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JP2002122808A - 投射型表示装置 - Google Patents

投射型表示装置

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Publication number
JP2002122808A
JP2002122808A JP2000318137A JP2000318137A JP2002122808A JP 2002122808 A JP2002122808 A JP 2002122808A JP 2000318137 A JP2000318137 A JP 2000318137A JP 2000318137 A JP2000318137 A JP 2000318137A JP 2002122808 A JP2002122808 A JP 2002122808A
Authority
JP
Japan
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light
mirror
pixel
color
projection
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000318137A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Kurematsu
榑松  克巳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2000318137A priority Critical patent/JP2002122808A/ja
Priority to US09/982,469 priority patent/US6650460B2/en
Publication of JP2002122808A publication Critical patent/JP2002122808A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00Details of colour television systems
    • H04N9/12Picture reproducers
    • H04N9/31Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3102Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
    • H04N9/3105Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying all colours simultaneously, e.g. by using two or more electronic spatial light modulators
    • H04N9/3108Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying all colours simultaneously, e.g. by using two or more electronic spatial light modulators by using a single electronic spatial light modulator
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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    • G02B26/0858Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
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    • H04N9/3141Constructional details thereof
    • H04N9/315Modulator illumination systems
    • H04N9/3161Modulator illumination systems using laser light sources

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単板式投射型表示装置において可動部のない
静寂かつ信頼性の高い構成の高画質フルカラー投射型表
示装置を提供する。 【解決手段】 光の反射の状態を制御することにより画
像を表示する光変調デバイス3と、該光変調デバイスに
対してR、G、Bの各色の光を照射する照明装置1R、1G、1
Bと、該光変調デバイス3に照射された光の反射光を投
影する投影光学系4とを備え、該光変調デバイスで形成
される画像を投射表示する投射型表示装置において、該
光変調デバイスとしては各画素を形成するミラーの傾斜
量を制御することにより光変調を行うタイプのミラーア
レイデバイスを用い、異なる方向からR、G、Bの各色光
にて該ミラーアレイデバイスを照明し、その反射光の少
なくとも1部を投影光学系4に導き、この少なくとも1
部の光を投影光学系4を介してスクリーン等に入射させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は投射型表示装置に関
し、より詳細にはミラーアレイデバイスを光変調手段と
して使用し、フルカラーの画像をスクリーン等の表示面
に具現する投射型表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】マルチメディア時代の到来により、あら
ゆる場面で画像表示装置が用いられている。一般に、光
を変調して画像を形成する表示装置は2種類に大別され
る。その1種類は直視型画像表示装置であって直視型C
RT(Cathode Ray Tube)、直視型LCDなどがあり、
他の1種類は投射型表示装置であってLCD(LiquidCr
ystal Display)や、またはDMD(Deformable Mir
ror Device)、AMA(Actuated Mirror Array;
AMA)などのミラーデバイスがある。この投射型表示
装置の応用例としては、大画面化が容易なため、プレゼ
ンテーション用途等にフロントプロジェクタが、家庭シ
アター用途等にリアプロジェクタが普及してきている。
このような、液晶パネルやミラーデバイスを利用した投
射型表示装置は、光源からの光で光変調デバイスとして
の液晶パネルやミラーデバイスを照明し、その透過光あ
るいは反射光を投影光学系を通してスクリーン等に入射
させ画像形成するものである。
【0003】ところで、前記直視型CRT装置は画像の
質は優れるが、画面の大型化により装置の重量と容積が
増加し、その製造コストが上昇するという問題点があ
る。これに比べて、投射型液晶表示装置は光学的な構造
が簡単であって比較的薄く形成することができ、その重
量及び容積を減らせるという利点がある。しかしなが
ら、前記LCDは、通常、直線変更を利用するので、光
の用効率が1〜5%程度しかないという問題点があっ
た。又、液晶分子は応答速度が遅く、液晶層が加熱しや
すいという問題点もある。
【0004】従って、前記問題点を解決するために、D
MDまたはAMAなどのミラーデバイスを用いた投射型
表示装置が開発された。現在、このような投射型表示装
置は5%〜10%程度の光利用効率を得ることができ
る。また、光変調が、入射される光の偏光具合に影響さ
れないだけでなく反射される光の偏光性にも影響を及ぼ
さない。
【0005】このミラーデバイスのうちAMAは、大き
くバルク形と薄膜形がある。前記バルク形のAMAはDa
e-Young Limによる米国特許第5,469,302号に
開示されている。バルク形AMAは多層セラミックを薄
く切断して内部に金属電極が形成されたセラミックウェ
ーハをトランジスタが内蔵されたアクティブマトリック
ス(active matrix)上に装着した後、ソーイング(sawi
ng)方法で加工し、その上部にミラーを設けたものであ
る。
【0006】一方、前記薄膜型AMAは、米国特許第
5,815,305号に開示されている。図4を参照す
ると、前記薄膜型AMAは、アクティブマトリックス3
1、該アクティブマトリックス31の上部に形成された
アクチュエータ33、及び前記アクチュエータ33の上
部に形成されたミラー35を有する。
【0007】前記アクティブマトリックス31は基板3
7、基板37の上部に形成されたM×N(M,Nは正の
整数)個のトランジスタ(図示せず)、及びそれぞれの
トランジスタの上部に形成されたM×N個の接続端子3
9を有する。
【0008】前記アクチュエータ33はアクティブマト
リックス31の上部に前記接続端子39を有して形成さ
れた支持部41、一方の側の下端が支持部41に取り付
けられ、他方の側がアクティブマトリックス31と平行
に形成された第1電極43、前記支持部41の内部に前
記接続端子39と前記第1電極43を連結するように形
成された配線又は伝導管49、第1電極43の上部に形
成された変形層45、変形層45の上部に形成された第
2電極47、第2電極47の一方の側の上部に形成され
たスペーシング(spacing)部材51、及びスペーシン
グ部材51に一方の側の下端が取り付けられ他方の側が
第2電極47と平行に形成された支持層53を有する。
この第2電極47は図示しない配線によってアクティブマ
トリクス31に接続されている。そして、ミラー35は
支持層53の上部に形成される。
【0009】そして、このアクティブマトリックス31
を通じて各画素の第1電極43に画像信号に応じた所定
の電気信号(電圧)を印加することにより、各画素アク
チュエーター33が所定角度傾斜し、これに伴って各画
素ミラー35も傾斜するものである。
【0010】この様子を図3に示した。ここで画素ミラ
ー35は矢印Aに示されるように、第1電極43に印加
される電圧により所定量傾斜し、この傾斜量に応じてミ
ラー35に入射する光束Lの反射光は矢印Bで示される
ようにその反射方向を変化させる。
【0011】また、このような薄膜型AMAは半導体製
造工程を利用して製造されるため、ミラーアレーの質も
完全になり、普通の室内照明条件下でディジタル画像を
高輝度と高コントラストにディスプレイするに充分な光
をスクリーン上に伝送することが可能になっている。薄
膜型AMAは、換言すれば、顕微鏡的なミラーと関連し
て薄膜圧電アクチュエータを利用する反射型の光モジュ
レータであり、高コントラストを提供するための充分な
傾斜角度及び高輝度を提供するための充分な光利用効率
を得るように開発されてきた。また、単一パターンから
なるミラーの300,000個以上の画素にかけて大規
模集積の均等度を有するようにも開発されてきた。
【0012】次に、このような薄膜型AMA及び前述の
DMD等のミラーデバイスを用いて投射型表示装置を構
成することについては、その代表的な構成は例えば特開
平8−21977号公報に開示されている。つまり、白
色照明光を回転カラーフィルターにて時分割的に色分解
し、これの各色光を該ミラーデバイスに照明し、その反
射光を各画素ミラーの傾斜駆動に従って、投影レンズ開
口内に導いたり、またはそこから外したりして、所定の
フルカラー投射画像を得るというものである。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
8−21977号公報に示されるような従来構成例で
は、フルカラー画像を投影するに際して、照明系が、色
分解のために、少なくとも回転フィルタ、回転フィルタ
ー駆動モーター、回転同期信号処理系から構成され、構
造が複雑であると共に、回転フィルターという〜100
00rpmレベルの高速回転駆動部があるので、振動騒
音と信頼性の面で問題を有していた。
【0014】そこで、本発明は、静寂かつ信頼性の高い
構成の高画質フルカラー投射型表示装置を提供すること
を課題としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、複数の傾斜可能な画素ミラーによって光変
調を行うミラーアレイデバイスと、前記ミラーデバイス
を異なる方向から互いに色が異なる複数の光にて照明す
る照明手段と、前記照明手段で照明された前記ミラーデ
バイスからの反射光を投影する投影手段とを備える。
【0016】ここに、前記投影手段は絞り手段を有し、
前記画素ミラーが傾斜していないときは、前記反射光の
実質的にすべてを遮蔽する。
【0017】又、前記投影手段は、絞り手段を有し、前
記画素ミラーが最も傾斜したときは前記反射光の実質的
にすべてを遮蔽する。
【0018】又、前記画素ミラーの傾斜角を変えること
により、色を切り替える。
【0019】又、前記画素ミラーの傾斜角を変えること
により、各色での階調表示を行う。
【0020】又、前記画素ミラーを所定角度に傾斜させ
て、黒表示を行う。
【0021】又、前記画素ミラーからの各色光を時間混
色して1画素分のカラー表示を行う。
【0022】又、隣り合う複数の前記画素ミラーからの
各色光を混色して1画素分のカラー表示を行う。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。
【0024】本発明の投射型表示装置は、図1に示すよ
うに、薄膜型圧電アクチュエーターにより各画素ごとに
光の反射の方向を制御することにより画像を表示する薄
膜型AMA3と、AMA3に対して3原色の光を照射す
る各単色照明装置1R、1G、1Bと、AMA3に照射
されたR(赤)、G(緑)、B(青)の各色の光の反射光を投
影する投影光学系4と、を備えており、この投射光を不
図示のスクリーンに投影することによって画像を表示す
るように構成している。
【0025】ミラーデバイスの各画素の圧電アクチュエ
ーター(画素ミラーアクチュエーター)には所定のタイ
ミングでテレビ信号、ビデオ信号等が印加される。これ
に応じてAMA内の各画素ミラーは所定量の傾斜動作を
逐次行う。
【0026】図6にはこの画素ミラーアクチュエーター
に印加する駆動電圧とその際に生じる画素ミラーの傾斜
角との関係を示している。これから判るように、アクチ
ュエーターに駆動電圧を印加しないデフォルト状態では
画素ミラーの傾斜はなく傾斜角はゼロであるが、負電圧
を加えた場合には正電圧を加えた場合とは逆方向に画素
ミラーが傾く特性を有している。
【0027】また、投影光学系4の入り口開口、言いか
えると絞りあるいは相当する部材の開口において、各画
素からの反射光束がその開口に入るか入らないかで投影
画像のON/OFFが決まり、さらに該光束が該開口に
より部分的に捕捉される場合は、その捕捉割合で画像の
階調表示が決まる。
【0028】また、3原色の各単色照明装置1R、1
G、1Bについては単色レーザーとビームエキスパンダ
ーにて構成され、この3つの装置の光軸は互いに非平行
である。出射光束は所定量広がっている。
【0029】まず、3原色の各単色照明装置1R、1
G、1BからR、G、B各原色の色光が広がり光束とし
て出射されコリメーターレンズ20にて集光作用を受け
た後、凹面ミラー21に至る。このミラー21にて集光
反射され、AMA3を照明する。この際R、G、B各色
光は図示のごとく互いに異なる入射角度にてAMA3を
照明する。AMA3内の各画素ミラーが傾斜しないデフ
ォルト状態ではAMA3からの反射光は図示のごとく反
射され、光学系4の入り口開口に至る際には、各R、
G、Bの各色の光束が互いに分離した状態になる。凹面
ミラーによる各光束の集光点は、入り口開口の前であっ
ても、後ろであってもよいが、各色の階調を行うために
は、入り口開口からある程度離れていて、入り口開口付
近で光束が所定の大きさになるように設定する。
【0030】各画素ミラーが傾斜動作(傾斜方向は図中
のRGB光束分離方向に一致)をすると、そのミラー傾
斜角度と該入り口開口通過後の投射光学系4からの出射
光束の量つまり投影画像の明るさとの関係は図5に示す
ような関係になる。つまり、該ミラーの傾斜角度がマイ
ナス方向(画素ミラーアクチュエーターへ負電圧印加
時)からプラス方向(画素ミラーアクチュエーターへ正
電圧印加時)へ変化するに従い、R光が徐々に出射し、
次にG光に切り替わり、さらにB光になり、最大傾斜で
全ての光束が該開口から外れて、光束が全く出射しない
状態(黒表示)になるという特性が得られる。なお、電
圧を印加しない傾斜角度0°で光束が全く出射しない状
態(黒表示)となることも可能である。
【0031】このような5図の特性、特に図中Sで示し
た画素ミラー傾斜角と投影明るさとの勾配関係を利用す
れば各色での階調表示が可能である。
【0032】又、画素ミラー傾斜角と画素ミラー駆動電
圧との間には図6で示される比例関係がある。そこでこ
れら2つの関係から画素ミラー駆動電圧と投影明るさと
の関係は図7に示す関係になる。
【0033】したがって、本実施形態によれば、各画素
ミラーへの駆動電圧のコントロールのみで色切り替えと
各色光での階調表示が可能となる。つまり、7図中勾配
Sr(駆動電圧‐Vr1〜‐Vr2)を用いてR画像の階調表示
を、勾配Sg(駆動電圧‐Vr2〜0)を用いてG画像の階調
表示を、勾配Sb(駆動電圧Vb1〜Vb2)を用いてB画像の
階調表示を行い、さらに駆動電圧Vbkにて黒表示を行な
うのである。
【0034】このような本実施形態においては、例え
ば、RGBRGB…の面順次で原色画像フレーム表示を行なう
ことにより、時間混色によりフルカラー表示を行なって
も良いし、モザイク的に画素ごと表示色を決めておい
て、空間混色にてフルカラー表示を行なっても良い。前
者の場合には高速駆動にて単位時間当たりのフレーム数
を通常の3倍以上にするが、AMA本来の解像度にて表
示できるメリットがある。一方、後者の場合には、駆動
速度については通常と同じで構わない。また、本実施形
態においてはハード的には1つの本構成のままで、AM
A各画素への駆動信号(電圧)を変えるのみで、このよ
うな異なる混色モードでのカラー再現(表示)、または
それらの切り替えを容易に行なうことができる。
【0035】また、本実施形態によれば、各画素ミラー
の傾斜角を図5中のθr°、0°、θb°、θbk°の4つ
にのみ絞り、これらに対応した4つの駆動電圧でのみ各
画素ミラーを駆動することで黒表示を含む色切り替えの
みに画素ミラー傾斜駆動を用い、階調表示はフレーム周
波数を前2例の場合のさらに再現(表示)階調数倍とす
る高速駆動により、単位時間あたりの表示回数にて時間
平均的に階調を再現する(デジタル時間階調)ことに
て、フルカラー表示を達成することも可能となる。
【0036】このように本形態によれば、1枚のAMA
を用い、回転カラーフィルター等の可動部なしで、フル
カラー画像の投影表示をすることが可能となり、可動部
がないため、静粛かつ高信頼性であるとともに所謂単板
式のシンプルな構成の投射表示装置を構成することがで
きるようになる。
【0037】図2には本発明の他の実施形態を示す。1
0はビームエキスパンダーと白色レーザー(He-Cdレー
ザー)から成る白色照明装置であり、22はコリメータ
ーレンズ、23B、23G,23RはそれぞれB光反射
&Y(イエロー)光透過ダイックロイックフィルター、
G光反射&R光透過ダイックロイックフィルター、R光
反射ダイックロイックフィルターである。これら所定角
度に設定された各ダイクロイックミラーからの反射色光
はAMA3をそれぞれ異なる角度から照明する。
【0038】つぎに、AMA3からの反射光はその前面
に位置するフィールドレンズ24の集光作用も受けるた
め、該反射光が投射光学系4の入り口開口に達する際に
は、前述した形態と全く同様に各R、G、Bの各色の光
束が分離した状態になる。したがって、原理的にも前形
態例と全く同様の作用にてフルカラー表示を行なうこと
が可能となる。
【0039】また、本例は光源としては白色レーザー1
つのみで構成されるため、白色レーザーの性能にもよる
が、前例同様の単板式フルカラー投射型表示装置を構成
するにあたって、よりシンプルな構成とすることができ
る。
【0040】又、ダイクロイックミラー23R、23G、23B
に替えて公知の反射型階段格子を用いてもよい。反射型
階段格子を用いれば、各色光を異なる方向に回折させ、
各色光の分離度も良好である。又、反射型階段格子はダ
イクロイックミラーよりも小型である。
【0041】以上説明した実施形態に関して、以下の変
形例や応用例がある。
【0042】(1) 光源としてレーザーの変わりにラ
ンプを用いる。
【0043】(2) ミラーデバイスとして薄膜型AMA
の変わりにバルクAMAやDMDを用いる。
【0044】(3) 光学素子として凹面鏡の変わりに
凸レンズを用いる。
【0045】(4) 背面投射型又は前面投射型のプロ
ジェクターとする。
【0046】
【発明の効果】以上説明した本発明によると、静寂かつ
高信頼性を有する投射型表示装置を提供することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る投射型表示装置の
システム構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例に係る投射型表示装置の
システム構成図である。
【図3】AMAにおける反射光反射角度変調動作原理説
明断面図。
【図4】薄膜型AMAの断面構成図。
【図5】AMA画素ミラーの傾斜角と投影明るさとの相
関特性図。
【図6】AMA画素ミラーの画素駆動電圧と画素ミラー
傾斜角との相関特性図。
【図7】AMA画素ミラーの画素駆動電圧と投影明るさ
との相関特性図。
【符号の説明】
1R、1G、1B 原色照明装置 10 白色照明装置 20、22 コリメーターレンズ 21 凹面鏡 23R、23G、23B ダイクロイックミラー 24 フィールドレンズ 3 薄膜型AMA、 33 アクチュエーター 35 画素ミラー 4 投影光学系

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の傾斜可能な画素ミラーによって光
    変調を行うミラーアレイデバイスと、前記ミラーデバイ
    スを異なる方向から互いに色が異なる複数の光にて照明
    する照明手段と、前記照明手段で照明された前記ミラー
    デバイスからの反射光を投影する投影手段とを備えるこ
    とを特徴とする投射型表示装置。
  2. 【請求項2】 前記投影手段は絞り手段を有し、前記画
    素ミラーが傾斜していないときは、前記反射光の実質的
    にすべてを遮蔽することを特徴とする請求項1記載の投
    射型表示装置。
  3. 【請求項3】 前記投影手段は、絞り手段を有し、前記
    画素ミラーが最も傾斜したときは前記反射光の実質的に
    すべてを遮蔽することを特徴とする請求項1記載の投射
    型表示装置。
  4. 【請求項4】 前記画素ミラーの傾斜角を変えることに
    より、色を切り替えることを特徴とする請求項1記載の
    投射型表示装置。
  5. 【請求項5】 前記画素ミラーの傾斜角を変えることに
    より、各色での階調表示を行うことを特徴とする請求項
    4記載の投射型表示装置。
  6. 【請求項6】 前記画素ミラーを所定角度に傾斜させ
    て、黒表示を行うことを特徴とする請求項4記載の投射
    型表示装置。
  7. 【請求項7】 前記画素ミラーからの各色光を時間混色
    して1画素分のカラー表示を行うことを特徴とする請求
    項1乃至6のいずれか一つに記載された投射型表示装
    置。
  8. 【請求項8】 隣り合う複数の前記画素ミラーからの各
    色光を混色して1画素分のカラー表示を行うことを特徴
    とする請求項1乃至6のいずれか一つに記載された投射
    型表示装置。
JP2000318137A 2000-10-18 2000-10-18 投射型表示装置 Pending JP2002122808A (ja)

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JP2000318137A JP2002122808A (ja) 2000-10-18 2000-10-18 投射型表示装置
US09/982,469 US6650460B2 (en) 2000-10-18 2001-10-18 Projection type display apparatus

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