wiring is patterned by a conventionally known photolithography technique, the distance from the exposure source to the connection pad of the light emitting element array chip is substantially equal to the distance from the exposure source to the connection pad of the driver IC. By setting the exposure conditions to be optimal at the height position of the upper surface of the driver IC, it is possible to perform simultaneous exposure under the optimal conditions for both in the vicinity of two types of connection pads that require particularly high exposure accuracy And accurately pattern a large number of thin-film wiring lines to maintain high productivity of optical printer heads. It is possible to become.
【0014】また本発明の光プリンタヘッドによれば、
発光素子アレイチップの側面と基板上面との間に形成さ
れる角部、並びにドライバーICの側面と基板上面との
間に形成される角部に、発光素子アレイチップ、ドライ
バーICの外周部近傍に頂部を有する樹脂材を配設する
とともに、該樹脂材の厚みを発光素子アレイチップ、ド
ライバーICより離間する方向に向かって漸次薄くなし
ておくことにより、発光素子アレイチップやドライバー
ICの上面と基板上面とが樹脂材でもって架橋された形
となることから、上述した多数の薄膜配線をパターン形
成する際、これらの薄膜配線を基板上から樹脂材の表面
を介して発光素子アレイチップやドライバーICの接続
パッド上まで良好に形成することができ、これにより薄
膜配線の断線等が有効に防止される。またこの場合、発
光素子アレイチップの上面とドライバーICの上面とは
略等しい高さに位置設定されているため、液状になした
樹脂の前駆体を発光素子アレイチップとドライバーIC
の両側に同じ条件で塗布・重合させて樹脂材を形成する
際、液状樹脂の粘度等を調整しておくことにより、全て
の樹脂材を発光素子アレイチップ、ドライバーICの厚
みに合わせて一度に形成することができ、これによって
光プリンタヘッドの生産性を高く維持することが可能と
なる。According to the optical printer head of the present invention,
In the corner formed between the side surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the substrate, and in the corner formed between the side surface of the driver IC and the upper surface of the substrate, near the outer periphery of the light emitting element array chip and the driver IC By disposing a resin material having a top portion and gradually decreasing the thickness of the resin material in a direction away from the light emitting element array chip and the driver IC, the upper surface of the light emitting element array chip and the driver IC and the substrate Since the upper surface is cross-linked with a resin material, when forming the above-mentioned many thin film wirings in a pattern, these thin film wirings are formed on the substrate through the surface of the resin material and the light emitting element array chip or the driver IC is formed. Can be satisfactorily formed on the connection pad, thereby effectively preventing disconnection or the like of the thin film wiring. Further, in this case, since the upper surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the driver IC are set at substantially the same height, the precursor of the resin that has been liquefied is mixed with the light emitting element array chip and the driver IC.
When forming a resin material by applying and polymerizing it on both sides under the same conditions, by adjusting the viscosity and the like of the liquid resin, all the resin material can be adjusted at once according to the thickness of the light emitting element array chip and the driver IC. This enables the productivity of the optical printer head to be maintained at a high level.
【0015】更に本発明の光プリンタヘッドによれば、
上述した多数の薄膜配線は、基板や発光素子アレイチッ
プ,ドライバーIC,樹脂材等の上面に直に被着させた
ものであるため、光プリンタヘッドの使用時などに外部
からの振動や衝撃が印加されても、隣合う薄膜配線同士
が短絡するといった不具合を発生することはなく、光プ
リンタヘッドの信頼性向上にも供することができる。Further, according to the optical printer head of the present invention,
Many of the thin film wirings described above are directly attached to the upper surface of a substrate, a light emitting element array chip, a driver IC, a resin material, or the like. Even if the voltage is applied, there is no problem that adjacent thin film wirings are short-circuited, and it is also possible to improve the reliability of the optical printer head.
【0016】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記接続パッド上まで延在される複数個の薄膜配線
は膜状であることから、発光素子アレイチップ上にはボ
ンディングワイヤのネイルヘッドの如き光を反射する大
きな物体は何ら存在しておらず、従って、光プリンタヘ
ッドの使用時、反射光等の不要な光が感光体に照射され
て不要な潜像が形成されるのを有効に防止することがで
き、画像データに対応した正確な画像が得られるように
なる。Further, according to the optical printer head of the present invention, since the plurality of thin film wirings extending up to the connection pads are in the form of a film, a bonding wire nail head is provided on the light emitting element array chip. There is no large object that reflects light as described above.Therefore, when an optical printer head is used, it is possible to effectively prevent unnecessary light such as reflected light from irradiating the photoconductor and forming an unnecessary latent image. Thus, an accurate image corresponding to the image data can be obtained.
【0017】更にまた本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、発光素子アレイチップやドライバーICの上面角部
を上述の樹脂材で被覆しておくことにより、発光素子ア
レイチップやドライバーICのベースとして単結晶シリ
コン等が使用されている場合に、発光素子アレイチップ
やドライバーICの外周部に露出された単結晶シリコン
等と薄膜配線とが電気的に短絡したり、薄膜配線が発光
素子アレイチップ外周部の鋭利な角部によって断線する
といった不具合も有効に防止される。Further, according to the optical printer head of the present invention, by covering the upper surface corners of the light emitting element array chip and the driver IC with the above-described resin material, the light emitting element array chip and the driver IC can be simply used as a base. When crystalline silicon or the like is used, the single-crystal silicon or the like exposed on the outer periphery of the light emitting element array chip or the driver IC and the thin film wiring are electrically short-circuited, or the thin film wiring is formed on the outer periphery of the light emitting element array chip. The problem of disconnection due to the sharp corners is effectively prevented.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づい
て詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係る光
プリンタヘッドの構成を示す断面図、図2は図1の光プ
リンタヘッドの発光素子アレイチップ付近を拡大して示
す平面図であり、図中の1は基板、2は薄膜配線、3は
発光素子アレイチップ、4は発光素子、5は発光素子ア
レイチップの接続パッド、6,9は樹脂材、7はドライ
バーIC、8はドライバーICの接続パッドである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of an optical printer head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged plan view showing the vicinity of a light emitting element array chip of the optical printer head of FIG. Is a substrate, 2 is a thin film wiring, 3 is a light emitting element array chip, 4 is a light emitting element, 5 is a light emitting element array chip connection pad, 6, 9 is a resin material, 7 is a driver IC, and 8 is a driver IC connection pad. is there.
【0019】前記基板1は、ガラスやアルミナセラミッ
クス,ガラス布エポキシ樹脂等によって矩形状を成すよ
うに形成され、その上面には多数の薄膜配線2や発光素
子アレイチップ3,ドライバーIC7等が取着され、こ
れらを支持する支持母材として機能する。The substrate 1 is formed of glass, alumina ceramics, glass cloth epoxy resin or the like so as to form a rectangular shape, and on its upper surface, a number of thin film wirings 2, light emitting element array chips 3, driver ICs 7 and the like are attached. And functions as a supporting base material for supporting them.
【0020】前記基板1は、例えばガラスから成る場
合、まず従来周知のフローティング法等によって所定厚
みのガラス板を形成し、これを矩形状に切断して外形加
工することにより製作される。When the substrate 1 is made of, for example, glass, it is manufactured by first forming a glass plate having a predetermined thickness by a conventionally known floating method or the like, cutting this into a rectangular shape, and processing the outer shape.
【0021】また前記基板1の上面に設けられている多
数の薄膜配線2は、ドライバーIC7からの出力信号を
発光素子アレイチップ3の発光素子4に供給するための
給電配線として機能するものであり、例えば、金(A
u)やアルミニウム(Al),クロム(Cr)等の金属
材料によって基板1や発光素子アレイチップ3,ドライ
バーIC7,樹脂材6,9等の上面に所定パターンをな
すように形成される。A large number of thin film wirings 2 provided on the upper surface of the substrate 1 function as power supply wirings for supplying an output signal from the driver IC 7 to the light emitting elements 4 of the light emitting element array chip 3. , For example, gold (A
u), a metal material such as aluminum (Al), chromium (Cr), or the like, is formed in a predetermined pattern on the upper surface of the substrate 1, the light emitting element array chip 3, the driver IC 7, the resin materials 6, 9, and the like.
【0022】具体的には、前記薄膜配線2の各一端側は
樹脂材6の表面を介して発光素子アレイチップ3の接続
パッド5上まで、また他端側はドライバーIC7の対応
する接続パッド8上まで延在され、これによってドライ
バーIC7の接続パッド8と発光素子アレイチップ3の
対応する接続パッド5とを薄膜配線2でもって電気的に
接続している。More specifically, one end of the thin film wiring 2 extends up to the connection pad 5 of the light emitting element array chip 3 via the surface of the resin material 6, and the other end thereof corresponds to the corresponding connection pad 8 of the driver IC 7. The connection pads 8 of the driver IC 7 and the corresponding connection pads 5 of the light emitting element array chip 3 are electrically connected by the thin film wiring 2.
【0023】尚、前記薄膜配線2は、従来周知の薄膜形
成技術、具体的には従来周知の真空蒸着法やスパッタリ
ング法を採用し、上述の金属材料を基板上面や樹脂材
6,9、発光素子アレイチップ3,ドライバーIC7等
の上面に例えば0.5μm〜3.0μmの厚みに被着さ
せ、これを従来周知のフォトリソグラフィー技術及びエ
ッチング技術にて所定パターンに微細加工することによ
り形成される。The thin film wiring 2 employs a conventionally known thin film forming technique, specifically, a conventionally known vacuum evaporation method or sputtering method. It is formed by, for example, applying a thickness of 0.5 μm to 3.0 μm on the upper surface of the element array chip 3, the driver IC 7, and the like, and finely processing this into a predetermined pattern by a conventionally known photolithography technique and etching technique. .
【0024】また、前記基板1上に載置されている発光
素子アレイチップ3は、その上面に例えば600dpi
の密度で主走査方向に直線状に配列した多数の発光素子
4と該各発光素子4に図示しない電極層等を介して電気
的に接続された多数の接続パッド5とを有している。The light emitting element array chip 3 mounted on the substrate 1 has, for example, 600 dpi on its upper surface.
And a large number of connection pads 5 electrically connected to the respective light emitting elements 4 via an electrode layer or the like (not shown).
【0025】前記発光素子アレイチップ3の発光素子4
はGaAlAs系やGaAsP系の化合物半導体から成
り、接続パッド5には先に述べた薄膜配線2の一端が延
在されて接続パッド5と電気的に接続されている。The light emitting element 4 of the light emitting element array chip 3
Is formed of a GaAlAs-based or GaAsP-based compound semiconductor. One end of the thin film wiring 2 extends to the connection pad 5 and is electrically connected to the connection pad 5.
【0026】前記発光素子4は、GaAlAs等のp型
半導体とn型半導体とを積層して両半導体の間にpn接
合を設けた構造を有しているため、薄膜配線2や接続パ
ッド5等を介してドライバーIC7からの電力(出力信
号)が発光素子4に印加されると、発光素子4のp型半
導体中に電子が、n型半導体中に正孔がそれぞれ注入さ
れ、これらをpn接合部付近で再結合させて該結合の際
に生じたエネルギーを光に変換することによって発光素
子4が所定の輝度で発光する。The light emitting element 4 has a structure in which a p-type semiconductor such as GaAlAs and an n-type semiconductor are stacked and a pn junction is provided between the two semiconductors. When power (output signal) from the driver IC 7 is applied to the light-emitting element 4 through the interface, electrons are injected into the p-type semiconductor of the light-emitting element 4 and holes are injected into the n-type semiconductor. The light-emitting element 4 emits light at a predetermined luminance by re-combining in the vicinity of the portion and converting the energy generated during the coupling into light.
【0027】尚、前記発光素子アレイチップ3は、従来
周知の半導体製造技術、具体的にはMOCVD(Metal
Organic Chemical Vapor Deposition)法等を採用し、
上述の化合物半導体を単結晶シリコン等から成るベース
の上面にエピタキシャル成長させた上、従来周知の薄膜
形成技術等によって接続パッド5等を金属でパターン形
成することにより製作され、得られた発光素子アレイチ
ップ3は基板上面の所定位置に取着・搭載される。The light emitting element array chip 3 is manufactured by a conventionally known semiconductor manufacturing technique, specifically, MOCVD (metal
Organic Chemical Vapor Deposition)
A light-emitting element array chip obtained by epitaxially growing the above-described compound semiconductor on the upper surface of a base made of single-crystal silicon or the like and patterning the connection pads 5 and the like with a metal by a conventionally known thin-film forming technique or the like. Reference numeral 3 is attached and mounted at a predetermined position on the upper surface of the substrate.
【0028】また一方、前記ドライバーIC7は、外部
からの画像データ等に基づいて発光素子4の発光を個々
に制御するためのものであり、その上面にはシフトレジ
スタやスイッチングトランジスタ等の電子回路10と多
数の接続パッド8とが高密度に集積されている。On the other hand, the driver IC 7 is for individually controlling the light emission of the light emitting element 4 based on image data from the outside and the like, and has an electronic circuit 10 such as a shift register or a switching transistor on its upper surface. And a large number of connection pads 8 are integrated at a high density.
【0029】前記ドライバーIC7は、そのベースが発
光素子アレイチップ3と同様の単結晶シリコン等により
形成されており、上面の接続パッド8上には先に述べた
薄膜配線2の他端が延在されて接続パッド8と電気的に
接続されている。The driver IC 7 has a base made of the same single-crystal silicon or the like as the light emitting element array chip 3, and the other end of the thin film wiring 2 extends on the connection pad 8 on the upper surface. And is electrically connected to the connection pad 8.
【0030】また、このようなドライバーIC7の側面
と基板上面との間に形成される角部、並びに先に述べた
発光素子アレイチップ3の側面と基板上面との間に形成
される角部には、樹脂材6,9がそれぞれ配設されてお
り、該樹脂材6,9は、その頂部が発光素子アレイチッ
プ3、ドライバーIC7の外周部近傍に位置し、且つそ
の厚みが発光素子アレイチップ3、ドライバーIC7よ
り離間する方向に向かって漸次薄くなしてある。Further, the corner formed between the side surface of the driver IC 7 and the upper surface of the substrate and the corner formed between the side surface of the light emitting element array chip 3 and the upper surface of the substrate described above. Are provided with resin materials 6 and 9 respectively, and the tops of the resin materials 6 and 9 are located near the outer peripheral portions of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 and the thickness thereof is 3. The thickness is gradually reduced in a direction away from the driver IC 7.
【0031】前記樹脂材6,9は、発光素子アレイチッ
プ3やドライバーIC7を基板上面の所定位置に固定す
るための接着剤としての機能と、基板上面−発光素子ア
レイチップ上面間の段差、並びに基板上面−ドライバー
IC上面間の段差を埋めて薄膜配線2を基板上面から発
光素子アレイチップ上面、及びドライバーIC上面まで
導出し易くする架橋部材としての機能を備えており、ポ
リイミド系樹脂・シリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂等
の樹脂材料により形成される。The resin materials 6 and 9 function as an adhesive for fixing the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 at predetermined positions on the upper surface of the substrate, a step between the upper surface of the substrate and the upper surface of the light emitting element array chip, and It has a function as a bridging member that fills a step between the upper surface of the substrate and the upper surface of the driver IC and facilitates the thin film wiring 2 to be led out from the upper surface of the substrate to the upper surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the driver IC. It is formed of a resin material such as a resin or an epoxy resin.
【0032】例えば、前記樹脂材6,9の厚みは、発光
素子アレイチップ3やドライバーIC7の外周部近傍に
設けられる頂部において発光素子アレイチップ3の厚み
の1.0倍〜2.0倍の厚みとなるように発光素子アレ
イチップ3よりも若干厚く設定され、その表面は基板上
面に対して例えば30度〜60度だけ傾斜するように配
されている。For example, the thickness of the resin materials 6 and 9 is 1.0 to 2.0 times the thickness of the light emitting element array chip 3 at the top provided near the outer periphery of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7. The thickness is set to be slightly thicker than the light emitting element array chip 3 so as to be thick, and the surface thereof is arranged to be inclined by, for example, 30 degrees to 60 degrees with respect to the upper surface of the substrate.
【0033】ここで、先に述べた多数の薄膜配線2は、
上述のような樹脂材6,9の表面を介して、基板1の上
面から、発光素子アレイチップ3、ドライバーIC7の
接続パッド5,8上まで延在されており、この延在部を
その直下の接続パッド5,8と接続させることによっ
て、対応する接続パッド同士(5,8)を薄膜配線2を
介して電気的に接続している。Here, the above-mentioned many thin-film wirings 2
The light-emitting element array chip 3 and the connection pads 5 and 8 of the driver IC 7 are extended from the upper surface of the substrate 1 through the surfaces of the resin materials 6 and 9 described above. The corresponding connection pads (5, 8) are electrically connected to each other via the thin film wiring 2 by making connection with the connection pads 5, 8.
【0034】このため、多数の薄膜配線2を基板1等の
上面にパターン形成する際に、これら薄膜配線2は発光
素子アレイチップ3やドライバーIC7の上面に設けら
れている多数の接続パッド5,8に対しても同時に、か
つ一括的に接続されるようになっており、これらをワイ
ヤボンディング等で接続する場合に比し接続作業に要す
る時間を大幅に短縮して、光プリンタヘッドの生産性を
向上させることができる。Therefore, when a large number of thin film wirings 2 are patterned on the upper surface of the substrate 1 or the like, the thin film wirings 2 are formed on a plurality of connection pads 5 provided on the upper surface of the light emitting element array chip 3 or the driver IC 7. 8 are connected simultaneously and collectively, so that the time required for the connection work is greatly reduced as compared with the case where these are connected by wire bonding or the like, and the productivity of the optical printer head is improved. Can be improved.
【0035】またこの場合、上述した多数の薄膜配線2
は、基板1や樹脂材6,9、発光素子アレイチップ3、
ドライバーIC7の上面に直に被着させてあるため、光
プリンタヘッドの使用時などに外部からの振動や衝撃が
印加されても、隣合う薄膜配線同士が短絡するといった
不具合を発生することはなく、光プリンタヘッドの信頼
性向上にも供することができる。In this case, the large number of thin film wirings 2
Are the substrate 1, the resin materials 6, 9, the light emitting element array chip 3,
Since it is directly attached to the upper surface of the driver IC 7, even if external vibration or shock is applied when the optical printer head is used, there is no problem that adjacent thin film wirings are short-circuited. Also, it can be used to improve the reliability of the optical printer head.
【0036】更にこの場合、接続パッド5上まで延在さ
せた複数個の薄膜配線2はその全体が膜状を成している
ことから、発光素子アレイチップ3上にはボンディング
ワイヤのネイルヘッドの如き光を反射する大きな物体は
何ら存在しておらず、従って、光プリンタヘッドを使用
する際、反射光等の不要な光が外部の感光体に照射され
て不要な潜像が形成されることは殆どなく、画像データ
に対応した正確な画像を得ることができる。Further, in this case, since the plurality of thin film wirings 2 extending up to the connection pads 5 are entirely in the form of a film, a bonding wire nail head is provided on the light emitting element array chip 3. There is no large object that reflects light as described above.Therefore, when an optical printer head is used, unnecessary light such as reflected light is irradiated on an external photosensitive member to form an unnecessary latent image. And an accurate image corresponding to the image data can be obtained.
【0037】また上述した樹脂材6,9は、発光素子ア
レイチップ3やドライバーIC7の両側で、これらの各
上面と基板上面とを架橋するように、その表面がなだら
かな傾斜面状をなすように形成されており、発光素子ア
レイチップ3やドライバーIC7の上面と基板上面との
間には基板上面に対して垂直に切り立つ面等は存在しな
い。このため、多数の薄膜配線2を従来周知の薄膜形成
技術等によってパターン形成する際、これらの薄膜配線
2を基板1上から樹脂材6,9の表面を介して発光素子
アレイチップ3やドライバーIC7の接続パッド5,8
上まで延在させることにより、薄膜配線2を従来周知の
薄膜形成技術によって良好にパターン形成することがで
き、これによって薄膜配線2の断線等の不具合が発生す
るのを有効に防止することができる。The resin materials 6 and 9 described above are formed on both sides of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 so that the upper surface thereof and the upper surface of the substrate form a gentle inclined surface so as to bridge the upper surface of the substrate. There is no surface or the like that stands perpendicularly to the upper surface of the substrate between the upper surface of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 and the upper surface of the substrate. Therefore, when patterning a large number of thin film wirings 2 by a conventionally known thin film forming technique or the like, these thin film wirings 2 are formed on the substrate 1 through the surfaces of the resin materials 6 and 9 and the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7. Connection pads 5, 8
By extending the thin film wiring 2, the thin film wiring 2 can be well-patterned by a conventionally known thin film forming technique, thereby effectively preventing problems such as disconnection of the thin film wiring 2. .
【0038】そして本実施形態においては、上述した発
光素子アレイチップ3の上面とドライバーIC7の上面
とが略等しい高さ(±0.07mm以内)に位置設定さ
れている。In this embodiment, the upper surface of the light emitting element array chip 3 and the upper surface of the driver IC 7 are set at substantially the same height (within ± 0.07 mm).
【0039】従って、多数の薄膜配線2を従来周知のフ
ォトリソグラフィー技術によってパターニングする際、
露光源から接続パッド5までの距離と露光源から接続パ
ッド8までの距離とは略等しくなり、発光素子アレイチ
ップ3やドライバーIC7の上面の高さ位置で最適とな
るように露光条件を設定することにより、特に高い露光
精度が要求される2種類の接続パッド5,8の近傍にお
いて双方にとって最適な条件で一括的に露光することが
できるようになり、多数の薄膜配線2を正確にパターニ
ングして、光プリンタヘッドの生産性を高く維持するこ
とが可能となる。Therefore, when patterning a large number of thin film wirings 2 by a conventionally known photolithography technique,
Exposure conditions are set so that the distance from the exposure source to the connection pad 5 and the distance from the exposure source to the connection pad 8 are substantially equal, and are optimal at the height position of the upper surface of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7. This makes it possible to collectively perform exposure in the vicinity of the two types of connection pads 5 and 8 that require particularly high exposure accuracy under conditions that are optimal for both of them. Therefore, it is possible to maintain high productivity of the optical printer head.
【0040】尚、上述した露光のプロセスを縮小投影型
の光学系を用いて行なう場合は、焦点位置を発光素子ア
レイチップ3等の上面に合致させるようにし、また等倍
で投影する場合はフォトマスクを発光素子アレイチップ
3やドライバーIC7の上面に出来るだけ近づけて露光
することにより、接続パッド5,8付近の露光精度を極
めて高くなすことができる。When the above-described exposure process is performed using a reduction projection type optical system, the focal position is made to coincide with the upper surface of the light emitting element array chip 3 and the like. By exposing the mask as close as possible to the upper surface of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7, the exposure accuracy in the vicinity of the connection pads 5 and 8 can be made extremely high.
【0041】また前記樹脂材6,9は、液状になした樹
脂の前駆体を発光素子アレイチップ3とドライバーIC
7の両側に従来周知のディスペンサ法等によって同じ条
件で塗布・重合させることにより形成される。このと
き、発光素子アレイチップ3とドライバーIC7は上述
した如く略等しい厚みに設定されていることから、液状
樹脂の粘度等を調整しておくことにより、全ての樹脂材
6,9を発光素子アレイチップ3、ドライバーIC7の
厚みに合わせて一度に形成することができ、これによっ
て光プリンタヘッドの生産性が高く維持される。The resin materials 6 and 9 are formed by mixing a liquid-state resin precursor with the light emitting element array chip 3 and the driver IC.
7 is formed by applying and polymerizing on both sides under the same conditions by a conventionally known dispenser method or the like. At this time, since the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 are set to have substantially the same thickness as described above, by adjusting the viscosity and the like of the liquid resin, all the resin materials 6, 9 can be removed from the light emitting element array. It can be formed at a time according to the thickness of the chip 3 and the driver IC 7, thereby maintaining high productivity of the optical printer head.
【0042】しかもこの場合、発光素子アレイチップ3
やドライバーIC7は両側の樹脂材6,9を除去するだ
けで基板1上より容易に取り外すことができるため、光
プリンタヘッドの使用開始後や検査の工程等において、
発光素子アレイチップ3やドライバーIC7に不具合が
発生したり、不具合が発見された場合であっても、これ
を簡単に取り外して良品と交換することができ、発光素
子アレイチップ3やドライバーIC7のリペア作業にか
かる手間が大幅に軽減される利点もある。In this case, the light emitting element array chip 3
And the driver IC 7 can be easily removed from the substrate 1 only by removing the resin materials 6 and 9 on both sides.
Even if a defect occurs in the light emitting element array chip 3 or the driver IC 7 or a defect is found, the light emitting element array chip 3 or the driver IC 7 can be easily removed and replaced with a non-defective one. There is also an advantage that labor required for work is greatly reduced.
【0043】また更に前記樹脂材6,9は、その一部が
発光素子アレイチップ3やドライバーIC7の上面角部
を被覆する形で設けられているため、発光素子アレイチ
ップ3やドライバーIC7をシリコンウエハーより切り
出して外形加工する際、シリコンウエハーの上面に形成
されている絶縁層(図示せず)が発光素子アレイチップ
3やドライバーIC7の上面角部付近で剥離し、単結晶
シリコン等の表面が一部露出したとしても、該露出部は
樹脂材6,9によって良好に被覆されることとなるた
め、薄膜配線2と単結晶シリコン等が電気的に短絡した
り、或いは、薄膜配線2が発光素子アレイチップ外周の
鋭利な角部によって断線するといった不具合も有効に防
止することができ、これによっても光プリンタヘッドの
生産性が向上される。Further, since the resin materials 6 and 9 are provided so as to partially cover the upper surface corners of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7, the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 are made of silicon. When cutting out from the wafer and processing the outer shape, the insulating layer (not shown) formed on the upper surface of the silicon wafer is peeled off near the upper surface corners of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7, and the surface of single crystal silicon or the like is removed. Even if it is partially exposed, the exposed portion is satisfactorily covered with the resin materials 6 and 9, so that the thin film wiring 2 and single crystal silicon or the like are electrically short-circuited or the thin film wiring 2 emits light. Problems such as disconnection due to sharp corners on the periphery of the element array chip can also be effectively prevented, which also improves the productivity of the optical printer head.
【0044】かくして上述した光プリンタヘッドは、発
光素子アレイチップ3の発光素子4を外部からの画像デ
ータに基づいて個々に選択的に発光させるとともに、該
発光した光を図示しないロッドレンズアレイ等の光学系
を介して外部の感光体に照射・結像させ、感光体に所定
の潜像を形成することによって光プリンタヘッドとして
機能する。Thus, the optical printer head described above causes the light emitting elements 4 of the light emitting element array chip 3 to selectively and individually emit light based on external image data, and emits the emitted light to a rod lens array (not shown) or the like. It functions as an optical printer head by irradiating and forming an image on an external photoconductor via an optical system and forming a predetermined latent image on the photoconductor.
【0045】そして、感光体に形成された潜像は、その
後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー
像を記録紙に転写・定着させることによって記録紙に所
定の画像が記録されることとなる。Then, the latent image formed on the photoreceptor becomes a toner image through a developing process, and the toner image is transferred and fixed on the recording paper, whereby a predetermined image is recorded on the recording paper. Becomes
【0046】尚、本発明は上述の実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
種々の変更、改良等が可能である。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and improvements can be made without departing from the gist of the present invention.
【0047】例えば上述した図1の実施形態においては
発光素子アレイチップ3やドライバーIC7の側面を基
板上面に対して略垂直に配置させるように構成したが、
これに代えて図3に示す如く発光素子アレイチップ3や
ドライバーIC7を台形状に成しても良い。この場合も
発光素子アレイチップ3やドライバーIC7の側面から
基板上面にかけて樹脂材6,9が被着され、これら樹脂
材6,9の表面を介して薄膜配線2の一端が発光素子ア
レイチップ3の接続パッド5上まで、他端がドライバー
IC7の接続パッド8上まで延在されることとなる。For example, in the embodiment of FIG. 1 described above, the side surfaces of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 are arranged substantially perpendicular to the upper surface of the substrate.
Instead, the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 may be formed in a trapezoidal shape as shown in FIG. Also in this case, resin materials 6 and 9 are applied from the side surfaces of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 to the upper surface of the substrate, and one end of the thin film wiring 2 is connected to the light emitting element array chip 3 through the surfaces of the resin materials 6 and 9. The other end extends to above the connection pad 5 and to above the connection pad 8 of the driver IC 7.
【0048】また上述の実施形態においては、樹脂材
6,9を形成するのに、液状になした樹脂の前駆体を従
来周知のディスペンサ法にて塗布するようにしたが、こ
れに代えて、液状になした樹脂の前駆体を従来周知のス
ピンコート法にて塗布し、これを加熱・重合させた後、
エッチングによって不要箇所を除去することによって樹
脂材6,9を形成するようにしても構わない。In the above-described embodiment, the resin material 6, 9 is formed by applying a liquid resin precursor by a conventionally well-known dispenser method. A liquid resin precursor is applied by a conventionally well-known spin coating method, and after heating and polymerization,
The resin materials 6 and 9 may be formed by removing unnecessary portions by etching.
【0049】更に上述の実施形態においては、発光素子
アレイチップ3やドライバーIC7を平坦な基板1の上
面に載置させるようにしたが、これに代えて、図4に示
す如く、基板1の上面に所定の凹部1aを設けておき、
このような凹部1a内に発光素子アレイチップ3やドラ
イバーIC7の一部もしくは全部を埋設させるようにし
ても良い。この場合、樹脂材6,9を配置させるための
広いスペースを基板上面に確保する必要がないことか
ら、基板1、並びに光プリンタヘッドの小型化に供する
ことができる上に、薄膜配線2はその全体が段差の少な
い略平坦な面上にパターン形成されることとなるため、
従来周知の薄膜形成技術等による薄膜配線2のパターニ
ングが容易になる利点もある。Further, in the above-described embodiment, the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 are mounted on the upper surface of the flat substrate 1. However, as shown in FIG. Is provided with a predetermined concave portion 1a,
A part or all of the light emitting element array chip 3 and the driver IC 7 may be embedded in such a concave portion 1a. In this case, since it is not necessary to secure a large space for disposing the resin materials 6 and 9 on the upper surface of the substrate, the substrate 1 and the optical printer head can be reduced in size, and the thin film wiring 2 can be used for the substrate 1 and the optical printer head. Since the entire pattern will be formed on a substantially flat surface with few steps,
There is also an advantage that patterning of the thin film wiring 2 by a conventionally known thin film forming technique or the like becomes easy.
【0050】また更に上述の実施形態においては発光ダ
イオードを発光素子として用いたLEDアレイヘッドを
例に説明したが、それ以外の光プリンタヘッド、例え
ば、ELヘッド、プラズマドットヘッド、液晶シャッタ
ヘッド、蛍光ヘッド、PLZT等にも本発明は適用可能
である。Further, in the above embodiment, an LED array head using a light emitting diode as a light emitting element has been described as an example. However, other optical printer heads, for example, an EL head, a plasma dot head, a liquid crystal shutter head, a fluorescent light The present invention is applicable to a head, PLZT, and the like.
【0051】[0051]
【発明の効果】本発明の光プリンタヘッドによれば、多
数の薄膜配線を有する基板上に、上面に多数の発光素子
と前記薄膜配線に電気的に接続される多数の接続パッド
とを有する発光素子アレイチップ、及び上面に前記発光
素子の発光を制御する電子回路と前記薄膜配線に電気的
に接続される多数の接続パッドとが集積されたドライバ
ーICを載置させるとともに、前記薄膜配線の一端を発
光素子アレイチップの接続パッド上まで、他端をドライ
バーICの接続パッド上までそれぞれ延在し、前記発光
素子アレイチップの接続パッドと該パッドに対応するド
ライバーICの接続パッドとを前記薄膜配線を介して電
気的に接続させるようにしたことから、多数の薄膜配線
を基板等の上面にパターン形成する際に、これら薄膜配
線を発光素子アレイチップやドライバーICの上面に設
けられている多数の接続パッドに対して同時に、かつ一
括的に接続することができ、これらをワイヤボンディン
グ等で接続する場合に比し接続作業に要する時間を大幅
に短縮して、光プリンタヘッドの生産性を向上させるこ
とができる。According to the optical printer head of the present invention, on a substrate having a large number of thin film wirings, a light emitting device having a large number of light emitting elements on a top surface and a large number of connection pads electrically connected to the thin film wirings. An element array chip, and a driver IC on which an electronic circuit for controlling light emission of the light emitting element and a large number of connection pads electrically connected to the thin film wiring are mounted on an upper surface, and one end of the thin film wiring Extending to the connection pad of the light emitting element array chip and the other end to the connection pad of the driver IC, and connecting the connection pad of the light emitting element array chip and the connection pad of the driver IC corresponding to the pad to the thin film wiring. When a large number of thin film wirings are patterned on the upper surface of a substrate or the like, these thin film wirings are connected to the light emitting element array. It can be connected simultaneously and collectively to a large number of connection pads provided on the upper surface of the chip or driver IC, and the time required for connection work is significantly longer than when these are connected by wire bonding etc. By shortening, the productivity of the optical printer head can be improved.
【0052】しかも本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、多数の接続パッドが設けられている発光素子アレイ
チップの上面とドライバーICの上面は略等しい高さに
位置設定されているため、多数の薄膜配線を従来周知の
フォトリソグラフィー技術によってパターニングする際
に、露光源から発光素子アレイチップの接続パッドまで
の距離と露光源からドライバーICの接続パッドまでの
距離とは略等しくなり、発光素子アレイチップやドライ
バーICの上面の高さ位置で最適となるように露光条件
を設定することにより、特に高い露光精度が要求される
2種類の接続パッドの近傍において双方にとって最適な
条件で一括的に露光することができるようになり、多数
の薄膜配線を正確にパターニングして、光プリンタヘッ
ドの生産性を高く維持することが可能となる。Further, according to the optical printer head of the present invention, since the upper surface of the light emitting element array chip on which a large number of connection pads are provided and the upper surface of the driver IC are set at substantially the same height, a large number of thin films are provided. When the wiring is patterned by a conventionally known photolithography technique, the distance from the exposure source to the connection pad of the light emitting element array chip is substantially equal to the distance from the exposure source to the connection pad of the driver IC. By setting the exposure conditions to be optimal at the height position of the upper surface of the driver IC, it is possible to perform simultaneous exposure under the optimal conditions for both in the vicinity of two types of connection pads that require particularly high exposure accuracy And accurately pattern a large number of thin-film wiring lines to maintain high productivity of optical printer heads. It is possible to become.
【0053】また本発明の光プリンタヘッドによれば、
発光素子アレイチップの側面と基板上面との間に形成さ
れる角部、並びにドライバーICの側面と基板上面との
間に形成される角部に、発光素子アレイチップ、ドライ
バーICの外周部近傍に頂部を有する樹脂材を配設し、
該樹脂材の厚みを発光素子アレイチップ、ドライバーI
Cより離間する方向に向かって漸次薄くなしておくこと
により、発光素子アレイチップやドライバーICの上面
と基板上面とが樹脂材でもって架橋された形となるた
め、上述した多数の薄膜配線をパターン形成する際、こ
れらの薄膜配線を基板上から樹脂材の表面を介して発光
素子アレイチップやドライバーICの接続パッド上まで
良好に形成することができ、これにより薄膜配線の断線
等を有効に防止することが可能となる。またこの場合、
発光素子アレイチップの上面とドライバーICの上面と
は略等しい高さに位置設定されているため、液状になし
た樹脂の前駆体を発光素子アレイチップとドライバーI
Cの両側に同じ条件で塗布・重合させて樹脂材を形成す
る際、液状樹脂の粘度等を調整しておくことにより、全
ての樹脂材を発光素子アレイチップ、ドライバーICの
厚みに合わせて一度に形成することができ、これによっ
て光プリンタヘッドの生産性を高く維持することが可能
となる。According to the optical printer head of the present invention,
In the corner formed between the side surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the substrate, and in the corner formed between the side surface of the driver IC and the upper surface of the substrate, near the outer periphery of the light emitting element array chip and the driver IC Arranging a resin material having a top,
The thickness of the resin material is determined by the light emitting element array chip, driver I
By gradually decreasing the thickness in the direction away from C, the upper surface of the light emitting element array chip or the driver IC and the upper surface of the substrate are cross-linked with a resin material. When forming, these thin film wirings can be formed satisfactorily from the substrate through the surface of the resin material to the connection pads of the light emitting element array chip and the driver IC, thereby effectively preventing disconnection of the thin film wirings. It is possible to do. Also in this case,
Since the upper surface of the light emitting element array chip and the upper surface of the driver IC are set at substantially the same height, the precursor of the resin which has been liquefied is mixed with the light emitting element array chip and the driver IC.
When the resin material is formed by applying and polymerizing under the same conditions on both sides of C, by adjusting the viscosity and the like of the liquid resin, all the resin materials are once adjusted to the thickness of the light emitting element array chip and the driver IC. , So that the productivity of the optical printer head can be kept high.
【0054】更に本発明の光プリンタヘッドによれば、
上述した多数の薄膜配線は、基板や発光素子アレイチッ
プ,ドライバーIC,樹脂材等の上面に直に被着させた
ものであるため、光プリンタヘッドの使用時などに外部
からの振動や衝撃が印加されても、隣合う薄膜配線同士
が短絡するといった不具合を発生することはなく、光プ
リンタヘッドの信頼性向上にも供することができる。Further, according to the optical printer head of the present invention,
Many of the thin film wirings described above are directly attached to the upper surface of a substrate, a light emitting element array chip, a driver IC, a resin material, or the like. Even if the voltage is applied, there is no problem that adjacent thin film wirings are short-circuited, and it is also possible to improve the reliability of the optical printer head.
【0055】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記接続パッド上まで延在される複数個の薄膜配線
はその全体が膜状を成していることから、発光素子アレ
イチップ上にはボンディングワイヤのネイルヘッドの如
き光を反射する大きな物体は何ら存在しておらず、従っ
て、光プリンタヘッドの使用時、反射光等の不要な光が
感光体に照射されて不要な潜像が形成されるのが有効に
防止され、画像データに対応した正確な画像を得ること
ができる。Further, according to the optical printer head of the present invention, since the plurality of thin film wirings extending up to the connection pads are entirely in the form of a film, the thin film wirings are formed on the light emitting element array chip. There is no large object that reflects light, such as a bonding wire nail head. Therefore, when using an optical printer head, unnecessary light such as reflected light is irradiated on the photoconductor to form an unnecessary latent image. Is effectively prevented, and an accurate image corresponding to the image data can be obtained.
【0056】更にまた本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、発光素子アレイチップやドライバーICの外周部を
上述の樹脂材でもって被覆しておくことにより、発光素
子アレイチップやドライバーICのベースとして単結晶
シリコン等が使用されている場合に、発光素子アレイチ
ップやドライバーICの外周部に露出された単結晶シリ
コン等と薄膜配線とが電気的に短絡したり、薄膜配線が
発光素子アレイチップ外周の鋭利な角部によって断線す
るといった不具合も有効に防止される。Further, according to the optical printer head of the present invention, by covering the outer periphery of the light emitting element array chip and the driver IC with the above-described resin material, the light emitting element array chip and the driver IC can be simply used as a base. When crystalline silicon or the like is used, the single-crystal silicon or the like exposed on the outer periphery of the light emitting element array chip or the driver IC and the thin film wiring are electrically short-circuited, or the thin film wiring is formed on the outer periphery of the light emitting element array chip. Problems such as disconnection due to sharp corners are also effectively prevented.
【図1】本発明の一実施形態に係る光プリンタヘッドの
断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an optical printer head according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の光プリンタヘッドの発光素子アレイチッ
プ付近を拡大して示す平面図である。FIG. 2 is an enlarged plan view showing the vicinity of a light emitting element array chip of the optical printer head of FIG. 1;
【図3】本発明の他の実施形態に係る光プリンタヘッド
の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of an optical printer head according to another embodiment of the present invention.
【図4】本発明の他の実施形態に係る光プリンタヘッド
の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of an optical printer head according to another embodiment of the present invention.
【図5】従来の光プリンタヘッドの断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a conventional optical printer head.
1・・・基板、2・・・薄膜配線、3・・・発光素子ア
レイチップ、4・・・発光素子、5・・・発光素子アレ
イチップの接続パッド、6,9・・・樹脂材、7・・・
ドライバーIC、8・・・ドライバーICの接続パッドDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... board | substrate, 2 ... thin film wiring, 3 ... light emitting element array chip, 4 ... light emitting element, 5 ... connection pad of light emitting element array chip, 6, 9 ... resin material, 7 ...
Driver IC, 8 ... Connection pad for driver IC
Claims (4)
多数の発光素子と前記薄膜配線に電気的に接続される多
数の接続パッドとを有する発光素子アレイチップ、及び
上面に前記発光素子の発光を制御する電子回路と前記薄
膜配線に電気的に接続される多数の接続パッドとが集積
されたドライバーICを載置してなる光プリンタヘッド
であって、 前記発光素子アレイチップの上面と前記ドライバーIC
の上面とを略等しい高さに位置させるとともに、前記薄
膜配線の一端を発光素子アレイチップの接続パッド上ま
で、他端をドライバーICの接続パッド上まで延在さ
せ、前記発光素子アレイチップの接続パッドと該パッド
に対応するドライバーICの接続パッドとを前記薄膜配
線を介して電気的に接続したことを特徴とする光プリン
タヘッド。1. A light emitting element array chip having, on a substrate having a plurality of thin film wirings, a plurality of light emitting elements on an upper surface and a plurality of connection pads electrically connected to the thin film wirings, and the light emitting elements on an upper surface. An optical printer head on which a driver IC in which an electronic circuit for controlling light emission of light and a plurality of connection pads electrically connected to the thin film wiring are mounted is mounted, wherein an upper surface of the light emitting element array chip and The driver IC
Of the thin film wiring is extended to a connection pad of the light emitting element array chip, and the other end is extended to a connection pad of the driver IC, thereby connecting the light emitting element array chip. An optical printer head, wherein a pad and a connection pad of a driver IC corresponding to the pad are electrically connected via the thin film wiring.
面との間に形成される角部、並びに前記ドライバーIC
の側面と基板上面との間に形成される角部に樹脂材が配
設されており、該樹脂材の表面を介して前記薄膜配線が
基板上より発光素子アレイチップ及びドライバーICの
接続パッド上まで延在されていることを特徴とする請求
項1に記載の光プリンタヘッド。2. A corner formed between a side surface of the light emitting element array chip and a top surface of the substrate, and the driver IC.
A resin material is disposed at a corner formed between the side surface of the substrate and the upper surface of the substrate, and the thin film wiring is disposed on the connection pad of the light emitting element array chip and the driver IC from the substrate via the surface of the resin material. The optical printer head according to claim 1, wherein the optical printer head is extended to at least one of the optical printer heads.
プ、ドライバーICの外周部近傍に位置しており、且つ
その厚みが発光素子アレイチップ、ドライバーICより
離間する方向に向かって漸次薄くなしてあることを特徴
とする請求項2に記載の光プリンタヘッド。3. A top portion of the resin material is located near an outer peripheral portion of the light emitting element array chip and the driver IC, and the thickness thereof is gradually reduced in a direction away from the light emitting element array chip and the driver IC. 3. The optical printer head according to claim 2, wherein:
記樹脂材でもって被覆されていることを特徴とする請求
項2または請求項3に記載の光プリンタヘッド。4. The optical printer head according to claim 2, wherein a corner of the upper surface of the light emitting element array chip is covered with the resin material.
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|---|---|---|---|
| JP2001131678A JP2002326384A (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Optical printer head |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001131678A JP2002326384A (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Optical printer head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002326384A true JP2002326384A (en) | 2002-11-12 |
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ID=18979826
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001131678A Pending JP2002326384A (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Optical printer head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002326384A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-04-27 JP JP2001131678A patent/JP2002326384A/en active Pending
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