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JP2002319201A - Optical disk heat treatment equipment - Google Patents

Optical disk heat treatment equipment

Info

Publication number
JP2002319201A
JP2002319201A JP2001120690A JP2001120690A JP2002319201A JP 2002319201 A JP2002319201 A JP 2002319201A JP 2001120690 A JP2001120690 A JP 2001120690A JP 2001120690 A JP2001120690 A JP 2001120690A JP 2002319201 A JP2002319201 A JP 2002319201A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
light
tracking
optical disk
recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001120690A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norio Miyatake
範夫 宮武
Koichiro Nishikawa
幸一郎 西川
Hirotake Ando
浩武 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Canon Inc
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Canon Inc
Priority to JP2001120690A priority Critical patent/JP2002319201A/en
Publication of JP2002319201A publication Critical patent/JP2002319201A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】磁壁移動方式(DWDD)の高密度ディスクにおけ
る磁壁移動動作を円滑に行うため、第1ウォブルピット
16と第2ウォブルピット17上の仮想線上に沿って、
熱処理ビームをトラッキングさせることのできる光ディ
スク熱処理装置を提供する。 【解決手段】レーザー光を複数の光路32,33,34に分割
し、光ディスク1に対して、前記分割光33の1つで熱処
理を行い、他の分割光32,34でトラッキングを行う。こ
れにより、トラックピッチに比べ十分に狭い熱処理幅で
記録再生トラック間を熱処理でき、また安定したトラッ
キング特性を保持して熱処理できる。
(57) [Summary] [Problem] To smoothly perform a domain wall moving operation in a high-density disk of a domain wall moving method (DWDD), along a virtual line on a first wobble pit 16 and a second wobble pit 17,
An optical disk heat treatment apparatus capable of tracking a heat treatment beam is provided. A laser beam is divided into a plurality of optical paths (32, 33, 34), an optical disc 1 is subjected to a heat treatment with one of the divided beams (33), and tracking is performed with other divided beams (32, 34). As a result, heat treatment can be performed between the recording and reproducing tracks with a heat treatment width sufficiently narrower than the track pitch, and heat treatment can be performed while maintaining stable tracking characteristics.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報の記録または
再生に用いられる光ディスクの製造装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing an optical disk used for recording or reproducing information.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクの分野では、より高密度に情
報を記録することが求められている。このような高密度
記録を実現する方法として、DWDD(Domain Wall Dis
placement Detection)方式(磁壁移動検出方式)の光デ
ィスクが提案されている。
2. Description of the Related Art In the field of optical disks, there is a demand for recording information at a higher density. As a method for realizing such high-density recording, DWDD (Domain Wall Dis
An optical disk of a placement detection type (domain wall movement detection type) has been proposed.

【0003】DWDD方式の光ディスクでは、磁壁の移
動現象を利用して高分解能に情報信号を再生し得る方式
である。記録トラックに沿って磁壁によって形成された
微小マーク部の集合として記録が行われた光磁気記録媒
体に対し、再生光ビームを照射し記録トラックを加熱す
ることにより、磁壁に移動力を発生させて磁壁を高速で
移動させ、その移動を検出することによって情報信号の
再生を行う。
[0003] The optical disk of the DWDD system is a system capable of reproducing an information signal with high resolution by utilizing a domain wall moving phenomenon. By irradiating a reproducing light beam to a magneto-optical recording medium recorded as a set of micro mark portions formed by domain walls along a recording track and heating the recording track, a moving force is generated on the domain wall. The information signal is reproduced by moving the domain wall at high speed and detecting the movement.

【0004】上記のように再生光ビームを照射し、トラ
ックに沿って記録された記録マーク部の磁壁に移動力を
発生させるためには、隣接する記録トラック間の磁気的
な結合を弱める必要がある。このため、DWDD方式の
光ディスクを製造する場合には、情報信号の記録を行う
前に、隣接する記録トラック間の磁気的な結合を弱める
熱処理(初期化あるいはアニール処理とも称す)を行
う。この熱処理方法は1μm以下に集束させた光ビーム
を記録トラック間に照射し、記録トラック間を加熱し、
加熱された部分の磁気異方性を低下させることによって
磁気的な結合を弱めることで達成される。このような熱
処理方法については、従来から提案されている(特開平
6−290496号公報及び特開平10−340493
号公報参照)。
In order to irradiate the reproducing light beam as described above and generate a moving force on the domain wall of the recording mark portion recorded along the track, it is necessary to weaken the magnetic coupling between adjacent recording tracks. is there. Therefore, when manufacturing an optical disk of the DWDD system, a heat treatment (also referred to as initialization or annealing) for weakening magnetic coupling between adjacent recording tracks is performed before recording an information signal. This heat treatment method irradiates a light beam focused to 1 μm or less between recording tracks, heats between the recording tracks,
This is achieved by weakening the magnetic coupling by reducing the magnetic anisotropy of the heated part. Such a heat treatment method has been conventionally proposed (JP-A-6-290496 and JP-A-10-340493).
Reference).

【0005】従来の光ディスクの構造および熱処理の方
法について、一例を図9に示す。図9に示すように、従
来の光ディスク1は、基板2と、基板2上に順次積層さ
れた第1の誘電体層3、記録層4、第2の誘電体層5お
よび保護コート層6とを備える。基板2の記録層4側の
表面には、グルーブ部7が形成されている。径方向に隣
接する2つのグルーブ部7間は、ランド部8と呼ばれる
部分である。このような溝付きディスクではグルーブ部
7にデータを記録する場合(グルーブ記録と称す)とラ
ンド部8にデータを記録する(ランド記録と称す)場合
の2通りがある。溝付き基板を用いたDWDDディスク
でもグルーブ記録とランド記録があるが、ここではグル
ーブ記録の場合で説明する。
FIG. 9 shows an example of a conventional optical disk structure and a heat treatment method. As shown in FIG. 9, a conventional optical disc 1 includes a substrate 2, a first dielectric layer 3, a recording layer 4, a second dielectric layer 5, and a protective coat layer 6 sequentially laminated on the substrate 2. Is provided. A groove portion 7 is formed on the surface of the substrate 2 on the recording layer 4 side. A portion called a land portion 8 is between two groove portions 7 that are radially adjacent to each other. In such a grooved disk, there are two cases, that is, data is recorded in the groove portion 7 (referred to as groove recording) and data is recorded in the land portion 8 (referred to as land recording). Groove recording and land recording are also performed on a DWDD disk using a grooved substrate, but the case of groove recording will be described here.

【0006】従来のDWDDディスクではグルーブ部7
の幅はたとえば0.8μmであり、ランド8の幅は0.
4μmである。記録層4は、DWDD方式で再生を行う
ために3層以上の磁性体層を備える。
In a conventional DWDD disc, a groove 7
Is 0.8 μm, for example, and the land 8 has a width of 0.1 μm.
4 μm. The recording layer 4 includes three or more magnetic layers for performing reproduction by the DWDD method.

【0007】次に、光ディスク1の熱処理方法について
説明する。光ディスク1の熱処理では、ランド部8に沿
って熱処理用のレーザー光9(たとえばレーザーパワ
ー:10mW、波長=680nm、対物レンズ10のN
A=0.55)を照射することによって、ランド部8上
の記録層4の磁気的結合を消失させることが可能とな
る。この熱処理工程において、レーザー光9の光スポッ
トの移動速度は、たとえば3m/秒である。
Next, a heat treatment method for the optical disk 1 will be described. In the heat treatment of the optical disk 1, a laser beam 9 for heat treatment (for example, laser power: 10 mW, wavelength = 680 nm, N
A = 0.55) makes it possible to eliminate the magnetic coupling of the recording layer 4 on the land 8. In this heat treatment step, the moving speed of the light spot of the laser light 9 is, for example, 3 m / sec.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のような熱処理方
法を実施する為には、一般的に溝付きディスクと言われ
るグルーブ部7とランド部8を設けたディスクにする必
要があった。記録再生をグルーブ部7で行う場合には、
熱処理装置の対物レンズ10で集束されたレーザー光9
を、ランド部8に沿って走行させランド部8の熱処理を
行う。ここでレーザー光9をランド部8に沿って走行さ
せる手段としてはプッシュプル方式等のトラッキング手
法を採るのが一般的である。
In order to carry out the above heat treatment method, it is necessary to provide a disk provided with a groove portion 7 and a land portion 8 which is generally called a grooved disk. When recording / reproducing is performed in the groove section 7,
Laser light 9 focused by objective lens 10 of heat treatment apparatus
Is moved along the land portion 8 to heat-treat the land portion 8. Here, as a means for causing the laser beam 9 to travel along the land portion 8, a tracking method such as a push-pull method is generally employed.

【0009】しかしながら溝付きディスクを用いる場
合、ランド部8を熱処理し、グルーブ部7で記録再生を
行おうとすれば、トラッキング特性の良好なランド部8
を形成しなければならない。その為には図10に示すよ
うにランド部8とグルーブ部7との間の段差11を熱処
理用光ビームの波長のλ/8程度とする必要があり、こ
れはDWDD再生を行う為には適していないという課題
があった。ただしここで2は基板であり、3、4ないし
5は各々第1の誘電体層、記録層および第2の誘電体で
ある。保護コート6は図示していない。
However, when a grooved disk is used, if the land portion 8 is heat-treated and recording / reproducing is to be performed in the groove portion 7, the land portion 8 having good tracking characteristics can be obtained.
Must be formed. For this purpose, as shown in FIG. 10, the step 11 between the land portion 8 and the groove portion 7 needs to be about λ / 8 of the wavelength of the light beam for heat treatment, which is necessary for performing DWDD reproduction. There was a problem that it was not suitable. Here, 2 is a substrate, and 3, 4 to 5 are a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric, respectively. The protective coat 6 is not shown.

【0010】すなわちλ/8程度の段差を設けると滑ら
かなグルーブを形成することは困難で、拡大図に示すよ
うに微小なグルーブ部側面の揺らぎ12が生じ、これが
DWDD動作を妨げるということが明らかとなった。高
密度を達成させる為には0.3μm以下のような短マー
クの記録時にもスムーズなDWDD動作を行わせる必要
があり、そのためにはこのグルーブ部側面の揺らぎを無
くし、あるいは少なくする必要がある。
That is, if a step of about λ / 8 is provided, it is difficult to form a smooth groove, and as shown in an enlarged view, a slight fluctuation 12 on the side surface of the groove is generated, which clearly impedes the DWDD operation. It became. In order to achieve high density, it is necessary to perform a smooth DWDD operation even when recording a short mark such as 0.3 μm or less, and for that purpose, it is necessary to eliminate or reduce the fluctuation on the side surface of the groove portion. .

【0011】上記グルーブ部側面の揺らぎを無くし、あ
るいは少なくする方法として考えられたのが、上記の熱
処理用光ビームの波長のλ/10以下の極浅いグルーブ
(溝)付きのサンプルサーボ方式の採用、あるいはグル
ーブ無しのサンプルサーボ方式である。図11は極浅い
グルーブ部7を設けた場合のサンプルサーボ方式ディス
クの例であり、ピット形成面から見た図である。図11
において13はサーボ領域、14はデータ領域で、サー
ボ領域とデータ領域でセグメント領域15を形成してい
る。
One method of eliminating or reducing the fluctuation of the side surface of the groove is considered to be the adoption of a sample servo system having an extremely shallow groove (groove) of λ / 10 or less of the wavelength of the heat treatment light beam. Or a sample servo system without grooves. FIG. 11 shows an example of a sample servo type disk provided with an extremely shallow groove portion 7, as viewed from the pit formation surface. FIG.
In the figure, 13 is a servo area, 14 is a data area, and a segment area 15 is formed by the servo area and the data area.

【0012】サーボ領域には第1ウォブルピット16と
第2ウォブルピット17が設けられている。記録再生に
用いられるのは記録再生トラック19に沿ったデータ領
域14である。熱処理は熱処理トラック20に沿ったラ
ンド部が行なわれる。
A first wobble pit 16 and a second wobble pit 17 are provided in the servo area. The data area 14 along the recording / reproducing track 19 is used for recording / reproducing. The heat treatment is performed on the lands along the heat treatment tracks 20.

【0013】ごく浅いグルーブを設けている理由は上記
の微小なグルーブ部側面の揺らぎが少なく、熱処理ビー
ムの熱の拡散を防ぐ若干の効果を有している為である。
しかし熱処理ビームを上記極浅いグルーブを設けたディ
スクのランド部に照射することは熱処理ビームのトラッ
キングが不安定で熱処理ビームのトラッキング制御特性
が課題であった。
The reason for providing a very shallow groove is that there is little fluctuation on the side surface of the above-mentioned minute groove portion, and it has a slight effect of preventing heat diffusion of the heat treatment beam.
However, irradiating the land portion of the disk provided with the extremely shallow groove with the heat treatment beam causes unstable tracking of the heat treatment beam and has a problem in tracking control characteristics of the heat treatment beam.

【0014】一方、図12は溝無しの通常のサンプルサ
ーボ方式ディスクを上記と同様に記録再生ビームが照射
される側から見た平面図である。図12において、13
はサーボ領域、14はデータ領域で、サーボ領域とデー
タ領域でセグメント領域15を形成し、サーボ領域には
第1ウォブルピット16と第2ウォブルピット17が設
けられている。記録再生に用いられる記録再生トラック
21は、データ領域は平板状態で物理的なトラックは無
く、第1ウォブルピット16と第2ウォブルピット17
の間を通る仮想線上がこの記録再生トラック21とな
る。そして、熱処理を行なわねばならない熱処理トラッ
クは22である。熱処理トラック22は第1ウォブルピ
ット16あるいは第2ウォブルピット17の直上を通る
仮想線上にある。
On the other hand, FIG. 12 is a plan view of a normal sample servo type disk having no groove as seen from the side irradiated with the recording / reproducing beam in the same manner as described above. In FIG. 12, 13
Denotes a servo area, 14 denotes a data area, and a segment area 15 is formed by the servo area and the data area. A first wobble pit 16 and a second wobble pit 17 are provided in the servo area. The recording / reproducing track 21 used for recording / reproducing has a flat data area and no physical track, and the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17
The recording / reproducing track 21 is on an imaginary line passing between the two. The number of heat treatment tracks for which heat treatment must be performed is 22. The heat treatment track 22 is on an imaginary line passing directly above the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17.

【0015】このような第1ウォブルピット16と第2
ウォブルピット17の間を通る仮想線上を、記録再生ビ
ームをトラッキングさせることは通常のサンプルサーボ
技術で行なわれている。しかしながら、熱処理用光ビー
ムは第1ウォブルピット16と第2ウォブルピット17
上の熱処理トラック22を通過させねばならないという
課題があった。
The first wobble pit 16 and the second
Tracking a recording / reproducing beam on an imaginary line passing between the wobble pits 17 is performed by a normal sample servo technique. However, the light beam for heat treatment has the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17.
There was a problem that the heat treatment track 22 had to be passed through.

【0016】本発明は、前記従来の問題を解決するた
め、第1ウォブルピット16と第2ウォブルピット17
上の仮想線上に沿って、熱処理ビームをトラッキングさ
せることのできる光ディスク熱処理装置を提供すること
を目的とする。
According to the present invention, a first wobble pit 16 and a second wobble pit 17 are provided in order to solve the conventional problem.
It is an object of the present invention to provide an optical disk heat treatment apparatus capable of tracking a heat treatment beam along an upper virtual line.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第1番目の光ディスク熱処理装置は、レー
ザー光を複数の光路に分割し、光ディスクに対して、前
記分割光の1つで熱処理を行い、他の分割光でトラッキ
ングを行うことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first optical disk heat treatment apparatus of the present invention divides a laser beam into a plurality of optical paths, and applies one of the divided lights to an optical disk. It is characterized in that a heat treatment is performed and tracking is performed with another divided light.

【0018】本発明の第2番目の光ディスク熱処理装置
は、基板と前記基板の上方に配置された記録層とを備
え、前記基板側から入射される光を用いて情報信号の再
生を行う光ディスクの熱処理装置であって、記録層側か
ら入射されるレーザー光を複数の光路に分割し、前記分
割光の1つで前記記録層の熱処理を行い、他の分割光で
トラッキングを行うことを特徴とする。
A second optical disk heat treatment apparatus according to the present invention comprises a substrate and a recording layer disposed above the substrate, and reproduces an information signal using light incident from the substrate side. A heat treatment apparatus, wherein laser light incident from the recording layer side is divided into a plurality of optical paths, heat treatment of the recording layer is performed with one of the divided lights, and tracking is performed with another divided light. I do.

【0019】前記第1〜2番目の光ディスク熱処理装置
においては、光ディスクの記録再生のトラッキング方式
がサンプルサーボ方式であることが好ましい。
In the first and second optical disk heat treatment apparatuses, it is preferable that the tracking system for recording and reproducing the optical disk is a sample servo system.

【0020】また、熱処理に用いられる分割光のスポッ
トサイズがトラッキングに用いる分割光のスポットサイ
ズより小さいことが好ましい。
It is preferable that the spot size of the split light used for the heat treatment is smaller than the spot size of the split light used for the tracking.

【0021】また、レーザー光の波長が500nm以下
であることが好ましい。
Preferably, the wavelength of the laser light is 500 nm or less.

【0022】また、光ディスクが磁壁移動検出方式(D
WDD)の光磁気ディスクであることが好ましい。
In addition, the optical disk uses a domain wall movement detection method (D
It is preferably a magneto-optical disk (WDD).

【0023】以上説明したとおり、本発明は、A、B一
対のウォブルピットを複数配置してトラッキングを行う
サンプルサーボ方式の光ディスクに対し、レーザー光を
複数の光路に分割し、分割光の1つで熱処理を行い、他
の分割光でトラッキングを行う。また、A、B一対のウ
ォブルピットを複数配置しトラッキングを行うサンプル
サーボ方式の光ディスクであって、基板と前記基板の上
方に配置された記録層とを備え、前記基板側から入射さ
れる光を用いて情報信号の再生を行う光ディスクにおい
て、記録層側から入射されるレーザー光を複数の光路に
分割し、上記分割光の1つで熱処理を行い、他の分割光
でトラッキングを行う。これにより、熱処理に用いられ
る分割光のスポットサイズがトラッキングに用いる分割
光のスポットサイズより小さいために、狭い幅で熱処理
ができる。
As described above, the present invention divides a laser beam into a plurality of optical paths on a sample servo type optical disc for tracking by arranging a plurality of pairs of wobble pits A and B, To perform a heat treatment, and perform tracking with another divided light. An optical disk of a sample servo system for performing tracking by arranging a plurality of pairs of wobble pits A and B, comprising: a substrate; and a recording layer disposed above the substrate. In an optical disc that reproduces an information signal by using the laser beam, a laser beam incident from the recording layer side is divided into a plurality of optical paths, heat treatment is performed with one of the divided beams, and tracking is performed with another divided beam. Accordingly, since the spot size of the divided light used for the heat treatment is smaller than the spot size of the divided light used for the tracking, the heat treatment can be performed with a narrow width.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図1から図8を用いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0025】(実施の形態1)図1は本発明の熱処理装
置の構成を示した原理図である。ディスク1と光学ヘッ
ド30が配置され、図示されていないディスク回転機構
でディスクは矢印31の方向に回転する。また図示され
ていないが、光学ヘッド移送機構により光学ヘッドはデ
ィスクの半径方向に移動し得る。光学ヘッドから出た光
は32、33および34の3つのビームに分けられてい
る。33は熱処理用ビームであり、32と34はトラッ
キング用ビームである。ディスクと各ビームとの位置関
係を、記録膜形成面から見た平面図である図2を用いて
説明する。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a principle view showing a configuration of a heat treatment apparatus of the present invention. The disk 1 and the optical head 30 are arranged, and the disk rotates in the direction of arrow 31 by a disk rotating mechanism (not shown). Although not shown, the optical head can be moved in the radial direction of the disk by the optical head transfer mechanism. The light emerging from the optical head is split into three beams, 32, 33 and 34. 33 is a beam for heat treatment, and 32 and 34 are beams for tracking. The positional relationship between the disk and each beam will be described with reference to FIG. 2 which is a plan view seen from the recording film forming surface.

【0026】図2において16、17は各々第1ウォブ
ルピットと第2ウォブルピットであり、第1ウォブルピ
ット16と第2ウォブルピット17の間の仮想線21が
記録再生トラックである。第1ウォブルピット16およ
び第2ウォブルピット17の各ピットの上を通る線が熱
処理トラック22である。
In FIG. 2, reference numerals 16 and 17 denote a first wobble pit and a second wobble pit, respectively, and a virtual line 21 between the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17 is a recording / reproducing track. A line passing over each of the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17 is the heat treatment track 22.

【0027】15はセグメントであり、各セグメントは
サーボ領域13とデータ領域14で構成されている。熱
処理用ビーム33及びトラッキング用ビーム32、34
がディスク1上に照射され、熱処理用光スポット35と
トラッキング用光スポット36、37が形成される。
Reference numeral 15 denotes segments. Each segment includes a servo area 13 and a data area 14. Heat treatment beam 33 and tracking beams 32 and 34
Is irradiated onto the disk 1 to form a light spot 35 for heat treatment and light spots 36 and 37 for tracking.

【0028】熱処理用光スポット35は第1ウォブルピ
ット16、あるいは第2ウォブルピット17上の熱処理
トラック22を通るように制御されている。そのために
トラッキング用光スポット36およびトラッキング用光
スポット37はサンプルサーボ方式で各々第1ウォブル
ピット16と第2ウォブルピット17の間、すなわち記
録再生トラック21を通過するように制御されている。
The light spot for heat treatment 35 is controlled to pass through the heat treatment track 22 on the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17. For this purpose, the tracking light spot 36 and the tracking light spot 37 are controlled so as to pass between the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17, that is, the recording / reproducing track 21 by a sample servo method.

【0029】熱処理用光スポット35とトラッキング用
光スポット36との距離と熱処理用光スポット35とト
ラッキング用光スポット37の距離は等しいように設計
されているため、トラッキング用光スポット36とトラ
ッキング用光スポット37が記録再生トラック21を通
過すると、熱処理用光スポット35は丁度その間を通過
し、第1ウォブルピット16、あるいは第2ウォブルピ
ット17上を通る線にそって熱処理が行われる。
The distance between the heat treatment light spot 35 and the tracking light spot 36 is designed to be equal to the distance between the heat treatment light spot 35 and the tracking light spot 37. When the spot 37 passes through the recording / reproducing track 21, the heat treatment light spot 35 passes just between them, and heat treatment is performed along a line passing over the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17.

【0030】ディスクが1周回転すると、図2の右側に
示した位置に各光スポットが位置する。すなわち隣接す
るトラックに移動する。移動の量は記録再生の1トラッ
クピッチ分である。したがってディスクを回転させて熱
処理を行うと第1ウォブルピット16と第2ウォブルピ
ット17の上の線に沿ってディスクは熱処理されてい
く。
When the disk rotates once, each light spot is located at the position shown on the right side of FIG. That is, it moves to an adjacent track. The amount of movement is equivalent to one track pitch for recording and reproduction. Therefore, when the heat treatment is performed by rotating the disk, the disk is heat-treated along the line above the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17.

【0031】上記3つの光ビームの作り方について図1
にもどって説明する。光ヘッド30はレーザー40、コ
リメートレンズ41、回折格子42、偏向ビームスプリ
ッタ43、4分の1波長板44、ミラープリズム45、
凹レンズ46、対物レンズ10および光検出素子47で
構成されている。ただし対物レンズをフォーカス方向あ
るいはトラッキング方向(ディスクの半径方向)へ駆動
するためのアクチュエータは省略している。
FIG. 1 shows how the three light beams are formed.
Return to the explanation. The optical head 30 includes a laser 40, a collimating lens 41, a diffraction grating 42, a deflecting beam splitter 43, a quarter-wave plate 44, a mirror prism 45,
It comprises a concave lens 46, an objective lens 10 and a photodetector 47. However, an actuator for driving the objective lens in the focus direction or the tracking direction (radial direction of the disk) is omitted.

【0032】レーザー40から出た直線偏光(図の場合
P偏光)の光ビームはコリメートレンズ41で平行光と
なり、回折格子42で3つのビームに分割される。偏光
ビームスプリッタ43はP偏光を通過し、S偏光に対し
ては反射する設計となっている。したがって、3つに分
割された光は偏光ビームスプリッタを通過し、4分の1
波長板44に入る。
The light beam of linearly polarized light (P-polarized light in the figure) emitted from the laser 40 becomes parallel light by the collimator lens 41 and is divided into three beams by the diffraction grating 42. The polarization beam splitter 43 is designed to pass P-polarized light and reflect S-polarized light. Therefore, the light split into three passes through the polarizing beam splitter and is divided into a quarter.
It enters the wave plate 44.

【0033】4分の1波長板44で各々の光ビームは円
偏光となり、ミラープリズム45で90度角度を曲げら
れる。つぎに対物レンズ10でディスク1面上に集光さ
れ、3つのスポット35、36,37が形成される。デ
ィスク1から反射した光は対物レンズ1で集光され、ミ
ラープリズム45で反射され、4分の1波長板44に入
る。反射してきた光のほとんどは円偏光成分が主である
から、4分の1波長板44で再び直線偏光に戻る。この
とき偏光ビームスプリッタ43に対してはS偏光となっ
ているため、光はレーザーの方には戻らず図の上方に反
射される。
Each light beam is converted into a circularly polarized light by the quarter-wave plate 44, and an angle of 90 degrees is bent by the mirror prism 45. Next, the light is condensed on the surface of the disk 1 by the objective lens 10, and three spots 35, 36, and 37 are formed. The light reflected from the disk 1 is collected by the objective lens 1, reflected by the mirror prism 45, and enters the quarter-wave plate 44. Most of the reflected light is mainly a circularly polarized light component, and is returned to linearly polarized light again by the quarter-wave plate 44. At this time, since the light is s-polarized with respect to the polarization beam splitter 43, the light is reflected upward without being returned to the laser.

【0034】反射された光は凹レンズ46で拡大され、
3つのビームがそれぞれ光検出素子47に入る。光検出
素子47は3つの領域47a、47b、47cに分かれ
ている。領域47bに入る光がディスク面上の熱処理用
光スポット35からもどった光に対応する。領域47
a、および領域47cに入る光が各々ディスク1面上の
トラッキング用光スポット36と37からの光に対応す
る。
The reflected light is magnified by the concave lens 46,
Each of the three beams enters the light detecting element 47. The light detecting element 47 is divided into three regions 47a, 47b, and 47c. The light entering the area 47b corresponds to the light returned from the heat treatment light spot 35 on the disk surface. Region 47
a and the light entering the area 47c correspond to the light from the tracking light spots 36 and 37 on the surface of the disk 1, respectively.

【0035】光検出素子47の領域47bは更に4つの
領域に分かれており、この4つの領域の光の演算によっ
てフォーカス検出がなされる。フォーカス検出の一つの
方法として、逆かまぼこ状の凹レンズ46を用いて、ア
スティグマ方式でフォーカス検出することができる。
The area 47b of the light detecting element 47 is further divided into four areas, and the focus is detected by calculating the light in the four areas. As one method of focus detection, the focus can be detected by an astigmatic method using an inverted concave lens 46.

【0036】光検出素子47の領域47aおよび47c
はこの実施の形態の場合、各々1つの領域からなる。図
3に示すようにトラッキング用光スポット36,37が
相対的にディスク1上を図の左から右の方向に走行する
と、光検出素子47の領域47aおよび47cに入る光
量は各々光量50および光量51のようになる。ここで
52は光量0のレベルである。
The areas 47a and 47c of the light detecting element 47
In the case of this embodiment, each is composed of one region. As shown in FIG. 3, when the tracking light spots 36 and 37 relatively travel on the disk 1 from left to right in the figure, the light amounts entering the areas 47a and 47c of the photodetector 47 become 50 and 50, respectively. It looks like 51. Here, 52 is the level of zero light quantity.

【0037】図3のトラッキング用光スポット36を見
ると、記録再生トラック21よりも少し図の下の方にΔ
sだけずれて走行しているため、第1ウォブルピット1
6および第2ウォブルピット17の存在する位置を通過
したとき、変調度が第1ウォブルピット16の所では小
さく変調振幅A1となり、第2ウォブルピット17の存
在する位置を通過したときは変調度の大きな変調振幅B
1となる。変調振幅A1と変調振幅B1が現れる時間差
twはトラッキング用光スポット36が第1ウォブルピ
ット16上と第2ウォブルピット17上を通過する時間
である。
Looking at the tracking light spot 36 in FIG. 3, Δ is slightly lower than the recording / reproducing track 21 in the figure.
s, the first wobble pit 1
When passing through the position where the second wobble pit 17 exists, the modulation degree becomes small at the first wobble pit 16 and becomes the modulation amplitude A1. When passing through the position where the second wobble pit 17 exists, the modulation degree becomes small. Large modulation amplitude B
It becomes 1. The time difference tw at which the modulation amplitude A1 and the modulation amplitude B1 appear is the time during which the tracking light spot 36 passes over the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17.

【0038】一方、トラッキング用光スポット37を見
ると、同じく記録再生トラック21よりも少し図の下の
方にΔsだけずれて走行しているため、変調度が第1ウ
ォブルピット16の所では大きな振幅B2となり、第2
ウォブルピット17の存在する位置を通過したときは変
調度の小さい振幅A2となる。振幅B2と振幅A2が現
れる時間差も上記のtwとなる。なお第1ウォブルピッ
ト16および第2ウォブルピット17によってトラッキ
ング用光スポット36と37の変調の受ける時間的関係
はtだけずれる。これはトラッキング用光スポット37
がトラッキング用光スポット36に対し、t時間だけ先
行するためである。ここで各光スポットは紙面の左から
右方向に移動した場合を仮定している。
On the other hand, when the tracking light spot 37 is viewed, since it travels slightly lower than the recording / reproducing track 21 by Δs, the modulation degree is large at the first wobble pit 16. The amplitude B2 and the second
When the signal passes through the position where the wobble pit 17 exists, the amplitude A2 has a small modulation factor. The time difference at which the amplitude B2 and the amplitude A2 appear is also tw. The temporal relationship of the modulation of the tracking light spots 36 and 37 by the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17 is shifted by t. This is the tracking light spot 37
Is ahead of the tracking light spot 36 by the time t. Here, it is assumed that each light spot moves from left to right on the paper.

【0039】熱処理用光スポット35を記録再生トラッ
ク21の中間の位置にそって走行させるには、下記の
1),2),3)のいずれかで制御する。1)トラッキ
ング用光スポット36および37が第1ウォブルピット
16上を各々通過するときの、変調振幅A1とB2が等
しいようにする。2)トラッキング用光スポット36お
よび37が第2ウォブルピット17上を通過するとき
の、変調振幅B1とA2が等しいようにする。3)トラ
ッキング用光スポット36および37が第1ウォブルピ
ット16上と第2ウォブルピット17上を通過するとき
の各振幅の関係を、B2-A2=A1-B1となるように
する。
In order to cause the light spot 35 for heat treatment to travel along the middle position of the recording / reproducing track 21, it is controlled by one of the following 1), 2) and 3). 1) The modulation amplitudes A1 and B2 when the tracking light spots 36 and 37 pass over the first wobble pit 16 are made equal. 2) The modulation amplitudes B1 and A2 when the tracking light spots 36 and 37 pass over the second wobble pit 17 are made equal. 3) The relationship between the amplitudes when the tracking light spots 36 and 37 pass over the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17 is set so that B2-A2 = A1-B1.

【0040】ただしトラッキング用光スポット36およ
び37のラジアル方向(走行方向と直交する方向)の距
離をL1とし、また第1ウォブルピット16あるいは第
2ウォブルピット17のラジアル方向のピットピッチを
各々LW1,LW2としたとき、L1≠n×LW1、L
1≠n×LW2(nは任意の正整数)が成り立つように
設計せねばならない。上記が等しい場合には図面で上下
の方向にトラッキング用光スポット36および37がず
れても、変調振幅A1とB2は常に等しく、どちらの値
も同時に増減するだけとなる。もちろん変調振幅B1と
A2の関係も同様となり、これでは制御をすることがで
きないからである。
However, the distance between the tracking light spots 36 and 37 in the radial direction (the direction perpendicular to the running direction) is L1, and the pit pitch of the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17 in the radial direction is LW1, When LW2, L11n × LW1, L
It must be designed so that 1 ≠ n × LW2 (n is an arbitrary positive integer) is satisfied. If the above are equal, even if the tracking light spots 36 and 37 are shifted in the vertical direction in the drawing, the modulation amplitudes A1 and B2 are always equal, and both values only increase or decrease at the same time. Of course, the relationship between the modulation amplitudes B1 and A2 is the same, and control cannot be performed with this.

【0041】次に上記3)の制御を実現する方法につい
て、図4を用いて説明する。図4において、47a、4
7cは各々図1に示した光学ヘッド30内の光検出素子
である。光検出素子47a、47cには各々図1に示し
たトラッキング用光スポット36,37からの反射光が
入る。光検出素子で検出された信号は増幅器60、61
で増幅され、増幅器60、61で増幅された信号は4つ
のサンプルホールド回路62、63,64、65に入力
される。サンプルホールド回路62、63の出力は差動
増幅器66に入力され、その差分が演算される。
Next, a method for realizing the above control 3) will be described with reference to FIG. In FIG. 4, 47a, 4
Reference numerals 7c denote photodetectors in the optical head 30 shown in FIG. Light reflected from the tracking light spots 36 and 37 shown in FIG. 1 enters the light detection elements 47a and 47c, respectively. The signals detected by the light detecting elements are amplified by amplifiers 60 and 61.
The signals amplified by the amplifiers 60 and 61 are input to four sample and hold circuits 62, 63, 64 and 65. The outputs of the sample and hold circuits 62 and 63 are input to a differential amplifier 66, and the difference is calculated.

【0042】一方、サンプルホールド回路64、65の
出力は差動増幅器67に入力されその差分が演算され
る。差動増幅器66および67の出力は更に差動増幅器
68に入力され、その差分が演算される。差動増幅器6
8の出力は駆動アンプ69に入力され、その出力によっ
て光学ヘッドをトラッキングさせるためのアクチュエー
ター70が制御される。71はタイミング信号発生器で
サンプルホールド回路62、63,64、65にサンプ
ルホールドのタイミング信号p1、p2、p3、p4を
供給する。サンプルホールド回路64にはt1+nT(n
は正整数)のタイミングでタイミング信号p1を供給
し、サンプルホールド回路62、65、63には各々t
1+t+nT、t1+tw+nT、t1+t+tw+nT(nは
正整数)のタイミングでタイミング信号p2、p3、p
4が供給される。
On the other hand, the outputs of the sample and hold circuits 64 and 65 are input to a differential amplifier 67 and the difference between them is calculated. The outputs of the differential amplifiers 66 and 67 are further input to the differential amplifier 68, and the difference is calculated. Differential amplifier 6
The output of 8 is input to the drive amplifier 69, and the output controls the actuator 70 for tracking the optical head. Reference numeral 71 denotes a timing signal generator which supplies sample and hold timing signals p1, p2, p3 and p4 to the sample and hold circuits 62, 63, 64 and 65. The sample hold circuit 64 has t1 + nT (n
Is a positive integer), and the timing signal p1 is supplied to the sample and hold circuits 62, 65, and 63, respectively.
1 + t + nT, t1 + tw + nT, and t1 + t + tw + nT (n is a positive integer) at timing signals p2, p3, p
4 are supplied.

【0043】これらの各タイミング信号の生成手段につ
いては、ここでは簡単のために省略しているが、サンプ
ルサーボ方式ディスクに配置されるクロックピット(デ
ィスクのピット配置図からは省略している)を基に生成
したタイミング信号と第1ウォブルピット16、第2ウ
ォブルピット17を通過したときの信号光量50、51
の変化を元に生成することができる。
The means for generating each of these timing signals is omitted here for the sake of simplicity, but clock pits (omitted from the pit arrangement diagram of the disk) arranged on the sample servo type disk are shown. Based on the timing signal generated and the signal light amounts 50 and 51 when passing through the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17.
Can be generated based on the change in

【0044】したがってタイミング信号p1(=t1+n
T)で、サンプルホールドするサンプルホールド回路6
4からは、図3で示した変調振幅B2が出力される。同
様にタイミング信号p2、p3、p4でサンプルホール
ドするサンプルホールド回路62、65、63からは各
々変調振幅A1、A2およびB1が出力される。
Therefore, the timing signal p1 (= t1 + n)
T), sample and hold circuit 6 for sample and hold
4 outputs the modulation amplitude B2 shown in FIG. Similarly, modulation amplitudes A1, A2, and B1 are output from sample and hold circuits 62, 65, and 63 that sample and hold with timing signals p2, p3, and p4, respectively.

【0045】差動増幅器67は変調振幅B2とA2の差
分を出力し、差動増幅器66は変調振幅A1とB1の差
分を出力する。差動増幅器68は更にこれらの出力の差
分を出力し、その出力に応じてアクチュエータ70が駆
動される。すなわち変調振幅の値B2-A2=A1-B1
となるようにアクチュエータは駆動される。このように
アクチュエータが制御されると、図3で示した熱処理用
光スポット35は第1ウォブルピット16あるいは第2
ウォブルピット17の直上を通過し、記録再生トラック
21のちょうど間を熱処理することができる。
The differential amplifier 67 outputs the difference between the modulation amplitudes B2 and A2, and the differential amplifier 66 outputs the difference between the modulation amplitudes A1 and B1. The differential amplifier 68 further outputs a difference between these outputs, and the actuator 70 is driven according to the output. That is, the value of the modulation amplitude B2-A2 = A1-B1
The actuator is driven so that When the actuator is controlled in this way, the light spot for heat treatment 35 shown in FIG.
A heat treatment can be performed just above the wobble pit 17 and just between the recording / reproducing tracks 21.

【0046】上記は変調振幅の値B2-A2=A1-B1
となるようにアクチュエータを制御する手段について説
明したが、上記1)、2)で述べたA1=B2あるいはB
1=A2に制御することも同様に行うことができる。
The above is the modulation amplitude value B2-A2 = A1-B1
The means for controlling the actuator has been described so that A1 = B2 or B1 described in 1) and 2) above.
The control of 1 = A2 can be similarly performed.

【0047】DWDDディスク用に記録トラック間を熱
処理し、DWDD動作をスムーズに行わせるためには、
記録トラック間の熱処理を行う必要があるが、この熱処
理幅はできるだけ狭いほうが、トラックピッチを狭める
ことができ、高密度化が可能となる。狭い幅の熱処理を
行うために本願の光ディスク熱処理装置では、レーザー
40の波長は500nm以下の短波長レーザーを使用す
ることが望ましい。
In order to perform a heat treatment between recording tracks for a DWDD disc and to smoothly perform a DWDD operation,
It is necessary to perform a heat treatment between the recording tracks. The narrower the heat treatment width, the narrower the track pitch and the higher the density. In order to perform a heat treatment with a narrow width, in the optical disc heat treatment apparatus of the present invention, it is desirable to use a short wavelength laser having a wavelength of the laser 40 of 500 nm or less.

【0048】また高NAの対物レンズ(例えばNA=
0.8)を使用し、ビームスポットを狭めることも有効
である。高NAの対物レンズを使用する上で、本発明の
光ディスク熱処理装置では、ディスクの記録層形成側か
ら光ビームを照射し、ディスクが傾いても、収差でビー
ムスポットが歪むことを避けている。基板越しに光を投
入させると、特に高NAの対物レンズを使用していると
きには、基板の厚みの変化でフォーカスずれが生じた
り、ディスクの傾きでコマ収差が発生し、良好な熱処理
をすることが困難となるからである。
Further, a high NA objective lens (for example, NA =
It is also effective to use 0.8) to narrow the beam spot. In using the high NA objective lens, the optical disk heat treatment apparatus of the present invention irradiates a light beam from the recording layer forming side of the disk to avoid distortion of the beam spot due to aberration even if the disk is tilted. When light is injected through the substrate, especially when using an objective lens with a high NA, a change in the thickness of the substrate may cause a focus shift, or a coma aberration may occur due to the tilt of the disk, and a good heat treatment may be performed. Is difficult.

【0049】更に図1の光ディスク熱処理装置では、3
つの光スポット35,36,37の内、熱処理用光スポ
ット35がトラッキング用光スポット36,37よりも
小さくなるように設計されている。熱処理用光スポット
35はできるだけ小さなスポットが望ましいが、トラッ
キング用光スポット36,37のサイズは適正な大きさ
が必要である。
Further, in the optical disk heat treatment apparatus shown in FIG.
Of the three light spots 35, 36, 37, the heat treatment light spot 35 is designed to be smaller than the tracking light spots 36, 37. The heat treatment light spot 35 is desirably as small as possible, but the tracking light spots 36 and 37 need to have an appropriate size.

【0050】トラッキング用光スポット36,37が第
1ウォブルピット16および第2ウォブルピット17の
近傍、あるいは直上を通過したとき、光量50ないし5
1の変調振幅A1、A2、B1、B2が、トラッキング
の制御に適した値になる必要があるためである。例えば
LW1=LW2=1.2μmのとき第1ウォブルピット
16および第2ウォブルピットの直径は0.4から0.
6μmが望ましく、トラッキング用光スポット36,3
7のスポットサイズは半値幅で0.35μmから0.4
5μmのスポットサイズが望ましい。熱処理用光スポッ
ト35は0.3μm以下に絞ることが望ましい。
When the tracking light spots 36 and 37 pass near or immediately above the first wobble pit 16 and the second wobble pit 17, the light amount of 50 to 5
This is because the modulation amplitudes A1, A2, B1, and B2 of 1 need to be values suitable for tracking control. For example, when LW1 = LW2 = 1.2 μm, the diameters of the first wobble pit 16 and the second wobble pit are 0.4 to 0.5.
6 μm is desirable, and the tracking light spots 36, 3
The spot size of 7 has a half width of 0.35 μm to 0.4.
A spot size of 5 μm is desirable. It is desirable that the light spot 35 for heat treatment be narrowed to 0.3 μm or less.

【0051】上記のように熱処理用光スポット35をト
ラッキング用光スポット36,37に比べて小さくする
方法について、図5を用いて説明する。図5は図1の一
部を表示したもので、各部の番号は図1と対応する。図
5の80は回折格子42を光の入射方向から見た図であ
る。回折格子42の実際に格子が形成されている部分は
中心近傍の回折領域81である。回折格子42には破線
82で示した領域に平行光が入射される。中心部分を通
過した光のみが、回折領域81にある回折格子で矢印8
3の方向に回折される。回折された光の1次回折光がト
ラッキング用ビーム32,34となる。
A method of making the heat treatment light spot 35 smaller than the tracking light spots 36 and 37 as described above will be described with reference to FIG. FIG. 5 shows a part of FIG. 1, and the numbers of the respective parts correspond to those of FIG. Reference numeral 80 in FIG. 5 is a view of the diffraction grating 42 viewed from the light incident direction. The portion of the diffraction grating 42 where the grating is actually formed is the diffraction region 81 near the center. Parallel light is incident on the diffraction grating 42 in a region indicated by a broken line 82. Only the light that has passed through the central part is
Diffracted in three directions. The first-order diffracted light of the diffracted light becomes the tracking beams 32 and 34.

【0052】トラッキング用ビーム32,34は回折格
子42に入射された光の一部だけとなり、また対物レン
ズの一部だけを通る。したがって実質的な開口度すなわ
ちNA値は小さい。一方回折格子42の破線82で示し
た領域に入射した光ビームの回折領域81以外の部分
は、回折されないため、そのままの光束径を維持したま
ま対物レンズに入る。この光ビームすなわち熱処理用ビ
ーム33は対物レンズのほぼ全域に入るため、開口度は
大きくなりスポット径は小さくなる。
The tracking beams 32 and 34 become only a part of the light incident on the diffraction grating 42 and pass only a part of the objective lens. Therefore, the substantial aperture, that is, the NA value is small. On the other hand, portions other than the diffraction region 81 of the light beam incident on the region indicated by the broken line 82 of the diffraction grating 42 are not diffracted, and therefore enter the objective lens while maintaining the same light beam diameter. Since this light beam, that is, the heat treatment beam 33, enters almost the entire area of the objective lens, the aperture degree increases and the spot diameter decreases.

【0053】上記のように中心部のみ回折機能を有した
回折格子42を用いることによって、1次回折光すなわ
ちトラッキング用ビーム32,34で形成されるトラッ
キング用光スポット36,37を、熱処理用光スポット
35よりも小さくすることができ、トラッキングと、熱
処理に最適な各光スポットを形成することができる。ま
たトラッキング用ビーム32,34は回折格子42の回
折領域81のみに入射した光の1次回折光であるから、
熱処理用ビーム33よりも弱い光強度である。
By using the diffraction grating 42 having a diffraction function only at the center as described above, the first-order diffracted light, that is, the tracking light spots 36 and 37 formed by the tracking beams 32 and 34 can be changed to the heat treatment light spots. It can be smaller than 35, and each light spot optimal for tracking and heat treatment can be formed. Further, since the tracking beams 32 and 34 are first-order diffracted lights of light incident only on the diffraction region 81 of the diffraction grating 42,
The light intensity is lower than that of the heat treatment beam 33.

【0054】トラッキング用ビーム32,34と熱処理
用ビーム33の強度は、回折領域81の面積を変更する
ことや、回折格子の設計で1次光の比率を変えることが
できる。トラッキング用ビーム32、熱処理用ビーム3
3そしてトラッキング用ビーム34の光強度の比率は
1:8:1程度にするのが望ましい。トラッキングに必
要な強度は熱処理に用いる光強度よりも少なくても良い
からである。なお84はディスク面に形成されたスポッ
トの状態を示しており、矢印31はディスクの回転方向
を示している。トラッキング用光スポット36および3
7がディスクの走行方向85に対し傾斜した位置関係と
なるように、回折領域81の回折格子の方向もディスク
面に対し傾斜させ、図3で示したように各スポットが形
成されるように設計している。
The intensity of the tracking beams 32 and 34 and the heat treatment beam 33 can be changed by changing the area of the diffraction region 81 or changing the ratio of the primary light by designing the diffraction grating. Tracking beam 32, heat treatment beam 3
3, and the ratio of the light intensity of the tracking beam 34 is desirably about 1: 8: 1. This is because the intensity required for tracking may be lower than the light intensity used for the heat treatment. Numeral 84 indicates the state of the spot formed on the disk surface, and arrow 31 indicates the rotation direction of the disk. Tracking light spots 36 and 3
The direction of the diffraction grating of the diffraction region 81 is also inclined with respect to the disk surface so that 7 has a positional relationship inclined with respect to the running direction 85 of the disk, so that each spot is formed as shown in FIG. are doing.

【0055】上記の構成の光ディスク熱処理装置によっ
て記録再生のトラックピッチが0.6μmのサンプルサ
ーボディスクに対し、410nmの青色半導体レーザー
を用い、NA0.85の対物レンズを用いて熱処理を試
みた。ディスクの線速度は5m/sでトラッキング用ビ
ーム32、34と熱処理用ビーム33のディスク面上の
合計光パワーが8mWで熱処理を行ったところ、第1ウ
ォブルピット16、および第2ウォブルピット17上を
通る仮想線上を0.2μm以下の幅で良好に熱処理する
ことができ、DWDDでの再生特性も良好であった。
Using the optical disk heat treatment apparatus having the above-described configuration, a heat treatment was attempted on a sample servo disk having a recording / reproducing track pitch of 0.6 μm using a blue semiconductor laser of 410 nm and an objective lens of NA 0.85. When the linear velocity of the disk was 5 m / s, and the total light power of the tracking beams 32 and 34 and the heat treatment beam 33 on the disk surface was 8 mW, the heat treatment was performed. On the imaginary line passing through with a width of 0.2 μm or less, and the reproduction characteristics in DWDD were also good.

【0056】上記説明の図1、図2、図3ではディスク
にグルーブを設けていないサンプルサーボディスクを用
いた場合であるが、熱処理ビームの熱の拡散を防ぐ効果
のある図11に示した極浅いグルーブを形成したサンプ
ルサーボディスクにおいても、上記光ディスク熱処理装
置は何ら支障なく使用することができる。光ビームのト
ラッキングのためにディスク上に設けられたグルーブを
使用しないからである。
In FIGS. 1, 2 and 3 described above, the sample servo disks having no grooves formed on the disks are used. However, the poles shown in FIG. Even in a sample servo disk having a shallow groove, the optical disk heat treatment apparatus can be used without any problem. This is because the groove provided on the disk is not used for tracking the light beam.

【0057】更に本願の光ディスク熱処理装置に用いた
回折格子42の回折領域は円形の場合を示したが、回折
格子42に入射される光ビームのビームプロフィールに
応じて、図6Aに示したような楕円形、あるいは図6B
に示したような長方形とし、光ディスク上で熱処理およ
びトラッキングに最適なスポットを形成することができ
る。
Although the diffraction region of the diffraction grating 42 used in the optical disk heat treatment apparatus of the present application is circular, the diffraction region shown in FIG. 6A is changed according to the beam profile of the light beam incident on the diffraction grating 42. Oval, or Figure 6B
And an optimal spot for heat treatment and tracking can be formed on the optical disc.

【0058】なお本実施例の場合、トラッキング用光ス
ポット36,37のラジアル方向の距離L1は、第1ウ
ォブルピット16あるいは第2ウォブルピット17のラ
ジアル方向のピットピッチLW1,LW2の1/2の場
合を示しているが、L1≠n×LW1、L1≠n×LW
2の条件さえ満たせば問題なく制御可能である。そのよ
うなビームスポットの例を図7に示している。図7にお
いて、L1はほぼLW1およびLW2の3/4の距離と
なっている。
In this embodiment, the radial distance L1 between the tracking light spots 36 and 37 is 1/2 of the radial pit pitch LW1 or LW2 of the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17. Although the case is shown, L1 ≠ n × LW1, L1 ≠ n × LW
As long as condition 2 is satisfied, control is possible without any problem. FIG. 7 shows an example of such a beam spot. In FIG. 7, L1 is approximately 3/4 of the distance between LW1 and LW2.

【0059】(実施の形態2)図8は第2の実施形態の
場合である。対応する番号は実施の形態1と同じである
ので番号の説明は省略する。この第2の実施形態の場
合、トラッキング用光スポット36,37のラジアル方
向の距離L1が第1ウォブルピット16間の距離LW1
あるいは第2ウォブルピット17間の距離LW2に等し
い場合である。
(Embodiment 2) FIG. 8 shows a case of the second embodiment. Corresponding numbers are the same as in the first embodiment, and a description of the numbers will be omitted. In the case of the second embodiment, the radial distance L1 between the tracking light spots 36 and 37 is equal to the distance LW1 between the first wobble pits 16.
Alternatively, this is the case where the distance is equal to the distance LW2 between the second wobble pits 17.

【0060】実施の形態1ではL1≠n×LW1、L1
≠n×LW2でなければ制御不能であることを説明した
が、L1=n×LW1、L1=n×LW2のような場合
でも、光検出素子47の47a、および47cを各々2
分割とし、それらの差動信号を利用することによってト
ラッキング用ビーム32,34を各々第1ウォブルピッ
ト16あるいは第2ウォブルピット17上の仮想線に沿
って走行させることができる。すなわちトラッキング用
光スポット36及び37が第1ウォブルピット16ある
いは第2ウォブルピット17上を通過するとき、ピット
の回折効果によって1次光が発生する。この1次光の成
分を2分割した光検出素子47a及び47cで捕らえて
トラッキングエラー信号を発生させることができる。
In the first embodiment, L1 ≠ n × LW1, L1
Although it has been described that control is not possible unless ≠ n × LW2, even when L1 = n × LW1 and L1 = n × LW2, 47a and 47c of the photodetector 47 are each set to 2
The tracking beams 32 and 34 can be made to travel along virtual lines on the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17, respectively, by dividing them and using the differential signals. That is, when the tracking light spots 36 and 37 pass over the first wobble pit 16 or the second wobble pit 17, primary light is generated by the pit diffraction effect. This primary light component can be captured by the photodetectors 47a and 47c, which are divided into two, to generate a tracking error signal.

【0061】以下図8を用いて説明する。図8におい
て、光検出素子47の領域47aの各々の分割された領
域から出力される信号はdとeであり、また一方領域4
7cの信号はf、gとなる。dとfの信号が加算増幅器
90で加算され、eとgの信号が加算増幅器91で加算
される。これらの出力が差動増幅器92で減算され、こ
の出力信号は駆動アンプ93に入力されアクチュエータ
94を駆動し、光ビームスポットをラジアル方向に制御
する。例えばトラッキング用光スポット36が第1ウォ
ブルピット16の上を通過するとき、丁度真上を通過す
る場合には信号dとeは等しくなるが、図の上下の方向
にずれると、図8の光検出素子47aに入る光は2分割
の領域に対し非対称となり(図8では半月状で示してい
る)dとeの間に差異が出る。同様に信号fとgの間に
も差異が出る。上記説明のようにd+f=e+gが等し
いように制御すれば、各々のトラッキング用光スポット
は各ウォブルピットの上を通過する。したがって熱処理
スポットもウォブルピットの上を通過し、記録再生トラ
ック間を熱処理することができる。
This will be described below with reference to FIG. In FIG. 8, the signals output from the respective divided areas of the area 47a of the photodetector 47 are d and e,
The signal of 7c is f and g. The signals d and f are added by the addition amplifier 90, and the signals e and g are added by the addition amplifier 91. These outputs are subtracted by a differential amplifier 92, and this output signal is input to a drive amplifier 93 to drive an actuator 94 to control the light beam spot in the radial direction. For example, when the tracking light spot 36 passes over the first wobble pit 16 and passes just above, the signals d and e become equal. The light entering the detection element 47a becomes asymmetric with respect to the two-divided area (shown in a half-moon shape in FIG. 8), and a difference appears between d and e. Similarly, there is a difference between the signals f and g. If d + f = e + g is controlled as described above, each tracking light spot passes over each wobble pit. Therefore, the heat treatment spot also passes over the wobble pits, and heat treatment can be performed between the recording and reproduction tracks.

【0062】ここで図8の回路構成において、90,9
1で示した差動増幅器はサンプルホールド機能を有して
おり、サンプルホールドするタイミングは各ウォブルピ
ットを通過するときである。
Here, in the circuit configuration of FIG.
The differential amplifier denoted by reference numeral 1 has a sample-and-hold function, and the sample-and-hold timing is when passing through each wobble pit.

【0063】上記のように本構成の光ディスク熱処理装
置も良好なトラッキング特性をもってDWDDディスク
の熱処理を行うことが可能であった。
As described above, the optical disk heat treatment apparatus of the present configuration was also able to heat-treat a DWDD disk with good tracking characteristics.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ディス
ク熱処理装置は、トラックピッチに比べ十分に狭い熱処
理幅で記録再生トラック間を熱処理でき、また安定した
トラッキング特性を保持して熱処理できる。
As described above, the optical disk heat treatment apparatus of the present invention can perform a heat treatment between recording and reproduction tracks with a heat treatment width sufficiently narrower than the track pitch, and can perform a heat treatment while maintaining stable tracking characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光ディスク熱処理装置の構成を示す図FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an optical disk heat treatment apparatus of the present invention.

【図2】本発明の光ビームの照射位置関係を示す図FIG. 2 is a diagram showing an irradiation position relationship of a light beam according to the present invention.

【図3】本発明の光ビームが走行したときの反射光の変
化を示す図
FIG. 3 is a diagram showing a change in reflected light when the light beam of the present invention travels.

【図4】本発明の光ディスク熱処理装置の回路構成を示
す図
FIG. 4 is a diagram showing a circuit configuration of an optical disk heat treatment apparatus of the present invention.

【図5】本発明の光ディスク熱処理装置に用いられる回
折格子の機能を示す図
FIG. 5 is a diagram showing functions of a diffraction grating used in the optical disk heat treatment apparatus of the present invention.

【図6】本発明の光ディスク熱処理装置に用いられる回
折格子のその他の実施形態を示す図であり、Aは楕円形
の例、Bは長方形の例である。
FIG. 6 is a view showing another embodiment of the diffraction grating used in the optical disk heat treatment apparatus of the present invention, wherein A is an example of an ellipse and B is an example of a rectangle.

【図7】本発明の光ビームと各ウォブルピットの位置関
係を示す図
FIG. 7 is a diagram showing a positional relationship between a light beam of the present invention and each wobble pit.

【図8】本発明の光ディスク熱処理装置の第2の実施形
態を説明する図
FIG. 8 is a view for explaining a second embodiment of the optical disk heat treatment apparatus of the present invention.

【図9】光ディスクの構成を示す図FIG. 9 is a diagram showing a configuration of an optical disk.

【図10】従来の熱処理を示す図FIG. 10 illustrates a conventional heat treatment.

【図11】極浅いグルーブ部を設けた場合のサンプルサ
ーボ方式ディスクの図
FIG. 11 is a diagram of a sample servo type disk provided with an extremely shallow groove portion

【図12】グルーブのないサンプルサーボ方式ディスク
の図
[Figure 12] Diagram of sample servo disk without grooves

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光ディスク 2 基板 3 第1の誘電体層 4 記録層 5 第2の誘電体層 6 保護コート層 7 グルーブ部 8 ランド部 9 レーザー光 10 熱処理装置の対物レンズ 11 ランドグルーブ間の段差 12 グルーブ部側面の揺らぎ 13 サーボ領域 14 データ領域 15 セグメント領域 16 第1ウォブルピット 17 第2ウォブルピット 19,21 記録再生トラック 20,22 熱処理トラック 30 光学ヘッド 31 ディスク回転方向 32,34 トラッキング用ビーム 33 熱処理用ビーム 36,37 トラッキング用光スポット 35 熱処理スポット 40 レーザー 41 コリメートレンズ 42 回折格子 43 偏向ビームスプリッタ 44 4分の1波長板 45 ミラープリズム 46 凹レンズ 47 光検出素子 50,51 光量 52 光量0のレベル A1,B1,A2,B2 変調振幅 60,61 増幅器 62,63,64,65 サンプルホールド回路 66,67,68,92 差動増幅器 69,93 駆動アンプ 70,94 アクチュエーター 71 タイミング信号発生器 80 回折格子を光入射方向から見た図 81 回折領域 83 回折方向 90,91 加算増幅器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical disk 2 Substrate 3 1st dielectric layer 4 Recording layer 5 2nd dielectric layer 6 Protective coating layer 7 Groove part 8 Land part 9 Laser beam 10 Objective lens of heat treatment apparatus 11 Step between land and groove 12 Side of groove part Fluctuation 13 servo area 14 data area 15 segment area 16 first wobble pit 17 second wobble pit 19, 21 recording / reproducing track 20, 22 heat treatment track 30 optical head 31 disk rotation direction 32, 34 tracking beam 33 heat treatment beam 36 , 37 Tracking light spot 35 Heat treatment spot 40 Laser 41 Collimating lens 42 Diffraction grating 43 Deflection beam splitter 44 Quarter wave plate 45 Mirror prism 46 Concave lens 47 Photodetector 50, 51 Light quantity 52 Light quantity 0 level 1, B1, A2, B2 Modulation amplitude 60, 61 Amplifier 62, 63, 64, 65 Sample hold circuit 66, 67, 68, 92 Differential amplifier 69, 93 Drive amplifier 70, 94 Actuator 71 Timing signal generator 80 Diffraction grating 81 Diffraction region 83 Diffraction direction 90, 91 Additive amplifier

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 幸一郎 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 安藤 浩武 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 5D075 EE03 GG11 GG16 GG20  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Koichiro Nishikawa 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Hirotake Ando 3- 30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term (for reference) in non-corporation company 5D075 EE03 GG11 GG16 GG20

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】レーザー光を複数の光路に分割し、光ディ
スクに対して、前記分割光の1つで熱処理を行い、他の
分割光でトラッキングを行うことを特徴とする光ディス
ク熱処理装置。
1. An optical disk heat treatment apparatus, comprising: dividing a laser beam into a plurality of optical paths; performing heat treatment on the optical disk with one of the divided beams; and performing tracking with another divided beam.
【請求項2】基板と前記基板の上方に配置された記録層
とを備え、前記基板側から入射される光を用いて情報信
号の再生を行う光ディスクの熱処理装置であって、 記録層側から入射されるレーザー光を複数の光路に分割
し、前記分割光の1つで前記記録層の熱処理を行い、他
の分割光でトラッキングを行うことを特徴とする光ディ
スク熱処理装置。
2. A heat treatment apparatus for an optical disc, comprising: a substrate; and a recording layer disposed above the substrate, wherein the apparatus performs a reproduction of an information signal using light incident from the substrate side. An optical disk heat treatment apparatus, comprising: dividing an incident laser beam into a plurality of optical paths; performing heat treatment on the recording layer with one of the divided beams; and performing tracking with another divided beam.
【請求項3】光ディスクの記録再生のトラッキング方式
がサンプルサーボ方式である請求項1または2に記載の
光ディスク熱処理装置。
3. The optical disk heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the optical disk recording / reproducing tracking system is a sample servo system.
【請求項4】熱処理に用いられる分割光のスポットサイ
ズがトラッキングに用いる分割光のスポットサイズより
小さい請求項1〜3のいずれかに記載の光ディスク熱処
理装置。
4. The optical disk heat treatment apparatus according to claim 1, wherein a spot size of the divided light used for the heat treatment is smaller than a spot size of the divided light used for the tracking.
【請求項5】レーザー光の波長が500nm以下である
請求項1〜4のいずれから記載の光ディスク熱処理装
置。
5. The optical disk heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the wavelength of the laser light is 500 nm or less.
【請求項6】光ディスクが磁壁移動検出方式(DWD
D)の光磁気ディスクである請求項1〜5のいずれかに
記載の光ディスク熱処理装置。
6. An optical disk using a domain wall movement detection method (DWD).
The optical disk heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 5, which is a magneto-optical disk of D).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004105015A1 (en) * 2003-05-21 2004-12-02 Sony Corporation Annealing device and annealing method
EP1492103A3 (en) * 2003-06-25 2008-03-05 Sony Corporation Domain wall displacement detection system magneto-optical recording medium and its manufacturing method

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