JP2002299428A

JP2002299428A - 精密基板収納容器及びその製造方法

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Publication number: JP2002299428A
Application number: JP2001094752A
Authority: JP
Inventors: Takashi Betsuyaku; 崇別役; Akihiro Hasegawa; 晃裕長谷川; Hideo Kudo; 秀雄工藤; Takashi Matsuo; 孝松尾
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2001-03-29
Filing date: 2001-03-29
Publication date: 2002-10-11
Anticipated expiration: 2021-03-29
Also published as: JP3974344B2

Abstract

(57)【要約】【課題】容器本体の成形性を損ねることがなく、誘導
部と位置決め部との段差が無く、使用中に摩耗して粉塵
を発生させることなく、加工装置に精密基板収納容器を
高い位置精度で搭載でき、精密基板の高精度なロ−ディ
ング、アンローディングを行うことができる精密基板収
納容器及びその製造方法を提供すること。【解決手段】精密基板を収納する容器本体１１と、該
容器本体に設けられた開口部を閉塞する蓋体１２と、該
容器本体の底面１３に取り付けられ前記精密基板を加工
するための加工装置との係合に用いる部材とを備えた精
密基板収納容器１０であって、前記係合に用いる部材を
前記容器本体と異なる材料から形成するとともに、該容
器本体と一体化したものである。また、前記係合に用い
る部材が、前記精密基板収納容器を前記加工装置に位置
決めするための誘導部を有する位置決め部材１４である
ものでもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
やマスクガラス等の精密基板の収納、貯蔵、保管、工程
内搬送あるいは各種自動機に対して位置決め接続して用
いられる精密基板収納容器及びその製造方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェーハなどの精密基板は、微
小な粉塵による汚染を避けるために、輸送・保管する工
程にはクリーンな環境が要求され、また作業者による発
塵、汚染を避けるために自動化された装置により取り扱
われる。そのため、精密基板収納容器には、前記装置に
セットした時に正規の位置に固定されるための位置決め
部材が必要とされる。

【０００３】精密基板の加工装置における一般的な位置
決め機構としては、凹部材と凸部材の嵌合を利用するも
のがある。例えば、精密基板収納容器の容器本体底部に
位置決め部材であるＶ字状をした凹部材を複数ヶ所設
け、加工装置側には凸部材である位置決めピンを設け
て、それぞれの凹凸部材を相互に嵌合させることによ
り、精密基板収納容器と加工装置の位置関係を定めるも
のがある。精密基板収納容器に当該凹部材を設ける方法
としては、別部品として製作した凹部材を接着やねじ止
め等により精密基板収納容器に取り付ける方法と当該凹
部材を精密基板収納容器と一体で射出成形する方法、及
び特開平１１−１６８１３６号公報に記載されている方
法、即ち、図７に示す位置決め機構における位置決めピ
ンへの誘導面となるＶ字状の相対する傾斜面８５を複数
ヶ所（ここでは３箇所）に形成した板状部材のボトムプ
レート８３を、精密基板収納容器の容器本体８１の底面
８２に形成されている位置決め部８４に係合させて取り
付ける方法がある。この場合、傾斜面８５を有するＶ字
状の傾斜溝が前記位置決めピンの誘導部になる。

【０００４】加工装置の位置決めピンと精密基板収納容
器の位置決め部材においては、精密基板の垂直方向の収
納位置精度を出すために高い精度が要求され、更に、精
密基板の生産性を高めるための高速アクセスには、特に
高い位置精度が必要とされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記加
工装置との位置決め機構として用いられる精密基板収納
容器側の位置決め部材を別部材として精密基板収納容器
に取り付ける場合、ねじ止め、接着等により固定するた
め、取り付け、組立誤差により正確な位置精度を保持す
ることが困難であるので、精密基板の出し入れの際に精
密基板を破損する可能性があった。

【０００６】一方、前記位置決めピンを前記位置決め部
に誘導する誘導部を含む形態の位置決め部材を射出成形
等で一体成形する方法では、成形及び金型において問題
が生じる。成形における問題として、誘導部を含めて一
体成形することにより肉厚部ができてしまうため、成形
収縮によるひけが生じて寸法精度が出難くなる。この問
題を回避するために、厚肉部を避ける形状の金型にする
と、金型からの離型が困難になる、あるいは金型構造が
複雑化し、生産性が低下するという問題が生じる。ま
た、位置決め部材が精密基板収納容器と同材料であるた
め、加工装置側のピンを誘導する誘導部の滑り性を向上
させることが困難であった。

【０００７】また、前記誘導部を含まない形態の位置決
め部材を射出成形等で一体成形する方法では、誘導部の
み別部材として成形するため、高い位置精度が得られ、
成形及び金型における前記問題を解消できるが、前記誘
導部を容器本体底部に嵌合させる必要があるため、工程
によっては前記誘導部と前記容器本体の摩擦による粉塵
が発生しクリーンな環境に影響を及ぼしたり、容器本体
底部に嵌合された前記誘導部が衝撃により位置ずれを起
こす可能性があるという問題があった。

【０００８】また、図７に示す容器本体底部に位置決め
部を形成し、傾斜溝からなる誘導部を形成したボトムプ
レートを前記容器本体底部に取り付ける場合、容器本体
は透明性の良好なポリカーボネート樹脂から形成される
ため、位置決め部の滑り性が悪く、傾斜溝の途中で位置
決めピンが引っ掛かって止まるという問題があった。

【０００９】更に、精密基板収納容器は、前記ボトムプ
レートがクランプされて加工装置に固定されるので、ボ
トムプレートの容器本体底部への取り付けが十分強固で
なく、使用中にボトムプレートが垂直方向にずれたりす
ると、容器本体に収納した精密基板の水平精度が悪化し
たり、基準面からの高さが狂ったりして、精密基板の正
確なローディングができなかったり、精密基板と取出し
ロボットのアタッチメントが接触して精密基板が破損す
るなどの事故が発生した。こうした事故を防ぐため、ボ
トムプレートは複数本のねじによって取り付けられてい
た。

【００１０】しかしながら、ボトムプレートを複数本の
ねじにより固定する方法では、容器本体の洗浄の際にボ
トムプレートを取外して、再び取付けるといった作業が
大変煩雑になるという問題があった。一方、ボトムプレ
ートを取外さずに容器本体を洗浄する場合は、ねじ溝に
入り込んだ洗浄液の除去が困難であるという問題があっ
た。

【００１１】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたもので、容器本体の成形性を損ねることがなく、
誘導部と位置決め部との段差が無く、使用中に摩耗して
粉塵を発生させることなく、加工装置に精密基板収納容
器を高い位置精度で搭載でき、精密基板の高精度なロ−
ディング、アンローディングを行うことができる精密基
板収納容器及びその製造方法を提供するものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、精密基板を収
納する容器本体と、該容器本体に設けられた開口部を閉
塞する蓋体と、該容器本体の底面に取り付けられ前記精
密基板を加工するための加工装置との係合に用いる部材
とを備えた精密基板収納容器であって、前記係合に用い
る部材を前記容器本体と異なる材料から形成するととも
に、該容器本体と一体化したものである。また、前記係
合に用いる部材が、前記精密基板収納容器を前記加工装
置に位置決めするための誘導部を有する位置決め部材で
あるものでもよい。

【００１３】また、本発明は、精密基板を収納する容器
本体と、該容器本体に設けられた開口部を閉塞する蓋体
と、該容器本体の底面に取り付けられ前記精密基板を加
工するための加工装置との係合に用いる部材とを備えた
精密基板収納容器の製造方法であって、前記係合に用い
る部材を前記容器本体と異なる材料から形成し、該容器
本体と一体化するものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の一実
施形態について説明する。図１は、本発明による精密基
板収納容器の第１実施形態を示し、（ａ）は容器本体と
蓋部の斜視図、（ｂ）は容器本体の底面の斜視図であ
る。図２は、図１に示す容器本体の底面図である。図３
は、図１の精密基板収納容器を加工装置に搭載した時の
図２におけるＡ−Ａ線断面図である。図４は、本発明に
よる精密基板収納容器の製造方法の第１実施形態を示
し、（ａ）は射出成形機に取り付けられた容器本体形成
用金型が型締めされている状態を示す断面図、（ｂ）は
容器本体成形用金型がパーティングラインより開かれ固
定型と移動型とに分割された状態を示す断面図、（ｃ）
は容器本体成形用金型に位置決め部材を取り付けた状態
を示す断面図、（ｄ）は容器本体成形用金型に樹脂が射
出成形機により充填された状態を示す断面図である。図
５は、本発明による精密基板収納容器の第２実施形態を
示し、位置決め部材近傍の容器本体及び加工装置の断面
図である。図６は、本発明による精密基板収納容器の製
造方法の第２実施形態を示し、（ａ）は射出成形機に取
り付けられた位置決め部材形成用金型が型締めされてい
る状態を示す断面図、（ｂ）は位置決め部材形成用金型
がパーティングラインより開かれ固定型と移動型とに分
割された状態を示す断面図、（ｃ）は型締めされた位置
決め部材形成用金型に樹脂が射出成形機により充填され
た状態を示す断面図である。

【００１５】図１に示すように、本発明の第１実施形態
の精密基板収納容器１０は、精密基板を収納する容器本
体１１と、容器本体１１に設けられた開口部を閉塞する
蓋体１２と、容器本体１１の底面１３に取り付けられ前
記精密基板を加工するための加工装置（図示せず）との
係合に用いる部材である位置決め部材１４ａ、１４ｂ、
１４ｃを備えた精密基板収納容器１０であって、前記位
置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃを容器本体１１と異
なる材料から形成するとともに、容器本体１１と一体化
したものである。尚、前記加工装置との係合に用いる部
材は、位置決め部材ばかりでなく、係合のために必要に
応じて設けられる部材を示す。

【００１６】容器本体１１の底面１３に設けられる位置
決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、例えば図２に示す
ように、底面１３の３箇所に略Ｙ字形をなすように配置
される。

【００１７】容器本体１１の相対する内壁には、精密基
板を水平状態で整列させて収納するための精密基板支持
リブ１５が一定間隔で形成されている。容器本体１１の
開口部の周縁には、蓋体１２を容器本体１１に係止する
ための蓋体係止部１６が少なくとも一対形成されてい
る。また、容器本体１１の外壁には、自動搬送用のロボ
ティックハンドルや手動搬送用のハンドルが必要に応じ
て取り付けられている。

【００１８】蓋体１２の側壁には、容器本体１１の蓋体
係止部１６と嵌合する係止部分を有する一対の係止手段
１７が軸止されている。蓋体１２が容器本体１１に係止
されるときに容器本体１１の内側と相対する面には、容
器本体１１の開口部内周の段差部に嵌り込む凸部が形成
されていて、前記凸部の周囲には、精密基板収納容器１
０の密封性を維持するエンドレス形状をしたシール部材
１８が取り付けられている。

【００１９】更に、蓋体１２内面には、精密基板と当接
してこれを保持するためのリテーナ１９が取り付けられ
ている。リテーナ１９先端の当接部には、Ｖ字状又はＵ
字状をした溝が形成されていて、精密基板を正しい位置
で保持する。

【００２０】尚、容器本体１１と蓋体１２は、成形性が
良好で、機械的特性に優れ、汚染性が小さなポリカーボ
ネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテ
ルスルフォン、ポリプロピレンなどの熱可塑性樹脂から
形成され、透明性の良好な、ポリカーボネート樹脂、ノ
ルボルネン系の樹脂、アクリル樹脂などの熱可塑性樹脂
が好ましい。また必要に応じて、帯電防止性能や導電性
を付与するための帯電防止剤や導電材料の添加剤を前記
樹脂に添加したものであってもよい。

【００２１】位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、
耐摩耗性並びに滑り性の良好な静止摩擦係数が０．１２
〜０．２のポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹
脂やポリブチレンテレフタレートを３〜３０％含有する
ポリカーボネート樹脂を用いて別部材として形成され、
これらをポリカーボネート等からなる容器本体１１と一
体化させるものが好適である。

【００２２】尚、位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃ
を形成する材料は、この他にも、耐摩耗性の良好なポリ
エチレンテレフタレートやポリエーテルエチルケトン、
ポリエーテルイミド、あるいは炭素繊維、ガラス繊維、
シリコーン、マイカ等を含有するポリカーボネート等の
熱可塑性樹脂であっても良い。

【００２３】また、容器本体１１の中央部には容器本体
１１を加工装置（図示せず）に固定するために使われる
貫通穴を有するクランピングフューチャー２０が別途取
り付けられる。

【００２４】位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、
例えば図３に示すように、容器本体１１底面１３の内壁
の一部として一体化されており、加工装置３１のステー
ジ上に配置された複数本（この場合３本）の位置決めピ
ン３２に係合される。位置決めピン３２はＳＵＳ等によ
り形成され、先端は半球状やＲ形状に加工されている。
尚、位置決め部材１４ａ、１４ｂについても同様であ
る。

【００２５】精密基板収納容器１０は、図３に示すよう
に、位置決めピン３２上に搭載された時に、位置決めピ
ン３２と当接する位置決め部材１４ｃが、相対する傾斜
面を有するＶ字状の傾斜溝の最深部の位置まで自動求心
することによって、加工装置３１と容器本体１１、即
ち、精密基板収納容器１０の位置決めが高精度になされ
る。尚、前記傾斜面を有するＶ字状の傾斜溝が、位置決
めピン３２の誘導部である。

【００２６】位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、
容器本体１１を形成する成形金型へ挿入するときの位置
合わせリブ２１を一対具備しており、これにより容器本
体１１の所定の位置に位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１
４ｃを精度良く設けることができる。また、位置決めピ
ン３２の前記誘導部を有する位置決め部材１４ａ、１４
ｂ、１４ｃは、容器本体１１とは別材料で形成できるた
め、滑り性や耐摩耗性を著しく高めることが可能であ
る。図中、３３は精密基板である。

【００２７】尚、位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４ｃ
には、縦あるいは横方向に密着強化リブ２２を設けるこ
とで容器本体１１との接触面積を大きくして密着度を高
めることが好ましい。

【００２８】次に、本発明の第１実施形態の精密基板収
納容器の製造方法、即ち、位置決め部材１４ａ、１４
ｂ、１４ｃを一体化してなる精密基板収納容器１０の形
成方法を図４を用いて説明する。図４（ａ）〜（ｄ）
は、容器本体１１と位置決め部材１４ａ、１４ｂ、１４
ｃ（以下、位置決め部材１４とする）とをインサート成
形方法を用いて一体化する工程を簡略して示している。

【００２９】先ず、位置決め部材１４を、これを形成す
る専用の金型を用いて、滑り性の良いフッ素含有のポリ
カーボネート樹脂やポリブチレンテレフタレートあるい
はポリカーボネートとポリブチレンテレフタレートの混
合樹脂等から形成する。次に、形成された位置決め部材
１４を容器本体形成用金型４０の所定位置に挿入（イン
サート）する（図４（ｃ））。

【００３０】尚、図４（ａ）は、射出成形機に取り付け
られた容器本体形成用金型４０が型締めされている状態
を示し、図４（ｂ）は、容器本体成形用金型４０がパー
ティングライン４１より開かれ、固定型４２と移動型４
３（スライドブロック４３ａとスライドコア４３ｂとか
らなる）とに分割された状態を示す。製品取り出し時に
抵抗になるアンダーカット部分を回避するために、移動
型４３の側壁にスライドブロック４３ａが埋め込まれて
おり、スライドコア４３ｂは、アンギュラーピンとスプ
リング、油圧、空圧等のスライド機構によって、アンダ
ーカット部分を回避可能となるように、型開きと共に容
器本体成形用金型４０の中心から外方向に移動可能とな
っている。

【００３１】位置決め部材１４の表面に形成された一対
の位置合わせ部である位置合わせリブ２１を、スライド
ブロック４３ａに形成された凹部４４に挿入すること
で、位置決め部材１４はスライドブロック４３ａの所定
の位置に精度良く位置決めされる。位置決め部材１４が
スライドブロック４３ａ内で動かないように、固定又は
可動可能な固定ピンなどで位置決め部材１４を固定する
と良い。好ましくは、製品上に前記固定ピンの跡である
凹部が形成されないように、樹脂圧で可動可能なピンを
設けておくと良い。

【００３２】位置決め部材１４が位置決め部材挿入部分
４７に挿入された（図４（ｃ））容器本体形成用金型４
０は、図４（ｄ）に示すように、型締めがなされ、容器
本体１１を形成するキャビティ４５が形成された後、射
出成形機によって溶融状態とされたポリカーボネート樹
脂が、射出成形機のノズルから容器本体形成用金型４０
に設けられた注入口４６を通ってキャビティ４５内に充
填される。この時、位置決め部材１４の容器本体１１と
の境界面は、新たに充填された樹脂の熱により溶かされ
て熱融着される。このようにして、容器本体１１と位置
決め部材１４とは高精度に一体成形される。

【００３３】図５に示す本発明による精密基板収納容器
の第２実施形態における位置決め部材５４も、図４で説
明した方法と同様にして、容器本体５１の底面５３に形
成される。この場合、位置決め部材５４の肉厚が容器本
体５１の底面５３の肉厚と等しくなるように形成される
ので、容器本体形成用金型を型締めした時に、挿入され
た位置決め部材５４がキャビティ内の金型面により直接
保持されるので、前記したような固定ピンを設ける必要
がない。

【００３４】位置決め部材を容器本体とは異なる材料で
別部材として形成する場合、必ずしも前記したような射
出成形によって一体化するとは限らず、容器本体の所定
の位置に超音波溶着や熱溶着等によって一体化すること
もできる。この場合、容器本体との接合面に溶着リブを
形成しこれを融着させることで一体化できる。

【００３５】また、この場合も前記と同様に、位置決め
部材の表面に形成された一対の位置合わせリブ５６を、
容器本体に形成された凹部に挿入することで、位置決め
部材が容器本体の所定の位置に精度良く位置決めされ
る。

【００３６】次に、本発明の第２実施形態の精密基板収
納容器の製造方法を図６に示す。この製造方法は、図４
で説明した方法とは逆に、容器本体６１を先に形成し、
次に位置決め部材６４を形成する方法である。先ず、専
用の金型を用いて容器本体６１を形成する。尚、容器本
体６１はポリカーボネート樹脂などから形成される。次
に、形成された容器本体６１を図６に示す位置決め部材
形成用金型６０の所定位置に挿入する。

【００３７】ここで図６（ａ）は、射出成形機に取り付
けられた位置決め部材形成用金型６０が型締めされてい
る状態を示し、図６（ｂ）は、位置決め部材形成用金型
６０がパーティングライン６５より開かれ固定型６７と
移動型６６とに分割された状態を示す。

【００３８】容器本体６１の内表面に形成された位置合
わせリブ６８が、固定型６７に形成された凹部６９に挿
入されるので、容器本体６１が固定型６７の所定の位置
に精度良く位置決めされる。

【００３９】位置決め部材形成用金型６０の型締めがな
されると、容器本体６１は位置決め部材形成用金型６０
のキャビティ７０内に挟まれてしっかりと固定される。
この状態で、図６（ｃ）に示すように、溶融状態のフッ
素含有のポリカーボネート樹脂が射出成形機により注入
口７１を通って充填される。容器本体６１の位置決め部
材６４との境界面は、新たに充填された樹脂熱により溶
かされて熱融着される。このようにして、容器本体６１
と位置決め部材６４とが高精度に一体成形される。尚、
容器本体６１の位置決め部材形成部に凹凸７２を形成し
て接触面積を大きくすると、位置決め部材６４が容器本
体６１により強固に融着されるので好ましい。

【００４０】また、容器本体を先に形成する場合、容器
本体を形成する金型に位置決め部材形成用のスライドコ
アを埋め込んでおき、２色成形機を用いて容器本体の底
面に連続的に位置決め部材を形成することもできる。

【００４１】前記形成方法を用いることで、金型のアン
ダーカット構造、製品を厚肉にするために生じるひけ等
の成形不良を回避することが可能となり、且つ位置決め
部材が一体成形品で滑り性の良好な材料から形成される
ため、接合部の摩耗、嵌合による位置ずれを生じること
なく、位置決め部材と容器本体とを一体成形することが
可能となる。

【００４２】また、前記形成方法は位置決め部材を形成
するだけではなく、図１（ｂ）に示すような容器本体１
１の底面１３に取り付けられる各種センシングパッド２
３、加工機への固定に使用される部材であるクランピン
グフューチャ２０等の形成にも利用できる。尚、クラン
ピングフューチャ２０は、炭素繊維入りポリカーボネー
ト樹脂やポリエーテルエーテルケトンのような高剛性の
材料から形成されるのが好ましい。

【００４３】以上示したように、精密基板の加工装置と
の係合に用いられる容器本体の底面に取り付けられる各
種の部材を、その特性に合わせて好適な材料を選択し一
体成形することで、位置精度良く形成できる。

【００４４】尚、本発明の実施形態に示した加工装置
は、精密基板に各種の処理や加工を行う加工装置だけに
止まらず、カセット等の工程内搬送容器と輸送用の精密
基板収納容器との間で精密基板を移し替える作業に使わ
れる精密基板の移載装置等も含むものである。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、容器本体と位置決め部
材とを分割したために厚肉部を回避できるので、成形収
縮によるヒケが防止される。また、予め成形した位置決
め部材を容器本体成形時に一体として成形するため、位
置決め部材の取り付け、組み立てによる寸法誤差を防止
でき、位置決め部材と精密基板支持リブとの間で高い位
置精度が得られる。また、容器本体と位置決め部材が一
体に形成されているので、位置決めのときに位置決めピ
ンは継ぎ目のない誘導部である位置決め用のＶ字状の傾
斜溝と当接し、なおかつ位置決め部材及び誘導部が摺動
性の良好な材料から形成されるので、接触による摩耗を
著しく低減でき、なおかつ洗浄の際には位置決め部材を
取外さなくてもそのまま洗浄でき、また洗浄液が貯まる
隙間がないので、精密基板収納容器並びに基板の汚染を
防止できる。更に、位置決め部材における誘導部を別工
程で成形するため、金型構造の複雑化を回避できるの
で、金型費用を削減できることに加え、製品の離型不良
を回避でき、それにより成形効率が良くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による精密基板収納容器の第１実施形態
を示し、（ａ）は容器本体と蓋部の斜視図、（ｂ）は容
器本体の底面の斜視図である。

【図２】図１に示す容器本体の底面図である。

【図３】図１の精密基板収納容器を加工装置に搭載した
場合の図２におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図４】本発明による精密基板収納容器の製造方法の第
１実施形態を示し、（ａ）は射出成形機に取り付けられ
た容器本体形成用金型が型締めされている状態を示す断
面図、（ｂ）は容器本体成形用金型がパーティングライ
ンより開かれ固定型と移動型とに分割された状態を示す
断面図、（ｃ）は容器本体成形用金型に位置決め部材を
取り付けた状態を示す断面図、（ｄ）は容器本体成形用
金型に樹脂が射出成形機により充填された状態を示す断
面図である。

【図５】本発明による精密基板収納容器の第２実施形態
を示し、位置決め部材近傍の容器本体及び加工装置の断
面図である。

【図６】本発明による精密基板収納容器の製造方法の第
２実施形態を示し、（ａ）は射出成形機に取り付けられ
た位置決め部材形成用金型が型締めされている状態を示
す断面図、（ｂ）は位置決め部材形成用金型がパーティ
ングラインより開かれ固定型と移動型とに分割された状
態を示す断面図、（ｃ）は型締めされた位置決め部材形
成用金型に樹脂が射出成形機により充填された状態を示
す断面図である。

【図７】従来の精密基板収納容器を示し、（ａ）は容器
本体底面の斜視図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線断
面図である。

【符号の説明】

１０精密基板収納容器１１、５１、６１、８１容器本体１２蓋体１３、５３、８２底面１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、５４、６４位置決め
部材１５、５５精密基板支持リブ１６蓋体係止部１７係止手段１８シール部材１９リテーナ２０クランピングフューチャー２１、５６、６８位置合わせリブ２２密着強化リブ２３センシングパッド３１加工装置３２位置決めピン３３精密基板４０、６０容器本体形成用金型４１、６５パーティングライン４２、６７固定型４３、６６移動型４３ａスライドブロック４３ｂスライドコア４４、６９凹部４５、７０キャビティ４６、７１注入口４７位置決め部材挿入部分７２凹凸８３ボトムプレート８４位置決め部８５傾斜面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長谷川晃裕新潟県糸魚川市大和川715 新潟ポリマー株式会社内 (72)発明者工藤秀雄福島県西白河郡西郷村大字小田倉字太平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究所内 (72)発明者松尾孝福島県西白河郡西郷村大字小田倉字太平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究所内Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA15 BB03 CA02 CB03 CC02 DA17 DA25 DC04 EA02X EA02Y FA14 GA13 5F031 CA02 CA07 DA08 EA02 EA03 EA14 EA20 KA20 MA17 PA21 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】精密基板を収納する容器本体と、該容器
本体に設けられた開口部を閉塞する蓋体と、該容器本体
の底面に取り付けられ前記精密基板を加工するための加
工装置との係合に用いる部材とを備えた精密基板収納容
器であって、前記係合に用いる部材を前記容器本体と異なる材料から
形成するとともに、該容器本体と一体化したことを特徴
とする精密基板収納容器。
【請求項２】前記係合に用いる部材が、前記精密基板
収納容器を前記加工装置に位置決めするための誘導部を
有する位置決め部材であることを特徴とする請求項１に
記載の精密基板収納容器。
【請求項３】精密基板を収納する容器本体と、該容器
本体に設けられた開口部を閉塞する蓋体と、該容器本体
の底面に取り付けられ前記精密基板を加工するための加
工装置との係合に用いる部材とを備えた精密基板収納容
器の製造方法であって、前記係合に用いる部材を前記容器本体と異なる材料から
形成し、該容器本体と一体化することを特徴とする精密
基板収納容器の製造方法。