JP2002267600A

JP2002267600A - 反射特性測定装置

Info

Publication number: JP2002267600A
Application number: JP2001068140A
Authority: JP
Inventors: Kenji Imura; 健二井村
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 2001-03-12
Filing date: 2001-03-12
Publication date: 2002-09-18

Abstract

(57)【要約】【課題】試料表面の傷などを容易に識別する。【解決手段】撮像用照明部２０の撮像用光源２１は、
積分球１０の照明用開口１７の外側近傍に配置され、指
向性を有する光源からなり、照明用開口１７を通して、
試料用開口１４の開口面の法線１４ｎに対して所定角度
だけ傾斜した方向から試料用開口１４に配置された試料
８を照明する。撮像部３０の撮像用光学系３１は、撮像
用開口１６を通して試料用開口１４に配置された試料８
の像をエリアセンサ３２の受光面に結像するもので、試
料用開口１４の部分を含む範囲の像を結像する。エリア
センサ３２は、例えば複数のＣＣＤなどの光電変換素子
が２次元的に配列されてなり、制御部５０からの制御信
号に基づき動作し、撮像信号として受光した光強度に応
じた電気信号を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、分光測色計などの
反射特性測定装置に係り、特に、試料の測定部位の位置
決めを好適に行うことが可能な反射特性測定装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】三刺激値直読型色彩計や分光測色計など
の測色装置を用いて試料の特定部位の反射色を測定する
場合には、装置の試料用開口を目標とする特定部位に正
確に位置決めすることが重要であるため、従来、図１２
に示すようなファインダ光学系を備えた測色装置が用い
られる。

【０００３】図１２の測色装置では、積分球１００の試
料用開口１０１に配置されたマスク板１０２の開口１０
２ａおよび試料１０３が、ファインダ用光源１０４によ
り照明される。ファインダ光学系１１０は結像レンズ１
１１および反射鏡１１２を備え、結像レンズ１１１によ
り試料１０３の像が反射鏡１１２を介してスクリーン１
１３上に結像される。このスクリーン１１３は装置本体
の表面近傍に配設され、スクリーン１１３の外側には、
測定時に外光が装置内に侵入するのを防止するための蓋
１１４が設けられている。制御部１１５は、蓋１１４の
開放を検知すると発光回路１１６を介してファインダ用
光源１０４を点灯し、蓋１１４の閉塞を検知するとファ
インダ用光源１０４を消灯して、測定スイッチ（図示省
略）が押されると、発光回路１１７を介して測色用光源
１０５を点灯し、試料用開口１０１の開口面の法線に対
して８°傾斜した成分の反射光を受光する受光部１１８
からの受光データに基づき、測色値を求めるようになっ
ている。

【０００４】この測色装置において、使用者は、蓋１１
４を開放して装置本体の外部からスクリーン１１３を目
視することにより、マスク板１０２の開口１０２ａと当
該開口内の試料１０３との位置関係を確認することがで
きる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】試料に対して通常の目
視観察を行う場合には、試料上の観察部位だけが照明さ
れるのではなく、その周辺領域も含む観察部位よりも広
い領域が照明される。このため、特に紙やプラスチック
などの半透明性の高い試料では、周辺領域に入射して試
料内部を通過した照明光が観察部位から目視観察される
こととなる。従って、図１２の測色装置において目視観
察に相関のある測色値を得るためには、目視観察に合わ
せて、照明域を規制するマスク板１０２の開口１０２ａ
を他の条件（例えば、あまり開口を大きくすると、小さ
い試料を開口部に押し付けて保持できなくなる）の許す
範囲で、測定域より大きくする必要がある。

【０００６】この場合、図１２の測色装置での開口１０
２ａに対する試料１０３の位置決めは、使用者が測定域
の位置および大きさの見当を付けて行うことになるの
で、高精度で位置決めを行うのは困難である。

【０００７】そこで、スクリーン１１３に代えて、ＣＣ
Ｄなどの撮像素子およびモニタを備え、撮像素子により
試料１０３を撮像して試料像をモニタに表示することが
考えられる。この場合には、試料像とともに測定域を示
す指標をモニタに併記表示することにより、照明域が測
定域よりも大きい場合でも、位置決めを正確かつ容易に
行うことができる。

【０００８】一方、測色を正確に行うためには、試料の
表面に付いている傷などを避けて測定域を設定すること
が必要である。

【０００９】しかし、図１２に示す積分球を用いた拡散
照明／８°受光（いわゆるｄ／８ジオメトリ）の測色装
置では、ファインダ用光源１０４も積分球１００内に配
置しているので、試料確認のための照明も拡散照明とな
るため、試料の表面に傷による凹凸が存在しても、その
凹凸による影は殆ど生じない。従って、スクリーン１１
３による目視確認および撮像素子による画像表示による
確認のいずれの場合でも、試料表面の傷などを確認する
のは非常に困難である。

【００１０】本発明は、上記課題を解決するもので、試
料表面の傷などを容易に識別することが可能な反射特性
測定装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、測定
のために試料を多方向から照明する測定用照明手段と、
この測定用照明手段により照明された試料からの反射光
を受光し、その光強度に応じた受光信号を出力する受光
手段とを備え、上記受光手段から出力される受光信号に
基づき試料の反射特性を求める反射特性測定装置におい
て、像形成のために試料を特定方向から照明する像形成
用照明手段と、この像形成用照明手段により照明された
試料の像を表示する表示手段とを備えたことを特徴とし
ている。

【００１２】この構成によれば、測定用照明手段により
試料が多方向から照明された場合には、試料の表面に傷
などの凹凸が存在しても影が生じないが、像形成用照明
手段により試料が特定方向から照明されると、試料面に
凹凸が存在すると影が生じるので、この像形成用照明手
段により照明された試料の像が表示手段に表示されるこ
とにより、試料面の凹凸を検知することが可能になる。
従って、傷などの凹凸を避けて測定域の位置決めを行う
ことにより、常に高精度で測定を行うことが可能とな
る。

【００１３】請求項２の発明は、請求項１記載の反射特
性測定装置において、上記像形成用照明手段により照明
された試料を電気的に撮像する撮像手段を備え、上記表
示手段は、上記撮像手段により撮像された試料像を電気
的に表示するものであることを特徴としている。

【００１４】この構成によれば、像形成用照明手段によ
り特定方向から照明された試料が電気的に撮像され、こ
の撮像された試料像が電気的に表示されるので、試料面
に凹凸が存在すると影が生じ、この影が撮像されて表示
手段に電気的に表示されることから、画像の濃淡により
試料面の凹凸が容易に検知されることとなる。

【００１５】請求項３の発明は、請求項２記載の反射特
性測定装置において、上記撮像手段により撮像された試
料像の濃淡を強調する処理を施して上記表示手段に表示
する画像処理手段を備えたことを特徴としている。

【００１６】この構成によれば、撮像手段により撮像さ
れた試料像の濃淡を強調する処理が施されて表示手段に
電気的に表示されるので、試料面における凹凸により生
じる影の濃淡が強調されることになり、試料面の凹凸が
より確実に検知されることとなる。

【００１７】請求項４の発明は、請求項２または３記載
の反射特性測定装置において、上記試料上の測定域から
の反射光を当該測定域の大きさを変更可能に上記受光手
段に導く受光光学系と、この受光光学系を駆動すること
により上記測定域の大きさを変更させる光学系駆動手段
と、上記受光光学系の駆動状態を検出して上記測定域の
大きさを判別し、判別した測定域の大きさに応じた指標
を上記表示手段に併記表示する表示制御手段とを備えた
ことを特徴としている。

【００１８】この構成によれば、受光光学系が駆動され
ると、試料上の測定域の大きさが変更されて当該測定域
からの反射光が受光光学系により受光手段に導かれる
が、受光光学系の駆動状態が検出されて測定域の大きさ
が判別され、判別された測定域の大きさに応じた指標が
表示手段に併記表示されることにより、大きさが変更さ
れる測定域を明確に区別することが可能になり、これに
よって試料の位置決めを精度良く行えることとなる。

【００１９】請求項５の発明は、請求項４記載の反射特
性測定装置において、上記表示制御手段は、上記試料像
および上記指標を上記測定域の大きさに応じた倍率で上
記表示手段に併記表示するものであることを特徴として
いる。

【００２０】この構成によれば、試料像および指標が測
定域の大きさに応じた倍率で表示手段に併記表示される
ことから、例えば測定域が所定の大きさのときは等倍で
表示し、測定域が当該所定の大きさ以下のときは例えば
２倍に拡大して表示することにより、試料像および指標
を見易くすることが可能になる。

【００２１】請求項６の発明は、請求項４または５記載
の反射特性測定装置において、上記測定用照明手段から
上記試料上への照明域を決定する開口が穿設されたマス
ク板を交換可能に保持する保持手段と、上記受光光学系
によって決まる測定域の大きさに対して、上記保持手段
に保持されている上記マスク板の開口によって決まる照
明域の大きさが適合しているか否かの判定を行う判定手
段とを備え、上記像形成用照明手段は、少なくとも上記
保持手段に保持されるマスク板の開口を含む領域を照明
するもので、上記撮像手段は、少なくとも上記保持手段
に保持されるマスク板の開口を含む領域を撮像するもの
で、上記判定手段は、上記受光光学系の駆動状態と上記
撮像手段による上記マスク板の開口の撮像情報とに基づ
き上記判定を行うものであることを特徴としている。

【００２２】この構成によれば、測定用照明手段から試
料上への照明域を決定する開口が穿設されたマスク板が
保持手段により交換可能に保持されており、受光光学系
によって決まる測定域の大きさに対して、保持手段に保
持されているマスク板の開口によって決まる照明域の大
きさが適合しているか否かの判定が行われる。

【００２３】このとき、像形成用照明手段により少なく
ともマスク板の開口を含む領域が照明されるとともに、
撮像手段により少なくともマスク板の開口を含む領域が
撮像されることから、照明されているマスク板の開口を
撮像することにより開口サイズの判別が可能になる。一
方、受光光学系の駆動状態に基づき測定域の大きさの判
別が可能になるので、双方の判別結果に基づき、測定域
の大きさに対して照明域の大きさが適合しているか否か
の判定が好適に行われることとなる。

【００２４】反射特性測定の際には、一般に、後述する
ダーク校正や白色校正が行われるが、これらの校正は測
定域に対応した開口を有するマスク板が保持された状態
で行われているので、測定も同一条件で行われる必要が
ある。従って、受光光学系によって決まる測定域に適合
するマスク板が保持されていれば、ダーク校正および白
色校正と同一条件であり、さらに目視観察に合った測定
結果が得られることから、適合しているとの判定を行え
ばよい。

【００２５】請求項７の発明は、請求項６記載の反射特
性測定装置において、上記判定手段により上記測定域の
大きさに対して上記照明域の大きさが不適合であると判
定されたとき、その旨の警告を行う警告手段を備えたこ
とを特徴としている。

【００２６】この構成によれば、測定域の大きさに対し
て照明域の大きさが不適合であると判定されたとき、そ
の旨の警告が行われるので、受光光学系によって決まる
測定域に適合しないマスク板が保持された状態で測定が
行われるのを未然に防止することが可能になる。

【００２７】請求項８の発明は、請求項１記載の反射特
性測定装置において、上記像形成用照明手段により照明
された試料からの光を上記表示手段に導くファインダ光
学系を備え、上記表示手段は、装置本体外から目視可能
なスクリーンからなるものであることを特徴としてい
る。

【００２８】この構成によれば、像形成用照明手段によ
り照明された試料からの光が、装置本体外から目視可能
なスクリーンに導かれることにより、特定方向から照明
された試料面における凹凸の存在により生じる影がスク
リーンに投影されるので、この影に基づき試料面の凹凸
を検知することが可能になる。従って、傷などの凹凸を
避けて測定域の位置決めを行うことにより、常に高精度
で測定を行うことが可能となる。

【００２９】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る反射特性測定
装置の一実施形態である分光測色装置の機能を示すブロ
ック図、図２は同分光測色装置の装置構成を示す図であ
る。

【００３０】図２に示すように、この分光測色装置は、
測色計１と、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）２とから
構成され、両者は所定の信号インターフェース（例えば
Universal Serial Busインターフェース）に準拠したケ
ーブル３を介して接続されている。ＰＣ２は、キーボー
ドおよびマウスからなる操作部４とモニタ５とを備え、
図１に示すように、記録媒体６に格納されている測定制
御プログラムを読み取って実行することにより、操作部
４を介して入力される操作信号に基づき、プログラムの
手順に従って、制御部７により測定動作が行われる。

【００３１】記録媒体６に格納されている測定制御プロ
グラムは、グラフィカル・ユーザ・インターフェースを
備えており、後述するように、例えばモニタ５にアイコ
ンとして表示されるスイッチを操作部４のマウスにより
クリックすると、スイッチがオンにされた旨の操作信号
が制御部７に入力されるように構成されている。

【００３２】測色計１は、例えば直方体形状の装置本体
の内部に、積分球１０、撮像用照明部２０、撮像部３
０、受光部４０、制御部５０などを備えている。

【００３３】積分球１０は、その内壁１１に高拡散性、
高反射率の例えば酸化マグネシウムや硫酸バリウム等の
白色拡散反射塗料が塗布された中空の球で、内部にキセ
ノンフラッシュランプなどからなる光源１２を備え、光
源１２からの光を内壁１１で多重反射して拡散光を生成
するものである。発光回路１３は、光源１２に電力を供
給して光源１２を発光させるものである。

【００３４】図１は積分球１０の側面断面図を示してお
り、積分球１０は、下端に穿設された試料用開口１４
と、この試料用開口１４の開口面の法線１４ｎに対して
８°傾斜した方向に穿設された受光用開口１５と、上記
法線１４ｎに近い位置に穿設された撮像用開口１６と、
側面に穿設された照明用開口１７とを有する。

【００３５】積分球１０の試料用開口１４の直ぐ外側に
は、マスク板１８を保持するマスク板保持部１ａが配設
されている。このマスク板保持部１ａは、それぞれ大き
さが異なる開口を有するマスク板１８を交換可能に保持
するものである。

【００３６】なお、光源１２の近傍には、図１に示すよ
うに遮蔽板が設けられており、光源１２からの光が試料
用開口１４を直接照射しないように構成されている。

【００３７】撮像用照明部２０は、撮像用光源２１およ
び発光回路２２から構成される。撮像用光源２１は、積
分球１０の照明用開口１７の外側近傍に配置され、指向
性を有する光源（本実施形態では、例えば白色ＬＥＤ）
からなり、照明用開口１７を通して、試料用開口１４の
開口面の法線１４ｎに対して所定角度（本実施形態で
は、例えば約40°）だけ傾斜した方向から試料用開口１
４に配置された試料８を照明するものである。発光回路
２２は、撮像用光源２１に電力を供給して光源２１を発
光させるものである。

【００３８】撮像部３０は、撮像用光学系３１およびエ
リアセンサ３２からなる。撮像用光学系３１は、撮像用
開口１６を通して試料用開口１４に配置された試料８の
像をエリアセンサ３２の受光面に結像するもので、試料
用開口１４の部分を含む範囲の像を結像する。エリアセ
ンサ３２は、例えばＣＣＤ２次元イメージセンサのよう
に複数の光電変換素子が２次元的に配列されてなり、制
御部５０からの制御信号に基づき動作し、撮像信号とし
て受光した光強度に応じた電気信号を出力するものであ
る。

【００３９】受光部４０は、受光光学系４１、レンズ駆
動部４２および試料用分光部４３からなる。受光光学系
４１は、本実施形態では例えば１つの凸レンズからな
り、その光軸が試料用開口１４の開口面の法線１４ｎに
対して８°傾斜した方向に一致するように配置されてお
り、受光用開口１５を通して、試料８からの反射光のう
ちで当該光軸方向の成分１５ａを受光して集束し、試料
用分光部４３の入射開口に導くもので、上記光軸方向に
移動可能に配設されている。レンズ駆動部４２は、例え
ばモータなどからなり、制御部５０からの制御信号に基
づき受光光学系４１をその光軸方向に移動させるもので
ある。

【００４０】受光光学系４１が移動すると、試料用分光
部４３に導かれる試料８からの反射光の範囲の大きさが
変化する。例えば、受光光学系４１が試料８からの平行
光を試料用分光部４３の受光面に集束するような試料８
から所定距離に位置するときは、受光光学系（レンズ）
４１の大きさにほぼ等しい範囲からの反射光を試料用分
光部４３に導くことになる。また、受光光学系４１が上
記所定距離より試料８に近付くと、より小さい範囲から
の反射光が試料用分光部４３に導かれる。すなわち、レ
ンズ駆動部４２を介して受光光学系４１を光軸方向に移
動させることにより、測定域の大きさを変化させること
ができる。

【００４１】レンズ駆動部４２には、受光光学系４１の
移動距離に応じて一定間隔でパルス信号を出力するエン
コーダ（図示省略）が取り付けられており、受光光学系
４１の基準位置近傍には、受光光学系４１が基準位置に
位置すると検出信号としてオン信号を出力するフォトイ
ンタラプタなどの光センサ（図示省略）が配設されてい
る。また、制御部５０のメモリには、受光光学系４１が
基準位置から所定位置（本実施形態では例えば３種類の
位置）まで移動するときにエンコーダから出力されるパ
ルス信号数が記憶されている。

【００４２】そして、制御部５０は、光センサからのオ
ン信号に基づき受光光学系４１を基準位置に戻した後
に、エンコーダから出力されるパルス信号の個数をカウ
ントして受光光学系４１の移動量を検出し、記憶されて
いるパルス信号数だけレンズ駆動部４２を介して受光光
学系４１を移動させ、測定域を小サイズ（本実施形態で
は例えば4mm）、中サイズ（本実施形態では例えば8m
m）、大サイズ（本実施形態では例えば25mm）の３種類
のいずれかに設定する。

【００４３】試料用分光部４３は、受光光学系４１によ
り集束され、入射開口を介して入射する光を波長ごとに
分光し、波長ごとの光強度に応じた反射光分光強度信号
を出力するもので、例えば反射型または透過型の回折格
子と、この回折格子により分散された光を波長ごとに受
光する複数の光電変換素子とによって構成される。

【００４４】積分球２０の適所には、光学ファイバ４４
の入射端が配設されている。この光学ファイバ４４は、
積分球２０内の拡散光を参照光として参照用分光部４５
に導くものである。参照用分光部４５は、光学ファイバ
４４により導かれた参照光を波長ごとに分光し、波長ご
との光強度に応じた参照光分光強度信号を出力するもの
で、試料用分光部４３と同様の構成、すなわち例えば反
射型または透過型の回折格子と、この回折格子により分
散された光を波長ごとに受光する複数の光電変換素子と
を備えた構成になっている。

【００４５】積分球１０および受光部４０により、ｄ／
８ジオメトリの測色計１が構成されている。

【００４６】制御部５０は、例えばＣＰＵ、３つのＡ／
Ｄ変換器、メモリ、電子回路などを備え、ケーブル３を
介して接続されたＰＣ５の制御部７からの制御信号に基
づき測色計１の各部の動作を制御するものである。３つ
のＡ／Ｄ変換器のうちで１つはエリアセンサ３２から入
力される画像信号を所定ビット（本実施形態では例えば
８ビット）のディジタル値に変換するもので、２つはそ
れぞれ分光部４３，４５から入力されるアナログ信号を
所定ビット（本実施形態では例えば１６ビット）のディ
ジタル値に変換するものである。

【００４７】ＰＣ５の制御部７は、測定域の大きさの設
定、設定された測定域の大きさに対してマスク板の開口
が適合しているか否かの判定、判定結果が不適合の場合
にモニタ５に行う警告表示、設定された測定域の大きさ
に応じたモニタ５への表示倍率の設定、撮像された画像
の強調処理などの機能を有する。これらの機能について
は後述する。

【００４８】次に、図３を用いて、設定された測定域の
大きさに対するマスク板の開口サイズ判定について説明
する。図３(ａ)〜(ｃ)において、それぞれ、上部は積分
球１０の試料用開口１４近傍の側面断面図、中央は積分
球１０の中心から試料用開口１４を見た平面図、下部は
マスク板１８の開口サイズを示すマークの検出信号を示
している。また、中央の平面図における破線で囲まれた
斜線領域は、それぞれ、大サイズの測定域８ａ、中サイ
ズの測定域８ｂ、小サイズの測定域８ｃを示している。

【００４９】マスク板１８は、図３(ａ)に示す大サイズ
の開口１８ａ、図３(ｂ)に示す中サイズの開口１８ｂ、
図３(ｃ)に示す小サイズの開口１８ｃをそれぞれ備えた
３種類が予め準備されており、測定域に応じた開口を備
えるマスク板１８を使用者がマスク板保持部１ａに挿入
できるようになっている。

【００５０】そして、測定域として、図３(ａ)に示すよ
うに大サイズの測定域８ａが設定されているときは、大
サイズの開口１８ａを備えたマスク板１８が用いられ、
図３(ｂ)に示すように中サイズの測定域８ｂが設定され
ているときは、中サイズの開口１８ｂを備えたマスク板
１８が用いられ、図３(ｃ)に示すように小サイズの測定
域８ｃが設定されているときは、小サイズの開口１８ｃ
を備えたマスク板１８が用いられる。

【００５１】図３(ａ)〜(ｃ)に示すように、マスク板１
８の所定箇所には、それぞれ、Ａ−Ａ’方向の長さが開
口サイズに対応して設定された帯状のマーク１８ｄ，１
８ｅ，１８ｆ（図中、斜線で示す）が付されている。な
お、本実施形態では、マスク板１８には汚れによる影響
を受けにくいように例えば黒色塗装が施されており、マ
ーク１８ｄ，１８ｅ，１８ｆの部分にのみ例えば白色塗
装が施されている。

【００５２】制御部７は、エリアセンサ３２から出力さ
れる撮像信号を用いて、マーク１８ｄ，１８ｅ，１８ｆ
を通るＡ−Ａ’線に沿った画素列の光量（例えば画像デ
ータＧ）を所定の閾値Ｔ（本実施形態では8ビットにＡ
／Ｄ変換しているので、例えばＴ＝127）で２値化し
て、図３(ａ)〜(ｃ)の下部に示す検出信号を得る。そし
て、マークの長さに対応する画素数Ｌにより、配置され
ているマスク板１８の開口サイズを判別する。これは、
例えば予め設定された値Ｌ１，Ｌ２（Ｌ１＜Ｌ２）を記
憶しておき、Ｌ＜Ｌ１であれば大サイズの開口１８ａと
判別し、Ｌ１＜Ｌ＜Ｌ２であれば中サイズの開口１８ｂ
と判別し、Ｌ２＜Ｌであれば小サイズの開口１８ｃとし
て判別することによって行う。

【００５３】一方、制御部７は、レンズ駆動部４２から
出力されるパルス信号の個数に基づき、設定されている
測定域の大きさが判別できる。そこで、測定域の大きさ
とマスク板１８の開口サイズとが適合しているか否かを
判定し、判定結果が不適合のときは、警告メッセージを
モニタ５に表示する。

【００５４】このように、測定域の大きさとマスク板１
８の開口サイズとが適合しているか否かを判定し、判定
結果が不適合のときに警告メッセージをモニタ５に表示
するようにしているので、使用者に適正な開口サイズの
マスク板１８への交換を促すことができる。これによっ
て、不適合のマスク板１８が配置されたまま、誤った測
定が行われるのを未然に防止することができる。

【００５５】また、測定域の大きさに応じた開口サイズ
のマスク板１８への交換を促すことにより、測定域より
十分に大きい照明域が常に得られ、これによって目視観
察に相関のある測色値を確実に得ることができる。

【００５６】なお、マスク板保持部１ａは、開口１８
ａ，１８ｂ，１８ｃが１つの板状体にターレット式に穿
設されて構成されるマスク板を回転可能に保持するもの
とし、当該マスク板を回転することにより試料用開口１
４に対向配置される開口を切り換えるようにしてもよ
い。

【００５７】次に、図４を用いて、設定された測定域の
大きさに応じたモニタへの表示倍率について説明する。
図４(ａ)〜(ｃ)は試料像のモニタへの表示倍率を説明す
る図である。

【００５８】エリアセンサ３２から出力されるアナログ
撮像信号が制御部５０においてＡ／Ｄ変換されて得られ
る８ビットのディジタル画像データＲ，Ｇ，Ｂは、ケー
ブル３を介してＰＣ２の制御部７に送られる。そして、
制御部７は、図４(ａ)〜(ｃ)に示すように、設定された
測定域を示す指標５ａ，５ｂ，５ｃを試料８の画像に重
ねてモニタ５に表示する。

【００５９】その際、制御部７は、画像データＧの光量
レベルの平均値Ｍを求め、Ｍ≧127のときは試料８の画
像が明るいとして指標５ａ，５ｂ，５ｃを黒色で表示
し、Ｍ＜127のときは試料８の画像が暗いとして指標５
ａ，５ｂ，５ｃを白色で表示する。従って、試料８の画
像の明るさに関わりなく、指標５ａ，５ｂ，５ｃを見易
くすることができ、これによって試料の位置決めを容易
に行うことができる。

【００６０】また、試料像および指標のモニタ５への表
示倍率は、設定されている測定域が大サイズ（例えば25
mm）のときは等倍とし、中サイズ（例えば8mm）のとき
は２倍とし、小サイズ（例えば4mm）のときは３倍とす
る。これによって、測定域のサイズが小さい場合には、
モニタ５に拡大して表示されるので、測定域の大小に関
わりなく、精度良く位置決めを行うことができる。

【００６１】次に、図５を用いて、撮像した試料像の強
調処理について説明する。図５(ａ)〜(ｅ)は強調処理を
説明する図である。

【００６２】本実施形態では、試料用開口１４の開口面
の法線１４ｎに対して約40°の方向から指向性を有する
撮像用光源２１により試料８を照明しているので、試料
面に傷などによる凹凸があると影が生成されるため、図
５(ａ)に示すように、モニタ５の表示画像において凹凸
部８１が画像の濃淡により識別可能となる。

【００６３】ここで、モニタ５の表示画像において、影
が生成される方向、すなわち撮像用光源２１による照明
光の光軸を含む方向をｘ軸としてｘ，ｙ座標を設定す
る。このように設定されたｘ，ｙ座標で表わされる例え
ば画像データＧは、図５(ｂ)に示すように、凹凸部８１
の箇所においてレベルが低下している。

【００６４】制御部７は、強調処理スイッチがオンにさ
れると、図５(ｃ)に示すように、画像データＲ，Ｇ，Ｂ
のうちで、例えば画像データＧのｘ軸方向についての微
分画像データdG／dxを求め、さらに、図５(ｄ)に示すよ
うに、この微分画像データdG／dxのＥ倍を元の画像デー
タである原画像データＧに加算した強調画像データ(Ｇ
＋Ｅ・dG／dx)を求める。ここで、Ｅは強調度で、例えば
Ｅ＝４である。

【００６５】これによって、図５(ｄ)に示すように、レ
ベル変化が強調された画像データが得られる。画像表示
の際には、さらに原画像データＲ，Ｂおよび微分画像デ
ータdG／dxから強調画像データ(Ｒ＋Ｅ・dG／dx)，(Ｂ＋
Ｅ・dG／dx)を求め、これらの強調画像データに基づいて
画像が表示される。従って、強調処理が施されたモニタ
５の表示画像は、図５(ｅ)に示すように、図５(ａ)に比
べて凹凸部８１が強調された画像となる。

【００６６】このように、撮像部３０により撮像して得
られる画像データに強調処理を施してモニタ５に表示す
るようにしているので、試料８の表面における傷などの
凹凸を強調表示できることから、通常の画像では視認が
困難であるが測色の精度に悪影響を及ぼす程度の微小な
傷なども見逃すことなく検知することができる。

【００６７】なお、微分画像データdG／dxの算出は、本
実施形態では、ｙ軸方向に１画素ごとに全画素列につい
て行っているが、所定の複数画素（例えば２〜４画素）
ごとに間引いて行ってもよい。

【００６８】次に、このように構成された測色計１にお
ける作用について説明する。ＰＣ５の制御部７から制御
部５０を介して発光回路１３に入力される制御信号に基
づき光源１２が点灯すると、試料８は拡散照明される。
そして、試料８からの反射光のうちで、試料用開口１４
の開口面の法線１４ｎに対して８°傾斜した方向の成分
１５ａが受光光学系４１に入射し、受光光学系４１によ
り集束されて試料用分光部４３に入射し、反射光分光強
度信号が制御部５０を介してＰＣ２の制御部７に送られ
る。

【００６９】一方、光源１２が点灯したときに、積分球
１０内の拡散光が光学ファイバ４４の入射端に入射し、
光学ファイバ４４により導かれて参照光として参照用分
光部４５に入射し、参照光分光強度信号が制御部５０を
介してＰＣ２の制御部７に送られる。

【００７０】そして、制御部７によって、光源１２の点
灯により同時に得られた反射光分光強度信号および参照
光分光強度信号に基づき試料８の分光反射率が求めら
れ、モニタ５に表示される。

【００７１】次に、測色計において従来から一般に行わ
れる校正について説明する。まず、ダーク校正について
説明する。通常、測色計においては、光電変換素子の暗
電流や試料からの測定したい光以外の迷光が存在するた
め、たとえ反射率０％の試料の反射率を測定した場合で
も、微小レベルのオフセットが出力されて０％とならな
い。この迷光は、例えば試料を照明するための光源から
の光が直接光電変換素子に到達してしまうものや、レン
ズなどの光学系による散乱光などからなる。

【００７２】この暗電流や迷光等による余分な出力を除
去するために、反射特性の測定前または定期的にダーク
校正を行い、その結果をダーク校正値として制御部５０
のメモリに格納しておく。そして、白色校正や試料測定
を行う際に、分光部４３，４５から出力される分光強度
信号からオフセット分であるダーク校正値を差し引くよ
うにしている。

【００７３】ダーク校正は、積分球１０の試料用開口１
４に光トラップを配置して行う。光トラップは、開口を
有する箱形で、内壁には黒色塗料が塗装され、積分球１
０からの拡散光が入射したときに、その反射光のうちで
試料用分光部４３に入射する成分の光強度が十分に低い
値になるように構成されたものである。

【００７４】そして、光トラップを積分球１０の試料用
開口１４に配置した状態で、例えばＰＣ２のモニタ５に
表示されるアイコンのうちでダーク校正スイッチをマウ
スによりクリックすると、光源１２が発光し、分光部４
３，４５からダーク分光強度信号Ｉ₁(λ)および参照光
分光強度信号Ｉ₂(λ)が出力され、制御部７によりダー
ク校正値ｄ(λ)が、ｄ(λ)＝Ｉ₁(λ)／Ｉ₂(λ) に従って算出され、この算出されたダーク校正値ｄ(λ)
が制御部５０のメモリに格納される。

【００７５】次に、白色校正について説明する。白色校
正は、積分球１０の反射率を校正するためのもので、校
正用白色板を用いて行う。校正用白色板は、分光反射率
が既知（本実施形態では、例えばＷ(λ)とする）の白色
面、例えば「ＪＩＳＺ８７２２色の測定方法−反
射及び透過物体色４．３．４節」にあるような白色面
を有する板である。

【００７６】そして、校正用白色板を積分球１０の試料
用開口１４に配置した状態で、例えばＰＣ２のモニタ５
に表示されるアイコンのうちで白色校正スイッチをマウ
スによりクリックすると、光源１２が発光し、分光部４
３，４５から白色分光強度信号Ｉ₁(λ)および参照光分
光強度信号Ｉ₂(λ)が出力され、制御部５０により白色
校正係数ｋ(λ)が、ｋ(λ)＝Ｗ(λ)／[Ｉ₁(λ)／Ｉ₂(λ)−ｄ(λ)] に従って算出され、この算出された白色校正係数ｋ(λ)
が制御部５０のメモリに格納される。

【００７７】このような校正動作は、例えば所定の測定
回数ごとに、または所定時間の経過ごとに行えばよい。
ダーク校正を行うことにより、光源１２の経時変化や外
乱などによって迷光量が変化した場合でも、これによる
影響を適正に除去することができ、これによって誤差が
生じるのを防止することができる。また、白色校正を行
うことにより、経時変化や環境変化などによって分光部
４３，４５の感度や積分球１０の内壁１１の反射特性が
変化した場合でも、これによる影響を適正に除去するこ
とができ、これによって誤差が生じるのを防止すること
ができる。

【００７８】なお、本実施形態では、受光光学系４１の
位置を制御することにより測定域の大きさを大サイズ、
中サイズ、小サイズの３種類に設定可能であるので、測
定域を各サイズに設定するとともに対応する開口１８
ａ，１８ｂ，１８ｃを備えたマスク板１８をマスク板保
持部１ａに保持した状態で、ダーク校正および白色校正
を行い、校正結果をそれぞれ制御部５０のメモリに格納
するようにしている。

【００７９】次に、図６〜図９を用いて、この分光測色
装置における測定手順について説明する。図６は測定手
順のメインルーチンのフローチャートである。

【００８０】記録媒体６に格納されている測定制御プロ
グラムがＰＣ２の制御部７により読み取られてプログラ
ムの実行が開始されると、まず、測定域が設定される
（＃１００）。この設定は、例えば、大サイズの測定
域、中サイズの測定域、小サイズの測定域を表わすアイ
コンをモニタ５に併記表示して使用者に設定を促し、マ
ウスによりいずれかのアイコンがクリックされると、そ
のアイコンが表わす測定域に対応する位置まで、レンズ
駆動部４２を介して受光光学系４１を基準位置から移動
させることによって、行われる。

【００８１】次いで、マスク確認処理が行われる（＃１
０５）。図７はマスク確認処理サブルーチンのフローチ
ャートである。

【００８２】図７において、まず、撮像用光源２１が点
灯され、エリアセンサ３２がオンにされて、撮像動作が
開始される（＃２００）。続いて、マスク板１８に設け
られたマーク１８ｄ，１８ｅ，１８ｆを通る画素列（図
３に示すＡ−Ａ’線）の光量が所定の閾値Ｔで２値化さ
れて検出信号が求められ（＃２０５）、マークの長さに
対応する画素数Ｌが算出されて（＃２１０）、画素数Ｌ
が閾値と比較される（＃２１５）。

【００８３】そして、Ｌ＜Ｌ１であれば大サイズの開口
１８ａと判別され（＃２２０）、Ｌ１＜Ｌ＜Ｌ２であれ
ば中サイズの開口１８ｂと判別され（＃２２５）、Ｌ２
＜Ｌであれば小サイズの開口１８ｃと判別される（＃２
３０）。

【００８４】次いで、受光光学系４１の位置を確認する
ことにより設定されている測定域のサイズが判別され
（＃２３５）、測定域のサイズとマスク板の開口サイズ
とが適合しているか否かが判別される（＃２４０）。

【００８５】そして、不適合であれば（＃２４０でＮ
Ｏ）、モニタ５に例えば「正しいマスク板に変えてくだ
さい。」などの警告メッセージを表示し（＃２４５）、
最初のステップである＃２００に戻って、このサブルー
チンを継続する。

【００８６】一方、測定域のサイズとマスク板の開口サ
イズとが適合していれば（＃２４０でＹＥＳ）、モニタ
５に警告表示がされている場合にはこれを消去し（＃２
５０）、撮像用光源２１を消灯するとともにエリアセン
サ３２をオフにした後に（＃２５５）、このサブルーチ
ンを終了してメインルーチンに戻る。

【００８７】図６に戻り、＃１０５に続いて、モニタ５
の「終了スイッチ」アイコンがマウスのクリックにより
オンにされたか否かが判別され（＃１１０）、オンにさ
れると（＃１１０でＹＥＳ）、この測定制御プログラム
が終了する。

【００８８】一方、「終了スイッチ」がオンにされなけ
れば（＃１１０でＮＯ）、次いで、モニタ５の「ファイ
ンダスイッチ」アイコンがマウスのクリックによりオン
にされたか否かが判別され（＃１１５）、オンにされな
ければ（＃１１５でＮＯ）、＃１４０に進み、「ファイ
ンダスイッチ」がオンにされると（＃１１５でＹＥ
Ｓ）、次いで、撮像用光源２１が点灯され、エリアセン
サ３２がオンにされて、撮像動作が開始される（＃１２
０）。

【００８９】次いで、「強調表示スイッチ」アイコンが
マウスのクリックによりオンにされたか否かが判別され
（＃１２５）、オンにされなければ（＃１２５でＮ
Ｏ）、＃１３５に進み、「強調表示スイッチ」がオンに
されれば（＃１２５でＹＥＳ）、強調処理が行われる
（＃１３０）。

【００９０】図８は強調処理サブルーチンのフローチャ
ートである。まず、原画像データＧをｘ軸方向に微分し
て微分画像データdG／dxを求め（＃３００）、次いで、
求めた微分画像データdG／dxに所定の強調度Ｅを乗算し
た上で、各原画像データＲ，Ｇ，Ｂに加算して得られる
強調画像データ(Ｇ＋Ｅ・dG／dx)，(Ｒ＋Ｅ・dG／dx)，
(Ｂ＋Ｅ・dG／dx)を求める（＃３０５）。この処理は、
全画素について行われて、メインルーチンに戻る。

【００９１】図６に戻り、＃１３０に続いて、表示処理
が行われる（＃１３５）。図９は表示処理サブルーチン
のフローチャートである。

【００９２】まず、原画像データＧの光量レベルの平均
値Ｍが求められ（＃４００）、この値Ｍと127が比較さ
れ（＃４０５）、Ｍ≧127のときは（＃４０５でＹＥ
Ｓ）、測定径に応じた黒色の指標が画像に挿入され（＃
４１０）、一方、Ｍ＜127のときは（＃４０５でＮ
Ｏ）、測定径に応じた白色の指標が画像に挿入されて
（＃４１５）、モニタ５に画像が表示されて（＃４２
０）、メインルーチンに戻る。

【００９３】図６に戻り、＃１３５に続いて、モニタ５
の「測定スイッチ」アイコンがマウスのクリックにより
オンにされたか否かが判別され（＃１４０）、オンにさ
れなければ（＃１４０でＮＯ）、＃１１０に戻る。

【００９４】一方、「測定スイッチ」がオンにされると
（＃１４０でＹＥＳ）、撮像用光源２１を消灯するとと
もにエリアセンサ３２をオフにした後に（＃１４５）、
次いで、光源１２を点灯して試料８の測定処理が行われ
て（＃１５０）、＃１１０に戻る。

【００９５】このように、本実施形態によれば、指向性
を有する光源からなる撮像用光源２１により、試料用開
口１４の開口面の法線１４ｎに対して所定角度だけ傾斜
した方向から試料用開口１４に配置された試料８を照明
するようにしているので、試料面に傷などの凹凸が存在
すると影が生じるため、法線１４ｎ近傍に穿設された撮
像用開口１６を通してエリアセンサ３２により撮像する
と、撮像された試料像の濃淡により、当該凹凸を容易に
識別することができる。

【００９６】また、本実施形態によれば、エリアセンサ
３２により撮像された試料像に対して、制御部７により
強調処理を施しているので、画像の濃淡差を増大するこ
とができ、これによって試料面の凹凸を確実に識別する
ことができる。従って、試料面の凹凸を避けて測定を行
うことができ、これによって高精度の測定が確実に行え
ることとなる。

【００９７】また、本実施形態によれば、測定域を示す
指標をモニタ５に表示するようにしているので、マスク
板１８の開口に対する試料８の位置決めを容易に行うこ
とができる。

【００９８】また、本実施形態によれば、試料像および
測定域を示す指標を、測定域が小サイズのときには３倍
に拡大し、測定域が中サイズのときには２倍に拡大して
モニタ５に表示するようにしているので、マスク板１８
の開口に対する試料８の位置決めをより確実に行うこと
ができる。

【００９９】また、本実施形態によれば、マスク板保持
部１ａに保持されているマスク板１８が、選択された測
定域に適合しているか否かを判定し、不適合の場合はモ
ニタ５に警告表示を行うようにしているので、ダーク校
正や白色校正と異なるマスク板で意味のない測定が行わ
れるのを未然に防止することができる。

【０１００】なお、本発明は、上記実施形態に限られ
ず、以下の変形形態を採用することができる。

【０１０１】（１）上記実施形態では、分光測色装置と
しているが、これに限られず、試料用分光部４３および
参照用分光部４５は、特定波長の光強度に応じた受光信
号を出力するものであるとしてもよい。この形態によれ
ば、試料の特定波長の反射率を測定することができる。

【０１０２】（２）上記実施形態では、パーソナルコン
ピュータ２を備えた構成としているが、これに限られ
ず、ＬＣＤなどの表示部を備えたスタンドアロン形式の
分光測色装置としてもよい。

【０１０３】（３）上記実施形態では、受光光学系４１
を１つのレンズで構成し、これを光軸方向に移動可能に
配設しているが、これに限られない。例えば、受光光学
系４１を複数のレンズからなるズームレンズにより構成
してもよい。また、ターレットにより焦点距離が異なる
複数のレンズを切換可能に構成してもよい。

【０１０４】（４）上記実施形態では、撮像部３０によ
り試料８を撮像しているが、これに限られない。図１０
は、撮像部に代えてファインダ光学系およびスクリーン
を備えた変形形態を示す構成図で、図１および上記従来
の図１２と同一物には同一符号を付している。

【０１０５】この形態でも、指向性を有する光源からな
る撮像用光源２１により、試料用開口１４の開口面の法
線１４ｎに対して所定角度だけ傾斜した方向から試料用
開口１４に配置された試料８を照明するようにしている
ので、試料面に傷などの凹凸が存在すると影が生じるた
め、スクリーン１１３に投影される試料像の影によっ
て、当該凹凸を識別することができ、これによって、試
料面の凹凸を避けて測定を行うことができる。

【０１０６】なお、この形態では、撮像部がないので、
図１１に示すように、マスク板１８の開口サイズを識別
する手段を別途設けておくことにより、測定域のサイズ
とマスク板の開口サイズとの適合判定を行うことができ
る。

【０１０７】図１１(ａ)〜(ｃ)に示すように、マスク板
１８の所定位置にマーク１９ａ，１９ｂが設けられてい
る。そして、図１１(ａ)に示すように、大サイズの開口
１８ａには白色のマーク１９ａ，１９ｂを設け、図１１
(ｂ)に示すように、中サイズの開口１８ｂには黒色のマ
ーク１９ａおよび白色のマーク１９ｂを設け、図１１
(ｃ)に示すように、小サイズの開口１８ｃには黒色のマ
ーク１９ａ，１９ｂを設けている。さらに、図１１(ｄ)
に示すように、マーク１９ａ，１９ｂにそれぞれ対向し
て反射型光センサ５１ａ，５１ｂを備えている。

【０１０８】この構成において、反射型光センサ５１
ａ，５１ｂから出力される受光信号のレベルを制御部５
０を介してＰＣ２により判別することにより、マスク板
保持部１ａに保持されているマスク板１８の開口サイズ
を検知することができ、これによって、上記実施形態と
同様に、測定域のサイズとマスク板の開口サイズとが適
合しているか否かの判定を行うことができる。

【０１０９】（５）上記実施形態および変形形態（４）
において、図１および図１０に破線で示すように、照明
用開口１７を閉塞するための蓋部材１９を備え、試料８
の測定を行う際には、照明用開口１７を閉塞するように
してもよい。この形態によれば、照明用開口１７を設け
ることによる照明光の拡散性の低下を防止することがで
きる。

【０１１０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、像形成用照明手段により試料を特定方向から照
明するようにしているので、試料面に凹凸が存在すると
影が生じることから、照明された試料の像を表示手段に
表示することにより、試料面の凹凸を検知することがで
きる。従って、傷などの凹凸を避けて測定域の位置決め
を行うことにより、常に高精度で測定を行うことができ
ることとなる。

【０１１１】請求項２の発明によれば、像形成用照明手
段により照明された試料を電気的に撮像し、撮像された
試料像を電気的に表示するようにしているので、画像の
濃淡により試料面の凹凸を容易に検知することができ
る。

【０１１２】請求項３の発明によれば、撮像された試料
像の濃淡を強調する処理を施して表示手段に表示するよ
うにしているので、試料面における凹凸により生じる影
の濃淡が強調されることになり、試料面の凹凸をより確
実に検知することができる。

【０１１３】請求項４の発明によれば、受光光学系の駆
動状態を検出して測定域の大きさを判別し、判別された
測定域の大きさに応じた指標を表示手段に併記表示する
ようにしているので、大きさが変更される測定域を明確
に区別することができ、これによって試料の位置決めを
精度良く行うことができる。

【０１１４】請求項５の発明によれば、試料像および指
標を測定域の大きさに応じた倍率で表示手段に併記表示
するようにしているので、試料像および指標を見易くす
ることができることとなる。

【０１１５】請求項６の発明によれば、測定用照明手段
から試料上への照明域を決定する開口が穿設されたマス
ク板を交換可能に保持し、受光光学系によって決まる測
定域の大きさに対して、保持されているマスク板の開口
によって決まる照明域の大きさが適合しているか否かの
判定を、受光光学系の駆動状態と撮像手段によるマスク
板の開口の撮像情報とに基づき行うようにしているの
で、適合しているか否かの判定を好適に行うことができ
る。

【０１１６】請求項７の発明によれば、測定域の大きさ
に対して照明域の大きさが不適合であると判定されたと
き、その旨の警告を行うようにしているので、測定域の
大きさに対して照明域の大きさが十分に大きくない状態
で目視観察に合わない測定が行われるのを未然に防止す
ることができる。

【０１１７】請求項８の発明によれば、像形成用照明手
段により照明された試料からの光を、装置本体外から目
視可能なスクリーンに導くようにしているので、特定方
向から照明された試料面における凹凸の存在により生じ
る影がスクリーンに投影されることから、照明された試
料の像をスクリーンに表示することにより、試料面の凹
凸を検知することができる。従って、傷などの凹凸を避
けて測定域の位置決めを行うことにより、常に高精度で
測定を行うことができることとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る反射特性測定装置の一実施形態
である分光測色装置の機能を示すブロック図である。

【図２】同分光測色装置の装置構成を示す図である。

【図３】 (ａ)〜(ｃ)において、それぞれ、上部は積分
球の試料用開口近傍の側面断面図、中央は積分球の中心
から試料用開口を見た平面図、下部はマスク板の開口サ
イズを示すマークの検出信号を示している。

【図４】 (ａ)〜(ｃ)は試料像のモニタへの表示倍率を
説明する図である。

【図５】 (ａ)〜(ｅ)は強調処理を説明する図である。

【図６】測定手順のメインルーチンのフローチャート
である。

【図７】マスク確認処理サブルーチンのフローチャー
トである。

【図８】強調処理サブルーチンのフローチャートであ
る。

【図９】表示処理サブルーチンのフローチャートであ
る。

【図１０】撮像部に代えてファインダ光学系およびス
クリーンを備えた変形形態を示す構成図である。

【図１１】 (ａ)〜(ｄ)はマスク板の開口サイズを識別
する手段を説明する図である。

【図１２】ファインダ光学系を備えた従来の測色装置
を示す図である。

【符号の説明】

１測色計１ａマスク板保持部（保持手段）２パーソナルコンピュータ（ＰＣ）５モニタ（表示手段）７制御部（画像処理手段、表示制御手段、判定手段、
警告手段）１０積分球（測定用照明手段）１２光源１８マスク板２０撮像用照明部２１撮像用光源（像形成用照明手段）３０撮像部（表示手段）３２エリアセンサ４０受光部（受光手段）４１受光光学系４２レンズ駆動部（光学系駆動手段）４３試料用分光部５０制御部１１０ファインダ光学系１１３スクリーン（表示手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G020 AA08 CC02 DA12 DA13 DA22 DA23 DA36 2G059 AA02 BB08 EE02 EE12 EE13 FF01 GG03 HH02 JJ05 JJ16 JJ17 KK04 LL04 MM01 MM03 MM09 MM10 PP02 2G065 AB04 AB22 AB28 BA01 BA04 BA34 BB02 BB28 BB42 BD03 BD06 DA15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定のために試料を多方向から照明する
測定用照明手段と、この測定用照明手段により照明され
た試料からの反射光を受光し、その光強度に応じた受光
信号を出力する受光手段とを備え、上記受光手段から出
力される受光信号に基づき試料の反射特性を求める反射
特性測定装置において、像形成のために試料を特定方向から照明する像形成用照
明手段と、この像形成用照明手段により照明された試料の像を表示
する表示手段とを備えたことを特徴とする反射特性測定
装置。
【請求項２】請求項１記載の反射特性測定装置におい
て、上記像形成用照明手段により照明された試料を電気
的に撮像する撮像手段を備え、上記表示手段は、上記撮
像手段により撮像された試料像を電気的に表示するもの
であることを特徴とする反射特性測定装置。
【請求項３】請求項２記載の反射特性測定装置におい
て、上記撮像手段により撮像された試料像の濃淡を強調
する処理を施して上記表示手段に表示する画像処理手段
を備えたことを特徴とする反射特性測定装置。
【請求項４】請求項２または３記載の反射特性測定装
置において、上記試料上の測定域からの反射光を当該測定域の大きさ
を変更可能に上記受光手段に導く受光光学系と、この受光光学系を駆動することにより上記測定域の大き
さを変更させる光学系駆動手段と、上記受光光学系の駆動状態を検出して上記測定域の大き
さを判別し、判別した測定域の大きさに応じた指標を上
記表示手段に併記表示する表示制御手段とを備えたこと
を特徴とする反射特性測定装置。
【請求項５】請求項４記載の反射特性測定装置におい
て、上記表示制御手段は、上記試料像および上記指標を
上記測定域の大きさに応じた倍率で上記表示手段に併記
表示するものであることを特徴とする反射特性測定装
置。
【請求項６】請求項４または５記載の反射特性測定装
置において、上記測定用照明手段から上記試料上への照明域を決定す
る開口が穿設されたマスク板を交換可能に保持する保持
手段と、上記受光光学系によって決まる測定域の大きさに対し
て、上記保持手段に保持されている上記マスク板の開口
によって決まる照明域の大きさが適合しているか否かの
判定を行う判定手段とを備え、上記像形成用照明手段は、少なくとも上記保持手段に保
持されるマスク板の開口を含む領域を照明するもので、上記撮像手段は、少なくとも上記保持手段に保持される
マスク板の開口を含む領域を撮像するもので、上記判定手段は、上記受光光学系の駆動状態と上記撮像
手段による上記マスク板の開口の撮像情報とに基づき上
記判定を行うものであることを特徴とする反射特性測定
装置。
【請求項７】請求項６記載の反射特性測定装置におい
て、上記判定手段により上記測定域の大きさに対して上
記照明域の大きさが不適合であると判定されたとき、そ
の旨の警告を行う警告手段を備えたことを特徴とする反
射特性測定装置。
【請求項８】請求項１記載の反射特性測定装置におい
て、上記像形成用照明手段により照明された試料からの
光を上記表示手段に導くファインダ光学系を備え、上記
表示手段は、装置本体外から目視可能なスクリーンから
なるものであることを特徴とする反射特性測定装置。