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JP2002116205A - Liquid discharge device as well as method and apparatus for manufacture of microarray using it - Google Patents

Liquid discharge device as well as method and apparatus for manufacture of microarray using it

Info

Publication number
JP2002116205A
JP2002116205A JP2000310268A JP2000310268A JP2002116205A JP 2002116205 A JP2002116205 A JP 2002116205A JP 2000310268 A JP2000310268 A JP 2000310268A JP 2000310268 A JP2000310268 A JP 2000310268A JP 2002116205 A JP2002116205 A JP 2002116205A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
discharge
holding member
flow path
microarray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000310268A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiya Takahashi
誠也 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP2000310268A priority Critical patent/JP2002116205A/en
Publication of JP2002116205A publication Critical patent/JP2002116205A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid discharge device which can discharge a very small liquid and whose nozzle is hard to clog. SOLUTION: The liquid discharge device is provided with a liquid holding member 34 comprising a discharge port and a drive means 32 to generate a discharge pressure which discharges a very small amount of the liquid held in the member 34 from the discharge port. The discharge port is constituted of an opening 39 which faces the outside air and a very small hole 41 whose cross-sectional area is smaller than that of the opening 39.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、微少量の試薬、薬
液などの液体を吐出する液体吐出装置、並びに上記の液
体吐出装置を用いて標的物質に対して特異的に結合可能
なプローブを含む液体を基板上に微少量吐出してなるマ
イクロアレイを製造するマイクロアレイ製造方法、およ
び該マイクロアレイ製造方法を実施するマイクロアレイ
製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention includes a liquid ejecting apparatus for ejecting a small amount of liquid such as a reagent and a chemical solution, and a probe capable of specifically binding to a target substance using the above liquid ejecting apparatus. The present invention relates to a microarray manufacturing method for manufacturing a microarray formed by discharging a very small amount of liquid onto a substrate, and a microarray manufacturing apparatus for performing the microarray manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】血液分析機や遺伝子検査、創薬検査など
の検査装置では、ランニングコスト削減やスループット
向上のために、液体吐出システムの最少吐出量を微量化
することが望まれている。
2. Description of the Related Art In a blood analyzer, a testing apparatus for a genetic test, a drug testing test, and the like, it is desired to reduce the minimum discharge amount of a liquid discharge system in order to reduce running costs and improve throughput.

【0003】従来、このような検査装置の液体吐出技術
には、シリンジピストンポンプが用いられてきた。しか
し、シリンジピストンポンプの最少吐出量は約2μL程
度であり、これ以上微量の液体を吐出しようとすると吐
出精度が極端に悪化するという問題があった。
Conventionally, a syringe piston pump has been used as a liquid ejection technique for such an inspection apparatus. However, the minimum discharge amount of the syringe piston pump is about 2 μL, and there has been a problem that the discharge accuracy is extremely deteriorated if a small amount of liquid is to be discharged.

【0004】この問題の解決を図ったものとして、例え
ば特開平10−114394号公報には、1ナノリット
ル未満の不連続で実質的に再現可能な大きさの液滴を形
成できる微量流体処理装置が開示されている。
As a solution to this problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-114394 discloses a microfluidic processing apparatus capable of forming discontinuous droplets of less than 1 nanoliter and having a substantially reproducible size. Is disclosed.

【0005】図13は、かかる微量流体処理装置の構成
を示すものである。この微量流体処理装置10は、ガラ
ス毛細管に取り付けられた圧電変換器を使用するマイク
ロディスペンサ16と、マイクロディスペンサ16に移
送流体を充填し、かつ同マイクロディスペンサ16から
移送流体を吸引し、システム流体の圧力を制御し、移送
と移送との間にマイクロディスペンサ16を洗浄する容
積式ポンプ12と、システム流体の圧力を測定しかつ対
応する電気信号を発する圧力センサ14と、を含んでい
る。
FIG. 13 shows the configuration of such a microfluidic processing apparatus. The microfluidic processing apparatus 10 includes a microdispenser 16 using a piezoelectric transducer attached to a glass capillary, filling the microdispenser 16 with a transfer fluid, and aspirating the transfer fluid from the microdispenser 16 to remove a system fluid. It includes a positive displacement pump 12 that controls the pressure and flushes the microdispenser 16 between transfers, and a pressure sensor 14 that measures the pressure of the system fluid and emits a corresponding electrical signal.

【0006】マイクロディスペンサ16は、図14に示
すように、ガラス毛細管62に結合された圧電セラミク
ス管60を有している。圧電セラミクス管60は、これ
を収縮させるためのアナログ電圧パルスを印加する内側
電極66と外側電極68とを有している。
[0006] The microdispenser 16 has a piezoelectric ceramic tube 60 connected to a glass capillary tube 62 as shown in FIG. 14. The piezoelectric ceramic tube 60 has an inner electrode 66 and an outer electrode 68 for applying an analog voltage pulse for contracting the tube.

【0007】マイクロディスペンサ16からの移送流体
の吐出に際しては、圧電セラミクス管60にアナログ電
圧パルスを印加して圧電セラミクス管60を収縮させ、
これによりガラス毛細管62を変形させて、移送流体の
中を進んでマイクロディスペンサ16のノズル63に到
達する圧力波を形成し、この圧力波によりノズル63か
ら移送流体の一つの液滴を極めて高い加速度で射出する
ようにしている。この従来技術においては、例えば5ピ
コリットルの液滴が実証されている。
When discharging the transfer fluid from the microdispenser 16, an analog voltage pulse is applied to the piezoelectric ceramic tube 60 to contract the piezoelectric ceramic tube 60,
This deforms the glass capillary 62 to form a pressure wave that travels through the transfer fluid and reaches the nozzle 63 of the microdispenser 16, and this pressure wave causes one droplet of the transfer fluid from the nozzle 63 to have an extremely high acceleration. It is made to inject at. In this prior art, for example, 5 picoliter droplets have been demonstrated.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記の特開平10−1
14394号公報に開示されている微量流体処理装置
は、微少量の液体を高精度に吐出することができる優れ
た技術であるが、他方ではノズル目詰まりが発生し易い
という問題がある。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 10-1
The microfluidic processing apparatus disclosed in Japanese Patent No. 14394 is an excellent technique capable of discharging a very small amount of liquid with high accuracy, but has a problem that nozzle clogging is likely to occur on the other hand.

【0009】すなわち、インクジェット方式を利用した
液体吐出装置において、微小な液滴を生成するには、ノ
ズル径を小さくする必要があり、従来技術のように0.
1ナノリットル以下の液滴を生成するには、ノズル径は
大きくても直径0.1mm以下にする必要がある。しか
し、ノズル径を小さくすればするほど、ノズル目詰まり
が発生し易くなってしまう。
That is, in a liquid ejection apparatus utilizing an ink jet system, it is necessary to reduce the nozzle diameter in order to generate minute droplets.
In order to generate droplets of 1 nanoliter or less, the diameter of the nozzle needs to be 0.1 mm or less at most. However, as the nozzle diameter is reduced, nozzle clogging is more likely to occur.

【0010】一方、遺伝子検査機や生化学分析機などで
取り扱う液体試料は、細胞や蛋白質を含んでいる場合が
多く、本発明者の経験によれば、これらの液体試料はノ
ズル径が直径0.1mm以下になると、ノズル目詰まり
が発生し易くなることがわかった。特に、研究用途に使
用される遺伝子検査機においては、反応容器や吸引試料
容器の段取り替えなどを頻繁に行うため、この間にノズ
ル内の試料が乾燥して目詰まりを起こすことがある。
On the other hand, liquid samples handled by a genetic tester or a biochemical analyzer often contain cells and proteins. According to the experience of the present inventors, these liquid samples have a nozzle diameter of 0. It was found that when the thickness was 0.1 mm or less, nozzle clogging was likely to occur. Particularly, in a genetic tester used for research purposes, since the setup of the reaction container and the suction sample container is frequently changed, the sample in the nozzle may be dried and clogged during this time.

【0011】このようにノズル目詰まりが発生すると、
ノズルを洗浄水などに浸積したり、チャンバ内に液体を
供給して圧力を上昇させるなどして、詰まっている物質
を取り除く作業が必要となる。このため、ノズル目詰ま
りが頻繁に発生すると、それだけスループットの低下を
招くことになる。
When nozzle clogging occurs as described above,
It is necessary to remove the clogged substance by immersing the nozzle in washing water or the like, or by supplying a liquid into the chamber to increase the pressure. For this reason, if nozzle clogging frequently occurs, the throughput will be reduced accordingly.

【0012】したがって、かかる点に鑑みてなされた本
発明の第1の目的は、微少流体の吐出が可能で、かつノ
ズル目詰まりが発生しにくい液体吐出装置を提供するこ
とにある。
Accordingly, a first object of the present invention, which has been made in view of the above points, is to provide a liquid discharge apparatus which can discharge a minute fluid and is less likely to cause nozzle clogging.

【0013】さらに、本発明の第2の目的は、上記の液
体吐出装置を用いて、標的物質に対して特異的に結合可
能なプローブを含む液体を基板上に微少量吐出してなる
マイクロアレイを簡単かつ効率よく製造できるマイクロ
アレイ製造方法を提供することにある。
Further, a second object of the present invention is to provide a microarray in which a very small amount of liquid containing a probe capable of specifically binding to a target substance is discharged onto a substrate using the above-described liquid discharging apparatus. An object of the present invention is to provide a microarray manufacturing method that can be manufactured easily and efficiently.

【0014】さらに、本発明の第3の目的は、上記のマ
イクロアレイ製造方法を簡単な構成で実施できるマイク
ロアレイ製造装置を提供することにある。
Further, a third object of the present invention is to provide a microarray manufacturing apparatus which can execute the above microarray manufacturing method with a simple configuration.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
る請求項1に係る液体吐出装置の発明は、吐出口を有す
る液体保持部材と、該液体保持部材に保持された液体を
前記吐出口から微少量吐出させるための吐出圧力を発生
する駆動手段とを有する液体吐出装置であって、前記吐
出口を、外部大気に面する開口部と、該開口部より断面
積の小さい微小孔とをもって構成したことを特徴とする
ものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a liquid ejecting apparatus, comprising: a liquid holding member having a discharge port; and a liquid holding member for discharging the liquid held by the liquid holding member. A drive means for generating a discharge pressure for discharging a very small amount from an outlet, wherein the discharge port has an opening facing the outside atmosphere, and a fine hole having a smaller cross-sectional area than the opening. It is characterized by comprising.

【0016】請求項1に係る発明によると、液体吐出時
に駆動手段により液体保持部材に保持された液体に吐出
圧力が印加されると、微小孔の液体の圧力が瞬間的に上
昇し、開口部での表面張力に逆らって吐出口より微少量
の液体が吐出され、その際の吐出量は、開口部の口径で
はなく微小孔の口径によって決まる。また、液体が大気
に面しているのは断面積の大きい開口部であるので、目
詰まりが起こり難い。したがって、吐出口での目詰まり
を有効に防止できると共に、微少量の液体を確実に吐出
することが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, when the ejection pressure is applied to the liquid held by the liquid holding member by the driving means at the time of ejecting the liquid, the pressure of the liquid in the minute holes increases instantaneously, and A very small amount of liquid is discharged from the discharge port against the surface tension at the time, and the discharge amount at that time is determined not by the diameter of the opening but by the diameter of the minute hole. Further, since the liquid faces the atmosphere at the opening having a large cross-sectional area, clogging hardly occurs. Therefore, clogging at the discharge port can be effectively prevented, and a very small amount of liquid can be reliably discharged.

【0017】請求項2に係る発明は、請求項1に記載の
液体吐出装置において、前記液体保持部材を吐出方向に
沿って進退移動させるように、前記駆動手段を構成した
ことを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the liquid ejecting apparatus according to the first aspect, the driving means is configured to move the liquid holding member forward and backward along the ejection direction. It is.

【0018】請求項2に係る発明によると、液体保持部
材を吐出方向と反対方向に移動させることで、液体に作
用する慣性力により微小孔の液体の圧力を瞬間的に上昇
させることができ、その吐出圧力により開口部での表面
張力に逆らって吐出口より微少量の液体を確実に吐出す
ることが可能となる。
According to the second aspect of the invention, by moving the liquid holding member in the direction opposite to the discharge direction, the pressure of the liquid in the micropores can be instantaneously increased by the inertial force acting on the liquid, The discharge pressure makes it possible to reliably discharge a very small amount of liquid from the discharge port against the surface tension at the opening.

【0019】請求項3に係る発明は、請求項2に記載の
液体吐出装置において、前記吐出口の前記開口部と前記
微小孔との間をテーパ状に形成し、前記駆動手段により
前記液体保持部材を吐出方向に移動させてから反対方向
に移動させて前記吐出圧力を発生させるよう構成したこ
とを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in the liquid ejecting apparatus according to the second aspect, the space between the opening of the ejection port and the minute hole is formed in a tapered shape, and the liquid holding device is provided by the driving means. The discharge pressure is generated by moving the member in the discharge direction and then in the opposite direction.

【0020】請求項3に係る発明によると、吐出前の液
体保持部材の吐出方向への移動により、開口部に保持さ
れている液体がテーパ部に沿って微小孔より液体保持部
材の内部側へ押し戻されるので、吐出の際に開口部に液
体が保持されている場合に比べて吐出流速を減衰するこ
となく液体を吐出でき、吐出効率を向上することが可能
となる。
According to the third aspect of the present invention, the liquid held in the opening moves toward the inside of the liquid holding member from the minute holes along the tapered portion by the movement of the liquid holding member in the ejection direction before the ejection. Since the liquid is pushed back, the liquid can be discharged without attenuating the discharge flow velocity as compared with the case where the liquid is held in the opening at the time of discharge, and the discharge efficiency can be improved.

【0021】請求項4に係る発明は、請求項1に記載の
液体吐出装置において、前記液体保持部材の容積を変化
させるように、前記駆動手段を構成したことを特徴とす
るものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid discharging apparatus according to the first aspect, the driving means is configured to change a volume of the liquid holding member.

【0022】請求項4に係る発明によると、液体保持部
材の容積を変化させるので、所望の吐出圧力を容易に発
生させることが可能となる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the volume of the liquid holding member is changed, it is possible to easily generate a desired discharge pressure.

【0023】請求項5に係る発明は、請求項1〜4のい
ずれか一項に記載の液体吐出装置において、前記駆動手
段を圧電素子を有して構成したことを特徴とするもので
ある。
According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid ejecting apparatus according to any one of the first to fourth aspects, the driving means includes a piezoelectric element.

【0024】請求項5に係る発明によると、圧電素子を
用いて駆動手段を構成するので、駆動手段を簡単かつ安
価に構成することが可能となる。
According to the fifth aspect of the present invention, since the driving means is constituted by using the piezoelectric element, the driving means can be constituted simply and inexpensively.

【0025】上記第2の目的を達成する請求項6に係る
マイクロアレイ製造方法の発明は、請求項1〜5のいず
れか一項に記載の液体吐出装置を用い、該液体吐出装置
により標的物質に対して特異的に結合可能なプローブを
含む液体を基板上に微少量吐出してマイクロアレイを製
造することを特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a microarray manufacturing method which achieves the second object, using the liquid ejecting apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the liquid ejecting apparatus applies a target substance to the liquid. A microarray is manufactured by discharging a small amount of liquid containing a probe capable of specifically binding to the substrate.

【0026】請求項6に係る発明によると、請求項1〜
5のいずれか一項に記載の液体吐出装置を用いてマイク
ロアレイを製造するので、マイクロアレイを簡単かつ効
率よく製造することが可能となる。
According to the invention of claim 6, claims 1 to
Since the microarray is manufactured using the liquid ejection device according to any one of the above items 5, it is possible to easily and efficiently manufacture the microarray.

【0027】上記第3の目的を達成する請求項7に係る
発明は、標的物質に対して特異的に結合可能なプローブ
を含む液体を基板上に微少量吐出することによりマイク
ロアレイを製造するマイクロアレイ製造装置であって、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体吐出装置と、
該液体吐出装置に設けられた前記液体保持部材からの液
体の吐出方向と直交する平面内において、前記基板およ
び前記液体保持部材を相対的に移動させる相対移動手段
と、を有することを特徴とするものである。
According to a seventh aspect of the present invention, which achieves the third object, a microarray is manufactured by discharging a small amount of a liquid containing a probe capable of specifically binding to a target substance onto a substrate. A device,
A liquid ejection device according to any one of claims 1 to 5,
Relative moving means for relatively moving the substrate and the liquid holding member in a plane perpendicular to the direction in which the liquid is ejected from the liquid holding member provided in the liquid ejection device. Things.

【0028】請求項7に係る発明によると、請求項1〜
5の液体吐出装置の液体保持部材を用い、この液体保持
部材と基板とを、液体保持部材からの液体の吐出方向と
直交する平面内において、相対移動手段により相対的に
移動させる簡単な構成で、マイクロアレイを簡単かつ効
率よく製造することが可能となる。
According to the invention according to claim 7, claims 1 to 1 are provided.
The liquid holding member of the liquid ejecting apparatus of No. 5 is used, and the liquid holding member and the substrate are relatively moved by a relative moving means in a plane orthogonal to the direction in which the liquid is ejected from the liquid holding member. Thus, it is possible to easily and efficiently manufacture a microarray.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1〜図12を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0030】図1〜図4は本発明の第1実施の形態を示
すもので、図1は液体吐出装置の概略構成図、図2は図
1に示す液体吐出ヘッドの断面図、図3は図2に示す積
層圧電素子に印加する駆動電圧波形を示す図、図4
(a)〜(e)は検査試料の吐出動作を説明するための
図である。
1 to 4 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic structural view of a liquid discharge device, FIG. 2 is a sectional view of the liquid discharge head shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing a drive voltage waveform applied to the laminated piezoelectric element shown in FIG. 2;
(A)-(e) is a figure for demonstrating the discharge operation of a test sample.

【0031】図1において、液体吐出ヘッド20は、図
示しない可動搬送部材に支持されており、検査試料容器
21、洗浄槽22、反応容器23の各上方に移動可能に
配置される。液体吐出ヘッド20の一端は、テフロン
(商品名)等よりなる配管25を介してシリンジピスト
ンポンプ27に接続されている。シリンジピストンポン
プ27は、上記の配管25以外に液体供給タンク28に
至る別の配管25が接続されており、電磁弁29、送水
ポンプ30を介して液体供給タンク28に順次接続され
ている。
In FIG. 1, the liquid discharge head 20 is supported by a movable transfer member (not shown), and is movably disposed above the test sample container 21, the washing tank 22, and the reaction container 23. One end of the liquid ejection head 20 is connected to a syringe piston pump 27 via a pipe 25 made of Teflon (trade name) or the like. The syringe piston pump 27 is connected to another pipe 25 leading to a liquid supply tank 28 in addition to the above-described pipe 25, and is sequentially connected to the liquid supply tank 28 via a solenoid valve 29 and a water supply pump 30.

【0032】シリンジピストンポンプ27のピストン
は、図示しないステッピングモーターおよびギヤラック
ピニオン等の直線往復アクチュエーターにより矢印の方
向に往復運動する。また、液体吐出ヘッド20、シリン
ジピストンポンプ27、および液体供給タンク28は、
概略同一高低位置に設置されている。
The piston of the syringe piston pump 27 reciprocates in the direction of the arrow by a linear reciprocating actuator such as a stepping motor and a gear rack pinion (not shown). The liquid discharge head 20, the syringe piston pump 27, and the liquid supply tank 28
They are installed at approximately the same height.

【0033】図2に詳細に示すように、液体吐出ヘッド
20は、流路部材(液体保持部材)34と、この流路部
材34を進退移動させるための積層圧電素子(駆動手
段)32とから構成される。積層圧電素子32の変位方
向の一端は、架台33に固定されており、他端は流路部
材34に固定されている。
As shown in detail in FIG. 2, the liquid discharge head 20 includes a flow path member (liquid holding member) 34 and a laminated piezoelectric element (drive means) 32 for moving the flow path member 34 forward and backward. Be composed. One end of the multilayer piezoelectric element 32 in the displacement direction is fixed to the gantry 33, and the other end is fixed to the flow path member 34.

【0034】流路部材34は、内部に液体を保持する流
路35と、該流路35に液体を導入する導入口36とを
有している。流路35は、ストレート部37、テーパ部
38および開口部39から構成されている。開口部39
は、深さが0.5mm〜1mmで、その一端には外部大
気に連通する直径0.2mm〜1mmの開口40が設け
てあり、他端には中心部に直径0.03mm〜0.1m
mの微小孔41が設けてある。
The flow path member 34 has a flow path 35 for holding a liquid therein, and an inlet 36 for introducing the liquid into the flow path 35. The flow path 35 includes a straight portion 37, a tapered portion 38, and an opening 39. Opening 39
Has an opening 40 having a depth of 0.5 mm to 1 mm, a diameter of 0.2 mm to 1 mm communicating with the outside atmosphere at one end, and a diameter of 0.03 mm to 0.1 m at the center at the other end.
m small holes 41 are provided.

【0035】テーパ部38は、微小孔41からストレー
ト部37に向かって流路断面積が増加するように、10
度〜45度のテーパ角度で設けてある。また、ストレー
ト部37は、例えば直径2mm〜10mm、長さ5mm
〜15mmの寸法で形成されている。
The tapered portion 38 is formed so that the cross-sectional area of the flow path increases from the minute hole 41 toward the straight portion 37.
It is provided with a taper angle of degrees to 45 degrees. The straight portion 37 has a diameter of, for example, 2 mm to 10 mm and a length of 5 mm.
It is formed with a size of 1515 mm.

【0036】流路部材34は、吐出方向が積層圧電素子
32による進退移動方向と平行となっており、その下端
面および外周面には低表面エネルギー物質であるフッ素
系材料による撥水層が設けられている。
The discharge direction of the flow path member 34 is parallel to the forward and backward movement directions of the laminated piezoelectric element 32, and a water-repellent layer made of a fluorine-based material, which is a low surface energy substance, is provided on the lower end surface and the outer peripheral surface. Have been.

【0037】積層圧電素子32と流路35との間は、剛
体として形成されている。また、積層圧電素子32の一
端は、架台33に固定されているため、流路部材34全
体が積層圧電素子32の変位に伴って上下方向に進退移
動するようになっている。なお、積層圧電素子32に
は、図示しない駆動回路からリード線またはフレキシブ
ル基板を介して所望の波形の電圧を印加するようになっ
ている。
The space between the laminated piezoelectric element 32 and the flow path 35 is formed as a rigid body. In addition, since one end of the multilayer piezoelectric element 32 is fixed to the gantry 33, the entire flow path member 34 moves up and down with the displacement of the multilayer piezoelectric element 32. A voltage of a desired waveform is applied to the laminated piezoelectric element 32 from a drive circuit (not shown) via a lead wire or a flexible substrate.

【0038】次に、本実施の形態の動作について説明す
る。先ず、液体吐出ヘッド20を洗浄槽22の上方に移
動し、液体吐出ヘッド20の先端部を洗浄槽22中に浸
積させ、その状態で電磁弁29を開放し、送水ポンプ3
0により液体供給タンク28内の洗浄水を液体吐出ヘッ
ド20に送液して、流路35の内周面、流路部材34先
端部の外周面、および下端面を洗浄水にて洗浄する。
Next, the operation of this embodiment will be described. First, the liquid discharge head 20 is moved above the cleaning tank 22, and the tip of the liquid discharge head 20 is immersed in the cleaning tank 22.
At 0, the cleaning water in the liquid supply tank 28 is sent to the liquid ejection head 20, and the inner peripheral surface of the flow channel 35, the outer peripheral surface of the tip of the flow channel member 34, and the lower end surface are cleaned with the cleaning water.

【0039】洗浄水を流している間に、シリンジピスト
ンポンプ27が中点まで移動し、その後、電磁弁29が
閉じられ、流路35は洗浄水で充填される。次に、液体
吐出ヘッド20は洗浄槽22の上方に移動し、シリンジ
ピストンポンプ27が所定量下方に移動し、開口40を
経て所定量の空気を流路35内に吸引する。
While the washing water is flowing, the syringe piston pump 27 moves to the middle point, after which the solenoid valve 29 is closed and the flow path 35 is filled with the washing water. Next, the liquid discharge head 20 moves above the cleaning tank 22, the syringe piston pump 27 moves downward by a predetermined amount, and sucks a predetermined amount of air into the flow path 35 through the opening 40.

【0040】その後、液体吐出ヘッド20は検査試料容
器21に移動して、検査試料中に液体吐出ヘッド20の
先端部を1mm〜2mm浸積し、シリンジピストンポン
プ27のピストンが下方に所定量移動して検査試料を流
路35内に吸引する。この流路35内に吸引される検査
試料は、空気層にて洗浄水と分離される。
Thereafter, the liquid discharge head 20 moves to the test sample container 21 and immerses the tip of the liquid discharge head 20 in the test sample by 1 mm to 2 mm, and the piston of the syringe piston pump 27 moves a predetermined amount downward. Then, the test sample is sucked into the channel 35. The test sample sucked into the flow path 35 is separated from the washing water in the air layer.

【0041】所定量の検査試料の吸引が完了すると、液
体吐出ヘッド20は検査試料容器21の上方に上昇す
る。この際、液体吐出ヘッド20の先端部端面および外
周面には、フッ素系材料による撥水層が形成されている
ので、これらの部分に検査試料が付着することはない。
その後、液体吐出ヘッド20は反応容器23の上方に移
動し、反応容器23に検査試料を吐出する。
When the suction of a predetermined amount of the test sample is completed, the liquid discharge head 20 moves up above the test sample container 21. At this time, since a water-repellent layer made of a fluorine-based material is formed on the end surface and the outer peripheral surface of the leading end of the liquid ejection head 20, the test sample does not adhere to these portions.
Thereafter, the liquid discharge head 20 moves above the reaction container 23 and discharges the test sample into the reaction container 23.

【0042】この検査試料の吐出動作について、図3お
よび図4を参照して更に詳細に説明する。本実施の形態
では、積層圧電素子32に印加する駆動電圧Eを、図3
に示すように、t1からt2の間にE0から+E1まで
連続的に増加させ、t2直後にE0まで瞬時に減少させ
る。
The discharge operation of the test sample will be described in more detail with reference to FIGS. In the present embodiment, the drive voltage E applied to the laminated piezoelectric element 32 is
As shown in (2), the value is continuously increased from E0 to + E1 during the period from t1 to t2, and is immediately decreased to E0 immediately after t2.

【0043】ここで、図4(a)に示すように、t<t
1、E=E0のときの流路部材34の先端位置をAとす
ると、t1<t<t2では電圧Eの上昇に伴って、流路
部材34は図4(b)に示すようにゆっくりと下降す
る。そして、t=t2では、積層圧電素子32に電圧+
E1に対応する変位が生じ、流路部材34の先端は図4
(c)に示すように位置Bに到達する。
Here, as shown in FIG. 4A, t <t
Assuming that the position of the end of the flow path member 34 when E = E0 is A, the flow path member 34 slowly increases as the voltage E increases at t1 <t <t2, as shown in FIG. Descend. At t = t2, the voltage +
A displacement corresponding to E1 occurs, and the front end of the flow path member 34 is
It reaches the position B as shown in FIG.

【0044】その後、t=t2直後に電圧Eが瞬時にE
0まで減少すると、図4(d)に示すように流路部材3
4も電圧の減少に伴って急激に上昇し、t>t2におい
て図4(e)に示すように先端位置が位置Aに復帰す
る。
Thereafter, immediately after t = t2, the voltage E instantaneously changes to E.
0, the flow path member 3 as shown in FIG.
4 also sharply rises with a decrease in the voltage, and when t> t2, the tip position returns to the position A as shown in FIG.

【0045】このとき、すなわち流路部材34が図4
(c)に示す状態から図4(e)に示す状態に復帰する
とき、流路35内の検査試料に下方向の慣性力が作用し
て、流路35内の検査試料が一斉にかつ瞬間的に下方向
へ流れ、この流れによってテーパ部38の先端の圧力が
瞬間的に上昇する。これに対し、開口部39では、流体
の移動方向の端面がすべて外部大気に開放されているの
で、ここに保持されている検査試料の圧力は上昇しな
い。
At this time, that is, when the flow path member 34 is
When returning from the state shown in FIG. 4C to the state shown in FIG. 4E, a downward inertial force acts on the test sample in the flow path 35, and the test samples in the flow path 35 are simultaneously and instantaneously. Then, the pressure at the tip of the tapered portion 38 rises instantaneously due to this flow. On the other hand, in the opening 39, since all the end faces in the moving direction of the fluid are open to the outside atmosphere, the pressure of the test sample held here does not increase.

【0046】したがって、テーパ部38の検査試料と開
口部39の検査試料との間に圧力差が発生し、その圧力
差によってテーパ部38先端の微小孔41から開口部3
9へ向かう流れが発生する。ここで発生した流れは、開
口部39内の検査試料の粘性抵抗によって流速を減少し
つつ同試料内を直進し、これにより開口部39に保持さ
れた検査試料のうち、微小孔41の口径に対応する部分
の検査試料が押し出されて開口40から外部へ吐出され
る。
Accordingly, a pressure difference is generated between the test sample in the tapered portion 38 and the test sample in the opening 39, and the pressure difference causes the small hole 41 at the tip of the tapered portion 38 to open the opening 3.
A flow toward 9 occurs. The flow generated here goes straight through the sample while reducing the flow velocity due to the viscous resistance of the test sample in the opening 39, whereby the diameter of the minute hole 41 in the test sample held in the opening 39 is reduced. A corresponding portion of the test sample is extruded and discharged from the opening 40 to the outside.

【0047】ここで、吐出される検査液体の量は、テー
パ部38のテーパ角度や微小孔41の口径、または開口
部39の深さや積層圧電素子32に印加する駆動電圧波
形、検査試料の物性値などによって決まり、およそ0.
01ナノリットル〜0.3マイクロリットルである。
Here, the amount of the test liquid to be discharged depends on the taper angle of the taper portion 38, the diameter of the minute hole 41, the depth of the opening 39, the driving voltage waveform applied to the laminated piezoelectric element 32, and the physical properties of the test sample. It depends on the value and so on.
It is between 01 nanoliter and 0.3 microliter.

【0048】所望の検査試料を吐出したら、液体吐出ヘ
ッド20を再び洗浄槽22に移動し、流路35に洗浄水
を送液して流路35内部に残っている検査試料を排出す
ると共に、流路35内面および流路部材34先端部の外
周面を洗浄する。以後、上述した洗浄動作および検査試
料の吸引・吐出動作を繰り返すことにより、所望量の検
査試料を反応容器23に順次吐出する。
After the desired test sample is discharged, the liquid discharge head 20 is moved to the cleaning tank 22 again, the cleaning water is supplied to the flow path 35, and the test sample remaining in the flow path 35 is discharged. The inner surface of the channel 35 and the outer peripheral surface of the tip of the channel member 34 are cleaned. Thereafter, a desired amount of the test sample is sequentially discharged to the reaction container 23 by repeating the above-described cleaning operation and the suction / discharge operation of the test sample.

【0049】本実施の形態によれば、吐出量はテーパ部
38のテーパ角度や微小孔41の径、または開口部39
の深さや駆動電圧波形、検査試料の物性値などによって
決まり、開口40の口径は影響しない。したがって、外
気に触れて乾燥し、ノズルの目詰まりを起こし易い開口
40の口径を吐出精度を低下させることなく大きくでき
るので、簡単な構成でノズル目詰まりを発生しにくくで
き、かつ微少量の液体を確実に吐出することができる。
According to the present embodiment, the discharge amount depends on the taper angle of the tapered portion 38, the diameter of the minute hole 41, or the opening 39.
And the drive voltage waveform, the physical properties of the test sample, and the like, and the diameter of the opening 40 does not influence. Therefore, the diameter of the opening 40, which dries in contact with the outside air and easily causes clogging of the nozzle, can be increased without lowering the discharge accuracy. Can be reliably discharged.

【0050】なお、本実施の形態では、流路35にテー
パ部38を設けたが、流路35の形状はこれに限定され
るものではなく、例えば図5に断面図で示すようなテー
パ部のないものでも同様の効果を得ることができる。ま
た、上記実施の形態では、積層圧電素子32により流路
部材34をゆっくり下降させてから急峻に上昇させるこ
とにより検査試料を吐出させるようにしたが、例えば図
4において、流路部材34の先端が位置Aにある状態か
ら位置Bまで急激に下降させて停止させることにより微
少量の検査試料を吐出させ、その後ゆっくりと位置Aに
復帰させたり、あるいは図4において、流路部材34の
先端が位置Bにある状態をホームポジションとして、こ
の位置Bから位置Aまで急激に上昇させることにより微
少量の検査試料を吐出させ、その後ゆっくりと位置Bに
復帰させるようにすることもできる。
In this embodiment, the flow path 35 is provided with the tapered portion 38. However, the shape of the flow path 35 is not limited to this. For example, the tapered portion as shown in the sectional view of FIG. The same effect can be obtained even in the case of no. Further, in the above-described embodiment, the test sample is discharged by lowering the flow path member 34 slowly and then steeply raising the flow path member 34 by the laminated piezoelectric element 32. For example, in FIG. Is rapidly lowered from the state at the position A to the position B and stopped, thereby discharging a very small amount of the test sample, and then slowly returning to the position A. Alternatively, in FIG. By setting the state at the position B as the home position and rapidly raising the position from the position B to the position A, a very small amount of the test sample can be discharged, and thereafter, the position can be slowly returned to the position B.

【0051】さらに、上記実施の形態では、積層圧電素
子32により流路部材34を吐出方向に沿って往復移動
させるようにしたが、例えば図6に断面図を示すよう
に、流路35にダイアフラム81を介して圧電素子(駆
動手段)80を設け、この圧電素子80を駆動して流路
35の容積を減少させることにより検査試料に圧力を発
生させて、微少量の検査試料を吐出させるように構成す
ることもできる。この場合も同様の効果を得ることがで
きる。
Further, in the above-described embodiment, the flow path member 34 is reciprocated in the discharge direction by the laminated piezoelectric element 32. For example, as shown in a sectional view of FIG. A piezoelectric element (driving means) 80 is provided via 81, and by driving the piezoelectric element 80 to reduce the volume of the flow path 35, pressure is generated in the test sample to discharge a small amount of the test sample. Can also be configured. In this case, the same effect can be obtained.

【0052】図7〜図9は本発明の第2実施の形態を示
すもので、図7は液体吐出ヘッドの断面図、図8は図7
に示す積層圧電素子に印加する駆動電圧波形を示す図、
図9(a)〜(e)は検査試料の吐出動作を説明するた
めの図である。
7 to 9 show a second embodiment of the present invention. FIG. 7 is a sectional view of a liquid discharge head, and FIG.
Diagram showing a drive voltage waveform applied to the laminated piezoelectric element shown in FIG.
FIGS. 9A to 9E are diagrams for explaining the discharge operation of the test sample.

【0053】本実施の形態は、液体吐出ヘッドの構成お
よび吐出動作以外は第1実施の形態と同様であるので、
同様の構成には同じ番号を付して説明を省略する。図7
に示すように、本実施の形態における液体吐出ヘッド4
2は、流路部材(液体保持部材)43と、この流路部材
43を進退移動させるための積層圧電素子(駆動手段)
32とから構成される。積層圧電素子32の変位方向の
一端は、架台33に固定されており、他端は流路部材4
3に固定されている。
This embodiment is the same as the first embodiment except for the configuration and the ejection operation of the liquid ejection head.
The same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. FIG.
As shown in FIG.
2 is a flow path member (liquid holding member) 43 and a laminated piezoelectric element (driving means) for moving the flow path member 43 forward and backward.
32. One end of the laminated piezoelectric element 32 in the displacement direction is fixed to the gantry 33, and the other end is
It is fixed to 3.

【0054】流路部材43は、内部に液体を保持する流
路44、流路44に外部から液体を導入する導入口4
5、および流路44から外部に液体を吐出する吐出開口
部46を有している。吐出開口部46は、外部大気に面
する部分の直径が、例えば0.2mm〜1mmとなって
いる。
The flow path member 43 includes a flow path 44 for holding a liquid therein, and an inlet 4 for introducing a liquid from the outside to the flow path 44.
5, and a discharge opening 46 for discharging the liquid from the flow path 44 to the outside. The diameter of the discharge opening 46 facing the external atmosphere is, for example, 0.2 mm to 1 mm.

【0055】流路44は、ストレート部47、第1のテ
ーパ部48、および第2のテーパ部49から構成され
る。第2のテーパ部49の一端は吐出開口部46に連通
し、他端は第1のテーパ部48の一端に連通している。
第2のテーパ部49は、吐出開口部46から第1のテー
パ部48に向かって流路断面積が減少するように設けて
あり、テーパ角度は20度〜60度である。また、第1
のテーパ部48は、第2のテーパ部49の一端からスト
レート部47に向かって流路断面積が増加するように設
けてあり、テーパ角度は20度〜60度である。
The flow path 44 includes a straight portion 47, a first tapered portion 48, and a second tapered portion 49. One end of the second tapered portion 49 communicates with the discharge opening 46, and the other end communicates with one end of the first tapered portion 48.
The second taper portion 49 is provided so that the cross-sectional area of the flow path decreases from the discharge opening portion 46 to the first taper portion 48, and the taper angle is 20 degrees to 60 degrees. Also, the first
Is provided so that the cross-sectional area of the flow path increases from one end of the second tapered portion 49 toward the straight portion 47, and the taper angle is 20 degrees to 60 degrees.

【0056】第1のテーパ部48と第2のテーパ部49
の境界部(微少孔)50、すなわち流路断面積が最も狭
い位置における流路直径は、例えば0.03mm〜0.
1mmである。ストレート部47は、例えば幅2mm〜
10mm、長さ5mm〜15mmである。
The first tapered portion 48 and the second tapered portion 49
The flow path diameter at the boundary portion (micropores) 50, i.e., at the position where the flow path cross-sectional area is the narrowest, is, for example, 0.03 mm to 0.
1 mm. The straight portion 47 has, for example, a width of 2 mm or more.
10 mm, length 5 mm to 15 mm.

【0057】流路部材43は、吐出方向が積層圧電素子
32による進退移動方向と平行となっており、その下端
面および外周面には低表面エネルギー物質であるフッ素
系材料による撥水層が設けられている。
The discharge direction of the flow path member 43 is parallel to the moving direction of the multilayer piezoelectric element 32, and a water-repellent layer made of a fluorine-based material which is a low surface energy substance is provided on the lower end surface and the outer peripheral surface. Have been.

【0058】積層圧電素子32と流路44との間は、剛
体として形成されている。また、積層圧電素子32の一
端は、架台33に固定されているため、流路部材34は
体積が変化することなく全体が積層圧電素子32の変位
に伴って上下方向に進退移動するようになっている。な
お、積層圧電素子32には、図示しない駆動回路からリ
ード線またはフレキシブル基板を介して所望の波形の電
圧が印加されるようになっている。また、液体吐出ヘッ
ド42には、第1実施の形態と同様に、配管25、シリ
ンジピストンポンプ27、液体供給タンク28、電磁弁
29、送水ポンプ30を有する洗浄水供給手段が設けら
れている。
The space between the laminated piezoelectric element 32 and the flow path 44 is formed as a rigid body. Further, since one end of the laminated piezoelectric element 32 is fixed to the gantry 33, the entire flow path member 34 moves forward and backward with the displacement of the laminated piezoelectric element 32 without changing the volume. ing. A voltage of a desired waveform is applied to the laminated piezoelectric element 32 from a drive circuit (not shown) via a lead wire or a flexible substrate. Further, the liquid ejection head 42 is provided with cleaning water supply means having a pipe 25, a syringe piston pump 27, a liquid supply tank 28, a solenoid valve 29, and a water supply pump 30, as in the first embodiment.

【0059】次に、本実施の形態の動作について説明す
る。本実施の形態においても、第1実施の形態と同様に
して、流路44を洗浄してから、流路44内に空気と検
査試料を順に吸引し、その後、液体吐出ヘッド42を反
応容器23上へ移動して、検査試料の吐出動作を行な
う。
Next, the operation of this embodiment will be described. Also in the present embodiment, similarly to the first embodiment, after cleaning the flow path 44, air and the test sample are sequentially sucked into the flow path 44, and then the liquid discharge head 42 is connected to the reaction vessel 23. It moves upward to perform a discharge operation of the test sample.

【0060】この検査試料の吐出動作について、図8お
よび図9を参照して更に詳細に説明する。本実施の形態
では、積層圧電素子32に印加する駆動電圧Eを、図8
に示すように、t1からt2の間にE0から+E1まで
急激に増加させて、その電圧+E1をt2からt3まで
短時間維持し、その後、t3からt4の間に+E1から
−E1まで急激に変化させた後、t4からt5の間に−
E1からE0に徐々に減少させる。
The operation of discharging the test sample will be described in more detail with reference to FIGS. In the present embodiment, the drive voltage E applied to the laminated piezoelectric element 32 is
As shown in the figure, the voltage is rapidly increased from E0 to + E1 from t1 to t2, and the voltage + E1 is maintained for a short time from t2 to t3, and then rapidly changed from + E1 to -E1 from t3 to t4. After that, between t4 and t5-
Gradually decrease from E1 to E0.

【0061】ここで、図9(a)に示すt<t1、E=
E0の初期状態から、積層圧電素子32に、t1からt
2の間にE0から+E1まで急激に増加する電圧を分極
方向に印加すると、積層圧電素子32は急激に伸長して
流路部材43を下降させる。このように流路部材43が
急激に下降すると、流路44内の検査試料には、図9
(b)にt1<t<t2の状態を示すように上方向の慣
性力が作用し、これにより第2のテーパ部49内部の検
査試料は上方向に移動して第1のテーパ部48内に流入
し、t=t3において図9(c)に示すように、第2の
テーパ部49内の全ての検査試料が第1のテーパ部48
へ流入する。
Here, t <t1 and E =
From the initial state of E0, the laminated piezoelectric element 32 is moved from t1 to t.
When a voltage that sharply increases from E0 to + E1 is applied in the polarization direction during the period 2, the laminated piezoelectric element 32 rapidly expands and lowers the flow path member 43. When the flow path member 43 suddenly descends in this manner, the test sample in the flow path 44 has
(B), an upward inertial force acts so as to indicate a state of t1 <t <t2, whereby the test sample inside the second taper portion 49 moves upward and moves inside the first taper portion 48. At t = t3, as shown in FIG. 9C, all the test samples in the second tapered portion 49 are removed from the first tapered portion 48.
Flows into

【0062】その後、t3からt4の間に積層圧電素子
32への印加電圧を+E1から−E1まで急激に変化さ
せると、積層圧電素子32は急激に縮小して流路部材4
3を上昇させる。このように流路部材43が急激に上昇
すると、それに伴って流路44内の検査試料には、図9
(d)にt3<t<t4の状態を示すように、下方向に
慣性力が作用して同方向への流れが発生し、これにより
第1のテーパ部48の先端から微少量の検査試料が外部
へ吐出される。
Thereafter, when the voltage applied to the laminated piezoelectric element 32 is rapidly changed from + E1 to -E1 between t3 and t4, the laminated piezoelectric element 32 is rapidly reduced and
3 is raised. When the flow path member 43 rises sharply in this way, the test sample in the flow path 44 is accompanied by FIG.
(D), as shown in the state of t3 <t <t4, a flow in the same direction occurs due to an inertial force acting in the downward direction, whereby a very small amount of the test sample from the tip of the first taper portion 48 is generated. Is discharged to the outside.

【0063】ここで、吐出される検査液体の量は、第1
のテーパ部48のテーパ角度、境界部50の径、積層圧
電素子32に印加する駆動電圧波形、検査試料の物性値
などによって決まり、およそ0.01ナノリットル〜
0.3マイクロリットルである。
Here, the amount of the test liquid to be discharged is the first
Is determined by the taper angle of the tapered portion 48, the diameter of the boundary portion 50, the drive voltage waveform applied to the laminated piezoelectric element 32, the physical property value of the test sample, and the like.
0.3 microliter.

【0064】その後、t4からt5の間に積層圧電素子
32への印加電圧を−E1からE0まで徐々に減少させ
ると、図9(e)にt4<t<t5の状態を示すよう
に、第1のテーパ部48内に流入していた検査試料は、
境界部50を通って第2のテーパ部49内に徐々に侵入
し、t=t5においては初期状態に復帰して、第2のテ
ーパ部49内には検査試料が満たされて表面張力で保持
される。
Thereafter, when the voltage applied to the laminated piezoelectric element 32 is gradually decreased from −E1 to E0 during the period from t4 to t5, as shown in FIG. 9E, the state of t4 <t <t5 is reached. The test sample flowing into the first tapered portion 48 is:
It gradually penetrates into the second tapered portion 49 through the boundary portion 50 and returns to the initial state at t = t5, and the test sample is filled in the second tapered portion 49 and held by surface tension. Is done.

【0065】所望の検査試料の吐出動作が終了したら、
液体吐出ヘッド42を再び洗浄槽22に移動し、流路4
4に洗浄水を送液して流路44内部に残っている検査試
料を排出すると共に、流路44内面および流路部材43
先端部の外周面を洗浄する。以後、上述した洗浄動作お
よび検査試料の吸引・吐出動作を繰り返すことにより、
所望量の検査試料を反応容器23に順次吐出する。
When the discharge operation of the desired test sample is completed,
The liquid discharge head 42 is moved to the cleaning tank 22 again, and
4 to discharge the test sample remaining in the flow path 44 and to the inner surface of the flow path 44 and the flow path member 43.
Clean the outer peripheral surface of the tip. Thereafter, by repeating the above-described cleaning operation and the suction / discharge operation of the test sample,
A desired amount of the test sample is sequentially discharged into the reaction container 23.

【0066】本実施の形態によれば、吐出量は第1のテ
ーパ部48の先端径や駆動電圧波形、検査試料の物性値
などによって決まり、吐出開口部46の口径は影響しな
い。したがって、外気に触れて乾燥し、ノズルの目詰ま
りを起こし易い吐出開口部46の口径を、吐出精度を低
下させることなく大きくすることができるので、簡単な
構成でノズル目詰まりの発生を有効に防止でき、かつ微
少量の液体を確実に吐出することができる。また、第2
のテーパ部49内の検査試料を、一旦第1のテーパ部4
8内へ押し戻してから吐出するので、第1実施の形態の
ように開口部39の検査試料によって吐出流速が減衰す
ることがない。したがって、低い駆動電圧で吐出動作を
行なうことができ、吐出効率を向上することができる。
According to the present embodiment, the discharge amount is determined by the tip diameter of the first tapered portion 48, the drive voltage waveform, the physical property value of the test sample, and the like, and the diameter of the discharge opening 46 does not influence. Therefore, the diameter of the discharge opening 46, which dries in contact with the outside air and easily causes clogging of the nozzle, can be increased without lowering the discharge accuracy, so that the occurrence of nozzle clogging can be effectively reduced with a simple configuration. Thus, a very small amount of liquid can be reliably discharged. Also, the second
The test sample in the tapered portion 49 of the first
Since the ink is ejected after being pushed back into the inside 8, the ejection flow rate is not attenuated by the test sample in the opening 39 as in the first embodiment. Therefore, the ejection operation can be performed with a low drive voltage, and the ejection efficiency can be improved.

【0067】なお、本実施の形態においても、液体吐出
ヘッドとして、図6に示したような流路の容積を変化さ
せて液体を吐出するものを用いることができる。このよ
うな液体吐出ヘッドの場合は、まず流路容積が大きくな
るように圧電素子を駆動して第2のテーパ部49内の検
査試料を一旦第1のテーパ部48内へ吸引し、その後流
路容積が減少するように圧電素子を駆動して第2のテー
パ部48の先端から液体を吐出することにより、同様の
効果を得ることができる。
In this embodiment, a liquid discharge head which discharges liquid by changing the volume of the flow path as shown in FIG. 6 can be used as the liquid discharge head. In the case of such a liquid discharge head, first, the piezoelectric element is driven so as to increase the flow path volume, and the test sample in the second taper portion 49 is once sucked into the first taper portion 48, and then the flow is performed. The same effect can be obtained by driving the piezoelectric element so as to reduce the passage volume and discharging the liquid from the tip of the second tapered portion 48.

【0068】また、上記実施の形態では、積層圧電素子
32により流路部材43を急激に下降および上昇させる
ことにより検査試料を吐出させるようにしたが、例えば
初期位置から急激に下降させて停止させることにより微
少量の検査試料を吐出させたり、あるいは初期位置から
上昇させて停止させることにより微少量の検査試料を吐
出させ、その後ゆっくりと初期位置に復帰させるように
することもできる。
In the above-described embodiment, the test sample is discharged by rapidly lowering and raising the flow path member 43 by the laminated piezoelectric element 32. For example, the test sample is rapidly lowered from the initial position and stopped. In this way, a very small amount of the test sample can be discharged, or a small amount of the test sample can be discharged by rising from the initial position and stopped, and then slowly returned to the initial position.

【0069】図10〜図12は本発明の第3実施の形態
を示すもので、図10はマイクロアレイ製造装置の正面
図、図11は平面図、図12は図10に示すマルチ液体
吐出ヘッドの斜視図である。
10 to 12 show a third embodiment of the present invention. FIG. 10 is a front view of a microarray manufacturing apparatus, FIG. 11 is a plan view, and FIG. It is a perspective view.

【0070】本実施の形態は、第2実施の形態に示した
液体吐出装置を応用して基板としての多孔質のメンブレ
ンフィルターにDNAプローブを吐出することによりマ
イクロアレイを製造するもので、第1および第2実施の
形態と同様の構成には同じ符号を付し、説明を省略す
る。
In the present embodiment, a microarray is manufactured by applying a DNA probe to a porous membrane filter as a substrate by applying the liquid ejection apparatus shown in the second embodiment. The same components as those in the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0071】このマイクロアレイ製造装置は、マルチ液
体吐出ヘッド71、XYZロボット72、可動ステージ
75、洗浄槽76を有すると共に、試料容器73および
メンブレンフィルター74が着脱自在にセットされるよ
うになっている。
This microarray manufacturing apparatus has a multi-liquid ejection head 71, an XYZ robot 72, a movable stage 75, and a washing tank 76, and a sample container 73 and a membrane filter 74 are detachably set.

【0072】マルチ液体吐出ヘッド71は、第2実施の
形態で示した液体吐出ヘッド42をY方向に8本並べた
もので、XYZロボット72に搭載されて、洗浄槽76
の設置位置、試料容器73およびメンブレンフィルター
74の各セット位置に移動可能となっている。それぞれ
の液体吐出ヘッド42は、第2実施の形態と同様に、配
管25(一本のみ図示し、他は図示を省略する)、シリ
ンジピストンポンプ27、電磁弁29、送水ポンプ3
0、および液体供給タンク28を有する送吸液手段に結
合されている。
The multi-liquid ejection head 71 is composed of eight liquid ejection heads 42 shown in the second embodiment arranged in the Y direction, mounted on an XYZ robot 72, and provided with a cleaning tank 76.
, And can be moved to the respective set positions of the sample container 73 and the membrane filter 74. As in the second embodiment, each of the liquid ejection heads 42 includes a pipe 25 (only one is shown, and others are omitted), a syringe piston pump 27, a solenoid valve 29, and a water supply pump 3
0, and a liquid supply and suction means having a liquid supply tank 28.

【0073】試料容器73は、横(Y)8列×縦(X)
12列の計96個の孔を有しており、ベース上に最大6
枚設置可能になっている。それぞれの試料容器73の孔
には、蛍光標識された異なる種類の一本鎖DNAプロー
ブを含んだDNA溶液が予め収容される。なお、マルチ
液体吐出ヘッド71における8本の液体吐出ヘッド42
の配列ピッチと、試料容器73の横8列の孔の配列ピッ
チとは等しくなっている。
The sample container 73 has a width (Y) of 8 rows × a length (X).
It has 12 rows of 96 holes, up to 6 on the base.
It can be installed. In each hole of each sample container 73, a DNA solution containing a different type of single-stranded DNA probe labeled with a fluorescent light is stored in advance. The eight liquid discharge heads 42 in the multi liquid discharge head 71
And the arrangement pitch of the eight rows of holes of the sample container 73 are equal to each other.

【0074】多孔質のメンブレンフィルター74は、
この上に、後述するようにDNA溶液の微少液滴を2次
元マトリクス状に配置するもので、可動ステージ75上
に図示しない吸着装置によって複数枚吸着固定されるよ
うになっている。本実施の形態では、約8mm×8mm
のメンブレンフィルター74を、最大で128枚セット
できるようになっている。
The porous membrane filter 74 includes:
On this, fine droplets of the DNA solution are arranged in a two-dimensional matrix as described later, and a plurality of the DNA solutions are adsorbed and fixed on the movable stage 75 by an adsorption device (not shown). In the present embodiment, about 8 mm × 8 mm
, A maximum of 128 membrane filters 74 can be set.

【0075】次に、本実施の形態の動作を説明する。先
ず、マルチ液体吐出ヘッド71を洗浄槽76に移動し、
第2実施の形態と同様の方法で8本の液体吐出ヘッド4
2のそれぞれの流路44および外周面を洗浄した後、所
定量の空気を吐出開口部46から吸引する。
Next, the operation of this embodiment will be described. First, the multi-liquid ejection head 71 is moved to the cleaning tank 76,
Eight liquid ejection heads 4 are formed in the same manner as in the second embodiment.
After cleaning the respective flow channels 44 and the outer peripheral surface of the second, a predetermined amount of air is sucked from the discharge opening 46.

【0076】次に、マルチ液体吐出ヘッド71を試料容
器73に移動し、8本の液体吐出ヘッド42のそれぞれ
の吐出開口部46からDNA溶液を液体吐出ヘッド42
の流路44内に吸引する。
Next, the multi-liquid ejection head 71 is moved to the sample container 73, and the DNA solution is ejected from each of the ejection openings 46 of the eight liquid ejection heads 42.
Is sucked into the flow path 44.

【0077】その後、マルチ液体吐出ヘッド71はメン
ブレンフィルター74上に移動配置され、可動ステージ
75およびXYZロボット72によりメンブレンフィル
ター74とマルチ液体吐出ヘッド71との相対位置を変
えながら、第2実施の形態と同様の方法で積層圧電素子
32を駆動してDNA溶液を吐出する。ここで、吐出さ
れるDNA溶液の直径は、約50μm〜200μmであ
り、これをメンブレンフィルター74上に約150μm
〜400μmの間隔で吐出する。
After that, the multi-liquid ejection head 71 is moved and arranged on the membrane filter 74, and the movable stage 75 and the XYZ robot 72 change the relative position between the membrane filter 74 and the multi-liquid ejection head 71 in the second embodiment. Then, the multilayer piezoelectric element 32 is driven in the same manner as described above to discharge the DNA solution. Here, the diameter of the DNA solution to be discharged is about 50 μm to 200 μm, and the diameter of the DNA solution is about 150 μm on the membrane filter 74.
Discharge at intervals of up to 400 μm.

【0078】セットされた全てのメンブレンフィルター
74上にDNA溶液を吐出した後、マルチ液体吐出ヘッ
ド71は再び洗浄槽76に移動し、ここで流路44内に
残ったDNA溶液を排出し、流路44および外周面の洗
浄を行う。
After discharging the DNA solution onto all the set membrane filters 74, the multi-liquid discharging head 71 moves again to the cleaning tank 76, where the DNA solution remaining in the flow path 44 is discharged, and The passage 44 and the outer peripheral surface are cleaned.

【0079】以後、上述のDNA溶液の吸引・吐出、お
よび洗浄動作を繰り返し、メンブレンフィルター74上
に異なる種類のDNA溶液の微少液滴を150μm〜4
00μm間隔の2次元マトリックス状に吐出する。
Thereafter, the above-described suction / discharge and washing operations of the DNA solution are repeated, and fine droplets of different types of DNA solutions are deposited on the membrane filter 74 in the range of 150 μm to 4 μm.
Discharge is performed in a two-dimensional matrix at intervals of 00 μm.

【0080】これにより、吐出されたDNA溶液を多孔
質のメンブレンフィルター74に浸透保持させて、DN
Aプローブを有するマイクロアレイを製造する。
Thus, the discharged DNA solution is permeated and held in the porous membrane filter 74,
A microarray having an A probe is manufactured.

【0081】本実施の形態によれば、第2実施の形態と
同様な効果が得られるのに加え、複数の液体吐出ヘッド
42からなるマルチ液体吐出ヘッド71を用い、これと
メンブレンフィルター74とをDNA溶液の吐出方向と
直交する平面内で相対的に移動させる簡単な構成で、マ
イクロアレイを簡単かつ効率よく製造することができ
る。
According to the present embodiment, in addition to obtaining the same effects as in the second embodiment, a multi-liquid ejection head 71 composed of a plurality of liquid ejection heads 42 is used, and this and a membrane filter 74 are connected. A microarray can be easily and efficiently manufactured with a simple configuration in which the microarray is relatively moved in a plane perpendicular to the direction in which the DNA solution is discharged.

【0082】なお、本実施の形態では、第2実施の形態
に示した液体吐出ヘッド42を用いたが、第1実施の形
態に示した液体吐出ヘッド20、あるいは図5、図6に
示したような液体吐出ヘッドを用いても同様の効果を得
ることができる。また、アレイを構成するプローブ試料
は、一本鎖DNAプローブに限らず、例えばリガンドと
該リガンドに対するレセプター、特定のアミノ酸配列を
有するオリゴ、または、ポリペプチドとこれらのペプチ
ドと親和性を有する物質、酵素と該酵素に対する基質、
抗原と該抗原に対する抗体、特定塩基配列を有する核
酸、あるいは、修飾核酸と、該核酸、あるいは、修飾核
酸の特定塩基配列に対して相補的な塩基配列を有する核
酸、あるいは、修飾核酸等の場合でも、本実施の形態に
よるマイクロアレイ製造装置によりマイクロアレイを製
造することができる。なお、これら核酸、修飾核酸とし
ては、DNA、RNA、あるいは、バックボーンがペプ
チドで構成されているPNA(protein nucleic acid)
などでも良い。
In this embodiment, the liquid ejection head 42 shown in the second embodiment is used. However, the liquid ejection head 20 shown in the first embodiment, or shown in FIGS. The same effect can be obtained by using such a liquid ejection head. Further, the probe sample constituting the array is not limited to a single-stranded DNA probe, for example, a ligand and a receptor for the ligand, an oligo having a specific amino acid sequence, or a polypeptide and a substance having an affinity for these peptides, An enzyme and a substrate for the enzyme,
In the case of an antigen and an antibody against the antigen, a nucleic acid having a specific base sequence, or a modified nucleic acid and a nucleic acid having a base sequence complementary to the specific base sequence of the nucleic acid or the modified nucleic acid, or a modified nucleic acid However, a microarray can be manufactured by the microarray manufacturing apparatus according to the present embodiment. These nucleic acids and modified nucleic acids include DNA, RNA, or PNA (protein nucleic acid) in which the backbone is composed of a peptide.
And so on.

【0083】さらに、本実施の形態では、基板として多
孔質のメンブレンフィルター74を用いたが、本発明は
これに限定されるものではなく、例えばスライドガラス
やシリコン基板などを用いることもできる。ただし、隣
接するプローブ間のコンタミネーションを防止するため
には、基板上に吐出されたプローブは所定の位置に固定
されていることが望ましい。なお、プローブなど上述の
試料を固相基板上に固定するには、プローブと基板の双
方に互いに反応可能な官能基を結合させればよい。この
ような方法は既にいくつか公開されており、例えばプロ
ーブの末端にチオール(−SH)基を結合させておき、
基板表面がマレイミド基を有するように処理しておくこ
とで、固相表面に供給されたプローブのチオール基と基
板表面のマレイミド基とが反応してプローブを基板上に
固定することができる。また、基板上にエポキシ基を導
入しておき、これとプローブの末端のアミノ基と反応さ
せてもよい。
Further, in the present embodiment, the porous membrane filter 74 is used as the substrate, but the present invention is not limited to this, and for example, a slide glass or a silicon substrate can be used. However, in order to prevent contamination between adjacent probes, it is preferable that the probes discharged onto the substrate be fixed at predetermined positions. In order to fix the above-described sample such as a probe on a solid-phase substrate, a functional group capable of reacting with each other may be bonded to both the probe and the substrate. Some of such methods have already been disclosed. For example, a thiol (-SH) group is bound to the end of a probe,
By treating the substrate surface so as to have a maleimide group, the thiol group of the probe supplied to the solid phase surface reacts with the maleimide group on the substrate surface to fix the probe on the substrate. Alternatively, an epoxy group may be introduced on the substrate and reacted with the amino group at the terminal of the probe.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1実施の形態による液体吐出装置
の概略構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid ejection device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示す液体吐出ヘッドの断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the liquid ejection head shown in FIG.

【図3】 図2に示す積層圧電素子に印加する駆動電圧
の波形図である。
3 is a waveform diagram of a driving voltage applied to the laminated piezoelectric element shown in FIG.

【図4】 第1実施の形態による検査試料の吐出動作を
説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an operation of discharging a test sample according to the first embodiment.

【図5】 第1実施の形態で用いる液体吐出ヘッドの変
形例を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a modification of the liquid ejection head used in the first embodiment.

【図6】 同じく、他の変形例を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing another modified example.

【図7】 本発明の第2実施の形態による液体吐出装置
における液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view illustrating a configuration of a liquid ejection head in a liquid ejection device according to a second embodiment of the present invention.

【図8】 第2実施の形態において積層圧電素子に印加
する駆動電圧の波形図である。
FIG. 8 is a waveform diagram of a drive voltage applied to a laminated piezoelectric element in the second embodiment.

【図9】 第2実施の形態による検査試料の吐出動作を
説明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining an operation of discharging a test sample according to a second embodiment.

【図10】 本発明の第3実施の形態によるマイクロア
レイ製造装置の構成を示す正面図である。
FIG. 10 is a front view illustrating a configuration of a microarray manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図11】 同じく、平面図である。FIG. 11 is also a plan view.

【図12】 図10に示すマルチ液体吐出ヘッドの斜視
図である。
FIG. 12 is a perspective view of the multi-liquid ejection head shown in FIG.

【図13】 従来の微量流体処理装置を説明するための
図である。
FIG. 13 is a view for explaining a conventional microfluidic processing apparatus.

【図14】 図13に示すマイクロディスペンサの構成
を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing a configuration of the microdispenser shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 液体吐出ヘッド 21 検査試料容器 22 洗浄槽 23 反応容器 25 配管 27 シリンジピストンポンプ 28 液体供給タンク 29 電磁弁 30 送水ポンプ 32 積層圧電素子 33 架台 34 流路部材 35 流路 36 導入口 37 ストレート部 38 テーパ部 39 開口部 40 開口 41 微小孔 42 液体吐出ヘッド 43 流路部材 44 流路 45 導入口 46 吐出開口部 47 ストレート部 48 第1のテーパ部 49 第2のテーパ部 50 境界部 71 マルチ液体吐出ヘッド 72 XYZロボット 73 試料容器 74 メンブレンフィルター 75 可動ステージ 76 洗浄槽 Reference Signs List 20 liquid discharge head 21 test sample container 22 washing tank 23 reaction container 25 pipe 27 syringe piston pump 28 liquid supply tank 29 solenoid valve 30 water feed pump 32 laminated piezoelectric element 33 gantry 34 flow path member 35 flow path 36 inlet 37 straight section 38 Tapered part 39 Opening part 40 Opening 41 Micro hole 42 Liquid discharge head 43 Flow path member 44 Flow path 45 Inlet 46 Discharge opening 47 Straight part 48 First tapered part 49 Second tapered part 50 Boundary part 71 Multi-liquid discharge Head 72 XYZ robot 73 Sample container 74 Membrane filter 75 Movable stage 76 Cleaning tank

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C12N 15/09 G01N 33/566 4B029 G01N 1/00 101 37/00 102 C12M 1/00 A 31/22 121 Z 33/566 B41J 3/04 103A 37/00 102 103Z // C12M 1/00 C12N 15/00 F Fターム(参考) 2C057 AF72 AG04 AG07 AG08 AG09 AG17 AG47 BA02 BA10 BA14 BF02 2G042 AA01 BD20 CB03 FB05 GA02 HA08 2G052 AA30 CA07 CA08 CA09 CA13 CA23 CA30 CA31 DA05 DA08 EA03 EA05 FC07 JA08 JA16 3E082 AA01 AA10 BB10 DD20 4B024 AA11 AA19 CA01 CA09 CA11 HA12 4B029 AA07 AA23 BB20 CC01 CC03 FA12 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int. Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C12N 15/09 G01N 33/566 4B029 G01N 1/00 101 37/00 102 C12M 1/00 A 31/22 121 Z33 / 566 B41J 3/04 103A 37/00 102 103Z // C12M 1/00 C12N 15/00 FF term (reference) 2C057 AF72 AG04 AG07 AG08 AG09 AG17 AG47 BA02 BA10 BA14 BF02 2G042 AA01 BD20 CB03 FB05 GA02 HA08 2G052 AA30 CA07 CA08 CA09 CA13 CA23 CA30 CA31 DA05 DA08 EA03 EA05 FC07 JA08 JA16 3E082 AA01 AA10 BB10 DD20 4B024 AA11 AA19 CA01 CA09 CA11 HA12 4B029 AA07 AA23 BB20 CC01 CC03 FA12

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吐出口を有する液体保持部材と、該液体
保持部材に保持された液体を前記吐出口から微少量吐出
させるための吐出圧力を発生する駆動手段とを有する液
体吐出装置であって、 前記吐出口を、外部大気に面する開口部と、該開口部よ
り断面積の小さい微小孔とをもって構成したことを特徴
とする液体吐出装置。
1. A liquid discharging apparatus comprising: a liquid holding member having a discharge port; and a driving unit for generating a discharge pressure for discharging a small amount of liquid held by the liquid holding member from the discharge port. A liquid discharge apparatus, wherein the discharge port has an opening facing the outside atmosphere and a fine hole having a smaller sectional area than the opening.
【請求項2】 前記液体保持部材を吐出方向に沿って進
退移動させるように、前記駆動手段を構成したことを特
徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
2. The liquid discharging apparatus according to claim 1, wherein the driving unit is configured to move the liquid holding member forward and backward along a discharging direction.
【請求項3】 前記吐出口の前記開口部と前記微小孔と
の間をテーパ状に形成し、前記駆動手段により前記液体
保持部材を吐出方向に移動させてから反対方向に移動さ
せて前記吐出圧力を発生させるよう構成したことを特徴
とする請求項2に記載の液体吐出装置。
3. A method of forming the tapered portion between the opening of the discharge port and the minute hole, moving the liquid holding member in the discharge direction by the driving means, and then moving the liquid holding member in the opposite direction to perform the discharge. The liquid ejection device according to claim 2, wherein the device is configured to generate pressure.
【請求項4】 前記液体保持部材の容積を変化させるよ
うに、前記駆動手段を構成したことを特徴とする請求項
1に記載の液体吐出装置。
4. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the driving unit is configured to change a volume of the liquid holding member.
【請求項5】 前記駆動手段を圧電素子を有して構成し
たことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載
の液体吐出装置。
5. The liquid discharging apparatus according to claim 1, wherein the driving unit includes a piezoelectric element.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液
体吐出装置を用い、該液体吐出装置により標的物質に対
して特異的に結合可能なプローブを含む液体を基板上に
微少量吐出してマイクロアレイを製造することを特徴と
するマイクロアレイ製造方法。
6. A liquid containing a probe that can specifically bind to a target substance by the liquid discharge device using the liquid discharge device according to claim 1 on a substrate. A microarray manufacturing method, which comprises manufacturing a microarray by discharging.
【請求項7】 標的物質に対して特異的に結合可能なプ
ローブを含む液体を基板上に微少量吐出することにより
マイクロアレイを製造するマイクロアレイ製造装置であ
って、 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体吐出装置と、 該液体吐出装置に設けられた前記液体保持部材からの液
体の吐出方向と直交する平面内において、前記基板およ
び前記液体保持部材を相対的に移動させる相対移動手段
と、 を有することを特徴とするマイクロアレイ製造装置。
7. A microarray manufacturing apparatus for manufacturing a microarray by discharging a small amount of a liquid containing a probe capable of specifically binding to a target substance onto a substrate, wherein: And a relative moving means for relatively moving the substrate and the liquid holding member in a plane perpendicular to a direction in which the liquid is ejected from the liquid holding member provided in the liquid ejection device. A microarray manufacturing apparatus, comprising:
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