JP2002353094A - 照明光学装置および露光装置 - Google Patents
照明光学装置および露光装置Info
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 迷光を防止し，照度均一性の高い照明光学装
置および該照明光学装置を備えた露光装置を提供するこ
と。 【解決手段】 光源４０は，中央を交点とする十字状の
非発光部４０ａと，非発光部４０ａにより分割された４
つの発光部４０ｂを有する。伝達光学系５０は光源４０
からの光束をフライアイレンズ６０へ導く。フライアイ
レンズ６０は，正方形の有効開口を有し，アレイ状に配
列された複数の要素レンズ６０ａから構成される。有効
開口の正方形の辺方向と，光源４０の非発光部４０ａの
十字方向は一致している。前述のような非発光部４０ａ
を有するため，フライアイレンズ６０に入射する光束は
全て，各要素レンズ６０ａの互いに隣接する面に対して
非平行となる。要素レンズ６０ａ間の隙間を通過する迷
光は発生しない。
置および該照明光学装置を備えた露光装置を提供するこ
と。 【解決手段】 光源４０は，中央を交点とする十字状の
非発光部４０ａと，非発光部４０ａにより分割された４
つの発光部４０ｂを有する。伝達光学系５０は光源４０
からの光束をフライアイレンズ６０へ導く。フライアイ
レンズ６０は，正方形の有効開口を有し，アレイ状に配
列された複数の要素レンズ６０ａから構成される。有効
開口の正方形の辺方向と，光源４０の非発光部４０ａの
十字方向は一致している。前述のような非発光部４０ａ
を有するため，フライアイレンズ６０に入射する光束は
全て，各要素レンズ６０ａの互いに隣接する面に対して
非平行となる。要素レンズ６０ａ間の隙間を通過する迷
光は発生しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，例えば半導体素子
や液晶表示素子，撮像素子，ＣＣＤ素子，薄膜磁気ヘッ
ド等のマイクロデバイスをフォトリソグラフィ技術を用
いて製造する際に用いられるのに好適な露光装置および
該露光装置に好適な照明光学装置に関するものである。
や液晶表示素子，撮像素子，ＣＣＤ素子，薄膜磁気ヘッ
ド等のマイクロデバイスをフォトリソグラフィ技術を用
いて製造する際に用いられるのに好適な露光装置および
該露光装置に好適な照明光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】前述の技術分野における露光装置では，
照明条件の最適化が重要な要素となっている。なかで
も，被照射面における照度均一性と，コヒーレンスファ
クターの調整は良好なデバイスを製造するために重要で
ある。要素レンズをアレイ状に配列したフライアイレン
ズ等の光学素子は，被照射面の照度分布を均一にし，光
束を所定の形状に効率よく整形でき，かつ必要なコヒー
レンスファクターを得ることができる。これより，前述
の技術分野においては，フライアイレンズが広く用いら
れてきた。特開平６−６１１２１号公報には露光装置に
フライアイレンズを適用した例が示されている。
照明条件の最適化が重要な要素となっている。なかで
も，被照射面における照度均一性と，コヒーレンスファ
クターの調整は良好なデバイスを製造するために重要で
ある。要素レンズをアレイ状に配列したフライアイレン
ズ等の光学素子は，被照射面の照度分布を均一にし，光
束を所定の形状に効率よく整形でき，かつ必要なコヒー
レンスファクターを得ることができる。これより，前述
の技術分野においては，フライアイレンズが広く用いら
れてきた。特開平６−６１１２１号公報には露光装置に
フライアイレンズを適用した例が示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来，フライアイレン
ズを組み立てる際には，要素レンズが互いに動かないよ
うに，要素レンズ側面に接着剤を塗布し，側面同士を張
り合わせる組み立て法が一般に用いられてきた。一方，
前述した分野では，投影パターンの微細化が著しく進ん
でいる。それに伴い，露光時に使用する光源の波長が次
第に短くなり，以下に述べるようなＵＶ光（Ｕｌｔｒａ
Ｖｉｏｌｅｔ光）が用いられるようになた。すなわ
ち，現在では２４８．４ｎｍという波長の光が用いら
れ，最先端の分野では１９３．３ｎｍという波長の光が
用いられている。また，次世代の露光装置では１５７．
６ｎｍという波長の光が検討されている。
ズを組み立てる際には，要素レンズが互いに動かないよ
うに，要素レンズ側面に接着剤を塗布し，側面同士を張
り合わせる組み立て法が一般に用いられてきた。一方，
前述した分野では，投影パターンの微細化が著しく進ん
でいる。それに伴い，露光時に使用する光源の波長が次
第に短くなり，以下に述べるようなＵＶ光（Ｕｌｔｒａ
Ｖｉｏｌｅｔ光）が用いられるようになた。すなわ
ち，現在では２４８．４ｎｍという波長の光が用いら
れ，最先端の分野では１９３．３ｎｍという波長の光が
用いられている。また，次世代の露光装置では１５７．
６ｎｍという波長の光が検討されている。
【０００４】ところが，フライアイレンズの要素レンズ
側面の接着剤にこれらのＵＶ光があたると，接着剤の成
分がガスとして発散し，光学系各部で光化学反応を起こ
す。その結果，光学系の透過率が低下してしまう。これ
より，これらのＵＶ光を用いる光学系では，要素レンズ
の固定に接着剤を用いることはできない。
側面の接着剤にこれらのＵＶ光があたると，接着剤の成
分がガスとして発散し，光学系各部で光化学反応を起こ
す。その結果，光学系の透過率が低下してしまう。これ
より，これらのＵＶ光を用いる光学系では，要素レンズ
の固定に接着剤を用いることはできない。
【０００５】よって，これらのＵＶ光を用いる光学系で
は，フライアイレンズは接着剤を用いずに組み立てざる
をえない。そこで，実際には図９や図１０に示すような
方法により組み立てられている。図９に示す方法では，
フライアイレンズ６００を組み立て後に最外側の要素レ
ンズ６０２の側面方向に板状部材６０４を押接し，ビス
６０６等で圧力をかけて各要素レンズ６０２間の摩擦に
より形状を保持する。図１０に示す方法では，フライア
イレンズ６００の入射面および射出面に配置された２枚
の板ガラス６０８により，要素レンズ６０２を挟み込ん
で押さえる。
は，フライアイレンズは接着剤を用いずに組み立てざる
をえない。そこで，実際には図９や図１０に示すような
方法により組み立てられている。図９に示す方法では，
フライアイレンズ６００を組み立て後に最外側の要素レ
ンズ６０２の側面方向に板状部材６０４を押接し，ビス
６０６等で圧力をかけて各要素レンズ６０２間の摩擦に
より形状を保持する。図１０に示す方法では，フライア
イレンズ６００の入射面および射出面に配置された２枚
の板ガラス６０８により，要素レンズ６０２を挟み込ん
で押さえる。
【０００６】図９，図１０に示す方法をとる場合，各要
素レンズの形状に多少の製造誤差がのるために，要素レ
ンズ間に隙間が生じる。光源からの光の一部は要素レン
ズを通らずに，この隙間を通過してしまう。以下，この
隙間を通過した光を迷光と称する。迷光は設計上では制
御できないものであるため，一般に被照射面での照度均
一性を悪化させる。露光装置においてこのような迷光が
生じると，露光したパターンの均一性が悪化する。
素レンズの形状に多少の製造誤差がのるために，要素レ
ンズ間に隙間が生じる。光源からの光の一部は要素レン
ズを通らずに，この隙間を通過してしまう。以下，この
隙間を通過した光を迷光と称する。迷光は設計上では制
御できないものであるため，一般に被照射面での照度均
一性を悪化させる。露光装置においてこのような迷光が
生じると，露光したパターンの均一性が悪化する。
【０００７】接着剤を用いてフライアイレンズを組み立
てていた場合は，各要素レンズ間は接着剤で満たされ，
接着剤が遮光物となり，迷光が発生することはなかっ
た。そこで，迷光を防ぐために，図１１に示すように，
格子状の遮光部材６１０でフライアイレンズ６００覆う
方法が考えられる。図中の矢印は遮光部材６１０をフラ
イアイレンズ６００に装着することを意味する。しかし
ながら，実際には隙間のみを遮光することは困難であ
り，フライアイレンズの有効領域の一部も必ず同時に遮
光してしまい，光量損失となってしまう。よって，この
方法は特に高いスループットが要求される半導体用露光
装置において望ましくないものである。
てていた場合は，各要素レンズ間は接着剤で満たされ，
接着剤が遮光物となり，迷光が発生することはなかっ
た。そこで，迷光を防ぐために，図１１に示すように，
格子状の遮光部材６１０でフライアイレンズ６００覆う
方法が考えられる。図中の矢印は遮光部材６１０をフラ
イアイレンズ６００に装着することを意味する。しかし
ながら，実際には隙間のみを遮光することは困難であ
り，フライアイレンズの有効領域の一部も必ず同時に遮
光してしまい，光量損失となってしまう。よって，この
方法は特に高いスループットが要求される半導体用露光
装置において望ましくないものである。
【０００８】本発明は，このような問題に鑑みてなされ
たものであり，その目的とするところは，迷光を防止
し，照度均一性の高い照明光学装置および該照明光学装
置を備えた露光装置を提供することにある。
たものであり，その目的とするところは，迷光を防止
し，照度均一性の高い照明光学装置および該照明光学装
置を備えた露光装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明の第１発明は，被照射面を照明するための照
明光学装置において，アレイ状に配列された複数の光学
素子を有するインテグレータと，前記インテグレータの
前記複数の光学素子の互いに隣接する面に対して非平行
となる光束を前記インテグレータへ導く光束供給手段と
を備え，前記インテグレータは，前記照明光学装置が備
える波面分割型インテグレータのうち最も前記被照射面
側に配置されるインテグレータであることを特徴とする
照明光学装置を提供する。
に，本発明の第１発明は，被照射面を照明するための照
明光学装置において，アレイ状に配列された複数の光学
素子を有するインテグレータと，前記インテグレータの
前記複数の光学素子の互いに隣接する面に対して非平行
となる光束を前記インテグレータへ導く光束供給手段と
を備え，前記インテグレータは，前記照明光学装置が備
える波面分割型インテグレータのうち最も前記被照射面
側に配置されるインテグレータであることを特徴とする
照明光学装置を提供する。
【００１０】このように，インテグレータの光学素子の
互いに隣接する面（以下，隣接面と称する）に対して平
行な光線をインテグレータへ入射させないようにすれ
ば，隣接する光学素子間の隙間を通過する迷光は生じな
いことになる。また，最も被照射面側に配置されるイン
テグレータに適用することにより，効果的に迷光を防止
できる。ここで，アレイ状に配列された複数の光学素子
を有するインテグレータとは，例えばフライアイレンズ
やマイクロレンズアレイ等を意味し，その場合，光学素
子とは，フライアイレンズやマイクロレンズアレイを構
成する個々の要素レンズのことを意味する。
互いに隣接する面（以下，隣接面と称する）に対して平
行な光線をインテグレータへ入射させないようにすれ
ば，隣接する光学素子間の隙間を通過する迷光は生じな
いことになる。また，最も被照射面側に配置されるイン
テグレータに適用することにより，効果的に迷光を防止
できる。ここで，アレイ状に配列された複数の光学素子
を有するインテグレータとは，例えばフライアイレンズ
やマイクロレンズアレイ等を意味し，その場合，光学素
子とは，フライアイレンズやマイクロレンズアレイを構
成する個々の要素レンズのことを意味する。
【００１１】第１発明の好ましい態様によれば，前記光
束供給手段は，光源と，該光源からの光束を前記非平行
となる光束に変換する光束変換手段とを備える。この光
束変換手段としては，プリズム，回折光学素子，ミラー
等，様々な手段を用いることができる。
束供給手段は，光源と，該光源からの光束を前記非平行
となる光束に変換する光束変換手段とを備える。この光
束変換手段としては，プリズム，回折光学素子，ミラー
等，様々な手段を用いることができる。
【００１２】また，本発明の第２の発明は，マスク上に
形成された所定のパターンを感光性基板へ転写する露光
装置において，上記記載の照明光学装置を用いて前記被
照射面に設定された前記マスクを照明することを特徴と
する露光装置を提供する。かかる構成によれば，迷光が
生じないため，照度均一性の高い状態で露光でき，良好
にパターンを転写することができる。
形成された所定のパターンを感光性基板へ転写する露光
装置において，上記記載の照明光学装置を用いて前記被
照射面に設定された前記マスクを照明することを特徴と
する露光装置を提供する。かかる構成によれば，迷光が
生じないため，照度均一性の高い状態で露光でき，良好
にパターンを転写することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の典型的な照明光学装置の
形態によれば，フライアイレンズに入射する光束を，光
束供給手段により，フライアイレンズを構成する要素レ
ンズの隣接面に非平行となるようにする。そして，この
ような光束が入射するフライアイレンズを照明光学装置
が備えるフライアイレンズのなかでも，最も被照射面側
に配置するようにする。
形態によれば，フライアイレンズに入射する光束を，光
束供給手段により，フライアイレンズを構成する要素レ
ンズの隣接面に非平行となるようにする。そして，この
ような光束が入射するフライアイレンズを照明光学装置
が備えるフライアイレンズのなかでも，最も被照射面側
に配置するようにする。
【００１４】適切に製造されたフライアイレンズであれ
ば，各要素レンズ間の隙間は非常に狭い。このため，こ
の隙間を通過可能な光線のＮＡ（開口数）は，隣接面と
垂直な方向について見ると，極めて０に近い。迷光は，
この極めて０に近いＮＡ内に属する光線である。また，
各要素レンズ間の隙間は，隣接面に囲まれている。よっ
て，迷光は隣接面とほぼ平行な光線で，隙間を通過する
光線である。以上のことから，隣接面と平行な光線を排
除すれば，迷光は発生しないことになる。言い換えれ
ば，フライアイレンズに入射する光束を隣接面に非平行
とすれば，迷光は発生せず，被照射面を照度均一性高い
状態で照明することができる。
ば，各要素レンズ間の隙間は非常に狭い。このため，こ
の隙間を通過可能な光線のＮＡ（開口数）は，隣接面と
垂直な方向について見ると，極めて０に近い。迷光は，
この極めて０に近いＮＡ内に属する光線である。また，
各要素レンズ間の隙間は，隣接面に囲まれている。よっ
て，迷光は隣接面とほぼ平行な光線で，隙間を通過する
光線である。以上のことから，隣接面と平行な光線を排
除すれば，迷光は発生しないことになる。言い換えれ
ば，フライアイレンズに入射する光束を隣接面に非平行
とすれば，迷光は発生せず，被照射面を照度均一性高い
状態で照明することができる。
【００１５】以下，図面に基づいて本発明の実施の形態
を詳細に説明する。なお，以下の説明及び添付図面にお
いて，略同一の機能及び構成を有する構成要素について
は，同一符号を付すことにより，重複説明を省略する。
図１は，本発明の第１の実施の形態に係る照明光学装置
の要部構成図である。本照明光学装置は，光路に沿って
順に，光源４０，伝達光学系５０，フライアイレンズ６
０を有する。
を詳細に説明する。なお，以下の説明及び添付図面にお
いて，略同一の機能及び構成を有する構成要素について
は，同一符号を付すことにより，重複説明を省略する。
図１は，本発明の第１の実施の形態に係る照明光学装置
の要部構成図である。本照明光学装置は，光路に沿って
順に，光源４０，伝達光学系５０，フライアイレンズ６
０を有する。
【００１６】光源４０は，中央を交点とする十字状の非
発光部４０ａを有し，その非発光部４０ａにより分割さ
れた矩形状の４つの発光部４０ｂを有する。非発光部４
０ａは発光しない部分であり，この部分から光線が射出
することはない。発光部４０ｂは発光する部分であり，
この部分から光線が射出する。図１において，発光部４
０ｂを斜線部で示す。
発光部４０ａを有し，その非発光部４０ａにより分割さ
れた矩形状の４つの発光部４０ｂを有する。非発光部４
０ａは発光しない部分であり，この部分から光線が射出
することはない。発光部４０ｂは発光する部分であり，
この部分から光線が射出する。図１において，発光部４
０ｂを斜線部で示す。
【００１７】伝達光学系５０は光源４０から射出した光
束をフライアイレンズ６０へ伝達する光学系である。こ
こでは，説明を簡単にするために，伝達光学系５０の物
体側焦平面に光源４０を，像側焦平面にフライアイレン
ズ６０の入射面を配置しているが，必ずしもこのように
配置する必要はない。
束をフライアイレンズ６０へ伝達する光学系である。こ
こでは，説明を簡単にするために，伝達光学系５０の物
体側焦平面に光源４０を，像側焦平面にフライアイレン
ズ６０の入射面を配置しているが，必ずしもこのように
配置する必要はない。
【００１８】フライアイレンズ６０は，アレイ状に配列
された複数の要素レンズ６０ａから構成される。ここで
は説明を簡単にするために，要素レンズ６０ａの有効開
口の形状を正方形とし，要素レンズ６０ａは入射面と射
出面の開口形状が同一で，光軸ＡＸ方向に長辺を有する
直方体形状とする。
された複数の要素レンズ６０ａから構成される。ここで
は説明を簡単にするために，要素レンズ６０ａの有効開
口の形状を正方形とし，要素レンズ６０ａは入射面と射
出面の開口形状が同一で，光軸ＡＸ方向に長辺を有する
直方体形状とする。
【００１９】ここで，全系の光軸ＡＸは，光源４０の中
央，すなわち非発光部４０ａの十字の交点を通り，伝達
光学系５０の光軸，フライアイレンズ６０の光軸と一致
している。なお，光源４０の非発光部４０ａの十字方向
と，フライアイレンズ６０の要素レンズ６０ａの有効開
口の辺方向とは一致するよう配置されている。
央，すなわち非発光部４０ａの十字の交点を通り，伝達
光学系５０の光軸，フライアイレンズ６０の光軸と一致
している。なお，光源４０の非発光部４０ａの十字方向
と，フライアイレンズ６０の要素レンズ６０ａの有効開
口の辺方向とは一致するよう配置されている。
【００２０】光源４０から射出した光は伝達光学系５０
を介してフライアイレンズ６０に入射し，複数の要素レ
ンズにより，二次元的に分割され，フライアイレンズ６
０の後側焦平面に多数の光源像を形成する。その結果，
フライアイレンズ６０の後側焦平面は重畳的に照明され
る。この後側焦平面を被照射面，あるいは被照射面と共
役な面と考えることができる。
を介してフライアイレンズ６０に入射し，複数の要素レ
ンズにより，二次元的に分割され，フライアイレンズ６
０の後側焦平面に多数の光源像を形成する。その結果，
フライアイレンズ６０の後側焦平面は重畳的に照明され
る。この後側焦平面を被照射面，あるいは被照射面と共
役な面と考えることができる。
【００２１】ここで，迷光について考える。迷光となり
うるのは，前述のように，隣接面と平行な光線である。
図１に示すような光学系では，フライアイレンズ６０に
入射する光線の傾きは，光線が射出する光源４０上の位
置により決まる。光源４０の非発光部４０ａの十字方向
と，フライアイレンズ６０の要素レンズ６０ａの有効開
口の辺方向とは一致しているので，各要素レンズ６０ａ
の隣接面と平行になる光線は，光源４０上の中央を交点
とする十字状を射出した光線のみである。ところが，こ
の部分は発光しない非発光部４０ａとなっているので，
隣接面と平行になる光線が射出することはない。よっ
て，光源４０の発光部４０ｂから射出してフライアイレ
ンズ６０に入射する光束は全て，各要素レンズ６０ａの
隣接面と非平行である。以上のことから，本実施の形態
によれば，迷光が発生することはなく，照度均一性の高
い照明光学装置を提供できる。
うるのは，前述のように，隣接面と平行な光線である。
図１に示すような光学系では，フライアイレンズ６０に
入射する光線の傾きは，光線が射出する光源４０上の位
置により決まる。光源４０の非発光部４０ａの十字方向
と，フライアイレンズ６０の要素レンズ６０ａの有効開
口の辺方向とは一致しているので，各要素レンズ６０ａ
の隣接面と平行になる光線は，光源４０上の中央を交点
とする十字状を射出した光線のみである。ところが，こ
の部分は発光しない非発光部４０ａとなっているので，
隣接面と平行になる光線が射出することはない。よっ
て，光源４０の発光部４０ｂから射出してフライアイレ
ンズ６０に入射する光束は全て，各要素レンズ６０ａの
隣接面と非平行である。以上のことから，本実施の形態
によれば，迷光が発生することはなく，照度均一性の高
い照明光学装置を提供できる。
【００２２】次に，本発明の第２の実施の形態に係る露
光装置について，図２を参照しながら説明する。本実施
の形態は本発明を適用してマスク面を照明する露光装置
であり，図２はその概略構成を示す図である。図２にお
いてはＸＹＺ座標系を採用している。図に座標軸を示す
ように，ウエハ１２の法線方向に沿ってＺ軸を，ウエハ
１２面内において図２の紙面に平行な方向にＹ軸を，ウ
エハ１２面内において図２の紙面に垂直な方向にＸ軸を
それぞれ設定して，Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向を定義してい
る。
光装置について，図２を参照しながら説明する。本実施
の形態は本発明を適用してマスク面を照明する露光装置
であり，図２はその概略構成を示す図である。図２にお
いてはＸＹＺ座標系を採用している。図に座標軸を示す
ように，ウエハ１２の法線方向に沿ってＺ軸を，ウエハ
１２面内において図２の紙面に平行な方向にＹ軸を，ウ
エハ１２面内において図２の紙面に垂直な方向にＸ軸を
それぞれ設定して，Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向を定義してい
る。
【００２３】光源１はレーザ光源であり，平行光を発す
る。光源１を発した光束は伝達光学系２に入射する。伝
達光学系２では，光束の断面を所定の形状および大きさ
に変換する。折り返しミラーＭ１により偏向された光束
は光束分岐プリズム３により分岐された後，方向性光拡
散素子４により所定方向に拡散され，伝達光学系５を介
してフライアイレンズ６に入射する。ここでは，伝達光
学系５の物体側焦平面に方向性光拡散素子４を，像側焦
平面にフライアイレンズ６の入射面を配置しているが，
この配置は必ずしも限定的なものではない。
る。光源１を発した光束は伝達光学系２に入射する。伝
達光学系２では，光束の断面を所定の形状および大きさ
に変換する。折り返しミラーＭ１により偏向された光束
は光束分岐プリズム３により分岐された後，方向性光拡
散素子４により所定方向に拡散され，伝達光学系５を介
してフライアイレンズ６に入射する。ここでは，伝達光
学系５の物体側焦平面に方向性光拡散素子４を，像側焦
平面にフライアイレンズ６の入射面を配置しているが，
この配置は必ずしも限定的なものではない。
【００２４】フライアイレンズ６は第１の実施の形態の
フライアイレンズ６０と同様の構成を有し，各要素レン
ズの有効開口の辺方向はここでは，Ｘ方向，Ｚ方向と一
致している。フライアイレンズ６に入射した光束は，要
素レンズにより二次元的に分割され，フライアイレンズ
６の後側焦平面に多数の光源像を形成する。その結果，
フライアイレンズ６の後側焦平面は重畳的に照明され
る。
フライアイレンズ６０と同様の構成を有し，各要素レン
ズの有効開口の辺方向はここでは，Ｘ方向，Ｚ方向と一
致している。フライアイレンズ６に入射した光束は，要
素レンズにより二次元的に分割され，フライアイレンズ
６の後側焦平面に多数の光源像を形成する。その結果，
フライアイレンズ６の後側焦平面は重畳的に照明され
る。
【００２５】フライアイレンズ６を射出した光束は開口
絞り７および視野絞り９により光束径を制限されつつ，
コンデンサ光学系８，１０により伝達され，途中，折り
返しミラーＭ２により偏向された後，マスク１１を重畳
的に照明する。マスク１１上にはパターンが形成されて
おり，この照明光により，ミクロンオーダーでマスク１
１に近接配置されたレジストを塗布した基板であるウエ
ハ１２上にパターンが転写される。なお，ここでは，マ
スクとウエハが近接配置されたプロキシミティ型露光装
置を例に挙げたが，マスクとウエハの間にマスクのパタ
ーンをウエハ上に投影する投影光学系を配置した露光装
置であってもよい。
絞り７および視野絞り９により光束径を制限されつつ，
コンデンサ光学系８，１０により伝達され，途中，折り
返しミラーＭ２により偏向された後，マスク１１を重畳
的に照明する。マスク１１上にはパターンが形成されて
おり，この照明光により，ミクロンオーダーでマスク１
１に近接配置されたレジストを塗布した基板であるウエ
ハ１２上にパターンが転写される。なお，ここでは，マ
スクとウエハが近接配置されたプロキシミティ型露光装
置を例に挙げたが，マスクとウエハの間にマスクのパタ
ーンをウエハ上に投影する投影光学系を配置した露光装
置であってもよい。
【００２６】以下に，本発明の主要部である光束分岐プ
リズム３，方向性光拡散素子４，伝達光学系５，フライ
アイレンズ６部分の構成，作用，効果について詳細に述
べる。光束分岐プリズム３は，光源側の面，マスク側の
面それぞれが４つの屈折面をからなり，角錐形状に構成
されている。さらに詳細には，４つの屈折面は，光軸Ａ
Ｘ上の一点を頂点とし，かつ４本の稜線がＸＹ面内，Ｙ
Ｚ面内に存在する四角錐の角錐面（底面を除く側面）に
相当する。
リズム３，方向性光拡散素子４，伝達光学系５，フライ
アイレンズ６部分の構成，作用，効果について詳細に述
べる。光束分岐プリズム３は，光源側の面，マスク側の
面それぞれが４つの屈折面をからなり，角錐形状に構成
されている。さらに詳細には，４つの屈折面は，光軸Ａ
Ｘ上の一点を頂点とし，かつ４本の稜線がＸＹ面内，Ｙ
Ｚ面内に存在する四角錐の角錐面（底面を除く側面）に
相当する。
【００２７】光軸ＡＸに平行な光束が光束分岐プリズム
３に入射すると，射出する光束はＸ方向，Ｚ方向の両方
向に分割された形状となり，光軸ＡＸを中心としてＸ
軸，Ｚ軸を含む十字状の部分には光束が存在しない。よ
って，光束分岐プリズム３を射出した直後の光束が光軸
ＡＸに垂直な面内に形成する照野は，十字状の暗部によ
り分割された４つの照野となる。そして，このときの暗
部の十字方向はＸ方向，Ｚ方向と一致している。すなわ
ち，光束分岐プリズム３は，図１の光源４０の発光部４
０ｂと同様の形状の照野を形成し，光束変換手段として
の機能を果たす。
３に入射すると，射出する光束はＸ方向，Ｚ方向の両方
向に分割された形状となり，光軸ＡＸを中心としてＸ
軸，Ｚ軸を含む十字状の部分には光束が存在しない。よ
って，光束分岐プリズム３を射出した直後の光束が光軸
ＡＸに垂直な面内に形成する照野は，十字状の暗部によ
り分割された４つの照野となる。そして，このときの暗
部の十字方向はＸ方向，Ｚ方向と一致している。すなわ
ち，光束分岐プリズム３は，図１の光源４０の発光部４
０ｂと同様の形状の照野を形成し，光束変換手段として
の機能を果たす。
【００２８】方向性光拡散素子４はここでは，一例とし
て回折光学素子により構成されている。上述のような照
野を形成する光束が方向性光拡散素子４に入射すると，
方向性光拡散素子４から射出する光束は図１の光源４０
から射出される光束と同様の形状となる。すなわち，光
源からの光を受けて発光するか，自ら発光するかの違い
はあるものの，方向性光拡散素子４は図１の光源４０と
全く同様の機能を有する。よって，図２の方向性光拡散
素子４，伝達光学系５，フライアイレンズ６は，それぞ
れ図１の光源４０，伝達光学系５０，フライアイレンズ
６０と同様の作用を有すると考えることができる。
て回折光学素子により構成されている。上述のような照
野を形成する光束が方向性光拡散素子４に入射すると，
方向性光拡散素子４から射出する光束は図１の光源４０
から射出される光束と同様の形状となる。すなわち，光
源からの光を受けて発光するか，自ら発光するかの違い
はあるものの，方向性光拡散素子４は図１の光源４０と
全く同様の機能を有する。よって，図２の方向性光拡散
素子４，伝達光学系５，フライアイレンズ６は，それぞ
れ図１の光源４０，伝達光学系５０，フライアイレンズ
６０と同様の作用を有すると考えることができる。
【００２９】以上より，本実施の形態によれば，光束分
岐プリズム３，方向性光拡散素子４を用いることによ
り，第１の実施の形態と同様に，隣接面に非平行な光束
をフライアイレンズに入射させることができ，迷光を防
ぐことができる。よって，本実施の形態においては，被
照射面となるマスク面を照度均一性良く照明することが
できる。また，本実施の形態では遮光せずに光束を分割
しているため，遮光による光量損失が全く無く，光源か
らの光を有効に活用できる。
岐プリズム３，方向性光拡散素子４を用いることによ
り，第１の実施の形態と同様に，隣接面に非平行な光束
をフライアイレンズに入射させることができ，迷光を防
ぐことができる。よって，本実施の形態においては，被
照射面となるマスク面を照度均一性良く照明することが
できる。また，本実施の形態では遮光せずに光束を分割
しているため，遮光による光量損失が全く無く，光源か
らの光を有効に活用できる。
【００３０】なお，本実施の形態における露光装置は，
１つのフライアイレンズしか含んでいないが，複数のフ
ライアイレンズを含む場合には，最もマスク側に配置さ
れるフライアイレンズに対して前述のように入射光束を
制御するものとする。
１つのフライアイレンズしか含んでいないが，複数のフ
ライアイレンズを含む場合には，最もマスク側に配置さ
れるフライアイレンズに対して前述のように入射光束を
制御するものとする。
【００３１】図３は，本発明の第３の実施の形態に係る
露光装置の要部構成図である。本実施の形態は，第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３を２つのマルチ
プリズム３０ａ，３０ｂに置き換えたものである。図３
は第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開
口絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の
部分に関しては図２のものと同様であるので，図示およ
び説明を省略する。
露光装置の要部構成図である。本実施の形態は，第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３を２つのマルチ
プリズム３０ａ，３０ｂに置き換えたものである。図３
は第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開
口絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の
部分に関しては図２のものと同様であるので，図示およ
び説明を省略する。
【００３２】マルチプリズム３０ａ，３０ｂは，２次元
的に配置された小さな多数のプリズムが一体構成となっ
たものである。図３に示すように，所定の傾斜角度を有
するマルチプリズム３０ａ，３０ｂを所定の距離をもた
せて配置する。これより，マルチプリズム３０ａ，３０
ｂはそれぞれ，図２の光束分岐プリズム３の光源側の
面，マスク側の面における屈折作用と同様の作用を光束
に施すことができる
的に配置された小さな多数のプリズムが一体構成となっ
たものである。図３に示すように，所定の傾斜角度を有
するマルチプリズム３０ａ，３０ｂを所定の距離をもた
せて配置する。これより，マルチプリズム３０ａ，３０
ｂはそれぞれ，図２の光束分岐プリズム３の光源側の
面，マスク側の面における屈折作用と同様の作用を光束
に施すことができる
【００３３】よって，本実施の形態においても第２の実
施の形態と同様の効果が得られる。さらに，本実施の形
態においては第２の実施の形態に比べ，光束分岐プリズ
ム３を２つのマルチプリズム３０ａ，３０ｂに置換する
ことにより，軽量化を図ることができる。
施の形態と同様の効果が得られる。さらに，本実施の形
態においては第２の実施の形態に比べ，光束分岐プリズ
ム３を２つのマルチプリズム３０ａ，３０ｂに置換する
ことにより，軽量化を図ることができる。
【００３４】図４は，本発明の第４の実施の形態に係る
露光装置の要部構成図である。本実施の形態は，第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３を２つの回折光
学素子３２ａ，３２ｂに置き換えたものである。図４は
第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開口
絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の部
分に関しては図２のものと同様であるので，図示および
説明を省略する。
露光装置の要部構成図である。本実施の形態は，第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３を２つの回折光
学素子３２ａ，３２ｂに置き換えたものである。図４は
第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開口
絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の部
分に関しては図２のものと同様であるので，図示および
説明を省略する。
【００３５】２つの回折光学素子３２ａ，３２ｂは，光
路中に所定距離をもって配置することにより，図２の光
束分岐プリズム３による光束変換機能と同様の機能を有
するように構成されている。よって，本実施の形態にお
いても第２の実施の形態と同様の効果が得られる。ま
た，本実施の形態においても第３の実施の形態同様，軽
量化を図ることができる。
路中に所定距離をもって配置することにより，図２の光
束分岐プリズム３による光束変換機能と同様の機能を有
するように構成されている。よって，本実施の形態にお
いても第２の実施の形態と同様の効果が得られる。ま
た，本実施の形態においても第３の実施の形態同様，軽
量化を図ることができる。
【００３６】図５は，本発明の第５の実施の形態に係る
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，複数
のミラーを用いることにより，光束を分割する。本実施
の形態では，折り返しミラーＭ１は無くてもよい。図５
は第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開
口絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の
部分に関しては図２のものと同様の構成をとることがで
きるので，図示および説明を省略する。
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，複数
のミラーを用いることにより，光束を分割する。本実施
の形態では，折り返しミラーＭ１は無くてもよい。図５
は第２の実施の形態における光束分岐プリズム３から開
口絞り７までの部分に対応する系のみを示す。その他の
部分に関しては図２のものと同様の構成をとることがで
きるので，図示および説明を省略する。
【００３７】部分反射ミラー３４ａ，全反射ミラー３４
ｂは，Ｚ方向に対し４５度傾いて光路中に配置されてい
る。Ｚ方向から部分反射ミラー３４ａに入射する光束
は，部分反射ミラー３４ａにより反射光と透過光とに分
割される。反射光は，方向性光拡散素子４の図５におけ
る光軸ＡＸより下側の部分に入射する。透過光は全反射
ミラー３４ｂで反射された後，方向性光拡散素子４の図
５における光軸ＡＸより上側の部分に入射する。このよ
うにしてＺ方向において，光軸ＡＸを中心にして光束を
分割することができる。ここで，不図示の光学手段によ
り部分反射ミラー３４ａに入射する光束をあらかじめ光
軸ＡＸを中心にしてＸ方向に分割されたものとしておけ
ば，方向性光拡散素子４に入射する光束の断面形状を図
１の発光部４０ｂと同様の形状にすることができる。よ
って，本実施の形態においても第２の実施の形態と同様
の効果が得られる。
ｂは，Ｚ方向に対し４５度傾いて光路中に配置されてい
る。Ｚ方向から部分反射ミラー３４ａに入射する光束
は，部分反射ミラー３４ａにより反射光と透過光とに分
割される。反射光は，方向性光拡散素子４の図５におけ
る光軸ＡＸより下側の部分に入射する。透過光は全反射
ミラー３４ｂで反射された後，方向性光拡散素子４の図
５における光軸ＡＸより上側の部分に入射する。このよ
うにしてＺ方向において，光軸ＡＸを中心にして光束を
分割することができる。ここで，不図示の光学手段によ
り部分反射ミラー３４ａに入射する光束をあらかじめ光
軸ＡＸを中心にしてＸ方向に分割されたものとしておけ
ば，方向性光拡散素子４に入射する光束の断面形状を図
１の発光部４０ｂと同様の形状にすることができる。よ
って，本実施の形態においても第２の実施の形態と同様
の効果が得られる。
【００３８】図６は，本発明の第６の実施の形態に係る
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，複数
のミラーを有し，そのうち一部のミラーを光路に挿脱す
ることにより時間的に光束を分割する。本実施の形態で
は，折り返しミラーＭ１は無くてもよい。図６は第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３から開口絞り７
までの部分に対応する系のみを示す。その他の部分に関
しては図２のものと同様の構成をとることができるの
で，図示および説明を省略する。
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，複数
のミラーを有し，そのうち一部のミラーを光路に挿脱す
ることにより時間的に光束を分割する。本実施の形態で
は，折り返しミラーＭ１は無くてもよい。図６は第２の
実施の形態における光束分岐プリズム３から開口絞り７
までの部分に対応する系のみを示す。その他の部分に関
しては図２のものと同様の構成をとることができるの
で，図示および説明を省略する。
【００３９】全反射ミラー３６ａは可動であり，不図示
の駆動機構により光路に挿脱可能であり，所定時間毎に
挿脱を繰り返すよう構成されている。全反射ミラー３６
ｂは固定されている。全反射ミラー３６ａが光路に挿入
された時には，全反射ミラー３６ａ，３６ｂ共にＺ方向
に対し４５度傾いて配置された状態となり，これは図５
に示す部分反射ミラー３４ａ，全反射ミラー３４ｂの配
置と同様である。全反射ミラー３６ａが光路に挿入され
た時は，伝達光学系２からの光束は全反射ミラー３６ａ
により反射され，方向性光拡散素子４の図５における光
軸ＡＸより下側の部分に入射する。全反射ミラー３６ａ
が光路から離脱した時は，伝達光学系２からの光束は全
反射ミラー３６ｂにより反射され，方向性光拡散素子４
の図５における光軸ＡＸより上側の部分に入射する。こ
れらの状態が一定時間毎に繰り返される。よって，この
場合もＺ方向において，光軸ＡＸを中心にして光束を時
間的に分割することができる。なお，全反射ミラー３６
ａの挿脱は微小時間の周期で振動的に行われることが好
ましい。
の駆動機構により光路に挿脱可能であり，所定時間毎に
挿脱を繰り返すよう構成されている。全反射ミラー３６
ｂは固定されている。全反射ミラー３６ａが光路に挿入
された時には，全反射ミラー３６ａ，３６ｂ共にＺ方向
に対し４５度傾いて配置された状態となり，これは図５
に示す部分反射ミラー３４ａ，全反射ミラー３４ｂの配
置と同様である。全反射ミラー３６ａが光路に挿入され
た時は，伝達光学系２からの光束は全反射ミラー３６ａ
により反射され，方向性光拡散素子４の図５における光
軸ＡＸより下側の部分に入射する。全反射ミラー３６ａ
が光路から離脱した時は，伝達光学系２からの光束は全
反射ミラー３６ｂにより反射され，方向性光拡散素子４
の図５における光軸ＡＸより上側の部分に入射する。こ
れらの状態が一定時間毎に繰り返される。よって，この
場合もＺ方向において，光軸ＡＸを中心にして光束を時
間的に分割することができる。なお，全反射ミラー３６
ａの挿脱は微小時間の周期で振動的に行われることが好
ましい。
【００４０】ここで，第５の実施の形態と同様に，不図
示の光学手段により全反射ミラー３６ａに入射する光束
をあらかじめ光軸ＡＸを中心にしてＸ方向に分割された
ものとしておけば，方向性光拡散素子４に入射する光束
の断面形状を図１の発光部４０ｂと同様の形状にするこ
とができる。よって，本実施の形態においても第２の実
施の形態と同様の効果が得られる。さらに，光源からの
光束を時間分割することにより，干渉性のノイズを低減
することができ，被照射面における照度均一性をいっそ
う向上させることができる。
示の光学手段により全反射ミラー３６ａに入射する光束
をあらかじめ光軸ＡＸを中心にしてＸ方向に分割された
ものとしておけば，方向性光拡散素子４に入射する光束
の断面形状を図１の発光部４０ｂと同様の形状にするこ
とができる。よって，本実施の形態においても第２の実
施の形態と同様の効果が得られる。さらに，光源からの
光束を時間分割することにより，干渉性のノイズを低減
することができ，被照射面における照度均一性をいっそ
う向上させることができる。
【００４１】図７は，本発明の第７の実施の形態に係る
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，第２
の実施の形態における光束分岐プリズム３，方向性光拡
散素子４，伝達光学系５の代わりに回折光学素子３８と
伝達光学系５２が配置されている。図７は第２の実施の
形態における光束分岐プリズム３から開口絞り７までの
部分に対応する系のみを示す。その他の部分に関しては
図２のものと同様であるので，図示および説明を省略す
る。
露光装置の要部構成図である。本実施の形態では，第２
の実施の形態における光束分岐プリズム３，方向性光拡
散素子４，伝達光学系５の代わりに回折光学素子３８と
伝達光学系５２が配置されている。図７は第２の実施の
形態における光束分岐プリズム３から開口絞り７までの
部分に対応する系のみを示す。その他の部分に関しては
図２のものと同様であるので，図示および説明を省略す
る。
【００４２】回折光学素子３８は，角度方向に光束を分
割し，射出光束に所定の角度をもたせるよう構成されて
いる。伝達光学系５２は回折光学素子３８からの光束を
フライアイレンズ６に導く。所定角度をもった光束は隣
接面に対して非平行となるようフライアイレンズ６に入
射する。すなわち，本実施の形態では，回折光学素子３
８により，光束の出射位置ではなく，出射角度を制御す
ることにより，フライアイレンズ６に入射する光束をフ
ライアイレンズ６を構成する要素レンズの隣接面に対し
て非平行となるようにしている。よって，本変形例にお
いても第２の実施の形態と同様の効果が得られる。
割し，射出光束に所定の角度をもたせるよう構成されて
いる。伝達光学系５２は回折光学素子３８からの光束を
フライアイレンズ６に導く。所定角度をもった光束は隣
接面に対して非平行となるようフライアイレンズ６に入
射する。すなわち，本実施の形態では，回折光学素子３
８により，光束の出射位置ではなく，出射角度を制御す
ることにより，フライアイレンズ６に入射する光束をフ
ライアイレンズ６を構成する要素レンズの隣接面に対し
て非平行となるようにしている。よって，本変形例にお
いても第２の実施の形態と同様の効果が得られる。
【００４３】図８は第１の実施の形態の変形例を示す図
である。本照明光学装置は，光路に沿って順に，光源４
２，伝達光学系５０，フライアイレンズ６２を有する。
本実施の形態では，第１の実施の形態と比べ，光源の発
光部・非発光部の形状，フライアイレンズを構成する要
素レンズの有効開口の形状が異なる。以下，この点に着
目しながら説明する。
である。本照明光学装置は，光路に沿って順に，光源４
２，伝達光学系５０，フライアイレンズ６２を有する。
本実施の形態では，第１の実施の形態と比べ，光源の発
光部・非発光部の形状，フライアイレンズを構成する要
素レンズの有効開口の形状が異なる。以下，この点に着
目しながら説明する。
【００４４】光源４２は，中央，および中央から半径方
向に互いに６０度ずつ異なる６方向に沿った放射状の非
発光部４２ａを有する。また，この非発光部４２ａによ
り分割された６つの発光部４２ｂを有する。図２におい
て，発光部４２ｂを斜線部で示す。
向に互いに６０度ずつ異なる６方向に沿った放射状の非
発光部４２ａを有する。また，この非発光部４２ａによ
り分割された６つの発光部４２ｂを有する。図２におい
て，発光部４２ｂを斜線部で示す。
【００４５】伝達光学系５０は光源４２から射出した光
束をフライアイレンズ６２へ伝達する光学系である。こ
こでは，説明を簡単にするために，伝達光学系５０の物
体側焦平面に光源４２を，像側焦平面にフライアイレン
ズ６２の入射面を配置しているが，必ずしもこのように
配置する必要はない。
束をフライアイレンズ６２へ伝達する光学系である。こ
こでは，説明を簡単にするために，伝達光学系５０の物
体側焦平面に光源４２を，像側焦平面にフライアイレン
ズ６２の入射面を配置しているが，必ずしもこのように
配置する必要はない。
【００４６】フライアイレンズ６２は，アレイ状に配列
された複数の要素レンズ６２ａから構成される。要素レ
ンズ６２ａの有効開口は正６角形状をしており，要素レ
ンズ６２ａは入射面と射出面の開口形状が同一で，光軸
ＡＸ方向に長辺を有する正６角柱である。要素レンズ６
２ａの有効開口の６辺の方向と非発光部４２ａの半径方
向の方向と，は一致している。全系の光軸ＡＸは，光源
４２の中央の交点を通り，伝達光学系５０の光軸，フラ
イアイレンズ６２の光軸と一致している。
された複数の要素レンズ６２ａから構成される。要素レ
ンズ６２ａの有効開口は正６角形状をしており，要素レ
ンズ６２ａは入射面と射出面の開口形状が同一で，光軸
ＡＸ方向に長辺を有する正６角柱である。要素レンズ６
２ａの有効開口の６辺の方向と非発光部４２ａの半径方
向の方向と，は一致している。全系の光軸ＡＸは，光源
４２の中央の交点を通り，伝達光学系５０の光軸，フラ
イアイレンズ６２の光軸と一致している。
【００４７】本変形例においても，第１の実施の形態と
同様に考えることができる。迷光となりうるのは，隣接
面と平行な光線である。隣接面と平行な光線は，光源４
２上の非発光部４２ａから射出する光線であるが，この
部分は非発光部となっているため，ここから光線が射出
することはない。光源４２の発光部４２ｂから射出して
フライアイレンズ６２に入射する光束は全て，各要素レ
ンズ６２ａの隣接面と非平行である。よって，迷光が発
生することはなく，この場合も照度均一性の高い照明光
学装置を提供できる。
同様に考えることができる。迷光となりうるのは，隣接
面と平行な光線である。隣接面と平行な光線は，光源４
２上の非発光部４２ａから射出する光線であるが，この
部分は非発光部となっているため，ここから光線が射出
することはない。光源４２の発光部４２ｂから射出して
フライアイレンズ６２に入射する光束は全て，各要素レ
ンズ６２ａの隣接面と非平行である。よって，迷光が発
生することはなく，この場合も照度均一性の高い照明光
学装置を提供できる。
【００４８】以上，添付図面を参照しながら本発明にか
かる好適な実施形態について説明したが，本発明はかか
る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であ
れば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内
において，各種の変更例または修正例に想到し得ること
は明らかであり，それらについても当然に本発明の技術
的範囲に属するものと了解される。
かる好適な実施形態について説明したが，本発明はかか
る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であ
れば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内
において，各種の変更例または修正例に想到し得ること
は明らかであり，それらについても当然に本発明の技術
的範囲に属するものと了解される。
【００４９】例えば，フライアイレンズの要素レンズの
形状は上記例に限るものではなく，要素レンズの形状は
長方形や別の形状であってもよい。
形状は上記例に限るものではなく，要素レンズの形状は
長方形や別の形状であってもよい。
【００５０】
【発明の効果】以上，詳細に説明したように本発明によ
れば，迷光を防止し，照度均一性の高い照明光学装置お
よび該照明光学装置を備えた露光装置を提供できる。ま
た，遮光手段を用いないため，遮光による光量損失がな
く，光源からの光を有効に活用可能な照明光学装置およ
び該照明光学装置を備えた露光装置を提供できる。
れば，迷光を防止し，照度均一性の高い照明光学装置お
よび該照明光学装置を備えた露光装置を提供できる。ま
た，遮光手段を用いないため，遮光による光量損失がな
く，光源からの光を有効に活用可能な照明光学装置およ
び該照明光学装置を備えた露光装置を提供できる。
【図１】 本発明の第１の実施の形態に係る照明光学装
置の要部構成図である。
置の要部構成図である。
【図２】 本発明の第２の実施の形態に係る露光装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図３】 本発明の第３の実施の形態に係る露光装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
【図４】 本発明の第４の実施の形態に係る露光装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
【図５】 本発明の第５の実施の形態に係る露光装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
【図６】 本発明の第６の実施の形態に係る露光装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
【図７】 本発明の第７の実施の形態に係る露光装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
【図８】 第１の実施の形態の変形例を示す図である。
【図９】 従来のフライアイレンズの組み立て方法を説
明する図である。
明する図である。
【図１０】 従来のフライアイレンズの組み立て方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図１１】 従来のフライアイレンズの迷光防止法を説
明する図である。
明する図である。
１，４０ 光源 ２，５，５０ 伝達光学系 ３ 光束分岐プリズム ４ 方向性光拡散素子 ６，６０ フライアイレンズ ７ 開口絞り ８，１０ コンデンサ光学系 ９ 視野絞り １１ マスク １２ ウエハ ４０ａ 非発光部 ４０ｂ 発光部 ６０ａ 要素レンズ
Claims (3)
- 【請求項１】 被照射面を照明するための照明光学装置
において，アレイ状に配列された複数の光学素子を有す
るインテグレータと，前記インテグレータの前記複数の
光学素子の互いに隣接する面に対して非平行となる光束
を前記インテグレータへ導く光束供給手段とを備え，前
記インテグレータは，前記照明光学装置が備える波面分
割型インテグレータのうち最も前記被照射面側に配置さ
れるインテグレータであることを特徴とする照明光学装
置。 - 【請求項２】 前記光束供給手段は，光源と，該光源か
らの光束を前記非平行となる光束に変換する光束変換手
段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の照明光
学装置。 - 【請求項３】 マスク上に形成された所定のパターンを
感光性基板へ転写する露光装置において，請求項１また
は２に記載の照明光学装置を用いて前記被照射面に設定
された前記マスクを照明することを特徴とする露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001152581A JP2002353094A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | 照明光学装置および露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001152581A JP2002353094A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | 照明光学装置および露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002353094A true JP2002353094A (ja) | 2002-12-06 |
Family
ID=18997223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001152581A Withdrawn JP2002353094A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | 照明光学装置および露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002353094A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528463A (ja) * | 2007-05-25 | 2010-08-19 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | マイクロリソグラフィのための投影対物器械、その投影対物器械を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置、構成要素のためのマイクロリソグラフィ製造方法、並びにその方法を用いて製造される構成要素 |
-
2001
- 2001-05-22 JP JP2001152581A patent/JP2002353094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528463A (ja) * | 2007-05-25 | 2010-08-19 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | マイクロリソグラフィのための投影対物器械、その投影対物器械を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置、構成要素のためのマイクロリソグラフィ製造方法、並びにその方法を用いて製造される構成要素 |
| JP2012060155A (ja) * | 2007-05-25 | 2012-03-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | マイクロリソグラフィのための投影対物器械、その投影対物器械を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置、構成要素のためのマイクロリソグラフィ製造方法、並びにその方法を用いて製造される構成要素 |
| US9063439B2 (en) | 2007-05-25 | 2015-06-23 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection objective for microlithography with stray light compensation and related methods |
| KR101544224B1 (ko) | 2007-05-25 | 2015-08-21 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 마이크로리소그래피에 대한 투영 대물 렌즈, 상기 투영 대물 렌즈를 가진 마이크로리소그래피 투영 노출 장치, 구성 요소에 대한 마이크로리소그래피 제조 방법, 및 상기 방법으로 제조된 구성 요소 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080805 |