JP2002321391A - 液体用流量制御装置、液体容器、液体吐出ヘッド、記録装置、および液体の流量制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクなどの液体の流通に必要な圧力差を長
期間に渡って維持して、インクなどの液体を安定的に流
通させることができる液体用流量制御装置、液体容器、
液体吐出ヘッド、記録装置、および液体の流量制御方法
を提供すること。 【解決手段】 第１，第２の制御部材１，３の間の空間
部９内に空気を存在させ、第１，第２の制御部材１，３
に設けた細孔２，４によって、インクタンク７から記録
ヘッドへのインクの供給に必要な圧力差を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体用流量制御装
置、液体容器、液体吐出ヘッド、記録装置、および液体
の流量制御方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置においては、記
録に伴なうインクの消費にしたがって、インクタンクか
ら記録ヘッドにインクを供給する必要がある。インクの
供給は、記録ヘッドにおける圧力が一定の範囲に保たれ
るよう行わなければならない。一般には、記録ヘッドを
大気圧よりも小さな圧力に保つように、インクの供給が
行われる。

【０００３】従来、記録ヘッドを大気圧よりも小さな圧
力に保つように、インクタンクから記録ヘッドにインク
を供給するための方法としては、次のような第１，第
２，第３，および第４の方法がある。

【０００４】第１の方法は、インクタンク内にスポンジ
などのインク吸収体を詰めて、そのインク吸収体の毛細
管作用を利用する方法である。この方法の場合、インク
タンク内のインクは、スポンジなどのインク吸収体の毛
細管作用により保持され、インクタンクが記録ヘッドよ
りも上方に位置しても、記録ヘッドに対しては大気圧以
上の圧力が加わらない。

【０００５】第２の方法は、インクタンクと記録ヘッド
との間のインク供給路中に、一定圧力により開閉する弁
を介在させ、インクの消費により記録ヘッド内が所定の
圧力にまで低下したときに、弁が開いてインク供給をす
る方法である。

【０００６】第３の方法は、インクタンク側において、
バネやゴムの変形復元する力を利用してインクに負の圧
力を作用させておく方法である。その負圧により、イン
クタンク内のインクの水頭圧を吸収し、記録ヘッドに一
定以上の圧力が加わることを防止する。

【０００７】第４の方法は。第２の方法における弁の代
わりに、表面が撥インク性の開口を通してインクを供給
する方法である。インクの表面張力により、その開口を
通ってインクがインクタンクから記録ヘッドに供給され
るためには、インクタンク側に対して記録ヘッド側が所
定以上の負圧となることが必要となる。そのような圧力
差を利用することにより、記録ヘッドに一定以上の圧力
が加わることを防止する。特許第３０６２２９８号は、
このような方法を利用した発明である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記第１，第
２，第３，および第４の方法には、それぞれ次のような
問題があった。

【０００９】第１の方法では、スポンジなどのインク吸
収体がインクタンク内に存在するため、そのインクタン
ク内に収容できるインクの量が少なくなってしまう。

【００１０】第２の方法では、要求に応える精密な弁を
構成することが難しく、また弁に大きな作動面積が必要
となったり、弁が作動する圧力が大きく変動しやすいと
いう問題がある。

【００１１】第３の方法では、インクタンクの形状が制
限され、また記録ヘッド側からインクタンク側に空気が
吸い込まれた場合には、そのインクタンク側に備わるバ
ネなどの力が開放されて、インクタンク内に負圧が発生
できなくなってしまう。

【００１２】第４の方法では、開口における撥インク性
の表面全体にインクが接触した場合には、インクの表面
張力が利用できなくなるため、その開口における記録ヘ
ッド側の部位には、その部位がインクと接触しないよう
に空気を存在させておくことが必要となる。しかし、こ
のような第４の方法を利用した特許第３０６２２９８号
において、その開口における記録ヘッド側の部位は、単
に記録ヘッドの内部に連通しているだけであり、その部
位に空気を安定的に保持することが難しいという問題が
ある。また、その開口における撥インク性の表面は、イ
ンクとの接触により劣化して、所期の機能が発揮できな
るおそれもある。

【００１３】本発明の目的は、インクなどの液体の流通
に必要な圧力差を長期間に渡って維持して、インクなど
の液体を安定的に流通させることができる液体用流量制
御装置、液体容器、液体吐出ヘッド、記録装置、および
液体の流量制御方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の液体用流量制御
装置は、液体の流路中に介在されて、液体の流量を制御
可能な液体用流量制御装置において、前記流路の上流側
に位置する第１の制御部材と、前記流路の下流側に位置
する第２の制御部材と、を備え、 前記第１の制御部材
に、所定以上の第１の圧力差が生じたときに液体の通過
を許容する第１の流通路と、少なくとも前記第１の流通
路の下流側周面に位置して液体との接触角が９０度以上
の性質をもつ表面と、を設け、前記第２の制御部材に、
前記第１の圧力差以下の第２の圧力差が生じたときに液
体の通過を許容する第２の流通路を設け、前記第１の制
御部材と前記第２の制御部材との間に、気体を収容する
空間部を形成したことを特徴とする。

【００１５】また、本発明の液体用流量制御装置は、液
体の流路中に介在されて、液体の流量を制御可能な液体
用流量制御装置において、前記流路中に位置する制御部
材を備え、前記制御部材に、所定以上の圧力差が生じた
ときに液体の通過を許容する流通路と、少なくとも前記
流通路の下流側周面に位置して液体との接触角が９０度
以上の性質をもつ表面と、を設け、前記流通路は、下流
側に突出する周壁を備えることを特徴とする。

【００１６】本発明の液体容器は、内部に収容した液体
を供給口から外部に供給可能な液体容器において、上記
いずれからの液体用流量制御装置を前記供給口に備えた
ことを特徴とする。

【００１７】本発明の液体吐出ヘッドは、導入口から導
入した液体を吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッドにお
いて、上記いずれかの液体用流量制御装置を前記導入口
に備えたことを特徴とする。

【００１８】本発明の記録装置は、インクを吐出可能な
記録ヘッドを用いて、被記録媒体に記録を行う記録装置
において、前記記録ヘッドに対するインクの供給路中
に、上記いずれかの液体用流量制御装置を介在させるこ
とが可能であることを特徴とする。

【００１９】本発明の液体の流量制御方法は、上記いず
れかの液体用流量制御装置を用いて、流体流路中の液体
の流量を制御する液体の流量制御方法であって、 前記
空間部内の気体中に前記第１の制御部材の前記表面を露
出させたまま、前記液体流路中の上流側と下流側との間
の圧力差に応じて、前記第１、第２を通過する液体の流
量を制御することを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
形態を説明する。本実施形態は、液体としてのインクの
流量を制御する液体用流量制御装置と、それを備えたイ
ンクタンクとしての適用形態である。

【００２１】図１において、１は、第１の流通路として
の細孔２を有する第１の制御部材、３は、第２の流通路
としての細孔４を有する第２の制御部材である。これら
の制御部材１、３は円筒状の部材５の上下端部に接着さ
れており、これらの部材１、３、および５によって、液
体流量制御装置としての流量制御素子６が構成される。
流量制御素子６の第１の制御部材１は、液体容器として
のインクタンク７のインク供給口７Ａの周面に接着され
る。また、流量制御素子６の下部は不図示の記録ヘッド
に接続されており、インクタンク７から流量制御素子６
を通して流出するインクは、その記録ヘッドに供給され
る。８は、インクタンク７に収容されるインク、９は、
流量制御素子６の内部に形成される空間部である。細孔
２において、少なくとも空間部９側の周面、つまり少な
くとも図１中下側の周面は、インクとの接触角が９０度
を越える性質、つまりインクに濡れない性質（以下、
「撥インク性」という）をもっている。同様に、細孔４に
おいて、少なくとも図１中下側の周面は撥インク性をも
っている。

【００２２】インクタンク７内には、スポンジなどのイ
ンク吸収体は備えられておらず、インク８は直接的にイ
ンクタンク７内に収容される。このように、インクタン
ク７内にインク吸収体を備えない分、そのインクタンク
７におけるインク８の収容量は大きくなる。

【００２３】次に、動作について説明する。

【００２４】インクタンク７内におけるインク８の圧力
より、そのインク８は細孔２から空間部９内に流出しよ
うとする。しかし、上述したように、第１の制御部材１
の空間部９に面する側の少なくとも細孔２の周辺が撥イ
ンク性をもっているため、インクの表面張力により、細
孔２の上下間の圧力差が一定値を超えるまではインク８
は流出しない。この圧力差は、インクの表面張力と細孔
２の大きさとによって一義的に決まる安定した値であ
り、そのことが流量制御の優れた安定性を示す背景とな
っている。細孔２が円形であれば、インクが流出し始め
る圧力差は、インクの表面張力をγ、細孔２の直径をｄ
としたときに、４γ／ｄによって表される。具体例とし
て、インクの表面張力γが３×１０^−２ニュートン／ｍ
の場合に、１０ｃｍの水頭圧すなわち９８０パスカルの
圧力によってインクが流出し始めるように設定するため
には、細孔２の直径ｄを１.２２×１０^−４ｍとすれば
よい。

【００２５】細孔２の上下の圧力差が細孔２の大きさと
インクの表面張力で決まる値を超えるとインクの流出が
始まり、図１中の符号１０で示すような液滴が形成され
る。その液滴１０は、その重さがインクの表面張力によ
る支持力を超えたときに落下する。上記の具体例の条件
下においては、液滴１０の直径が１.３ｍｍの大きさに
なると落下する。

【００２６】落下したインクの液滴１０は、第２の制御
部材３によりインク１２として受け止められ、そして細
孔４から流出しようとする。しかし、上述したように、
第２の制御部材３におけるインク流出側の面の少なくと
も細孔４の周辺が撥インク性をもっているため、インク
の表面張力により、細孔４の上下間の圧力差が一定値を
超えるまではインク１２は流出しない。その圧力差は、
細孔２における場合と同様に、インクの表面張力と細孔
４の大きさとによって一義的に決まる安定した値とな
る。このように細孔２、４における圧力差は、それらの
合計が所要の圧力差となるように設定する。細孔４のイ
ンク流出側がインクによって満たされていない場合、つ
まり細孔４のインク流出側が空気に接している場合に
は、インク１２は液滴１１として流出することになる。
仮に、細孔４の少なくとも内面がインクに濡れる性質で
あって、細孔４のインク流出側がインクに接している場
合には、インク１２が細孔４を通過する際の流通抵抗分
を除けば、細孔４において圧力差が発生しない。そのた
め、この場合には、細孔２における圧力差のみによっ
て、所要の圧力差を得るように設定する。

【００２７】ところで、第１の制御部材１の細孔２を通
してインクが流出する際に、一定の圧力差が生じるため
には、空間部９に気体（空気または他の気体でもよい）
が存在して、細孔２のインク流出側がインクに触れてい
ないことが必要となる。第２の制御部材３は、細孔２の
インク流出側とインクとの接触を避けるために、空間部
９に必要な気体を閉じ込める役割をもつ。このような役
割を果たすために、インクが細孔４を通過するときの圧
力差は、インクが細孔２を通過するときの圧力差以下に
設定されている。第２の制御部材３は、細孔２、４を通
してのインクの流れを除いては、空間部９を密閉空間と
することにより、例えば、後述するような記録ヘッドの
スキャンニング動作などに伴う振動、記録ヘッドのノズ
ルからのインクの吸引動作などの影響を受けることな
く、空間部９内に気体を保持することが可能となる。

【００２８】このように、一定量の空気が第１の制御部
材１のインク流出側に維持されることにより、インク吸
収体を用いることなく、記録ヘッドへのインクの供給圧
を所定範囲内に維持するインクタンク７が実現できる。
また、インクの流出は細孔の大きさとインクの表面張力
によって決まる圧力差に基づくため、製造上のばらつき
も少なく安定した機能が得られる。さらに、流量制御素
子６が小さくかつ簡単な構成であるため、小型のインク
タンク７や後述する記録ヘッド２０への適用も容易であ
る。

【００２９】本例では、第１の制御部材１として、厚さ
１００μｍのテトラフルオロエチレンの膜に、直径０.
１２ｍｍの細孔２を互いに４ｍｍ離して４つ開けたもの
を用い、また第２の制御部材３として、直径４０μｍの
ポリプロピレン繊維で編んだ平織りのメッシュを用い
た。また、円筒状部材５として内径８ｍｍのアクリル樹
脂製のものを用い、その端部に第１の制御部材１と第２
の制御部材３とを接着した。テトラフルオロエチレン膜
は強固に接着することが難しいため、円筒状部材５とイ
ンクタンク７の底面との間を接着剤により補強接着し
た。

【００３０】（他の実施形態）第１の制御部材１として
は、上述した材料の他、各種撥水剤をコーティングした
ものを用いることができる。例えば、各種のシリコン樹
脂、フッ素樹脂を用いることが可能であり、特に、ＣＦ
_３基を有する樹脂は表面エネルギーが小さくなり、撥イ
ンク性が高くなる。細孔２の形成数は何ら４つに限定さ
れず任意であり、必要なインク供給量より決めればよ
い。通常の画像記録時におけるプリンタのインク消費量
を考慮した場合は、細孔２を１つ形成するだけでも充分
である。しかし、後述するように、記録ヘッドにおける
インク吐出用のノズルの目詰まり防止すべく、そのノズ
ルからインクを吸引排出させる吸引回復動作を考慮した
場合には、その吸引回復動作によりノズルから吸引排出
される多量のインクに相当するインク量をインクタンク
７から記録ヘッドにスムーズに供給できるように、細孔
２を数十形成してもよい。

【００３１】細孔２の開け方に関しては、型抜き、加熱
成型、レーザ加工などの機械的な方法を用いる他、感光
性樹脂を用いてエッチングにより形成してもよい。第１
の制御部材１は、少なくとも細孔２のインク流出側の周
辺部が撥インク性を保つことが重要であり、細孔２のイ
ンク流出側の周辺部がインクによって濡れてしまった場
合には、その細孔２の孔径が実質的に大きくなって、イ
ンクを流出するために必要な圧力差が小さくなってしま
う。

【００３２】また、液体と物体表面の接触角にはヒステ
リシスがあり、液体が前進する時の接触角は大きく、後
退する時の接触角は小さくなる。液体が後退する時の接
触角が９０度以上であれば、何かの機会に物体表面が液
体により濡れてしまっても、その液体が他の液体に接触
して吸い込まれることにより、自然に、濡れていない状
態に回復される。そのため、インクとの接触角が９０度
以上の性質を「撥インク性」という。

【００３３】撥インク性をもつ物体表面は、インクに度
々触れて、そのインクの成分により汚染されると撥イン
ク性が低下してしまう。細孔２，４のインク導出部分の
形状を工夫するにより、それらの部分にインクが触れる
機会を減少させて、良好な撥インク性を長く維持させる
ことが可能となる。例えば、図２のように、細孔２
（４）のインク導出側の周囲をリブ状に盛り上がった形
状とすることにより、その外側部分の面Ａ、つまり少な
くとも撥インク性をもつ面Ａは、インクと接触する機会
が少なくなって、初期の撥インク性を長く保持すること
になる。また、図３のように、細孔２（４）のインク導
出側の周囲を湾曲させることにより、その外側部分の面
Ａ、つまり少なくとも撥インク性をもつ面Ａは、インク
と接触する機会が少なくなって、初期の撥インク性を長
く保持することになる。図３中の面Ｂはインクに濡れる
状態としておくことにより、細孔２（４）の直径Ｃに応
じて、インクの流出に必要な圧力が決まる。図２および
図３のように、細孔２（４）に、インク導出側に突出す
る周壁を形成することにより、撥インク性の劣化が抑え
られ、安定したインク流量の制御動作が可能となる。

【００３４】また、流量制御に肝要な第１の制御部材１
の細孔２に関してのみ、図２および図３のように、イン
ク導出側に突出する周壁を形成してもよい。この場合に
も、第１の制御部材１における撥インク性の劣化を抑え
ることにより、安定したインク流量の制御動作が可能と
なる。また、この場合、第１の制御部材１の下側に空気
などの気体が存在するという条件下においては、第２の
制御部材３を備えなくても充分に安定したインク流量の
制御が可能となる。

【００３５】また、細孔２（４）の形状は真円やスリッ
トに限られたものではなく、他の形状とすることができ
る。制御部材１（３）にスリット状に切れ目を入れただ
けでもよく、その切れ目が圧力差により拡がってインク
を流出させることになり、その切れ目が細孔２（４）と
して機能する。また、細孔２（４）の断面形状を星型と
することにより、インクが液滴となって落下する際の液
離れをよくし、細孔２（４）の周辺部の撥インク性をよ
り確実に維持することができる。

【００３６】図４は、本発明を適用したインクカートリ
ッジ１４の説明図である。このインクカートリッジ１４
を構成するインクタンク７の上部には、インクが漏れな
いような小さな大気連通孔を有する部分１５を備え、ま
たインクタンク７の下部のインク供給口には、フィルタ
ー１６を介して流量制御素子６が取り付けられている。
流量制御素子６の下側には、インクの漏れ防止用のシー
ル１７が貼り付けられている。インクカートリッジ１４
の使用開始時は、そのシール１７を取り外してから、流
量制御素子６の下側に記録ヘッド２０を取り付ける、記
録ヘッド２０は、流量制御素子６の細孔４を通して、イ
ンクカートリッジ１４のインクタンク７からインクの供
給を受けて、そのインクを駆動信号に基づいてノズルか
ら吐出する構成となっている。記録ヘッド２０における
インクの吐出方式としては、例えば、電気熱変換体（ヒ
ータ）が発生する熱エネルギーによりインクに気泡を生
成させ、その発泡エネルギーを用いてインクを吐出させ
る方式を採用することができる。その他、ピエゾ素子を
用いてインクを吐出する方式等、任意の吐出方式の記録
ヘッド２０を採用することができる。

【００３７】また、流量制御素子６をインクタンクカー
トリッジ１４側に取り付ける代わりに、その流量制御素
子６を記録ヘッド２０側に取り付けてもよい。その場
合、インクタンク７には、その内部に負圧を維持するた
めの機構を備える必要がない。但し、この場合、流量制
御素子６における撥インク性の効果は、記録ヘッド２０
自体の寿命相当期間だけ持続さなければならならず、特
に優れた撥インク性材料が必要とされる。

【００３８】図５は、本発明を適用した記録装置の概略
構成を説明するための斜視図である。本例の記録装置５
０はシリアルスキャン方式の記録装置であり、ガイド軸
５１，５２によって、キャリッジ５３が矢印Ａの主走査
方向に移動自在にガイドされている。キャリッジ５３
は、キャリッジモータおよびその駆動力を伝達するベル
ト等の駆動力伝達機構により、主走査方向に往復動され
る。キャリッジ５３には、記録ヘッド２０（図５におい
ては不図示）と、その記録ヘッド２０にインクを供給す
るインクタンク７が搭載される。インクタンク７は、イ
ンクタンク７はインクカートリッジ１４（図４参照）を
構成するものであってもよく、その場合、流量制御素子
６は、インクカートリッジ１４側あるいは記録ヘッド２
０側のいずれかに取り付けられる。また、インクタンク
７と記録ヘッド２０は、インクジェットカートリッジを
構成するものであってもよく、その場合、インクタンク
７と記録ヘッド２０との間に流量制御素子６が介在され
ることになる。被記録媒体としての用紙Ｐは、装置の前
端部に設けられた挿入口５５から挿入された後、その搬
送方向が反転されてから、送りローラ５６によって矢印
Ｂの副走査方向に搬送される。記録ヘッド１０は、主走
査方向に移動しつつ、プラテン５７上の用紙Ｐのプリン
ト領域に向かってインクを吐出する記録動作と、その記
録幅に対応する距離だけ用紙Ｐを副走査方向に搬送する
搬送動作と、を繰り返すことによって、用紙Ｐ上に順次
画像を記録する。

【００３９】キャリッジ５３の移動領域における図５中
の左端には、キャリッジ５３に搭載された記録ヘッド２
０の吐出口の形成面と対向する回復系ユニット（回復処
理手段）５８が設けられている。吐出口は、インクを吐
出するためのノズルを構成する。回復系ユニット５８に
は、記録ヘッド２０の吐出口のキャッピングが可能なキ
ャップと、そのキャップ内に負圧を導入可能な吸引ポン
プなどが備えられており、吐出口を覆ったキャップ内に
負圧を導入することにより、吐出口からインクを吸引排
出させて、記録ヘッド２０の良好なインク吐出状態を維
持すべく回復処理（「吸引回復処理」ともいう）をする。
また、キャップ内に向かって、吐出口から画像の寄与し
ないインクを吐出させることによって、記録ヘッド２０
の良好なインク吐出状態を維持すべく回復処理（「吐出
回復処理」ともいう）をすることもできる。

【００４０】流量制御素子６の第２の制御部材３は、前
述したように、細孔２，４を通してのインクの流れを除
いては、空間部９を密閉空間とするため、記録ヘッド２
０のスキャンニング動作などに伴う振動、記録ヘッド２
０のノズルからのインクの吸引動作などの影響を受ける
ことなく、空間部９内に気体を保持することが可能とな
る。したがって、細孔２のインク流出側とインクとの接
触を確実に回避して、インクの流出に必要な圧力差を一
定に維持することができる。この結果、記録ヘッド２０
は、その内部の圧力が一定に保たれて、インクを常に安
定して吐出することができる。

【００４１】また、本発明は、インク以外の種々の液体
の流量制御用として、インクジェット記録装置の関連分
野以外にも広く適用することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、第２の
制御部材を用いて、第１の制御部材の液体流出側に気体
を存在させることにより、液体が第１の制御部材の流通
路を通過するときの圧力差を安定させて、液体の流通に
必要な圧力差を長期間に渡って維持して、液体を安定的
に流通させることができる。また、制御部材に設けた細
孔などの流通路の大きさと、液体の表面張力に基づい
て、液体の流通に必要な圧力差が定まるため、製造上の
ばらつきも少なく安定した流量制御をすることができ
る。

【００４３】また、本発明は、制御部材の流通路に、液
体の導出側に突出する周壁を設けることにより、制御部
材における撥インク性の劣化を抑えて、安定した流量制
御をすることができる。

【００４４】また、本発明は、液体用流量制御装置を簡
単かつ小型に構成することができ、それを小型の液体容
器や液体吐出ヘッドなどにも容易に適用することができ
る。例えば、液体用流用制御装置をインクタンクに備え
た場合には、インクタンク内にインク吸収体を備える必
要がなくなり、その分、インクタンクの容量を大きくす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体用流量制御装置を備えたインクタ
ンクの要部の断面図である。

【図２】図１における細孔の他の構成例を説明するため
の断面図である。

【図３】図１における細孔のさらに他の構成例を説明す
るための断面図である。

【図４】本発明の液体用流量制御装置を備えたインクカ
ートリッジの説明図である。

【図５】図５は、本発明の液体用流用制御装置を備えた
記録装置の概略構成を説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１ 第１の制御部材 ２ 細孔（第１の流通路） ３ 第２の制御部材 ４ 細孔（第２の流通路） ５ 円筒状部材 ６ 流量制御素子（液体流量制御装置） ７ インクタンク（液体容器） ８，１２ インク ９ 空間部 １０，１１ 液滴 ２０ 記録ヘッド（液体吐出ヘッド） ５０ 記録装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 日隈 昌彦 茨城県水海道市坂手町5540−11 キヤノン アプテックス株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA26 FA03 FA10 KB27 KC15 KC16 KC27 5H307 AA20 BB05 BB16 DD06 DD09 DD17 EE36 ES05 GG01 JJ03 KK07

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体の流路中に介在されて、液体の流量
   を制御可能な液体用流量制御装置において、 前記流路の上流側に位置する第１の制御部材と、前記流
   路の下流側に位置する第２の制御部材と、を備え、 前記第１の制御部材に、所定以上の第１の圧力差が生じ
   たときに液体の通過を許容する第１の流通路と、少なく
   とも前記第１の流通路の下流側周面に位置して液体との
   接触角が９０度以上の性質をもつ表面と、を設け、 前記第２の制御部材に、前記第１の圧力差以下の第２の
   圧力差が生じたときに液体の通過を許容する第２の流通
   路を設け、 前記第１の制御部材と前記第２の制御部材との間に、気
   体を収容する空間部を形成したことを特徴とする液体用
   流量制御装置。
2. 【請求項２】 前記第１および第２の流通路は、細孔ま
   たはスリットによって形成されることを特徴とする請求
   項１に記載の液体用流量制御装置。
3. 【請求項３】 前記第１の流通路は、下流側に突出する
   周壁を備えることを特徴とする請求項１または２に記載
   の液体用流量制御装置。
4. 【請求項４】 前記第２の流通路は、下流側に突出する
   周壁を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれ
   かに記載の液体用流量制御装置。
5. 【請求項５】 前記第２の制御部材に、少なくとも前記
   第２の流通路の下流側周面に位置して液体との接触角が
   ９０度以上の性質をもつ表面を設けたことを特徴とする
   請求項１から４のいずれかに記載の液体用流量制御装
   置。
6. 【請求項６】 液体の流路中に介在されて、液体の流量
   を制御可能な液体用流量制御装置において、 前記流路中に位置する制御部材を備え、 前記制御部材に、所定以上の圧力差が生じたときに液体
   の通過を許容する流通路と、少なくとも前記流通路の下
   流側周面に位置して液体との接触角が９０度以上の性質
   をもつ表面と、を設け、 前記流通路は、下流側に突出する周壁を備えることを特
   徴とする液体用流量制御装置。
7. 【請求項７】 前記流通路は、細孔またはスリットによ
   って形成されることを特徴とする請求項６に記載の液体
   用流量制御装置。
8. 【請求項８】 内部に収容した液体を供給口から外部に
   供給可能な液体容器において、 請求項１から７のいずれかに記載の液体用流量制御装置
   を前記供給口に備えたことを特徴とする液体容器。
9. 【請求項９】 液体としてインクを収容することを特徴
   とする請求項８に記載の液体容器。
10. 【請求項１０】 導入口から導入した液体を吐出口から
    吐出可能な液体吐出ヘッドにおいて、 請求項１から７のいずれかに記載の液体用流量制御装置
    を前記導入口に備えたことを特徴とする液体吐出ヘッ
    ド。
11. 【請求項１１】 液体としてインクの吐出が可能である
    ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 【請求項１２】 液体の吐出に利用される熱エネルギー
    を発生するための電気熱変換体を備えたことを特徴とす
    る請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 【請求項１３】 インクを吐出可能な記録ヘッドを用い
    て、被記録媒体に記録を行う記録装置において、 前記記録ヘッドに対するインクの供給路中に、請求項１
    から７のいずれかに記載の液体用流量制御装置を介在さ
    せることが可能であることを特徴とする記録装置。
14. 【請求項１４】 前記記録ヘッドは、液体の吐出に利用
    される熱エネルギーを発生するための電気熱変換体を備
    えたことを特徴とする請求項１３に記載の記録装置。
15. 【請求項１５】 請求項１から５のいずれかに記載の液
    体用流量制御装置を用いて、流体流路中の液体の流量を
    制御する液体の流量制御方法であって、 前記空間部内の気体中に前記第１の制御部材の前記表面
    を露出させたまま、前記液体流路中の上流側と下流側と
    の間の圧力差に応じて、前記第１、第２を通過する液体
    の流量を制御することを特徴とする液体の流量制御方
    法。