JP2002243960A - フィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光通信波長での光透過性と加工性に優れたフ
ィルタ型多チャンネル波長合分波器を提供する。 【解決手段】 基板６上に設けられた複数の光導波路
と、この光導波路を覆うクラッド部８とで高分子交差光
導波回路２を形成し、光導波路の交差部分にフィルタ挿
入溝９，１０，１１を設け、これらの溝に誘電体多層膜
フィルタ３，４，５をそれぞれ挿入する。高分子交差光
導波回路２の光導波路とクラッド部８をフッ素化ポリイ
ミドによって形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信等に用いら
れるフィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】光通信システムの高度化に向けて、導波
路型光デバイスの研究開発が盛んに進められている。中
でも、フィルタ型多チャンネル波長合分波器は特定の波
長を合分波できるため、複雑な光導波路設計が不要であ
る。このため、フィルタ型多チャンネル波長合分波器は
波長多重システムへの応用が期待されている。

【０００３】一般的に、光導波路の光デバイス応用に
は、製作の容易性、光導波路材料の屈折率の制御性、耐
熱性等さまざまな条件が要求される。現在、光導波路材
料としては石英が最もよく利用されており、その光導波
路は波長が１．３ｍｍで０．１ｄＢ／ｃｍ以下の低光損
失を示す。しかしながら、製造プロセスが複雑で、大面
積化が困難などの問題点があるため、経済性、汎用性に
優れたフィルタ型多チャンネル波長合分波器は得難い。

【０００４】一方、高分子光導波路はスピンコート法を
用いて形成できるため、石英系光導波路と比較して製作
が容易である。さらに、高分子光導波路は石英系光導波
路と比較して柔軟性に優れているため、フィルタ挿入溝
の切削が相対的に容易であり、挿入溝の過剰損失を低減
できる。さらに、切削速度も速くできるため、生産性も
向上させることができる。しかしながら、これまで、実
用に耐え得る耐熱性と光通信波長帯での光透過性に優れ
た高分子材料によるフィルタ型多チャンネル波長合分波
器は存在しなかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のフィルタ型多チャンネル波長合分波器のうち、光導波
路材料として石英を用いたものは、製造プロセスが複雑
で、大面積化することが困難であるという問題があっ
た。一方、高分子材料を用いたものは、実用に耐え得る
耐熱性と光通信波長帯での光透過性が得られないという
問題があった。

【０００６】そこで、本発明者らは、これらの観点から
鋭意検討した結果、高分子材料としてポリイミドを用い
ると、耐熱性に優れ、波長が１．３μｍ帯と１．５５μ
ｍ帯で低損失性を有し、加工性に優れた波長合分波器を
製作できることを見い出し本発明を完成するに至った。

【０００７】本発明は上記した従来の問題および検討結
果に基づいてなされたもので、その目的とするところ
は、光通信波長での光透過性と加工性に優れたフィルタ
型多チャンネル波長合分波器を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、波長多重通信に用いる波長合分波器
において、基板上に設けられた複数の光導波路、この光
導波路を覆うクラッド部および前記光導波路の交差部分
に設けられたフィルタ挿入溝を有する高分子交差光導波
回路と、前記フィルタ挿入溝に挿入された誘電体多層膜
フィルタとを備え、前記光導波路と前記クラッド部の双
方またはいずれか一方をポリイミドによって形成したこ
とを特徴とするものである。

【０００９】第２の発明は、上記第１の発明において、
光導波路とクラッド部の少なくともいずれか一方をフッ
素化ポリイミドによって形成したことを特徴とするもの
である。

【００１０】第３の発明は、上記第１または第２の発明
において、誘電体多層膜フィルタの基板材料がポリイミ
ドであることを特徴とするものである。

【００１１】第４の発明は、上記第３の発明において、
誘電体多層膜フィルタの少なくとも一つが、特定の波長
以上を透過させてそれ以下の波長を反射させるエッジフ
ィルタ（長波長透過フィルタ）であることを特徴とする
ものである。

【００１２】第５の発明は、上記第３の発明において、
誘電体多層膜フィルタの少なくとも一つが、特定の波長
以上を反射させてそれ以下の波長を透過させるエッジフ
ィルタ（短波長透過フィルタ）であることを特徴とする
ものである。

【００１３】本発明において、高分子交差光導波回路の
クラッド、コア材料として用いられるポリイミド、特に
フッ素化ポリイミドは、光通信波長帯である近赤外域、
特に波長１．３と１．５５μｍ付近で透明であり、また
耐熱性が３００°Ｃ以上と大きいことから、最も優れた
長期安定性を有するフィルタ型多チャンネル高分子波長
合分波器が得られる。

【００１４】フッ素化ポリイミドは、フッ素化テトラカ
ルボン酸またはその誘導体とジアミンから、テトラカル
ボン酸またはその誘導体とフッ素化ジアミンから、また
はフッ素化テトラカルボン酸またはその誘導体とフッ素
化ジアミンから製造することができる。これらのフッ素
化ポリイミドは、単体だけではなく、フッ素化ポリイミ
ド共重合体、およびこれらに必要に応じて添加材等を添
加したものなどを用いることができる。

【００１５】特に上記のフッ素化ポリイミドの中で光透
過性、耐熱性でバランスの取れたものとして、２，２−
ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロ
プロパン二無水物（６ＦＤＡ）とジアミンから合成した
フッ素化ポリイミドもしくはその共重合体、および１，
４−ビス（３，４−ジカルボキシトリフルオロフェノキ
シ）テトラフルオロベンゼン二無水物（１０ＦＥＤＡ）
とジアミンから合成したフッ素化ポリイミドもしくはそ
の共重合体が望ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係るフ
ィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器の第１の実施
の形態を示す斜視図である。同図において、全体を符号
１で示すものは、波長多重通信に用いられるフィルタ型
多チャンネル高分子波長合分波器（以下、波長合分波器
と略称する）で、４チャンネル（７Ａ〜７Ｄ）の高分子
交差光導波回路２と、３つの誘電体多層膜フィルタ３，
４，５とで構成されている。

【００１７】前記高分子交差光導波回路２は、基板６上
に設けられた光を導波するコア部（導波路）と、導波路
を覆うクラッド部８とで構成されている。導波路はクラ
ッド部８の中に連続して形成され、また導波路の交差部
分にはフィルタ挿入溝９，１０，１１がそれぞれ設けら
れ、これらの溝に前記各誘電体多層膜フィルタ３，４，
５が挿入されている。

【００１８】前記高分子交差光導波回路２は、導波路と
クラッド部８の材料として高分子からなるフッ素化ポリ
イミドを用い、基板６の材料としてシリコンを用いてそ
れぞれ製作され、１つの入力ポート１２と、４つの出力
ポート１３，１４，１５，１６を有している。

【００１９】前記各誘電体多層膜フィルタ３，４，５
は、それぞれ透過波長域が異なり、各フィルタ挿入溝
９，１０，１１に挿入され、ＵＶ硬化樹脂によって固定
されている。ここで用いた誘電体多層膜フィルタ３，
４，５は、それぞれ波長１．２、１．３、１．４μｍの
光を透過させるバンドパスフィルタである。

【００２０】前記各フィルタ挿入溝９，１０，１１は、
ダイシングソーによって溝幅が約２０μｍとなるように
形成されている。

【００２１】次に、図１に示した波長合分波器１の製作
工程について説明する。図２（ａ）〜（ｇ）は高分子交
差光導波回路の製作工程を示す図である。本実施の形態
においては、高分子交差光導波回路２を構成するクラッ
ド、コア（導波路、クラッド部）材料に２，２−ビス
（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロ
パン二無水物（６ＦＤＡ）と２，２’−ビス（トリフル
オロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル（ＴＦＤ
Ｂ）から合成したポリイミド（６ＦＤＡ/ＴＦＤＢ）
と、６ＦＤＡと４，４’−オキシジアニリン（４，
４’−ＯＤＡ）から合成したポリイミド（６ＦＤＡ／
４，４’−ＯＤＡ）の共重合体（共重合比が１：０を含
む）を用いる。

【００２２】最初に、（６ＦＤＡ／ＴＦＤＢ）：（６Ｆ
ＤＡ／４，４’−ＯＤＡ）の共重合比が１：０のフッ素
化ポリイミド共重合体の前駆体であるフッ素化ポリアミ
ド酸のＤＭＡｃ１５ｗｔ％溶液をシリコン基板６（図
（ａ））上にスピンコートした後、オーブン中で３８０
°Ｃで１時間加熱しイミド化を行い、下部クラッド層１
１２（屈折率は、波長１．３μｍの時ｎＴＥ；１．５２
０、ｎＴＭ；１．５１０、１．５５μｍの時ｎＴＥ；
１．５８、ｎＴＭ；１．５０８）を形成した（図
（ｂ））。

【００２３】次に、下部クラッド層１１２上へ、（６Ｆ
ＤＡ／ＴＦＤＢ）：（６ＦＤＡ／４，４’−ＯＤＡ）の
共重合比が４：６のフッ素化ポリイミド共重合体の前駆
体であるフッ素化ポリアミド酸のＤＭＡｃ１５ｗｔ％溶
液を、加熱イミド化後の膜厚が８ｍｍになるようにスピ
ンコートした。その後、オーブン中で３８０°Ｃで１時
間加熱しイミド化を行い光を導波する連続したコア層
（導波路）１１３（屈折率は、波長１．３μｍの時ｎＴ
Ｅ；１．５３８、ｎＴＭ；１．５３１、１．５５μｍの
時ｎＴＥ；１．５３８、ｎＴＭ；１．５３０）を形成し
た（図（ｃ））。

【００２４】次に、コア層１１３上へフォトレジストを
スピンコートした後、交差光導波路のＣｒマスクパター
ン１１４をフォトリソグラフ法によってレジストに転写
させた（図（ｄ））。

【００２５】次に、フォトレジストの現像を行うことに
より、コア層１１３上へ交差光導波路のマスクパターン
１１４を形成した（図（ｅ））。マスクパターン１１４
が形成されたコア層１１３に対して、酸素ガスを用いた
ＲＩＥ法（リアクティブイオンエッチング法）によりエ
ッチングを行いコアパターン１１５を形成した（図
（ｆ））。

【００２６】次に、コアパターン１１５上に、下部クラ
ッド層１１２と同じフッ素化ポリイミド共重合体の前駆
体であるフッ素化ポリアミド酸のＤＭＡｃ１５ｗｔ％溶
液をスピンコートした後、オーブン中で３８０°Ｃで１
時間加熱しイミド化を行い、下部クラッド層１１２と同
じ屈折率を持つ上部クラッド層１１６を形成し（図
（ｇ））、もってフッ素化ポリイミドによる高分子交差
光導波回路２を製作した。

【００２７】このような方法によって形成された高分子
交差光導波回路２の光導波路の交差部分に前述したフィ
ルタ挿入溝９，１０，１１をダイシングソーによって形
成し、各フィルタ挿入溝９，１０，１１にそれぞれ透過
波長域の異なる誘電体多層膜フィルタ３，４，５を挿入
し固定することにより、図１に示した４ｃｈの波長合分
波器１を製作した。

【００２８】次に、前記波長合分波器１の光学特性を測
定した。波長１．２、１．３、１．４、１．５μｍの４
波長の合波光２０を入力ポート１２から入射したとこ
ろ、合波光２０に含まれる波長１．２μｍの光２１だけ
が誘電体多層膜フィルタ３を透過し出力ポート１３から
出射した。この波長以外の光（波長１．３、１．４、
１．５μｍの３波長の合波光２２）は、誘電体多層膜フ
ィルタ３で反射して誘電体多層膜フィルタ４へ到達し
た。次に、合波光２２に含まれる波長１．３μｍの光２
３だけが誘電体多層膜フィルタ４を透過し出力ポート１
４から出射した。この波長以外の光（波長１．４、１．
５μｍの２波長の合波光２４）は、誘電体多層膜フィル
タ４で反射して誘電体多層膜フィルタ５へ到達した。次
に、合波光２４に含まれる波長１．４μｍの光２５は、
誘電体多層膜フィルタ５を透過し出力ポート１５から出
射し、波長１．５μｍの光２６は誘電体多層膜フィルタ
５で反射し出力ポート１６から出射した。

【００２９】このように、入力ポート１２から入射した
合波光２０は波長合分波器１で分波され、出力ポート１
３，１４，１５，１６からそれぞれ波長１．２μｍの光
２１、１．３μｍの光２３、１．４μｍの光２５、１．
５μｍの光２６がそれぞれ出射した。挿入損失は全ての
ポートで６ｄＢ以下、各ポート間のクロストークは−２
５ｄＢ以下であった。

【００３０】本実施の形態における光学特性評価では分
波器としての機能を示したが、合波器として用いる場合
には光の伝搬方向が逆になるだけであり、性能は全く同
じであることは言うまでもない。また、フィルタ挿入溝
９，１０，１１に挿入する誘電体多層膜フィルタ３，
４，５は、本実施の形態に示したバンドパスフィルタに
限定されず、あらゆるものを用いることができる。

【００３１】図３は本発明の第２の実施の形態を示す波
長合分波器の斜視図である。なお、図中上記した実施の
形態と同一の構成部材、部分については同一符号をもっ
て示し、その説明を適宜省略する。

【００３２】図３において、全体を符号３０で示す波長
合分波器は、ポリイミド基板３１上に形成された４チャ
ンネル（７Ａ〜７Ｄ）の高分子交差光導波回路３２と、
この高分子交差光導波回路３２の導波路の交差部分に設
けられた３つのフィルタ挿入溝９，１０，１１と、各フ
ィルタ挿入溝９，１０，１１にそれぞれ挿入され固定さ
れた透過波長域が異なる３つの誘電体多層膜フィルタ
３，４，５とで構成されている。前記高分子交差光導波
回路３２は、導波路とクラッド部８の材料として高分子
からなるフッ素化ポリイミドを用いて製作され、１つの
入力ポート１２と、４つの出力ポート１３，１４，１
５，１６を有している。つまり、本実施の形態は、シリ
コン基板６の代わりにポリイミド基板３１を用いて高分
子交差光導波回路３２を製作した点が上記した実施の形
態と異なるものである。

【００３３】前記誘電体多層膜フィルタ３，４，５は、
それぞれ波長１．２、１．３、１．４μｍの光を透過さ
せるバンドパスフィルタである。本実施の形態では、フ
ィルタの基板材料としてポリイミド基板を用いているた
め、各誘電体多層膜フィルタ３，４，５の膜厚は約１７
μｍ程度と非常に薄い。このため、フィルタ挿入溝９，
１０，１１の溝幅を２０μｍ程度と薄くすることがで
き、フィルタによる過剰損失を小さくできる。さらに、
基板材料が導波路の材料と同じポリイミドであるため屈
折率も近く、導波路／フィルタ境界面での屈折率差によ
り生じる反射損を小さくすることができる。

【００３４】前記波長合分波器３０の光学特性を測定し
た。波長１．２、１．３、１．４、１．５μｍの４波長
の合波光２０を入力ポート１２から入射したところ、上
記した第１の実施の形態と同様に、波長合分波器３０に
よって分波され、出力ポート１３，１４，１５，１６か
ら波長１．２μｍの光２１、１．３μｍの光２３、１．
４μｍの光２５、１．５μｍの光２６がそれぞれ出射し
た。また、誘電体多層膜フィルタ３，４，５は、基板材
料として膜厚の薄いポリイミド基板を用いているので、
挿入損失が低減され、全てのポートで４ｄＢ以下であっ
た。また、各ポート間のクロストークは−２５ｄＢ以下
であった。

【００３５】本実施の形態における光学特性評価では分
波器としての機能を示したが、合波器として用いる場合
には光の伝搬方向が逆になるだけであり、性能は全く同
じであることは言うまでもない。また、フィルタ挿入溝
９，１０，１１に挿入するバンドパスフィルタ３，４，
５は本実施の形態に示したものに限定されず、あらゆる
ものを用いることができる。

【００３６】図４は本発明の第３の実施の形態を示す波
長合分波器の斜視図である。全体を符号５０で示す波長
合分波器は、ポリイミド基板３１上に形成された４チャ
ンネルの高分子交差光導波回路５２と、この高分子交差
光導波回路５２の交差部分に設けられた３つのフィルタ
挿入溝９，１０，１１と、各フィルタ挿入溝９，１０，
１１にそれぞれ挿入された透過波長域が異なる３つの誘
電体多層膜フィルタ５４，５５，５６とで構成されてい
る。前記高分子交差光導波回路５２は、導波路とクラッ
ド部８の材料として高分子からなるフッ素化ポリイミド
を用いて製作され、１つの入力ポート５７と、４つの出
力ポート５８，５９，６０，６１を有している。誘電体
多層膜フィルタ５４，５５，５６は、それぞれ波長１．
４μｍと１．５μｍの間に透過帯域と反射帯域の境界波
長が存在するエッジフィルタ（１．４／１．５μｍエッ
ジフィルタ）、波長１．２μｍと１．３μｍの間に透過
帯域と反射帯域の境界波長が存在するエッジフィルタ
（１．２／１．３μｍエッジフィルタ）、波長１．３μ
ｍと１．４μｍの間に透過帯域と反射帯域の境界波長が
存在するエッジフィルタ（１．３／１．４μｍエッジフ
ィルタ）である。これらのフィルタはＵＶ硬化樹脂によ
ってフィルタ挿入溝に固定されている。

【００３７】本実施例で用いられる誘電体多層膜フィル
タ５４，５５，５６は、基板材料としてポリイミドを用
いているため膜厚が約１７μｍ程度と非常に薄い。この
ため、フィルタ挿入溝９，１０，１１の溝幅を２０μｍ
程度と薄くすることができ、フィルタによる過剰損失を
小さくできる。さらに、基板材料が導波路材料と同じポ
リイミドであるため屈折率も近く、導波路／フィルタ境
界面での屈折率差により生じる反射損を小さくすること
ができる。

【００３８】製作した波長合分波器５０の光学特性を測
定した。波長１．２、１．３、１．４、１．５μｍの４
波長の合波光２０を入力ポート５７から入射したとこ
ろ、合波光２０に含まれる波長１．５μｍの光６３だけ
が誘電体多層膜フィルタ５４で反射し出力ポート５８か
ら出射した。この波長以外の光（波長１．２、１．３、
１．４μｍの３波長の合波光６４）は、誘電体多層膜フ
ィルタ５４を透過して誘電体多層膜フィルタ５５へ到達
した。次に、合波光６４に含まれる波長１．２μｍの光
６５だけが誘電体多層膜フィルタ５５を透過し出力ポー
ト５９から出射した。この波長以外の光（波長１．３、
１．４μｍの２波長の合波光６６）は、誘電体多層膜フ
ィルタ５５で反射して誘電体多層膜フィルタ５６へ到達
した。次に、合波光６６に含まれる波長１．３μｍの光
６７は、誘電体多層膜フィルタ５６を透過して出力ポー
ト６１から出射し、波長１．５μｍの光６８は誘電体多
層膜フィルタ５６で反射し出力ポート６０からそれぞれ
出射した。

【００３９】このように、入力ポート５７から入射した
合波光２０は波長合分波器５０で分波され、出力ポート
５８，５９，６０，６１から波長１．５μｍの光６３、
１．２μｍの光６５、１．３μｍの光６７、１．４μｍ
の光６８がそれぞれ出射した。挿入損失は膜厚の薄い誘
電体多層膜フィルタ５４，５５，５６を適用したこと、
誘電体多層膜フィルタ５４，５５，５６としてエッジフ
ィルタを用い溝幅を短くしたことにより低減され、全て
のポートで３．５ｄＢ以下になった。各ポート間のクロ
ストークは−２５ｄＢ以下であった。

【００４０】本実施の形態における光学特性評価では分
波器としての機能を示したが、合波器として用いる場合
には光の伝搬方向が逆になるだけであり、性能は全く同
じであることは言うまでもない。また、フィルタ挿入溝
９，１０，１１に挿入する誘電体多層膜フィルタ３，
４，５は、本実施の形態に示したエッジフィルタに限定
されず、あらゆるものを用いることができる。

【００４１】上記した実施の形態では、波長合分波器の
導波路およびクラッド部の高分子材料としてフッ素化ポ
リイミドを用い、基板６，３１の材料としてシリコンと
ポリイミドを用いていたが、本発明はこれに何等限定さ
れるものではなく、他の材料を用いても良いことはいう
までもない。例えば、基板材料としてはＡＩ、インジウ
ムリン、ガリウム砒素、窒化ガリウム、硝子等を用いる
ことが可能である。

【００４２】また、上記した実施の形態では、波長合分
波器のチャネル数を４ｃｈとし、合分波される光の波長
として１．２，１．３，１．４，１．５μｍを用いた
が、他のチャネル数および他の波長の組み合わせでも良
いことは言うまでもない。例えば広帯域波長多重通信シ
ステム（ＷＷＤＭ：wideband wavelength divisionmult
iplexer）アクセス系で用いられる１．３〜１．５μｍ
帯における波長間隔１５〜２０ｎｍの光など、用いる誘
電体多層膜フィルタの種類を変えることであらゆる波長
の合分波を行うことができる。

【００４３】

【発明の効果】以上述べたように本発明に係るフィルタ
型多チャンネル高分子波長合分波器は、導波路材料とし
て耐熱性の高いポリイミドを用い、また誘電体多層膜フ
ィルタとしてポリイミドを用いたことにより、低損失な
フィルタ型多チャンネルポリイミド波長合分波器を提供
できる。また、その結果として、経済性、汎用性に優れ
たフィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器が製造で
き、アクセス系やＬＡＮなどに用いられる波長多重通信
システムに応用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るフィルタ型多チャンネル高分子
波長合分波器の第１の実施の形態を示す斜視図である。

【図２】 （ａ）〜（ｇ）はフッ素化ポリイミドによる
高分子交差光導波回路の製作工程を示す図である。

【図３】 本発明の第２の実施の形態を示す斜視図であ
る。

【図４】 本発明の第３の実施の形態を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…フィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器、２…
高分子交差光導波回路、３，４，５…誘電体多層膜フィ
ルタ（バンドパスフィルタ）、６…基板、８…クラッド
部、９，１０，１１…フィルタ挿入溝、１２…入力ポー
ト、１３，１４，１５，１６…出力ポート、２０…４波
長の合波光、２１…１．２μｍの光、２３…１．３μｍ
の光、２５…１．４μｍの光、２６…１．５μｍの光、
３０，５０…波長合分波器、５４，５５，５６…誘電体
多層膜フィルタ（エッジフィルタ）、１１２…下部クラ
ッド層、１１３…コア層、１１４…マスクパターン、１
１５…交差光導波路のコアパターン、１１６…上部クラ
ッド層、１１７…高分子交差光導波回路。

フロントページの続き (72)発明者 疋田 真 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 川上 直美 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 景井 絵美子 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 工藤 あや子 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 栗原 健二 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 松浦 徹 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 都丸 暁 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 山本 二三男 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA03 KA12 LA18 PA02 PA15 PA24 PA28 QA05 RA08 TA31 TA43 TA44

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 波長多重通信に用いる波長合分波器にお
   いて、 基板上に設けられた複数の光導波路、この光導波路を覆
   うクラッド部および前記光導波路の交差部分に設けられ
   たフィルタ挿入溝を有する高分子交差光導波回路と、前
   記フィルタ挿入溝に挿入された誘電体多層膜フィルタと
   を備え、前記光導波路と前記クラッド部の双方またはい
   ずれか一方をポリイミドによって形成したことを特徴と
   するフィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器。
2. 【請求項２】 請求項１記載のフィルタ型多チャンネル
   高分子波長合分波器において、 光導波路とクラッド部の少なくともいずれか一方をフッ
   素化ポリイミドによって形成したことを特徴とするフィ
   ルタ型多チャンネル高分子波長合分波器。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のフィルタ型多チ
   ャンネル高分子波長合分波器において、 誘電体多層膜フィルタの基板材料がポリイミドであるこ
   とを特徴とするフィルタ型多チャンネル高分子波長合分
   波器。
4. 【請求項４】 請求項３記載のフィルタ型多チャンネル
   高分子波長合分波器において、 誘電体多層膜フィルタの少なくとも一つが、特定の波長
   以上を透過させてそれ以下の波長を反射させるエッジフ
   ィルタ（長波長透過フィルタ）であることを特徴とする
   フィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器。
5. 【請求項５】 請求項３記載のフィルタ型多チャンネル
   高分子波長合分波器において、 誘電体多層膜フィルタの少なくとも一つが、特定の波長
   以上を反射させてそれ以下の波長を透過させるエッジフ
   ィルタ（短波長透過フィルタ）であることを特徴とする
   フィルタ型多チャンネル高分子波長合分波器。