JP2002318301A - Micro lens array and method of manufacturing the same - Google Patents
Micro lens array and method of manufacturing the sameInfo
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光学的な歪みが小さく、耐熱性に優れたマイク
ロレンズアレイならびにその製造方法を提供すること。
【構成】熱可塑性ノルボルネン系樹脂からなることを特
徴とするマイクロレンズアレイ。ならびに該熱可塑性ノ
ルボルネン系樹脂を、溶融状態下あるいは軟化状態下に
おいて、微細加工による形状加工により形成された原型
に接触させることにより、原型の形状を転写することを
特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
(57) [Summary] [Object] To provide a microlens array with small optical distortion and excellent heat resistance, and a method for manufacturing the same. A microlens array comprising a thermoplastic norbornene-based resin. And manufacturing the microlens array, wherein the shape of the prototype is transferred by bringing the thermoplastic norbornene-based resin into contact with a prototype formed by fine processing in a molten state or a softened state. Method.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、コンピューターなどの
情報処理端末機器用表示あるいはテレビ放送受信機用表
示などに用いられる液晶表示ディスプレイや液晶プロジ
ェクターにおいて光を効率良く伝達させるため、また液
晶表示ディスプレイや有機ＥＬディスプレイといったフ
ラットパネルディスプレイの表示がざらついて見える現
象を緩和するために用いられる構成部品であるマイクロ
レンズアレイならびにその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display and a liquid crystal projector used for displaying information processing terminal equipment such as a computer or a television broadcast receiver, and to efficiently transmit light to the liquid crystal display. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microlens array which is a component used for mitigating a phenomenon in which a display of a flat panel display such as an organic EL display is rough, and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、広く利用されている液晶ディスプ
レイ装置は、液晶層と、この液晶層を挟み込む一対の透
明基板を構成部品として含み、複数の画素で構成され、
前記液晶層を光源からの光で照明し、透過光の側から液
晶画面を見る装置である。この装置の弱点は、従来のＣ
ＲＴディスプレイと比較して、画面が暗いことである。
この理由のひとつは、液晶ディスプレイの画素内にはデ
ィスプレイ制御用電子回路などが形成された領域があ
り、この領域は光を透過しないことにある。このような
弱点は同様な液晶技術を用いている液晶プロジェクター
においても同じであった。このため、液晶ディスプレイ
の画面の明るさを向上させる方法として、前記光源と前
記液晶層との間に、マイクロレンズアレーを設置し、一
つの微小レンズあるいは複数の微小レンズからなる微小
レンズ群が前記画素の各々に対応するように設置するこ
とでバックライトなどからの光が各画素の光透過領域に
集光するようにして、不透過領域には光があたらないよ
うにすることで液晶画面の明るさをに改善する方法が提
案されている。2. Description of the Related Art In recent years, a liquid crystal display device widely used includes a liquid crystal layer and a pair of transparent substrates sandwiching the liquid crystal layer as constituent parts, and is constituted by a plurality of pixels.
The liquid crystal layer is illuminated with light from a light source, and a liquid crystal screen is viewed from a transmitted light side. The weak point of this device is that the conventional C
The screen is darker than the RT display.
One of the reasons is that a pixel of a liquid crystal display has a region in which a display control electronic circuit and the like are formed, and this region does not transmit light. Such a weak point is the same in a liquid crystal projector using a similar liquid crystal technology. For this reason, as a method of improving the brightness of the screen of the liquid crystal display, a microlens array is provided between the light source and the liquid crystal layer, and a microlens group including one microlens or a plurality of microlenses is provided. The light from the backlight etc. is focused on the light transmission area of each pixel by installing it corresponding to each pixel, and the light on the liquid crystal screen is prevented by preventing light from shining on the non-transmission area. Methods for improving brightness have been proposed.
【０００３】平面形ディスプレイ装置の明るさを向上さ
せるためのマイクロレンズアレイを、熱可塑性樹脂から
製造する方法として、イオン加工等の微細加工により直
接形成したり、原盤から電鋳法等により間接的に形成し
た原型を熱可塑性樹脂に転写する方法が、特開平７−２
５１４６４や特開平８‐２４８２０７等で開示されてい
る。従来、パターン型を転写してマイクロレンズアレイ
とするための熱可塑性樹脂としては、透明性に優れてい
るという理由からポリカーボネート（ＰＣ）あるいはポ
リメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）が用いられてい
る。しかしながら、ＰＣ は複屈折性が高いため、原型
の転写時に生じる配向歪による光学的な歪みが大きく画
質を著しく低下させるという問題があった。さらに、Ｐ
Ｃ は吸湿性が高く高湿度環境下での使用が難しいとい
う問題もあった。一方、ＰＭＭＡは、熱変形温度が低い
ため、高温環境下で変形が生じ実用に供することは不可
能であった。さらに、ＰＣ 及びＰＭＭＡ は分子中に極
性基を有するため、原型からの離型が難しく、剥離を容
易にするために低分子量の離型剤を予め樹脂表面あるい
は原型表面に塗布しておく必要があった。離型後、マイ
クロレンズアレイ表面には離型剤が残留しており、後工
程としての接着や粘着のためにこれらを洗浄しなければ
ならないという付随的な問題もあった。このため、これ
らの問題を解決できるマイクロレンズアレイの開発が望
まれていた。As a method of manufacturing a microlens array for improving the brightness of a flat display device from a thermoplastic resin, a microlens array is directly formed by fine processing such as ion processing, or indirectly formed by electroforming from a master. A method of transferring a prototype formed on a thermoplastic resin is disclosed in
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-6464 and Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 8-248207 disclose. Conventionally, polycarbonate (PC) or polymethyl methacrylate (PMMA) has been used as a thermoplastic resin for transferring a pattern type into a microlens array because of its excellent transparency. However, since PC has high birefringence, there is a problem that optical distortion due to orientation distortion generated at the time of transfer of a prototype is large and image quality is remarkably deteriorated. Furthermore, P
C has a problem that it has high hygroscopicity and is difficult to use in a high humidity environment. On the other hand, since PMMA has a low thermal deformation temperature, it is deformed in a high-temperature environment and cannot be put to practical use. Furthermore, since PC and PMMA have polar groups in their molecules, they are difficult to release from the prototype, and it is necessary to apply a low molecular weight release agent on the resin surface or prototype surface in advance to facilitate release. there were. After the release, the release agent remains on the surface of the microlens array, and there is an additional problem that these must be washed for adhesion and adhesion in a later step. Therefore, development of a microlens array that can solve these problems has been desired.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記課題に
鑑みてなされたものであり、光学的な歪みが小さく、耐
熱性に優れたマイクロレンズアレイならびにその製造方
法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a microlens array having small optical distortion and excellent heat resistance, and a method of manufacturing the same. I do.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意研究を
行った。この結果、熱可塑性ノルボルネン系樹脂からな
るマイクロレンズが前記課題を解決するものであること
を見いだし本発明を完成させるに至った。すなわち、本
発明は、 ［１］熱可塑性ノルボルネン系樹脂からなることを特徴
とするマイクロレンズアレイを提供するものである。Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies. As a result, they have found that a microlens made of a thermoplastic norbornene-based resin solves the above problem, and have completed the present invention. That is, the present invention provides [1] a microlens array comprising a thermoplastic norbornene-based resin.
【０００６】［２］さらに、熱可塑性ノルボルネン系樹
脂がノルボルネンとエチレンのコポリマー、またはテト
ラシクロドデセンとエチレンのコポリマーであることを
特徴とする［１］に記載のマイクロレンズアレイを提供
するものである。[2] The microlens array according to [1], wherein the thermoplastic norbornene resin is a copolymer of norbornene and ethylene or a copolymer of tetracyclododecene and ethylene. is there.
【０００７】［３］さらに、熱可塑性ノルボルネン系樹
脂がノルボルネンとエチレンとのコポリマーであって、
ガラス転移温度が１４０℃以上であることを特徴とする
［１］に記載のマイクロレンズアレイを提供するもので
ある。[3] Further, the thermoplastic norbornene resin is a copolymer of norbornene and ethylene,
The microlens array according to [1], wherein the glass transition temperature is 140 ° C. or higher.
【０００８】［４］さらに、熱可塑性ノルボルネン系樹
脂がメタロセン触媒を用いて合成されたものであること
を特徴とする［１］〜［３］のいずれかに記載のマイク
ロレンズアレイを提供するものである。[4] The microlens array according to any one of [1] to [3], wherein the thermoplastic norbornene-based resin is synthesized using a metallocene catalyst. It is.
【０００９】［５］さらに、［１］〜［４］のいずれか
に記載の熱可塑性ノルボルネン系樹脂を基板状に成形
し、これに、所望の表面形状を有する原型に接触させる
ことにより、原型の形状を転写することを特徴とするマ
イクロレンズアレイの製造方法を提供するものである。[5] Further, the thermoplastic norbornene-based resin according to any one of [1] to [4] is formed into a substrate shape, and is brought into contact with a prototype having a desired surface shape to form a prototype. And a method of manufacturing a microlens array characterized by transferring the shape of the microlens array.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の構成について詳述
する。本発明で用いられる熱可塑性ノルボルネン系樹脂
とはビスシクロ〔２，２，１〕ヘプト−２−エンならび
にその誘導体を意味するものであり、具体的には化１
（１）〜（６）で例示される環状オレフィンモノマーの
少なくとも１つを重合させたポリ環状オレフィンであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration of the present invention will be described below in detail. The thermoplastic norbornene resin used in the present invention means biscyclo [2,2,1] hept-2-ene and its derivatives.
It is a polycyclic olefin obtained by polymerizing at least one of the cyclic olefin monomers exemplified in (1) to (6).
【００１１】[0011]
【化１】 ［但し、各化学式、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ
7およびＲ8は、同一もしくは異なり、水素原子またはＣ
1からＣ8のアルキル基であり、同一の置換基でも、異な
った一般式では異なった意味を有する場合もある。］Embedded image [However, each chemical formula, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R
7 and R 8 are the same or different and are each a hydrogen atom or C
1 from an alkyl group of C 8, in the same substituent may also have different meanings in different formulas. ]
【００１２】また、本発明で用いられる熱可塑性ノルボ
ルネン系樹脂は、化１（１）〜（６）で例示される環状
オレフィンモノマーの少なくとも１つと、化２（７）で
示される環状オレフィンモノマーあるいは、化２（８）
で示される非環式オレフィンの少なくとも1つを共重合
させたポリ環状オレフィンであってもよい。The thermoplastic norbornene resin used in the present invention comprises at least one of the cyclic olefin monomers exemplified by Chemical Formulas 1 (1) to (6) and a cyclic olefin monomer represented by Chemical Formula 2 (7) or , Chemical 2 (8)
May be a polycyclic olefin obtained by copolymerizing at least one of the acyclic olefins represented by
【００１３】[0013]
【化２】 ［ここで、ｎは２〜１０の数であり、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11
およびＲ12は同一または異なった、水素原子またはＣ1
〜Ｃ8アルキル基である。］Embedded image [Where n is a number from 2 to 10, and R 9 , R 10 , R 11
And R 12 are the same or different and represent a hydrogen atom or C 1
~C is an 8-alkyl group. ]
【００１４】また、本発明で用いられる熱可塑性ノルボ
ルネン系樹脂は、前記したポリ環状オレフィンのうち異
なったものを混合した混合物であってよい。さらに本発
明で用いられる熱可塑性ノルボルネン系樹脂としてより
好ましいのは、ノルボルネンとエチレンのコポリマーま
たはテトラシクロドデセンとエチレンのコポリマーであ
る。特に好ましくは、１４０℃以上の範囲のガラス転移
温度を有する、ノルボルネン（ビスシクロ〔２，２，
１〕ヘプト−２−エン）とエチレンとのコポリマーであ
る。また本発明で用いられる熱可塑性ノルボルネン系樹
脂はメタロセン触媒を用いた重合により得られたもので
あることが望ましい。バナジウム触媒を用いて得られる
熱可塑性ノルボルネン系樹脂は、バナジウムの毒性が非
常に高いことから、一般に、痕跡量のバナジウムが残留
した場合には、完全に取り除くための後処理工程を必要
とすることから好ましくない。The thermoplastic norbornene-based resin used in the present invention may be a mixture of different polycyclic olefins described above. More preferred as the thermoplastic norbornene-based resin used in the present invention is a copolymer of norbornene and ethylene or a copolymer of tetracyclododecene and ethylene. Particularly preferably, norbornene (biscyclo [2,2,2) having a glass transition temperature in the range of 140 ° C. or higher is used.
1] Hept-2-ene) and ethylene. The thermoplastic norbornene-based resin used in the present invention is preferably obtained by polymerization using a metallocene catalyst. Since the thermoplastic norbornene-based resin obtained using a vanadium catalyst has a very high vanadium toxicity, it generally requires a post-treatment step to completely remove traces of vanadium when traces of the vanadium remain. Is not preferred.
【００１５】次いで本発明のマイクロレンズアレイの製
造方法について説明する。本発明のマイクロレンズアレ
イの製造方法は上記したいずれかの熱可塑性ノルボルネ
ン系樹脂を、溶融状態下あるいは軟化状態下において、
所望の表面形状を有する原型に接触させることにより、
原型の形状を転写するものである。原型の形状を転写す
る方法は、特に限定されない。プレス法の場合には、基
板上で加熱軟化したシート状の熱可塑性ノルボルネン系
樹脂へ所定の圧力をもって原型を押し当てたのち冷却固
化し原型を取り除く。また、流延法の場合には、加熱溶
融状態または溶液状態の樹脂を原型上に流延し、冷却あ
るいは溶媒揮散により固化した後に原型から剥がす。射
出成形の場合には、内表面に原型を形成した射出成形金
型を用いるか、射出成形金型のキャビティ内に原型を配
置し、熱可塑性ノルボルネン系樹脂を射出成形する。Next, a method for manufacturing the microlens array of the present invention will be described. The manufacturing method of the microlens array of the present invention, any one of the above-mentioned thermoplastic norbornene-based resin, under a molten state or under a softened state,
By contacting a prototype with the desired surface shape,
This is to transfer the shape of the prototype. The method of transferring the shape of the prototype is not particularly limited. In the case of the press method, a prototype is pressed against a sheet-like thermoplastic norbornene resin heated and softened on a substrate with a predetermined pressure, and then cooled and solidified to remove the prototype. In the case of the casting method, a resin in a heat-melted state or a solution state is cast on a master, solidified by cooling or evaporation of a solvent, and then peeled from the master. In the case of injection molding, an injection mold having a mold formed on the inner surface is used, or the mold is disposed in a cavity of the injection mold, and a thermoplastic norbornene-based resin is injection-molded.
【００１６】本発明で用いられるマイクロレンズアレイ
の原型の材料は特に限定されず、従来のガラスや金属、
セラミックの基板を用いることができる。また、これら
基板上への形状加工方法も特に限定されず、既知の微細
加工手法を用いることができる。The original material of the microlens array used in the present invention is not particularly limited.
A ceramic substrate can be used. In addition, a method of processing the shape on these substrates is not particularly limited, and a known fine processing method can be used.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例を用いてさ
らに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によっ
て限定されるものではない。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.
【００１８】はじめに、マイクロレンズアレイ転写用原
型の製作方法について説明する。なお、以下の実施例で
は、１０インチ型モノクロ液晶ディスプレイ用のマイク
ロレンズアレイを対象としている。石英ガラス基板を用
い、特開平７−２５１４６４に開示されているごとく、
予め穴または溝を設けた基板表面にイオン照射により除
去加工を施す方法で原版を作成した。すなわち、屈折率
１．５、厚さ０．７ｍｍの石英ガラス基板の表面に、画
素ピッチ；３００μｍ×３３０μｍに対応する間隔で、
各画素に対応する位置に、画素数；６４０×４００以上
の穴を形成する。この穴について、開口部を約５０μｍ
×５０μｍ、深さを約７０μｍとする。つぎに、Ａｒガ
ス圧；１Ｐａ、パワー；８００ＷでＲＦスパッタ装置に
よりこの石英ガラスをイオン加工する。その結果、約２
８時間のイオン加工時間で石英ガラス面に形成したそれ
ぞれの穴は曲率半径が；約０．４ｍｍの球面となる。こ
の結果として、第1図にその模式断面を示したような石
英ガラス基板が得られ、これを原型とした。First, a method of manufacturing a microlens array transfer master will be described. The following embodiments are directed to a microlens array for a 10-inch monochrome liquid crystal display. Using a quartz glass substrate, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No.
An original plate was prepared by a method in which the surface of the substrate, in which holes or grooves had been previously provided, was removed by ion irradiation. That is, on the surface of a quartz glass substrate having a refractive index of 1.5 and a thickness of 0.7 mm, at a pitch corresponding to a pixel pitch of 300 μm × 330 μm,
A hole having a pixel number of 640 × 400 or more is formed at a position corresponding to each pixel. For this hole, the opening is about 50 μm
× 50 μm and depth is about 70 μm. Next, this quartz glass is ion-processed by an RF sputtering apparatus at an Ar gas pressure of 1 Pa and a power of 800 W. As a result, about 2
Each hole formed on the quartz glass surface during the ion processing time of 8 hours becomes a spherical surface having a radius of curvature of about 0.4 mm. As a result, a quartz glass substrate whose schematic cross section was shown in FIG. 1 was obtained and used as a prototype.
【００１９】［実施例１］前記原型の形状を、図２に模
式断面を示したホットプレス装置を用いて、厚さ０．５
ｍｍの熱可塑性ノルボルネン‐エチレンコポリマー（三
井化学株式会社製商品名「アペルＡＰＬ６０１５Ｔ」
ガラス転移温度１４５℃、屈折率１．５４）からなるシ
ートに、以下の方法で転写した。すなわち、２５０℃に
加熱した熱板間に前記原型と前記熱可塑性ノルボルネン
‐エチレンコポリマーシートを配し、プレスを作動させ
前記原型を前記熱可塑性ノルボルネン‐エチレンコポリ
マーシートに転写したのち、加圧状態のまま熱板に冷却
水を循環させ熱板を冷却した。原型から剥離した前記熱
可塑性ノルボルネン‐エチレンコポリマーシートには正
確に原型の形状が転写されマイクロレンズアレイを得る
ことができた。このようにして得られたマイクロレンズ
の透過波面収差を評価するために干渉縞写真を撮影した
結果、ほぼまっすぐな干渉縞が観測され低収差であるこ
とがわかった。さらにこの状態は、高温試験（８０℃の
高温乾燥機 ７００時間）及び高温高湿試験（６０℃９
０％ＲＨの高温高湿試験機 ７００時間）後も変化しな
かった。Example 1 The shape of the prototype was adjusted to a thickness of 0.5 by using a hot press apparatus whose schematic cross section is shown in FIG.
mm thermoplastic norbornene-ethylene copolymer (trade name “Apel APL6015T” manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
The sheet was transferred to a sheet having a glass transition temperature of 145 ° C. and a refractive index of 1.54) by the following method. That is, the prototype and the thermoplastic norbornene-ethylene copolymer sheet are arranged between hot plates heated to 250 ° C., and a press is operated to transfer the prototype to the thermoplastic norbornene-ethylene copolymer sheet. Cooling water was circulated through the hot plate to cool the hot plate. The shape of the prototype was accurately transferred to the thermoplastic norbornene-ethylene copolymer sheet peeled from the prototype, and a microlens array was obtained. An interference fringe photograph was taken to evaluate the transmitted wavefront aberration of the microlens obtained as described above. As a result, almost straight interference fringes were observed, and it was found that the aberration was low. Further, this condition is a high-temperature test (high-temperature dryer at 80 ° C. for 700 hours) and a high-temperature and high-humidity test (60 ° C.
It did not change even after a high-temperature and high-humidity tester (700 hours at 0% RH).
【００２０】［比較例１］実施例１で使用した原型の形
状を、厚さ０．５ｍｍのＰＭＭＡ（ガラス転移温度９０
℃、屈折率１．４９）からなるシートに、実施例1と同
じ方法で転写した。原型から剥離した前記ＰＭＭＡシー
トには正確に原型の形状が転写されマイクロレンズアレ
イを得ることができた。このようにして得られたマイク
ロレンズの透過波面収差を評価するために干渉縞写真を
撮影した結果、ほぼまっすぐな干渉縞が観測され低収差
であることがわかった。しかしながら、高温試験（８０
℃の高温乾燥機 ７００時間）を実施したところ、マイ
クロレンズアレイは熱変形を起こし問題があった。Comparative Example 1 The shape of the prototype used in Example 1 was changed to a 0.5 mm-thick PMMA (glass transition temperature 90
C., a refractive index of 1.49) was transferred to the sheet in the same manner as in Example 1. The shape of the prototype was accurately transferred to the PMMA sheet peeled from the prototype, and a microlens array was obtained. An interference fringe photograph was taken to evaluate the transmitted wavefront aberration of the microlens obtained as described above. As a result, almost straight interference fringes were observed, and it was found that the aberration was low. However, the high temperature test (80
(High temperature dryer at 700 ° C. for 700 hours), the microlens array was thermally deformed and had a problem.
【００２１】［比較例２］実施例１で使用した原型の形
状を厚さ０．５ｍｍのＰＣ（ガラス転移温度１４０℃、
屈折率１．５９）シートに、実施例1と同じ方法で転写
した。原型から剥離した前記ＰＣシートには正確に原型
の形状が転写されマイクロレンズアレイを得ることがで
きた。このようにして得られたマイクロレンズの透過波
面収差を評価するために干渉縞写真を撮影した結果、干
渉縞が湾曲しており収差が大きく問題があった。[Comparative Example 2] A PC having a thickness of 0.5 mm (glass transition temperature 140 ° C.,
It was transferred to a sheet having a refractive index of 1.59) in the same manner as in Example 1. The shape of the prototype was accurately transferred to the PC sheet peeled from the prototype, and a microlens array was obtained. As a result of taking an interference fringe photograph in order to evaluate the transmitted wavefront aberration of the microlens thus obtained, the interference fringes were curved and the aberrations were large, causing a problem.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
熱可塑性樹脂から製造されたものであっても、高温高湿
下での耐久性に優れ、複屈折性が低いマイクロレンズア
レイが提供でき、液晶表示ディスプレイや液晶プロジェ
クターに用いられた場合、光を効率良く伝達させること
ができ、液晶表示ディスプレイや有機ＥＬ（electro l
uminescence）ディスプレイといったフラットパネルデ
ィスプレイの表示がざらついて見える現象を緩和させる
ことができるマイクロレンズアレイが提供される。さら
にこのような良好な特性を持ったマイクロレンズアレイ
を低価格で提供するマイクロレンズアレイの製造方法が
提供される。As described above, according to the present invention,
Even if it is made of a thermoplastic resin, it can provide a microlens array with excellent durability under high temperature and high humidity and low birefringence. It can be transmitted efficiently and can be used for liquid crystal display and organic EL (electrol
There is provided a microlens array capable of mitigating a phenomenon in which a display of a flat panel display such as a uminescence display is rough. Further, there is provided a method of manufacturing a microlens array which provides a microlens array having such good characteristics at low cost.
【図１】本発明のマイクロレンズアレイの原型の一実施
形態を示す模式断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of a prototype of a microlens array of the present invention.
【図２】本発明のマイクロレンズアレイの原型を熱可塑
性樹脂シートに転写するためのホットプレス（冷却水循
環機構付き）の一実施形態を示す模式断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a hot press (with a cooling water circulation mechanism) for transferring a prototype of a microlens array of the present invention to a thermoplastic resin sheet.
１０．マイクロレンズアレイ原型 ２０．熱可塑性樹脂シート ３０．ホットプレス ３１．熱板 10. Micro lens array prototype 20. Thermoplastic resin sheet 30. Hot press Hot plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ２９Ｋ 45:00 Ｂ２９Ｋ 45:00 105:32 105:32 Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｃ０８Ｌ 45:00 Ｃ０８Ｌ 45:00 (72)発明者 高本 喜一 香川県高松市林町2217−20 香川大学工学 部知能機械システム工学科内 Ｆターム(参考） 2H091 FA29X FA29Z FB02 FC19 FD06 GA02 LA04 LA12 LA30 4F071 AA39 AH19 BA09 BB03 BC01 BC08 4F204 AA12 AC03 AE10 AF16 AG01 AH75 AR06 FA01 FB01 FH06 FN15 FQ01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme court ゛ (Reference) // B29K 45:00 B29K 45:00 105: 32 105: 32 B29L 11:00 B29L 11:00 C08L 45: 00 C08L 45:00 (72) Inventor Kiichi Takamoto 2217-20 Hayashi-cho, Takamatsu-shi, Kagawa F-term (reference) 2H091 FA29X FA29Z FB02 FC19 FD06 GA02 LA04 LA12 LA30 4F071 AA39 AH19 BA09 BB03 BC01 BC08 4F204 AA12 AC03 AE10 AF16 AG01 AH75 AR06 FA01 FB01 FH06 FN15 FQ01
Claims (5)
とを特徴とするマイクロレンズアレイ。1. A microlens array comprising a thermoplastic norbornene-based resin.
ネンとエチレンのコポリマー、またはテトラシクロドデ
センとエチレンのコポリマーであることを特徴とする請
求項１に記載のマイクロレンズアレイ。2. The microlens array according to claim 1, wherein the thermoplastic norbornene-based resin is a copolymer of norbornene and ethylene or a copolymer of tetracyclododecene and ethylene.
ネンとエチレンとのコポリマーであって、ガラス転移温
度が１４０℃以上であることを特徴とする請求項１に記
載のマイクロレンズアレイ。3. The microlens array according to claim 1, wherein the thermoplastic norbornene-based resin is a copolymer of norbornene and ethylene, and has a glass transition temperature of 140 ° C. or higher.
ン触媒を用いて合成されたものであることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズアレ
イ。4. The microlens array according to claim 1, wherein the thermoplastic norbornene-based resin is synthesized using a metallocene catalyst.
塑性ノルボルネン系樹脂を、溶融状態下あるいは軟化状
態下において、所望の表面形状を有する原型に接触させ
ることにより、原型の形状を転写することを特徴とする
マイクロレンズアレイの製造方法。5. The shape of the thermoplastic norbornene resin according to any one of claims 1 to 4 is transferred by bringing the thermoplastic norbornene resin into contact with a mold having a desired surface shape in a molten state or a softened state. A method for manufacturing a microlens array.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001124159A JP2002318301A (en) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | Micro lens array and method of manufacturing the same |
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| JP (1) | JP2002318301A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007291271A (en) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | Moisture and oxygen barrier resin composition |
| US7764679B2 (en) | 2001-07-23 | 2010-07-27 | Acme Packet, Inc. | System and method for determining flow quality statistics for real-time transport protocol data flows |
| JPWO2018016527A1 (en) * | 2016-07-22 | 2019-06-13 | 京セラ株式会社 | Organic insulator, metal-clad laminate and wiring board |
-
2001
- 2001-04-23 JP JP2001124159A patent/JP2002318301A/en active Pending
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