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JP2002139380A - 分光光度計 - Google Patents

分光光度計

Info

Publication number
JP2002139380A
JP2002139380A JP2000335850A JP2000335850A JP2002139380A JP 2002139380 A JP2002139380 A JP 2002139380A JP 2000335850 A JP2000335850 A JP 2000335850A JP 2000335850 A JP2000335850 A JP 2000335850A JP 2002139380 A JP2002139380 A JP 2002139380A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensitivity
photodetector
correction value
wavelength
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000335850A
Other languages
English (en)
Inventor
Kohei Kabuki
耕平 株木
Yoshisada Ehata
佳定 江畠
Tadashi Suzuki
鈴木  忠
Atsushi Hiyama
篤 檜山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2000335850A priority Critical patent/JP2002139380A/ja
Priority to DE60136431T priority patent/DE60136431D1/de
Priority to EP01120354A priority patent/EP1203935B1/en
Priority to US09/943,395 priority patent/US7050164B2/en
Publication of JP2002139380A publication Critical patent/JP2002139380A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】スペクトル測定における高速の波長移動時の測
定精度を向上する。 【解決手段】試料測定前に電圧値記憶測定を行って光検
知器への印加電圧値を保持し、試料測定時には、保持し
ている電圧値を読み出して光検知器に印加することによ
り、検知系の感度を適正に維持するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光光度計に関す
る。
【0002】
【従来の技術】二光束分光光度計は、光源から発出する
光束を試料(サンプル)光束と参照光束とに分割し、光
検知器から出力される検知信号を増幅器およびA/D変
換器により変換して得られる試料光束側信号Sと参照光
束側信号Rの比を用いて試料の分光透過率や分光反射率
などの光学的特性を測定している。
【0003】このような分光光度計で波長スペクトル測
定を行う場合、信号S,Rは、波長をλとして共に光源
のエネルギーE(λ)と光学系の効率M(λ)と光検知
器の感度D(λ)などの相乗値E(λ)・M(λ)・D
(λ)に従い、波長λの変化に伴って変化する。ディジ
タル信号で得られる測定値の精度は、ディジタル信号の
桁数に依存するが、このような波長による変化の割合
は、例えば可視・紫外領域においては数十〜数百倍であ
る。これにより、検知系の感度の悪い波長においては、
感度の良い波長に対して信号比の精度が数十〜数百分の
一にまで低下するために、感度の悪い波長域では測定精
度が著しく低下する。
【0004】このような信号値の波長による測定精度低
下を回避する手段として、一データ取り込み回毎に、信
号R,Sの大きい一方をAとして、Atar=(Amax+A
min)/2なる信号敷居値を定め、A≦AminもしくはA
max≦Aとなったときには、光検知器の感度を補正する
ことで、常に信号AがAmin≦A≦Amaxとなるようにす
るような所謂ディファレンシャルフィードバック法の採
用が有効である。このような補正を一データ取り込み回
毎に行なうことで、波長域による感度の違いに関係な
く、常に同程度の信号精度が得られる。
【0005】可視・紫外領域での光検知器としては、光
電子増倍管(以下、ホトマルと略す)が多く用いられる
が、ホトマルの感度は、ホトマルの陰極−陽極間に印加
する電圧値により変化するために、この印加電圧の加減
を行なうことによって検知感度の補正を行なうことがで
きる。但し、ホトマルからの出力信号は、入射光強度と
印加電圧の6〜10乗の積に比例するので、全く同値の
補正電圧を加減して印加した場合でも、感度の良い波長
域と感度の悪い波長域では、元々印加されていた電圧値
の違いにより、補正される信号値の大きさに違いが生じ
る。ホトマルでは、出力電流の大きさを信号量として取
り出すが、出力電流が大きくなり過ぎると、出力電流が
飽和することにより、前述した比例関係は崩れ、測定の
精度も低下してしまう。従って、Atarは、ホトマルか
らの出力電流が飽和しない範囲の上限近くに設定され
る。こうした場合に、電圧補正によって出力飽和が起こ
ることを防ぐために、一回の電圧値補正により加減する
電圧値は、感度の良い波長を基準にして比較的に小さい
値に設定される。
【0006】この方法では、データ取り込み毎の波長変
化量が検知系の感度変化に比較して十分に小さい場合に
は、常にAmin≦A≦Amaxとなる。しかし、高速の波長
移動(波長を高速度で変化させる)によるスペクトル測
定を行なった場合は、データ取り込みの波長変化量に相
応して波長変化による検知系の感度の変化が大きくな
る。その結果として、電圧値補正量が検知器感度の変化
に対して相対的に小さくなることになり、ディジタル信
号の桁数落ち(Amin>>A)、もしくはホトマルの出
力電流飽和(A>>Amax)が発生し、測定波長範囲全
域において同様の測定精度を得ることができない。
【0007】このような問題は、電圧補正値を検知系の
感度の良い波長領域を基準にして定められなければなら
ないことから、検知系の感度の悪い波長領域においては
特に顕著となっていた。
【0008】この問題は、波長移動速度を低速に設定し
て測定を行なうことにより解決するが、測定試料が多数
ある場合や測定波長範囲が広い場合には、波長移動速度
を落とすと一回の測定に多くの時間がかかる。従って、
多数の試料を測定する必要のある場合には、総ての測定
を精度良く行うには非常に多くの時間がかかる。
【0009】かかる問題の解決法として、特開平5−7
2037号公報に記載されているように、電圧補正量を
現在電圧値により関数を用いて決定する方法がある。こ
の方法によれば、現在電圧値により算出される信号補正
値が次回のデータ取り込み時に反映されることになる。
波長移動速度を上げてゆくと、現在波長λ0と次回のデ
ータ取り込み波長λ1との差|(λ0−λ1)|は、速
度に比例して大きくなる。この方法では、検出系の感度
が急激に変化する波長域においてスペクトル測定を行な
う場合に、やはり補正量が信号の変化に追いつかない、
もしくは補正量が大きすぎる等の問題が発生する。
【0010】波長スペクトル測定では、データ取り込み
毎に測定波長が一方向に移動する。従って、前回のデー
タ取り込み時の電圧値を現在電圧値に反映させるような
補正方法では、正確な感度補正を行うことができない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】スペクトル測定では、
測定精度を一定に保つために、試料光束側信号Sと参照
光束側信号Rの大なる一方の信号をAとして、信号Aが
常に一定の範囲内の信号値を得ることが必要である。そ
のために、ホトマルに印加する電圧を制御することによ
り、信号Aが常に一定範囲内に得られるようにディファ
レンシャルフィードバックによる補正を行っている。し
かし、光源のエネルギー,光学系,光検知器の感度にお
ける波長特性のために、高速で波長を移動(変化)する
測定を行なった場合に、特に検知系の感度の悪い波長域
では、感度の変化に対して電圧の補正量が相対的に小さ
くなるために、従来の補正方法では、検知器出力を一定
に保つことができなくなっていた。このような問題は、
検知系の感度の悪い波長領域において特に顕著に現れて
いた。
【0012】このような問題は、波長の移動速度を落と
すことにより解決することができるが、測定波長範囲が
広い場合には、波長移動速度を落としてしまうと測定に
時間がかかり過ぎてしまう。
【0013】このような問題は、単一光束でスペクトル
測定を行う単光束分光光度計においても言えることであ
る。
【0014】本発明の目的は、短時間で精度良いスペク
トル測定を行うことができる分光光度計を提供すること
にある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料測定を行
う前に光検知器の感度を制御する電圧値を測定して記憶
することにより保持し、試料測定においては保持してい
る電圧値を使用した感度補正制御を行うようにすること
により、高速に波長を移動する測定を行った場合でも、
検知系の感度変化の影響を軽減して高い信号精度がえら
れるようにするものである。
【0016】具体的には、請求項1に記述したように、
光束を発出する光源と、印加電圧を変化することにより
感度が変化する光検知器と、この検知器からの電気信号
をディジタル信号に変換するアナログ・ディジタル変換
器と、前記光束の光に対応する前記ディジタル信号をそ
れぞれ記憶するディジタル記憶手段と、前記ディジタル
信号の信号値が予め定められた一定範囲内になるように
前記光検知器の感度を制御する感度制御手段とを備えた
分光光度計において、前記感度制御手段は、前記光検知
器の感度を補正する感度補正値を波長毎に記憶する感度
補正値記憶手段と、この感度補正値記憶手段に記憶して
いる感度補正値を用いて前記光検知器の感度補正を行う
感度補正手段を備えたことを特徴とする。
【0017】または、請求項2に記述したように、光束
を発出する光源と、この光源から発出された光束を2本
の光束に分割する光束分割手段と、印加電圧を変化する
ことにより感度が変化する光検知器と、この検知器から
の電気信号をディジタル信号に変換するアナログ・ディ
ジタル変換器と、前記2本の光束の光に対応する前記デ
ィジタル信号をそれぞれ記憶するディジタル記憶手段
と、前記ディジタル信号の信号値が予め定められた一定
範囲内になるように前記光検知器の感度を制御する感度
制御手段と、前記ディジタル記憶手段に記憶された2本
の光束に対応するディジタル信号の比を計算する計算手
段を備えた分光光度計において、前記感度制御手段は、
前記光検知器の感度を補正する感度補正値を波長毎に記
憶する感度補正値記憶手段と、この感度補正値記憶手段
に記憶している感度補正値を用いて前記光検知器の感度
補正を行う感度補正手段を備えたことを特徴とする。
【0018】また、請求項3に記述したように、前記感
度制御手段は、前記感度補正値記憶手段に計測波長域に
ついて感度補正値を記憶し、試料測定時に、前記感度補
正値記憶手段に記憶している感度補正値を用いて光検知
器の感度補正を行なことを特徴とする。
【0019】また、請求項4に記述したように、前記感
度制御手段は、高速で波長を移動する試料測定におい
て、光束の信号が予め定められた一定範囲内になるよう
に光検知器の感度を補正制御することを特徴とする。
【0020】また、請求項5に記述したように、前記感
度制御手段は、高速で波長を移動する試料測定におい
て、2本の光束の信号の一方が予め定められた一定範囲
内になるように光検知器の感度を補正制御することを特
徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、波長スペクトルを測定する
機能を有する二光束分光光度計を例にとって本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
【0022】図1は、本発明の一実施の形態である紫外
可視分光光度計の機能ブロック図である。光源は、可視
領域の発光を分担するWIランプ1と紫外領域の発光を
分担するD2ランプ2を組み合わせて構成する。光源か
ら発出した光束は、光源切替ミラー3によって回転シャ
ッター4を通して第1分光器5に入射する。
【0023】第1分光器5は、スリット6を介して入光
し、この光をミラー7,8を介してプリズム9に入射す
る。プリズム9は、入射した光を分光して前記ミラー8
に向けて出射する。ミラー8,10は、プリズム9から
出射した分光光束を第2分光器11に入射する。
【0024】第2分光器11は、入光した光束をミラー
12とスリット13とミラー14によって回折格子15
に入射する。回折格子15は、入射した光を分光した後
にミラー16とスリット17とミラー18を介して出射
する。
【0025】ミラー19,20は、第2分光器11から
出射した光束を回転分光ミラー21に入射して2つの光
路に分岐する。そして、参照側光束は、ミラー22,2
3を介して試料室24に入射し、ミラー25を介して光
検知器26に直に入射する。試料側光束は、ミラー7を
介して試料室24に入射し、試料(図示省略)を介して
前記光検知器26に入射する。光検知器26は、ホトマ
ルを使用する。
【0026】データ処理部31は、制御装置32に制御
されて前記検知器26からの検知信号を入力して処理す
る。
【0027】制御装置32は、制御処理プログラムと感
度補正値記憶手段である電圧値記憶テーブルを備え、入
力装置33からの指示入力に従って前記データ処理部3
1と、光源切替ミラー3と回転シャッター4とプリズム
9と回転分光ミラー21を駆動する各駆動モータ(図示
省略)を制御し、光検知器26の印加電圧を制御し、表
示器34に測定条件や測定結果を表示する制御処理を実
行する。
【0028】データ処理部31と制御装置32と入力装
置33および表示器34は、小型(パーソナル)コンピ
ュータシステムおよび装置内RAMによって構成する。
【0029】次に、前記制御装置32が実行する制御処
理31について説明する。図2は、制御装置32が自ら
実行し、あるいはデータ処理部31に実行させる制御処
理のフローチャート、図3は、電圧値記憶テーブルと試
料測定時の印加電圧値との関係を示している。
【0030】先ず、電圧値記憶測定の処理手順について
説明する。
【0031】ステップ101 光検知器26を制御する電圧値記憶測定のための測定条
件を入力装置33からの指示に従って設定する。
【0032】ステップ102 電圧値記憶測定が指示されると該測定を開始する。
【0033】ステップ103 測定波長を変える波長駆動モーターを制御することによ
って測定開始波長までプリズム9および回折格子15を
移動する。
【0034】ステップ104 光検知器26からの出力信号を増幅器とA/D変換器に
より変換して試料光束側信号Sと参照光束側信号Rを求
める。
【0035】ステップ105 ステップ104で求めた値に基づいて補正電圧値を決定
する。
【0036】ステップ106 ステップ105で決定した補正電圧値に基づいた電圧を
光検知器26に印加する。
【0037】ステップ107 電圧値記憶デーブル301内の現在波長位置に現在の電
圧値を保存する。
【0038】ステップ108 次の測定波長に移動するように波長駆動モーターを制御
する。この場合の移動波長間隔は、次に行う試料測定に
おける波長移動の基準となるものであって、検知系の感
度変化が過大にならないように十分に短くなるように設
定することが必要である。検知系の感度変化は、光源,
光学系の効率,光検知器の感度特性等、装置の設計仕様
によって特有の振る舞いを示すために、電圧値記憶測定
の際の波長移動速度は一定範囲内でしか選択できないよ
うに、予め装置毎に制限を設けておくと良い。
【0039】ステップ109 終了波長(測定範囲)を越えたかどうかを判断し、終了
波長内であればステップ104に戻って測定を繰り返
し、終了波長外になれば次のステップ110に進む。
【0040】ステップ110 電圧値記憶測定を終了する。
【0041】次に、試料測定の処理手順について説明す
る。この処理は、試料室の試料光束側に試料が設置さ
れ、電圧値記憶テーブル301に電圧値が存在する状態
で実行する。
【0042】ステップ201 入力装置33から試料測定条件を設定入力する。記憶電
圧値使用の指示が入力されたときに、電圧値記憶テーブ
ル301に電圧値が存在しない場合は、表示器34に警
告メッセージを表示する。
【0043】ステップ202 試料測定が指示されると該測定を開始する。
【0044】ステップ203 波長駆動モーターを制御することによって測定開始波長
までプリズム9および回折格子15を移動させる。
【0045】ステップ204 図3に示すように、電圧値記憶テーブル301から現在
波長位置における電圧値を読み出し、読み出した値の電
圧を光検知器26に印加する。この場合の現在波長位置
における電圧は、予め行った電圧値記憶測定によって得
られた現在波長位置に最適な電圧値となるために、波長
移動速度を高速にしても光検知器26に適正な電圧を印
加することができ、信号の桁数落ちや出力飽和等の問題
が発生することがない。
【0046】ステップ205 光検知器26からの出力信号を増幅器,A/D変換器に
より変換して試料光束側信号S,参照光束側信号Rを求
め、更に、信号S,Rの比を求める。
【0047】ステップ206 ステップ205において求めた値を測定値記憶テーブル
302に保存する。
【0048】ステップ207 次の測定波長に移動するように波長駆動モーターを制御
する。
【0049】ステップ208 終了波長(測定範囲)を越えたかどうかを判断し、終了
波長内であればステップ204に戻って測定を繰り返
し、終了波長外になれば次のステップ209に進む。
【0050】ステップ209 試料測定を終了する。
【0051】
【発明の効果】本発明によれば、試料測定を行う前に光
検知器の感度を制御する電圧値を測定して記憶すること
により保持し、試料測定においては保持している電圧値
を使用した感度補正制御を行うようにしているので、高
速に波長を移動する測定を行った場合でも、検知系の感
度変化の影響を軽減して高い信号精度を得ることが可能
となる。これにより、精度の良いスペクトル測定を短時
間に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である紫外可視分光光度
計の機能ブロック図である。
【図2】図1に示した紫外可視分光光度計における制御
装置が自ら実行し、あるいはデータ処理部に実行させる
制御処理のフローチャートである。
【図3】図1に示した紫外可視分光光度計における電圧
値記憶テーブルと試料測定時の印加電圧値との関係を示
す図である。
【符号の説明】
1…WIランプ、2…D2ランプ、3…光源切替ミラ
ー、5…第1分光器、9…プリズム、11…第2分光
器、15…回折格子、21…回転分光ミラー、24…試
料室、26…光検知器、31…データ処理部、32…制
御装置、33…入力装置、34…表示器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 忠 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器グループ内 (72)発明者 檜山 篤 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器グループ内 Fターム(参考) 2G020 AA04 AA05 CA02 CB05 CB07 CB43 CB54 CC02 CC07 CC13 CC42 CC48 CD03 CD13 CD23 CD31 CD32 CD34 CD37 CD38 CD51 2G059 DD13 EE01 EE12 FF09 GG03 HH02 HH03 JJ05 JJ06 JJ24 KK02 MM01 MM10 MM14 PP04

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光束を発出する光源と、印加電圧を変化す
    ることにより感度が変化する光検知器と、この検知器か
    らの電気信号をディジタル信号に変換するアナログ・デ
    ィジタル変換器と、前記光束の光に対応する前記ディジ
    タル信号をそれぞれ記憶するディジタル記憶手段と、前
    記ディジタル信号の信号値が予め定められた一定範囲内
    になるように前記光検知器の感度を制御する感度制御手
    段とを備えた分光光度計において、 前記感度制御手段は、前記光検知器の感度を補正する感
    度補正値を波長毎に記憶する感度補正値記憶手段と、こ
    の感度補正値記憶手段に記憶している感度補正値を用い
    て前記光検知器の感度補正を行う感度補正手段を備えた
    ことを特徴とする分光光度計。
  2. 【請求項2】光束を発出する光源と、この光源から発出
    された光束を2本の光束に分割する光束分割手段と、印
    加電圧を変化することにより感度が変化する光検知器
    と、この検知器からの電気信号をディジタル信号に変換
    するアナログ・ディジタル変換器と、前記2本の光束の
    光に対応する前記ディジタル信号をそれぞれ記憶するデ
    ィジタル記憶手段と、前記ディジタル信号の信号値が予
    め定められた一定範囲内になるように前記光検知器の感
    度を制御する感度制御手段と、前記ディジタル記憶手段
    に記憶された2本の光束に対応するディジタル信号の比
    を計算する計算手段を備えた分光光度計において、 前記感度制御手段は、前記光検知器の感度を補正する感
    度補正値を波長毎に記憶する感度補正値記憶手段と、こ
    の感度補正値記憶手段に記憶している感度補正値を用い
    て前記光検知器の感度補正を行う感度補正手段を備えた
    ことを特徴とする分光光度計。
  3. 【請求項3】請求項1または2において、前記感度制御
    手段は、前記感度補正値記憶手段に計測波長域について
    感度補正値を記憶し、試料測定時に、前記感度補正値記
    憶手段に記憶している感度補正値を用いて光検知器の感
    度補正を行なことを特徴とする分光光度計。
  4. 【請求項4】請求項2または3において、前記感度制御
    手段は、高速で波長を移動する試料測定において、光束
    の信号が予め定められた一定範囲内になるように光検知
    器の感度を補正制御することを特徴とする分光光度計。
  5. 【請求項5】請求項2または3において、前記感度制御
    手段は、高速で波長を移動する試料測定において、2本
    の光束の信号の一方が予め定められた一定範囲内になる
    ように光検知器の感度を補正制御することを特徴とする
    分光光度計。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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