JP2002228032A - Flow control valve - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は空気調和装置、冷凍
冷蔵庫等に接続されて冷媒等の流量、または気体(酸
素、窒素、アルゴン、二酸化炭素、ハロゲン、ブタン
等)、もしくは液体(水、オイル等)、気体液体混合状
態のあらゆる流体の流量を制御する超音波モータ利用の
流量制御弁に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow rate of a refrigerant or the like connected to an air conditioner, a refrigerator or the like, or a gas (oxygen, nitrogen, argon, carbon dioxide, halogen, butane, etc.) or a liquid (water, oil, etc.). Etc.) and a flow control valve using an ultrasonic motor for controlling the flow rate of any fluid in a gas-liquid mixed state.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、圧電素子を超音波領域の高周波
電圧で駆動する超音波モータを制御弁に組み合せると、
小型で制御性の優れた制御弁を構成することができる。
図5、図6は従来の超音波モータを用いた制御弁の一例
であり本出願人が特願平11−190576号にて出願
している。以下、従来の流量制御弁の構成を図5に基づ
き説明する。2. Description of the Related Art In general, when an ultrasonic motor for driving a piezoelectric element with a high-frequency voltage in an ultrasonic region is combined with a control valve,
A control valve that is small and has excellent controllability can be configured.
FIGS. 5 and 6 show an example of a conventional control valve using an ultrasonic motor, which has been filed by the present applicant in Japanese Patent Application No. 11-190576. Hereinafter, the configuration of a conventional flow control valve will be described with reference to FIG.
【0003】従来技術における制御弁は、制御弁本体1
と圧電素子2と該制御弁本体1に収納されるロータ3と
駆動子4および弁体5とにより構成され、前記ロータ3
は耐摩耗材料からなるライニング材6を介して、駆動子
4側に適宜な付勢手段によって圧接されている。前記制
御弁本体1は、弾性体7とバルブボディ8と弁口9を有
するバルブシート10とが各々溶接等により密閉構造に
接合して形成したものである。また、前記弾性体7の上
面には圧電素子2もしくは電歪素子が接合されて振動子
11を構成すると共に、弾性体7の下面には駆動子4が
設けられている。また、前記弁体5は、前記駆動子4側
に付勢されたロータ3と共回りして弁口9の開度を制御
できるものである。また、12は該バルブボディ8に取
り付けられた流入管、13は弁口9に接続された流出管
である。[0003] The control valve in the prior art is a control valve body 1.
, A piezoelectric element 2, a rotor 3 housed in the control valve body 1, a driver 4, and a valve body 5.
Is pressed against the driver 4 side by a suitable urging means via a lining material 6 made of a wear-resistant material. The control valve main body 1 is formed by joining an elastic body 7, a valve body 8, and a valve seat 10 having a valve port 9 to a hermetically sealed structure by welding or the like. A piezoelectric element 2 or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the elastic member 7 to form a vibrator 11, and a driver 4 is provided on the lower surface of the elastic member 7. Further, the valve element 5 can control the opening degree of the valve port 9 by rotating together with the rotor 3 urged toward the driver 4 side. Reference numeral 12 denotes an inflow pipe attached to the valve body 8, and reference numeral 13 denotes an outflow pipe connected to the valve port 9.
【0004】14はスラストスプリングであり、駆動子
4側およびバルブシート10側にスラスト荷重を与え、
かつ該スラストスプリング14はロータ3および弁体5
の回転と共回りさせるようになっている。15は弁体5
の中心部に形成された円筒状の穴に挿入されたスプリン
グであり、該スプリングを介してボール16をバルブシ
ート10の中心部に形成された凹部17に当接させてい
る。なお、スラストスプリング14は、スプリング15
に比べ、ばね力が大きく設定してあるので、常時弁体5
の下面をバルブシート10に圧接するとともに、常時ロ
ータ3を介して駆動子4の方向にも圧接している。A thrust spring 14 applies a thrust load to the driver 4 side and the valve seat 10 side.
Further, the thrust spring 14 includes the rotor 3 and the valve body 5.
It is designed to rotate with the rotation of. 15 is the valve element 5
A spring is inserted into a cylindrical hole formed at the center of the valve seat, and the ball 16 is brought into contact with a concave portion 17 formed at the center of the valve seat 10 via the spring. In addition, the thrust spring 14 includes a spring 15
Since the spring force is set to be larger than that of
Is pressed against the valve seat 10 and is also constantly pressed against the driver 4 via the rotor 3.
【0005】図6は、前記の弁体として用いた弁体の下
面図を示している。この発明におけるバルブシート10
は、中心から半径rの位置に弁口9が設けられている。
該弁体5の下面には、図5に示すように、中心より半径
rの同心円上の約3/4に渡ってバルブシート10との
距離が順次大きくなる(溝が深くなる)ように一定幅Wの
流通溝18を形成するとともに、該流通溝18の最終端
部(S部)は、弁体5の外周側面まで延長されている。
なお、このS部は、流入管12から入った流体を弁体5
の流通溝18へ結ぶ経路であり、該流通溝18に入った
流体は弁口9を通り流出管13へと流れる。また、弁体
5とロータ3の対向する嵌合部は、例えば、互いに逆向
きの階段状の切欠き等を形成してはめ合せることによ
り、ロータ3の回転運動を確実に弁体5へ伝達するよう
になっている。なお、19はボディ10に固定されたス
トッパーピン、20は、圧電素子に給電するリード線で
ある。FIG. 6 shows a bottom view of a valve element used as the above-mentioned valve element. Valve seat 10 according to the present invention
Has a valve port 9 at a position of a radius r from the center.
As shown in FIG. 5, the lower surface of the valve element 5 is fixed so that the distance from the valve seat 10 gradually increases (the groove becomes deeper) over about / of a concentric circle having a radius r from the center. A flow groove 18 having a width W is formed, and a final end (S portion) of the flow groove 18 is extended to the outer peripheral side surface of the valve body 5.
In addition, the S portion is used to transfer the fluid that has entered from the inflow pipe 12 to the valve element 5.
The fluid entering the flow groove 18 flows through the valve port 9 to the outflow pipe 13. Further, the opposed fitting portions of the valve body 5 and the rotor 3 are formed, for example, by forming stepped notches and the like in opposite directions to each other, so that the rotational motion of the rotor 3 is reliably transmitted to the valve body 5. It is supposed to. Reference numeral 19 denotes a stopper pin fixed to the body 10, and reference numeral 20 denotes a lead wire for supplying power to the piezoelectric element.
【0006】次に、従来の制御弁の動作について説明す
る。従来技術の駆動機構は、圧電素子2により駆動子4
が振動し、これによってロータ3が回転する超音波モー
タである。動作原理の説明は省略するが、いわゆる定在
波駆動方式もしくは進行波駆動方式の超音波モータであ
る。従来技術は、このロータ3の回転運動を利用して、
弁体5が回転することにより、バルブシート10の弁口
9と弁体5の流通溝の間隙が変化し、弁口9への流量を
制御するものである。前記弁体5の外周部の一部は、外
側に凸形状を有しており、弁体5の基準位置(全閉状
態)が弁口9に達したときに、バルブシート10に固定
されたストッパーピン19に当接してロータ3の回転が
止まるようになっている。Next, the operation of the conventional control valve will be described. The driving mechanism of the prior art uses a piezoelectric element 2 and a driving element 4.
Vibrates, whereby the rotor 3 rotates. Although the explanation of the operation principle is omitted, it is an ultrasonic motor of a so-called standing wave driving system or a traveling wave driving system. In the prior art, utilizing the rotational movement of the rotor 3,
When the valve element 5 rotates, the gap between the valve port 9 of the valve seat 10 and the flow groove of the valve element 5 changes, and the flow rate to the valve port 9 is controlled. A part of the outer peripheral portion of the valve element 5 has a convex shape outward, and is fixed to the valve seat 10 when the reference position (fully closed state) of the valve element 5 reaches the valve port 9. The rotation of the rotor 3 is stopped by contacting the stopper pin 19.
【0007】以上のように従来の超音波モータによる制
御弁は、弾性体とバルブボディと弁口を有するバルブシ
ートとを各々溶接等により密閉構造にし、弾性体の外部
に圧電素子もしくは電歪素子に超音波領域の電気信号を
印加し、内部の駆動子に圧接されているロータが回転す
ることにより、流入管から入った流体の流出管への流量
を制御している。つまり、圧電素子およびリード線を使
用流体から隔離できるため、電気的絶縁手段が不要とな
る利点を有するとともに、振動子の形状が弁構造の一部
であるバルブボディを兼ねた形状であるから、部品点数
の大幅な低減が図れた小型で安価な制御弁である。As described above, in a conventional control valve using an ultrasonic motor, an elastic body, a valve body and a valve seat having a valve port are each hermetically sealed by welding or the like, and a piezoelectric element or an electrostrictive element is provided outside the elastic body. An electric signal in the ultrasonic region is applied to the rotor, and a rotor pressed against an internal driving element rotates to control the flow rate of the fluid entering from the inflow pipe to the outflow pipe. That is, since the piezoelectric element and the lead wire can be isolated from the working fluid, there is an advantage that an electrical insulating means is not required, and since the shape of the vibrator also serves as a valve body which is a part of the valve structure, This is a small and inexpensive control valve that has greatly reduced the number of parts.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、使用流
体が特に水などの液体の場合においては、振動子である
弾性体の駆動側表面が使用流体にさらされ、振動子の共
振周波数が駆動周波数から変化して振動子で発生した振
動エネルギーのほとんどが使用流体に伝搬する事象が発
生する。つまり、振動子本来の共振周波数であるロータ
を駆動する周波数と相違し、ロータが回転しないという
現象が発生する可能性があった。本発明は、上記のよう
な問題点を解決するためになされたものであり、その目
的は、使用流体が水などの液体の場合においても圧電素
子およびリード線を使用流体から隔離した気密構造を保
持し、使用流体中にロータを配置したままで、安定的に
ロータの回転を実現する超音波モータによる制御弁を提
供することにある。However, when the working fluid is a liquid such as water, the driving side surface of the elastic body, which is a vibrator, is exposed to the working fluid, and the resonance frequency of the vibrator is changed from the driving frequency. An event occurs in which most of the vibration energy generated by the vibrator changes and propagates to the working fluid. That is, there is a possibility that a phenomenon that the rotor does not rotate may occur, which is different from the frequency for driving the rotor which is the original resonance frequency of the vibrator. The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an airtight structure in which a piezoelectric element and a lead wire are isolated from a working fluid even when the working fluid is a liquid such as water. An object of the present invention is to provide a control valve using an ultrasonic motor that stably rotates the rotor while holding the rotor and arranging the rotor in the working fluid.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】以上の問題を解決するた
めに、使用流体が水などの液体の場合においても圧電素
子およびリード線を使用流体から隔離した気密構造を保
持した構成で、振動子の駆動面側である弾性体の下面に
コルクシートまたは発泡スチロールもしくは発泡ウレタ
ン等の比重が1.0以下である表皮材を形成することに
より、問題解決の手段とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, a vibrator having a hermetic structure in which a piezoelectric element and a lead wire are kept isolated from a working fluid even when the working fluid is a liquid such as water. By forming a skin material having a specific gravity of 1.0 or less such as cork sheet or styrofoam or urethane foam on the lower surface of the elastic body which is the driving surface side of the above, it is a means for solving the problem.
【0010】つまり、第1の発明に係る制御弁は、弾性
体7とバルブボディ8と少なくとも一つ以上の弁口9を
有するバルブシート10とを各々溶接等により密閉構造
に形成して制御弁本体1を設けるとともに前記弾性体7
の上面に圧電素子2もしくは電歪素子を接合して振動子
11を構成し、該振動子11の振動により回転するロー
タ3と該ロータ3の回転を適宜な付勢手段14によって
前記弁口9との開度を変化させる超音波モータ利用の制
御弁であって、前記弾性体7の下面にコルクシートまた
は発泡スチロールもしくは発泡ウレタン等の比重が1.
0以下である表皮材30を形成したことを特徴とする流
量制御弁である。That is, the control valve according to the first aspect of the present invention is a control valve in which the elastic body 7, the valve body 8, and the valve seat 10 having at least one or more valve ports 9 are each formed in a sealed structure by welding or the like. The main body 1 is provided and the elastic body 7 is provided.
A piezoelectric element 2 or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the vibrator 11 to form a vibrator 11. A control valve using an ultrasonic motor for changing the opening degree of the elastic body 7, wherein a specific gravity of a cork sheet, styrene foam, urethane foam or the like is 1.
A flow control valve characterized in that a skin material 30 of 0 or less is formed.
【0011】また、第2の発明に係る制御弁は、弾性体
7とバルブボディ8と少なくとも一つ以上の弁口9を有
するバルブシート10とを各々Oリング26、27によ
りシール構造を形成し、前記弾性体7と嵌合固定する上
蓋28にて制御弁本体1を設けるとともに前記弾性体7
の上面に圧電素子2もしくは電歪素子を接合して振動子
11を構成し、該振動子11の振動により回転するロー
タ3と該ロータ3の回転を適宜な付勢手段14によって
前記弁口9との開度を変化させる超音波モータ利用の制
御弁であって、前記弾性体7の下面にコルクシートまた
は発泡スチロールもしくは発泡ウレタン等の比重が1.
0以下である表皮材30を形成したことを特徴とする流
量制御弁である。In the control valve according to the second aspect of the present invention, the elastic body 7, the valve body 8, and the valve seat 10 having at least one valve port 9 form a sealing structure by O-rings 26 and 27, respectively. The control valve body 1 is provided with an upper lid 28 fitted and fixed to the elastic body 7 and the elastic body 7 is provided.
A piezoelectric element 2 or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the vibrator 11 to form a vibrator 11. A control valve using an ultrasonic motor for changing the opening degree of the elastic body 7, wherein a specific gravity of a cork sheet, styrene foam, urethane foam or the like is 1.
A flow control valve characterized in that a skin material 30 of 0 or less is formed.
【0012】また、第3の発明に係る制御弁は、前記振
動子の圧電素子もしくは電歪素子に超音波領域の電気信
号を印加した際に発生する振動波の少なくとも一つの節
円位置近傍に位置するようにバルブボディにシール用凸
部31を設け、該凸部31と弾性体7の下面に配置した
表皮材30とにより前記弾性体7とバルブボディ8を気
密的にシールすると共にバルブボディ8とバルブシート
10をOリング27にて気密的にシールしたことを特徴
とする請求項2記載の流量制御弁である。The control valve according to a third aspect of the present invention is arranged such that a control valve is provided near at least one nodal circle position of a vibration wave generated when an electric signal in an ultrasonic range is applied to a piezoelectric element or an electrostrictive element of the vibrator. A sealing projection 31 is provided on the valve body so as to be located, and the elastic body 7 and the valve body 8 are hermetically sealed by the projection 31 and the skin material 30 arranged on the lower surface of the elastic body 7 and the valve body is provided. 3. The flow control valve according to claim 2, wherein the valve seat and the valve seat are hermetically sealed with an O-ring.
【0013】また、第4の発明に係る制御弁は、弾性体
7とバルブボディ8並びに弁口を有するバルブシート1
0とを各々Oリング26,27により気密的にシール
し、弾性体7の下面にコルクシートまたは発泡スチロー
ルもしくは発泡ウレタン等の比重が1.0以下である表
皮材30を形成すると共に、前記弾性体7の上面中心に
スリーブ29を一体的もしくは別体にて設け、該スリー
ブ29を介して弾性体7の上方に上蓋28を嵌合固定し
て制御弁本体1を設け、前記制御弁本体1のバルブシー
ト10には流出管につながる弁口9を設けるとともに、
前記バルブシート10もしくはバルブボディ8に流入管
12を設け、前記弾性体7の上面に圧電素2子もしくは
電歪素子を接合して振動子11を構成させると共に弾性
体7の下面に駆動子4を設け、前記制御弁本体内1に
は、適宜な付勢手段14によって前記駆動子側に付勢さ
れたロータ3と該ロータ3と共回りをする弁体5を設
け、前記駆動子4に圧接されてなるロータ3の回転によ
り流出管13への流量を制御するようにしたことを特徴
とするものである。A control valve according to a fourth aspect of the present invention provides a valve seat 1 having an elastic body 7, a valve body 8, and a valve port.
0 are hermetically sealed by O-rings 26 and 27, respectively, and a cork sheet or a skin material 30 such as styrene foam or urethane foam having a specific gravity of 1.0 or less is formed on the lower surface of the elastic body 7 and the elastic body 7 is formed. A sleeve 29 is provided integrally or separately at the center of the upper surface of the control valve 7, and the control valve body 1 is provided by fitting and fixing the upper lid 28 above the elastic body 7 via the sleeve 29. The valve seat 10 is provided with a valve port 9 connected to the outflow pipe,
An inflow pipe 12 is provided in the valve seat 10 or the valve body 8, and a piezoelectric element or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the elastic body 7 to form a vibrator 11. A rotor 3 urged toward the driver by a suitable urging means 14 and a valve element 5 co-rotating with the rotor 3 are provided in the control valve body 1. It is characterized in that the flow rate to the outflow pipe 13 is controlled by the rotation of the pressed rotor 3.
【0014】[0014]
【発明の作用】本発明によれば、圧電素子およびリード
線を使用流体から隔離した気密構造を保持し、弾性体7
の下面には、コルクシートまたは発泡スチロールもしく
は発泡ウレタン等の比重が1.0以下である表皮材30
が形成されているため使用流体が水などの液体の場合に
おいても、振動子の共振周波数が振動周波数ら変化しな
いので、ロータを確実に回転させることが可能となる。According to the present invention, the piezoelectric element and the lead wire maintain an airtight structure in which the piezoelectric element and the lead wire are separated from the fluid to be used.
A skin material 30 having a specific gravity of 1.0 or less such as cork sheet or styrofoam or urethane foam
Is formed, even when the fluid used is a liquid such as water, the resonance frequency of the vibrator does not change from the vibration frequency, so that the rotor can be reliably rotated.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づき説明する。図1は、本発明の第1の実施例を示した
断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【0016】第1の実施例に係る制御弁について、従来
技術の制御弁との相違点についてのみ説明する。本実施
例の振動子11は、弾性体7と圧電素子2で構成され、
前記弾性体7の下面には駆動子4を設けるとともにコル
クシートまたは発泡スチロールもしくは発泡ウレタン等
の比重が1.0以下である表皮材30を形成している点
が従来技術の制御弁との相違点である。The control valve according to the first embodiment will be described only with respect to differences from the conventional control valve. The vibrator 11 of the present embodiment includes the elastic body 7 and the piezoelectric element 2,
A difference from the control valve of the prior art is that a driver 4 is provided on the lower surface of the elastic body 7 and a skin material 30 having a specific gravity of 1.0 or less such as cork sheet or styrofoam or urethane foam is formed. It is.
【0017】ここで、本発明の表皮材30の働きについ
て具体的に説明する。従来の制御弁においては、使用流
体が水などの液体の場合に、振動子である弾性体の駆動
表面側が使用流体にさらされ、振動子の共振周波数が駆
動周波数から変化して振動子で発生した振動エネルギー
のほとんどが使用流体に伝搬する事象が生じていた。本
発明の制御弁においては、弾性体7の下面に形成された
コルクシートまたは発泡スチロールもしくは発泡ウレタ
ン等の比重が1.0以下の表皮材30を用いているた
め、使用流体である水などの液体を浸透させない材料で
あるから、振動子の共振周波数は、液体が影響されない
ため気体の場合の共振周波数から変化しないことにな
る。したがって、振動子の共振周波数は本来の周波数で
あるロータ駆動の周波数となるため、ロータを回転させ
ることが可能となる。なお、当然のことながら、振動子
の共振周波数は、液体が加味されていない周波数となる
ため振動子で発生した振動エネルギーは使用流体には伝
搬しない。また、本発明の表皮材は、比重が1.0以上
である場合は、その材料の重量により振動子の共振周波
数が変化するだけでなく、振動子の振動エネルギーを減
衰させるように働くので、効率良くロータを駆動できな
い。Here, the function of the skin material 30 of the present invention will be specifically described. In a conventional control valve, when the working fluid is a liquid such as water, the driving surface side of the elastic body that is the vibrator is exposed to the working fluid, and the resonance frequency of the vibrator changes from the driving frequency and is generated by the vibrator. An event occurred in which most of the vibration energy was propagated to the working fluid. In the control valve of the present invention, since the cork sheet formed on the lower surface of the elastic body 7 or the skin material 30 having a specific gravity of 1.0 or less such as styrene foam or urethane foam is used, a liquid such as water which is a used fluid is used. Since the material does not penetrate the liquid, the resonance frequency of the vibrator does not change from the resonance frequency of the gas because the liquid is not affected. Therefore, the resonance frequency of the vibrator becomes the original frequency of the rotor drive, and the rotor can be rotated. It should be noted that the resonance frequency of the vibrator is a frequency to which the liquid is not added, so that the vibration energy generated by the vibrator does not propagate to the fluid used. Further, when the specific gravity is 1.0 or more, the skin material of the present invention not only changes the resonance frequency of the vibrator due to the weight of the material, but also acts to attenuate the vibration energy of the vibrator. The rotor cannot be driven efficiently.
【0018】また、本発明者の実験によると、本実施例
の表皮材を弾性体の下面に形成した場合、使用流体が気
体から液体になっても、共振周波数の変化、共振特性に
おける振動の大きさの変化も認められかった。また、最
も重要であるロータの回転については、気体から液体に
なっても摩擦係数の変化が少ないライニング材を使用し
ているため、液体中にも関わらず、実使用上問題ないロ
ータの回転を達成できている。According to an experiment by the present inventors, when the skin material of the present embodiment is formed on the lower surface of the elastic body, even if the fluid used changes from a gas to a liquid, the change in the resonance frequency and the vibration in the resonance characteristics can be reduced. No change in size was observed. In addition, the most important thing about the rotation of the rotor is to use a lining material that has a small change in the coefficient of friction even when it changes from a gas to a liquid. Achieved.
【0019】次に、本発明の制御弁の動作については、
従来技術の制御弁と全く同じであるため、説明は省略す
る。Next, the operation of the control valve of the present invention will be described.
The description is omitted because it is exactly the same as the control valve of the prior art.
【0020】図2は、本発明の第2の実施例を示したも
のであり、第1の実施例との相違点について説明する。
第2の実施例に係る制御弁は、制御弁本体1を、弾性体
7とバルブボディ8とをOリング26により、一方、弁
口9を有するバルブシート10とバルブボディ8とをO
リング27によりシール構造を形成し、前記弾性体7と
嵌合固定する上蓋28にて構成している点が大きく相違
する。なお、弾性体7の下面には、第1の実施例と同じ
くコルクシートまたは発泡スチロールもしくは発泡ウレ
タン等の比重が1.0以下の表皮材30を形成してい
る。FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. Differences from the first embodiment will be described.
In the control valve according to the second embodiment, the control valve body 1 is connected to the elastic body 7 and the valve body 8 by the O-ring 26, while the valve seat 10 having the valve port 9 is connected to the valve body 8 by the O-ring 26.
The difference is that the seal structure is formed by the ring 27 and the upper cover 28 is fitted and fixed to the elastic body 7. A skin material 30 having a specific gravity of 1.0 or less, such as a cork sheet or styrene foam or urethane foam, is formed on the lower surface of the elastic body 7 as in the first embodiment.
【0021】前記Oリング26の位置は、前記振動子1
1の圧電素子2に超音波領域の電気信号を印加した際に
発生する振動波の少なくとも一つの節円位置25近傍に
Oリング26を配置している。つまり、Oリング26の
配置位置は弾性体7の側面部も考えられる。しかしなが
ら、弾性体7の側面部は、圧電素子2に超音波領域の電
気信号を印加した際に発生する振動が外周部であるため
大きく変位している場所となり、Oリング26のシール
効果が期待できない可能性がある。また、Oリング26
には常に振動が加わることとなり、Oリング26への振
動ストレスによる疲労も懸念される。したがって、振動
子11に発生する振動波の節位置である節円位置25近
傍にOリング26を配置している。The position of the O-ring 26 is
An O-ring 26 is arranged near at least one nodal circle position 25 of a vibration wave generated when an electric signal in an ultrasonic region is applied to one piezoelectric element 2. That is, the position of the O-ring 26 may be the side surface of the elastic body 7. However, the side surface of the elastic body 7 is a place where the vibration generated when an electric signal in the ultrasonic region is applied to the piezoelectric element 2 is greatly displaced because of the outer peripheral portion, and the sealing effect of the O-ring 26 is expected. May not be possible. O-ring 26
Vibrates constantly, and fatigue due to vibration stress on the O-ring 26 is also a concern. Therefore, the O-ring 26 is arranged near the nodal circle position 25 which is the nodal position of the vibration wave generated in the vibrator 11.
【0022】また、第2の実施例では、第1の実施例と
以下の点の構成も変更している。第1の実施例では、流
入管12はバルブボディ8に接続しているが、本実施例
では、バルブシート10に取り付けている。また、第1
の実施例では、弁体5の中心部に形成された円筒状の穴
にスプリング15を挿入し、該スプリングを介してバル
ブシート10の中心部に形成された凹部17にボール1
6を配置し、該弁体5の回転の芯出しを行っていたが、
本実施例では、バルブシート10に圧入等により固定さ
れたシャフト21により、該弁体5の回転の芯を出して
いる。上記の変更点は第1の実施例と同じでも構わない
が、流入管の取付け位置の制約、部品点数、組付性、コ
スト等により適宜選択すれば良い。The second embodiment is different from the first embodiment in the following points. In the first embodiment, the inflow pipe 12 is connected to the valve body 8, but in this embodiment, it is attached to the valve seat 10. Also, the first
In the embodiment, the spring 15 is inserted into a cylindrical hole formed in the center of the valve body 5, and the ball 1 is inserted into the recess 17 formed in the center of the valve seat 10 via the spring.
6 was arranged to center the rotation of the valve body 5,
In this embodiment, the rotation of the valve body 5 is centered by a shaft 21 fixed to the valve seat 10 by press fitting or the like. The above changes may be the same as those in the first embodiment, but may be appropriately selected depending on the restrictions on the mounting position of the inflow pipe, the number of parts, the assemblability, the cost, and the like.
【0023】なお、前記振動子11は、ロータ3を回転
させるために該振動子11の弾性体7を回らないように
回り止めを形成する必要がある。本発明においては、バ
ルブボディ8と弾性体7の間にOリング26を使用して
いるため、該弾性体7の回り止めはバルブボディ8と、
例えば二面幅などにより回り止めを有して嵌合、固定さ
れている上蓋28との間で行うのが適している。なぜな
ら、弾性体7とバルブボディ8の間で回り止めを形成す
ることは可能であるが、この場合、振動子の振動を抑制
することになってしまい、ロータ3の回転を効率良く行
えないという問題が生じるためである。また、弾性体7
と上蓋28との間で行なう回り止めの位置としては、弾
性体7が圧電素子2により振動子11を構成して振動波
を発生するため、振動の節位置で行うのが適切である。
したがって、回り止めを形成しやすく、ロータ3の回転
方向によって変化しない、常時節位置となる中心部が最
適である。弾性体7と上蓋28との間で行なう回り止め
の形状は、一般に知られている方法として、Dカット、
二面幅等が考えられる。しかしながら、弾性体7に設け
た回り止め形状が、振動波の形態つまり、節直径の位置
の出現位置を規制して、ロータ3の回転を抑制すること
が考えられる。以上により、弾性体7および該弾性体7
と嵌合する上蓋の中心部の形状は、前記振動子11の圧
電素子2に超音波領域の電気信号を印加した際に発生す
る振動波の節直径位置と合致させるように各々多角形の
凹凸形状により前記振動子の回り止めを形成している。
また、中心部の形状を六角形にした場合は、振動のバラ
ンスが比較的良いため、節直径位置の出現への影響を低
レベルで行えるため、六角形でも構わない。The vibrator 11 must be provided with a detent to prevent the elastic body 7 of the vibrator 11 from rotating in order to rotate the rotor 3. In the present invention, since the O-ring 26 is used between the valve body 8 and the elastic body 7, the rotation of the elastic body 7 is prevented by the valve body 8,
For example, it is suitable to perform between the upper lid 28 which is fitted and fixed with a detent due to the width across flats or the like. This is because it is possible to form a detent between the elastic body 7 and the valve body 8, but in this case, the vibration of the vibrator is suppressed, and the rotor 3 cannot be rotated efficiently. This is because a problem arises. The elastic body 7
The position of the detent between the upper cover 28 and the upper cover 28 is suitably set at a node position of the vibration because the elastic body 7 forms the vibrator 11 by the piezoelectric element 2 and generates a vibration wave.
Therefore, it is easy to form a detent, and the center part which is always at the nodal position and does not change depending on the rotation direction of the rotor 3 is optimal. The shape of the detent between the elastic body 7 and the upper lid 28 may be D-cut,
The width across flats is conceivable. However, it is conceivable that the rotation preventing shape provided on the elastic body 7 regulates the form of the vibration wave, that is, the appearance position of the position of the nodal diameter, and suppresses the rotation of the rotor 3. As described above, the elastic body 7 and the elastic body 7
The shape of the central portion of the upper lid that fits with each other is polygonal irregularities so as to match the node diameter position of the vibration wave generated when an electric signal in the ultrasonic range is applied to the piezoelectric element 2 of the vibrator 11. The shape of the vibrator prevents rotation.
Further, when the shape of the central portion is a hexagon, the balance of the vibration is relatively good, and the influence on the appearance of the nodal diameter position can be made at a low level.
【0024】図3は、本発明の第3の実施例を示したも
のであり、第2および後述する第4の実施例との相違点
についてのみ説明する。第2および第4の実施例では、
制御弁本体1の弾性体7とバルブボディ8とのシールを
形成するためにOリング26を使用していたが、本実施
例では、振動子の圧電素子もしくは電歪素子に超音波領
域の電気信号を印加した際に発生する振動波の少なくと
も一つの節円位置近傍に位置するようにバルブボディに
シール用凸部31をリング状に設け、該シール用凸部3
1と前記弾性体の下面に配置したコルクシートまたは発
泡スチロールもしくは発泡ウレタン等の比重が1.0以
下である表皮材30との間でシール構造を形成してい
る。第1および第2の実施例と同じく使用流体が液体の
場合において確実にロータを回転させるために、表皮材
30の比重は1.0以下のものを使用する。FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. Only differences from the second and fourth embodiments described below will be described. In the second and fourth embodiments,
Although the O-ring 26 is used to form a seal between the elastic body 7 of the control valve body 1 and the valve body 8, in the present embodiment, the piezoelectric element or the electrostrictive element of the vibrator is electrically connected to the ultrasonic element. A sealing protrusion 31 is provided in a ring shape on the valve body so as to be located in the vicinity of at least one nodal circle position of the vibration wave generated when a signal is applied.
1 and a skin material 30 having a specific gravity of 1.0 or less such as a cork sheet or styrene foam or urethane foam disposed on the lower surface of the elastic body. As in the first and second embodiments, the specific gravity of the skin material 30 is 1.0 or less in order to surely rotate the rotor when the working fluid is a liquid.
【0025】図4は、本発明の第4の実施例を示したも
のであり、弾性体7にスリーブ29を一体もしくは、別
ピースにて構成しているものである。この利点は、スリ
ーブ29により、弾性体7の固定を強固なものにして、
振動波のエネルギーを効率良くロータ3に与えるもので
ある。つまり、第2の実施例では上蓋28が弾性体7の
固定と回り止めの両方を行っているため、振動波のエネ
ルギーの極一部が上蓋28に伝搬することが考えられ
る。第2の実施例は、この点の改善策である。なお、ス
リーブ29と上蓋28は、一般に知られているDカッ
ト、二面幅等により回り止めを形成している。FIG. 4 shows a fourth embodiment of the present invention, in which a sleeve 29 is formed integrally with the elastic body 7 or in a separate piece. The advantage is that the elastic body 7 is firmly fixed by the sleeve 29,
The vibration wave energy is efficiently given to the rotor 3. That is, in the second embodiment, since the upper lid 28 serves to both fix the elastic body 7 and prevent rotation, a very small part of the energy of the vibration wave may be transmitted to the upper lid 28. The second embodiment is a measure for improving this point. Note that the sleeve 29 and the upper lid 28 form a detent by generally known D-cut, two-face width, and the like.
【0026】また、弁体の構成は駆動子側に付勢された
ロータと共回りして弁口の開度を制御できるものであれ
ば、どのような形態でも本発明は成立する。またバルブ
シートに設けられた弁口の数は、1個以上でも本発明は
成立する。The present invention can be realized in any form as long as the configuration of the valve body can control the opening degree of the valve port by rotating together with the rotor biased to the driver side. Further, the present invention is established even if the number of valve ports provided in the valve seat is one or more.
【0027】また特に図示しないが、バルブボディ8、
流入管12、流出管13および、バルブシートを樹脂成
形等により一体に構成したものでも本発明は成立する。Although not particularly shown, the valve body 8,
The present invention can be realized even when the inflow pipe 12, the outflow pipe 13, and the valve seat are integrally formed by resin molding or the like.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上のように、第1、第2、第3および
第4の発明によれば、圧電素子およびリード線を流体か
ら隔離できるため、電気的絶縁手段が不要となる利点を
有するとともに、振動子の形状が弁構造の一部であるバ
ルブボディ部を兼ねた形状であり、なおかつ、使用流体
中に直接ロータを配置しているので部品点数の大幅な低
減が図れる。As described above, according to the first, second, third and fourth aspects of the present invention, the piezoelectric element and the lead wire can be isolated from the fluid, so that there is an advantage that the electric insulating means is not required. At the same time, the vibrator has a shape which also serves as a valve body part which is a part of the valve structure, and the number of parts can be greatly reduced because the rotor is directly disposed in the working fluid.
【0029】また、第2および第3の発明によれば、O
リングによりシール構造を形成しているので、安価な制
御弁を提供可能である。さらに、Oリングを配置位置
は、圧電素子もしくは電歪素子に超音波領域の電気信号
を印加した際に発生する振動波の節円位置近傍でありな
がら、組付け方向にOリングを撓ませてシールする構造
であるから、シール性が十分確保できる利点を有する。
加えて、弾性体と上蓋もしくはスリーブと上蓋との間で
行なう回り止めの形成は、振動子の外周部はバルブボデ
ィと干渉しないようにクリアランスが確保するために構
成されたものであるから、振動子の振動を阻害すること
がないため、振動波のエネルギーを効率良くロータに供
給擦ることが出きる利点を有するという効果は絶大なも
のである。According to the second and third aspects of the present invention, O
Since the seal structure is formed by the ring, an inexpensive control valve can be provided. Further, the position where the O-ring is arranged is close to the nodal position of the vibration wave generated when an electric signal in the ultrasonic region is applied to the piezoelectric element or the electrostrictive element, but the O-ring is bent in the mounting direction. Since the sealing structure is used, there is an advantage that the sealing performance can be sufficiently secured.
In addition, the formation of the detent between the elastic body and the upper lid or between the sleeve and the upper lid is configured so as to secure clearance so that the outer peripheral portion of the vibrator does not interfere with the valve body. Since the vibration of the rotor is not hindered, the effect of having the advantage that the energy of the vibration wave can be efficiently supplied to the rotor and rubbed out is enormous.
【0030】また、第4の発明によれば、スリーブによ
り、弾性体の固定を強固なものにして、振動波のエネル
ギーを効率良くロータに与えるものである。このため、
振動波のエネルギーの極一部が上蓋に伝搬することがな
い。According to the fourth invention, the elastic body is firmly fixed by the sleeve, and the energy of the vibration wave is efficiently applied to the rotor. For this reason,
A very small part of the energy of the vibration wave does not propagate to the upper lid.
【図1】 本発明による流量制御弁の第1実施例の断面
図FIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of a flow control valve according to the present invention.
【図2】 本発明による流量制御弁の第2実施例の断面
図FIG. 2 is a sectional view of a second embodiment of the flow control valve according to the present invention;
【図3】 本発明による流量制御弁の第3実施例の断面
図FIG. 3 is a sectional view of a third embodiment of the flow control valve according to the present invention;
【図4】 本発明による流量制御弁の第4実施例の断面
図FIG. 4 is a sectional view of a fourth embodiment of the flow control valve according to the present invention;
【図5】 従来の超音波モータ利用の流量制御弁概念図FIG. 5 is a conceptual diagram of a flow control valve using a conventional ultrasonic motor.
【図6】 従来の超音波モータ利用の流量制御弁に係る
弁体の下面図 1 制御弁本体 2 圧電素子 3 ロータ 4
駆動子 5 弁体 6 ライニング材 7 弾性体 8 バルブボディ
9 弁口 10 バルブシート 11 振動子 12 流入管
13 流出管 14 スラストスプリング 15 スプリング 1
6 ボール 17 バルブシート10の中心部に形成された凹部
18流通溝 19 ストッパーピン 20 リード線 21 シ
ャフト 22 弁体5の内側に設けられたドーム状の閉塞部 23 弁体5の内側に設けられたストッパー部 24
流入管12の弁口 25 節円位置 26、27 Oリング 28 上
蓋 29 スリーブ 30 表皮材 31 バルブボディに設けられたシール用凸部FIG. 6 is a bottom view of a valve body of a conventional flow control valve using an ultrasonic motor. 1 Control valve body 2 Piezoelectric element 3 Rotor 4
Driver 5 Valve body 6 Lining material 7 Elastic body 8 Valve body 9 Valve port 10 Valve seat 11 Vibrator 12 Inflow pipe 13 Outflow pipe 14 Thrust spring 15 Spring 1
6 Ball 17 Recess formed in the center of valve seat 10
Reference Signs List 18 circulation groove 19 stopper pin 20 lead wire 21 shaft 22 dome-shaped closing part provided inside valve body 5 23 stopper part provided inside valve body 5 24
Valve port of inflow pipe 12 25 Articulated circle position 26, 27 O-ring 28 Top lid 29 Sleeve 30 Skin material 31 Sealing convex provided on valve body
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3H062 AA05 AA15 BB28 BB30 CC04 DD01 EE07 FF39 FF40 HH02 HH03 HH04 HH07 HH08 HH09 HH10 5H680 AA06 AA10 BB03 BB16 CC02 CC06 CC07 DD02 DD15 DD23 DD35 DD53 DD65 DD66 DD73 DD85 DD87 DD92 EE02 EE07 EE10 FF03 FF05 FF26 GG18 GG41 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3H062 AA05 AA15 BB28 BB30 CC04 DD01 EE07 FF39 FF40 HH02 HH03 HH04 HH07 HH08 HH09 HH10 5H680 AA06 AA10 BB03 BB16 CC02 CC06 CC07 DD02 DD15 DD23 DD35 DD53 DD65 DD63 EE10 FF03 FF05 FF26 GG18 GG41
Claims (4)
上の弁口を有するバルブシートとを各々溶接等により密
閉構造に形成して制御弁本体を設けるとともに前記弾性
体の上面に圧電素子もしくは電歪素子を接合して振動子
を構成し、該振動子の振動により回転するロータと該ロ
ータの回転を適宜な付勢手段によって前記弁口との開度
を変化させる超音波モータ利用の制御弁であって、前記
弾性体の下面にコルクシートまたは発泡スチロールもし
くは発泡ウレタン等の比重が1.0以下である表皮材を
形成したことを特徴とする流量制御弁。An elastic body, a valve body, and a valve seat having at least one or more valve ports are each formed in a hermetically sealed structure by welding or the like to provide a control valve main body, and a piezoelectric element or an electrode is provided on an upper surface of the elastic body. A control valve using an ultrasonic motor that forms a vibrator by joining strain elements, and that rotates the rotor by vibrating the vibrator and changes the degree of opening of the valve port by appropriate urging means. A flow control valve, wherein a skin material having a specific gravity of 1.0 or less such as a cork sheet or styrene foam or urethane foam is formed on a lower surface of the elastic body.
上の弁口を有するバルブシートとを各々Oリングにより
シール構造を形成し、前記弾性体と嵌合固定する上蓋に
て制御弁本体を設けるとともに前記弾性体の上面に圧電
素子もしくは電歪素子を接合して振動子を構成し、該振
動子の振動により回転するロータと該ロータの回転を適
宜な付勢手段によって前記弁口との開度を変化させる超
音波モータ利用の制御弁であって、前記弾性体の下面に
コルクシートまたは発泡スチロールもしくは発泡ウレタ
ン等の比重が1.0以下である表皮材を形成したことを
特徴とする流量制御弁。2. An elastic body, a valve body, and a valve seat having at least one valve port are each formed with a seal structure by an O-ring, and a control valve body is provided with an upper lid fitted and fixed to the elastic body. In addition, a piezoelectric element or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the elastic body to form a vibrator. A flow rate control characterized by forming a skin material having a specific gravity of 1.0 or less such as cork sheet or styrofoam or urethane foam on a lower surface of the elastic body, wherein the control valve is a control valve using an ultrasonic motor for changing a degree. valve.
超音波領域の電気信号を印加した際に発生する振動波の
少なくとも一つの節円位置近傍に位置するようにバルブ
ボディにシール用凸部を設け、該凸部と前記弾性体の下
面に配置した表皮材とにより弾性体とバルブボディを機
密的にシールすると共にバルブボディとバルブシートを
Oリングにて機密的にシールしたことを特徴とする請求
項2記載の流量制御弁である。3. A sealing body is provided on a valve body so as to be located in the vicinity of at least one nodal circle of a vibration wave generated when an electric signal in an ultrasonic range is applied to a piezoelectric element or an electrostrictive element of the vibrator. The elastic body and the valve body are hermetically sealed by the convex portion and the skin material disposed on the lower surface of the elastic body, and the valve body and the valve seat are hermetically sealed by an O-ring. The flow control valve according to claim 2, wherein
と弁口を有するバルブシートとを各々Oリングにより気
密的にシールし、弾性体の下面にコルクシートまたは発
泡スチロールもしくは発泡ウレタン等の比重が1.0以
下である表皮材を形成すると共に、前記弾性体の上面中
心にスリーブを一体的もしくは別体にて設け、該スリー
ブを介して弾性体の上方に上蓋を嵌合固定して制御弁本
体を設け、前記制御弁本体のバルブシートには流出管に
つながる弁口を設けるとともに、前記バルブシートもし
くはバルブボディに流入管を設け、前記弾性体の上面に
圧電素子もしくは電歪素子を接合して振動子を構成させ
ると共に弾性体の下面に駆動子を設け、前記制御弁本体
内には、適宜な付勢手段によって前記駆動子側に付勢さ
れたロータと該ロータと共回りをする弁体を設け、前記
駆動子に圧接されてなるロータの回転により流出管への
流量を制御するようにしたことを特徴とする流量制御
弁。4. A valve body and an elastic body, and a valve body and a valve seat having a valve port are hermetically sealed with an O-ring, respectively, and a specific gravity of a cork sheet, styrene foam or urethane foam is 1. A skin material that is equal to or less than 0 is formed, and a sleeve is provided integrally or separately at the center of the upper surface of the elastic body, and an upper lid is fitted and fixed above the elastic body via the sleeve to form the control valve body. The valve seat of the control valve body is provided with a valve port connected to an outflow pipe, the valve seat or the valve body is provided with an inflow pipe, and a piezoelectric element or an electrostrictive element is joined to the upper surface of the elastic body to vibrate. A driver is provided on the lower surface of the elastic body, and a rotor urged toward the driver by an appropriate urging means and the rotor are provided in the control valve body. Provided the valve element to the motor and rotating together, the flow control valve being characterized in that so as to control the flow rate of the outflow pipe by the rotation of the rotor formed by pressed against the drive element.
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