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JP2002314032A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

Info

Publication number
JP2002314032A
JP2002314032A JP2001117189A JP2001117189A JP2002314032A JP 2002314032 A JP2002314032 A JP 2002314032A JP 2001117189 A JP2001117189 A JP 2001117189A JP 2001117189 A JP2001117189 A JP 2001117189A JP 2002314032 A JP2002314032 A JP 2002314032A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bare chip
mounting
storage
double
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001117189A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Emi Nakamura
恵美 中村
Tomoyasu Gunji
智康 郡司
Toshihiro Murayama
敏宏 村山
Akimasa Okaji
昭昌 岡地
Masayuki Yasuda
誠之 安田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Clover Electronics Co Ltd
Original Assignee
Sony Corp
Clover Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp, Clover Electronics Co Ltd filed Critical Sony Corp
Priority to JP2001117189A priority Critical patent/JP2002314032A/en
Publication of JP2002314032A publication Critical patent/JP2002314032A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10W72/073
    • H10W74/15
    • H10W90/754

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】従来に比して構造上の反りを低減し、かつ小型
化し得る半導体装置を提案する。 【解決手段】両面配線板20の一面20Bにワイヤボン
ディング実装された第1の表面実装部品31、32と、
当該両面配線板20の他面20Aに実装された第2の表
面実装部品22と、その第2の表面実装部品22の全体
及び両面配線板20の他面20Aの全体を覆うように気
密性を保って第2の表面実装部品22を収納する収納部
27とを設けることにより、第2の表面実装部品22を
第1の表面実装部品31、32に積層してワイヤボンデ
ィング実装する必要がなくなり、その分両面配線板20
の面積を従来に比して小さくできると共に、収納部27
内に第2の表面実装部品22を収納するので、収納部2
7における構造上の強度を増益し、両面配線板と収納部
とにおける反りを従来に比して低減でき、かくして、反
りを低減し、かつ小型化することができる。
(57) [Summary] (with correction) [PROBLEMS] To provide a semiconductor device capable of reducing structural warpage and miniaturizing as compared with the related art. A first surface mount component (31, 32) mounted by wire bonding on one surface (20B) of a double-sided wiring board (20);
The second surface-mounted component 22 mounted on the other surface 20 </ b> A of the double-sided wiring board 20, and hermeticity so as to cover the entirety of the second surface-mounted component 22 and the entire other surface 20 </ b> A of the double-sided wiring board 20. By providing the storage portion 27 for storing and holding the second surface-mounted component 22, it is not necessary to stack the second surface-mounted component 22 on the first surface-mounted components 31 and 32 and perform wire bonding mounting. The double-sided wiring board 20
Area can be made smaller than before, and
Since the second surface-mounted component 22 is stored in the storage unit 2,
7, the warpage in the double-sided wiring board and the storage portion can be reduced as compared with the related art, and thus the warpage can be reduced and the size can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置に関し、
例えば複数のベアチップを実装した半導体モジュールに
適用して好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device,
For example, it is suitable for application to a semiconductor module on which a plurality of bare chips are mounted.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体モジュールにおいては、携
帯電話機等の各種電子機器の軽薄短小化及び高機能化に
伴って、半導体メモリやCPU(Central Processing Un
it) 等の複数のベアチップを所定の基板上に積層して実
装するようになされている。
2. Description of the Related Art In recent years, semiconductor modules and CPUs (Central Processing Units) have been developed in semiconductor modules as various electronic devices such as mobile phones have become lighter, thinner, smaller and more sophisticated.
It) and the like are stacked and mounted on a predetermined substrate.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図9に示す
ように、半導体モジュール1においては、有機基板2の
一面2Aにベアチップ3及び4、スペーサ10、ベアチ
ップ5を順次積層し、当該ベアチップ3、4及び5の各
パッド6と、当該各パッド6にそれぞれ対応する有機基
板2上の各ランド7とをワイヤ8を介して導通した後、
封止樹脂9によって有機基板2の一面2A及びワイヤ8
を覆うように樹脂封止する(いわゆるワイヤボンディン
グ実装)ようになされている。
As shown in FIG. 9, in a semiconductor module 1, bare chips 3 and 4, a spacer 10, and a bare chip 5 are sequentially laminated on one surface 2A of an organic substrate 2, and the bare chip 3, After electrically connecting each pad 6 of 4 and 5 and each land 7 on the organic substrate 2 corresponding to each pad 6 via a wire 8,
One surface 2A of the organic substrate 2 and the wire 8 by the sealing resin 9
(So-called wire bonding mounting).

【0004】この場合半導体モジュール1においては、
各ランド7を順次有機基板2の周端方向へ所定間隔ずら
して配設することにより各ワイヤ8同志の接触を回避す
るようになされているものの、周端方向へ所定間隔ずら
す分だけ有機基板2の面積を大きく確保しなければなら
ず、その結果全体として大型化するという問題があっ
た。
In this case, in the semiconductor module 1,
Although the lands 7 are sequentially arranged at predetermined intervals in the circumferential direction of the organic substrate 2 to avoid contact between the wires 8, the organic substrates 2 are shifted by a predetermined amount in the peripheral direction. In this case, a large area must be secured, and as a result, there is a problem that the overall size becomes large.

【0005】また半導体モジュール1は、図10に示す
測定方向MSに基づいて、製造時の封止樹脂9と有機基
板2との接合部分JP(図9)について反り量を測定し
た結果として図11に示すように、ベアチップ3の熱膨
張係数に比して有機基板2の熱膨張係数が大きいことに
より、製造工程の熱処理によって有機基板2の一面2A
が当該一面2Aの基準仮想線BLに対して実線FL分の
反り(およそ 25 μm)が生じてしまうという問題があ
った。
[0005] The semiconductor module 1 measures the amount of warpage at the joint JP (FIG. 9) between the sealing resin 9 and the organic substrate 2 at the time of manufacture based on the measurement direction MS shown in FIG. As shown in FIG. 5, since the thermal expansion coefficient of the organic substrate 2 is larger than the thermal expansion coefficient of the bare chip 3, the one surface 2A
However, there is a problem that a warp (about 25 μm) corresponding to the solid line FL occurs with respect to the reference virtual line BL on the one surface 2A.

【0006】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、従来に比して反りを低減し、かつ小型化し得る半導
体装置を提案しようとするものである。
The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to propose a semiconductor device capable of reducing warpage and miniaturizing as compared with the prior art.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、両面配線板の一面にワイヤボンデ
ィング実装された第1の表面実装部品と、当該両面配線
板の他面に実装された第2の表面実装部品と、第2の表
面実装部品の全体及び両面配線板の他面の全体を覆うよ
うに気密性を保って第2の表面実装部品を収納した収納
部と設けることにより、第2の表面実装部品を第1の表
面実装部品に積層してワイヤボンディング実装する必要
がなくなり、その分両面配線板の面積を従来に比して小
さくできると共に、収納部に収納された表面実装部品に
より当該収納部における構造上の強度を増益し、両面配
線板と収納部とにおける反りを従来に比して低減でき
る。
According to the present invention, there is provided a first surface-mounted component which is mounted by wire bonding on one surface of a double-sided wiring board and mounted on the other surface of the double-sided wiring board. By providing a second surface-mounted component and a storage portion that stores the second surface-mounted component while maintaining airtightness so as to cover the entire second surface-mounted component and the entire other surface of the double-sided wiring board, There is no need to laminate the second surface-mounted component on the first surface-mounted component and perform wire bonding mounting, and accordingly, the area of the double-sided wiring board can be reduced as compared with the conventional case, and the surface mounting accommodated in the storage portion can be reduced. The components can increase the structural strength of the storage section and can reduce the warpage between the double-sided wiring board and the storage section as compared with the related art.

【0008】またかかる課題を解決するため本発明にお
いては、収納部の重心と第2の表面実装部品の重心とを
一致させた状態で収納するようにしたことにより、最も
負荷のかかる重心を中心として発生する反りを効果的に
低減できる。
In order to solve this problem, according to the present invention, the center of gravity of the storage portion and the center of gravity of the second surface mount component are accommodated in a state of being matched, so that the center of gravity with the highest load is centered. Can be effectively reduced.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0010】図1、図2及び図3において、本発明によ
る半導体モジュール50(図3)の製造工程を段階的に
示し、第1段階(図1(A))として、半導体モジュー
ル製造装置(図示せず)は、ベアチップ実装用のガラス
エポキシ材質でなる両面銅張積層板(以下、これをベア
チップ実装用積層板と呼ぶ)20の一面20Aに対し
て、ドライフィルムによるエッチングレジスト処理を行
った後に、湿式エッチング処理を行うことにより所定の
配線21を形成する。
FIGS. 1, 2 and 3 show the steps of manufacturing a semiconductor module 50 (FIG. 3) according to the present invention step by step. As a first step (FIG. 1A), a semiconductor module manufacturing apparatus (FIG. After performing an etching resist treatment with a dry film on one surface 20A of a double-sided copper-clad laminate (hereinafter, referred to as a bare chip mounting laminate) 20 made of a glass epoxy material for bare chip mounting. Then, a predetermined wiring 21 is formed by performing a wet etching process.

【0011】第2段階(図1(B))として、半導体モ
ジュール製造装置は、ベアチップ(以下、これを収納用
ベアチップと呼ぶ)22において回路が形成されている
面(以下、これを回路形成面と呼ぶ)22Aの所定位置
に金スタットバンプ23A及び23Bを形成する。
In the second stage (FIG. 1B), the semiconductor module manufacturing apparatus uses a bare chip (hereinafter referred to as a storage bare chip) 22 on which a circuit is formed (hereinafter referred to as a circuit forming surface). The gold stat bumps 23A and 23B are formed at predetermined positions of 22A.

【0012】また、半導体モジュール製造装置は、ベア
チップ実装用積層板20の一面20Aの中心と、収納用
ベアチップ22を電気的及び機械的に接続させる異方性
導電膜24の一面の中心とを一致させて当該異方性導電
膜24を載置することにより、収納用ベアチップ22を
異方性導電膜24を介して電気的及び機械的に接続した
際に、収納用ベアチップ22の回路形成面22Aとベア
チップ実装用積層板20の一面20Aとの中心が容易に
一致し得るようになされている。
In the semiconductor module manufacturing apparatus, the center of one surface 20A of the bare chip mounting laminate 20 coincides with the center of one surface of the anisotropic conductive film 24 for electrically and mechanically connecting the storage bare chip 22. Then, when the storage bare chip 22 is electrically and mechanically connected via the anisotropic conductive film 24 by mounting the anisotropic conductive film 24, the circuit forming surface 22A of the storage bare chip 22 is formed. And the center of the one-sided surface 20A of the bare chip mounting laminate 20 can be easily matched.

【0013】第3段階(図1(C))として、半導体モ
ジュール製造装置は、収納用ベアチップ22を矢印a方
向から熱圧着することにより、異方性導電膜24によっ
て当該収納用ベアチップ22に形成された金スタットバ
ンプ23A及び23Bと、ベアチップ実装用積層板20
の一面20Aに形成された配線21とを接合(いわゆる
フリップチップ実装)する。
As a third step (FIG. 1C), the semiconductor module manufacturing apparatus forms the storage bare chip 22 on the storage bare chip 22 by the anisotropic conductive film 24 by thermocompression bonding in the direction of arrow a. Gold Stat Bumps 23A and 23B and Bare Chip Mounting Laminate 20
Is bonded (so-called flip-chip mounting) to the wiring 21 formed on the one surface 20A.

【0014】第4段階(図1(D))として、まず、半
導体モジュール製造装置は、上述の第1段階(図1
(A))と同様にして、ベアチップ実装用積層板20と
同形でなるマザーボードに実装用の両面銅張積層板(以
下、これをマザーボード実装用積層板と呼ぶ)25の一
面25Aに所定の配線26を形成する。
As a fourth step (FIG. 1D), first, the semiconductor module manufacturing apparatus performs the above-described first step (FIG. 1D).
In the same manner as (A)), a predetermined wiring is provided on one surface 25A of a double-sided copper-clad laminate (hereinafter referred to as a motherboard mounting laminate) 25 for mounting on a motherboard having the same shape as the bare chip mounting laminate 20. 26 is formed.

【0015】次いで、半導体モジュール製造装置は、配
線26を形成したマザーボード実装用積層板25の一面
25A上に、当該マザーボード実装用積層板25の一面
25A(ベアチップ実装用積層板20の一面20A)と
同様の面積でなるガラスエポキシ材質の介挿用プリプレ
グ27A及び覆蓋プリプレグ27Bに加えて、フリップ
チップ実装されたベアチップ実装用積層板20を上下方
向に反転させて順次積層する。
Next, the semiconductor module manufacturing apparatus places the one surface 25A of the motherboard mounting laminate 25 (the one surface 20A of the bare chip mounting laminate 20) on one surface 25A of the motherboard mounting laminate 25 on which the wiring 26 is formed. In addition to the insert prepreg 27A and the cover prepreg 27B of glass epoxy material having the same area, the bare chip mounting laminate 20 on which the flip chip is mounted is turned upside down and sequentially laminated.

【0016】ここで介挿用プリプレグ27Aとは、ベア
チップ実装用積層板20とマザーボード実装用積層板2
5との中間に収納用ベアチップ22を選定させるための
プリプレグであり、覆蓋プリプレグ27Bとは、収納用
ベアチップ22を覆蓋するために、収納用ベアチップ2
2の体積分27Cがルータ加工によって除去されたプリ
プレグである。
Here, the interposed prepreg 27A is a laminate 20 for mounting bare chips and a laminate 2 for mounting mother boards.
5 is a prepreg for selecting the storage bare chip 22 at an intermediate position between the storage bare chip 22 and the cover bare prepreg 27B.
2 is the prepreg from which the volume 27C of 2 has been removed by the router processing.

【0017】ここで、半導体モジュール製造装置は、介
挿用プリプレグ27Aの厚さを、収納用ベアチップ22
の厚さに応じて適宜変更して積層し得るようになされて
おり、これによりベアチップ実装用積層板20とマザー
ボード実装用積層板25との中間に収納用ベアチップ2
2を適確に選定し得るようになされている。
Here, the semiconductor module manufacturing apparatus sets the thickness of the interposing prepreg 27A to
The thickness of the storage bare chip 2 can be set between the bare chip mounting laminate 20 and the motherboard mounting laminate 25 by appropriately changing the thickness of the storage chip 2.
2 can be selected appropriately.

【0018】また半導体モジュール製造装置は、ほぼ収
納用ベアチップ22の体積に応じてプリプレグの一部分
を除去することにより覆蓋プリプレグ27Bを形成し得
るようになされており、これにより当該覆蓋プリプレグ
27B上に、収納用ベアチップ22が実装されたベアチ
ップ実装用積層板20を容易に積層できると共に、当該
覆蓋プリプレグ27Bを溶融した際において収納用ベア
チップ22の回路形成面22Aを除く周囲へ速やかに拡
散し得るようになされている。
The semiconductor module manufacturing apparatus can form the cover prepreg 27B by removing a part of the prepreg substantially in accordance with the volume of the storage bare chip 22. Thereby, the cover prepreg 27B is formed on the cover prepreg 27B. In order that the bare chip mounting laminate 20 on which the storage bare chip 22 is mounted can be easily laminated, and when the cover prepreg 27B is melted, it can be quickly diffused to the surroundings except for the circuit forming surface 22A of the storage bare chip 22. It has been done.

【0019】従って第5段階(図2(E))として、半
導体モジュール製造装置は、真空雰囲気中で所定温度に
加熱することにより、介挿用プリプレグ27A及び覆蓋
プリプレグ27Bを溶融させ、その結果、当該介挿用プ
リプレグ27A及び覆蓋プリプレグ27Bを一体化さ
せ、その後硬化することにより収納部27を形成する。
Therefore, as a fifth step (FIG. 2E), the semiconductor module manufacturing apparatus melts the insertion prepreg 27A and the cover prepreg 27B by heating to a predetermined temperature in a vacuum atmosphere. The insertion section prepreg 27A and the cover prepreg 27B are integrated, and then cured to form the storage section 27.

【0020】これにより半導体モジュール製造装置は、
収納用ベアチップ22の全体及びベアチップ実装用積層
板20の一面20Aの全体を覆うように気密性収納保っ
て収納した収納部27を形成し得るようになされてい
る。
Thus, the semiconductor module manufacturing apparatus can
A storage section 27 is formed so as to cover and store the entirety of the storage bare chip 22 and the entire surface 20A of the bare chip mounting laminate 20 in an airtight manner.

【0021】これに加えて、半導体モジュール製造装置
においては、ベアチップ実装用積層板20の一面20A
の中心にフリップチップ実装された収納用ベアチップ2
2を収納部27の厚さTHの中間(ベアチップ実装用積
層板20とマザーボード実装用積層板25との中間)か
つ収納部27の幅WIの中間、すなわち収納部27の重
心と収納用ベアチップ22の重心とを一致させた状態で
収納部27を収納し得るようになされている。
In addition, in the semiconductor module manufacturing apparatus, one surface 20A of the bare chip mounting laminate 20 is provided.
Bare chip 2 mounted in the center of the flip chip
2 is the middle of the thickness TH of the storage section 27 (the middle between the laminate 20 for mounting the bare chip and the multilayer board 25 for mounting the motherboard) and the middle of the width WI of the storage 27, that is, the center of gravity of the storage 27 and the bare chip 22 for storage. The storage portion 27 can be stored with the center of gravity of the storage portion 27 being matched.

【0022】この収納部27は、熱膨張係数の小さい収
納用ベアチップ22を収納することにより構造上の強度
を増益し得るようになされていることに加え、当該収納
部27の重心に収納用ベアチップ22の重心を一致させ
た状態で収納することにより、均一に構造上の強度を増
益し得るようになされている。
The storage portion 27 is designed to increase the structural strength by storing the storage bare chip 22 having a small coefficient of thermal expansion. In addition, the storage bare chip 22 is provided at the center of gravity of the storage portion 27. By storing the 22 with the center of gravity being matched, the structural strength can be increased uniformly.

【0023】また収納部27は、ベアチップ実装用積層
板20の一面20Aに収納用ベアチップ22の回路形成
面22Aを対向させて固着収納するので、図4(A)に
示すように、マザーボード実装用積層板25の他面25
Bから異方性導電膜24へ(すなわち矢印b方向)水分
が流入されることを極力回避し得るようになされてい
る。
Further, since the storage section 27 is fixedly stored with the circuit forming surface 22A of the storage bare chip 22 opposed to one surface 20A of the bare chip mounting laminated board 20, as shown in FIG. The other surface 25 of the laminate 25
The flow of moisture from B into the anisotropic conductive film 24 (that is, in the direction of arrow b) can be minimized.

【0024】第6段階(図2(F))として、半導体モ
ジュール製造装置は、穴あけ処理を行うことにより、ベ
アチップ実装用積層板20の他面20Bの所定位置から
配線21及び26を介してマザーボード実装用積層板2
5の他面25Bにかけてほぼ垂直に貫通孔を形成する。
In the sixth step (FIG. 2F), the semiconductor module manufacturing apparatus performs a drilling process to cause the mother board from the predetermined position on the other surface 20 B of the laminate 20 for bare chip mounting via the wirings 21 and 26. Mounting laminate 2
5, a through hole is formed substantially perpendicularly to the other surface 25B.

【0025】次いで、半導体モジュール製造装置は、貫
通孔の内周面に対して銅めっき処理を行ってスルーホー
ル28A及び28Bを形成することにより、収納用ベア
チップ22と、ベアチップ実装用積層板20の一面20
A及び他面20Bと、マザーボード実装用積層板25の
一面25A及び他面25Bとをそれぞれ電気的に接続す
る。
Next, the semiconductor module manufacturing apparatus performs a copper plating process on the inner peripheral surface of the through-hole to form through holes 28A and 28B, thereby forming the bare chip 22 for storage and the laminated board 20 for mounting the bare chip. One side 20
A and the other surface 20B are electrically connected to one surface 25A and the other surface 25B of the motherboard mounting laminate 25, respectively.

【0026】第7段階(図2(G))として、まず、半
導体モジュール製造装置は、上述の第1段階(図1
(A))と同様にして、ベアチップ実装用積層板20の
他面20Bと、マザーボード実装用積層板25の他面2
5Bに所定の配線29及び30を形成する。
As a seventh step (FIG. 2G), first, the semiconductor module manufacturing apparatus performs the above-described first step (FIG. 1).
Similarly to (A)), the other surface 20 </ b> B of the bare chip mounting laminate 20 and the other surface 2 of the motherboard mounting laminate 25.
Predetermined wirings 29 and 30 are formed on 5B.

【0027】次いで、半導体モジュール製造装置は、ベ
アチップ実装用積層板20の他面20Bの所定部位にボ
ンディング金めっきによる表面処理を施すことによりラ
ンド(図示せず)を形成する。
Next, the semiconductor module manufacturing apparatus forms a land (not shown) by performing a surface treatment by bonding gold plating on a predetermined portion of the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20.

【0028】第8段階(図3(H))として、まず、半
導体モジュール製造装置は、ベアチップ実装用積層板2
0の他面20B上に、当該他面20Bの中心とベアチッ
プ(以下、これを載上用ベアチップと呼ぶ)31の一面
の中心とを一致させることにより、載上用ベアチップ3
1の重量が当該ベアチップ実装用積層板20の他面20
Bに均等にかかるようになされている。
As an eighth step (FIG. 3H), first, the semiconductor module manufacturing apparatus uses the bare chip mounting laminate 2.
0 on the other surface 20B, the center of the other surface 20B and the center of one surface of the bare chip (hereinafter referred to as the mounting bare chip) 31 are made to coincide with each other, so that the mounting bare chip 3
1 is the other surface 20 of the bare chip mounting laminate 20
B is evenly applied.

【0029】次いで、半導体モジュール製造装置は、載
上用ベアチップ31上に、当該載上用ベアチップ31の
一面の中心とベアチップ(以下、これを積層用ベアチッ
プと呼ぶ)32の一面の中心とを一致させることによ
り、載上用ベアチップ31及び積層用ベアチップ32の
重量が当該ベアチップ実装用積層板20の他面20Bに
均等にかかるようになされている。
Next, in the semiconductor module manufacturing apparatus, the center of one surface of the mounting bare chip 31 and the center of one surface of the bare chip (hereinafter referred to as a “stacking bare chip”) 32 coincide with each other on the mounting bare chip 31. By doing so, the weights of the mounting bare chip 31 and the stacking bare chip 32 are evenly applied to the other surface 20 </ b> B of the bare chip mounting laminate 20.

【0030】さらに、半導体モジュール製造装置は、載
上用ベアチップ31及び積層用ベアチップ32の各パッ
ド33と、当該各パッド33にそれぞれ対応するベアチ
ップ実装用積層板20の他面20Bの上の各ランドとを
ワイヤ34を介して接続することにより、上述の第6段
階(図2(F))で電気的に接続された収納用ベアチッ
プ22と、ベアチップ実装用積層板20の一面20A及
び他面20Bと、マザーボード実装用積層板25の一面
25A及び他面25Bとに加えて、載上用ベアチップ3
1及び積層用ベアチップ32をもそれぞれ電気的に接続
する。
Further, the semiconductor module manufacturing apparatus includes a pad 33 of the bare chip 31 for mounting and a bare chip 32 for lamination, and a land on the other surface 20B of the laminated board 20 for mounting the bare chip corresponding to each pad 33. Are connected via a wire 34, so that the storage bare chip 22 electrically connected in the above-described sixth step (FIG. 2 (F)), the one surface 20A and the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 are connected. And one surface 25A and the other surface 25B of the motherboard mounting laminate 25,
1 and the stacking bare chip 32 are also electrically connected.

【0031】この実施の形態の場合、半導体モジュール
製造装置は、収納用ベアチップ22の回路形成面22A
の面積に比して、ベアチップ実装用積層板20の他面2
0Bへの載上用ベアチップ31の載上面の面積を大きく
選定するようになされており、これによりベアチップ実
装用積層板20の他面20Bから異方性導電膜24への
水分の流入を極力回避し得るようになされている。
In the case of this embodiment, the semiconductor module manufacturing apparatus uses the circuit forming surface 22 A of the storage bare chip 22.
The other surface 2 of the laminate 20 for mounting bare chips
The area of the upper surface of the bare chip 31 for mounting on the chip 0B is selected to be large, thereby minimizing the inflow of moisture from the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 to the anisotropic conductive film 24. It is made to be able to do.

【0032】第9段階(図3(I))として、半導体モ
ジュール製造装置は、ベアチップ実装用積層板20の他
面20B及び各ワイヤ34を覆うように封止樹脂35を
塗布し、当該封止樹脂35を所定温度で加熱した後に硬
化させることにより、その封止樹脂35によってベアチ
ップ実装用積層板20の他面20Bに載上用ベアチップ
31及び積層用ベアチップ32が樹脂封止され、本発明
による半導体モジュール50を製造し得るようになされ
ている。
As a ninth stage (FIG. 3I), the semiconductor module manufacturing apparatus applies a sealing resin 35 so as to cover the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 and the wires 34, and performs the sealing. By heating and curing the resin 35 at a predetermined temperature, the mounting bare chip 31 and the laminating bare chip 32 are resin-sealed by the sealing resin 35 on the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20. The semiconductor module 50 can be manufactured.

【0033】この半導体モジュール50は、図4(B)
に示すように収納用ベアチップ22よりも大きく選定さ
れた載上用ベアチップ31に加えて、当該載上用ベアチ
ップ31全体及び実装用積層板20の他面20Bの全体
を覆った封止樹脂35によってベアチップ実装用積層板
20の他面20Bから異方性導電膜24へ(すなわち矢
印c方向)水分が流入されることを極力回避し得るよう
になされている。
This semiconductor module 50 is shown in FIG.
In addition to the mounting bear chip 31 selected to be larger than the storage bare chip 22 as shown in FIG. 5, a sealing resin 35 covering the entire mounting bear chip 31 and the entire other surface 20B of the mounting laminate 20 is used. The flow of moisture from the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 to the anisotropic conductive film 24 (that is, the direction of arrow c) can be minimized.

【0034】このように半導体モジュール50は、上述
の図4(A)及び(B)に示したように、水分が流入さ
れることを極力回避できる構成にしたことにより、異方
性導電膜24に水性物質が蓄積されることを低減でき、
その結果、各種電子機器のマザーボードへの実装におい
て熱加工処理を施した際に破裂するいわゆるポップコー
ン現象等を回避することにより、マザーボードへの実装
信頼性を向上できる。
As described above, as shown in FIGS. 4A and 4B, the semiconductor module 50 has a configuration in which the inflow of moisture can be avoided as much as possible. The accumulation of aqueous substances in the
As a result, the reliability of mounting on the motherboard can be improved by avoiding the so-called popcorn phenomenon or the like that explodes when subjected to thermal processing in mounting various electronic devices on the motherboard.

【0035】また、半導体モジュール50は、収納部2
7の重心と収納用ベアチップ22の重心とを一致させた
状態で、収納部27にその収納部27よりも熱膨張係数
の小さい収納用ベアチップ22を収納するようにしたこ
とにより、図5に示す測定方向MS1に基づいて、製造
時の封止樹脂35とベアチップ実装用積層板20の他面
20Bとの接合部分JP1(図3(I))について反り
量を測定した結果の図6に示すように、製造工程の熱処
理によってベアチップ実装用積層板20の他面20Bが
当該他面20Bの基準仮想線BL1に対して実線FL1
分の反り(18μm)しか生じないため、従来の反り(25μ
m)(図6(C))に比して低減できるのみならず、その
反りの落差をも低減できる。
Further, the semiconductor module 50 is
By storing the storage bare chip 22 having a smaller coefficient of thermal expansion than the storage part 27 in the storage part 27 in a state where the center of gravity of the storage chip 7 and the center of gravity of the storage bare chip 22 are matched, as shown in FIG. Based on the measurement direction MS1, as shown in FIG. 6, the amount of warpage was measured for the joint JP1 (FIG. 3 (I)) between the sealing resin 35 at the time of manufacture and the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20. The other surface 20B of the laminated board 20 for mounting bare chips is moved by a heat treatment in the manufacturing process so that the solid line FL1
Minute warpage (18μm), the conventional warpage (25μm)
m) (FIG. 6C), it is possible to reduce not only the reduction in the warpage but also the reduction in the warpage.

【0036】以上のように半導体モジュール50におい
ては、ベアチップ実装用積層板20の他面20Bにワイ
ヤボンディング実装された載上用ベアチップ31及び積
層用ベアチップ32と、当該ベアチップ実装用積層板2
0の一面20Aにフリップチップ実装された収納用ベア
チップ22と、その収納用ベアチップ22の全体及びベ
アチップ実装用積層板20の一面20A全体を覆うよう
に封止して硬化することにより収納用ベアチップ22を
収納する収納部とで構成した。
As described above, in the semiconductor module 50, the mounting bare chip 31 and the stacking bare chip 32 wire-bonded to the other surface 20B of the bare chip mounting stack 20 and the bare chip mounting stack 2
The storage bare chip 22 is flip-chip mounted on one surface 20A of the storage chip 0, and the storage bare chip 22 is sealed and cured so as to cover the entirety of the storage bare chip 22 and the entire surface 20A of the bare chip mounting laminate 20. And a storage unit for storing the data.

【0037】従って半導体モジュール50は、従来(図
9)においてベアチップ全てを有機基板2の一面2Aに
ワイヤボンディング実装していた場合に比して、収納部
27に収納した収納用ベアチップ22におけるランドや
ワイヤ分を回避でき、これによりベアチップ実装用積層
板20の面積を小さくでき、かくして、従来に比して小
型化できる。
Accordingly, the semiconductor module 50 is different from the conventional case (FIG. 9) in that all the bare chips are wire-bonded and mounted on the one surface 2A of the organic substrate 2 so that the land and the land of the storage bare chip 22 stored in the storage portion 27 are formed. The amount of wires can be avoided, whereby the area of the laminate 20 for mounting bare chips can be reduced, and thus the size can be reduced as compared with the conventional case.

【0038】また半導体モジュール50は、ベアチップ
実装用積層板20の厚さを従来の有機基板2の厚みに比
して薄くしたものの、所定厚の収納部27にベアチップ
実装用積層板20よりも熱膨張係数の小さい収納用ベア
チップ22を収納したことにより、当該収納部27にお
ける構造上の強度を増益し、その結果、封止樹脂35と
ベアチップ実装用積層板20、収納部27及びマザーボ
ード実装用積層板25の反りを低減できる。
In the semiconductor module 50, although the thickness of the bare chip mounting laminate 20 is made smaller than the thickness of the conventional organic substrate 2, the storage space 27 having a predetermined thickness has a higher heat than the bare chip mounting laminate 20. By storing the storage bare chip 22 having a small expansion coefficient, the structural strength of the storage portion 27 is increased, and as a result, the sealing resin 35 and the bare chip mounting laminate 20, the storage portion 27, and the motherboard mounting laminate are increased. The warpage of the plate 25 can be reduced.

【0039】これに加えて、半導体モジュール50は、
収納部27の重心と収納用ベアチップ22の重心とを一
致させた状態で収納するようにしたことにより、最も負
荷のかかる重心を中心として発生する反りを効果的に低
減でき、その結果、反りが少ない分だけ各種電子機器の
マザーボードへの実装を円滑に行わせることができると
共に、マザーボードへの実装時にベアチップ実装用積層
板20、収納部27及びマザーボード実装用積層板25
(図3(I))が反ることによって電気的接続が断たれ
ることを回避でき、かくして、マザーボードへの実装信
頼性を向上できる。
In addition, the semiconductor module 50 includes
By storing the storage unit 27 in a state where the center of gravity of the storage unit 27 and the center of gravity of the storage bare chip 22 are matched with each other, it is possible to effectively reduce the warpage occurring around the center of gravity where the load is most applied, and as a result, the warpage is reduced. To a small extent, various electronic devices can be smoothly mounted on the motherboard, and when mounted on the motherboard, the bare chip mounting laminate 20, the housing 27, and the motherboard mounting laminate 25
Disconnection of the electrical connection due to the warpage of FIG. 3 (I) can be avoided, and thus the reliability of mounting on the motherboard can be improved.

【0040】以上のような半導体モジュール50によれ
ば、ベアチップ実装用積層板20の一面20Aにフリッ
プチップ実装された収納用ベアチップ22を、その収納
用ベアチップ22の全体及びベアチップ実装用積層板2
0の一面20A全体を覆うように封止して硬化すること
により形成された収納部27によって収納するようにし
たことにより、ベアチップ実装用積層板20の一面20
A及び他面20Bの面積を小さくできると共に、収納部
27における構造上の強度を増益でき、かくして、従来
に比して反りを低減し、かつ小型化できる。
According to the semiconductor module 50 as described above, the storage bare chip 22 flip-chip mounted on one surface 20A of the bare chip mounting laminate 20 is used as the whole of the storage bare chip 22 and the bare chip mounting laminate 2
Of the bare chip mounting laminate 20 by sealing and hardening so as to cover the entire surface 20A of the bare chip mounting surface 20A.
A and the area of the other surface 20B can be reduced, and the structural strength of the storage portion 27 can be increased. Thus, the warpage can be reduced and the size can be reduced as compared with the related art.

【0041】なお上述の実施の形態においては、両面配
線板としての両面銅張積層板を用いる場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、要は各種材質でなる配線
板が両面に張られた他の種々の両面配線板を幅広く用い
ることができる。この場合上述の実施の形態と同様の効
果を得ることができる。
In the above-described embodiment, a case has been described in which a double-sided copper-clad laminate is used as a double-sided wiring board. However, the present invention is not limited to this. Various other double-sided wiring boards can be widely used. In this case, effects similar to those of the above-described embodiment can be obtained.

【0042】また上述の実施の形態においては、ワイヤ
ボンディング実装された第1の表面実装部品としての載
上用ベアチップ31及び積層用ベアチップ32と、第2
の表面実装部品としての収納用ベアチップ22とを用い
る場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例え
ばトランジスタやダイオード等の部品でなる表面実装部
品等、他の種々の表面実装部品を幅広く用いることがで
きる。この場合上述の実施の形態と同様の効果を得るこ
とができる。
Further, in the above-described embodiment, the mounting bare chip 31 and the laminating bare chip 32 as the first surface mount components wire-bonded and mounted,
Although the case where the storage bare chip 22 is used as the surface mounting component has been described, the present invention is not limited to this. Can be used. In this case, effects similar to those of the above-described embodiment can be obtained.

【0043】さらに上述の実施の形態においては、ガラ
スエポキシ材質でなる介挿用プリプレグ27A及び覆蓋
プリプレグ27Bによって収納部27を形成する場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、ポリフェニレ
ンエーテル又はビスマレイミドトリアジン材質でなる介
挿用プリプレグ及び覆蓋プリプレグによって収納部を形
成するようにしても良く、他の材質又は材料を用いて収
納部を予め形成しても良く、要は収納用ベアチップ22
の全体及びベアチップ実装用積層板20の他面20Bの
全体を覆うように気密性を保って当該収納用ベアチップ
22を収納する収納部であれば良い。
Further, in the above-described embodiment, a case has been described in which the storage portion 27 is formed by the insertion prepreg 27A and the cover prepreg 27B made of a glass epoxy material. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. The storage portion may be formed by an insertion prepreg and a cover prepreg made of a bismaleimide triazine material, or the storage portion may be formed in advance using another material or material.
The storage section may be a storage section which stores the bare chip 22 for storage while keeping airtightness so as to cover the entirety of the bare chip mounting laminate 20 and the entire other surface 20B of the laminated board 20 for mounting bare chips.

【0044】この場合、特に、ポリフェニレンエーテル
又はビスマレイミドトリアジン材質でなる介挿用プリプ
レグ及び覆蓋プリプレグによって収納部を形成した半導
体モジュールは、ガラスエポキシ材質でなる介挿用プリ
プレグ27A及び覆蓋プリプレグ27Bによって形成さ
れた収納部27に比して、熱膨張係数が低い収納部を形
成でき、かくして、一段と反りを低減でき、その結果、
各種電子機器のマザーボードへの実装信頼性を向上させ
ることができる。
In this case, in particular, the semiconductor module in which the housing portion is formed by the insertion prepreg and cover prepreg made of polyphenylene ether or bismaleimide triazine material is formed by the insertion prepreg 27A and cover prepreg 27B made of glass epoxy material. The storage portion having a lower coefficient of thermal expansion can be formed as compared with the storage portion 27 which is formed, and thus the warpage can be further reduced, and as a result,
The reliability of mounting various electronic devices on the motherboard can be improved.

【0045】さらに上述の実施の形態においては、ベア
チップ実装用積層板20の他面20Bにワイヤボンディ
ング実装された2つのベアチップ(載上用ベアチップ3
1及び積層ベアチップ32)と、一面20Aに実装され
た1つの収納用ベアチップ22と、その収納用ベアチッ
プ22全体を収納する収納部27とで構成された半導体
装置としての半導体モジュール50について述べたが、
本発明はこれに限らず、ワイヤボンディング実装された
1つの載上用ベアチップ31と、フリップチップ実装さ
れた1つの収納用ベアチップ22と、その収納用ベアチ
ップ22全体を収納する収納部27とで構成された半導
体装置、又はワイヤボンディング実装された1つの載上
用ベアチップ31及び2つ以上の積層ベアチップ32
と、フリップチップ実装された1つの収納用ベアチップ
22と、その収納用ベアチップ22全体を収納する収納
部27とで構成された半導体装置、さらにはワイヤボン
ディング実装された載上用ベアチップ31及び積層ベア
チップ32と、2つ以上の収納用ベアチップ22全体を
収納する収納部27とで構成された半導体装置等、この
他種々の各ベアチップ(載上用ベアチップ31、積層ベ
アチップ32及び収納用ベアチップ22)の組み合わせ
で構成された半導体装置を本発明に適用できる。
Further, in the above-described embodiment, two bare chips (the mounting bare chip 3) mounted by wire bonding on the other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 are provided.
1 and the laminated bare chip 32), a single storing bare chip 22 mounted on one surface 20A, and a storing section 27 for storing the entire storing bare chip 22. ,
The present invention is not limited to this, and is configured by one mounting bare chip 31 wire-bonded, one storing bare chip 22 flip-chip mounted, and a storage portion 27 for storing the entirety of the storing bare chip 22. Semiconductor chip or one mounting bare chip 31 and two or more stacked bare chips 32 mounted by wire bonding
And a storage unit 27 for storing the entirety of the storage bare chip 22 that is flip-chip mounted and a storage unit 27 that stores the entirety of the storage bare chip 22, and a mounting bare chip 31 and a stacked bare chip that are mounted by wire bonding. 32 and other various bare chips (the mounting bare chip 31, the laminated bare chip 32, and the storing bare chip 22) such as a semiconductor device including a storage portion 27 that stores the entirety of two or more storing bare chips 22. Semiconductor devices configured in combination can be applied to the present invention.

【0046】この場合、例えば図3(I)との対応部分
に同一符号を付して示す図7のように、半導体装置60
においては、収納部27の重心を通るベアチップ実装用
積層板20の他面20Bに対する垂直方向への軸線AL
上に、フリップチップ実装された収納用ベアチップ22
及びスペーサ40を介してワイヤボンディング実装され
た収納用ベアチップ22それぞれの重心を一致させた状
態で、収納部27が各収納用ベアチップ22全体及びベ
アチップ実装用積層板20の他面20B全体を覆うよう
に収納すれば、フリップチップ実装された収納用ベアチ
ップ22によって最も負荷のかかる重心を中心として発
生する反りを効果的に低減できることに加え、各収納用
ベアチップ22及びスペーサ40によって収納部27に
おいて生じる反り力を分散でき、かくして、マザーボー
ドへの実装信頼性を一段と向上できる。
In this case, for example, as shown in FIG. 7 in which the same reference numerals are given to portions corresponding to FIG.
, The axis AL in the direction perpendicular to the other surface 20B of the laminate 20 for mounting bare chips passing through the center of gravity of the storage portion 27
The storage bare chip 22 flip-chip mounted thereon
The storage unit 27 covers the entire storage bare chip 22 and the entire other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 in a state where the centers of gravity of the storage bare chips 22 wire-bonded and mounted via the spacers 40 are matched. In addition to the fact that the storage bare chip 22 mounted with flip chips can effectively reduce the warp generated around the center of gravity where the load is most applied, the warp generated in the storage portion 27 by the storage bare chip 22 and the spacer 40 can be effectively reduced. The power can be distributed, and thus the reliability of mounting on the motherboard can be further improved.

【0047】因みに、半導体装置60は、フリップチッ
プ実装された収納用ベアチップ22を収納部27の重心
に位置させれば、ワイヤボンディング実装された収納用
ベアチップ22については必ずしも収納部27の重心を
通るベアチップ実装用積層板20の他面20Bに対する
垂直方向への軸線AL上に収納しなくとも良い。
By the way, in the semiconductor device 60, if the storage bare chip 22 mounted with the flip chip is positioned at the center of gravity of the storage section 27, the storage bare chip 22 mounted with wire bonding necessarily passes through the center of gravity of the storage section 27. The bare chip mounting laminate 20 need not be stored on the axis AL in the direction perpendicular to the other surface 20B of the laminate 20.

【0048】また、例えば図3(I)との対応部分に同
一符号を付して示す図8のように、半導体装置70にお
いては、収納部27の重心を通るベアチップ実装用積層
板20の幅方向WI2への軸線AL1上に、収納部27
の周側面近傍へフリップチップ実装された4つの収納用
ベアチップ22それぞれの重心を一致させた状態で、収
納部27が各収納用ベアチップ22全体及びベアチップ
実装用積層板20の他面20B全体を覆うように収納す
るれば、収納部27の重心位置に収納された収納用ベア
チップ22によって最も負荷のかかる重心を中心として
発生する反りを効果的に低減できることに加え、収納部
27の周側面近傍の各収納用ベアチップ22によって収
納部27の周端部近傍に生じる反り力を低減でき、かく
して、マザーボードへの実装信頼性を一段と向上でき
る。
Also, as shown in FIG. 8, for example, in which the same reference numerals are given to the corresponding parts in FIG. 3 (I), in the semiconductor device 70, the width of the bare chip mounting laminated board 20 passing through the center of gravity of the storage portion 27 On the axis AL1 in the direction WI2,
The storage section 27 covers the entire storage bare chip 22 and the entire other surface 20B of the bare chip mounting laminate 20 in a state in which the respective centers of gravity of the four storage bare chips 22 flip-chip mounted near the peripheral side surface are matched. With such storage, the warp generated around the center of gravity where the load is most applied by the storage bare chip 22 stored at the position of the center of gravity of the storage portion 27 can be effectively reduced, and the vicinity of the peripheral side surface of the storage portion 27 can be reduced. The warp force generated in the vicinity of the peripheral end of the storage portion 27 can be reduced by each of the storage bare chips 22, and thus, the mounting reliability on the motherboard can be further improved.

【0049】因みに、半導体装置60は、収納部27の
重心位置に収納された収納用ベアチップ22を収納部2
7の重心に位置させれば、収納部27の周側面近傍の各
収納用ベアチップ22については必ずしも収納部27の
重心を通るベアチップ実装用積層板20の幅方向WI2
への軸線AL1上に収納しなくとも良い。
Incidentally, in the semiconductor device 60, the storage bare chip 22 stored in the position of the center of gravity of the storage section 27 is inserted into the storage section 2.
7, the width direction WI <b> 2 of the bare chip mounting laminate 20 that necessarily passes through the center of gravity of the storage unit 27 for each storage bare chip 22 near the peripheral side surface of the storage unit 27.
Need not be stored on the axis AL1.

【0050】[0050]

【発明の効果】上述のように本発明によれば、両面配線
板の一面にワイヤボンディング実装された第1の表面実
装部品と、当該両面配線板の他面に実装された第2の表
面実装部品と、第2の表面実装部品の全体及び両面配線
板の他面の全体を覆うように気密性を保って第2の表面
実装部品を収納した収納部と設けることにより、第2の
表面実装部品を第1の表面実装部品に積層してワイヤボ
ンディング実装する必要がなくなり、その分両面配線板
の面積を従来に比して小さくできると共に、収納部に収
納された表面実装部品により当該収納部における構造上
の強度を増益し、両面配線板と収納部とにおける反りを
従来に比して低減でき、かくして、反りを低減し、かつ
小型化することができる。
As described above, according to the present invention, the first surface-mounted component mounted on one surface of the double-sided wiring board by wire bonding and the second surface mounted component mounted on the other surface of the double-sided wiring board The second surface mounting is provided by providing a component and a storage portion that stores the second surface mounting component while maintaining airtightness so as to cover the entire second surface mounting component and the entire other surface of the double-sided wiring board. There is no need to stack the components on the first surface mount component and perform wire bonding mounting, and accordingly, the area of the double-sided wiring board can be reduced as compared with the conventional case, and the surface mount components housed in the housing portion allow the housing portion to be mounted. , The warpage in the double-sided wiring board and the storage portion can be reduced as compared with the related art, and thus the warpage can be reduced and the size can be reduced.

【0051】また上述のように本発明によれば、収納部
の重心と第2の表面実装部品の重心とを一致させた状態
で収納するようにしたことにより、最も負荷のかかる重
心を中心として発生する反りを効果的に低減でき、かく
して、一段と反りを低減できる。
Further, according to the present invention, as described above, the storage is made in a state where the center of gravity of the storage section and the center of gravity of the second surface mount component are matched, so that the center of gravity with the highest load is centered. The generated warpage can be effectively reduced, and thus the warpage can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】半導体モジュールの製造工程(1)を示す略線
的断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a manufacturing step (1) of a semiconductor module.

【図2】半導体モジュールの製造工程(2)を示す略線
的断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a manufacturing step (2) of the semiconductor module;

【図3】半導体モジュールの製造工程(3)を示す略線
的断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a manufacturing step (3) of the semiconductor module;

【図4】水分の流入状況の説明に供する略線的断面図で
ある。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining the inflow state of water.

【図5】半導体モジュールの上面からみた測定方向を示
す略線図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a measurement direction as viewed from a top surface of the semiconductor module.

【図6】反り量の測定結果を示す特性曲線図である。FIG. 6 is a characteristic curve diagram showing a measurement result of a warpage amount.

【図7】他の実施の形態による半導体モジュールを示す
略線的断面図である。
FIG. 7 is a schematic sectional view showing a semiconductor module according to another embodiment.

【図8】他の実施の形態による半導体モジュールを示す
略線的断面図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view showing a semiconductor module according to another embodiment.

【図9】従来の半導体モジュールを示す略線的断面図で
ある。
FIG. 9 is a schematic sectional view showing a conventional semiconductor module.

【図10】従来の半導体モジュールの上面からみた測定
方向を示す略線図である。
FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a measurement direction viewed from the top surface of a conventional semiconductor module.

【図11】従来の半導体モジュールにおける反り量の測
定結果を示す特性曲線図である。
FIG. 11 is a characteristic curve diagram showing a measurement result of a warpage amount in a conventional semiconductor module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20……ベアチップ実装用積層板、22……収納用ベア
チップ、24……異方性導電膜、25……マザーボード
実装用積層板、27……収納部、27A……介挿用プリ
プレグ、27B……覆蓋プリプレグ、28A、28B…
…スルーホール、31……載上用ベアチップ、32……
積層用ベアチップ、35……封止樹脂、50……半導体
モジュール。
Reference numeral 20: laminated board for mounting a bare chip, 22: bare chip for storing, 24: anisotropic conductive film, 25: laminated board for mounting a motherboard, 27: storage section, 27A: prepreg for insertion, 27B ... … Cover prepreg, 28A, 28B…
... Through hole, 31 ... Bear chip for mounting, 32 ...
Bare chip for lamination, 35 ... sealing resin, 50 ... semiconductor module.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 郡司 智康 北海道恵庭市戸磯573番地19クローバー電 子工業株式会社内 (72)発明者 村山 敏宏 東京都品川区北品川6丁目7番35号ソニー 株式会社内 (72)発明者 岡地 昭昌 東京都品川区北品川6丁目7番35号ソニー 株式会社内 (72)発明者 安田 誠之 東京都品川区北品川6丁目7番35号ソニー 株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tomoyasu Gunji 573-19 Toiso, Eniwa-shi, Hokkaido Inside Clover Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Toshihiro Murayama 6-7-35 Kita Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation (72) Inventor Shosho Okachi 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Masayuki Yasuda 6-35-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】両面配線板の一面にワイヤボンディング実
装された第1の表面実装部品と、 上記両面配線板の他面に実装された第2の表面実装部品
と、 上記第2の表面実装部品の全体及び上記両面配線板の他
面の全体を覆うように気密性を保って上記第2の表面実
装部品を収納した収納部とを具えることを特徴とする半
導体装置。
1. A first surface-mounted component mounted on one surface of a double-sided wiring board by wire bonding, a second surface-mounted component mounted on the other surface of the double-sided wiring board, and the second surface-mounted component And a storage section for storing the second surface-mounted component while maintaining airtightness so as to cover the entirety of the second surface mounting board and the entire other surface of the double-sided wiring board.
【請求項2】上記収納部は、封止材料によって封止して
硬化することにより上記第2の表面実装部品を収納した
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the housing section houses the second surface-mounted component by being sealed with a sealing material and cured.
【請求項3】上記収納部は、当該収納部の重心と上記第
2の表面実装部品の重心とを一致させた状態で収納して
いることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
3. The semiconductor device according to claim 1, wherein said housing portion is housed in a state where the center of gravity of said housing portion and the center of gravity of said second surface-mounted component coincide with each other.
【請求項4】上記収納部は、当該収納部の重心を通る上
記両面配線板の他面に対する垂直方向への軸線上に、上
記第2の表面実装部品の重心を一致させた状態で収納し
ていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
4. The storage section stores the second surface-mounted component in a state where the center of gravity of the second surface-mounted component is aligned with an axis perpendicular to the other surface of the double-sided wiring board passing through the center of gravity of the storage section. The semiconductor device according to claim 1, wherein
【請求項5】上記第1の表面実装部品は、上記第2の表
面実装部品に対向して配置され、上記両面配線板の一面
に載置された載置面積が上記第2の表面実装部品の実装
面積よりも大きく選定されていることを特徴とする請求
項1に記載の半導体装置。
5. The first surface-mounted component is disposed so as to face the second surface-mounted component, and the mounting area mounted on one surface of the double-sided wiring board is the second surface-mounted component. The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor device is selected to be larger than a mounting area of the semiconductor device.
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