JP2002131685A - アクチュエ−タ - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
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Abstract
(57)【要約】
【課題】超小型半導体アクチュエータにおける可動部中
央部の変形量を抑制することを目的とする。 【解決手段】プレーナ型ガルバノミラー１のトーション
バー４，４で軸支される回動可能な可動部３の中央部に
ミラー５を形成し、ミラー５周囲に駆動用のコイル６を
巻回し、ミラー５とコイル６との間に、可動部端部にお
ける空気抵抗や慣性力等の影響による反り力やコイル６
で発生する熱が可動部中央部に伝達するのを抑制する境
界部１０を設けて、可動部中央部での変形を抑制する。
央部の変形量を抑制することを目的とする。 【解決手段】プレーナ型ガルバノミラー１のトーション
バー４，４で軸支される回動可能な可動部３の中央部に
ミラー５を形成し、ミラー５周囲に駆動用のコイル６を
巻回し、ミラー５とコイル６との間に、可動部端部にお
ける空気抵抗や慣性力等の影響による反り力やコイル６
で発生する熱が可動部中央部に伝達するのを抑制する境
界部１０を設けて、可動部中央部での変形を抑制する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、トーションバーで
軸支した可動部に駆動力を作用させて駆動するアクチュ
エータに関し、特に、光走査のためのミラー部を備える
アクチュエータに好適な構造のアクチュエータに関す
る。
軸支した可動部に駆動力を作用させて駆動するアクチュ
エータに関し、特に、光走査のためのミラー部を備える
アクチュエータに好適な構造のアクチュエータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体デバイスの高集積化に代
表されるマイクロエレクトロニクスの発展によって、様
々な機器が高機能化と共に小型化しており、近年では、
レーザ光のキャニングシステム等に半導体製造技術を利
用した超小型の半導体アクチュエータ等が利用されつつ
ある。
表されるマイクロエレクトロニクスの発展によって、様
々な機器が高機能化と共に小型化しており、近年では、
レーザ光のキャニングシステム等に半導体製造技術を利
用した超小型の半導体アクチュエータ等が利用されつつ
ある。
【０００３】従来、この種の超小型半導体アクチュエー
タとしては、以下のようなものがある。シリコン基板表
面に光を走査するためのミラーを備える可動部と該可動
部を軸支するビーム部を、半導体製造プロセスを利用し
てシリコン基板に一体的に成形する。これら可動部及び
ビーム部を備えたシリコン基板をガラス基板上に配置す
る。この時、可動部の中心はガラス基板の突起に接し、
ガラス基板の窪みにより可動部とガラス基板との間に一
定のギャップが存在するよう形成する。また、ガラス基
板の突起両側に、可動部を回動駆動するための一対の電
極を設ける。
タとしては、以下のようなものがある。シリコン基板表
面に光を走査するためのミラーを備える可動部と該可動
部を軸支するビーム部を、半導体製造プロセスを利用し
てシリコン基板に一体的に成形する。これら可動部及び
ビーム部を備えたシリコン基板をガラス基板上に配置す
る。この時、可動部の中心はガラス基板の突起に接し、
ガラス基板の窪みにより可動部とガラス基板との間に一
定のギャップが存在するよう形成する。また、ガラス基
板の突起両側に、可動部を回動駆動するための一対の電
極を設ける。
【０００４】かかる構成の半導体アクチュエータでは、
一方の電極と可動部との間に外部から電圧を印加するこ
とにより、可動部に静電引力が作用して可動部が傾く。
一対の電極に交互に電圧を印加することにより、可動部
が揺動駆動して可動部表面のミラーからの反射光を走査
する構成である。
一方の電極と可動部との間に外部から電圧を印加するこ
とにより、可動部に静電引力が作用して可動部が傾く。
一対の電極に交互に電圧を印加することにより、可動部
が揺動駆動して可動部表面のミラーからの反射光を走査
する構成である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種の半導体アクチュエータは、可動部が極めてを薄
いために、可動部を駆動する動作時に、空気抵抗や慣性
モーメント及び可動部端部に作用する駆動力に起因し
て、可動部端部に回動方向と逆方向或いは同方向の反り
が発生する。そして、従来では、可動部がシリコン基板
材料を単純に矩形状にくりぬいた平板形状であるため、
端部の反りの影響が可動部中央部に伝達され、可動部中
央部に反りが発生する。このため、可動部中央部にミラ
ーが存在する場合はミラー面に反りが生じ、ミラー面か
らの反射光の走査に支障をきたす。
この種の半導体アクチュエータは、可動部が極めてを薄
いために、可動部を駆動する動作時に、空気抵抗や慣性
モーメント及び可動部端部に作用する駆動力に起因し
て、可動部端部に回動方向と逆方向或いは同方向の反り
が発生する。そして、従来では、可動部がシリコン基板
材料を単純に矩形状にくりぬいた平板形状であるため、
端部の反りの影響が可動部中央部に伝達され、可動部中
央部に反りが発生する。このため、可動部中央部にミラ
ーが存在する場合はミラー面に反りが生じ、ミラー面か
らの反射光の走査に支障をきたす。
【０００６】また、通電により磁界を発生する駆動コイ
ルを可動部に設け、この駆動コイルに静磁界を作用させ
ることにより、ローレンツ力を発生させて可動部を駆動
する構造の半導体アクチュエータでは、通電により駆動
コイルに熱が発生するため、前述した反りに加えてミラ
ー材料と基板材料の熱膨張率の違いに起因するバイメタ
ル作用による反りが可動部に生じる。更に、駆動コイル
の保護及び絶縁を目的として駆動コイルをポリイミド等
の保護膜で覆うが、この保護膜の残留圧縮応力によって
も可動部に反りが発生する。
ルを可動部に設け、この駆動コイルに静磁界を作用させ
ることにより、ローレンツ力を発生させて可動部を駆動
する構造の半導体アクチュエータでは、通電により駆動
コイルに熱が発生するため、前述した反りに加えてミラ
ー材料と基板材料の熱膨張率の違いに起因するバイメタ
ル作用による反りが可動部に生じる。更に、駆動コイル
の保護及び絶縁を目的として駆動コイルをポリイミド等
の保護膜で覆うが、この保護膜の残留圧縮応力によって
も可動部に反りが発生する。
【０００７】このように、従来の半導体アクチュエータ
では、空気抵抗、慣性モーメント、熱、残留圧縮応力等
の影響により可動部中央部が変形する問題があり、特
に、可動部中央部にミラーを設けた場合に、光走査機能
に支障をきたす。本発明は上記問題点に着目してなされ
たもので、可動部中央部の変形を抑制できる構造を備え
たアクチュエータを提供することを目的とする。
では、空気抵抗、慣性モーメント、熱、残留圧縮応力等
の影響により可動部中央部が変形する問題があり、特
に、可動部中央部にミラーを設けた場合に、光走査機能
に支障をきたす。本発明は上記問題点に着目してなされ
たもので、可動部中央部の変形を抑制できる構造を備え
たアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明の請求
項１の発明は、可動部と、該可動部を回動可能に軸支す
るトーションバーとを備え、前記可動部に駆動力を作用
させて可動部を駆動する構成のアクチュエータにおい
て、前記可動部中央部と少なくとも前記トーションバー
に平行な可動部端部との間に、可動部端部から前記可動
部中央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する
境界部を設ける構成とした。
項１の発明は、可動部と、該可動部を回動可能に軸支す
るトーションバーとを備え、前記可動部に駆動力を作用
させて可動部を駆動する構成のアクチュエータにおい
て、前記可動部中央部と少なくとも前記トーションバー
に平行な可動部端部との間に、可動部端部から前記可動
部中央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する
境界部を設ける構成とした。
【０００９】かかる構成では、可動部端部と可動部中央
部との間を境界部で実質的に分離することで、可動部端
部からの変形要因が可動部中央部に伝わり難くなる。請
求項２の発明は、可動部と、該可動部を回動可能に軸支
するトーションバーとを備え、前記可動部に、光反射用
のミラー部と前記可動部に駆動力を作用させる駆動力発
生部とを設け、前記駆動力により可動部を駆動する構成
のアクチュエータにおいて、前記可動部のミラー部と駆
動力発生部との間に、前記駆動力発生部から前記ミラー
部に伝達するミラー部の変形要因を抑制する境界部を設
ける構成とした。
部との間を境界部で実質的に分離することで、可動部端
部からの変形要因が可動部中央部に伝わり難くなる。請
求項２の発明は、可動部と、該可動部を回動可能に軸支
するトーションバーとを備え、前記可動部に、光反射用
のミラー部と前記可動部に駆動力を作用させる駆動力発
生部とを設け、前記駆動力により可動部を駆動する構成
のアクチュエータにおいて、前記可動部のミラー部と駆
動力発生部との間に、前記駆動力発生部から前記ミラー
部に伝達するミラー部の変形要因を抑制する境界部を設
ける構成とした。
【００１０】かかる構成では、ミラー部と駆動力発生部
との間を境界部で実質的に分離することで、駆動力発生
部からの変形要因がミラー部に伝わり難くなる。請求項
３の発明では、前記可動部は、中央部にミラー部を有
し、前記可動部端部に駆動力発生部を有する構成とし
た。かかる構成では、可動部端部の駆動力発生部と可動
部中央部のミラー部との間を境界部で実質的に分離する
ことで、可動部端部の駆動力発生部からの変形要因が可
動部中央部のミラー部に伝わり難くなり、ミラー部の変
形を抑制できるようになる。
との間を境界部で実質的に分離することで、駆動力発生
部からの変形要因がミラー部に伝わり難くなる。請求項
３の発明では、前記可動部は、中央部にミラー部を有
し、前記可動部端部に駆動力発生部を有する構成とし
た。かかる構成では、可動部端部の駆動力発生部と可動
部中央部のミラー部との間を境界部で実質的に分離する
ことで、可動部端部の駆動力発生部からの変形要因が可
動部中央部のミラー部に伝わり難くなり、ミラー部の変
形を抑制できるようになる。
【００１１】請求項４のように、前記可動部の同一面に
前記ミラー部と駆動力発生部を設ける構成でもよく、請
求項５のように、前記可動部の表裏両面に前記駆動力発
生部を設ける構成でもよい。可動部の表裏両面に駆動力
発生部を設ければ、可動部の表裏面のどちらか一方に駆
動力発生部を設ける場合に比較して、同じ通電量ならば
可動部の回動角度を大きくでき、また、同じ回動角度な
らば通電量を少なくできるようになる。
前記ミラー部と駆動力発生部を設ける構成でもよく、請
求項５のように、前記可動部の表裏両面に前記駆動力発
生部を設ける構成でもよい。可動部の表裏両面に駆動力
発生部を設ければ、可動部の表裏面のどちらか一方に駆
動力発生部を設ける場合に比較して、同じ通電量ならば
可動部の回動角度を大きくでき、また、同じ回動角度な
らば通電量を少なくできるようになる。
【００１２】前記駆動力発生部は、請求項６のように、
前記可動部の周縁部に設けられ通電により磁界を発生す
るコイル部であり、前記可動部端部のコイル部に静磁界
を作用させて前記駆動力を発生して可動部を駆動する構
成でもよく、請求項７のように、前記可動部の周縁部に
設けられた薄膜磁石であり、該薄膜磁石に電磁吸引力を
作用させて可動部を駆動する構成でもよい。
前記可動部の周縁部に設けられ通電により磁界を発生す
るコイル部であり、前記可動部端部のコイル部に静磁界
を作用させて前記駆動力を発生して可動部を駆動する構
成でもよく、請求項７のように、前記可動部の周縁部に
設けられた薄膜磁石であり、該薄膜磁石に電磁吸引力を
作用させて可動部を駆動する構成でもよい。
【００１３】前記境界部は、請求項８のように、貫通孔
とする。この場合、請求項９のように、貫通孔を、前記
可動部端部と可動部中央部との間の可動部部分の一部を
残して前記中央部又は前記ミラー部の全周囲に設ける構
成とした。かかる構成では、可動部端部からの変形要因
が可動部中央部に伝わるの抑制する貫通孔の領域を広く
でき、しかも、可動部端部と可動部中央部との間の残し
た可動部部分を介して可動部中央部に駆動力が伝達され
て可動部中央部を回動できるようになる。
とする。この場合、請求項９のように、貫通孔を、前記
可動部端部と可動部中央部との間の可動部部分の一部を
残して前記中央部又は前記ミラー部の全周囲に設ける構
成とした。かかる構成では、可動部端部からの変形要因
が可動部中央部に伝わるの抑制する貫通孔の領域を広く
でき、しかも、可動部端部と可動部中央部との間の残し
た可動部部分を介して可動部中央部に駆動力が伝達され
て可動部中央部を回動できるようになる。
【００１４】また、請求項１０のように、前記貫通孔
に、前記可動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な
充填材を充填する構成でもよい。前記境界部は、請求項
１１のように溝でもよい。溝は、請求項１２のように前
記可動部の表面及び裏面のどちらか一方に形成してもよ
く、請求項１３のように前記可動部の表裏両面に形成し
てもよい。また、請求項１４のように、溝を、前記中央
部又は前記ミラー部の全周囲に設ける構成としてもよ
い。
に、前記可動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な
充填材を充填する構成でもよい。前記境界部は、請求項
１１のように溝でもよい。溝は、請求項１２のように前
記可動部の表面及び裏面のどちらか一方に形成してもよ
く、請求項１３のように前記可動部の表裏両面に形成し
てもよい。また、請求項１４のように、溝を、前記中央
部又は前記ミラー部の全周囲に設ける構成としてもよ
い。
【００１５】また、請求項１５のように、溝に、前記可
動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な充填材を充
填する構成でもよい。前記境界部は、請求項１６のよう
に前記可動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な充
填材で形成した。この場合、請求項１７のように、前記
充填材を前記中央部又は前記ミラー部の全周囲に設けて
もよい。
動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な充填材を充
填する構成でもよい。前記境界部は、請求項１６のよう
に前記可動部材料と異なる前記変形要因を抑制可能な充
填材で形成した。この場合、請求項１７のように、前記
充填材を前記中央部又は前記ミラー部の全周囲に設けて
もよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。尚、以下の各実施形態では、本出願
人により提案された（例えば特開平７−１７５００５号
公報及び特開平７−２１８８５７号公報等参照）半導体
製造技術を利用した半導体アクチュエータであるプレー
ナ型ガルバノミラーに本発明を適用した例で説明する。
基づいて説明する。尚、以下の各実施形態では、本出願
人により提案された（例えば特開平７−１７５００５号
公報及び特開平７−２１８８５７号公報等参照）半導体
製造技術を利用した半導体アクチュエータであるプレー
ナ型ガルバノミラーに本発明を適用した例で説明する。
【００１７】図１は、本発明に係るアクチュエータの第
１実施形態の構成図である。図１において、本実施形態
のアクチュエータとしてのプレーナ型ガルバノミラー１
は、シリコン基板２に、平板状の可動部３と該可動部３
の中心位置でシリコン基板２に対して図中矢印方向に揺
動可能に可動部３を軸支するトーションバー４とを一体
形成する。前記可動部３の表面中央部には、例えばアル
ミニウムや金等の薄膜で形成した光を反射するミラー５
を設ける。可動部３の表面周縁部には、通電により磁界
を発生する駆動力発生部となる例えば銅薄膜のコイル６
をミラー５を囲むように巻回する（図では、図の簡略化
のため１本線で示す）。コイル６の端部は、シリコン基
板１の固定部に設けた一対の電極端子７，７にそれぞれ
接続する。コイル６は、図示しないがコイルの保護や絶
縁を目的としてポリイミドからなる保護膜で覆ってあ
る。尚、本実施形態ではコイル６を可動部３のミラー５
と同一面に形成する構成としたが、ミラー５と反対の面
に形成してもよく、可動部３の両面にコイル６を形成し
てもよい。可動部３の両面に形成した場合は、可動部３
の回動角度を大きくできる。
１実施形態の構成図である。図１において、本実施形態
のアクチュエータとしてのプレーナ型ガルバノミラー１
は、シリコン基板２に、平板状の可動部３と該可動部３
の中心位置でシリコン基板２に対して図中矢印方向に揺
動可能に可動部３を軸支するトーションバー４とを一体
形成する。前記可動部３の表面中央部には、例えばアル
ミニウムや金等の薄膜で形成した光を反射するミラー５
を設ける。可動部３の表面周縁部には、通電により磁界
を発生する駆動力発生部となる例えば銅薄膜のコイル６
をミラー５を囲むように巻回する（図では、図の簡略化
のため１本線で示す）。コイル６の端部は、シリコン基
板１の固定部に設けた一対の電極端子７，７にそれぞれ
接続する。コイル６は、図示しないがコイルの保護や絶
縁を目的としてポリイミドからなる保護膜で覆ってあ
る。尚、本実施形態ではコイル６を可動部３のミラー５
と同一面に形成する構成としたが、ミラー５と反対の面
に形成してもよく、可動部３の両面にコイル６を形成し
てもよい。可動部３の両面に形成した場合は、可動部３
の回動角度を大きくできる。
【００１８】また、静磁界を発生する一対の永久磁石
８，８が、前記トーションバー４の軸方向と平行な可動
部３の対辺のコイル部分に静磁界が作用するよう配置し
て固定される。更に、本実施形態のガルバノミラー１
は、可動部３のミラー５とコイル６との間のシリコン基
板部分に、本発明の特徴である図中斜線で示す境界部１
０を設ける。境界部１０は、トーションバー４の軸方向
と平行な可動部３の端部からミラー５を設けた可動部３
の中央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する
ためのものである。
８，８が、前記トーションバー４の軸方向と平行な可動
部３の対辺のコイル部分に静磁界が作用するよう配置し
て固定される。更に、本実施形態のガルバノミラー１
は、可動部３のミラー５とコイル６との間のシリコン基
板部分に、本発明の特徴である図中斜線で示す境界部１
０を設ける。境界部１０は、トーションバー４の軸方向
と平行な可動部３の端部からミラー５を設けた可動部３
の中央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する
ためのものである。
【００１９】前記境界部１０の構造としては、図２
（Ａ）のような貫通孔でもよく、図２（Ｂ）〜（Ｄ）の
ような溝形状でもよい。溝形状の場合、図２（Ｂ）のよ
うに可動部３の表裏両面に溝を形成するようにしてもよ
く、（Ｃ）、（Ｄ）のように可動部３の表面側或いは裏
面側のいずれか一方の面に溝を形成するようにしてもよ
い。溝の断面形状も例えば図２（Ｄ）に破線で示すよう
に側壁面が垂直状でもよい。また、貫通孔や溝に、図３
（Ａ）〜（Ｄ）のようにシリコン基板１と異なる材料で
断熱性等を有するポリイミド等の充填材１０ａを充填す
るようにしてもよい。
（Ａ）のような貫通孔でもよく、図２（Ｂ）〜（Ｄ）の
ような溝形状でもよい。溝形状の場合、図２（Ｂ）のよ
うに可動部３の表裏両面に溝を形成するようにしてもよ
く、（Ｃ）、（Ｄ）のように可動部３の表面側或いは裏
面側のいずれか一方の面に溝を形成するようにしてもよ
い。溝の断面形状も例えば図２（Ｄ）に破線で示すよう
に側壁面が垂直状でもよい。また、貫通孔や溝に、図３
（Ａ）〜（Ｄ）のようにシリコン基板１と異なる材料で
断熱性等を有するポリイミド等の充填材１０ａを充填す
るようにしてもよい。
【００２０】境界部１０が貫通孔の場合は、図１に示す
ように、ミラー５を設けた可動部中央部側とコイル６を
設けた可動部周縁部側とを連結する梁１１を設け、可動
部周縁部側からの可動部駆動力が可動部中央部側に伝達
されて周縁部と中央部とが一体に回動するるように構成
する必要がある。ただし、図１のように、一対の永久磁
石８、８が配置されるトーションバー４の軸方向と平行
な可動部端部側に梁１１を設ければ、トーションバー４
の軸方向と直角な可動部対辺部分の梁１１は必ずしも設
ける必要はない。尚、前記変形要因としては可動部３が
揺動する際の空気抵抗による反り、慣性モーメントによ
る反り、通電時のコイル発熱による熱伝達、可動部３を
構成しているミラー５、シリコン基板２、保護膜（図示
せず）等の各層の熱膨張率の相違によるバイメタル作用
による反り等が考えられる。
ように、ミラー５を設けた可動部中央部側とコイル６を
設けた可動部周縁部側とを連結する梁１１を設け、可動
部周縁部側からの可動部駆動力が可動部中央部側に伝達
されて周縁部と中央部とが一体に回動するるように構成
する必要がある。ただし、図１のように、一対の永久磁
石８、８が配置されるトーションバー４の軸方向と平行
な可動部端部側に梁１１を設ければ、トーションバー４
の軸方向と直角な可動部対辺部分の梁１１は必ずしも設
ける必要はない。尚、前記変形要因としては可動部３が
揺動する際の空気抵抗による反り、慣性モーメントによ
る反り、通電時のコイル発熱による熱伝達、可動部３を
構成しているミラー５、シリコン基板２、保護膜（図示
せず）等の各層の熱膨張率の相違によるバイメタル作用
による反り等が考えられる。
【００２１】更には、境界部１０の構造として、シリコ
ン基板１と異なる材料で断熱性等を有する前述のポリイ
ミド等の充填材１０ａを、可動部３のミラー形成領域と
コイル形成領域との境界全周に充填して前記両領域を実
質的に分離するような構造でもよい。ここで、本実施形
態のプレーナ型ガルバノミラー１の動作原理について簡
単に説明する。
ン基板１と異なる材料で断熱性等を有する前述のポリイ
ミド等の充填材１０ａを、可動部３のミラー形成領域と
コイル形成領域との境界全周に充填して前記両領域を実
質的に分離するような構造でもよい。ここで、本実施形
態のプレーナ型ガルバノミラー１の動作原理について簡
単に説明する。
【００２２】可動部３の両側では、永久磁石８，８によ
って可動部３の平面に沿ってコイル６を横切るような方
向に静磁界が形成されており、この静磁界中のコイル６
に電流を流すと、コイル６の電流密度と磁束密度に応じ
て可動部３の両端に、電流・磁束密度・力に関するフレ
ミングの左手の法則に従った方向に、下記（１）式に示
す磁気力が作用して可動部３が回動する。
って可動部３の平面に沿ってコイル６を横切るような方
向に静磁界が形成されており、この静磁界中のコイル６
に電流を流すと、コイル６の電流密度と磁束密度に応じ
て可動部３の両端に、電流・磁束密度・力に関するフレ
ミングの左手の法則に従った方向に、下記（１）式に示
す磁気力が作用して可動部３が回動する。
【００２３】 Ｆ＝ｉ×Ｂ ・・・ （１） Ｆは磁気力、ｉはコイルに流れる電流、Ｂは磁束密度で
ある。一方、可動部３が回動するとトーションバー４，
４が捩じられてばね反力が発生し、前記磁気力Ｆとばね
反力が釣り合う位置まで可動部３が回動する。可動部３
の回動角はコイル６に流れる電流ｉに比例するので、コ
イル６に流す電流ｉを制御することで可動部３の回動角
を制御できる。従って、トーションバー４，４の軸に対
して垂直な面内においてミラー５に入射するレーザ光の
反射方向を自由に走査でき、ミラー５の変位角を連続的
に反復動作させてレーザ光のスキャニングを行うことが
できる。
ある。一方、可動部３が回動するとトーションバー４，
４が捩じられてばね反力が発生し、前記磁気力Ｆとばね
反力が釣り合う位置まで可動部３が回動する。可動部３
の回動角はコイル６に流れる電流ｉに比例するので、コ
イル６に流す電流ｉを制御することで可動部３の回動角
を制御できる。従って、トーションバー４，４の軸に対
して垂直な面内においてミラー５に入射するレーザ光の
反射方向を自由に走査でき、ミラー５の変位角を連続的
に反復動作させてレーザ光のスキャニングを行うことが
できる。
【００２４】このように動作するプレーナ型ガルバノミ
ラー１において、可動部中央部と可動部端部との間に、
可動部中央部の変形要因である可動部端部の反りや熱が
可動部中央部に伝達されるのを抑制する境界部１０を設
けたため、ガルバノミラー１の動作時に、空気抵抗や慣
性モーメント等に起因する可動部端部の反りが境界部１
０の存在により可動部中央部に伝達され難くなる。ま
た、通電により可動部３周縁部のコイル６，６で発生す
る熱も、境界部１０の存在により可動部中央部に伝達さ
れ難くなる。そして、境界部１０を貫通孔や溝で形成し
た場合には、可動部３の重量自体が軽くなり慣性モ−メ
ント力が小さくなり、可動部端部の反りがより一層低減
できる。境界部１０が貫通孔の場合には、可動部３の回
動時に空気が境界部１０を通って逃げ空気抵抗が小さく
なるので、更に可動部端部の反りを低減できる効果を有
する。また、可動部中央部に対するコイル保護膜の残留
応力の影響が境界部１０の存在により抑制でき、可動部
中央部自体の反りが抑制できる。
ラー１において、可動部中央部と可動部端部との間に、
可動部中央部の変形要因である可動部端部の反りや熱が
可動部中央部に伝達されるのを抑制する境界部１０を設
けたため、ガルバノミラー１の動作時に、空気抵抗や慣
性モーメント等に起因する可動部端部の反りが境界部１
０の存在により可動部中央部に伝達され難くなる。ま
た、通電により可動部３周縁部のコイル６，６で発生す
る熱も、境界部１０の存在により可動部中央部に伝達さ
れ難くなる。そして、境界部１０を貫通孔や溝で形成し
た場合には、可動部３の重量自体が軽くなり慣性モ−メ
ント力が小さくなり、可動部端部の反りがより一層低減
できる。境界部１０が貫通孔の場合には、可動部３の回
動時に空気が境界部１０を通って逃げ空気抵抗が小さく
なるので、更に可動部端部の反りを低減できる効果を有
する。また、可動部中央部に対するコイル保護膜の残留
応力の影響が境界部１０の存在により抑制でき、可動部
中央部自体の反りが抑制できる。
【００２５】以上のように、本実施形態のガルバノミラ
ー１によれば、可動部の中央部と端部との間に、貫通
孔、溝或いは充填材等で形成した境界部１０を設けたの
で、可動部端部からの影響による可動部中央部のミラー
５の反りを抑制でき、プレーナ型ガルバノミラー１の光
走査精度を向上できる。尚、境界部１０の形状は、図１
の形状に限らず、可動部端部から可動部中央部に伝達さ
れる、反り、熱，残留応力等の可動部中央部の変形要因
を抑制できるような形状であればよく、種々の形状が考
えられる。
ー１によれば、可動部の中央部と端部との間に、貫通
孔、溝或いは充填材等で形成した境界部１０を設けたの
で、可動部端部からの影響による可動部中央部のミラー
５の反りを抑制でき、プレーナ型ガルバノミラー１の光
走査精度を向上できる。尚、境界部１０の形状は、図１
の形状に限らず、可動部端部から可動部中央部に伝達さ
れる、反り、熱，残留応力等の可動部中央部の変形要因
を抑制できるような形状であればよく、種々の形状が考
えられる。
【００２６】図４及び図５に、種々の境界部１０の形状
例を示す。尚、図１の実施形態と同一要素には同一符号
を付してある。また、可動部３の中央部に設けるミラー
５は図示を省略してある。図４及び図５において、斜線
部分が境界部１０である。境界部１０を図４（Ａ）〜
（Ｃ）、（Ｅ）及び図５（Ｄ）、（Ｆ）の形状にすれ
ば、可動部３の中央部に形成するミラーを円形状或いは
楕円形状に形成できる。境界部１０を図４（Ｆ）及び図
５（Ｅ）の形状にすれば、可動部３の中央部に形成する
ミラーをひし形形状に形成できる。境界部１０が図１の
実施形態や図４（Ｄ）、（Ｇ）〜（Ｉ）及び図５（Ａ）
〜（Ｃ）の形状では、可動部３の中央部に形成するミラ
ーを正方形や長方形にできる。図５（Ｆ）を除いたその
他の図４及び図５の境界部形状は、貫通孔、溝、及び、
貫通孔や溝内に断熱性の充填材１０ａを充填する構造の
いずれも適用できる。境界部１０が貫通孔の場合には、
可動部３の端部から中央部へ駆動力を伝達するために、
可動部３の端部と中央部を連結する梁１１のような連結
部分が必要である。境界部１０が溝や充填材１０ａの場
合は、前記連結部分は必ずしも必要ではなく、例えば図
５の（Ｆ）のように可動部３の全周囲に沿って連続して
境界部１０を形成できる。尚、連続した境界部１０の形
状は図５（Ｆ）に限るものではないことは言うまでもな
い。
例を示す。尚、図１の実施形態と同一要素には同一符号
を付してある。また、可動部３の中央部に設けるミラー
５は図示を省略してある。図４及び図５において、斜線
部分が境界部１０である。境界部１０を図４（Ａ）〜
（Ｃ）、（Ｅ）及び図５（Ｄ）、（Ｆ）の形状にすれ
ば、可動部３の中央部に形成するミラーを円形状或いは
楕円形状に形成できる。境界部１０を図４（Ｆ）及び図
５（Ｅ）の形状にすれば、可動部３の中央部に形成する
ミラーをひし形形状に形成できる。境界部１０が図１の
実施形態や図４（Ｄ）、（Ｇ）〜（Ｉ）及び図５（Ａ）
〜（Ｃ）の形状では、可動部３の中央部に形成するミラ
ーを正方形や長方形にできる。図５（Ｆ）を除いたその
他の図４及び図５の境界部形状は、貫通孔、溝、及び、
貫通孔や溝内に断熱性の充填材１０ａを充填する構造の
いずれも適用できる。境界部１０が貫通孔の場合には、
可動部３の端部から中央部へ駆動力を伝達するために、
可動部３の端部と中央部を連結する梁１１のような連結
部分が必要である。境界部１０が溝や充填材１０ａの場
合は、前記連結部分は必ずしも必要ではなく、例えば図
５の（Ｆ）のように可動部３の全周囲に沿って連続して
境界部１０を形成できる。尚、連続した境界部１０の形
状は図５（Ｆ）に限るものではないことは言うまでもな
い。
【００２７】可動部３の中央部と端部との間に境界部１
０を設けた場合、中央部の反りを抑制できる効果に加え
て、図４及び図５から明らかなように、可動部３の中央
部にミラーを設ける場合に、ミラー形状を、円、楕円、
ひし形、星形等自由な形状にできる利点がある。尚、以
上説明した実施形態では、可動部３の周縁部にコイル６
を巻回し、ローレンツ力により可動部３の駆動力を得る
構成のアクチュエータに境界部１０を形成する例を示し
たが、前述の特開平７−１７５００５号公報等にも示さ
れているが、可動部３の周縁部に薄膜磁石を形成し、固
定されるシリコン基板２側のトーションバー４の軸方向
と平行な部位にコイルを巻回し、通電により発生する電
磁吸引力を駆動力として利用し可動部３を回動する構成
のアクチュエータや、静電引力を可動部の駆動力として
利用するアクチュエータにも本発明を適用できることは
言うまでもない。また、本発明の適用は、必ずしも半導
体製造技術を利用して製造した半導体アクチュエータに
限るものではなく、トーションバーで可動部を軸支して
ローレンツ力、電磁吸引力、静電引力等の電気的、磁気
的駆動力或いは機械的駆動力を用いて可動部を駆動する
構成のアクチュエータであればどのようなものでも適用
可能である。
０を設けた場合、中央部の反りを抑制できる効果に加え
て、図４及び図５から明らかなように、可動部３の中央
部にミラーを設ける場合に、ミラー形状を、円、楕円、
ひし形、星形等自由な形状にできる利点がある。尚、以
上説明した実施形態では、可動部３の周縁部にコイル６
を巻回し、ローレンツ力により可動部３の駆動力を得る
構成のアクチュエータに境界部１０を形成する例を示し
たが、前述の特開平７−１７５００５号公報等にも示さ
れているが、可動部３の周縁部に薄膜磁石を形成し、固
定されるシリコン基板２側のトーションバー４の軸方向
と平行な部位にコイルを巻回し、通電により発生する電
磁吸引力を駆動力として利用し可動部３を回動する構成
のアクチュエータや、静電引力を可動部の駆動力として
利用するアクチュエータにも本発明を適用できることは
言うまでもない。また、本発明の適用は、必ずしも半導
体製造技術を利用して製造した半導体アクチュエータに
限るものではなく、トーションバーで可動部を軸支して
ローレンツ力、電磁吸引力、静電引力等の電気的、磁気
的駆動力或いは機械的駆動力を用いて可動部を駆動する
構成のアクチュエータであればどのようなものでも適用
可能である。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、可動部端部の反りが可動部中央部へ伝達されるの
を境界部の存在により抑制できるので、可動部中央部の
変形量を抑制でき、可動部中央部を平坦に維持できるよ
うになる。請求項２の発明によれば、駆動力発生部の反
りがミラー部へ伝達されるのを境界部の存在により抑制
できるので、ミラー部の変形量を抑制でき、ミラー部を
平坦に維持できる。従って、ミラー部で反射する走査光
の方向精度を向上できる。
れば、可動部端部の反りが可動部中央部へ伝達されるの
を境界部の存在により抑制できるので、可動部中央部の
変形量を抑制でき、可動部中央部を平坦に維持できるよ
うになる。請求項２の発明によれば、駆動力発生部の反
りがミラー部へ伝達されるのを境界部の存在により抑制
できるので、ミラー部の変形量を抑制でき、ミラー部を
平坦に維持できる。従って、ミラー部で反射する走査光
の方向精度を向上できる。
【００２９】請求項３の発明によれば、可動部端部の駆
動力発生部で生じる反りが可動部中央部のミラー部へ伝
達されるのを境界部の存在により抑制できるので、ミラ
ー部の変形量を抑制でき、ミラー部を平坦に維持できる
ためミラー部で反射する走査光の方向精度を向上でき
る。請求項４のように、駆動力発生部を可動部の表裏両
面に設ければ、可動部の回動角度を大きくできる。
動力発生部で生じる反りが可動部中央部のミラー部へ伝
達されるのを境界部の存在により抑制できるので、ミラ
ー部の変形量を抑制でき、ミラー部を平坦に維持できる
ためミラー部で反射する走査光の方向精度を向上でき
る。請求項４のように、駆動力発生部を可動部の表裏両
面に設ければ、可動部の回動角度を大きくできる。
【００３０】請求項８のように、境界部を貫通孔で形成
すれば、可動部の回動動作時に境界部の貫通孔を通って
空気が流れ空気抵抗を軽減できるので、回動動作時の可
動部端部から可動部中央部へ伝達される反りの影響を軽
減できる。請求項８、１１のように境界部を貫通孔や溝
で形成すれば、可動部自体の重量を軽くでき、可動部端
部に作用する慣性力を小さくできるので、可動部端部か
ら可動部中央部へ伝達される反りの影響をより軽減でき
る。
すれば、可動部の回動動作時に境界部の貫通孔を通って
空気が流れ空気抵抗を軽減できるので、回動動作時の可
動部端部から可動部中央部へ伝達される反りの影響を軽
減できる。請求項８、１１のように境界部を貫通孔や溝
で形成すれば、可動部自体の重量を軽くでき、可動部端
部に作用する慣性力を小さくできるので、可動部端部か
ら可動部中央部へ伝達される反りの影響をより軽減でき
る。
【図１】本発明に係るアクチュエータの一実施形態を示
す要部構成図
す要部構成図
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）境界部の種々の構造例を示す断
面図
面図
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）図２と異なる境界部の種々の構
造例を示す断面図
造例を示す断面図
【図４】（Ａ）〜（Ｉ）境界部の種々の形状例を示す平
面図
面図
【図５】（Ａ）〜（Ｆ）図４と異なる境界部の種々の形
状例を示す平面図
状例を示す平面図
１ プレーナ型ガルバノミラー ２ シリコン基板 ３ 可動部 ４ トーションバー ５ ミラー ６ コイル ８ 永久磁石 １０ 境界部 １０ａ 充填材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅田 規裕 東京都千代田区丸の内３−２−３ 日本信 号株式会社内 Ｆターム(参考） 2C362 BA17 BA18 2H045 AB10 AB16 AB73 5C072 AA03 HA14
Claims (17)
- 【請求項１】可動部と、該可動部を回動可能に軸支する
トーションバーとを備え、前記可動部に駆動力を作用さ
せて可動部を駆動する構成のアクチュエータにおいて、 前記可動部中央部と少なくとも前記トーションバーに平
行な可動部端部との間に、可動部端部から前記可動部中
央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する境界
部を設ける構成としたことを特徴とするアクチュエー
タ。 - 【請求項２】可動部と、該可動部を回動可能に軸支する
トーションバーとを備え、前記可動部に、光反射用のミ
ラー部と前記可動部に駆動力を作用させる駆動力発生部
とを設け、前記駆動力により可動部を駆動する構成のア
クチュエータにおいて、 前記可動部のミラー部と駆動力発生部との間に、前記駆
動力発生部から前記ミラー部に伝達するミラー部の変形
要因を抑制する境界部を設ける構成としたことを特徴と
するアクチュエータ。 - 【請求項３】前記可動部は、中央部にミラー部を有し、
前記可動部端部に駆動力発生部を有する構成である請求
項１又は２に記載のアクチュエータ。 - 【請求項４】前記可動部の同一面に前記ミラー部と駆動
力発生部を設ける構成である請求項３に記載のアクチュ
エータ。 - 【請求項５】前記可動部の表裏両面に前記駆動力発生部
を設ける構成である請求項３に記載のアクチュエータ。 - 【請求項６】前記駆動力発生部は、前記可動部の周縁部
に設けられ通電により磁界を発生するコイル部であり、
前記可動部端部のコイル部に静磁界を作用させて前記駆
動力を発生して可動部を駆動する構成である請求項３〜
５のいずれか1つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項７】前記駆動力発生部は、前記可動部の周縁部
に設けられた薄膜磁石であり、該薄膜磁石に電磁吸引力
を作用させて可動部を駆動する構成である請求項３〜５
のいずれか1つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項８】前記境界部は、貫通孔である請求項１〜７
のいずれか１つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項９】前記貫通孔は、前記可動部端部と可動部中
央部との間の可動部部分の一部を残して前記中央部又は
前記ミラー部の全周囲に設ける構成である請求項８に記
載のアクチュエータ。 - 【請求項１０】前記貫通孔に、前記可動部材料と異なる
前記変形要因を抑制可能な充填材を充填する構成である
請求項８又は９に記載のアクチュエータ。 - 【請求項１１】前記境界部は、溝である請求項１〜７の
いずれか１つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項１２】前記溝は、前記可動部の表面及び裏面の
どちらか一方に形成する請求項１１に記載のアクチュエ
ータ。 - 【請求項１３】前記溝は、前記可動部の表裏両面に形成
する請求項１１に記載のアクチュエータ。 - 【請求項１４】前記溝は、前記中央部又は前記ミラー部
の全周囲に設ける構成である請求項１１〜１３のいずれ
か１つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項１５】前記溝に、前記可動部材料と異なる前記
変形要因を抑制可能な充填材を充填する構成である請求
項１１〜１４のいずれか１つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項１６】前記境界部は、前記可動部材料と異なる
前記変形要因を抑制可能な充填材で形成した請求項１〜
７のいずれか１つに記載のアクチュエータ。 - 【請求項１７】前記充填材は、前記中央部又は前記ミラ
ー部の全周囲に設ける請求項１６に記載のアクチュエー
タ。
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| WO (1) | WO2002035275A1 (ja) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004017119A1 (ja) * | 2002-08-14 | 2004-02-26 | Fujitsu Limited | トーションバーを備えるマイクロ揺動素子 |
| WO2004033363A1 (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Nikon Corporation | マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム |
| JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
| WO2005109076A1 (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | 静電駆動型memsミラースキャナ |
| JP2006337929A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
| JP2008058960A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 電磁気方式マイクロアクチュエータおよびその製造方法 |
| JP2008122955A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 電磁気マイクロアクチュエータ |
| KR100837399B1 (ko) | 2006-06-22 | 2008-06-12 | 삼성전자주식회사 | 2축 구동형 맴스 디바이스 |
| JP2009075587A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Samsung Electronics Co Ltd | ２軸駆動電磁気スキャナー |
| WO2009147886A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ |
| JP2011197605A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Stanley Electric Co Ltd | ２次元光スキャナ |
| US8390912B2 (en) | 2007-01-10 | 2013-03-05 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image forming device |
| WO2013046612A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| JP2013080068A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | 光走査装置 |
| JP2013092744A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Lemoptix Sa | アクチュエータ |
| JP2014123020A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
| JP2015061428A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
| JP2015087442A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087444A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087553A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光走査装置、該光走査装置を備えた画像形成装置、及び光走査装置における振動ミラー部の共振周波数の調整方法 |
| JP2015087443A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| WO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
| JP2016040633A (ja) * | 2015-12-09 | 2016-03-24 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
| CN108602664A (zh) * | 2015-09-30 | 2018-09-28 | 麦穆斯驱动有限公司 | 用于操作mems装置的结构参数的mems网格 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003010545A1 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Mikromechanisches bauelement |
| JP3919616B2 (ja) * | 2002-07-05 | 2007-05-30 | キヤノン株式会社 | マイクロ構造体及びその製造方法 |
| TWI235735B (en) * | 2004-06-18 | 2005-07-11 | Walsin Lihwa Corp | Two-axis element and manufacturing method thereof |
| CN100409064C (zh) * | 2004-07-16 | 2008-08-06 | 华新丽华股份有限公司 | 共振组件及双轴组件，制作双轴组件和微系统组件的方法 |
| JP4610447B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2011-01-12 | Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置とその製造方法及び検査方法 |
| KR100682961B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2007-02-15 | 삼성전자주식회사 | 회전형 마이크로 미러 |
| JP4285568B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2009-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
| KR100911144B1 (ko) * | 2007-03-27 | 2009-08-06 | 삼성전자주식회사 | 2축구동 전자기 액추에이터 |
| KR100973979B1 (ko) * | 2008-08-22 | 2010-08-05 | 한국과학기술원 | 전자기력을 이용한 다축 구동기 |
| US20100057337A1 (en) * | 2008-09-02 | 2010-03-04 | Tele Atlas North America, Inc. | System and method for providing digital map, routing, or navigation information with need-based routing |
| JP2013258519A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| WO2014109170A1 (ja) * | 2013-01-11 | 2014-07-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置 |
| US9670056B2 (en) * | 2014-01-31 | 2017-06-06 | Stmicroelectronics S.R.L. | Electrostatically driven MEMS device |
| JP7035305B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2022-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| CN108226936B (zh) * | 2017-11-10 | 2022-02-11 | 无锡英菲感知技术有限公司 | 一种基于微镜的时分共享窗口激光雷达系统 |
| CN108152801B (zh) * | 2017-11-10 | 2022-01-11 | 无锡英菲感知技术有限公司 | 一种动态形变可控微镜 |
| JP7467069B2 (ja) | 2019-10-23 | 2024-04-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラーデバイスの製造方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4524624A (en) | 1982-10-25 | 1985-06-25 | Peerless Nuclear Corporation | Pressure and differential pressure detectors and transmitter for use in hostile environment |
| JPS5979824U (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-30 | 横河電機株式会社 | 光偏向素子 |
| US4823506A (en) | 1987-07-02 | 1989-04-25 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Insect bait device |
| JPH0518730Y2 (ja) * | 1987-08-18 | 1993-05-18 | ||
| JPH038313A (ja) | 1989-06-06 | 1991-01-16 | Marcon Electron Co Ltd | 固体電解コンデンサの製造方法 |
| JPH038313U (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-25 | ||
| JPH0369112A (ja) | 1989-08-08 | 1991-03-25 | Fujitsu Ltd | ホットプレートオーブン |
| JP2519184Y2 (ja) * | 1989-11-10 | 1996-12-04 | オリンパス光学工業株式会社 | 薄板状光学部材の取付装置 |
| US5208880A (en) * | 1992-04-30 | 1993-05-04 | General Electric Company | Microdynamical fiber-optic switch and method of switching using same |
| JP2722314B2 (ja) | 1993-12-20 | 1998-03-04 | 日本信号株式会社 | プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法 |
| JP2657769B2 (ja) | 1994-01-31 | 1997-09-24 | 正喜 江刺 | 変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法 |
| JPH08160281A (ja) * | 1994-12-01 | 1996-06-21 | Ricoh Co Ltd | 反射板部材・反射面装置 |
| JP3425814B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2003-07-14 | 日本信号株式会社 | 電磁アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP2987750B2 (ja) * | 1995-05-26 | 1999-12-06 | 日本信号株式会社 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
| EP0774681B1 (en) * | 1995-06-05 | 2007-12-05 | Nihon Shingo Kabushiki Kaisha | Electromagnetic actuator |
| JP4414498B2 (ja) * | 1997-12-09 | 2010-02-10 | オリンパス株式会社 | 光偏向器 |
| JP2000187140A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Toshiba Corp | 画像形成装置における光学装置 |
| JP2000235152A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向器 |
-
2000
- 2000-10-25 JP JP2000325611A patent/JP3926552B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
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- 2001-10-25 EP EP01978919A patent/EP1255150B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-05-30 US US10/159,753 patent/US6774445B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7031041B2 (en) | 2002-08-14 | 2006-04-18 | Fujitsu Limited | Micro-oscillating element provided with torsion bar |
| CN1318878C (zh) * | 2002-08-14 | 2007-05-30 | 富士通株式会社 | 具有扭杆的微型摇动元件 |
| WO2004017119A1 (ja) * | 2002-08-14 | 2004-02-26 | Fujitsu Limited | トーションバーを備えるマイクロ揺動素子 |
| WO2004033363A1 (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Nikon Corporation | マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム |
| US7092593B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-08-15 | Nikon Corporation | Microactuator device and optical switching system using the same |
| CN100400411C (zh) * | 2002-10-11 | 2008-07-09 | 株式会社尼康 | 微致动器装置及使用了该装置的光开关系统 |
| JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
| WO2005109076A1 (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | 静電駆動型memsミラースキャナ |
| JP2006337929A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
| KR100837399B1 (ko) | 2006-06-22 | 2008-06-12 | 삼성전자주식회사 | 2축 구동형 맴스 디바이스 |
| JP2008058960A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 電磁気方式マイクロアクチュエータおよびその製造方法 |
| JP2008122955A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 電磁気マイクロアクチュエータ |
| US8390912B2 (en) | 2007-01-10 | 2013-03-05 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image forming device |
| US8659811B2 (en) | 2007-01-10 | 2014-02-25 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image forming device |
| JP2009075587A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Samsung Electronics Co Ltd | ２軸駆動電磁気スキャナー |
| WO2009147886A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ |
| JP2011197605A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Stanley Electric Co Ltd | ２次元光スキャナ |
| CN103827725A (zh) * | 2011-09-30 | 2014-05-28 | 松下电器产业株式会社 | 光学反射元件 |
| US9091856B2 (en) | 2011-09-30 | 2015-07-28 | Panasonic Intellctual Property Management Co., Ltd. | Optical reflecting element |
| WO2013046612A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| JPWO2013046612A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-03-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光学反射素子 |
| CN103827725B (zh) * | 2011-09-30 | 2016-03-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学反射元件 |
| JP2013080068A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | 光走査装置 |
| JP2013092744A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Lemoptix Sa | アクチュエータ |
| JP2014123020A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
| JP2015061428A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
| JP2015087442A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087443A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087444A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087553A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光走査装置、該光走査装置を備えた画像形成装置、及び光走査装置における振動ミラー部の共振周波数の調整方法 |
| JPWO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-04-13 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
| WO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
| CN108602664A (zh) * | 2015-09-30 | 2018-09-28 | 麦穆斯驱动有限公司 | 用于操作mems装置的结构参数的mems网格 |
| JP2018531158A (ja) * | 2015-09-30 | 2018-10-25 | メムズ ドライブ, インク.Mems Drive, Inc. | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP7166917B2 (ja) | 2015-09-30 | 2022-11-08 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| CN108602664B (zh) * | 2015-09-30 | 2022-11-11 | 麦斯卓有限公司 | 一种在mems装置中形成多个布线层的方法 |
| JP2023002750A (ja) * | 2015-09-30 | 2023-01-10 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
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| JP2023017817A (ja) * | 2015-09-30 | 2023-02-07 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
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| JP2016040633A (ja) * | 2015-12-09 | 2016-03-24 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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