JP2002117588A

JP2002117588A - 光ディスク及びスタンパ

Info

Publication number: JP2002117588A
Application number: JP2000304513A
Authority: JP
Inventors: Madoka Nishiyama; 円西山; Seiji Morita; 成二森田; Hiroshi Konishi; 浩小西
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-10-04
Filing date: 2000-10-04
Publication date: 2002-04-19

Abstract

(57)【要約】【課題】表面にクラウド（曇り）が発生したり、光デ
ィスクの形状が悪化したりすることがなく成形性の良い
光ディスクを提供する。【解決手段】基板の凹部がグルーブ、凸部がランドと
なっており、その間は傾斜部となっている。ランドとグ
ルーブの高さの差をｄとし、グルーブを中心してディス
クの内側（中心側）の傾斜部の角度をα、ディスクの外
側の傾斜部の角度をβ、グルーブの平坦部の幅をＷｇと
する。αとβの値が異なるようにすることにより、記録
特性・再生特性を良好に保ったまま、傾斜が緩やかな方
の角度を、両側の傾斜部の角度が同一である従来の光デ
ィスクに対して緩やかにすることができる。よって、剥
離性が向上するので、従来よりも低い成形温度で成形を
行うことができる。その結果、成形性が向上し、クラウ
ドや形状不良の無い光ディスクとすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク及びそ
れを製造するためのスタンパに関するものである。本明
細書において光ディスクとは、ＣＤ−ＡＵＤＩＯ、ＣＤ
−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤディスク、光
磁気ディスク等、情報の記録又は読み出しに光を使用し
ているディスクをいう。

【０００２】

【従来の技術】最近、従来広く用いられてきた記録媒体
であるＣＤ−ＡＵＤＩＯ、ＣＤ−ＲＯＭ、光磁気ディス
ク等に加えて、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤディスク
等が大容量の記録メディアとして開発され、情報記録
用、オーディオ用、ビデオ用記録装置として、普及しつ
つある。これらの情報記録ディスクについては、ＩＳＯ
やＦＯＲＵＭにより規格化されており、特にＣＤ−Ｒに
ついてはオレンジブックと称する規格集により、そのデ
ィスクの再生特性、記録後の再生特性等の仕様が細かく
規定されている。

【０００３】これらの光ディスクには、情報を記録した
り、光ビームを導くためにグルーブと呼ばれる平坦な凹
部とランドと呼ばれる平坦な凸部が螺旋状に交互に形成
されており、グルーブとランドの間には所定の角度を有
する傾斜部が設けられている。

【０００４】一般的にこれらの光ディスクは、スタンパ
を形成し、ポリカーボネート基板にこのスタンパを押し
付け、スタンパに形成されたパターンをポリカーボネー
ト基板に転写し、その後に種々の後処理を行うことによ
って形成される。

【０００５】例えば、ＣＤ−Ｒディスクは、スタンパを
成形して、ポリカーボネート基板を複製し、記録膜に色
素を塗布し、反射膜を成膜して作成する。光ディスクの
サイズは、120mm、80mm、Card Typeなど様々ある。

【０００６】光ディスクの特性は、スタンパの溝形状、
成形ディスクの溝の形状、色素（Dye）などに大きく依
存する。特にスタンパの溝形状、成形性（転写率・複屈
折・反り）、色素（Dye）のマッチングにより、多くの
光ディスクの再生特性が決まる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ディスクにおいては、スタンパから光ディスクを形成
するときに、パターンの転写性を上げるために成形温度
を上げる必要があった。そして、このことに起因して、
スタンパと光ディスクとの剥離性が悪くなり、製造され
た光ディスクの表面にクラウド（曇り）が発生したり、
光ディスクの形状が悪化したりするという問題点があっ
た。

【０００８】従来、ＣＤ−Ｒが開発されたころは、シア
ニン系の色素が多く使用されていた。シアニン系の色素
を用いたＣＤ−Ｒの代表的な溝形状は、深さ200〜210nm
程度、グルーブ幅340〜390nm程度、溝角度55〜65°、ト
ラックピッチ1.5〜1.7μｍ程度であった。

【０００９】また、その後フタロシアニン系の色素も使
用されて、ＣＤ−Ｒの代表的な溝形状は、深さ220〜230
nm程度、グルーブ幅430〜490nm程度、溝角度55〜70°、
トラックピッチ1.5〜1.7μｍ程度となった。

【００１０】上記２つを比較すると、シアニン系色素を
用いた場合には浅くて狭いスタンパの溝形状が、フタロ
シアニン系色素を用いた場合には深くて広いスタンパの
溝形状が適当であることがわかる。上記の色素とスタン
パ溝形状の組み合わせでのＣＤ−Ｒの再生特性は良好な
結果が得られていた。

【００１１】最近になって、ＣＤ−Ｒの色素にCiba社製
IRGAPHOR Supergreen（商標）が使用されることが増え
てきている。ところが、この色素を使用して、上記２種
類のスタンパ溝形状のものでＣＤ−Ｒを作製すると、再
生特性がオレンジブックの規格に入らなくなってしま
う。

【００１２】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、光ディスクを製造するときに、表面にクラウド
（曇り）が発生したり、光ディスクの形状が悪化したり
することがなく成形性の良い光ディスク及びスタンパを
提供することを第１の課題とし、色素にCiba社製IRGAPH
OR Supergreen（商標）を使用した場合にもオレンジブ
ックの規格を満足する形状を有するＣＤ−Ｒ及びそれを
製造するためのスタンパを提供することを第２の課題と
する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第１の手段は、グルーブとランドとの間の傾斜部の角
度が、グルーブの外側と内側とで異なっていることを特
徴とする光ディスク（請求項１）である。

【００１４】本手段においては、グルーブとランドとの
間の傾斜部の角度を、グルーブの外側と内側で異ならせ
ることにより、記録特性・再生特性を良好に保ったま
ま、傾斜が緩やかな方の角度を、両側の傾斜部の角度が
同一である従来の光ディスクに対して緩やかにすること
ができる。よって、剥離性が向上するので、従来よりも
低い成形温度で成形を行うことができる。その結果、成
形性が向上し、クラウドや形状不良の無い光ディスクと
することができる。なお、本明細書においてディスクの
「傾斜部の角度」というのは、図２に示すように、ディ
スク面に平行な面と傾斜部とのなす角をいい、ディスク
の「内側」とは、円板状の基板の内側方向、「外側」と
は円板状の基板の外側方向をいう。ディスクにおける
「溝深さ」とは、ランドとグルーブの高さの差をいう。

【００１５】前記課題を解決するための第２の手段は、
グルーブ、ランドの少なくとも一方の両端部の角部の形
状が、基板の上に塗布されたレジストのみを現像し、形
成されたパターンから型取りして形成されたスタンパを
用いて製造された光ディスクにおける、前記角部の形状
に比して、滑らかであることを特徴とする光ディスク
（請求項２）である。

【００１６】本手段においては、グルーブ、ランドのう
ち少なくとも一方の両端部の角部の形状が従来の光ディ
スクに比して滑らかになっているので、剥離性が向上
し、従来よりも低い成形温度で成形を行うことができ
る。その結果、成形性が向上し、形状不良の無い光ディ
スクとすることができる。また、光ディスクのランドの
角部に出っ張りが出にくくなるので、クラウドを低減さ
せることができる。

【００１７】前記課題を解決するための第３の手段は、
前記第１の手段が有する特徴と、前記第２の手段が有す
る特徴を合わせて有することを特徴とする光ディスク
（請求項３）である。

【００１８】本手段においては、傾斜面が緩やかになる
と共に、角部が滑らかになっているので、その相乗効果
により、さらに剥離性が向上し、従来よりも低い成形温
度で成形を行うことができる。その結果、成形性がさら
に向上し、クラウドや形状不良の無い光ディスクとする
ことができる。

【００１９】前記課題を解決するための第４の手段は、
色素にCiba社製IRGAPHOR Supergreen（商標）を使用し
たＣＤ−Ｒディスクであって、ディスクの溝形状が、溝
深さ180〜195nm、グルーブ幅480〜580nm、溝角度55〜75
°とされていることを特徴とする光ディスク（請求項
４）である。

【００２０】本発明者らは、色素にCiba社製IRGAPHOR S
upergreen（商標）を使用したＣＤ−Ｒディスクにおい
て、オレンジブックの規格を満たすために必要な溝形状
について、鋭意研究を行った。その結果、後に実施例に
おいて詳しく示すように、ディスクの溝形状が上記範囲
に入る場合に、オレンジブックの規格が満たされること
を見出した。よって、本手段においては、溝形状の寸法
を前記範囲に限定する。なお、「ディスクの溝形状」と
は、グルーブとランドによって形成される溝形状をいう
ことは言うまでもない。

【００２１】なお、Ciba社製IRGAPHOR Supergreen（商
標）の詳細仕様については、同社が1999年６月に発行し
た「Product Dossier for SUPERGREEN」と称する取扱説
明書に記載されている。

【００２２】前記課題を解決するための第５の手段は、
前記第４の手段であって、前記第１の手段、前記第２の
手段の光ディスクが有する特徴の少なくとも一方を合わ
せて有することを特徴とするもの（請求項５）である。

【００２３】発明者らの実験の結果によれば、前記第４
の手段に、前記第１の手段、前記第２の手段の光ディス
クが有する特徴の少なくとも一方を合わせて持たせるこ
とにより、ＣＤ−Ｒの成形性が向上することはもちろん
であるが、オレンジブックに規定される規格値そのもの
も向上することが分かった。

【００２４】前記課題を解決するための第６の手段は、
光ディスクを製造するために用いられるスタンパであっ
て、凸部の両端の傾斜角度が、凸部の内側と外側とで異
なっていることを特徴とするスタンパ（請求項６）であ
る。

【００２５】本明細書においてスタンパの「傾斜部の角
度」というのは、図３に示すように、スタンパ面に平行
な面と傾斜部とのなす角をいい、スタンパの「内側」と
は、円板状の基板の内側方向、「外側」とは円板状の基
板の外側方向をいう。スタンパにおける「溝深さ」と
は、凸部の凹部の高さの差をいう。

【００２６】前記課題を解決するための第７の手段は、
光ディスクを製造するために用いられるスタンパであっ
て、凸部、凹部の少なくとも一方の両端の両端部の角部
の形状が、基板の上に塗布されたレジストのみを現像
し、形成されたパターンから型取りして形成されたスタ
ンパの、前記角部に対応する角部の形状に比して、滑ら
かであることを特徴とするスタンパ（請求項７）であ
る。

【００２７】前記課題を解決するための第８の手段は、
前記第６の手段のスタンパが有する特徴と、前記第７の
手段のスタンパが有する特徴とを、合わせて有すること
を特徴とするスタンパ（請求項８）である。

【００２８】前記課題を解決するための第９の手段は、
光ディスクを製造するために用いられるスタンパであっ
て、溝形状が、溝深さ180〜195nm、凸部の幅480〜580n
m、溝角度55〜75°とされていることを特徴とするスタ
ンパ（請求項９）である。

【００２９】前記課題を解決するための第１０の手段
は、前記第９の手段であって、前記第６の手段と第７の
手段のスタンパが有する特徴の少なくとも一方を合わせ
て有することを特徴とするもの（請求項１０）である。

【００３０】これら、第６の手段から第１０の手段に係
るスタンパは、それぞれ、前記第１の手段から第５の手
段に係るスタンパを製造するために用いられるスタンパ
である。よって、それらのスタンパの使用に際し、前記
第１の手段から第５の手段において説明したのと同じ作
用と効果を有する。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例を
図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の１
例であるＣＤ−Ｒの基本構成を示す図であり、表面とは
検出光が照射される側である。ポリカーボネート製の基
板の上には色素層が設けられ、その上に反射膜層が設け
られている。最表面は、これらの構造を保護する保護層
が設けられている。基板の表面側には、螺旋状のグルー
ブとランドが交互に設けられている。これらの構造は周
知のものであるので、これ以上の説明を省略する。

【００３２】図２は、本発明の実施の形態の１例である
ＣＤ−Ｒの基板表面の断面概要図である。基板の凹部が
グルーブ、凸部がランドとなっており、その間は傾斜部
となっている。ランドとグルーブの高さの差をｄとし、
グルーブを中心してディスクの内側（中心側）の傾斜部
の角度をα、ディスクの外側の傾斜部の角度をβ、グル
ーブの平坦部の幅をＷｇとする。請求項４でいう「溝深
さ」がｄ、「グルーブ幅」がＷｇ、溝角度がα及びβに
対応する。

【００３３】本実施の形態においては、αとβの値が異
なるように設計されている。また、図で角部として示さ
れている、グルーブの両端部の角部の形状は、従来の光
ディスクのように、基板の上に塗布されたレジストのみ
を現像し、形成されたパターンから型取りして形成され
たスタンパを用いて製造された光ディスクにおけるグル
ーブの両端部の角部の形状に比して、滑らかとなるよう
に設計されている。

【００３４】前述のように、このような構成とすること
によってディスク基板の成形性が良くなるが、αとβの
値が異なるように設計すること、グルーブの両端部の角
部の形状を前述のように滑らかに設計することのいずれ
かを行うのみでも効果が得られる。

【００３５】図３は、図２に示された基板を製造するた
めに使用されるスタンパの概略断面図の例を示す図であ
り、グルーブに対応する凸部とランドに対応する凹部が
交互に形成されており、その間は傾斜部となっている。
凸部と凹部の高さの差をｄとし、凸部を中心してスタン
パの内側（中心側）の傾斜部の角度をα、スタンパの外
側の傾斜部の角度をβ、凸部の平坦部の幅をＷとする。
請求項９でいう「溝深さ」がｄ、「凸部の幅」がＷ、溝
角度がα又はβに対応する。

【００３６】本実施の形態においては、αとβの値が異
なるように設計されている。また、図で角部として示さ
れている、凸部の両端部の角部の形状は、従来のスタン
パのように、基板の上に塗布されたレジストのみを現像
し、形成されたパターンから型取りして形成されたスタ
ンパの両端部の角部の形状に比して、滑らかとなるよう
に設計されている。

【００３７】前述のように、このような構成とすること
によってディスク基板の成形性が良くなるが、αとβの
値が異なるように設計すること、設計することのいずれ
かを行うのみでも効果が得られる。

【００３８】なお、αとβの値を異なるような任意の値
にする方法については、スタンパの製造プロセスにおい
て周知の事項であるので説明を省略する。グルーブの両
端部の角部の形状を前述のように滑らかにする方法の一
例を、図４を用いて説明する。図４において、１は基
板、２はフォトレジスト層、３はニッケルメッキ層、４
はスタンパである。

【００３９】基板材料として青板ガラス、石英、Cu、Si
基板等をドーナツ状円板に加工し、基板１とする。その
後、基板表面を表面粗さ：Ｒａ＝１nm以下に精密研磨す
る。洗浄後、基板表面にプライマーとフォトレジスト２
を順にスピンコートする。プリベ−クすると、厚さ約10
0〜800nmのフォトレジスト層２がそれぞれの基板１上に
形成される（ａ）。

【００４０】次にレ−ザーカッティング装置を用いて、
基板１上のフォトレジスト２を露光する。露光のパター
ンは、本発明に係る光情報記録媒体のグルーブとプリピ
ットに応じたパターンとする。

【００４１】露光を終えた基板１上のレジスト２を、そ
れぞれ無機アルカリ現像液で現像する。レジスト表面を
スピン洗浄し、その後、ポストベークする。これにより
レジストパターンが形成される（ｂ）。

【００４２】従来の工程においては、次に、この原盤の
表面にＮｉ層（導電層）を形成させて導電化処理を終え
る。そして、通電することによりＮｉ電鋳を行い所定の
厚さのＮｉメッキ層を得る。そして、このＮｉメッキ層
を原盤から剥離するとスタンパが得られる。

【００４３】しかし、本実施の形態においては、このよ
うな方法を採用せず、残存したフォトレジスト層２を遮
蔽材として基板１をエッチングする（ｃ）。エッチング
終了後にフォトレジスト層２を洗浄して除去すると、基
板１からなる原盤が形成される（ｄ）。

【００４４】その後、この原盤の表面にＮｉ層（導電
層）を形成させて導電化処理を終える。そして、通電す
ることによりＮｉ電鋳を行い所定の厚さのＮｉメッキ層
３を得る。そして、このＮｉメッキ層４を原盤から剥離
するとスタンパ４が得られる（ｆ）。

【００４５】このようにして、原板１そのものをエッチ
ングすることによって原盤を形成し、それからスタンパ
を製造することにより、従来のように、基板の上に塗布
されたレジストのみを現像し、形成されたパターンから
型取りして形成されたスタンパに比して、スタンパの両
端部の角部の形状をより滑らかにすることができる。

【００４６】

【実施例】（実施例１）本発明の実施例であるスタンパ
（以下、「ＤＥＧスタンパ」と言う。）と、従来のスタ
ンパ（以下、「通常スタンパ」という。）を製造し、両
者の比較試験を行った。

【００４７】通常スタンパは、以下の方法で製造した。
厚み６mmの青板ガラスにレジストを塗布し、ＬＢＲカ
ッティングマシーンで露光をった。その後、レジストの
現像を行い、レジスト原盤を製造した。そしてレジスト
原盤にスパッタや真空蒸着により導電膜を形成し、Ｎｉ
電鋳を行い、スタンパを完成した。

【００４８】上記のプロセス条件を変えることで、図３
における溝深さ（ｄ）、TOP溝幅（凸部の平坦部の幅
Ｗ）、溝角度（α＝β）、スタンパの凸部、凹部の少な
くとも一方において、角部に丸みを有し、かつ丸み
（ｒ）の異なる通常スタンパを複数枚作製した。

【００４９】ＤＥＧスタンパは以下の方法で製作した。
厚み６mmの石英ガラスにレジストを塗布し、ＬＢＲカ
ッティングマシーンで露光をった。レジストの現像を行
い、レジスト原盤を製造した。次に原盤をエッチング
し、ガラスにダイレクトに溝をつくった。この原盤にス
パッタや真空蒸着により導電膜を形成し、Ｎｉ電鋳を行
い、ＤＥＧスタンパを完成した。

【００５０】上記のプロセス条件を変えることで、図３
における溝深さ（ｄ）、TOP溝幅（凸部の平坦部の幅
Ｗ）、溝角度（α＝β）、スタンパの凸部、凹部の少な
くとも一方において、角部に丸みを有し、かつ丸み
（ｒ）の異なる通常スタンパを複数枚作製した。

【００５１】作製したスタンパについて、HR-SEM、AFM
により断面形状分析および表面形状分析を行った。HR-S
EMによる形状測定結果と、AFMによる形状測定結果が同
等になるように、それぞれ測定装置のキャリブレーショ
ンを行った。その結果、内周から外周にかけて、様々な
溝深さ（ｄ）、TOP溝幅（凸部の平坦部の幅Ｗ）、溝角
度（α＝β）、スタンパの凸部、凹部の少なくとも一方
において、角部に丸み（ｒ）を有する、設計どおりのス
タンパができていることが確認できた。

【００５２】それぞれのスタンパから、射出成形法によ
り、ポリカーボネートディスクを数百枚程度作製した。
射出圧力は４０ｔ、金型温度は１０６度、サイクル時間
は８秒程度で行った。ポリカーボネート樹脂は帝人製
（AD5503）を使用した。

【００５３】成形したDiskについても、HR-SEM、AFMに
より断面形状分析および表面形状分析を行った。その結
果、ディスクにおいても、内周から外周にかけて、様々
な溝深さ（ｄ）、TOP溝幅（凸部の平坦部の幅Ｗ）、溝
角度（α＝β）、スタンパの凸部、凹部の少なくとも一
方において、角部に丸み（ｒ）を有する、設計どおりの
ものが製造できていることが確認された。

【００５４】しかし、通常スタンパから成形したポリカ
ーボネートディスクは、外周の転写が悪く、内〜中周部
分にクラウドがでた。これに対し、ＤＥＧスタンパから
成形したポリカーボネートディスクは、転写性及びクラ
ウドの問題がなかった。

【００５５】（実施例２）図３に示すような形状で、表
１に示すような寸法を有する通常スタンパ及びＤＥＧス
タンパを製造し、それらから実施例１に示したような方
法によりポリカーボネートディスクを製造した。その
際、成形で得られた基板に、スピンコートにより色素を
塗布し、反射膜としてスパッタ法によりＡｇをコーティ
ングし、その上からラッカーを塗布してＣＤ−Ｒディス
クとした。

【００５６】表においてＣＹ、ＰＣ、ＳＧとして示され
ているのは、それぞれ色素としてシアニン色素、フタロ
シアニン色素、Ciba社製IRGAPHOR Supergreenを使用し
たものを示す。また、溝深さとは図３に示されるスタン
パの溝深さｄ、凸部幅とは図３に示されるスタンパの凸
部平坦部の幅Ｗ、溝角度とは、図３に示されるスタンパ
の溝角度（α＝β）である。なお、トラックピッチはい
ずれの場合も1.5nmである。

【００５７】結果のうち、○印はオレンジブックの規格
に入ったことを示し、△印は、高速での性能がオレンジ
ブックの規格に入らなかったことを示し、×印はオレン
ジブックの規格に入らなかったことを示す。また、ー印
は、製造又は試験を行っていないことを示す。各欄のう
ち太枠で囲ってあるものは、その数値が本発明の範囲か
ら外れていることを示す。

【００５８】表１を見ると分かるように、溝深さ、凸部
幅、溝角度が本発明の規定範囲内に入っている場合にの
み、Ciba社製IRGAPHOR Supergreenを使用したＣＤ−Ｒ
ディスクの性能がオレンジブックの規格を満たすことが
できる。また、表１において○印をつけたものは、いず
れも、１Ｘ記録から１６Ｘ記録までにおけるjitter特性
も良好であった。

【００５９】

【表１】（表１）

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の１例であるＣＤ−Ｒの基
本構成を示す図である。

【図２】本発明の実施の形態の１例であるＣＤ−Ｒの基
板表面の断面概要図である。

【図３】図２に示された基板を製造するために使用され
るスタンパの概略断面図の例を示す図である。

【図４】グルーブの両端部の角部の形状を前述のように
滑らかにする方法の一例を示す図である。

【符号の説明】

１…基板２…フォトレジスト層３…ニッケルメッキ層４…スタンパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/26 ５２１Ｇ１１Ｂ 7/26 ５２１ // Ｂ２９Ｌ 17:00 Ｂ２９Ｌ 17:00 (72)発明者小西浩東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内Ｆターム(参考） 4F202 AA28 AG19 AH79 CA11 CB01 CK11 5D029 JA04 KB03 WB14 WB19 WB21 WC01 5D121 AA02 CA10 DD05 DD07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】グルーブとランドとの間の傾斜部の角度
が、グルーブの外側と内側とで異なっていることを特徴
とする光ディスク。
【請求項２】グルーブ、ランドの少なくとも一方の両
端部の角部の形状が、基板の上に塗布されたレジストの
みを現像し、形成されたパターンから型取りして形成さ
れたスタンパを用いて製造された光ディスクにおける、
前記角部に対応する角部の形状に比して、滑らかである
ことを特徴とする光ディスク。
【請求項３】請求項１に記載の光ディスクが有する特
徴と請求項２に記載の光ディスクが有する特徴とを合わ
せて有することを特徴とする光ディスク。
【請求項４】色素にCiba社製IRGAPHOR Supergreen
（商標）を使用したＣＤ−Ｒディスクであって、ディス
クの溝形状が、溝深さ180〜195nm、グルーブ幅480〜580
nm、溝角度55〜75°とされていることを特徴とする光デ
ィスク。
【請求項５】請求項４に記載の光ディスクであって、
請求項１及び請求項２に記載の光ディスクが有する特徴
の少なくとも一方を合わせて有することを特徴とする光
ディスク。
【請求項６】光ディスクを製造するために用いられる
スタンパであって、凸部の両端の傾斜角度が、凸部の内
側と外側とで異なっていることを特徴とするスタンパ。
【請求項７】光ディスクを製造するために用いられる
スタンパであって、凸部、凹部の少なくとも一方の両端
部の角部の形状が、基板の上に塗布されたレジストのみ
を現像し、形成されたパターンから型取りして形成され
たスタンパの、対応する角部の形状に比して、滑らかで
あることを特徴とするスタンパ。
【請求項８】請求項６に記載のスタンパが有する特徴
と請求項７に記載の光スタンパが有する特徴とを合わせ
て有することを特徴とするスタンパ。
【請求項９】光ディスクを製造するために用いられる
スタンパであって、溝形状が、溝深さ180〜195nm、凸部
の幅480〜580nm、溝角度55〜75°とされていることを特
徴とするスタンパ。
【請求項１０】請求項９に記載のスタンパであって、
請求項６及び請求項７に記載のスタンパが有する特徴の
少なくとも一方を合わせて有することを特徴とするスタ
ンパ。