JP2002370013A

JP2002370013A - フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法

Info

Publication number: JP2002370013A
Application number: JP2001181496A
Authority: JP
Inventors: Kenji Otsuka; 健二大塚; Yoji Nawa; 洋二名和; Tomohisa Ikeda; 友久池田; Yukifumi Ochi; 幸史越智
Original assignee: Japan Pionics Ltd
Current assignee: Japan Pionics Ltd
Priority date: 2001-06-15
Filing date: 2001-06-15
Publication date: 2002-12-24

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造工程等から排出される排ガスに含
まれるＳＦ_６等のフッ化硫黄を、短時間で分解処理剤が
失活することなく、また硫黄酸化物、フッ化水素等の腐
食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の比較
的低い温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な分解
処理剤及び分解処理方法を提供する。【解決手段】酸化アルミニウムと、アルカリ土類金属
の酸化物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化
物となるアルカリ土類金属化合物を、有効成分として含
む分解処理剤とする。また、加熱下で、酸化アルミニウ
ム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む
分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する。あるい
は、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む
処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として
含む処理剤と交互に接触させてフッ化硫黄を分解する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフッ化硫黄の分解処
理剤及び分解処理方法に関する。さらに詳細には半導体
製造工程等から排出される排ガスに含まれる六フッ化硫
黄等のフッ化硫黄を、１０００℃以下の比較的低い温度
で長時間効率よく分解処理することが可能な分解処理剤
及び分解処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工業においては、ドライエッ
チング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバー
クリーニングガス等として、六フッ化硫黄が使用されて
いる。六フッ化硫黄は非常に安定な化合物であり地球温
暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した場合の
環境への悪影響が懸念されている。従って、半導体製造
工程から排出される排ガスに含まれる六フッ化硫黄は、
回収するかあるいは分解して大気に放出することが好ま
しい。

【０００３】従来から使用されている六フッ化硫黄（Ｓ
Ｆ_６）を、エッチングガスやチャンバークリーニングガ
ス等として用いた後の排ガスには、通常は、窒素、アル
ゴン、ヘリウム等のキャリアガス、前記六フッ化硫黄の
他に、六フッ化硫黄が分解して生成する四フッ化硫黄
（ＳＦ_４）、ＨＦ、Ｆ_２、ＳｉＦ_４等の酸性ガスが含ま
れることが多い。また、排ガスに含まれる六フッ化硫黄
の濃度は、通常１０〜５００００ｐｐｍ程度である。こ
のように排ガスに含まれる六フッ化硫黄の濃度が比較的
低いため、これらの処理には、ランニングコストがより
安い分解が多く試みられてきた。

【０００４】従来から六フッ化硫黄等のフッ化硫黄を分
解処理する方法としては、例えばフッ化硫黄を含む排ガ
スを、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎
中に導入して燃焼させる方法、あるいはフッ化硫黄を含
む排ガスに、空気または酸素、あるいは空気または酸素
とともに水分を含む混合ガスを添加して加熱酸化する方
法によりフッ化硫黄の分解が行なわれていた。また、フ
ッ化硫黄等のフッ素化合物を、アルミナ存在下で、分子
状酸素と接触させる方法（特開平１０−２８６４３４号
公報）、アルミナに６Ａ族、８族、３Ｂ族の金属及び硫
酸、燐酸、ほう酸等の無機酸を担持させた分解処理触媒
と接触させる方法（特開平１１−１６５０７１号公
報）、酸素及び水共存下において、３００〜１０００℃
に加熱された、アルミナ系触媒と含シリカ混合材とを混
合して成る触媒層を通過させる方法（特開２０００−１
５０６０号公報）等が開発されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、燃焼法
による分解処理方法は、フッ化硫黄を分解処理していな
い待機時にも燃焼状態を維持しなければならないためエ
ネルギーコストが高い、生成する硫黄酸化物の処理が必
要である、二酸化炭素を大量に放出するという不都合が
あった。空気または酸素を添加して加熱酸化する分解処
理方法は、１０００℃以上の加熱が必要であり、また燃
焼法と同様に生成する硫黄酸化物の処理が必要であっ
た。

【０００６】アルミナを分解触媒として用いたフッ化硫
黄等のフッ素化合物の分解処理方法は、比較的低い温度
でフッ素化合物を分解できるという長所がある。しか
し、この分解処理方法においては、フッ素化合物との反
応によりアルミナの表面にフッ化アルミニウムが生成
し、短時間で分解触媒が失活するという不都合があっ
た。また、アルミナに金属、無機酸、あるいはシリカを
添加した分解処理触媒は、分解触媒の活性を比較的長時
間維持させることを目的に開発されたものであるが、分
解対象のフッ素化合物がフッ化硫黄の場合は、硫黄酸化
物を排出するという不都合があった。

【０００７】さらに、水の共存下でフッ化硫黄の分解処
理を行なった場合は、分解処理量を向上させることがで
きるが、分解処理後に硫黄酸化物及びフッ化水素を排出
するため、排ガスを大気に放出するに先立って湿式浄化
装置等によりこれを除去する必要があるほか、分解処理
装置から排出される排ガスは、高温かつ腐食性であるた
め熱交換器を使用することができないという不都合があ
った。従って、本発明が解決しようとする課題は、半導
体製造工程等から排出される排ガスに含まれるフッ化硫
黄を、短時間で分解処理剤が失活することなく、また硫
黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させること
なく、１０００℃以下の比較的低い温度で９９．９％以
上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を
提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、フッ化硫黄を、酸
化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成
分として含む分解処理剤と接触させることにより、ある
いは酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤
と交互に接触させることにより、硫黄酸化物、フッ化水
素等の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以
下の比較的低い温度で９９．９％以上の分解率を維持し
て長時間連続で分解処理できることを見い出し本発明の
フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法に到達した。

【０００９】すなわち本発明は、酸化アルミニウム及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含むことを
特徴とするフッ化硫黄の分解処理剤である。また、本発
明は、酸化アルミニウム及び加熱分解されてアルカリ土
類金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物を有効成
分として含むことを特徴とするフッ化硫黄の分解処理剤
でもある。

【００１０】また、本発明は、フッ化硫黄を含有するガ
スを、加熱下で、酸化アルミニウム及びアルカリ土類金
属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させ
てフッ化硫黄を分解することを特徴とするフッ化硫黄の
分解処理方法である。また、本発明は、フッ化硫黄を含
有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱
下で、酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物
を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフッ化硫
黄を分解することを特徴とするフッ化硫黄の分解処理方
法である。

【００１１】また、本発明は、フッ化硫黄を含有するガ
スを、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含
む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分とし
て含む処理剤と交互に接触させてフッ化硫黄を分解する
ことを特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法でもある。
さらに、本発明は、フッ化硫黄を含有するガスを、酸素
及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニ
ウムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属
の酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触させ
てフッ化硫黄を分解することを特徴とするフッ化硫黄の
分解処理方法でもある。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤
及び分解処理方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム等のガ
ス中に含まれるフッ化硫黄の分解処理に適用される。本
発明のフッ化硫黄の分解処理剤は、酸化アルミニウム及
び酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチ
ウム等のアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含
む分解処理剤である。また、本発明のフッ化硫黄の分解
処理剤は、酸化アルミニウム及び加熱分解されてアルカ
リ土類金属の酸化物となる水酸化カルシウム、炭酸カル
シウム、水酸化ストロンチウム、炭酸ストロンチウム等
のアルカリ土類金属化合物を有効成分として含む分解処
理剤でもある。

【００１３】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法は、フ
ッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウ
ム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む
分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する分解処理
方法である。また、本発明のフッ化硫黄の分解処理方法
は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類
金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触
させてフッ化硫黄を分解する分解処理方法でもある。

【００１４】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤及び分解
処理方法において、分解処理の対象となるフッ化硫黄と
しては、例えば、一フッ化硫黄（Ｓ_２Ｆ_２）、二フッ化
硫黄（ＳＦ_２）、四フッ化硫黄（ＳＦ_４）、五フッ化硫
黄（ＳＦ_５）、六フッ化硫黄（ＳＦ_６）が挙げられる。

【００１５】以下、本発明のフッ化硫黄の分解処理剤に
ついて詳細に説明する。本発明の分解処理剤は、有効成
分として、酸化アルミニウムと、アルカリ土類金属の酸
化物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物と
なるアルカリ土類金属化合物が用いられる。本発明に用
いられる酸化アルミニウムとしては、平均細孔直径が５
０〜２００Åの細孔を有するものが好ましい。平均細孔
直径が５０Å未満の細孔を有する酸化アルミニウムまた
は平均細孔直径が２００Åを越える細孔を有する酸化ア
ルミニウムを用いた場合は、フッ化硫黄の処理量あるい
は分解率が低下する虞を生じる。また、比表面積は１０
０ｍ^２／ｇ以上の酸化アルミニウムが好ましい。酸化ア
ルミニウムの純度は９９％以上であることが好ましく、
さらに９９．９％以上であることがより好ましい。

【００１６】本発明において、酸化アルミニウムと共に
分解処理剤の有効成分に用いられるアルカリ土類金属の
酸化物としては、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、
酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムを
挙げることができるが、酸化ベリリウムは昇華開始温度
が８００℃であり、酸化バリウムは有毒性が懸念される
ため、酸化マグネシウム、酸化カルシウムまたは酸化ス
トロンチウムを用いることが好ましい。

【００１７】また、本発明においては、前記のアルカリ
土類金属の酸化物に替えて、フッ化硫黄を分解処理する
温度またはその近辺の温度で、分解されてアルカリ土類
金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物を用いるこ
ともできる。これらの化合物としては、アルカリ土類金
属の水酸化物、炭酸塩、有機酸塩等を挙げることができ
るが、容易に酸化物に転換できる点及び有害ガス等を排
出しない点で水酸化物または炭酸塩を用いることが好ま
しい。また、前記と同様な理由により、マグネシウム、
カルシウムまたはストロンチウムの化合物を用いること
が好ましい。

【００１８】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤は、通常
は前記の酸化アルミニウムと、アルカリ土類金属の酸化
物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物とな
るアルカリ土類金属化合物を、混合し造粒することによ
り調製されるか、あるいは酸化アルミニウムを造粒する
とともに、アルカリ土類金属の酸化物または加熱分解さ
れてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金属
化合物を造粒した後、これらを混合することにより調製
される。

【００１９】いずれの分解処理剤の調製方法において
も、分解処理剤に含まれるアルミニウムとアルカリ土類
金属の原子数の比（Ａｌ／Ｍ）が、通常は０．１〜１０
となるように、好ましくは０．２〜５．０となるように
調製される。（Ａｌはアルミニウム原子数を表わし、Ｍ
はベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチ
ウム、バリウムの原子数を表わす）。また、いずれの調
製方法においても、通常は直径が０．１〜２０ｍｍ程
度、好ましくは直径が１〜１０ｍｍ程度の球状、これに
類似する形状、またはこれに相当する大きさ及び形状と
なるように造粒して調製される。

【００２０】また、本発明のフッ化硫黄の分解処理剤
は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、有効
成分のほかにバインダーを加えてもよい。このようなバ
インダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどの有機系バイ
ンダー、シリカ、珪藻土、珪酸ナトリウム、硫酸水素ナ
トリウムなどの無機系バインダーを挙げることができ
る。これらのバインダーを加える場合は、分解処理剤を
調製する際に有効成分に添加、混練される。バインダー
の添加量は、成型条件などによって異なり一概には特定
できないが、少なすぎる場合はバインダーとしての効果
が得られず、多すぎる場合は分解処理能力が低下するこ
とから、通常は分解処理剤全重量に対して０．１〜１０
ｗｔ％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。

【００２１】また、分解処理剤中にはフッ化硫黄の分解
に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含んでい
てもよい。さらに、使用前の分解処理剤は水分を含んで
いてもよいが含まない方が好ましい。従って、酸化アル
ミニウムとアルカリ土類金属化合物（または酸化物）を
混合し造粒する際は、打錠成型により造粒することが好
ましい。尚、これらのバインダー、不純物、不活性物
質、水分などを含んだ場合においても、分解処理剤中の
有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましく
は９０ｗｔ％以上である。

【００２２】次に、本発明のフッ化硫黄の分解処理方法
を、図１乃至図３に基づいて詳細に説明するが、本発明
がこれらにより限定されるものではない。本発明のフッ
化硫黄の分解処理方法の第一の形態は、フッ化硫黄を含
有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム及びアルカ
リ土類金属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と
接触させてフッ化硫黄を分解する方法であり、図１はそ
のための分解処理装置の例を示す断面図である。また、
本発明のフッ化硫黄の分解処理方法の第二の形態は、フ
ッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウ
ムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の
酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触させて
フッ化硫黄を分解する方法であり、図２はそのための分
解処理装置の例を示す断面図である。

【００２３】フッ化硫黄の分解を、本発明の分解処理方
法の第一の形態により実施する場合は、通常は前述の本
発明の分解処理剤が使用される。また、フッ化硫黄の分
解を、本発明の分解処理方法の第二の形態により実施す
る場合は、通常は酸化アルミニウムを有効成分として含
む処理剤として、酸化アルミニウムの造粒物が使用さ
れ、アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処
理剤として、アルカリ土類金属の酸化物または加熱分解
されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金
属化合物の造粒物が使用される。尚、各々の処理剤中の
有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましく
は９０ｗｔ％以上である。

【００２４】本発明の第二の形態による分解処理方法に
おいても、酸化アルミニウムとしては、平均細孔直径が
５０〜２００Åの細孔を有し、比表面積が１００ｍ^２／
ｇ以上で、純度が９９％以上のものが好ましい。また、
アルカリ土類金属の酸化物としても、同様に酸化マグネ
シウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムが好まし
く、加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物となるア
ルカリ土類金属化合物としても、マグネシウム、カルシ
ウムまたはストロンチウムの、水酸化物または炭酸塩が
好ましい。また、これらは各々通常は直径が０．１〜２
０ｍｍ程度、好ましくは１〜１０ｍｍ程度の球状、これ
に類似する形状、またはこれに相当する大きさ及び形状
となるように造粒して調製される。

【００２５】本発明において、分解処理方法の第一の形
態によりフッ化硫黄の分解処理を実施する場合は、分解
処理を行なう前、分解処理装置に、例えば、図１（Ａ）
に示すように、酸化アルミニウムとアルカリ土類金属化
合物（または酸化物）を混合し造粒した造粒物１から成
る分解処理剤が充填されるか、あるいは、図１（Ｂ）に
示すように、酸化アルミニウムの造粒物２とアルカリ土
類金属化合物（または酸化物）の造粒物３が混合して成
る分解処理剤が充填される。

【００２６】また、本発明において、分解処理方法の第
二の形態によりフッ化硫黄の分解処理を実施する場合
は、分解処理を行なう前、分解処理装置に、例えば、図
２に示すように、酸化アルミニウムの造粒物２から成る
処理剤とアルカリ土類金属化合物（または酸化物）の造
粒物３から成る処理剤が交互に積層される。尚、分解処
理方法の第二の形態によるフッ化硫黄の分解処理におい
て、酸化アルミニウムの造粒物から成る処理剤の層の厚
さ、アルカリ土類金属化合物（または酸化物）の造粒物
から成る処理剤の層の厚さは、両者共通常は２〜２００
ｍｍである。

【００２７】本発明において、分解処理装置の形状は通
常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍ
ｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。分解処理装
置に充填される分解処理剤の充填長は、通常は１０〜１
０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度であ
る。分解処理剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合はフッ化
硫黄の分解が不充分となり、１０００ｍｍ以上の場合は
圧力損失が大きくなる。また、分解処理装置を加熱する
ための手段としては、通常は図１または図２のように分
解処理装置の外側にヒーターが設置され、外部の制御装
置により温度がコントロールされる。尚、分解処理装置
のヒーターとして、多段に分割したヒーターを用いて温
度制御することもできる。

【００２８】本発明においては、第一の形態によりフッ
化硫黄の分解処理を行なう場合は、図１に示す分解処理
装置のように分解処理剤を固定床として用いるほか、移
動床、流動床として用いることができる。例えば、失活
した分解処理剤を分解処理装置の下部に設けた分解処理
剤排出口から排出するとともに、分解処理装置の上部に
設けた分解処理剤供給口から新規分解処理剤を反応系に
供給する構成とすることにより、さらに長時間にわたり
連続してフッ化硫黄の分解処理を実施することができ
る。

【００２９】本発明によるフッ化硫黄の分解処理におい
ては、分解処理を行なう際に、空気等の酸素を含有する
ガス、水、水蒸気、またはこれらの混合物を添加しても
よいが、これらを添加しなくてもフッ化硫黄を分解でき
る。しかし、フッ化硫黄がＳＦ_６以外の場合は、何も添
加することなく、または水、水蒸気のみ添加して分解処
理を行なうと、硫黄酸化物の排出あるいは硫黄の析出の
虞があるので、分解処理を行なう際に酸素を添加するこ
とが好ましい。

【００３０】本発明によりＳＦ_６を、酸化アルミニウム
及び酸化カルシウムを有効成分として含む分解処理剤に
より、酸素及び水蒸気を共存させることなく分解処理す
る場合は、次の（式1）（式２）及び（式３）の反応が
起こると推測される。また、ＳＦ_６以外のフッ化硫黄、
例えばＳＦ_４を、酸化アルミニウム及び酸化カルシウム
を有効成分として含む分解処理剤により、酸素の共存下
で分解する場合は、次の（式４）（式５）及び（式６）
の反応が起こると推測される。また、ＳＦ_６を、酸化ア
ルミニウム及び酸化カルシウムを有効成分として含む分
解処理剤により、水蒸気の共存下で分解する場合は、
（式７）〜（式１３）の反応が起こると推測される。

【００３１】

【化１】

【００３２】

【化２】

【００３３】

【化３】

【００３４】すなわち、本発明によりフッ化硫黄の分解
を行なう際には、酸化アルミニウムの表面にはフッ化硫
黄との反応によりフッ化アルミニウムが生成するが、フ
ッ化アルミニウムは直ちにアルカリ土類金属の酸化物と
反応してフッ素イオンが固定され、フッ素イオンによる
酸化アルミニウムの劣化が最小限におさえられるので、
長時間連続でフッ化硫黄を分解処理することができる。
また、フッ化硫黄の分解の際に生成する硫黄酸化物は、
アルカリ土類金属の酸化物と反応して固定される。この
際、酸素が共存する場合は、フッ化硫黄がＳＦ_６以外の
ものであっても、硫黄酸化物の排出及び硫黄の析出を防
止することができる。また、水蒸気が共存する場合は、
水蒸気がフッ化アルミニウムと反応し酸化アルミニウム
を再生するので、さらに長時間の分解処理が可能であ
る。この際は腐食性ガスであるフッ化水素が一時的に発
生するが、直ちにアルカリ土類金属の酸化物と反応して
フッ化物として固定されるので、分解処理装置からこの
腐食性ガスが排出されることはない。尚、本発明の第二
の形態によるフッ化硫黄の分解処理において水蒸気を共
存させた場合は、ＨＦによる下層部の酸化アルミニウム
の失活を防ぐことができる。

【００３５】フッ化硫黄と分解処理剤が接触する際の温
度は、フッ化硫黄の種類、濃度、流量等により異なり一
概に限定することはできないが、通常は３００〜１００
０℃である。分解温度が３００℃以下ではフッ化硫黄の
分解率が低く、一方１０００℃以上では分解処理装置に
耐熱性の高い材料が要求される不都合がある。また、フ
ッ化硫黄を分解処理する際の圧力は通常は常圧で行われ
るが、減圧あるいは加圧下で行なうこともできる。

【００３６】本発明においてフッ化硫黄を含むガスの流
速に特に制限はないが、一般的にガス中に含有されるフ
ッ化硫黄の濃度が高いほど流速を小さくすることが好ま
しい。このため分解処理装置はフッ化硫黄の種類、濃度
等などに応じて設計されるが、通常は空筒基準線速度
（ＬＶ）が５０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲となるようにさ
れる。

【００３７】図３は、本発明のフッ化硫黄の分解処理方
法を実施するための分解処理システムの一例を示す構成
図である。図３のフッ化硫黄の分解処理システムにおい
て、フッ化硫黄を含有するガス、酸素及び／または水蒸
気は、各々フッ化硫黄導入ライン６、酸素及び／または
水蒸気導入ライン７からフッ化硫黄の分解処理装置９に
導入され、フッ化硫黄が分解処理された後、分解ガスの
排出ライン１１により排出される。尚、本発明の第一の
形態によりＳＦ_６の分解処理を行なう場合は、酸素及び
／または水蒸気導入ライン７を使用することなく分解処
理を行なうこともできる。本発明においては、腐食性ガ
スが排出しないので、図３に示すように分解処理前のフ
ッ化硫黄を含有するガスと分解処理後のガスを熱交換器
により熱交換させることが可能である。また、硫黄酸化
物、フッ化水素等の腐食性ガスを浄化するための装置が
不要である。

【００３８】

【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらにより限定されるものではない。

【００３９】実施例１（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）及び酸化カルシウム（純
度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数
の比（Ａｌ／Ｃａ）が、１．０となるように混合した。
混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油
圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力
で３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破
砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過
し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを分解処理
剤とした。

【００４０】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処
理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）
を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００４１】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定した結
果２２．９時間であった。これより分解処理剤１Ｌ（リ
ットル）当たりに対するＳＦ_６の分解処理量（Ｌ）（分
解処理能力）を求めた。また、ＨＦの排出の有無、硫黄
酸化物の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）に
より調査した。これらの結果を表１に示す。

【００４２】実施例２，３実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化カルシウムの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｃ
ａ）が各々０．５、２．０となるように混合したほか
は、実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これ
らの分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＳＦ_６
の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４３】実施例４，５実施例１の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にし
てＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表１に
示す。

【００４４】実施例６実施例１の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４に
替えたほかは実施例１と同様にしてフッ化硫黄の分解処
理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４５】実施例７〜１４実施例１の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム（実施例７）、酸化ストロン
チウム（実施例８）、水酸化カルシウム（実施例９）、
水酸化マグネシウム（実施例１０）、水酸化ストロンチ
ウム（実施例１１）、炭酸カルシウム（実施例１２）、
炭酸マグネシウム（実施例１３）、炭酸ストロンチウム
（実施例１４）に替えたほかは実施例１と同様にして分
解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実
施例１と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なった。
その結果を表１に示す。

【００４６】実施例１５（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化カルシ
ウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕
し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジ
ャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０
秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破砕し
て、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し
２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化カルシ
ウムの造粒物とした。これらを原子数の比（Ａｌ／Ｃ
ａ）が１．０となるように混合して分解処理剤を得た。

【００４７】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）
を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００４８】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
２に示す。

【００４９】実施例１６，１７実施例１５の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムの造粒物と酸化カルシウムの造粒物を、原子数の比
（Ａｌ／Ｃａ）が各々０．５、２．０となるように混合
したほかは、実施例１５と同様にして分解処理剤を調製
した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１５と同様
にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表
２に示す。

【００５０】実施例１８，１９実施例１５の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１５と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表２
に示す。

【００５１】実施例２０実施例１５の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例１５と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。

【００５２】実施例２１〜２８実施例１５の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム（実施例２１）、酸化ストロ
ンチウム（実施２２）、水酸化カルシウム（実施例２
３）、水酸化マグネシウム（実施例２４）、水酸化スト
ロンチウム（実施例２５）、炭酸カルシウム（実施例２
６）、炭酸マグネシウム（実施例２７）、炭酸ストロン
チウム（実施例２８）に替えたほかは実施例１５と同様
にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用
いて、実施例１５と同様にしてＳＦ _６の分解処理試験を
行なった。その結果を表２に示す。

【００５３】実施例２９（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の
酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になる
まで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた
後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の
圧力で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤
を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを
通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化
カルシウムの造粒物から成る処理剤とした。

【００５４】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理装
置の内部に、図２のような構成で原子数の比（Ａｌ／Ｃ
ａ）が１．０となるように交互に４層ずつ充填した（全
充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８
００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）
を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／
ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理
装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００５５】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
３に示す。

【００５６】実施例３０，３１実施例２９の分解処理試験における酸化アルミニウムの
原子数と酸化カルシウムの原子数の比（Ａｌ／Ｃａ）
が、各々０．５、２．０となるように処理剤を積層した
ほかは、実施例２９と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験
を行なった。その結果を表３に示す。

【００５７】実施例３２，３３実施例２９の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２９と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表３
に示す。

【００５８】実施例３４実施例２９の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例２９と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。

【００５９】実施例３５〜４２実施例２９の処理剤の調製における酸化カルシウムを、
各々酸化マグネシウム（実施例３５）、酸化ストロンチ
ウム（実施３６）、水酸化カルシウム（実施例３７）、
水酸化マグネシウム（実施例３８）、水酸化ストロンチ
ウム（実施例３９）、炭酸カルシウム（実施例４０）、
炭酸マグネシウム（実施例４１）、炭酸ストロンチウム
（実施例４２）に替えたほかは実施例２９と同様にして
処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例２
９と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その
結果を表３に示す。

【００６０】実施例４３実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００６１】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
４に示す。

【００６２】実施例４４，４５実施例４３の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例４３と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表４
に示す。

【００６３】実施例４６〜５３実施例１の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム（実施例４６）、酸化ストロ
ンチウム（実施例４７）、水酸化カルシウム（実施例４
８）、水酸化マグネシウム（実施例４９）、水酸化スト
ロンチウム（実施例５０）、炭酸カルシウム（実施例５
１）、炭酸マグネシウム（実施例５２）、炭酸ストロン
チウム（実施例５３）に替えたほかは実施例１と同様に
して分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用い
て、実施例４３と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行
なった。その結果を表４に示す。

【００６４】実施例５４実施例１５と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００６５】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
５に示す。

【００６６】実施例５５，５６実施例５４の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例５４と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表５
に示す。

【００６７】実施例５７〜６４実施例１５の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム（実施例５７）、酸化ストロ
ンチウム（実施５８）、水酸化カルシウム（実施例５
９）、水酸化マグネシウム（実施例６０）、水酸化スト
ロンチウム（実施例６１）、炭酸カルシウム（実施例６
２）、炭酸マグネシウム（実施例６３）、炭酸ストロン
チウム（実施例６４）に替えたほかは実施例１５と同様
にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用
いて、実施例５４と同様にしてＳＦ _６の分解処理試験を
行なった。その結果を表５に示す。

【００６８】実施例６５実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分
解した。

【００６９】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
６に示す。

【００７０】実施例６６，６７実施例６５の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例６５と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表６
に示す。

【００７１】実施例６８実施例６５の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例６５と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表６に示す。

【００７２】実施例６９，７０実施例１の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替え
たほかは実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。
これらの分解処理剤を用いて、実施例６５と同様にして
ＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表６に示
す。

【００７３】実施例７１〜７３実施例６５、６９、７０の分解処理試験における分解処
理装置への導入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及
び水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは各々
の実施例と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なっ
た。その結果を表６に示す。

【００７４】実施例７４実施例１５と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分
解した。

【００７５】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
７に示す。

【００７６】実施例７５，７６実施例７４の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例７４と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表７
に示す。

【００７７】実施例７７実施例７４の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例７４と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。

【００７８】実施例７８，７９実施例１５の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替え
たほかは実施例１５と同様にして分解処理剤を調製し
た。これらの分解処理剤を用いて、実施例７４と同様に
してＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結果を表７
に示す。

【００７９】実施例８０〜８２実施例７４、７８、７９の分解処理試験における分解処
理装置への導入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及
び水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは各々
の実施例と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なっ
た。その結果を表７に示す。

【００８０】実施例８３実施例２９と同様にして調製した処理剤を、内径４２ｍ
ｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理装置の
内部に、図２のような構成で原子数の比（Ａｌ／Ｃａ）
が１．０となるように交互に４層ずつ充填した（全充填
長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８００
℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含
有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処
理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００８１】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
８に示す。

【００８２】実施例８４，８５実施例２９の処理剤の調製における酸化カルシウムを、
各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替えたほ
かは実施例２９と同様にして処理剤を調製した。これら
の処理剤を用いて、実施例８３と同様にしてＳＦ_６の分
解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。

【００８３】実施例８６〜８８実施例８３〜８５の分解処理試験における分解処理装置
への導入ガスを、ＳＦ _６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含
有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素
（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは各々の実施例
と同様にしてＳＦ _６の分解処理試験を行なった。その結
果を表８に示す。

【００８４】実施例８９〜９１実施例８３〜８５の分解処理試験における分解処理装置
への導入ガスを、ＳＦ _６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含
有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは各々の実施例
と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行なった。その結
果を表８に示す。

【００８５】実施例９２〜９４実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験
を行なった。その結果を表９に示す。

【００８６】実施例９５〜９７実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例４３と同様にしてＳＦ_６の分解処理試
験を行なった。その結果を表９に示す。

【００８７】実施例９８〜１００実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例７１と同様にしてＳＦ_６の分解処理試
験を行なった。その結果を表９に示す。

【００８８】実施例１０１〜１０３実施例１５の分解処理剤の調製における平均細孔直径１
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直
径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１
５と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処
理剤を用いて、実施例１５と同様にしてＳＦ_６の分解処
理試験を行なった。その結果を表１０に示す。

【００８９】実施例１０４〜１０６実施例２９の処理剤の調製における平均細孔直径１３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Å
の細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの
細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例２９と
同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用い
て、実施例２９と同様にしてＳＦ_６の分解処理試験を行
なった。その結果を表１１に示す。

【００９０】比較例１市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理
装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填し
た。分解処理装置の分解処理剤の温度を８００℃に加熱
した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導
入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００９１】この間、実施例１と同様にＳＦ_６の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管（（株）ガス
テック製）により調査した。その結果を表１２に示す。

【００９２】比較例２市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理
装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填し
た。分解処理装置の分解処理剤の温度を８００℃に加熱
した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導
入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び
酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入し
てＳＦ_６を分解した。

【００９３】この間、実施例１と同様にＳＦ_６の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管（（株）ガス
テック製）により調査した。その結果を表１２に示す。

【００９４】

【表１】

【００９５】

【表２】

【００９６】

【表３】

【００９７】

【表４】

【００９８】

【表５】

【００９９】

【表６】

【０１００】

【表７】

【０１０１】

【表８】

【０１０２】

【表９】

【０１０３】

【表１０】

【０１０４】

【表１１】

【０１０５】

【表１２】

【０１０６】

【発明の効果】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤及び分
解処理方法により、半導体製造工程等から排出される排
ガスに含まれるＳＦ_６等のフッ化硫黄を、短時間で分解
処理剤が失活することなく、硫黄酸化物、フッ化水素等
の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の
比較的低い温度で、９９．９％以上の分解率で分解する
ことが可能になった。また、分解処理装置から排出する
分解ガスに硫黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスが含
まれないため、これを浄化するための浄化装置が不要と
なるほか、分解処理前のフッ化硫黄を含有するガスと分
解処理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可
能となり熱エネルギーの損失を抑制することができるよ
うになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法を実施する
ための分解処理装置の例を示す断面図

【図２】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法を実施する
ための図１以外の分解処理装置の例を示す断面図

【図３】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法を実施する
ための分解処理システムの例を示す構成図

【符号の説明】

１酸化アルミニウムとアルカリ土類金属化合物（また
は酸化物）を混合し造粒して成る造粒物２酸化アルミニウムの造粒物３アルカリ土類金属化合物（または酸化物）の造粒物４ヒーター５温度センサー６フッ化硫黄導入ライン７酸素及び／または水蒸気導入ライン８熱交換器９フッ化硫黄の分解処理装置１０温度制御器１１分解ガスの排出ライン１２冷却器１３ブロワー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ０１Ｊ 27/232 Ｂ０１Ｊ 37/04 １０１ 35/10 ３０１Ｃ０１Ｂ 17/45 Ｇ 37/00 Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４Ｃ 37/04 １０１ＺＡＢＣ０１Ｂ 17/45 53/36 Ｄ (72)発明者越智幸史神奈川県平塚市田村5181番地日本パイオニクス株式会社平塚研究所内Ｆターム(参考） 4D002 AA22 AA23 AC10 BA03 CA07 CA08 CA09 DA04 DA05 DA06 DA08 DA11 DA12 DA16 DA19 DA35 DA70 GA01 GB03 GB12 4D048 AA11 AB03 AC06 AC10 BA03X BA15X BA41X BA45X BB01 BB17 DA03 DA06 4G069 AA03 AA08 BA01A BA01B BB04A BB04B BB16A BB16B BC08A BC09B BC10B BC11A BC12B BC13A CA02 CA10 CA19 DA06 EA02X EA02Y EC14X EC14Y EC15X EC15Y FA01 FB07 FB61 FB64 FC08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属
の酸化物を有効成分として含むことを特徴とするフッ化
硫黄の分解処理剤。
【請求項２】酸化アルミニウム及び加熱分解されてア
ルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物
を有効成分として含むことを特徴とするフッ化硫黄の分
解処理剤。
【請求項３】酸化アルミニウムとアルカリ土類金属の
酸化物を混合し造粒して成る請求項１に記載のフッ化硫
黄の分解処理剤。
【請求項４】酸化アルミニウムと、加熱分解されてア
ルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物
を、混合し造粒して成る請求項２に記載のフッ化硫黄の
分解処理剤。
【請求項５】酸化アルミニウムの造粒物とアルカリ土
類金属の酸化物の造粒物を混合して成る請求項１に記載
のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項６】酸化アルミニウムの造粒物と、加熱分解
されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金
属化合物の造粒物を、混合して成る請求項２に記載のフ
ッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項７】分解処理剤に含まれるアルミニウムとア
ルカリ土類金属の原子数の比（Ａｌ／Ｍ）が、０．１〜
１０である請求項１または請求項２に記載のフッ化硫黄
の分解処理剤（Ａｌはアルミニウム原子数を表わし、Ｍ
はベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチ
ウム、バリウムの原子数を表わす）。
【請求項８】酸化アルミニウムが、平均細孔直径５０
〜２００Åの細孔を有する酸化アルミニウムである請求
項１または請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項９】加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化
物となるアルカリ土類金属化合物が、アルカリ土類金属
の水酸化物または炭酸塩である請求項２に記載のフッ化
硫黄の分解処理剤。
【請求項１０】分解処理剤中の重量割合として、有効
成分が７０％以上含まれる請求項１または請求項２に記
載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１１】フッ化硫黄が六フッ化硫黄である請求
項１または請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１２】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を
有効成分として含む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄
を分解することを特徴とするフッ化硫黄の分解処理方
法。
【請求項１３】フッ化硫黄を含有するガスを、酸素及
び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウ
ム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む
分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを特
徴とするフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項１４】加熱する前の分解処理剤が、酸化アル
ミニウムと、アルカリ土類金属の酸化物または加熱分解
されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金
属化合物を、混合し造粒して成る分解処理剤である請求
項１２または請求項１３に記載のフッ化硫黄の分解処理
方法。
【請求項１５】加熱する前の分解処理剤が、酸化アル
ミニウムの造粒物と、アルカリ土類金属の酸化物または
加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカ
リ土類金属化合物の造粒物を、混合して成る分解処理剤
である請求項１２または請求項１３に記載のフッ化硫黄
の分解処理方法。
【請求項１６】フッ化硫黄を含有するガスと分解処理
剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求項１２
または請求項１３に記載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項１７】失活した分解処理剤を順次反応系から
排出するとともに、新規分解処理剤を反応系に供給する
請求項１２または請求項１３に記載のフッ化硫黄の分解
処理方法。
【請求項１８】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤
と交互に接触させてフッ化硫黄を分解することを特徴と
するフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項１９】フッ化硫黄を含有するガスを、酸素及
び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウ
ムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の
酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触させて
フッ化硫黄を分解することを特徴とするフッ化硫黄の分
解処理方法。
【請求項２０】加熱する前の、アルカリ土類金属の酸
化物を有効成分として含む処理剤が、アルカリ土類金属
の酸化物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化
物となるアルカリ土類金属化合物の造粒物から成る処理
剤である請求項１８または請求項１９に記載のフッ化硫
黄の分解処理方法。
【請求項２１】フッ化硫黄を含有するガスと処理剤の
接触温度が、３００〜１０００℃である請求項１８また
は請求項１９に記載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２２】加熱分解されてアルカリ土類金属の酸
化物となるアルカリ土類金属化合物が、アルカリ土類金
属の水酸化物または炭酸塩である請求項１４、請求項１
５または請求項２０に記載のフッ化硫黄の分解処理方
法。
【請求項２３】分解処理前のフッ化硫黄を含有するガ
スと分解処理後のガスを熱交換させる請求項１２、請求
項１３、請求項１８または請求項１９に記載のフッ化硫
黄の分解処理方法。
【請求項２４】フッ化硫黄が六フッ化硫黄である請求
項１２、請求項１３、請求項１８または請求項１９に記
載のフッ化硫黄の分解処理方法。