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JP2002318137A - 変位測定装置のスケール - Google Patents

変位測定装置のスケール

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Publication number
JP2002318137A
JP2002318137A JP2001123303A JP2001123303A JP2002318137A JP 2002318137 A JP2002318137 A JP 2002318137A JP 2001123303 A JP2001123303 A JP 2001123303A JP 2001123303 A JP2001123303 A JP 2001123303A JP 2002318137 A JP2002318137 A JP 2002318137A
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JP
Japan
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scale
coating layer
electrode
displacement measuring
measuring device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001123303A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Sasaki
康二 佐々木
Hiroshi Koizumi
小泉　　博
Yoshikazu Oyama
良和 大山
Nobuyuki Jinpo
信之 神寶
Seigo Takahashi
誠悟 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to CN02118044XA priority patent/CN1217155C/zh
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/20—Slide gauges
    • G01B3/205—Slide gauges provided with a counter for digital indication of the measured dimension

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クーラントや油等の液体で汚染される過酷な
環境下でも、装置の信頼性を確保する。 【解決手段】 スケールは、ガラスエポキシ基板１１の
上にスケール電極１２をパターン形成してなるスケール
本体１０と、このスケール本体１０のスケール電極１２
の形成面を覆うコーティング層４０と、このコーティン
グ装置４０の上に接着テープ等の接着層２０を介して接
着された保護材及び目盛り形成材としてのスケールカバ
ー３０とを備えて構成されている。。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電磁誘導式又は
静電容量式のリニアスケール等のスケールに関し、特に
耐環境性を高めるようにした変位測定装置のスケールに
関する。
【０００２】
【従来の技術】電磁誘導式又は静電容量式の変位測定装
置のスケールは、通常、図３に示すように、ガラスエポ
キシ基板１１の上にスケール電極１２をパターン形成し
てこれをスケール本体１０とし、その上に接着テープ等
の接着層２０を介して保護材及び目盛り形成材としてス
ケールカバー（フィルム層）３０を貼り付けた構造とな
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の変位測定装置のスケールでは、スケール本体
１０のスケール面側はスケール電極１２の形成によって
凹凸ができているため、スケールカバー３０との密着性
が悪く、スケール本体１０とスケールカバー３０との間
に液体が侵入し易く、スケールカバー３０が剥がれやす
いという問題がある。
【０００４】また、この種のスケールを機械加工現場等
で使用する場合、油、クーラントがスケール本体１０と
スケールカバー３０との間に入り込み、油の種類によっ
てはそれに含有する塩素、硫黄を含んだ不水溶性クーラ
ント等の成分により、スケール電極の銅と化学変化を起
こし、銅を腐食させ、スケール電極を破壊して誤検出を
引き起こすという問題がある。
【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、クーラントや油等の液体で汚染される過酷
な環境下でも、装置の信頼性を確保することができる耐
環境性に優れた変位測定装置のスケールを提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る変位測定装
置のスケールは、基板上にスケール電極が形成されたス
ケール本体と、このスケール本体の少なくともスケール
電極が形成された面を覆うコーティング層と、前記スケ
ール本体のスケール電極が形成され更にコーティング層
が形成された面を接着層を介して覆うスケールカバーと
を備えたことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、スケール本体の少なくと
もスケール電極が形成された面にコーティング層が形成
されているので、スケール電極に有害なクーラントや油
等のスケール電極側への侵入を防止することができ、こ
れにより、クーラント等で汚染される過酷な環境下で
も、変位測定装置の信頼性を保証することができる。
【０００８】コーティング層としては、耐溶剤性の高い
材料、例えば、ポリイミド、エポキシ系のコーティング
材等が好適である。コーティング層とスケールカバーと
の接着性を向上させるためには、コーティング層のスケ
ールカバーとの接着面側がプラズマ照射によって、洗浄
及び活性化されていることが望ましい。また、スケール
電極の変形を防止するため、コーティング層は、低温コ
ーティングが可能なＵＶ硬化材等が望ましい。コーティ
ング層が、スケール本体の全面を覆うものであると、更
にスケール本体の保護性能は向上する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本発
明の第一の実施形態に係る電磁誘導式又は静電容量式の
変位測定装置のスケールの断面図である。このスケール
は、ガラスエポキシ基板１１の上にスケール電極１２を
パターン形成してなるスケール本体１０と、このスケー
ル本体１０のスケール電極１２の形成面を覆うコーティ
ング層４０と、このコーティング層４０の上に接着テー
プ等の接着層２０を介して接着された保護材及び目盛り
形成材としてのスケールカバー（フィルム層）３０とを
備えて構成されている。
【００１０】このスケールは、スケール本体１０のスケ
ール電極１２の形成面の上に、コーティング層４０をコ
ーティングしたのち、プラズマ照射によってコーティン
グ層４０の表面を洗浄、活性化及び粗面化し、更に接着
層２０を介してスケールカバー３０を接着することによ
り、コーティング層４０とスケールカバー３０との接着
強度を高め、コーティング層４０により表面が平滑化さ
れていることと併せ、スケールカバー３０の剥がれを防
止することができる。
【００１１】コーティング層４０としては、耐溶剤性に
優れたポリイミド、エポキシ系のコーティング材を使用
することができる。また、高温でコーティングを行う
と、スケール電極１２の変形（伸び等）が発生し、精度
不良を引き起こすことが考えられるので、この場合に
は、コーティング層４０としては、ＵＶ等の低温で実施
できるコーティング材として、例えばスクリーン印刷金
属用ＵＶインキ（例えば大日本製化、商品名：セイカビ
ーム等）を用いるようにしても良い。
【００１２】図２は、本発明の第二の実施形態に係る電
磁誘導式又は静電容量式の変位測定装置のスケールの断
面図である。この実施形態では、スケール本体１０のス
ケール電極１２の形成面側だけでなく、全体をコーティ
ング層４０でコーティングしている。この場合、本尺貼
付時の密着性を高めるため、本尺貼付面側（スケール電
極１２と反対側）にもプラズマ照射を行って、コーティ
ング面の祖面化を行ったのちに本尺へ貼り付けることが
望ましい。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ス
ケール本体の少なくともスケール電極が形成された面に
コーティング層が形成されているので、スケール電極に
有害なクーラントや油等のスケール電極側への侵入を防
止することができ、これにより、クーラント等で汚染さ
れる過酷な環境下でも、変位測定装置の信頼性を保証す
ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第一の実施形態に係る変位測定装置
のスケールを示す断面図である。
【図２】 本発明の第二の実施形態に係る変位測定装置
のスケールを示す断面図である。
【図３】 従来の変位測定装置のスケールを示す断面図
である。
【符号の説明】
１０…スケール本体、１１…ガラスエポキシ基板、１２
…スケール電極、２０…接着層、３０…スケールカバ
ー、４０…コーティング層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大山 良和 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内 (72)発明者 神寶 信之 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内 (72)発明者 高橋 誠悟 神奈川県川崎市高津区坂戸１丁目20番１号 株式会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F063 AA02 CA30 CA31 DA01 DA05 DB04 DD02 EA02 GA06 GA27 GA76 GA77 GA78 HA05 HA08 HA10 HA14 HA16 PA05 2F077 AA41 NN05 NN08 NN09 NN10 VV11 VV33

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上にスケール電極が形成されたスケ
    ール本体と、 このスケール本体の少なくともスケール電極が形成され
    た面を覆うコーティング層と、 前記スケール本体のスケール電極が形成され更にコーテ
    ィング層が形成された面を接着層を介して覆うスケール
    カバーとを備えたことを特徴とする変位測定装置のスケ
    ール。
  2. 【請求項２】 前記コーティング層は、前記スケールカ
    バーとの接着面側がプラズマ照射されてなるものである
    ことを特徴とする請求項１記載の変位測定装置のスケー
    ル。
  3. 【請求項３】 前記コーティング層は、ポリイミド又は
    エポキシ系の材料であることを特徴とする請求項１記載
    の変位測定装置のスケール。
  4. 【請求項４】 前記コーティング層は、ＵＶ硬化材であ
    ることを特徴とする請求項１記載の変位測定装置のスケ
    ール。
  5. 【請求項５】 前記コーティング層は、スケール本体の
    全面を覆うものであることを特徴とする請求項１記載の
    変位測定装置のスケール。
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