JP2002261300A - 光受信器 - Google Patents
光受信器Info
- Publication number
- JP2002261300A JP2002261300A JP2001175093A JP2001175093A JP2002261300A JP 2002261300 A JP2002261300 A JP 2002261300A JP 2001175093 A JP2001175093 A JP 2001175093A JP 2001175093 A JP2001175093 A JP 2001175093A JP 2002261300 A JP2002261300 A JP 2002261300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- wavelength filter
- substrate
- light
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4215—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical elements being wavelength selective optical elements, e.g. variable wavelength optical modules or wavelength lockers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/424—Mounting of the optical light guide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4246—Bidirectionally operating package structures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4251—Sealed packages
- G02B6/4253—Sealed packages by embedding housing components in an adhesive or a polymer material
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B10/00—Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
- H04B10/60—Receivers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/50—Encapsulations or containers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0204—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0204—Compact construction
- G01J1/0209—Monolithic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0414—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or plane beam-splitters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4256—Details of housings
- G02B6/4262—Details of housings characterised by the shape of the housing
- G02B6/4265—Details of housings characterised by the shape of the housing of the Butterfly or dual inline package [DIP] type
-
- H10W72/5449—
-
- H10W90/753—
-
- H10W90/756—
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
DMを使用せず小型で安価な光受信器を提供すること。 【解決手段】 同一基板上に光伝送媒体と受光素子を設
け、光伝送媒体の終端または中間部に固有波長だけを通
す波長フィルタを斜め或は垂直に密着させ、光伝送媒体
を通った波長多重光のうち固有波長だけが波長フィルタ
を透過し受光素子に至り感受されるようにした。また、
光伝送媒体が光ファイバの場合、光ファイバを保持し中
間部に穿った嵌込穴に波長フィルタを装着したフェルー
ルを基板上に形成した溝に固定し、光ファイバの終端か
ら出射した光を、基板上に設けた光路変換溝によって反
射し受光素子に導くようにした。
Description
いる光受信器に関する。特に、複数の異なる波長の光を
用いて信号を伝送する光多重伝送システムに有用な光受
信器に関する。
従い、さらに通信能力を高めるため複数の波長を用いる
波長多重伝送方式が検討され、一部に導入されつつあ
る。特に複数の波長の光を用いて低コストで加入者系の
光化を実現するために、4波から16波程度の波長を用
いて各家庭(加入者)と局間を結ぶ方式が検討されてい
る。
M(Wavelength Division Multiplexer)を、m:1、
1:mの合波・分岐点(mは多重度)に設けて、複数の
波長を合波して波長多重光とし、反対に波長多重光を個
々の波長に分離する必要がある。これは分光器のように
異なる波長を異なる方向へと分離するようにしたもので
ある。つまりWDMは波長多重光λ1、λ2、…、λm
の内、その加入者(j番目とする)に割り当てられたλ
jだけを取り出してj番目の加入者の光ファイバに配分
する。高性能のWDMは一挙に波長分離できて極めて便
利である。これは広範囲にわたる長距離伝送系では実用
化されている。
のである。ところが狭い地域(小エリア)で波長多重通
信を適用するとすると、低コストということがキーポイ
ントになる。m:1、1:mの合波点・分岐点に設けて
これによって波長分離するWDMは極めて高価である。
これが波長多重通信システムのコストを引き上げる。W
DMの低廉価が波長多重光通信普及の条件の一つであ
る。そこで高価なWDMに代わる波長分離機能素子が模
索されている。幾つかの提案がなされている。
テムの開発(小型EDFA/光BPF内蔵光受信機の開
発)」信学技報 TECHNICAL REPORT OF IEICE、OCS99-6
0、p41-46(1999-09)
波点・分岐点にはWDMでなく安価なスターカプラを用
いている。スターカプラは波長分離機能がなくて、全て
の光ファイバに同一の波長分布の光を配分する。分岐点
で分離するのではなくて分岐したあと受信器においてバ
ンドパスフィルタ(BPF)によってj番目の波長の光
だけを取り出す簡易のWDMシステムを用いることを提
案している。簡易WDMというのはだから、混合m波か
ら、m個の波長を分離するWDMとは違い、混合m波か
ら一つのλjを取り出すものである。実際にはWDMを
使用しない。だから「簡易」であって安価に製造できる
可能性がある。
低コストなシステム構成例である。4波を用いた4加入
者の場合の構成を示す。の図1を簡略化したものであ
る。
の送信部分である。これとは別に、加入者側(各家庭)
から局側への送信部分がもう一つ存在する。局側には第
1送信器S1、第2送信器S2、第3送信器S3、第4
送信器S4があり、それぞれが波長λ1、λ2、λ3、
λ4の波長の光を用いて信号伝送する。第1スターカプ
ラSTC1はこれらm波長(この図の場合、m=4)の
光から、多重波光Λ=λ1+λ2+λ3+λ4を合成す
る。光ファイバFBは多重波光Λを伝送する。
あって、これらをmの加入者(ONU)へ分配する。こ
の場合は4つの加入者へ分配する。これは単純な分配に
すぎず多重波Λをそれぞれの加入者の受信器に与える。
第1受信器R1、第2受信器R2,第3受信器R3、第
4受信器R4ともに多重波光Λを受ける。受信器の内部
にそれぞれ固有の波長だけを通すバンドパスフィルタ
(BPF)がある。R1はλ1、R2はλ2、…という
ように、それぞれ割り当てられた固有の波長をBPFが
選択して透過し、これがPDに入射して感受されるよう
になっている。PD自体は広い感度域を持っておりΛに
含まれる全ての光に感度を持っている。BPFによって
分離された光をPDが感受するから固有の波長信号だけ
を得ることができる。つまり、一つのWDMをm個のB
PFによって置き換えたものが簡易WDMである。
波長はできるだけ近接させた方が加入者数を増やすこと
ができて有利である。しかし隣接波長が互いに近接して
いると、光源の発光波長精度と光受信器の受信波長精度
を厳密に制御するのが難しくなりコストが高くなる。従
来例では、1.5μm帯の8波長を利用し、一つの波
長あたりの波長帯域が、3.2nmで設計されている。
具体的には、例えば1536.6nmから、1539.
8nm、1543.0nm……1559.0nmという
ように8つの中心波長が与えられている。極めて狭い間
隔である3.2nm刻みで中心波長が与えられるので、
発光素子はその波長を中心として極めて狭い発光のスペ
クトルを持つLDでなければならない。発光素子側にお
いてシャープなスペクトルのものが用いられなければな
らない。また受光素子側では鋭い波長選択性を持った波
長フィルタが要求される。
を定義する。波長多重伝送において、波長の相違するm
波を使用するとして、その波長をλ1、λ2、…、λm
とする。波長が等間隔であるとして、その間隔をΔで表
す。λj=λ1+(j−1)Δである。もちろん等間隔
でなくても良い。
は番号を付けて、U1、U2、…、Umとすることがで
きる。j番目の加入者Ujは、j番目の波長λjを独占
的に受信する。そこで加入者Ujから見て、波長λjを
「固有波長」と呼ぶ。それ以外の波長λ1、λ2、…、
λj−1、λj+1、…、λmの集合を「余波長」と呼
び、Γjによって表す。Γj:λ1,…,λj−1,λ
j+1,…,λmである。Γj=Λ−λjとも書ける。
をLjとする。これはλjに鋭いピークを有する発光ス
ペクトルの発光素子である。ピークの頂点を「中心波
長」と呼ぶこともあるが、これは「固有波長」λjと同
じ事である。それぞれの波長の帯域はΔであり、きわめ
て狭いものである。j番目のフィルタFjは全波長集合
Λ:λ1,λ2,…,λmから、固有波長λjだけを選択
透過し、余波長Γj:λ 1,…,λj−1,λj+1,…,
λmを反射するものである。
長分離機能を持たない低コストのスターカプラを合波分
波に用いている。だから光受信器側で自分の受信すべき
波長(固有波長)を選択する必要がある。ところが光通
信において通常用いられるInGaAs系の受光素子
(PD)は、1.0μmから1.6μmの広い波長範囲
において高い感度を有する。つまりInGaAs受光素
子には波長選択性がない。そこでは、固有波長を選択
透過するバンドパスフィルタを受信器内部で受光素子
(PD)の先方に配置している。
厚みの異なる2種類以上の誘電体層を複数層積層したも
のであり特定の波長を透過したり特定の波長を反射した
りする。ここでは特定の波長(λj)を透過し、それ以
外の波長(余波長;Γj)を反射するような特性を持つ
波長フィルタを用いる。
断面図を示す。円盤状金属ステム1の上に受光素子であ
るPD2が実装されている。ステム1からピンが出てお
りピンとPDの上下電極がワイヤで接続されているがこ
こでは図示を略した。レンズ3を上部開口に取り付けた
円筒形金属のレンズホルダ−4の底部にステムが挿入固
定されている。レンズホルダ−4はさらに大きい円筒形
のハウジング5の内部に挿入される。ハウジング5の先
端には円筒系のホルダ−6が調芯溶接される。
逆コリメータ7、円盤形のバンドパスフィルタ(BP
F)8、円柱形のコリメータ9が挿入されている。コリ
メータ9というのは一点から出た光を平行光にする光学
部品である。逆コリメータ7は平行光を一点に収束させ
る光学部品である。さらに光ファイバ10の先端を把持
する円柱形のフェルール11がホルダ−6に挿入され
る。
ての波長成分を含む(Λ;λ1,λ 2,…,λm)。波長
多重光Λはコリメータ9によって広がり平行光になる。
平行光となってバンドパスフィルタ(BPF)8で波長
選択作用を受ける。つまりバンドパスフィルタ8は固有
波長だけを通し、余波長は反射する。j番目の受信器の
場合、このバンドパスフィルタ8(Fj)は固有波長λ
jを通し、余波長λ1、λ2、…、λj−1、
λj+1、…、λmを反射する。波長選択された後、λ
jは逆コリメータ7で収束させられ開口12を通りハウ
ジング5に入り、レンズ3で集光されてPD2に当た
る。PD2は固有波長λjだけを感受する。
リメータ)がの受信器に設けられるのか?それは誘電
体多層膜よりなる波長選択性は平行ビームでなければ厳
密な選択性を発揮できないからである。わずかでもビー
ムの傾きがあると波長選択性に狂いが生じる。だから平
行ビームにしなければならない。もしも光ファイバから
光を空間に取り出すとすると、そのビームはNA(nume
rical aperture;sinθ=(n0 2−
nd 2)1/2:n0コア屈折率、ndクラッド屈折
率)で広がる。広がりつつあるビームは断面における傾
斜角が相違する。傾斜角が同一でないと誘電体多層膜の
波長選択性が働かない。平行ビームであってはじめて波
長フィルタは固有波長(λj)だけを選択して透過させ
ることができる。斜めのビームがあるとそれは余波長分
(Γj)を含んでしまう。これではいけない。光ファイ
バから出た光は発散ビームで角度は様々であり、波長フ
ィルタはそのままでは波長分離できない。どうしても平
行ビームとして誘電体多層膜の波長フィルタを通す必要
がある。そのためにはコリメータと逆コリメータが必
須であったのである。
て、これらの部品を固定するためのハウジング、レンズ
ホルダ−、ホルダ−などがあるから、図2の受信器は極
めて高価であり大型の素子となる。図2の素子は直径が
7mm〜10mm、高さが15mm〜20mmにもなっ
てしまう。BPF、コリメータ、逆コリメータの直径も
3mm〜6mmにもなり、これらの光学部品も大型であ
る。高価大型の装置を必要とするものは一般家庭を対象
とする加入者系での通信装置として普及させるのは難し
い。小型安価なものでなければ一般の家庭まで容易に普
及するものでない。
ための伝送媒体(光ファイバ或いは光導波路)の終端部
或いは中間部に、波長フィルタを密着させ、波長フィル
タを透過した光を受光素子に導くようにした。つまり光
伝送系の終端か中間に直接に波長フィルタを密着させる
ことにより表面実装型の光受信器に波長選択性を持たせ
る。密着させるから光が空間に広がらないうちに波長分
離できる。コリメータ、逆コリメータ、レンズなどは不
要である。そうすることによって、小型で部品点数が少
なく、組立も簡単であって低コストの光受信器を提供す
ることができる。
取り出している。多波長を含む光を空間に取り出すと、
光はその光学系のNAに従って広がってゆく。距離が長
くなればなるほど広がりは激しくなる。そうすると波長
フィルタへの入射角度が設計値と異なってきて波長範囲
がずれるという大問題が生ずる。これを避けるために従
来例のように、コリメータ、逆コリメータ、集光レン
ズが必要となる。ために部品点数が多くなりサイズも大
きくなり実装も難しくなる。
間に出さないようにする他はない。本発明者は、多波長
を含む信号光を空間に取り出さないということを目標に
して新規の波長選択性のある光受信器を発明した。本発
明は、波長フィルタを光ファイバや光導波路に密着させ
る。こうしてNAを小さくし光の広がりを抑制し安定な
光受信器とする。密着させるのが理想であるが波長フィ
ルタと光ファイバ、光導波路の間には極微の間隙が残
る。この隙間には、ファイバとほぼ同じ屈折率の透光性
樹脂を充填する。波長フィルタと光導波路、光ファイバ
を密着させるから、光は空間に出ないし広がらない。広
がらないからコリメータ、集光レンズ、逆コリメータな
どが全く不要になる。
部に密着させるか、中間部に挿入密着させる。中間部に
挿入する場合は、光ファイバ−波長フィルタ−光ファイ
バ、あるいは光導波路−波長フィルタ−光導波路という
ようになる。端部に付ける場合でも、中間部に挿入する
場合でも、波長フィルタを光軸に対して4度〜12度
(傾き角Θ)程度傾けることがより好ましい。これは反
射光が光源のLDに戻ってLD不安定性を引き起こすの
を防ぐためである。もちろん光ファイバと波長フィルタ
や充填する樹脂の屈折率差が小さく反射光が問題になら
ない時は傾ける必要は必ずしもない。但し、以下ではよ
り好ましい、波長フィルタを傾斜させる場合について説
明する。
ルタを密着させると、光が殆ど広がらないうちに、光は
波長フィルタの波長選択作用を受けるから、波長選択作
用に狂いが起こらない。所望の波長(固有波長)だけが
波長フィルタを透過する。不要の波長(余波長)は全て
波長フィルタで反射される。反射されても、もとの経路
である光ファイバ、光導波路を逆行するということでは
ない。反射光は、波長フィルタの傾き角Θの2倍、2Θ
だけ光軸に対して傾斜しているから放射モードになって
散逸してしまうからである。必要な波長の光は、波長フ
ィルタを透過しているから、これを大きい受光径の受光
素子で受光すればよい。この受光素子が広い感度域を持
っていても、透過光はすでに単一波長になっているのだ
から、混信の恐れはない。
は中間部に、波長フィルタを斜めに密着させ波長フィル
タによって固有波長だけを透過させ受光素子に導くよう
にした。
導波路のことである。光ファイバというのは屈折率の高
いコアの周囲を屈折率の低いクラッドで囲んだ円形断面
の伝送媒体である。石英シングルモード光ファイバの場
合は、コア径が10μm、クラッド径が125μmであ
る。石英光ファイバの場合、コアはGeなどをドープし
てSiO2よりも屈折率を上げるようしている。光ファ
イバの場合は、基板にV溝を刻んでここにファイバを挿
入固定する。
の下クラッド層(アンダークラッド層)、上クラッド層
(オーバークラッド層)の間に、直線状のコアを挟み込
んだものである。コアはSiO2に屈折率を上げる不純
物、たとえばGeをドープしたものである。屈折率の高
いコアの中を光が伝搬する。
中間に取り付ける。終端の場合は光ファイバ、光導波路
の終端を斜面にし、ここに波長フィルタを密着固定させ
る。密着固定するため接着剤が必要である。この接着剤
は透明であって、しかも光ファイバ或いは光導波路とほ
ぼ等しい屈折率を持つ接着剤が好適である。しかし接着
剤層はごく薄いから透明でさえあれば屈折率が少々異な
っていてもそれほど問題にならない。接着剤層で光が角
度分散する恐れがあまりないからである。伝送媒体の端
部に固定するため伝送媒体と受光素子の間に空隙が必要
である。しかし空隙で光が広がるのは好ましくないか
ら、空隙部分には、伝送媒体に近似した屈折率の透光性
樹脂を充填するのがよい。
場合は、斜めの溝を切りこの溝の中へ波長フィルタを挿
入固定する。その場合も透光性接着剤を用いて接着す
る。接着剤の分だけ空隙が生ずるが、透光性樹脂の屈折
率が伝送媒体の屈折率と近似する場合は殆ど角度分散は
ない。光線の角度が殆ど変わらないので波長フィルタを
通過した光は再び伝送媒体に入ることができる。これに
ついては後に説明する。
基板、InP単結晶基板など半導体単結晶基板を用いる
ことができる。その場合は溝などの構造物を異方性エッ
チング、等方性エッチングなどによって形成することが
できる。プラスチック基板、セラミック基板、ガラス基
板なども用いることができる。これらの基板は安価で扱
い易い。溝などは機械的手段によって形成することがで
きる。
反射光が強いときは光源である反対側にあるLDに反射
光が戻りLDを不安定化する。それは好ましくないか
ら、反射光が戻らないように波長フィルタ取付面、溝を
傾斜角度Θだけ傾斜させることが望ましい。傾斜角度Θ
は4度〜12度程度である。波長フィルタは不要光を反
射するが、反射光は光軸と2Θの角度をなす。コア屈折
率をn0、クラッド屈折率をndとすると、伝搬可能な
光線の傾きの臨界角がcos−1(nd/n0)によっ
て与えられる。反射光の傾き2Θが、臨界角cos−1
(nd/n0)より大きければ、反射光は散逸(放射)
モードになってクラッドを通って外部へ出てゆき消滅す
る。
12度というのは光学的に言えば絶対的なものではな
い。余りに傾斜がきついと基板に傾斜溝や端部を加工す
るのが技術的に難しいというだけのことである。
リイミドなど)などの基材の上に多数の誘電体多層膜を
積層したものである。多層膜の屈折率、厚みを様々に組
み合わせることによって所定の波長だけを透過したり、
反射したりすることができる。選択性を高めるには層の
数を増やすのが有効である。本発明の場合は8波とか1
6波とかから、1波を選び出すのであるが、波長間隔Δ
が3.2nmとごく小さいので層の数はかなり多くな
る。誘電体層に1、2、…i…、sと番号を付け、i層
の厚みをdi、屈折率をniとし、屈折角をθiとし、
i層と(i+1)層での反射率をri、透過率をt
i(ti+ri=1)としたとき、i層での位相の遅れ
は光路長の差(往復分)2nidisecθiを波長λで
割って2πを掛けて、4πjnidisecθi/λによ
って与えられる。合計の反射Rt(λ)は
る。r0、t0は透光性樹脂と波長フィルタ境界での反
射、透過を示し、d0=0とおくべきである。r0、t
0は透光性樹脂の屈折率にも依存する。ここでは吸収が
ないものとしているが波長フィルタ材料としては吸収の
ない材料を使うべきである。吸収がある場合でもniと
して複素屈折率を用いれば同じ式によって表現できる。
ri、tiともに、隣接誘電体の屈折率と光線傾斜角に
よって決まる。上記は反射の式であるが、透過の式をも
同様に作ることができる。
タの傾きをΘ、光伝送路(光ファイバ、光導波路)の屈
折率をn0として、スネルの法則
面、溝の傾斜角であり4度〜12度だと述べた。n0、
niは材料によって決まるからθiも容易に決まる。上
記に述べたものは一般式であり、様々の自由度を含んで
いる。設計者は都合の良い拘束条件を追加して誘電体多
層膜の構造を決定することができる。固有波長を通し余
波長を反射するのであり、
λj、…λmとして、j番目の波長フィルタは、固有波
長λjに対して、
の式が1になるには極めて多数の層mの組み合わせの極
限を想定しなければならない。それは困難であるから1
に近いある値までゆけばよいというようにする。その評
価は波長間隙Δによる。誘電体多層膜による波長フィル
タの設計は本発明の目的でないからこれ以上詳しく説明
しない。
とができる。裏面入射型PD、上面入射型PD、端面入
射型PD、導波路型PDなど、どのようなPDを受光素
子としても用いることができる。
ための経路がPDの種類によって異なる。裏面入射型P
Dの場合は伝送路とPDの間に、光路変換溝を穿ち、光
路変換溝を跨ぐように裏面を下にしてPDを実装し、伝
送路から出た光を一旦光路変換溝で反射させて裏面から
PDに導入する。上面入射型PDの場合は伝送路とPD
の間に、光路変換溝を穿ち、光路変換溝を跨ぐように裏
面を上にしてPDを実装し、伝送路から出た光を一旦光
路変換溝で反射させて上面からPDに導入する。端面入
射型PD、導波路型PDの場合は、伝送媒体のすぐ終端
にこれらのPDを設けて伝送媒体を出た光が直進してP
Dの端面から入るようにする。その場合光路変換溝は不
要である。
バ、光導波路)、波長フィルタ、PD間は、透光性樹脂
によって覆う必要がある。一つは、後に不透明樹脂で全
体を覆うから光路がこれによって閉塞されないためであ
る。もう一つは、光線の発散角を小さくしてPDへの入
射光を増やすためである。さらには境界面での反射を減
少させることである。
脂の屈折率は伝送媒体の屈折率に近似するものとする。
透光性樹脂には境界面での反射の低減という目的と、光
線の発散を防ぐという目的と、偏向角(屈折角)を小さ
くするという目的がある。これらについて簡単に説明す
る。光伝送路の屈折率をn0とし、透光性樹脂の屈折率
をnrとする。空気(真空)の屈折率は1である。
射率Rは、屈折率差を屈折率の和で割った値である。だ
から伝送媒体(n0)と透光性樹脂(nr)の間の反射
率R 0rは
も成立する。これは振幅反射であり、この二乗が反射パ
ワーを与える。伝送媒体(n0)と空気の境界での反射
率R0 aは
体と透光性樹脂の境界の反射率は伝送媒体が空気や真空
に接する場合に比べて小さい。nrをn0に近いものを
選ぶとさらに小さい値となる。たとえばn0=1.4
6、nr=1.5とすると、R0 r=−0.013、R
0a=0.186となる。これの二乗が反射パワーであ
るから、その比はずいぶんと小さい。
るということについて述べる。先ほど光ファイバから空
気中に光を取り出すとNA(numerical aperture)で広
がるということを述べた。これは広がり角をθで表現す
ると
折率、ndはクラッド屈折率である。これは空気中に取
り出した場合であるが、屈折率がnrの透光性樹脂の中
に取り出した場合は、広がり角をθ’として、
と、広がり角θ’は約1/1.5に減少する。立体角に
換算すると約半分ということになる。これは光ファイバ
や光導波路から透光性樹脂に出るときにビームが広がら
ないということである。
おいて本質的な重要性を持っている。光ファイバ・光導
波路に、波長フィルタを直接に接合した場合にNAは波
長フィルタの屈折率によって決まることになる。波長フ
ィルタの誘電体の屈折率は一様でないが基材を含めた平
均屈折率をnfとすると、式(9)の右辺の分母がn f
によって置き換えられたものが波長フィルタでのNAと
なる。波長フィルタでの広がり角θ’’を与えることに
なる。
NAが1/nfに減少してしまうから光線傾きが小さく
波長選択性に狂いが生じないというわけである。基材が
波長フィルタの厚みの大部分をなすのでnfは基材の屈
折率と大体等しいとして良い。
ついて述べる。境界面がΘだけ傾斜しているとする。そ
の場合、相手が空気だとすると、境界面での光線の曲が
り角Φ(空気)は、
ところが境界面の外が屈折率nrの透光性樹脂だとする
と、境界面での光線の曲がり角Φ(透光性樹脂)は、
6、nr=1.50とすると、Φ(透光性樹脂)=−
0.2゜となる。空気の場合はnr=1.0となるから
Φ(空気)=3.7゜となる。波長フィルタが8゜で傾
いている場合、波長フィルタから空気中に出る場合は
3.7゜も端面傾きの方向に曲がる。しかし波長フィル
タと透光性樹脂境界面では光線は殆ど曲がらない(偏向
しない)ということである。
接着;図3、図4)]図3、図4に本発明の第1の実施
例にかかる光受信器を示す。直方体形状のSi基板20
の上には縦方向に光路変換溝21とV溝22が穿たれて
いる。V溝22は前端面から中央にかけて伸び、光路変
化溝21は中央から後半部にかけて伸びている。いずれ
も中心軸線上にあるが途中で横溝29によって分断され
ている。V溝22には光ファイバ23が挿入固定され
る。V溝22のために光ファイバの調芯が不要になる。
V溝22は異方性エッチングによって形成できる。機械
的手段によって穿つこともできる。横溝29も、エッチ
ング、機械加工によって穿つことができる。
ターン(メタライズ)が印刷されているが、ここでは図
示を略した。光路変換溝21の終端部にまたがるように
受光素子24をSi基板20のパターンに接着してい
る。この受光素子24は裏面入射型PDであって上面に
受光部25があり底面からビームを導入するようになっ
ている。光路変化溝21はこの例では3面よりなる。傾
斜端面26と両側の側面27、28である。重要なのは
ミラー面としての傾斜端面26である。傾斜端面26の
すぐ上にPD24の底面が位置する。
にあって、軸と直交する方向に穿たれた溝である。これ
は光ファイバ23の終端面の近くにSi基板の傾斜面を
形成するための溝である。この傾斜面を波長フィルタ固
定面30と呼ぶ。この傾斜面と光ファイバ端面は研磨な
どによって面一にすることもできる。光ファイバ端面と
傾斜面の傾き角Θは4度〜12度とする。光ファイバ端
面の前方において波長フィルタ固定面30に波長フィル
タ32を密着固定する。波長フィルタも傾斜角Θで傾い
ている。従って波長フィルタはこの傾斜角で入射した光
線に対して固有波長λjを通過するように設計する。こ
の傾斜は反射光が光ファイバ内に戻らないようにするた
めのものである。反射角は2Θになるが、これは光ファ
イバの伝搬モードにならず散逸してしまう。受光素子2
4、光路変換溝21、波長フィルタ32、光ファイバ2
3の終端部を光ファイバに近似した屈折率をもつ透光性
樹脂34で覆う。これは境界面での屈折角を小さくし反
射を押さえるという幾何光学的意味がある。それに素子
やフィルタを保護するという物理的な目的もある。後で
不透明の樹脂で全体を覆うが、それによって光路が閉鎖
されないようにするという目的もある。
ない)に固着して、リードと基板の電極をワイヤボンデ
ィングで接続して、全体をエポキシ樹脂によって強固に
モールドする。プラスチックパッケージの外にリードピ
ンと光ファイバが突出したような素子が製造される。
る。光ファイバ23は外部の光ファイバ(図示しない)
と光コネクタによって結合している。外部光ファイバか
ら光ファイバ23を信号光(受信光)が伝搬してくる。
多重伝送システムであるから、光ファイバを伝搬する受
信光は、全部の波長を含む集合光Λである。波長フィル
タ32は固有波長λjだけを通し、余波長をすべて反射
してしまう。
しており、波面が広がらない前に波長分離してしまう。
だからレンズもコリメータも不要である。固有波長の光
は波長フィルタ32を経て、B1、B2、B3のような
光線になり、透明樹脂34を通過して傾斜端面26で反
射され、裏面から受光素子24に入り受光層25に至っ
て光電流を発生する。この光電流が受信信号である。
(100)面を有するSi単結晶板の上にフォトリソグ
ラフィ技術によって、1チップに対応する長さ3mm、
幅1.5mmの基本パターンの繰り返しを形成し、それ
ぞれの基本パターンに光ファイバ固定用V溝と光路変換
溝をエッチングによって形成する。さらにSi基板表面
の受光素子を搭載すべき部位に、厚さ1μmのSiO2
絶縁層を設ける。さらにメタライズによって、受光素子
をボンディングすべきCr−Au電極を形成する。
長フィルタ固定面30を形成する。波長フィルタ固定面
30と光ファイバ23の先端は、光軸垂直面に対して4
度〜12度程度傾いているようにする。好ましくは傾斜
角Θを8度とする。これは光源であるLDへの反射戻り
光を消滅させるためである。このようなことをウエハの
段階で行う。チップごとの加工が終わると、ウエハを縦
横に切断し、多数枚の3mm×1.5mmのチップ(S
i基板)を得る。この後はチップ毎の製造工程になる。
00μm×300μmの裏面入射型InGaAsフォト
ダイオード(PD)である。1.3μm、1.55μm
帯光に及ぶ広い感度領域を持っている。Au−Snなど
の半田によって、Si基板上の所定のメタライズ面にP
Dを固定する。次に先端が波長フィルタ固定面に合致す
るように光ファイバをV溝に挿入しエポキシ系樹脂によ
って固定する。ファイバ先端と波長フィルタ固定面に、
波長フィルタ32を斜めに接着する。先述のように傾斜
角Θは4〜12度である。
望の波長だけを透過する選択性をもつ。ここでは、中心
波長が1546.2nmである波長フィルタを取り付け
た。この波長フィルタはポリイミド基板の上に誘電体多
層膜を蒸着したものである。波長フィルタ32は100
μmの厚みを有する。縦横の寸法は1mm×1mmであ
る。誘電体層の数が多いほど波長選択性が鋭くなる。隣
接波長との相違が3.2nmと極めて小さいので層の数
が多く誘電体多層膜の厚みが増える。
シリコーン系の透光性樹脂によって、光路変換溝、光フ
ァイバ先端、受光素子の表面までを覆う。透光性樹脂
は、フィルタ端面や受光素子の入射面での光反射を低減
し、各部品を保護するという二重の作用がある。この組
立工程には、従来の立体型のPDモジュールなどにはな
い数々の利点がある。まず、電気を流したり、光信号、
電気信号をモニタしたりする必要が全くないパッシブア
ライメント技術によって短時間に組み立てられるという
事である。
れ、かつ光ファイバはエッチングで位置精度良く形成さ
れたV溝に落とし込むだけで正確に位置決めされる。微
調整のようなものが不要である。受光素子(PD)も前
もって高位置精度で形成された電極パターンに合わせて
ボンディングするだけでよい。それによって光ファイバ
からの出射光を全て受光できる位置に固定される。
に短時間で実装できる。部品点数が少なく、低コストで
安定した生産が可能になる。
長さ3mm×幅1.5mmのSi基板に全ての部品を取
り付け極めて小さい装置とすることができる。高さは、
Si基板の厚み1.0mmにSiO2層厚み、メタライ
ズ厚み、受光素子厚み、樹脂の厚みなどを全て足し合わ
せても3mm以下にできる。これをリードフレームに固
定しても4mm程度の高さにしかならない。
中心波長1546.2nmでの感度を0dBとすると、
−20dB減衰する波長全幅δは約3nmであった。こ
れは波長フィルタの特性によって決まる値である。つま
り波長フィルタの波長選択性がさらに向上すれば−20
dB減衰波長全幅δは3nmよりも狭くなる可能性があ
る。この例では多重波長信号の波長間隙Δが3.2nm
としているから、−20dB減衰波長全幅δが3nmで
あれば(δ<Δ)光学的クロストークはない筈である。
心波長の左右で中心波長でのパワーより−20dB(強
度比:1/10)減少する波長の差を意味する。もしも
波長分布対称でδ=3nmとすると、1544.7nm
と1547.7nmで−20dBだけ減少するというこ
とである。
接着;図5、図6)]図5、図6は実施例2を示す。実
施例1と異なる点は、光ファイバの代わりに、Si基板
上にSiO2系の光導波路を形成し、その終端面に波長
フィルタを接着したというところである。光ファイバを
使わないのでV溝は不要である。光ファイバ固定の手間
も不要である。
で中間部から光路変換溝21を穿ってある。光路変換溝
21は傾斜端面26、側面27、28よりなる。反射率
を上げるために金、Alなどを被覆してある。光路変換
溝21の傾斜端面26のすぐ上に受光素子(PD)24
が取り付けてある。これも裏面入射型のPDである。上
面入射型のPDをエピダウンで取り付けても良い。ここ
までは実施例1と同様である。
波路35が形成してある。これはSiO2よりなるアン
ダークラッド層36と、屈折率が高い(例えばGeドー
プSiO2)コア37と、SiO2よりなるオーバーク
ラッド層38を基板の上に積層したものである。光導波
路35の終端には横溝29が形成される。横溝29の底
面は、光路変換溝21の底稜線と同じ高さであってもよ
いし異なっていても良い。横溝29を穿つのはエッチン
グでもダイシングでもよい。横溝29は傾斜した面(波
長フィルタ固定面30)を光導波路の終端に作るために
穿つのである。
膜よりなる波長フィルタ32を張り付ける。外部からの
信号を伝搬させてきた光ファイバの端は、光導波路35
の先端に張り付けるようにする。光導波路35の終端
部、波長フィルタ32、光路変換溝21、受光素子(P
D)24は透光性樹脂34によって覆う。Si基板をリ
ードフレームに接合してエポキシ樹脂によってモールド
して完成した素子とする。
35へ入り波長フィルタ32によって固有波長だけが取
り出され余波長は全て反射される。波長フィルタ32が
光導波路35に密着しているからコリメータやレンズは
いらない。波長フィルタが傾いているから余波長は全部
放射してしまい光ファイバに戻ることはない。固有波長
の光線B1、B2、B3は光路変換溝21の傾斜端面2
6で反射されPD24に入る。この光電流が受信信号で
ある。
5は例えば、Si基板の上に10μm厚みのアンダーク
ラッド層(例えばSiO2)36を設け、その上に6μ
m角のコア(例えばGe−SiO2)37を直線状に形
成し、さらに厚さ10μmのオーバークラッド層(例え
ばSiO2)38によって覆ったものである。全体の厚
みは20μmであり基板の中心線に沿ってコアによる導
波路が存在し、これを信号光が伝搬するようになってい
る。
i基板全面に容易に形成することができる。チップに切
り出してからの光ファイバ固定の手間がいらないから、
実装時間がより短縮される。
間介装;図7、図8)]図7、図8は実施例3を示す。
実施例1と同様にV溝をSi基板に設け、V溝に光ファ
イバを固定する。光ファイバの途中に斜めのスリット
(波長フィルタ固定溝)を形成して、ここに波長フィル
タを挿入したものである。
光路変換溝21と、V溝22が穿たれる。光路変換溝2
1は金属被膜で被覆し反射率を上げる。傾斜端面26の
すぐ上にPD24をボンドする。前方のV溝22には光
ファイバ23を挿入固定する。端面は斜めに研磨する。
これは反射戻り光がLDに戻らないためである。さらに
横方向に傾斜した波長フィルタ固定溝39を光ファイバ
の中間部を横切るように加工する。光ファイバが一部切
断される。ここに波長フィルタ32を差し込んで固定す
る。波長フィルタ32、光路変換溝21、PD24は、
透光性樹脂34によって覆われる。さらに基板をリード
フレームに付け、電極とリードをワイヤボンディングで
接続して、エポキシ樹脂などでモールドして素子として
完成させる。
て中間に波長フィルタを挿入している。波長選択性は同
様であるが、中間に波長フィルタを入れているから、よ
り安定する。波長フィルタが50μm厚みの時は、波長
フィルタ固定溝幅は55μm〜60μmとする。波長フ
ィルタ厚みが100μmの場合は、波長フィルタ固定溝
幅は105μm〜110μmとする。波長フィルタを挿
入した後、ファイバと同等の屈折率をもつ透光性樹脂に
よって波長フィルタと光ファイバ、溝との間隙を覆う。
mであり、波長フィルタ厚みが100μmとするから、
4゜〜12゜も傾けた波長フィルタを透過した光は再び
コアに戻れるのか?そのような懸念が兆すことであろ
う。
グルモードファイバの途中に、厚みF、屈折率nfの波
長フィルタを傾斜角Θで挿入したものの拡大図である。
これによって光線の波長フィルタの反対側でのズレの量
を計算する。光は左から右へ進行する。KOMNが光フ
ァイバ軸線を示す。KOと進んできた光が、光ファイバ
コア端面の中心点Oから波長フィルタに入りOQの方向
に屈折したとする。境界面に立てた法線がHOPSであ
るとする。Pが波長フィルタ他端面と法線の交点であ
る。OP=Fが波長フィルタ32の厚みである。
たとする(余波長は波長フィルタで全部反射される)と
ORの方向に進むが、これは光軸と2Θをなすからクラ
ッドへ突き抜けて散逸する。屈折光はOQであるが、∠
KOH=Θ、∠QOM=Φとする。∠POQ=Θ−Φで
ある。スネルの法則により
46として、波長フィルタの全体の屈折率が正確に分か
らないから主体をなすポリイミド基板の屈折率(1.5
2)をnfとすると、nf=1.52である。Θ=4
゜、8゜、12゜に対して、
mとしても、光線のコア軸心からのずれMQは、0.2
7μm(4゜)、0.56μm(8゜)、0.84μm
(12゜)にすぎない。コア半径は5μmであるから、
O点から波長フィルタに入った光は波長フィルタの他端
Qでもコア(MN)から殆どずれないということであ
る。つまり波長フィルタがあっても通過光(固有波長)
は再び光ファイバの伝搬光となりうるということであ
る。以上の考察で得られた式(15)(16)(17)
の値は斜めに挿入されたフィルタへの入射角度の補正値
となり、より厳密にはΘにこの補正値を加味した角度で
フィルタに形成する多層膜の厚み設計を行うと良い。
介装;図9、図10)]図9、図10は実施例4を示
す。基板20の上に光導波路35を設け、軸線方向に光
路変換溝21を穿ち、光路変換溝21の上にPDをまた
がらせるという点はこれまでと同様である。光導波路3
5の中間部に軸線と直交する方向に波長フィルタ固定溝
39を機械加工によって穿っている。これも前後方向に
4度〜12度傾いている。コアを横切る位置で波長フィ
ルタ固定溝39の中へ波長フィルタ32を挿入固定す
る。PD24、光路変換溝21、波長フィルタ32、光
導波路の終端部は透光性樹脂34で覆う。リードフレー
ムに基板を取り付け、基板上の電極とリードをワイヤボ
ンディングし、樹脂モールドして素子とする。
光導波路35を形成している。光導波路35の中間部に
斜めの波長フィルタ固定溝39を設け、波長フィルタ固
定溝39に波長フィルタを挿入したものである。実施例
2のように光導波路の終端でなくて光導波路の中間に波
長フィルタを挿入している。中間に波長フィルタを入れ
ているから、より安定する。波長フィルタが50μm厚
みの時は、波長フィルタ固定溝幅は55μm〜60μm
とする。波長フィルタ厚みが100μmの場合は、波長
フィルタ固定溝幅は105μm〜110μmとする。波
長フィルタを挿入した後、光導波路と同等の屈折率をも
つ透光性樹脂によって波長フィルタと光導波路、溝との
間隙を覆う。そのような点は実施例3と同様である。
ァイバから光導波路35に導かれる。波長フィルタ32
はこれらの内、固有波長λjだけを選んで透過させる。
余波長の光は全部反射してしまう。斜めに反射するから
余波長は放射してしまい、もとの経路を戻らない。固有
波長の光は光導波路35の端面から出て光路変換溝21
に入り傾斜面26で反射されてPD24に入る。PDは
固有波長λjだけを受信する。
介装;コリメート系;図11、図12)]図11、12
は実施例5を示す。基板20の上に光導波路35を設
け、軸線方向に光路変換溝21を穿ち、光路変換溝21
の上にPDをまたがらせるという点はこれまでと同様で
ある。光導波路35の中間部に軸線と直交する方向に波
長フィルタ固定溝39を機械加工によって穿っている。
これも前後方向に4度〜12度傾いている。波長フィル
タ固定溝39と交差する点から前後方向に光導波路35
を削り取る。溝39の前後に空隙40を形成するのであ
る。波長フィルタ固定溝39の中でコアを二分する位置
に波長フィルタ32を挿入固定する。波長フィルタ32
と、前後の光導波路35の間の空隙40に、コリメータ
41、逆コリメータ42を挿入する。コリメータ、逆コ
リメータがあるという点で従来例と共通するが、コリ
メータ、逆コリメータともに充分に小さいものである。
平行光にしてから波長分離するのである。波長の分解能
を上げて、より多波長を分離する場合には、コリメー
タ、逆コリメータを用いることも可能であり、本発明は
このような組み合わせにも応用できるものである。
32、コリメータ41、逆コリメータ42、光導波路3
5の終端部は透光性樹脂34で覆う。リードフレームに
基板を取り付け、基板上の電極とリードをワイヤボンデ
ィングし、樹脂モールドして素子とする。
形成している。光導波路の中間部に斜めの波長フィルタ
固定溝を設け、波長フィルタ固定溝に波長フィルタを挿
入したものである。そこまでは実施例4と共通である。
それに加えて波長フィルタの前後にコリメート系を挿入
している。
どうしても隙間が残る。短い隙間であるが光線が広が
る。波長フィルタの特性によっては、光線の僅かな広が
りによって、透過帯域の波長がずれるということもあり
得る。そのような場合には、セルフォックレンズやグレ
ーディッドインデックスファイバのような光学部品をV
溝に埋め込みコリメート系を構成すればよい。このよう
な構造でも本発明の小型、低コストという優れた特徴は
損なわれない。
介装;増幅器;図13、図14)]図13、図14は実
施例6を示す。基板20の上に光導波路35を設け、軸
線方向に光路変換溝21を穿ち、光路変換溝21の上に
PD24をまたがらせるという点はこれまでと同様であ
る。ここではさらに、PD24の信号を増幅するための
増幅器44を基板上に設けている。高速変化する微弱な
光電流をすぐに増幅するので外部ノイズの影響を遮断す
ることができる。実施例4と同じように導波路35の中
間部に軸線と直交する方向に波長フィルタ固定溝39を
機械加工によって穿っている。これも前後方向に4度〜
12度傾いている。波長フィルタ固定溝39の中へ波長
フィルタ32を挿入固定し、光導波路35のコアを前後
に二分する。
波長フィルタ32、光導波路35の終端部は透光性樹脂
34で覆う。リードフレームに基板を取り付け、基板上
の電極とリードをワイヤボンディングし、樹脂モールド
して素子とする。
路35のコアを伝搬してくる。波長フィルタ32によっ
て、所望の固有波長λjが選択透過される。余波長はこ
こで反射される。反射角は2Θになる。これは8度〜2
4度あり光導波路を戻る事ができない。
て、その中間部に波長フィルタ32を介装したところま
では実施例4と同様である。実施例6は受光素子(P
D)24の光電流信号を増幅する増幅器44をSi基板
20の上に搭載している。受光素子信号をすぐに増幅す
るのでノイズレベルを著しく低減することができる。隣
接する波長帯との重なりが問題となる裾野のあたりの波
長選択性がより鋭くなる。InGaAsの受光素子24
と、GaAs−ICやSi−ICの増幅器44の組み合
わせが有効である。
フィルタ中間介装;図16、17)]光伝送路として光
ファイバを用いる場合、光ファイバを円筒形のフェルー
ルに挿通した形態とすることができる。光ファイバとフ
ェルールが一体となった光学素子はフェルール付ファイ
バと呼ばれる。光ファイバはコアが10μm、クラッド
が125μmの直径をもち、フェルールは125μmの
内径をもつ円筒部材で、金属、セラミックなどによって
製造される。実施例7はフェルール付ファイバの形で光
伝送媒体を基板に固定したものである。図16、図17
にそれを示す。
クベンチ)の表面、中心軸方向にV溝22を設け、その
延長線上始端側に大V溝52を穿つ。V溝22に続いて
軸線上に光路変換溝21が穿たれる。中心軸線上に、大
V溝52、V溝22、光路変換溝21が続く。光路変換
溝21の終端は傾斜端面26となっている。これらの溝
は、Si基板の場合は、異方性エッチングによって形成
できる。プラスチック基板、セラミック基板の場合は型
によって成形する。金属基板の場合は切削によって創成
できる。金属基板の場合は、絶縁体膜を付ける必要があ
る。
着、スパッタリングなどによって形成される。傾斜端面
の上方の基板面に、受光素子24が固定される。これは
裏面入射型PDである。光路変換溝21の後端部にまた
がるように固定される。基板20はリードフレームに固
定され、PD電極と配線、リードと配線パターンがワイ
ヤボンディングによって接続される。
に挿入固定される。光ファイバ23とフェルール50を
予め一体化したフェルール付ファイバをここでは用いて
いる。フェルール付ファイバは、一方の端面が面一のも
のもあり、両方の端面から光ファイバが突き出ているも
のもある。ここでは一端が面一のものである。光ファイ
バの先端は斜め研磨してある。反射戻り光を防ぐためで
ある。
のではなく、途中に嵌込穴51を穿孔して、ここへ波長
フィルタ32を差し込んである。フェルール50を貫通
する必要はないが、光ファイバ23を横切るように設け
なければならない。波長フィルタ32は誘電体多層膜よ
りなり、所望の波長だけを透過させ、それ以外の波長を
反射する。ここでは軸線に対して直交するのでなく少し
傾斜している。
製して基板20の上に取り付ける。大V溝52にフェル
ール50を、V溝22に光ファイバ23を乗せて固定す
る。光ファイバ23の先端、光路変換溝21、PD24
を覆うように透光性樹脂34がポッティングされてい
る。リードフレーム、基板をパッケージに収納する。セ
ラミックパッケージ、プラスチックパッケージ、金属パ
ッケージに収容できる。またエポキシ樹脂によってプラ
スチックモールドしてもよい。
光ファイバと接続される。外部光ファイバを通る信号光
は多数波長を含むが、波長フィルタがそのうち一つの特
定波長だけを通す。光ファイバ23から出た特定波長の
光は、光路変換溝21を通り、傾斜端面26によって反
射され、受光素子24に入り、受光部25にいたる。こ
こで光電流を発生する。このような作用は、実施例1な
どと同様である。
波長フィルタを取り付けるから、Si基板に光ファイバ
を固定してから溝加工、波長フィルタ挿入などを行う必
要がない。より生産性の高い構造となっている。また光
ファイバだけのものよりもフェルールによって強度的に
も優れたものとなっている。
器;図18〜図20)]これも、光ファイバをフェルー
ルに挿通したフェルール付ファイバを用いる。フェルー
ル付ファイバに予め波長フィルタを挿入固定しておく。
長方形平板状基板20(Si又はセラミックベンチ)を
前は低く後ろは高い前後2段に形成する。基板20の前
低部に大V溝52を、中心部分にV溝22を中心軸線上
に設ける。V溝22の延長上に短く狭い光路変換溝54
を設ける。光路変換溝54と直交するように横溝53を
形成する。これは光ファイバの終端を位置決めするもの
である。光路変換溝54の終端は傾斜端面となってい
る。
が印刷、蒸着、スパッタリングなどによって形成され
る。この実施例は増幅器60を乗せる構造となっている
から前例よりも配線パターンは複雑になっている。光路
変換溝54傾斜端面の上方の基板面配線パターン59に
受光素子24が固定される。これも裏面入射型PDであ
る。受光素子24の背後のグランド配線56には増幅器
60が実装される。グランド配線56のさらに奥に平板
型のコンデンサ61、62が固定される。受光素子24
のp電極55が増幅器60の入力端子にワイヤによって
接続される。増幅器60の電源端子がコンデンサ61、
62の上部電極にワイヤで接続される。増幅器60の出
力端子はワイヤによって配線58に接続される。増幅器
60の電源パッドは配線57とワイヤによって接続され
ている。
される。リードと配線パターンがワイヤボンディングに
よって接続される。フェルール付ファイバの光ファイバ
23は円筒形のフェルール50に挿入固定されている。
フェルール付ファイバの途中に嵌込穴51を穿孔して、
ここへ波長フィルタ32を差し込んである。フェルール
50を貫通する必要はないが、光ファイバ23を横切る
ように設けなければならない。波長フィルタ32は所望
の波長だけを透過させ、それ以外の波長を反射する。
製して基板20の上に取り付ける。大V溝52にフェル
ール50を、V溝22に光ファイバ23を乗せて固定す
る。光ファイバ23の先端、光路変換溝54、PD24
を覆うように透光性樹脂34(図20に現れる)がポッ
ティングされている。リードフレーム、基板を、エポキ
シ樹脂によってプラスチックモールドする。図20のよ
うな断面図になる。図19は斜視図である。プラスチッ
クモールドパッケージ64によって全体が包囲される。
両側にリードピン65が平行に突出している。前方には
フェルール50が突き出ている。
光ファイバと接続される。外部光ファイバを通る信号光
は多数波長を含むが、波長フィルタがそのうち一つの特
定波長だけを通す。光ファイバ23から出た特定波長の
光は、光路変換溝54を通り、傾斜端面によって反射さ
れ、受光素子24に入り、受光部にいたる。ここで光電
流を発生する。光電流は直近の増幅器60によって増幅
される。増幅された低インピーダンスの信号が外部に出
る。高感度でノイズに強いという利点がある。
波長フィルタ;透光性樹脂;図21)]これも、光ファ
イバをフェルールに挿通したフェルール付ファイバを用
いる。フェルール部に嵌込穴を穿ち予め波長フィルタを
挿入固定しておく。フェルール、光ファイバの取り付け
構造はこれまでの実施例において述べたので、フェルー
ル付ファイバの部分だけの改良を示す。
隙間がなかったが、実施例9は隙間を持っている。フェ
ルール50に軸線垂直に嵌込穴51が穿ってある。嵌込
穴51に透光性樹脂34を入れ波長フィルタ32を挿入
してある。光ファイバとほぼ同一の屈折率をもつ透光性
樹脂34は空隙に満ちる。透光性樹脂34は光ファイバ
からの光の広がりを防ぎ光ファイバ端面、波長フィルタ
端面での反射をなくす。光ファイバ、波長フィルタでの
反射が完全に0であれば反射戻り光がないから、波長フ
ィルタと軸線が直交しても差し支えない。
斜波長フィルタ;透光性樹脂;図22)]光ファイバを
フェルールに挿通したフェルール付ファイバを用いる。
フェルール付ファイバにやや斜めに嵌込穴51を穿ち予
め波長フィルタ32を挿入固定しておく。フェルール、
光ファイバの取り付け構造はこれまでの実施例において
述べたので、フェルール付ファイバの部分だけの改良を
示す。実施例9では嵌込穴が軸線に対して直交していた
が、ここでは嵌込穴が軸線に対して傾斜している。傾斜
した嵌込穴51に透光性樹脂34をポッティングしそこ
へ波長フィルタ32が挿入固定されている。
性樹脂34は空隙に満ちる。透光性樹脂34は光ファイ
バからの光の広がりを防ぎ光ファイバ端面、波長フィル
タ端面での反射をなくす。光ファイバ、波長フィルタで
の反射が完全に0でなく波長フィルタ端面の反射があっ
てもそれは軸線からそれた反射光となる。ファイバを戻
る事ができない。だからレ−ザ(光源)に戻ってレ−ザ
発振に悪影響を及ぼすということはない。
リメータ付き;透光性樹脂;図23)]これは波長フィ
ルタ32の前後にコリメータレンズ41、逆コリメータ
レンズ42を一体に設けたものを用いる。コリメータ一
体型波長フィルタである。光ファイバとフェルールを一
体化したフェルール付ファイバの中心軸線垂直に嵌込穴
51を穿つ。嵌込穴51に透光性樹脂34を入れる。さ
らにコリメータ一体型波長フィルタ32を挿入する。波
長フィルタ32の上頂部がフェルール50より少し突き
出る。光ファイバとほぼ同一の屈折率をもつ透光性樹脂
34は空隙に満ちる。透光性樹脂34は光ファイバから
の光の広がりを防ぎ光ファイバ端面、波長フィルタ端面
での反射をなくす。
バ端面からの光は透光性樹脂34内で広がる。しかし、
コリメータレンズ41があって、これが広がり光を平行
光に変換する。波長フィルタ32には平行光として入射
する。波長フィルタによって余波長は落ち、特定波長だ
けが選択され透過する。平行光が逆コリメータレンズ4
2によって収束光になり光ファイバへ入る。
枚数が設計されており拡散光や収束光に対しては誤差が
出る。しかしこの実施例では平行光を扱うからそのよう
なズレがおこりえない。
リメータ付き;透光性樹脂;図24)]これも波長フィ
ルタ32の前後にコリメータレンズ41、逆コリメータ
レンズ42を一体に設けたコリメータ一体型波長フィル
タを用いる。実施例11と違って、背の低い波長フィル
タを使って埋め込み型としている。
ルール付ファイバ中心軸線垂直に嵌込穴51を穿つ。嵌
込穴51に透光性樹脂34を入れコリメータ一体型波長
フィルタ32を挿入する。コリメータ41、波長フィル
タ32、逆コリメータ42の背が低いのでこれらは嵌込
穴51の内部へ沈む。光ファイバとほぼ同一の屈折率を
もつ透光性樹脂34は空隙に満ち波長フィルタ、コリメ
ータなどの上を覆う。透光性樹脂34は光ファイバから
の光の広がりを防ぎ光ファイバ端面、波長フィルタ端面
での反射をなくす。
バ端面からの光は透光性樹脂34内で広がる。しかし、
コリメータレンズ41があってこれが広がり光を平行光
に変換する。波長フィルタ32には平行光として入射す
る。波長フィルタによって余波長は落ち、特定波長だけ
が選択され透過する。平行光が逆コリメータレンズ42
によって収束光になり光ファイバへ入る。
枚数が設計されており拡散光や収束光に対しては誤差が
出る。しかしこの実施例では平行光を扱うからそのよう
なズレがおこりえない。
リメータ付き;透光性樹脂;図25)]これも波長フィ
ルタ32の前後にコリメータレンズ41、逆コリメータ
レンズ42を一体に設けたコリメータ一体型波長フィル
タを用いる。実施例11、12と違って、フェルール径
とほぼ同一寸法の一体型波長フィルタを使う。これは予
め嵌込穴に固定せず、V溝、大V溝にフェルール付ファ
イバを挿入して初めて位置決めがなされる。
ルール付ファイバ中心軸線垂直に嵌込穴51を穿つ。嵌
込穴51にコリメータ一体型波長フィルタ32を挿入す
る。コリメータ41、波長フィルタ32、逆コリメータ
42はフェルール付ファイバと同一の丸みを帯びた形状
のものとしている。これらは嵌込穴51にすっぽりと沈
む。フェルール付ファイバはコリメータ付き波長フィル
タ32を摩擦力で保持している。基板20の大V溝52
にフェルール50を、V溝22に光ファイバ23をフェ
ルール付ファイバが水平になるように入れる。大V溝5
2が波長フィルタ32の両端を抑えるから位置決めされ
る。
ルール付ファイバを固定する。光ファイバとほぼ同一の
屈折率をもつ透光性樹脂34は波長フィルタと嵌込穴の
空隙に満ち波長フィルタ、コリメータなどの上を覆う。
透光性樹脂34は光ファイバからの光の広がりを防ぎ光
ファイバ端面、波長フィルタ端面での反射をなくす。透
光性樹脂塗布過程を一回減らすことができる。
12は、フェルールより後ろへ光ファイバが突出する構
造となっている。波長フィルタをフェルールを横切るよ
うに設ける場合は、実施例7〜12に述べたように、光
伝送媒体の途中に波長フィルタを挿入するという形態に
なる。しかしフェルール付ファイバを用いた場合でも光
ファイバの終端に波長フィルタを接着するという形態も
可能である。その場合は実施例1とよく似た構造で光フ
ァイバの一部をフェルールが保持したというような形態
になる。
信モジュールにおいて、伝送媒体に波長フィルタを密着
させることにより波長選択性を付与する。8波或いは1
6波など複数の波長信号を用いる波長多重光通信システ
ムに最適な低コスト、小型の波長選択性光受信モジュー
ルを提供することができる。
重光通信システムの構成図。
発(小型EDFA/光BPF内蔵光受信機の開発)」信
学技報 TECHNICAL REPORT OF IEICE、 OCS99-60、p41-4
6(1999-09)に掲載された従来例にかかる波長多重受信
器の断面図。
フィルタを設けた本発明の実施例1にかかる光受信器の
縦断面図。
フィルタを設けた本発明の実施例1にかかる光受信器の
平面図。
ィルタを設けた本発明の実施例2にかかる光受信器の縦
断面図。
ィルタを設けた本発明の実施例2にかかる光受信器の平
面図。
長フィルタを設けた本発明の実施例3にかかる光受信器
の縦断面図。
長フィルタを設けた本発明の実施例3にかかる光受信器
の平面図。
フィルタを設けた本発明の実施例4にかかる光受信器の
縦断面図。
長フィルタを設けた本発明の実施例4にかかる光受信器
の平面図。
長フィルタを設け、その前後にコリメート系を挿入した
本発明の実施例5にかかる光受信器の縦断面図。
長フィルタを設け、その前後にコリメート系を挿入した
本発明の実施例5にかかる光受信器の平面図。
長フィルタを設け、受光素子信号を増幅する増幅器を追
加した本発明の実施例6にかかる光受信器の縦断面図。
長フィルタを設け、受光素子信号を増幅する増幅器を追
加した本発明の実施例6にかかる光受信器の平面図。
挿入した場合に屈折光が再びコア伝搬光になることを説
明するための光線図。
ール付ファイバを用い、フェルール付ファイバの中間部
に傾斜嵌込穴を穿ち波長フィルタを挿入固定し、受光素
子を実装した基板にフェルール付ファイバを固定し、光
ファイバから出た特定波長の光が、光路変換溝を通り受
光素子に入って感受されるようにした実施例7の光受信
器の縦断面図。
ール付ファイバを用い、フェルール付ファイバの中間部
に傾斜嵌込穴を穿ち波長フィルタを挿入固定し、受光素
子を実装した基板にフェルール付ファイバを固定し、光
ファイバから出た特定波長の光が、光路変換溝を通り受
光素子に入って感受されるようにした実施例7の光受信
器の平面図。
ール付ファイバを用い、フェルール部の中間部に嵌込穴
を穿ち波長フィルタを挿入固定し、受光素子と増幅器を
実装した基板にフェルール付ファイバを固定し、光ファ
イバから出た特定波長の光が光路変換溝を通り受光素子
に感受され光電流を発し、光電流を増幅器によって増幅
するようにした実施例8に係る光受信器の基板部分の斜
視図。
ール付ファイバを用い、フェルール部の中間部に嵌込穴
を穿ち波長フィルタを挿入固定し、受光素子と増幅器を
実装した基板にフェルール付ファイバを固定し、光ファ
イバから出た特定波長の光が光路変換溝を通り受光素子
に感受され光電流を発し、光電流を増幅器によって増幅
するようにした実施例8に係る光受信器のパッケージし
た状態の斜視図。
ール付ファイバを用い、フェルール部の中間部に嵌込穴
を穿ち波長フィルタを挿入固定し、受光素子と増幅器を
実装した基板にフェルール付ファイバを固定し、光ファ
イバから出た特定波長の光が光路変換溝を通り受光素子
に感受され光電流を発し、光電流を増幅器によって増幅
するようにした実施例8に係る光受信器のパッケージし
た状態の縦断面図。
軸線に直交して嵌込穴を穿ち、ここへ波長フィルタを挿
入した実施例9の光受信器に用いるフェルール付ファイ
バの縦断面図。
軸線に斜交して嵌込穴を穿ち、ここへ波長フィルタを挿
入した実施例10の光受信器に用いるフェルール付ファ
イバの縦断面図。
軸線に直交して嵌込穴を穿ち、ここへコリメータ・波長
フィルタ・逆コリメータよりなる一体型波長フィルタを
挿入し透光性樹脂によって固定した実施例11の光受信
器に用いるフェルール付ファイバの縦断面図。
軸線に直交して嵌込穴を穿ち、ここへコリメータ・波長
フィルタ・逆コリメータよりなる一体型波長フィルタを
挿入し透光性樹脂によって埋め込み固定した実施例12
の光受信器に用いるフェルール付ファイバの縦断面図。
軸線に直交して嵌込穴を穿ち、ここへコリメータ・波長
フィルタ・逆コリメータよりなる一体型波長フィルタを
挿入し基板の溝へフェルール付ファイバを押し込み透光
性樹脂によって固定した実施例13に係る光受信器の一
部横断面図。
Claims (21)
- 【請求項1】 光伝送媒体と受光素子が同一の基板上に
配置され、光伝送媒体の終端又は光伝送媒体の途中に特
定の波長の光を透過させる波長フィルタを設け、光伝送
媒体に入射した波長多重光から波長フィルタによって特
定波長だけを取り出し、受光素子によって感受するよう
にしたことを特徴とする光受信器。 - 【請求項2】 特定の波長の光を透過させる波長フィル
タが光伝送媒体の軸線に対して傾斜して設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の光受信器。 - 【請求項3】 波長フィルタが光伝送媒体の受光素子に
対向する方の端面に配置されている事を特徴とする請求
項1又は2に記載の光受信器。 - 【請求項4】 波長フィルタが光伝送媒体の途中に設け
られた間隙に挿入されている事を特徴とする請求項1又
は2に記載の光受信器。 - 【請求項5】 基板上に形成した溝に固定された光ファ
イバの終端に波長フィルタを配置し、波長フィルタを通
過した光を、基板上に設けた光路変換溝で反射すること
によって受光素子に導く事を特徴とする請求項3に記載
の光受信器。 - 【請求項6】 Si基板上に形成したSiO2系の光導
波路の終端に波長フィルタを配置し、波長フィルタを通
過した光を、Si基板上に設けた光路変換溝で反射する
ことによって受光素子に導く事を特徴とする請求項3に
記載の光受信器。 - 【請求項7】 基板上に形成した溝に固定された光ファ
イバの途中に斜めのスリットを設け、波長フィルタを挿
入し、光ファイバの終端から出射した光を、基板上に設
けた光路変換溝で反射することによって受光素子に導く
事を特徴とする請求項4に記載の光受信器。 - 【請求項8】 Si基板上に形成したSiO2系の光導
波路の途中に斜めのスリットを設け、波長フィルタをス
リットに挿入し、光導波路の終端から出射した光を、S
i基板上に設けた光路変換溝で反射することによって受
光素子に導く事を特徴とする請求項4に記載の光受信
器。 - 【請求項9】 Si基板上に形成したSiO2系の光導
波路の途中に斜めのスリットを設け、波長フィルタをス
リットに挿入し、光導波路の軸線上において波長フィル
タの前後にコリメータレンズと逆コリメータレンズを設
け、光導波路の終端から出射した光を、Si基板上に設
けた光路変換溝で反射することによって受光素子に導く
事を特徴とする請求項4に記載の光受信器。 - 【請求項10】 光伝送媒体が光ファイバであって、光
ファイバを保持し中間部に穿った嵌込穴に波長フィルタ
を装着したフェルールを基板上に形成した溝に固定し、
光ファイバの終端から出射した光を、基板上に設けた光
路変換溝によって反射し受光素子に導く事を特徴とする
請求項1に記載の光受信器。 - 【請求項11】 光伝送媒体が光ファイバであって、光
ファイバを保持し中間部に穿った嵌込穴にコリメータと
逆コリメータを両面に備えた波長フィルタを装着したフ
ェルールを基板上に形成した溝に固定し、光ファイバの
終端から出射した光を、基板上に設けた光路変換溝によ
って反射し受光素子に導く事を特徴とする請求項1に記
載の光受信器。 - 【請求項12】 嵌込穴の中の波長フィルタが光ファイ
バ軸線に対し垂直であり嵌込穴と波長フィルタの間には
透光性樹脂が充填されていることを特徴とする請求項1
0又は11に記載の光受信器。 - 【請求項13】 嵌込穴の中の波長フィルタが光ファイ
バ軸線に対し傾斜しており嵌込穴と波長フィルタの間に
は透光性樹脂が充填されていることを特徴とする請求項
10又は11に記載の光受信器。 - 【請求項14】 光伝送媒体が光ファイバであって、光
ファイバを保持し中間部に貫通するよう穿った嵌込穴に
波長フィルタを挿入したフェルールを基板上に形成した
溝に固定し、溝によって波長フィルタを位置決めし、光
ファイバの終端から出射した光を基板上に設けた光路変
換溝によって反射し受光素子に導く事を特徴とする請求
項10〜13の何れかに記載の光受信器。 - 【請求項15】 光伝送媒体が、光ファイバであること
を特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の光受信器。 - 【請求項16】 光伝送媒体が、基板上に形成された光
導波路であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに
記載の光受信器。 - 【請求項17】 基板がセラミック基板であることを特
徴とする請求項1〜5、7、10〜14の何れかに記載
の光受信器。 - 【請求項18】 基板がSi基板であることを特徴とす
る請求項1〜5、7、10〜14の何れかに記載の光受
信器。 - 【請求項19】 光伝送媒体の一部、波長フィルタ、受
光素子が、透光性樹脂によって覆われている事を特徴と
する請求項1〜18の何れかに記載の光受信器。 - 【請求項20】 受光素子が裏面入射型PDであること
を特徴とする請求項1〜19の何れかに記載の光受信
器。 - 【請求項21】 受光素子の近傍の基板上に増幅器を設
け、増幅器によって受光素子の光電流を増幅することを
特徴とする請求項1〜20の何れかに記載の光受信器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001175093A JP2002261300A (ja) | 2000-12-25 | 2001-06-11 | 光受信器 |
| US10/015,898 US7106980B2 (en) | 2000-12-25 | 2001-12-17 | Optical receiver |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000391901 | 2000-12-25 | ||
| JP2000-391901 | 2000-12-25 | ||
| JP2001175093A JP2002261300A (ja) | 2000-12-25 | 2001-06-11 | 光受信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002261300A true JP2002261300A (ja) | 2002-09-13 |
Family
ID=26606468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001175093A Pending JP2002261300A (ja) | 2000-12-25 | 2001-06-11 | 光受信器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7106980B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002261300A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053459A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Ntt Electornics Corp | 波長フィルタ |
| CN104364689A (zh) * | 2012-03-05 | 2015-02-18 | 纳米精密产品股份有限公司 | 用于耦合光纤输入/输出的具有结构化反射表面的耦合装置 |
| EP2944991A1 (en) * | 2014-05-14 | 2015-11-18 | Hosiden Corporation | Optical transmission module |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004004459A (ja) * | 2002-04-09 | 2004-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光送受信装置 |
| WO2004042444A1 (ja) * | 2002-11-08 | 2004-05-21 | Tdk Corporation | 光モジュール及びその製造方法 |
| US20040183003A1 (en) * | 2003-03-21 | 2004-09-23 | Mohammad Eslamy | Localized hermetic sealing of a power monitor on a planar light circuit |
| US7306378B2 (en) * | 2004-05-06 | 2007-12-11 | Intel Corporation | Method and apparatus providing an electrical-optical coupler |
| US7782921B2 (en) * | 2005-03-28 | 2010-08-24 | Intel Corporation | Integrated optical detector in semiconductor reflector |
| US7606499B2 (en) * | 2005-08-01 | 2009-10-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Bidirectional transceiver assembly for POF application |
| US7428102B2 (en) * | 2005-12-09 | 2008-09-23 | Enplas Corporation | Optical element |
| JP2007187793A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Nec Corp | 光モジュール |
| US7556440B2 (en) * | 2006-12-22 | 2009-07-07 | Lightwire Inc. | Dual-lensed unitary optical receiver assembly |
| US8494369B2 (en) * | 2008-06-06 | 2013-07-23 | Infinera Corporation | Planar lightwave circuit |
| US7991251B2 (en) * | 2008-07-02 | 2011-08-02 | Hitachi, Ltd. | Optical module mounted with WDM filter |
| KR101181446B1 (ko) * | 2008-11-28 | 2012-09-19 | 한국전자통신연구원 | 광도파로 및 양방향 광송수신 장치 |
| TWI448753B (zh) * | 2009-07-31 | 2014-08-11 | Ind Tech Res Inst | 具有濾光薄膜的光纖結構 |
| WO2011105078A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | パナソニック電工株式会社 | 光モジュール |
| US9054024B2 (en) * | 2012-02-13 | 2015-06-09 | Futurewei Technologies, Inc. | Apparatus and method for optical communications |
| US9618712B2 (en) * | 2012-02-23 | 2017-04-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Optical bench on substrate and method of making the same |
| US10033464B2 (en) * | 2013-05-28 | 2018-07-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Optoelectronic device having improved optical coupling |
| DE102013012609B4 (de) * | 2013-07-26 | 2024-06-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optoelektronischer Detektor, insbesondere für hochauflösende Lichtrastermikroskope und Lichtrastermikroskop |
| JP2015219492A (ja) * | 2014-05-21 | 2015-12-07 | 日立金属株式会社 | 通信光検知器 |
| WO2016064425A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Turning mirror optical couplers |
| CN204795049U (zh) | 2015-08-24 | 2015-11-18 | 宁波环球广电科技有限公司 | 一种光发射模块 |
| CN204947313U (zh) | 2015-08-24 | 2016-01-06 | 宁波环球广电科技有限公司 | 多通道阵列光纤激光器 |
| TWM523866U (zh) * | 2015-09-30 | 2016-06-11 | 寧波環球廣電科技有限公司 | 光發射模組 |
| US10379293B2 (en) * | 2015-10-28 | 2019-08-13 | Kyocera Corporation | Optical connector, optical connector system, and active optical cable provided with same |
| JP6578976B2 (ja) * | 2016-02-05 | 2019-09-25 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
| WO2018163513A1 (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-13 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール |
| US20190052369A1 (en) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | Techniques for high speed optoelectronic coupling by redirection of optical path |
| WO2020199187A1 (en) * | 2019-04-04 | 2020-10-08 | Lumentum Operations Llc | Optical receiver structure |
| WO2021081323A1 (en) | 2019-10-25 | 2021-04-29 | Commscope Technologies Llc | Integrated optical wavelength division multiplexing devices |
| CN110854210A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-02-28 | 中航光电科技股份有限公司 | 一种基于box封装的超高频射频光电探测器 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094603A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | エステー化学株式会社 | 柔軟性被膜付き作業用手袋の製造方法 |
| JPH02267501A (ja) * | 1989-04-08 | 1990-11-01 | Fujikura Ltd | 光ファイバのフィルタコネクタ付のジルコニア製コネクタフェルール |
| WO1997006458A1 (en) * | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical device and method of manufacturing it |
| JPH10293219A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 光導波路カプラの構造 |
| JP2000098192A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光受信モジュール |
| JP2000180675A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 受光モジュ―ル |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5519526A (en) * | 1992-10-21 | 1996-05-21 | California Institute Of Technology | Optical protocols for communication networks |
| DE4440976A1 (de) * | 1994-11-17 | 1996-05-23 | Ant Nachrichtentech | Optische Sende- und Empfangseinrichtung mit einem oberflächenemittierenden Laser |
| JPH1048446A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 双方向通信用光集積回路およびその作製方法 |
| JP3566842B2 (ja) * | 1997-11-07 | 2004-09-15 | 松下電器産業株式会社 | 半導体受光装置、半導体受光装置の製造方法、双方向光半導体装置及び光伝送システム |
| JPH11305078A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光送受信モジュール |
| JP4582489B2 (ja) * | 2000-01-21 | 2010-11-17 | 住友電気工業株式会社 | 発光装置 |
-
2001
- 2001-06-11 JP JP2001175093A patent/JP2002261300A/ja active Pending
- 2001-12-17 US US10/015,898 patent/US7106980B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094603A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | エステー化学株式会社 | 柔軟性被膜付き作業用手袋の製造方法 |
| JPH02267501A (ja) * | 1989-04-08 | 1990-11-01 | Fujikura Ltd | 光ファイバのフィルタコネクタ付のジルコニア製コネクタフェルール |
| WO1997006458A1 (en) * | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical device and method of manufacturing it |
| JPH10293219A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 光導波路カプラの構造 |
| JP2000098192A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光受信モジュール |
| JP2000180675A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 受光モジュ―ル |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053459A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Ntt Electornics Corp | 波長フィルタ |
| CN104364689A (zh) * | 2012-03-05 | 2015-02-18 | 纳米精密产品股份有限公司 | 用于耦合光纤输入/输出的具有结构化反射表面的耦合装置 |
| CN104364689B (zh) * | 2012-03-05 | 2016-12-07 | 纳米精密产品股份有限公司 | 用于耦合光纤输入/输出的具有结构化反射表面的耦合装置 |
| EP2944991A1 (en) * | 2014-05-14 | 2015-11-18 | Hosiden Corporation | Optical transmission module |
| CN105093435A (zh) * | 2014-05-14 | 2015-11-25 | 星电株式会社 | 光传输模块 |
| JP2015219267A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | ホシデン株式会社 | 光伝送モジュール |
| US9712245B2 (en) | 2014-05-14 | 2017-07-18 | Hosiden Corporation | Optical transmission module |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020080457A1 (en) | 2002-06-27 |
| US7106980B2 (en) | 2006-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002261300A (ja) | 光受信器 | |
| CN101458370B (zh) | 光模块 | |
| US7153037B2 (en) | Multichannel optical communications module | |
| KR101744281B1 (ko) | 광도파로 내부에 광경로 전환용 마이크로 거울을 내장한 광집적회로 및 그 제조방법 | |
| US6406196B1 (en) | Optical device and method for producing the same | |
| JP3750649B2 (ja) | 光通信装置 | |
| JP3937911B2 (ja) | 光送受信モジュール及びこれを用いた光通信システム | |
| US6792181B2 (en) | Wavelength-multiplexing bidirectional optical transmission module | |
| US5546212A (en) | Optical module for two-way transmission | |
| US7609922B2 (en) | Optical module, optical transmission system, and fabrication method for optical module | |
| JP6127053B2 (ja) | マルチチャンネルトランシーバ | |
| US6236669B1 (en) | LD/PD module and LED/PD module | |
| JPH07104146A (ja) | 光部品の製造方法 | |
| JPH07104148A (ja) | 光部品 | |
| JP2000241642A (ja) | 光送受信モジュール | |
| US7684667B2 (en) | Hybrid integrated structure of one or more optical active devices and PLC device using optical fiber array | |
| KR100630804B1 (ko) | 박막필터를 이용한 다파장 광 송수신 모듈, 다중 및 역다중화기 | |
| JP2001223642A (ja) | 光通信装置 | |
| US6637947B2 (en) | Optical coupling configuration | |
| KR101063963B1 (ko) | 평판형 광도파로 소자용 광 파워 측정 모듈 및 그 제조방법 | |
| KR101227039B1 (ko) | 광 파워 감시 모듈 | |
| JP2008233556A (ja) | レンズ筐体及び光モジュール | |
| JP3806928B2 (ja) | 光送受信機及びその製造方法 | |
| KR101220303B1 (ko) | 광 파워 감시 모듈 | |
| JP2008020721A (ja) | 並列光送受信装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080610 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110518 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110902 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111018 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120125 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120312 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120622 |