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JP2002267100A - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置

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Publication number
JP2002267100A
JP2002267100A JP2001059697A JP2001059697A JP2002267100A JP 2002267100 A JP2002267100 A JP 2002267100A JP 2001059697 A JP2001059697 A JP 2001059697A JP 2001059697 A JP2001059697 A JP 2001059697A JP 2002267100 A JP2002267100 A JP 2002267100A
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Japan
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fluid control
line
control device
support member
heater
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JP2001059697A
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Joji Hoshi
丈治 星
Yasuyuki Okabe
庸之 岡部
Kenichi Goshima
憲一 五島
Hideo Kobayashi
英雄 小林
Akinori Nagaya
暁典 長屋
Michio Yamaji
道雄 山路
Kazuhiro Yoshikawa
和博 吉川
Yuji Kawano
祐司 川野
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Tokyo Electron Ltd
CKD Corp
Fujikin Inc
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
CKD Corp
Fujikin Inc
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Publication date
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Priority to PCT/JP2002/004009 priority patent/WO2003091634A1/ja
Priority to CNB028287886A priority patent/CN100408932C/zh
Priority to IL16475402A priority patent/IL164754A0/xx
Priority to EP02718632A priority patent/EP1498666A4/en
Priority to US10/511,431 priority patent/US7726333B2/en
Priority to TW91108866A priority patent/TW531618B/zh
Publication of JP2002267100A publication Critical patent/JP2002267100A/ja
Priority to IL16475404A priority patent/IL164754A/en
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    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H9/00—Details
    • F24H9/18—Arrangement or mounting of grates or heating means
    • F24H9/1854—Arrangement or mounting of grates or heating means for air heaters
    • F24H9/1863—Arrangement or mounting of electric heating means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
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    • F16K49/002—Electric heating means
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    • F24H1/121—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium in which the water is kept separate from the heating medium using electric energy supply
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 加熱装置を有していながら、組立てが容易
で、しかも、ラインの増設・変更に容易に対応できる流
体制御装置を提供する。 【解決手段】 ラインA,Bの両側にテープヒータ11が配
されるとともに、同ラインA,B内で隣り合う流体制御機
器間のうちの複数カ所にテープヒータ保持用クリップ13
を収める間隙が設けられて、テープヒータ11が、その両
側から挟み付けるクリップ13によってラインA,Bに保持
されている。ヒータ付きラインA,Bが、ベース部材1に着
脱可能に取り付けられたライン支持部材10に取り付けら
れている。ライン支持部材10に、長さ方向にのびるヒー
タ挿入孔14が設けられ、同孔14にシースヒータ12が挿入
されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、流体
の加熱を必要とする流体制御装置に関する。
【０００２】この明細書において、前後・上下について
は、図１の右を前、左を後といい、同図の上下を上下と
いうものとし、左右は、後方に向かっていうものとす
る。この前後・上下は便宜的なもので、前後が逆になっ
たり、上下が左右になったりして使用されることもあ
る。
【０００３】
【従来の技術】半導体製造装置に使用される流体制御装
置では、マスフローコントローラや開閉弁などをチュー
ブを介さずに接続する集積化が進められており、このよ
うなものとして、１つのラインが、上段に配された複数
の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継
手部材とによって形成され、複数のラインが、その入口
および出口を同じ方向に向けて基板上に並列状に配置さ
れ、継手部材が基板に、流体制御機器が継手部材にそれ
ぞれ着脱自在に取り付けられているものが知られてい
る。この種の流体制御装置においては、その用途によっ
て、１または複数のラインに加熱装置を取り付けたもの
が必要とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御装
置によると、加熱装置を含む各部材の組立て作業に時間
がかかるという問題があり、また、ラインの増設および
変更について十分考慮されていなかったため、システム
の改造が発生した場合には、すべての部材を基板ごと取
り外し、必要な部材を取り付けた基板に交換することが
必要となり、長期間の装置停止や現地工事工数の増加に
つながるという問題もあった。
【０００５】この発明の目的は、加熱装置を有していな
がら、組立てが容易で、しかも、ラインの増設・変更に
容易に対応できる流体制御装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配
された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブ
ロック状継手部材とによって形成され、複数のライン
が、その入口および出口を同じ方向に向けてベース部材
上に並列状に配置されている流体制御装置において、少
なくとも１つのラインの両側にテープヒータが配される
とともに、同ライン内で隣り合う流体制御機器間のうち
の複数カ所にテープヒータ保持用クリップを収める間隙
が設けられて、テープヒータが、その両側から挟み付け
るクリップによってラインに保持されており、ヒータ付
きラインが、ベース部材に着脱可能に取り付けられたラ
イン支持部材に取り付けられていることを特徴とするも
のである。
【０００７】第１の発明の流体制御装置によると、装置
全体を組み立てる際には、継手部材および流体制御機器
をライン支持部材に取り付けた後、加熱を必要とするラ
インの両側にテープヒータを配してこれらをクリップで
両側から挟み付けて各ラインを形成し、各ラインごとベ
ース部材に取り付ければよく、組立てが容易にできる。
また、加熱装置の付いていないラインをテープヒータ付
きのラインに変更する際には、必要に応じて通路接続手
段を上方に取り外した後、変更される旧ラインをライン
支持部材ごと外し、テープヒータ付きラインのライン支
持部材をベース部材上に取り付け、変更後に必要な通路
接続手段を取り付けるだけでよく、容易に加熱装置付き
ラインを得ることができる。テープヒータ付きラインを
増設する際も同様にでき、ラインの増設が容易に行え
る。
【０００８】第２の発明による流体制御装置は、１つの
ラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段
に配された複数のブロック状継手部材とによって形成さ
れ、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に
向けてベース部材上に並列状に配置されている流体制御
装置において、各ラインがそれぞれベース部材に着脱可
能に取り付けられたライン支持部材に取り付けられてお
り、ライン支持部材に、長さ方向にのびるヒータ挿入孔
が設けられ、同孔にシースヒータが挿入されていること
を特徴とするものである。
【０００９】第２の発明の流体制御装置によると、装置
全体を組み立てる際には、予めライン支持部材のヒータ
挿入孔にシースヒータを挿入しておき、このライン支持
部材に継手部材および流体制御機器を取り付けて各ライ
ンを形成し、各ラインごとベース部材に取り付ければよ
く、組立てが容易にできる。また、加熱装置の付いてい
ないラインをシースヒータ付きのラインに変更する際に
は、必要に応じて通路接続手段を上方に取り外した後、
変更される旧ラインをライン支持部材ごと外し、ライン
支持部材をシースヒータ付きのライン支持部材に代えて
ベース部材上に取り付け、変更後に必要な通路接続手段
を取り付けるだけでよく、容易に加熱装置付きラインを
得ることができる。シースヒータ付きラインを増設する
際も同様にでき、ラインの増設が容易に行える。
【００１０】上記第１および第２の発明は、それぞれ単
独で用いられてもよく、また、両者を併用することもで
きる。
【００１１】上記第１および第２の発明において、ライ
ン支持部材としては、例えば、種々の形状を有するレー
ルを使用してもよく、この場合には、ライン支持部材
が、ベース部材に着脱可能に取り付けられたレールとさ
れるとともに、各継手部材がライン支持部材に摺動可能
に取り付けられ、これらの継手部材にまたがって流体制
御機器が取り付けられていることが好ましい。このよう
にすると、継手部材、流体制御機器およびテープヒータ
をライン支持部材に取り付ける際には、継手部材をライ
ン支持部材の軌道に沿って摺動させて所要位置に配置し
た後、これらの継手部材にまたがって流体制御機器を取
り付けるとともに、テープヒータをクリップで保持すれ
ばよく、テープヒータ付きのラインの組立てが容易にで
きる。
【００１２】また、ベース部材は、ライン支持部材を形
成するレール（非金属製）を使用して、入口側レール、
出口側レールおよび両レール同士を連結する連結部材に
よって枠状に形成されることがある。この場合に、連結
部材にもレールが使用されることがある。このようにす
ると、ラインの変更を行う際には、必要に応じて通路接
続手段を上方に取り外した後、変更される旧ラインをラ
イン支持部材ごと外し、変更されないラインのライン支
持部材を必要に応じて摺動させ、置き換えられるライン
のライン支持部材をベース部材上に取り付け、さらに、
変更されないラインのライン支持部材を摺動させて適正
位置に戻し、最後に、変更後に必要な通路接続手段を取
り付けるだけでよく、増設の際も同様で、ラインの増設
および変更がより一層容易に行える。そして、ベース部
材のレールを非金属製にすることにより、ベース部材が
断熱効果を有することになり、別途断熱材層を設ける必
要がない。
【００１３】流体制御機器としては、マスフローコント
ローラ、開閉弁、逆止弁、レギュレーター、フィルタ
ー、通路ブロックなどがあり、テープヒータは、流体制
御機器の下部に設けられた通路付きの本体の側面（通路
ブロックの場合はその側面全体）に当てられる。また、
テープヒータは、流体制御機器の本体とブロック状継手
部材との両方に当てられることもある。
【００１４】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
【００１５】図１から図４までは、この発明による流体
制御装置の第１実施形態を示すもので、流体制御装置
は、複数のライン（図２にはＡおよびＢの２つのライン
を示す）(A)(B)が、その入口および出口を同じ方向に向
けてベース部材(1)上に並列状に配置されて形成されて
おり、各ライン（図１にはＡラインのみを示す）(A)(B)
が、上段に配された複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)
(6)(7)と、下段に配された複数のブロック状継手部材
(8)とによって形成されている。各ライン(A)(B)は、そ
れぞれライン支持部材(10)に取り付けられている。ま
た、各ライン(A)(B)は、図３に示すテープヒータ(11)を
使用した第１の加熱装置と、図４に示すシースヒータ(1
2)を使用した第２の加熱装置とによって加熱可能なよう
になされている。
【００１６】図１に示すＡライン(A)の流体制御機器
は、マスフローコントローラ(2)と、マスフローコント
ローラ(2)の前方（入口側）に設けられた入口側第１開
閉弁(3)および入口側第２開閉弁(4)と、マスフローコン
トローラ(2)の後方（出口側）に設けられた逆止弁(5)、
出口側第１開閉弁(6)および出口側第２開閉弁(7)とであ
る。
【００１７】各流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)は、通
路が形成されているブロック状本体を下部に有してお
り、隣り合う流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)同士は、
それぞれこれらの下方に配置されたＶ字状通路付きブロ
ック状継手(8)により連通されている。ブロック状継手
(8)の上面には、垂直めねじ部が設けられており、各流
体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)は、その本体を貫通する
おねじ(16)が継手(8)の垂直めねじ部にねじ込まれるこ
とにより、継手(8)に取り付けられている。
【００１８】ベース部材(1)は、各ラインに直交する方
向にのびる複数の横方向レール(1a)とこれらを連結する
連結部材（図示略）によって枠状に形成されている。
【００１９】ライン支持部材(10)は、合成樹脂製のレー
ルとされており、各ブロック継手(8)は、このライン支
持部材(10)に摺動可能に取り付けられている。ライン支
持部材(10)は、押出型材によって形成されており、内部
には、断面が下狭まりの台形状である溝(10a)が２つ形
成され、これらの溝(10a)内に、これに沿って摺動する
摺動部材(9)が嵌め入れられている。摺動部材(9)とブロ
ック継手(8)とは、ブロック継手(8)を貫通するおねじ(1
5)の先端が摺動部材(9)を押し付けることによって結合
されており、ブロック継手(8)は、おねじ(15)を緩める
ことによって摺動可能となり、おねじ(16)をきつく締め
ることによってライン支持部材(10)の所定位置に固定さ
れる。
【００２０】テープヒータ(11)は、各ラインの流体制御
機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)の本体の左右両側に配されてお
り、所要カ所において、その左右両側から挟み付ける複
数のクリップ(13)によって流体制御機器(2)(3)(5)(7)の
本体に取り付けられている。クリップ(13)は、金属製薄
板によって逆Ｕ字状に形成されたもので、対向壁(13a)
間隔が狭くなろうとする弾性力によってテープヒータ(1
1)を保持するものである。クリップ(13)は、マスフロー
コントローラ(2)の前後にそれぞれ２カ所ずつ、入口お
よび出口にそれぞれ１カ所ずつ設けられている。クリッ
プ(13)の頂壁部(13b)は、前後幅が短くなされており、
マスフローコントローラ(2)の前後には、この頂壁部(13
b)を収める間隙が設けられている。
【００２１】シースヒータ(12)は、ライン支持部材(10)
に埋め込まれたものであり、このために、ライン支持部
材(10)には、ライン方向にのびる２つのヒータ挿入孔(1
4)が設けられている。各ヒータ挿入孔(14)は、ライン支
持部材(10)に設けられた下狭まりの台形状溝(10a)の底
面の左右の縁部に配されている。そして、シースヒータ
(12)は、その端子がライン支持部材(10)から露出するよ
うにヒータ挿入孔(14)に挿入されている。
【００２２】ベース部材(1)の横方向レール(1a)は、ヒ
ータ挿入孔(14)のないライン支持部材(10)と同じものが
使用されている。ライン支持部材(10)は、継手部材(8)
をこれに取り付けるのと同じ構成により、横方向レール
(1a)に取り付けられており、これにより、各ライン支持
部材(10)は、ライン（前後方向）と直交する方向（左右
方向）に摺動可能とされている。
【００２３】上記の流体制御装置によると、装置全体の
組立て、ラインの変更・増設を行う際には、各ラインの
構成部品(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(11)(13)をライン支持
部材(10)に予め組んでおき、ライン支持部材単位で組み
付け・取り外しが可能であり、これらの作業を容易に行
うことができる。ブロック継手(8)がライン支持部材(1
0)に沿って摺動可能であることから、各ラインの構成部
品(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)をライン支持部材(10)に組み
込む作業も容易に行える。
【００２４】図５および図６は、この発明による流体制
御装置の第２実施形態を示している。同図に示すよう
に、各流体制御機器(17)(18)(19)は、第１実施形態の流
体制御機器(3)(4)(5)(6)(7)の本体よりも上下高さが小
さい本体(17a)(18a)(19a)を有しており、テープヒータ
(11)は、流体制御機器本体(17a)(18a)(19a)だけでなく
継手部材(8)の側面にも当たるようになされている。そ
して、クリップ(13)は、流体制御機器本体(17a)(18a)(1
9a)だけでなく継手部材(8)によっても保持されている。
その他の構成は、第１実施形態と同じであり、同じ構成
には同じ符号を付して説明は省略する。
【００２５】第２実施形態のものも、第１実施形態と同
じく、装置全体の組立て、ラインの変更・増設を容易に
行うことができる。第２実施形態のものは、加熱の必要
性の高い場合に有用である。なお、テープヒータ(11)お
よびシースヒータ(12)は必ずしも併用する必要はなく、
加熱の必要性に応じて、どちらか一方にすることもでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御装置の第１実施形態を
示す側面図である。
【図２】図１のII-II線に沿う断面図である。
【図３】第１の加熱装置であるテープヒータを示す拡大
分解斜視図である。
【図４】第２の加熱装置であるシースヒータを示す拡大
分解斜視図である。
【図５】この発明による流体制御装置の第２実施形態を
示す側面図である。
【図６】図５のIV-IV線に沿う断面図である。
【符号の説明】
(A)(B) ライン (1) ベース部材 (2)(3)(4)(5)(6)(7) 流体制御機器 (8) 継手部材 (10) ライン支持部材（レール） (17)(18)(19) 流体制御機器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星 丈治 東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エレ クトロン株式会社内 (72)発明者 岡部 庸之 東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エレ クトロン株式会社内 (72)発明者 五島 憲一 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 小林 英雄 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 長屋 暁典 愛知県小牧市応寺二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 山路 道雄 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 吉川 和博 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 川野 祐司 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 Ｆターム(参考） 3J071 BB14 CC01 CC11 DD36 FF11

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 １つのライン(A)(B)が、上段に配された
    複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)
    と、下段に配された複数のブロック状継手部材(8)とに
    よって形成され、複数のライン(A)(B)が、その入口およ
    び出口を同じ方向に向けてベース部材(1)上に並列状に
    配置されている流体制御装置において、少なくとも１つ
    のライン(A)(B)の両側にテープヒータ(11)が配されると
    ともに、同ライン(A)(B)内で隣り合う流体制御機器(2)
    (3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)間のうちの複数カ所にテ
    ープヒータ保持用クリップ(13)を収める間隙が設けられ
    て、テープヒータ(11)が、その両側から挟み付けるクリ
    ップ(13)によってライン(A)(B)に保持されており、ヒー
    タ付きライン(A)(B)が、ベース部材(1)に着脱可能に取
    り付けられたライン支持部材(10)に取り付けられている
    ことを特徴とする流体制御装置。
  2. 【請求項２】 １つのライン(A)(B)が、上段に配された
    複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)
    と、下段に配された複数のブロック状継手部材(8)とに
    よって形成され、複数のライン(A)(B)が、その入口およ
    び出口を同じ方向に向けてベース部材(1)上に並列状に
    配置されている流体制御装置において、各ライン(A)(B)
    がそれぞれベース部材(1)に着脱可能に取り付けられた
    ライン支持部材(10)に取り付けられており、ライン支持
    部材(10)に、長さ方向にのびるヒータ挿入孔(14)が設け
    られ、同孔(14)にシースヒータ(12)が挿入されているこ
    とを特徴とする流体制御装置。
  3. 【請求項３】 ライン支持部材(10)に、長さ方向にのび
    るヒータ挿入孔(14)が設けられ、同孔(14)にシースヒー
    タ(12)が挿入されている請求項１の流体制御装置。
  4. 【請求項４】 各継手部材(8)がライン支持部材(10)に
    摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材(8)にまた
    がって流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)が
    取り付けられている請求項１から３までの流体制御装
    置。
  5. 【請求項５】 ベース部材(1)が、各ライン(A)(B)に直
    交する方向にのびる複数の非金属製横方向レール(1a)を
    有しており、各ライン(A)(B)のライン支持部材(10)がベ
    ース部材(1)に横方向摺動可能に取り付けられているこ
    とを特徴とする請求項１から３までの流体制御装置。
  6. 【請求項６】 テープヒータ(11)は、流体制御機器(17)
    (18)(19)の本体(17a)(18a)(19a)とブロック状継手部材
    (8)との両方に当てられている請求項１の流体制御装
    置。
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