JP2002277248A

JP2002277248A - 角速度センサ

Info

Publication number: JP2002277248A
Application number: JP2001082157A
Authority: JP
Inventors: Jiro Terada; 二郎寺田; Katsunori Matsubara; 克憲松原; Takeshi Yamamoto; 毅山本
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-03-22
Filing date: 2001-03-22
Publication date: 2002-09-25
Also published as: US6598476B2; US20020157466A1

Abstract

(57)【要約】【課題】駆動振動方向に直角に作用するコリオリ力が
駆動する力に比較して極めて小さいため、質量部の駆動
振動方向以外の振動成分とコリオリ力による振動成分と
を区別することが難しい。【解決手段】第１の梁１１０と、この梁と同一平面上
で左右両側に平行に配置され前記第１の梁１１０と同一
長の第２の梁１１１、第３の梁１１２と、前記第１、第
２、第３の梁の各々の端部を接続する第４の梁１１３、
第５の梁１１４とから構成され、前記第１の梁１１０の
中心部が支持固定されている検出素子を備えたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は航空機、自動車、ロ
ボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーシ
ョンあるいはカメラやビデオカメラ等の手振れ防止用、
遠隔操作用のリモコン用等に用いる角速度センサに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来における角速度センサとしては、振
動体としての質量部とこれに対向する電極を設け、電極
間に働く静電引力により質量部を振動させ、角速度が与
えられた時、コリオリ力が質量部に発生しその方向は印
加角速度の軸と質量部の振動方向に直角であり、このコ
リオリ力により質量部が変位し対向する電極間の距離が
変化し、この距離の変化により質量部と対向電極間の静
電容量を用いて角速度情報を検出する構造（特開平１０
−１７０２７６号公報）や同様の梁構造体にて静電力に
より質量部を駆動し、コリオリ力による質量部の変位を
梁構造体の歪ゲージにて検出する構造（特開平１１−２
６７７７号公報）の半導体角速度センサがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】これら従来例において
は、質量部を振動させてコリオリ力による質量部の変位
を対向する電極間の静電容量変化や質量部につながる梁
に設けられた歪みゲージにて角速度情報を検出してい
た。ところがこれらの方法によると駆動した時の駆動変
位成分の一部がコリオリ力成分の中に混入するため、コ
リオリの成分のみを抽出することが困難であった。すな
わち駆動振動方向に直角に作用するコリオリ力が駆動す
る力に比較して極めて小さいため、質量部の駆動振動方
向以外の振動成分とコリオリ力による振動とを区別する
ことが難しく、結果として角速度検出精度の低下を招い
ていた。

【０００４】また、一般的に対向する電極と質量部を静
電力にて駆動したり、対向する電極間の静電容量の変化
を測定する場合、効率的に駆動し、静電容量を検出する
ためには、電極間距離は２〜３ミクロンから数ミクロン
とされている。ところがこのギャップには異物やゴミ等
が付着して電極間のショートを発生させる可能性があ
る。特に効率的に駆動したり検出するために多数の電極
を櫛の歯のように設けている場合には、たった１箇所で
も異物、ゴミ等によって電極間がショートすれば静電力
による駆動も静電容量の検出もできなくなってしまい、
これら多数の電極を形成して駆動や検出する方法の角速
度センサにおいては量産上の大きな課題となっていた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は第１の梁と、こ
の梁の左右両側に平行に配置された第２、第３の梁と、
前記第１、第２、第３の梁の各々の端部を接続する第
４、第５の梁から構成され、前記第１の梁の中心部が支
持固定されていることを特徴とするものである。

【０００６】この構成により静電力を利用した従来のも
のとは異なり、簡単な構成で精度よく角速度を検出する
角速度センサが得られる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、第１の梁と、この梁の左右両側に平行に配置された
第２、第３の梁と、前記第１、第２、第３の梁の各々の
端部を接続する第４、第５の梁から構成され、前記第１
の梁の中心部を支持固定されている構造の角速度センサ
であり、この構成により左右の駆動用の第２、第３の梁
は中央の第１の梁を基準として左右対称であるので第
２、第３の梁を振動させた時、中央の第１の梁には全く
振動のモードが発生せず、駆動部の振動が検出部である
第１の梁に漏れない状態で第１、第２、第３の梁を含む
面に直交する軸の周りに角速度を加えると初めて第２、
第３の梁がその長手方向にコリオリ力を受け、第２、第
３の梁に付加された質量部に作用するコリオリ力により
第１の梁がＳ字状に歪み、この歪を検出することにより
角速度情報を検出することができるので角速度が加わっ
ていない時は駆動振動が検出側に漏れず、検出精度が向
上するという作用を有する。

【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、第２、第３の梁の外側中央部にそれぞ
れ付加質量を設け、前記第２、第３の梁の共振周波数と
第１の梁の共振周波数とを近接させたことによりコリオ
リ力を高感度に検出できるという作用を有する。

【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、梁や付加質量とこれらを支持する支持
部を同一の振動部材で形成したことを特徴とするもので
あり、これは駆動する梁と検出する梁との機械的結合度
が上がり、剛性が増し、その結果振動が安定し、外乱振
動に対しても安定した角速度検出を行うことができる。

【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、付加質量をＴ字型からなるものであ
り、加わった角速度により振動しているＴ字型の付加質
量にはコリオリの力が作用するので第２、第３の梁に生
じるコリオリ力を増加させることができセンサ感度を向
上させるという作用を有する。

【００１１】請求項５に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、第１、第２、第３の梁の端部を接続す
る第４、第５の梁の外側中央部に切り込みを入れたもの
であり、この構成により第２、第３の梁の振動振幅をと
ることができ結果としてセンサ感度を向上させることが
できるという作用を有する。

【００１２】請求項６に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、第１の梁がＳ字状に撓む振動モードで
検出を用い、第２、第３の梁は１次の振動モードを用い
たものであり、これにより外部より衝撃や振動等が加わ
った時、第２、第３の梁は１次振動モードで撓み、コリ
オリ力を検出する第１の梁も１次の振動モードで撓むが
この第１の梁はＳ字状に撓んだ時にのみ出力し１次の振
動モードの撓みでは出力せず、外部からの衝撃、振動に
よる影響を受けないという作用を有する。

【００１３】請求項７に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、第１、第２、第３の梁とほぼ直交する
第４、第５の梁の長手方向の端部を前記第２、第３の梁
と交差する部分より延出させた構成であり、第２、第３
の梁が振動する時、振動の節となる第２、第３の梁の端
部に質量が集中しているのでこれらの梁をバランスよく
振動させることができ、センサ感度を向上させるという
作用を有する。

【００１４】請求項８に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、第１の梁と第４、第５の梁との接続部
で第１の梁に一部にくびれを設けた構成であり、第１の
梁の剛性が下がり第１の梁に振動振幅を大きくすること
ができ、センサ感度を向上させるという作用を有する。

【００１５】請求項９に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、第２、第３の梁と第４、第５の梁との
接続部において第２、第３の梁の一部にくびれ部を設け
た構成であり、第２、第３の梁の剛性を下げ、第２、第
３の梁に振動振幅を大きくすることができ、センサ感度
を向上させるという作用を有する。

【００１６】請求項１０に記載の発明は、請求項３に記
載の発明において、第１の梁の中央部からそれぞれ第
２、第３の梁の中央部の方向に向かう梁をそれぞれひと
つずつ設け、これら２つの梁の先端を支持固定した構成
であり、検出梁としての第１の梁の振動する部分の長さ
を大きくとることができセンサ感度を向上させるという
作用を有する。

【００１７】請求項１１に記載の発明は、請求項１０に
記載の発明において、第１の梁の中央部に形成した２つ
の梁の端部に付加質量を設け、この付加質量全体あるい
はその一部を支持固定した構成であり、この振動系より
外部に漏れる振動がこの付加質量部分にて吸収され、同
様に外部からの振動や衝撃の一部もこの質量部分にて吸
収されるので結果として外部からの衝撃や振動に対して
影響を受けにくいという作用を有する。

【００１８】請求項１２に記載の発明は、請求項３に記
載の発明において、振動する部材を圧電体で構成してい
るので、梁の駆動やコリオリ力の検出において効率的な
配置構成が可能となり、センサを小型化できるという作
用を有する。

【００１９】請求項１３に記載の発明は、請求項３に記
載の発明において梁の駆動およびコリオリ力の検出に部
分的に圧電体を設けているので、駆動用の振動部材と検
出部の圧電体とを別々に設定することができ、すなわち
一般的には圧電定数の大きい材料は機械的共振先鋭度が
低く、反対に圧電定数が小さい材料は機械的共振先鋭度
が高いので駆動用には機械的共振先鋭度の高い材料を用
い、コリオリ力検出には圧電定数の高い材料を用いると
いうふうに組合せることにより、全体としてセンサ感度
を向上させるという作用を有する。

【００２０】（実施の形態１）図１は本発明の角速度セ
ンサの実施の形態１の構造を示す斜視図で、１は水晶で
構成されたセンサ素子で駆動部分と検出部分からなる。
２はコバルト・ニッケル・鉄の合金からできているハー
メチックシール用の気密板で長さ１２ｍｍ、幅８ｍｍ、
厚み０．６ｍｍである。

【００２１】センサ素子１と気密板２の断面図を図２に
示す。図２において３は気密板２に電気的に絶縁、保持
された電気端子である。電気端子３はセンサ素子１に設
けた電極端子（図示せず）と金ワイヤ５で結線されてい
る。４はスペーサであり、気密板２とセンサ素子１を若
干浮上させてセンサ素子１の中心を接着にて支持固定さ
れている。６は気密板２上に構成したセンサ素子１を真
空にて封止するためのカバーである。このカバー６の材
質としては気密板２と熱膨張係数の等しいコバルト・ニ
ッケル・鉄の合金が望ましい。

【００２２】図３はセンサ素子１の平面図である。図３
において１１０は第１の梁で中心部にて支持され両端に
は第４の梁１１３、第５の梁１１４が形成されている。
第１の梁１１０と平行に第２の梁１１１、第３の梁１１
２が形成され第４の梁１１３、第５の梁１１４により第
１の梁１１０と一体化されている。１０１は第４の梁１
１３、第５の梁１１４の中央部分の外側に設けられた切
欠き部、１０２は第２の梁１１１、第３の梁１１２の中
央部外側に設けられた付加質量、１０３は空間孔部、１
０４はコリオリ力の検出部、１０５はセンサ中心支持
部、１０６は駆動部、１０７はモニター部である。

【００２３】駆動部１０６と検出部１０４の共振周波数
の差Δｆが小さいほどセンサとしての感度は高くなる
が、この差Δｆはセンサの応答性にも深く関係し、この
差Δｆはおよそ２００Ｈｚ〜３００Ｈｚ程度離すことが
望ましい。また差Δｆを３００Ｈｚ以上離すと角速度の
検出感度が低下してしまう。

【００２４】図４は図３の駆動部１０６すなわち第２の
梁１１１のＡ−Ａ断面図である。図４の右向き矢印は第
２の梁１１１の材料である水晶の電気軸であり、この電
気軸に電界が加わるように駆動部１０６すなわち第２の
梁１１１の上面に電極７，８，９、下面に電極１０，１
１，１２を配置して構成している。１３は交流電界を印
加する駆動回路である。

【００２５】図５は図３のモニター部１０７すなわち第
３の梁１１２のＢ−Ｂ断面図で、中央の矢印は水晶の電
気軸である。モニター部１０７すなわち第３の梁１１２
の上面に電極１４，１５，１６、下面に電極１７，１
８，１９が配置されており、振動振幅に比例した電荷を
検出している。

【００２６】図６はコリオリ力の検出部１０４のＣ−Ｃ
断面図を示す。図６の２０，２１，２２，２３，２４，
２５は電極でありコリオリ力の検出部１０４すなわち第
１の梁１１０のＳ字状の撓みを電荷として検出する。

【００２７】図８はセンサ素子からの信号を処理する回
路の一例である。図８において１はセンサ素子、２６は
チャージアンプであり、センサ素子１からの信号を増幅
し同時に信号の位相を９０度遅らせる。１３はセンサ素
子１を駆動する回路である。２７は検波回路であり、チ
ャージアンプ２６からの信号を駆動回路１３からの駆動
信号に同期して検波し、角速度によるコリオリ力信号成
分を抽出する。２８はローパスのフィルター回路であり
コリオリ力信号成分から駆動信号成分を除去する。２９
は出力端子であり、コリオリ力信号すなわち角速度に比
例した信号を出力する。

【００２８】次に本実施の形態１の角速度センサの動作
を説明する。図４において電極７〜１２に交流信号を印
加する。電極間に加えられた電界の方向（図４の両方向
矢印）が電気軸と同じ方向であれば電界印加部分は図４
の紙面方向に延び、逆に電極間に加えられた電界の方向
と電気軸の方向とが逆方向であれば図４の紙面方向に縮
む。言いかえると電極間に交流信号を印加することによ
り駆動部１０６すなわち第２の梁１１１はその長手方向
に伸縮するようになる。図７において梁の振動を説明す
ると、交流信号を駆動部１０６に印加することにより第
２の梁１１１はその長手方向に伸縮し、結果的に第２の
梁１１１、第３の梁１１２、第４の梁１１３、第５の梁
１１４で形成される長方形の縦の辺に相当する第２の梁
１１１と第３の梁１１２が図７の破線で示すように左右
に振動をする。

【００２９】第２の梁１１１に交流信号が印加されて第
２の梁１１１、第３の梁１１２が左右に振動している
時、モニター部１０７すなわち第３の梁１１２は長手方
向に伸縮しているので水晶の圧電効果により図５に示す
電極１４，１６，１７，１９に電荷が発生し、電極１
５，１８には逆極性の電荷が発生する。このモニター部
１０７からの信号が一定になるよう駆動信号を制御する
ことによって第２の梁１１１と第３の梁１１２の振幅は
常に一定に保たれている。

【００３０】図７において紙面に垂直な軸のまわりに角
速度が印加された場合、付加質量１０２、第２の梁１１
１、第３の梁１１２には図７に示すように上下方向にコ
リオリ力が発生する。このコリオリ力により第２の梁１
１１、第３の梁１１２、第４の梁１１３、第５の梁１１
４で形成される四角形にはセンサ中心支持部１０５を中
心として左右に回転しようとする。第１の梁１１０はセ
ンサ中心支持部１０５にて支持固定されているので第１
の梁１１０はセンサ中心支持部１０５をセンタとしてＳ
字状に撓み振動する。このＳ字状の撓みを検出すること
により角速度情報が得られる。

【００３１】図８で示した回路において、センサ素子１
に角速度が加わるとセンサ素子１に発生したコリオリ力
の信号成分がチャージアンプ２６に入力される。チャー
ジアンプ２６の出力信号を駆動信号に同期して検波回路
２７により検波し、この検波信号のうち駆動信号成分を
フィルター回路２８で除去し、コリオリ成分信号のみを
通過させると角速度信号が出力端子２９から出力され
る。これは角速度によるコリオリ力はセンサ素子１の振
動している速度に比例し、コリオリ力信号の位相は駆動
信号と９０度ずれているので駆動信号に同期して検波す
るとコリオリの力成分のみを抽出することができるから
である。

【００３２】本実施の形態１に示す構造によれば第２の
梁１１１、第３の梁１１２が左右に振動していても角速
度が印加されない時は中央の第１の梁１１０にはコリオ
リ力が発生しない。すなわち駆動部分による振動が検出
部分にまったく漏れてこない。角速度が印加されコリオ
リ力が発生した時のみ検出部分に撓みが生じるのでＳ／
Ｎ比の良い角速度検出が可能となる。

【００３３】また、梁の駆動とコリオリ力の検出に多数
の櫛歯電極を必要とする静電引力、静電容量検出を用い
ず、圧電効果を用いているのでセンサの構成が簡単にな
り量産も容易である。

【００３４】センサ素子１全体に衝撃等の加速度が加わ
った場合について説明する。図７においてセンサ素子１
の左右方向すなわち第４の梁１１３、第５の梁１１４に
平行な方向に加速度が加わった場合、第１の梁１１０は
加速度が加わった方向にＣの字状に撓む。この時センサ
中心支持部１０５を境とする上下部分の梁より得られる
信号の差分を検出すれば加速度による信号はキャンセル
でき角速度信号のみを検出することができ、加速度の影
響を除去できる。

【００３５】センサ素子１の上下方向すなわち第１の梁
１１０に平行に加速度が加わった場合は第１の梁１１０
の長手方向に圧縮と引張の応力が発生するが、その信号
の差分を検出すれば加速度による信号はキャンセルでき
る。図７において紙面の垂直方向に加速度が加わった場
合も同様で第１の梁１１０が紙面に垂直方向に撓むが第
１の梁から得られる信号の差分を検出することにより加
速度による信号はキャンセルできる。

【００３６】図９は図８の回路構成の本発明の実施の形
態１での入力角速度と角速度センサ出力信号との関係を
示した図である。これより入力角速度とその出力信号は
ほぼ直線の関係にあることがわかる。

【００３７】（実施の形態２）図１０は本発明の角速度
センサの実施の形態２における振動子の斜視図である。
本実施の形態２は実施の形態１で述べた角速度センサと
振動する梁の形状は同一であり、また駆動方法、コリオ
リ力の検出方法も同じであるのでそれらに関する詳細な
説明を省略する。実施の形態１と異なる構造部分につい
てのみ説明する。なお図１０における各部品の番号は実
施の形態１と同一機能の部品には同じ番号を付与し説明
を省略している。

【００３８】図１０において３１は外形が四角で内側に
図３の空間孔部１０３と同一形状の孔部を有するセラミ
ックスの薄板状の圧電体であり、恒弾性金属からなる振
動子３２の上側に貼り付けられている。なお図１０の構
成では振動子３２を駆動し、角速度によるコリオリ力を
検出するために、図４、図５、図６で示す実施の形態１
の電極構成とは若干変更する必要があるが、基本的に駆
動部の梁を伸び縮みさせて図７のような振動をさせて、
コリオリ力を検出する点において同じである。

【００３９】本実施の形態２においては圧電体３１を振
動子３２に接合し、振動子３２の特性と圧電体３１の材
料の個別の優れた共振特性および圧電定数の特性を組み
合わせてセンサ特性をさらに改善することができた。

【００４０】なお本実施の形態２において振動子３２の
上側に圧電体３１を設けて振動子３２の駆動とコリオリ
力の検出を説明してきたが、振動子３２の上下両面に圧
電体３１を設けて振動子３２の駆動、コリオリ力の検出
を行っても本発明の効果は得られる。また圧電体３１は
薄板状の圧電セラミックスを用いたが、圧電セラミック
ス以外に単結晶の圧電材料や振動子上に直接圧電膜を形
成してもよいことはいうまでもない。

【００４１】また、恒弾性金属からなる振動子の代わり
にアルミナセラミックスからなる振動子の上に圧電セラ
ミックスを貼りつけても同様の効果が得られた。

【００４２】（実施の形態３）図１１は本発明の実施の
形態３における振動子の平面図である。この振動子にお
いて実施の形態１、実施の形態２と同一機能の部品につ
いては同じ番号を付与して説明を省略し、異なる部分に
ついてのみ説明する。

【００４３】図１１において１０８は第１の梁１１０の
中央部より左右にでている支持梁で、それらの先端には
支持質量部１０９が形成されており、この支持質量部１
０９の部分にてセンサ素子１が保持されている。第１の
梁１１０の両端部にはくびれ部１１０ａが設けられてい
る。第２の梁１１１にも同様のくびれ部１１１ａ、第３
の梁１１２にもくびれ部１１２ａが設けられている。第
４の梁１１３はその両端部が第２の梁１１１、第３の梁
１１２よりも突き出た突出部１１３ａを有する。同様に
第５の梁１１４もその両端に突出部１１４ａを有する。
なおセンサ素子１は実施の形態１と同じく水晶からでき
ている。

【００４４】次に本実施の形態３の角速度センサの動作
について説明するが駆動、モニター用の電極の配置、角
速度信号検出方法は実施の形態１と同じであるので説明
を省略し、ここでは本実施の形態３での梁の振動と角速
度の検出について説明する。

【００４５】図１１において、第４の梁１１３の突出部
１１３ａ、第５の梁１１４の突出部１１４ａが設けられ
ているので、第２の梁１１１、第３の梁１１２が左右に
振動する際、その振動の節である部分すなわち第２の梁
１１１、第３の梁１１２それぞれの梁の延長線上に質量
が集中しているので第２の梁１１１、第３の梁１１２を
バランスよく振動させることができ感度が向上する。

【００４６】また、第２の梁１１１、第３の梁１１２の
両端にくびれ部１１１ａ，１１２ａを設けて梁の剛性を
下げているので振動振幅を大きくすることができる。第
１の梁１１０の両端にもくびれ部１１０ａを設けている
ので第１の梁１１０のコリオリ力による撓みを大きくと
ることができ、センサ感度が向上する。

【００４７】センサ素子１を保持するのに支持梁１０８
を用いているので、検出梁として第１の梁１１０の撓む
部分の長さをより長くとることができる。また支持梁１
０８の先端に支持質量部１０９を設けこの支持質量部１
０９でもってセンサ素子１を支持固定しているので、こ
の振動系より外部に漏れる振動がこの支持質量部１０９
で吸収される。同様に外部からの振動や衝撃の一部もこ
の支持質量部１０９で吸収されるので結果として外部か
らの衝撃や振動による影響を受けにくくなっている。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本発明は、第１の梁と、こ
の梁と同一平面上で左右両側に平行に配置され前記第１
の梁と同一長の第２、第３の梁と、前記第１、第２、第
３の梁の各々の端部を接続する第４、第５の梁から構成
され、前記第１の梁の中心部が支持固定されている検出
素子を有していることにより、駆動された梁の変位成分
の一部がコリオリ力検出成分の中に混入することなく、
コリオリ力の成分のみを抽出することができるので角速
度の検出精度を向上させることができる。

【００４９】また、振動子の駆動やコリオリ力の検出
に、多数の櫛歯状の電極を必要とする静電引力や静電容
量を検出するという方法を用いておらず圧電体材料を用
いているので容易に製造することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の角速度センサの実施の形態１の構造を
示す斜視図

【図２】同角速度センサの断面図

【図３】同角速度センサのセンサ素子部分の平面図

【図４】図３のＡ−Ａ断面図

【図５】図３のＢ−Ｂ断面図

【図６】図３のＣ−Ｃ断面図

【図７】センサ素子の振動状態を示す模式図

【図８】信号処理回路のブロック図

【図９】入力角速度とセンサ出力信号との関係を表す図

【図１０】本発明の実施の形態２のセンサ素子の斜視図

【図１１】本発明の実施の形態３のセンサ素子の平面図

【符号の説明】

１センサ素子２気密板３電気端子４スペーサ５金ワイヤ６カバー７〜１２電極１３駆動回路１４〜２５電極２６チャージアンプ２７検波回路２８フィルター回路２９出力端子３１圧電体３２振動子１０１切欠き部１０２付加質量１０３空間孔部１０４検出部１０５センサ中心支持部１０６駆動部１０７モニター部１０８支持梁１０９支持質量部１１０第１の梁１１０ａくびれ部１１１第２の梁１１１ａくびれ部１１２第３の梁１１２ａくびれ部１１３第４の梁１１３ａ突出部１１４第５の梁１１４ａ突出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山本毅大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 2F105 AA02 AA03 AA06 AA08 BB02 CC04 CD02 CD06 CD13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の梁と、この梁と同一平面上で左右
両側に平行に配置され前記第１の梁と同一長の第２、第
３の梁と、前記第１、第２、第３の梁の各々の端部を接
続する第４、第５の梁から構成され、前記第１の梁の中
心部が支持固定されている検出素子を有する角速度セン
サ。
【請求項２】第２、第３の梁の中央部に付加質量を設
け、前記第２、第３の梁の振動共振周波数と第１の梁の
共振周波数が近接するように構成された請求項１に記載
の角速度センサ。
【請求項３】第１〜第５の梁、付加質量とこれらを支
持する支持部をすべて同一部材でかつ同一面内で形成し
た請求項２に記載の角速度センサ。
【請求項４】第２、第３の梁に設けられた付加質量は
略Ｔ字型である請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項５】第２、第３の梁それぞれの端部で接続さ
れている第４、第５の梁の外側の中央部に切り込みを設
けた請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項６】第１の梁はＳ字状の振動モードで検出を
行い、第２、第３の梁の駆動を１次振動モードにて行う
請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項７】第１、第２、第３の梁とほぼ直交する第
４、第５の梁の長手方向の端部を前記第２、第３の梁と
交差する部分より延出させた請求項３に記載の角速度セ
ンサ。
【請求項８】第１の梁と第４、第５の梁との接続部に
おいて第１の梁の一部にくびれ部を設けた請求項３に記
載の角速度センサ。
【請求項９】第２、第３の梁と第４、第５の梁との接
続部において第２、第３の梁の一部にくびれ部を設けた
請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項１０】第１の梁の中央部からそれぞれ第２、
第３の梁の中央部の方向に向かう梁をそれぞれひとつず
つ設け、これら２つの梁の先端を支持固定した請求項３
に記載の角速度センサ。
【請求項１１】第１の梁の中央部に形成した２つの梁
の端部に付加質量を設け、この付加質量そのものあるい
はその一部を支持固定した請求項１０に記載の角速度セ
ンサ。
【請求項１２】梁の材料が圧電体で構成されている請
求項３に記載の角速度センサ。
【請求項１３】第２、第３の梁に駆動用の圧電体およ
び第１の梁に検出用の圧電体を設けた請求項３に記載の
角速度センサ。