JP2002100528A - Capacitor and method of manufacturing the same - Google Patents
Capacitor and method of manufacturing the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機薄膜コンデンサにおいて、有機薄膜から
なる誘電体層の膜厚が有する耐電圧を確保し、かつ低イ
ンピーダンスを実現し、かつはんだ付け性を向上させ、
小型で大容量のコンデンサを製造することを目的とす
る。
【解決手段】 コンデンサ要素の両側の電極引き出し端
面に金属溶射層16が施されており、この金属溶射層1
6上に、フェノール樹脂中に銅とニッケルと銀の粒子が
分散されてなる導電性樹脂層17が形成されており、こ
の導電性樹脂層17の表面がはんだ18で被覆されてい
る、コンデンサ。
(57) [Summary] In an organic thin film capacitor, a withstand voltage of a dielectric layer made of an organic thin film is secured, low impedance is realized, and solderability is improved.
An object is to manufacture a small and large-capacity capacitor. SOLUTION: A metal sprayed layer 16 is provided on electrode lead end faces on both sides of a capacitor element.
6, a conductive resin layer 17 formed by dispersing copper, nickel and silver particles in a phenol resin, and the surface of the conductive resin layer 17 is covered with solder 18.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大容量で高信頼性
が要求される電子機器および電気機器に使用される小形
・軽量で低価格・低インピーダンスの有機薄膜コンデン
サに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a small-sized, lightweight, low-cost, low-impedance organic thin-film capacitor used for electronic equipment and electric equipment requiring large capacity and high reliability.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、屋外で使用される携帯型の電子機
器あるいはコンピュータ関連の電子機器が急速な伸びを
示し、これらの電子機器に使われる小型で、高信頼性を
有する表面実装用の電子部品に対する需要は極めて大き
い。コンデンサについても、従来以上に大幅な小形化・
大容量・軽量化・低価格化そして低インピーダンスなど
の高性能化に対して、厳しい要求が増えている。例えば
寸法が3.2mm×2.5mmで従来のフィルムコンデンサ
の良好な特性を有し、かつ静電容量が従来のフィルムコ
ンデンサの10倍程度のものが要求されている。2. Description of the Related Art In recent years, portable electronic devices used outdoors or computer-related electronic devices have been growing rapidly, and small, highly reliable surface-mount electronic devices used in these electronic devices have been used. The demand for parts is extremely high. Capacitors are also much smaller and smaller than before.
Strict requirements are increasing for high performance such as large capacity, light weight, low price and low impedance. For example, a film capacitor having a size of 3.2 mm × 2.5 mm, having good characteristics of a conventional film capacitor, and having a capacitance about 10 times that of a conventional film capacitor is required.
【0003】従来は低インピーダンスなどの高性能な特
性を求める要求に対して、いわゆるフィルムコンデンサ
が使われていた。フィルムコンデンサは、溶融樹脂をキ
ャスティングし、さらに延伸して得たプラスティックフ
ィルムに金属蒸着して、これを巻回もしくは積層して製
造する方法が一般的である。しかしながら、前記のよう
な近年の大幅な小型化要求に応えるためには、少なくと
も1μm以下のプラスティックフィルムを製造する技
術、及びこれを蒸着して金属化フィルムコンデンサを製
造する技術が必要であるが、実験室的に作製、蒸着する
ことはできても、絶縁欠陥が多く、コストが高いという
問題があり、低価格で大量に製造することはほとんど不
可能であった。Conventionally, so-called film capacitors have been used to meet demands for high-performance characteristics such as low impedance. A film capacitor is generally manufactured by casting a molten resin, depositing a metal on a plastic film obtained by stretching, and winding or laminating the film. However, in order to respond to the recent demand for significant miniaturization as described above, a technology for manufacturing a plastic film of at least 1 μm or less and a technology for manufacturing a metallized film capacitor by depositing the same are necessary. Although it can be manufactured and deposited in a laboratory, it has many insulation defects and a problem of high cost, and it has been almost impossible to mass-produce it at low cost.
【0004】近年、上記の用途として薄い有機薄膜を成
膜してなる有機薄膜コンデンサがいくつか提案されてき
た。In recent years, several organic thin film capacitors formed by forming a thin organic thin film have been proposed for the above-mentioned applications.
【0005】以下に、従来の公知技術である特公昭44
−25014号公報および特公昭46−1945号公報
に示された有機薄膜コンデンサの構造について説明す
る。[0005] The following is a conventional known technique, Japanese Patent Publication No. Sho 44
The structure of the organic thin film capacitor disclosed in Japanese Patent Publication No. 25014 and Japanese Patent Publication No. 46-1945 will be described.
【0006】図6は特公昭44−25014号公報に記
載された従来の有機薄膜コンデンサの断面図である。図
6において、有機薄膜コンデンサは、保護層を兼ねたポ
リスチレンフィルム等の基板26と、その上にコンデン
サの素子層として、アルミニウムの金属蒸着電極膜27
a,27bと、外部電極28a,28b間で短絡しない
ように、金属蒸着電極膜27a,27bを真空蒸着する
際に固定マスク方式で形成される金属蒸着電極膜の存在
しない領域(以下「マージン」と略す)29a,29b
を、外部電極28a,28bの手前にそれぞれ交互に配
置し、金属蒸着電極膜27a,27bの間が、誘電体で
ある有機重合膜30a,30bで絶縁され、かつ対向し
ており、金属蒸着電極膜27aと外部電極28a、およ
び金属蒸着電極膜27bと外部電極28bがそれぞれ電
気的に接続され、さらに金属蒸着電極膜27a、有機重
合膜30a、金属蒸着電極膜27b、有機重合膜30b
がこの順番で複数層積層された構成になっている。特公
昭44−25014号公報では、有機重合膜の具体的な
材料は開示されていないが、その製造方法としてグロー
放電法、あるいは電子衝撃法が開示されている。FIG. 6 is a sectional view of a conventional organic thin film capacitor described in Japanese Patent Publication No. 44-25014. In FIG. 6, an organic thin-film capacitor has a substrate 26 such as a polystyrene film also serving as a protective layer, and a metal-deposited aluminum electrode film 27 of aluminum as an element layer of the capacitor thereon.
a, 27b and the external electrodes 28a, 28b so as to prevent short-circuiting between the metal-deposited electrode films 27a, 27b when vacuum-depositing the metal-deposited electrode films 27a, 27b in a region where no metal-deposited electrode film is formed (hereinafter referred to as "margin") 29a, 29b
Are alternately arranged in front of the external electrodes 28a and 28b, and the metal-deposited electrode films 27a and 27b are insulated and opposed by organic polymer films 30a and 30b as dielectrics. The film 27a and the external electrode 28a are electrically connected to each other, and the metal deposition electrode film 27b and the external electrode 28b are electrically connected to each other. Further, the metal deposition electrode film 27a, the organic polymer film 30a, the metal vapor deposition electrode film 27b, and the organic polymer film 30b
Are laminated in this order. JP-B-44-25014 does not disclose a specific material for an organic polymer film, but discloses a glow discharge method or an electron impact method as a method for producing the same.
【0007】しかしながらグロー放電法、あるいは電子
衝撃法による有機重合膜の成膜は1〜100オングスト
ローム毎分と極めて成膜速度が遅く、多層数の積層を必
要とする大容量のコンデンサのためには、前記従来の方
法はコスト、時間がかかりすぎてほとんど実用化されて
いなかった。However, the formation of an organic polymer film by the glow discharge method or the electron impact method is extremely slow at a film formation rate of 1 to 100 angstroms per minute. However, the above-mentioned conventional methods have been hardly practically used because of the cost and time required.
【0008】図7は特公昭46−1945号公報に記載
された従来の有機薄膜コンデンサの断面図である。図7
において、有機薄膜コンデンサは、ベースフィルムとす
る樹脂フィルム31の両面に、マージン部34a,34
b,34c,34dを設けたアルミニウムの金属蒸着電
極膜32a,32b,33a,33bと、これらの間に
介挿され、重合可能なエポキシ樹脂と、架橋剤とを別な
蒸発源から同時に真空蒸着して形成し、誘電体層となる
樹脂薄膜35a,35bが形成されている複層構造のフ
ィルムを巻回して、コンデンサとする構成となってい
る。FIG. 7 is a sectional view of a conventional organic thin film capacitor disclosed in Japanese Patent Publication No. 46-1945. FIG.
In the above, the organic thin film capacitor is provided with margin portions 34a, 34 on both sides of a resin film 31 as a base film.
b, 34c, 34d, a metal-deposited electrode film 32a, 32b, 33a, 33b of aluminum, a polymerizable epoxy resin and a cross-linking agent interposed therebetween are vacuum-deposited simultaneously from different evaporation sources. Then, a film having a multilayer structure in which resin thin films 35a and 35b serving as dielectric layers are formed is wound to form a capacitor.
【0009】この特公昭46−1945号公報では重合
可能なエポキシ樹脂を、架橋剤と別な蒸発源から同時に
真空蒸着して形成することで、前記グロー放電法、ある
いは電子衝撃法による有機重合膜より早い成膜速度が得
られるものである。In Japanese Patent Publication No. 46-1945, a polymerizable epoxy resin is formed by vacuum evaporation simultaneously from a crosslinking agent and another evaporation source to form an organic polymer film by the glow discharge method or the electron impact method. A higher deposition rate can be obtained.
【0010】しかしながら、特公昭46−1945号公
報に記す技術では、重合可能なエポキシ樹脂を架橋剤と
別な蒸発源から同時に真空蒸着するため、両方の蒸発速
度を目的の重合樹脂膜が得られるように正確に制御しな
ければ、重合樹脂膜の重合度が変化して、絶縁性、誘電
率、誘電損失などコンデンサの基本的な特性が変化して
しまう。このため、成膜速度を市場に供するに足る量産
性が得られるほど向上することができないという問題点
があった。また、ベースフィルムに従来の樹脂フィルム
を用いるため、ベースフィルムを薄膜化しなければ小型
化ができないが、前述のようにフィルムの厚さには限界
があり、小型化の効果が半減するという問題点があっ
た。However, in the technique described in Japanese Patent Publication No. 46-1945, a polymerizable epoxy resin is simultaneously vacuum-deposited from a cross-linking agent and another evaporation source, so that a polymerized resin film having both evaporation rates can be obtained. If not controlled accurately, the degree of polymerization of the polymerized resin film changes, and the basic characteristics of the capacitor, such as insulating properties, dielectric constant, and dielectric loss, change. For this reason, there has been a problem that the film forming rate cannot be improved to the extent that mass productivity sufficient for supplying to the market can be obtained. In addition, since a conventional resin film is used as the base film, miniaturization cannot be achieved unless the base film is thinned. However, as described above, the thickness of the film is limited, and the effect of miniaturization is reduced by half. was there.
【0011】技術の進歩と共に、小型化の要求に応える
ため、図8に示す有機薄膜コンデンサの製造方法も提案
された。支持体39の上に、まず保護層として、紫外線
などの放射線で硬化可能な液体の樹脂材料を、超音波噴
霧器37により塗布し、この樹脂を紫外線照射36によ
り重合して硬化した有機薄膜を複数回積層する。次に素
子層として、前記保護層と同じ方法で形成した有機薄膜
の上にマージンを形成するためのパラフィンオイルから
なる帯状のオイル膜をオイル付与器40から供給して形
成し、この上にアルミニウムを金属蒸着源43より蒸発
して、マージンを有する金属薄膜を形成する。金属薄膜
の上に同様にして超音波噴霧器37と紫外線照射36に
より有機薄膜を形成し、有機薄膜の上にコンデンサの静
電容量が発生するように、所定の幅だけ位置をずらして
同様にしてマージンを有する金属薄膜を形成する。以
下、このようにしてマージンの位置を交互にずらして、
1500層以上の所定の回数だけ有機薄膜と金属薄膜を
積層して、積層体38を得る。次に積層体の電極引出し
端面、すなわちマージンをずらした方向の端面を、酸素
プラズマにより処理して、選択的に端面近傍の有機薄膜
を除去して、積層体の前記電極引出し端面から有機薄膜
が突き出た構造とする。次に、前記電極引出し端面に、
金属溶射により厚さ0.4mmの黄銅からなる外部電極
中間層を形成し、外部電極中間層の上に錫が60%で残
りが鉛である合金からなる外部電極最外層を、厚さ0.
1mmで溶融めっきにより形成する。その後必要に応じ
て外装を施して有機薄膜コンデンサとする。With the advance of technology, a method of manufacturing an organic thin film capacitor shown in FIG. 8 has been proposed in order to meet the demand for miniaturization. First, as a protective layer, a liquid resin material curable by radiation such as ultraviolet rays is applied on the support 39 by an ultrasonic atomizer 37, and a plurality of organic thin films cured by polymerizing the resin by ultraviolet irradiation 36 are applied. Laminate twice. Next, as an element layer, a band-like oil film made of paraffin oil for forming a margin is formed on an organic thin film formed by the same method as the protective layer, supplied from an oil applicator 40, and aluminum is formed thereon. Is evaporated from the metal deposition source 43 to form a metal thin film having a margin. Similarly, an organic thin film is formed on the metal thin film by the ultrasonic atomizer 37 and the ultraviolet irradiation 36, and the position is shifted by a predetermined width in the same manner so that the capacitance of the capacitor is generated on the organic thin film. A metal thin film having a margin is formed. Hereinafter, the positions of the margins are alternately shifted in this manner,
The organic thin film and the metal thin film are stacked a predetermined number of times of 1500 or more to obtain a stacked body 38. Next, the electrode extraction end face of the laminate, that is, the end face in the direction in which the margin is shifted, is treated with oxygen plasma to selectively remove the organic thin film near the end face, and the organic thin film is removed from the electrode extraction end face of the laminate. The structure shall be protruded. Next, on the electrode extraction end face,
An external electrode intermediate layer made of brass having a thickness of 0.4 mm is formed by metal spraying, and an external electrode outermost layer made of an alloy containing 60% of tin and the balance of lead is formed on the external electrode intermediate layer with a thickness of 0.1 mm.
It is formed by hot-dip plating at 1 mm. After that, an exterior is provided as required to obtain an organic thin film capacitor.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】有機薄膜コンデンサを
小型化、大容量化する手段は、有機薄膜の厚さを薄くす
るか、有機薄膜の比誘電率を高くするかのいずれかがあ
るが、比誘電率を高くする手段は一般的に誘電正接の増
大が避けられず、低インピーダンス化などの高性能化の
用途には用い難い。また、前記従来例に用いることがで
きる、蒸発可能で、放射線硬化可能で、比誘電率が小型
化に実効があるほど高い材料はまだ見つかっていない。
これに比べて、有機薄膜の厚さを薄くする方法は、現実
的に小型化に有効である。Means for reducing the size and capacity of an organic thin film capacitor include either reducing the thickness of the organic thin film or increasing the relative permittivity of the organic thin film. Means for increasing the relative permittivity generally cannot avoid an increase in dielectric loss tangent, and are difficult to use for high performance applications such as low impedance. Further, a material which can be used in the above-mentioned conventional example and which can be evaporated, is radiation-curable, and has a relative dielectric constant high enough to be effective for miniaturization has not yet been found.
In contrast, a method of reducing the thickness of the organic thin film is practically effective for miniaturization.
【0013】しかしながら、前記従来例の有機薄膜コン
デンサの製造方法では、有機薄膜の薄膜化に限界があっ
た。すなわち、従来例の製造方法で有機薄膜が1.0μ
mのとき、耐電圧が130Vであったものが、0.3μ
mに薄膜化すると、30Vまで低下し、理論上の耐電圧
が得られないという課題があった。この原因は、超音波
噴霧によるコーティングでは、霧化された有機薄膜材料
の粒子の直径が数μmであるため、1μm以下の薄膜を
得ようとすると、霧化した粒子を離散的に付着させるこ
とになるが、付着した粒子が均一に薄く広がり難く、平
均して0.3μmであっても、部分的には0.2μm以
下しかない不均一な部分があるためである。However, in the above-mentioned conventional method for manufacturing an organic thin film capacitor, there is a limit to thinning an organic thin film. That is, the organic thin film is 1.0 μm in the conventional manufacturing method.
m, the withstand voltage was 130 V, but 0.3 μ
When the film thickness is reduced to m, the voltage drops to 30 V, and there is a problem that a theoretical withstand voltage cannot be obtained. The reason for this is that, in the case of coating by ultrasonic spraying, the diameter of the particles of the atomized organic thin film material is several μm, so when trying to obtain a thin film of 1 μm or less, the atomized particles are discretely attached. However, it is difficult for the attached particles to spread uniformly and thinly, and even if the average particle size is 0.3 μm, there is an uneven portion having a size of only 0.2 μm or less.
【0014】また、図9(a)に示すように、金属薄膜
44aの厚さよりも、マージン部の残留オイル膜45の
膜厚が厚いために、有機薄膜を薄膜化した場合、マージ
ン部上に形成される有機薄膜46aの厚さが他の部分よ
り薄くなってしまい、積層数が多い場合、耐電圧が得ら
れないという課題があった。Further, as shown in FIG. 9A, the thickness of the residual oil film 45 in the margin is larger than the thickness of the metal thin film 44a. When the thickness of the formed organic thin film 46a is smaller than that of the other portions and the number of layers is large, there is a problem that withstand voltage cannot be obtained.
【0015】同じ原因で、前記厚い残留オイル膜が残る
マージン部上の有機薄膜上に形成される金属薄膜は、厚
みが薄くなるため、金属薄膜の電気抵抗値が高くなり、
コンデンサのインピーダンスが増大するという課題があ
った。For the same reason, the metal thin film formed on the organic thin film on the margin where the thick residual oil film remains has a small thickness, so that the electrical resistance value of the metal thin film increases.
There is a problem that the impedance of the capacitor increases.
【0016】また同じ原因で、図9(b)に示すよう
に、コンデンサのマージン部が他の部分より盛り上がっ
た形状になるため、リード線をもたないチップ型のコン
デンサでは、外部電極がプリント基板から離れてしまう
場合があるので、はんだ付け性が阻害されるという課題
も生じていた。For the same reason, as shown in FIG. 9 (b), the margin of the capacitor has a raised shape compared to other portions. Therefore, in a chip type capacitor having no lead wire, the external electrodes are printed. There is also a problem that the solderability is hindered because the substrate may be separated from the substrate.
【0017】また一方、有機薄膜を薄くすることで、金
属薄膜と有機薄膜が交互に積層されている素子層と、有
機薄膜のみが積層されている保護層の間で、熱収縮差が
生じ、保護層が剥離してしまうという課題があった。特
にコンデンサ特性の安定化のために、有機薄膜材料中の
二重結合の硬化度を90%以上、さらに安定化するため
に95%以上とした場合に著しいことが判った。On the other hand, by reducing the thickness of the organic thin film, a difference in heat shrinkage occurs between the element layer in which the metal thin film and the organic thin film are alternately stacked and the protective layer in which only the organic thin film is stacked, There was a problem that the protective layer was peeled off. In particular, it was found that when the degree of hardening of the double bond in the organic thin film material was set to 90% or more for stabilizing the capacitor characteristics and 95% or more for further stabilization, it was remarkable.
【0018】さらに、有機薄膜を薄膜化した場合、全体
の積層数中に占める素子層の比率を50%以下にする
と、保護層と外部電極の中間層である溶射した黄銅から
なる層とは機械的付着力が弱いため、外部電極と金属薄
膜との電気的接続が不安定になり、インピーダンス特性
が劣化するという課題があった。Further, when the organic thin film is made thinner, if the ratio of the element layer to the total number of laminated layers is set to 50% or less, the protective layer and the layer made of the sprayed brass, which is the intermediate layer between the external electrodes, can be mechanically combined. Due to the weak adhesive force, the electrical connection between the external electrode and the metal thin film becomes unstable, and the impedance characteristics deteriorate.
【0019】さらに有機薄膜を薄くした時に、金属薄膜
と外部電極層との電気的接続抵抗が高くなり、インピー
ダンス特性が高くなることが分かった。原因は前記有機
薄膜の厚みが薄くなった場合、前記突き出し部の間隙が
狭くなるために、前記外部電極を構成する溶射金属の粒
子が大きいために、前記間隙に侵入し難くなるため、機
械的付着力が低下し、同時にそのため、前記金属薄膜と
前記外部電極との電気的接続が破壊される部分が生じて
電気的接続抵抗値が高くなるためである。Further, it has been found that when the organic thin film is made thinner, the electrical connection resistance between the metal thin film and the external electrode layer becomes higher, and the impedance characteristic becomes higher. The cause is that when the thickness of the organic thin film is reduced, the gap between the protruding portions becomes narrower, and because the particles of the sprayed metal constituting the external electrode are large, it is difficult to penetrate into the gap. This is because the adhesive force is reduced, and at the same time, a portion where the electrical connection between the metal thin film and the external electrode is broken occurs to increase the electrical connection resistance value.
【0020】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れ、小型、大容量で、低インピーダンスのコンデンサお
よびそのようなコンデンサを得る製造方法を提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a small-sized, large-capacity, low-impedance capacitor and a manufacturing method for obtaining such a capacitor.
【0021】[0021]
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために本発明のコンデンサにおいては、コンデンサ要素
の両側の電極引き出し端面に金属溶射層が施されてお
り、この金属溶射層上に、フェノール樹脂中に銅とニッ
ケルと銀の粒子が分散されてなる導電性樹脂層が形成さ
れており、そしてこの導電性樹脂層の表面がはんだで被
覆されている。In order to solve these problems, in the capacitor of the present invention, a metal sprayed layer is applied to the electrode lead end faces on both sides of the capacitor element, and phenol is formed on the metal sprayed layer. A conductive resin layer in which particles of copper, nickel and silver are dispersed in a resin is formed, and the surface of the conductive resin layer is covered with solder.
【0022】銅とニッケルと銀の重量比率は、100対
30〜55対1.5〜4であり、かつ少なくとも銅とニ
ッケルと銀の粒子の粒径が1〜50μmの範囲の分布を
有していることが好ましい。The weight ratio of copper, nickel and silver is from 100 to 30 to 55 to 1.5 to 4, and at least the copper, nickel and silver particles have a distribution in the range of 1 to 50 μm. Is preferred.
【0023】このようなコンデンサは、コンデンサ要素
の両側の電極引き出し端面に金属を溶射して金属溶射層
を形成し、次いでこの金属溶射層上に、フェノール樹脂
中に銅とニッケルと銀の粒子が分散されてなる液状の樹
脂を塗布、硬化して導電性樹脂層を形成し、続いてこの
導電性樹脂層17a,17bを溶融はんだめっきして、
導電性樹脂層の表面をはんだ18a,18bで被覆する
ことにより製造され得る。In such a capacitor, a metal is sprayed on the electrode lead end faces on both sides of the capacitor element to form a metal sprayed layer, and then, on this metal sprayed layer, particles of copper, nickel and silver are contained in a phenol resin. A dispersed liquid resin is applied and cured to form a conductive resin layer, and then the conductive resin layers 17a and 17b are subjected to hot-dip solder plating.
It can be manufactured by coating the surface of the conductive resin layer with the solders 18a and 18b.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】本発明に係るコンデンサの実施の
形態を以下に述べる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the capacitor according to the present invention will be described below.
【0025】本発明に用いる有機材料として、少なくと
も2個以上のビニル基を有し、放射線硬化可能で、常温
大気圧においては液体である有機材料を用いる。このよ
うな材料として、例えば官能基としてアクリロイル基を
末端にもつアクリル酸エステル(アクリル酸エステルは
「アクリレート」と呼ばれる。以下「アクリレート」と
称す。)、あるいは官能基としてメタクリロイル基を末
端にもつメタクリル酸エステル(メタクリル酸エステル
は「メタクリレート」と呼ばれる。以下「メタクリレー
ト」と称す。)、などのうち官能基を2個以上有する多
官能アクリレート類、多官能メタクリレート類が代表的
である。官能基数は一般的に2〜6程度であるが、一般
的に官能基数が多いほど粘度が高く、沸点が高く、蒸気
圧が低い傾向があり、粘度、沸点、蒸気圧を考慮して選
択することができる。またアクリレート類、メタクリレ
ート類はその分子構造中に、ポリエステル構造を有する
ポリエステルアクリレート類、あるいはエポキシ構造を
有するエポキシアクリレート類、ウレタン構造を有する
ウレタンアクリレート類、ポリエーテル構造を有するポ
リエーテルアクリレート類、メラミン構造を有するメラ
ミンアクリレート類、アルキド構造を有するアルキドア
クリレート類、シリコーン構造を有するシリコーンアク
リレート類、あるいはビスフェノールAをアクリル酸エ
ステル化したアクリレートなどがあり、これらを選択す
ることもできる。前記、ポリエステルアクリレート類、
エポキシアクリレート類、ウレタンアクリレート類、ポ
リエーテルアクリレート類、メラミンアクリレート類、
アルキドアクリレート類、シリコーンアクリレート類、
ビスフェノールAをアクリル酸エステル化したアクリレ
ート、などの粘度が高い場合は、低粘度のアクリレート
類、メタクリレート類、あるいは低粘度の単官能のモノ
アクリレート類、モノメタクリレート類と混合して用い
ることができる。As the organic material used in the present invention, an organic material having at least two vinyl groups, curable by radiation, and liquid at normal temperature and atmospheric pressure is used. As such a material, for example, an acrylate ester having an acryloyl group at a terminal as a functional group (an acrylate ester is referred to as an “acrylate”; hereinafter, referred to as an “acrylate”) or a methacryl having a methacryloyl group at a terminal as a functional group Among them, acid esters (methacrylic acid esters are referred to as “methacrylates”; hereinafter, referred to as “methacrylates”), and the like are representative of polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates having two or more functional groups. The number of functional groups is generally about 2 to 6, but generally, the larger the number of functional groups, the higher the viscosity, the higher the boiling point, and the lower the vapor pressure tends to be. The viscosity, boiling point, and vapor pressure are selected in consideration. be able to. In the molecular structure of acrylates and methacrylates, polyester acrylates having a polyester structure, epoxy acrylates having an epoxy structure, urethane acrylates having a urethane structure, polyether acrylates having a polyether structure, melamine structures And alkyd acrylates having an alkyd structure, silicone acrylates having a silicone structure, and acrylates obtained by subjecting bisphenol A to acrylate, and the like can also be selected. The polyester acrylates;
Epoxy acrylates, urethane acrylates, polyether acrylates, melamine acrylates,
Alkyd acrylates, silicone acrylates,
When the viscosity of an acrylate obtained by converting bisphenol A into an acrylate is high, it can be used in combination with a low-viscosity acrylate or methacrylate, or a low-viscosity monofunctional monoacrylate or monomethacrylate.
【0026】本発明に用いる有機材料として、アクリレ
ート類、メタクリレート類以外では、官能基としてビニ
ル基を2個有するジビニルエーテル類、あるいはプロペ
ニル基を2個有するジプロペニルエーテル類なども用い
ることができる。その他官能基として、アクリルアミド
基を有するもの、マレイン酸ジエステルを有するもの、
アリル基を有するもの、ビニルエーテル基を有するも
の、ビニルチオエーテル基を有するもの、ビニルアミノ
基を有するもの、グリシジル基を有するもの、アセチレ
ン性不飽和基を有するもの、なども本発明の有機材料と
して用いることができる。As the organic material used in the present invention, besides acrylates and methacrylates, divinyl ethers having two vinyl groups as functional groups or dipropenyl ethers having two propenyl groups can be used. As other functional groups, those having an acrylamide group, those having a maleic acid diester,
Those having an allyl group, those having a vinyl ether group, those having a vinyl thioether group, those having a vinylamino group, those having a glycidyl group, those having an acetylenically unsaturated group, and the like are also used as the organic material of the present invention. be able to.
【0027】なお前記有機材料の選択により、有機薄膜
からなる誘電体層の比誘電率を選択できる。The relative permittivity of the dielectric layer made of an organic thin film can be selected by selecting the organic material.
【0028】本発明の実施例として、例えば、少なくと
も2個以上のビニル基を有する有機材料が、シクロペン
タジエンを2量体化し、続いて2個の炭素−炭素二重結
合に一酸化炭素と水素を付加してホルミル化し、さらに
水素を添加してジヒドロキシ化合物とし、続いてアクリ
ル酸を反応させてエステル化した後に、未反応成分を水
洗除去し、その後水分を100ppm以下まで乾燥して
合成した複数の異性体が混在するモノマーを用いる。As an embodiment of the present invention, for example, an organic material having at least two or more vinyl groups can dimerize cyclopentadiene, and then form carbon monoxide and hydrogen on two carbon-carbon double bonds. Was added to formylate, and further hydrogen was added to form a dihydroxy compound, followed by esterification by reacting with acrylic acid, washing and removing unreacted components, and then drying the water to 100 ppm or less. Is used.
【0029】[0029]
【化1】 [Formula 1]
【0030】に前記モノマーの一異性体の構造を示す。The structure of one isomer of the above monomer is shown.
【0031】有機材料を液体のまま真空容器中に導く工
程は、前記有機材料が液体であるので、例えば加圧空気
などの加圧気体による圧送や、ポンプによる搬送などが
適当であるが、有機材料の粘度に応じて適宜選択するこ
とができる。前記真空容器は、以下に述べる周回する支
持体、有機材料の蒸発器、蒸着電極とする金属を蒸発す
るための蒸発器、オイルマージンを形成するための装
置、放射線を照射するための装置などの他、必要な装置
を容器内に配置した真空容器であって、かつ前記蒸着電
極とする金属の蒸着のために必要な真空度を達成するの
に適した排気装置、例えば油回転真空ポンプ、油拡散真
空ポンプ、メカニカルブースターポンプなどの他、通常
の真空装置に使われる真空排気装置が、単独もしくは組
み合わせて用いられ、かつ前記真空排気装置に必要な付
加器が備えられている。In the step of introducing the organic material into the vacuum vessel in a liquid state, the organic material is a liquid, and therefore, for example, it is appropriate that the organic material is pressurized by a pressurized gas such as pressurized air or conveyed by a pump. It can be appropriately selected according to the viscosity of the material. The vacuum vessel is a rotating support described below, an evaporator of an organic material, an evaporator for evaporating a metal to be a deposition electrode, a device for forming an oil margin, a device for irradiating radiation, and the like. In addition, a vacuum vessel in which necessary devices are arranged in a vessel, and an exhaust device suitable for achieving a degree of vacuum required for vapor deposition of metal as the vapor deposition electrode, for example, an oil rotary vacuum pump, oil In addition to a diffusion vacuum pump, a mechanical booster pump, and the like, a vacuum exhaust device used for a normal vacuum device is used alone or in combination, and an additional device required for the vacuum exhaust device is provided.
【0032】本発明の製造方法は、図1に示すように、
有機材料を液体のまま真空容器1中に搬送し、有機材料
の蒸着器5に導入する。前記蒸発器5中で前記有機材料
を前記有機材料の沸点以下の温度で加熱して蒸発する。
このときの加熱温度が前記有機材料の沸点以下の適切な
温度範囲で調節できるように前記有機材料の蒸発器には
温度調節器が付属している(図示せず。)。The manufacturing method of the present invention is, as shown in FIG.
The organic material is transported as it is into the vacuum vessel 1 and introduced into the organic material evaporator 5. The organic material is heated in the evaporator 5 at a temperature equal to or lower than the boiling point of the organic material to evaporate.
The evaporator for the organic material is provided with a temperature controller (not shown) so that the heating temperature at this time can be adjusted in an appropriate temperature range not higher than the boiling point of the organic material.
【0033】前記蒸発器5中で蒸発した前記有機材料の
蒸気9は、回転する冷却された支持体2の表面上、ある
いは前記支持体上2にすでに形成され硬化、活性化して
いる有機材料上に蒸着し、極めて均一な厚さの有機薄膜
を形成する。The vapor 9 of the organic material vaporized in the evaporator 5 is deposited on the surface of the rotating cooled support 2 or on the organic material already formed and cured and activated on the support 2. To form an organic thin film having a very uniform thickness.
【0034】前記回転する冷却された支持体2は、一般
的には円筒形で、かつ円筒の対称軸を中心に一定速度で
回転するようモーター等で駆動され、かつ円筒内で冷媒
を循環させて一定温度に保つ構造で、例えばクーリング
キャンのようなものがあげられる。本発明の製造方法の
工程は、主に前記回転する円筒支持体の曲側面上に有機
材料および金属等を蒸着して形成し、積層して有機薄膜
コンデンサ形成することによって行われる。The rotating cooled support 2 is generally cylindrical, and is driven by a motor or the like so as to rotate at a constant speed about the axis of symmetry of the cylinder, and circulates the refrigerant in the cylinder. For example, a cooling can can be used. The steps of the manufacturing method of the present invention are mainly performed by forming an organic material, a metal, and the like by vapor deposition on the curved side surface of the rotating cylindrical support, and stacking and forming an organic thin film capacitor.
【0035】前記有機材料は、冷却された支持体2の表
面上もしくはすでに以前に前記支持体2上に形成され放
射線硬化した前記有機薄膜上に蒸着されると同時に、放
射線の照射により活性化して、架橋、硬化する。前記放
射線は、例えば電子線、あるいは紫外線等を用いる。前
記電子線は金属薄膜の蒸着に用いられる電子線源11か
ら放射される散乱電子7を用いることができるが、別途
専用の放射線源を設置しても良い。The organic material is vapor-deposited on the cooled surface of the support 2 or on the radiation-cured organic thin film previously formed on the support 2 and simultaneously activated by irradiation with radiation. Crosslinks and cures. As the radiation, for example, an electron beam or an ultraviolet ray is used. As the electron beam, scattered electrons 7 emitted from an electron beam source 11 used for vapor deposition of a metal thin film can be used, but a dedicated radiation source may be separately provided.
【0036】続いて、前記支持体2が回転して、前記有
機薄膜上に、前記支持体の移動方向に沿って平行に並
び、前記支持体の任意の周回毎に幅方向の位置が切り替
わる、複数条の細帯状のパーフルオロアルキルエーテル
膜を形成する。前記パーフルオロアルキルエーテルとし
ては、例えばイタリア国アウジモント社製、商品名「フ
ォンブリン」などがある。前記パーフルオロアルキルエ
ーテルは、例えば加熱され、加熱器の細い穴から蒸気と
して蒸着する方法のオイル付与器4などで前記有機薄膜
上に形成する方法が適当である。前記パーフルオロアル
キルエーテル膜は金属薄膜の非金属化部の位置および形
状に相当する位置および形状に形成され、前記支持体2
の任意の周回毎に幅方向の位置が切り替わることで、前
記金属薄膜からなる蒸着電極が前記有機薄膜からなる誘
電体層を挟んで対向するように形成される。これによっ
て前記誘電体層とこれを介して対向する前記蒸着電極層
により構成される静電容量に寄与する部分を形成する。Subsequently, the support 2 rotates and is arranged in parallel on the organic thin film along the moving direction of the support, and the position in the width direction is switched every arbitrary rotation of the support. A plurality of strip-shaped perfluoroalkyl ether films are formed. Examples of the perfluoroalkyl ether include "Fomblin" (trade name, manufactured by Ausimont, Italy). The above-mentioned perfluoroalkyl ether is suitably formed on the organic thin film by, for example, an oil applicator 4 which is heated and vapor-deposited as vapor from a small hole of a heater. The perfluoroalkyl ether film is formed in a position and a shape corresponding to the position and the shape of the non-metallized portion of the metal thin film.
The position in the width direction is switched at each arbitrary round of the above, so that the vapor deposition electrodes made of the metal thin film are formed to face each other with the dielectric layer made of the organic thin film interposed therebetween. As a result, a portion that contributes to the capacitance constituted by the dielectric layer and the vapor deposition electrode layer opposed to the dielectric layer is formed.
【0037】続いて、前記支持体2が回転して、前記複
数条の細帯状のパーフルオロアルキルエーテル膜を形成
した前記有機薄膜上に、蒸着電極とする金属薄膜を電子
線蒸着により形成し、複数条の細帯状の非金属化部を有
する金属薄膜とする。前記非金属化部が絶縁性良く形成
できるように、前記金属薄膜の膜厚に応じて、例えば前
記金属薄膜の膜厚が薄い場合は前記パーフルオロアルキ
ルエーテル膜の膜厚を薄くする必要がある。Subsequently, the support 2 is rotated to form a metal thin film as an electrode for vapor deposition on the organic thin film on which the plurality of strip-shaped perfluoroalkyl ether films are formed by electron beam evaporation. A metal thin film having a plurality of strip-shaped non-metallized portions. According to the thickness of the metal thin film, for example, when the thickness of the metal thin film is small, it is necessary to reduce the thickness of the perfluoroalkyl ether film so that the non-metallized portion can be formed with good insulation. .
【0038】続いて前記複数条の細帯状の非金属化部上
に残留するパーフルオロアルキルエーテル膜を、少なく
とも酸素を含むガスのグロー放電10により除去する。Subsequently, the perfluoroalkyl ether film remaining on the plurality of strip-shaped non-metallized portions is removed by a glow discharge 10 of a gas containing at least oxygen.
【0039】続いて前記支持体2が回転して、前述の有
機薄膜からなる誘電体層を形成する工程以降を繰り返し
て、円筒支持体の曲側面上に有機材料および金属等を蒸
着して形成し、積層して有機薄膜コンデンサとする積層
体3aを形成する。Subsequently, the support 2 is rotated to repeat the above-described step of forming the dielectric layer composed of the organic thin film, and to deposit an organic material and metal on the curved side surface of the cylindrical support by vapor deposition. Then, a laminated body 3a is formed by laminating to form an organic thin film capacitor.
【0040】なお必要に応じて、前記積層体3aを形成
する工程の前半の一部および後半の一部で、前記金属薄
膜を形成しないで、前記積層体の静電容量に寄与する部
分の上下に保護層を形成することができる。If necessary, in the first half and the second half of the step of forming the laminated body 3a, the upper and lower portions of the part that contributes to the capacitance of the laminated body are formed without forming the metal thin film. A protective layer can be formed on the substrate.
【0041】前記積層体3aを形成する工程が終了した
後、真空容器1中の前記支持体2から前記積層体3aを
分離し、取り出す。After the step of forming the laminate 3a is completed, the laminate 3a is separated from the support 2 in the vacuum vessel 1 and taken out.
【0042】続いて図3に示すように、前記積層体3a
を、例えばプレス、あるいは加熱プレスなどにより、概
ね平板状に加工する。Subsequently, as shown in FIG.
Is processed into a substantially flat plate shape by, for example, a press or a hot press.
【0043】続いて概ね平板状に加工された前記積層体
3bを、各コンデンサ要素の外部電極取出し位置に相当
する位置で分割し、各コンデンサ要素の条20とする。
分割は例えばカミソリ刃、フライス刃、あるいは回転砥
石刃などによる方法が適当である。Subsequently, the laminated body 3b, which has been processed into a substantially flat plate shape, is divided at positions corresponding to the positions where the external electrodes of the respective capacitor elements are taken out, to form the strips 20 of the respective capacitor elements.
For the division, for example, a method using a razor blade, a milling blade, or a rotary grindstone blade is appropriate.
【0044】前記分割工程により形成されたコンデンサ
要素の条20を、図4に示す金属枠21にスペーサ22
を条20の間に挟みながら組み入れ、前記枠21ごと図
5に示す減圧容器23の中に入れ、前記減圧容器23中
に酸素を一定分圧に保持するよう注入、排気し、かつ高
周波電力25でグロー放電させることで酸素プラズマを
発生させ、前記酸素プラズマを前記条のコンデンサ要素
の両側の外部電極取出し端面に接触させて、前記誘電体
の電極引き出し端面側部分の少なくとも一部分を化学的
に選択的除去して、各々の前記誘電体層の電極引き出し
端面先端近傍を前記静電容量に寄与する部分より概ね薄
くする。なお例えばSF6を酸素に対して5%程度添加
すれば、前記選択的除去が高速で、かつ安定した放電状
態で行える効果がある。The strip 20 of the capacitor element formed by the dividing step is placed on a metal frame 21 shown in FIG.
And the frame 21 is put into a decompression container 23 shown in FIG. 5 together with the frame 21. Oxygen is injected into the decompression container 23 to maintain a constant partial pressure, exhausted, and high-frequency power 25 Oxygen plasma is generated by performing glow discharge in, and the oxygen plasma is brought into contact with external electrode extraction end faces on both sides of the capacitor element of the strip, and at least a part of the electrode extraction end face side portion of the dielectric is chemically selected. Then, the portions of the dielectric layers near the tips of the electrode leading ends are made substantially thinner than the portions contributing to the capacitance. For example, if SF6 is added to oxygen at about 5%, there is an effect that the selective removal can be performed at a high speed and in a stable discharge state.
【0045】続いて前記条20を前記枠21ごと減圧容
器23中から取り出し、前記条20のコンデンサ要素の
両側の電極引き出し端面に、例えば黄銅、すずなどの金
属溶射層16a,16bを施して各々の前記蒸着電極層
を接続する。Subsequently, the strip 20 and the frame 21 are taken out of the decompression container 23, and metal sprayed layers 16a, 16b of, for example, brass, tin, etc. are applied to the electrode lead end faces on both sides of the capacitor element of the strip 20, respectively. Are connected.
【0046】続いて前記条の前記金属溶射層16a,1
6b上に、フェノール樹脂中に銅とニッケルと銀の粒子
が100対30〜55対1.5〜4の重量比率で、かつ
少なくとも前記銅とニッケルと銀の粒子の粒径が1〜5
0μmの範囲の分布をもつ粒子が分散されてなる液状の
樹脂を塗布、硬化して導電性樹脂層17a,17bを形
成し、かつ前記導電性樹脂層17a,17b中の前記粒
子の一部を連続して接触させて前記導電性樹脂層17
a,17bの抵抗値が20mΩ以下とし、かつ前記導電
性樹脂層17a,17bが前記コンデンサ要素の電極引
き出し端面近傍の上下両面にはみ出した形状に形成す
る。前記はみ出した形状を図2にAで示す。Subsequently, the metal sprayed layers 16a, 1
6b, the phenolic resin contains copper, nickel and silver particles in a weight ratio of 100 to 30 to 55 to 1.5 to 4 and at least a particle size of the copper, nickel and silver particles of 1 to 5
A liquid resin in which particles having a distribution of 0 μm are dispersed is applied and cured to form conductive resin layers 17a and 17b, and a part of the particles in the conductive resin layers 17a and 17b is removed. The conductive resin layer 17 is contacted continuously.
The resistance values of a and 17b are set to 20 mΩ or less, and the conductive resin layers 17a and 17b are formed so as to protrude from both upper and lower surfaces near the electrode lead end surface of the capacitor element. The protruding shape is indicated by A in FIG.
【0047】続いて前記導電性樹脂層17a,17bを
形成した条20を溶融はんだめっきして、前記導電性樹
脂層の表面をはんだ18a,18bで被覆する。Subsequently, the strip 20 on which the conductive resin layers 17a and 17b are formed is subjected to hot-dip solder plating, and the surface of the conductive resin layer is covered with solders 18a and 18b.
【0048】続いて溶融はんだめっきした条20を切断
して、個別のコンデンサとする。切断は例えばフライス
刃、あるいは回転砥石刃などによる方法が適当である。Subsequently, the strip 20 subjected to the hot-dip solder plating is cut into individual capacitors. For the cutting, for example, a method using a milling blade or a rotary grindstone blade is suitable.
【0049】続いて前記コンデンサに、前記外部電極の
はんだ付け実装性を阻害しない極めて薄い外装膜を、前
記個別のコンデンサの外部電極を含む全ての表面に施
す。前記外装膜は例えば前記コンデンサをトリメチルメ
トキシシラン等の低粘度のシランカップリング剤に浸漬
して硬化した膜などがはんだ付け実装性を阻害せず、か
つコンデンサの耐湿信頼性を向上させ、適当である。Subsequently, the capacitor is provided with an extremely thin exterior film which does not hinder the solderability of the external electrodes on all surfaces including the external electrodes of the individual capacitors. For example, the exterior film is a film cured by immersing the capacitor in a low-viscosity silane coupling agent such as trimethylmethoxysilane does not inhibit soldering mountability, and improves the moisture resistance reliability of the capacitor. is there.
【0050】以上のようにして本発明の一実施例を示し
たが、本発明の材料は前記実施例に限るものではなく、
本発明の請求の範囲の範疇であれば本発明の目的に適う
ものである。Although one embodiment of the present invention has been described above, the material of the present invention is not limited to the above-described embodiment.
The scope of the claims of the present invention is suitable for the purpose of the present invention.
【0051】[0051]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、本発明の
コンデンサおよびその製造方法によれは、小形・大容量
で低インピーダンス、かつはんだ付け性の良好な信頼性
の高い有機薄膜コンデンサが、低コストで歩留良く得ら
れる。As described above, according to the present invention, according to the capacitor of the present invention and the method for manufacturing the same, a small-sized, large-capacity, low-impedance, and highly reliable organic thin-film capacitor having good solderability is provided. , At a low cost and with good yield.
【図1】本発明の一実施の形態による積層体の製造装置
を示す図FIG. 1 is a view showing an apparatus for manufacturing a laminate according to an embodiment of the present invention;
【図2】本発明の一実施の形態による有機薄膜コンデン
サの断面図FIG. 2 is a sectional view of an organic thin film capacitor according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施の形態による積層体をプレスす
る工程を示す図FIG. 3 is a diagram showing a step of pressing a laminate according to one embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施の形態による条を金属枠に組み
入れる工程を示す図FIG. 4 is a view showing a step of incorporating a strip into a metal frame according to an embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施の形態による外部電極取出し端
面の誘電体を化学的に選択的除去する工程を示す図FIG. 5 is a view showing a step of chemically and selectively removing a dielectric substance from an external electrode extraction end face according to an embodiment of the present invention;
【図6】特公昭44−25014号公報に記載された従
来の有機薄膜コンデンサの断面図FIG. 6 is a sectional view of a conventional organic thin film capacitor described in Japanese Patent Publication No. 44-25014.
【図7】特公昭46−1945号公報に記載された従来
の有機薄膜コンデンサの断面図FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional organic thin film capacitor described in Japanese Patent Publication No. 46-1945.
【図8】従来の有機薄膜コンデンサの製造工程の一例を
示す図FIG. 8 is a diagram showing an example of a manufacturing process of a conventional organic thin film capacitor.
【図9】従来のコンデンサの外観図と、そのマージン部
の拡大断面図FIG. 9 is an external view of a conventional capacitor and an enlarged sectional view of a margin portion thereof.
1 真空容器 2 回転する支持体 3a,3b 積層体 4 オイル付与器 5 有機材料蒸発器 6 金属蒸発源 7 散乱電子 8 金属蒸気 9 有機材料蒸気 10 酸素グロー 11 電子線 12 有機材料薄膜 13 蒸着電極 14a,14b マージン 15a,15b 誘電体層 16a,16b 金属溶射層 17a,17b 導電性樹脂層 18a,18b はんだめっき層 19a,19b プレス板 20 コンデンサ条 21 金属枠 22 スペーサー 23 減圧容器 24a,24b 高周波放電電極 25 高周波電源 26 基板 27a,27b 金属蒸着電極膜 28a,28b 外部電極 29a,29b マージン 30a,30b 有機重合膜 31 ベースフィルム 32a,32b,33a,33b 金属薄膜 34a,34b,34c,34d マージン 35a,35b 誘電体薄膜 36 紫外線源 37 超音波噴霧器 38 積層体 39 支持体 40 オイル付与器 41 真空容器 42 金属蒸気 43 金属蒸発源 44a,44b 金属薄膜 45 残留オイル 46a,46b 有機薄膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum container 2 Rotating support body 3a, 3b laminated body 4 Oil applicator 5 Organic material evaporator 6 Metal evaporation source 7 Scattered electron 8 Metal vapor 9 Organic material vapor 10 Oxygen glow 11 Electron beam 12 Organic material thin film 13 Evaporation electrode 14a , 14b Margin 15a, 15b Dielectric layer 16a, 16b Metal sprayed layer 17a, 17b Conductive resin layer 18a, 18b Solder plating layer 19a, 19b Press plate 20 Capacitor strip 21 Metal frame 22 Spacer 23 Pressure reducing vessel 24a, 24b High frequency discharge electrode 25 High-frequency power supply 26 Substrate 27a, 27b Metal-deposited electrode film 28a, 28b External electrode 29a, 29b Margin 30a, 30b Organic polymer film 31 Base film 32a, 32b, 33a, 33b Metal thin film 34a, 34b, 34c, 34d Margin 35a, 35b Invitation Electric thin film 36 Ultraviolet light source 37 Ultrasonic atomizer 38 Laminated body 39 Support body 40 Oil applicator 41 Vacuum container 42 Metal vapor 43 Metal evaporation source 44a, 44b Metal thin film 45 Residual oil 46a, 46b Organic thin film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畠中 茂樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 今中 崇 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 岩岡 和男 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5E082 AB03 EE07 FF05 FG06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shigeki Hatanaka 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Takashi Imanaka 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City Osaka Pref. (72) Inventor Kazuo Iwaoka 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 5E082 AB03 EE07 FF05 FG06
Claims (3)
面に金属溶射層が施されており、前記金属溶射層上に、
フェノール樹脂中に銅とニッケルと銀の粒子が分散され
てなる導電性樹脂層が形成されており、前記導電性樹脂
層の表面がはんだで被覆されている、コンデンサ。1. A metal sprayed layer is applied to both electrode lead end faces on both sides of a capacitor element.
A capacitor, wherein a conductive resin layer formed by dispersing copper, nickel, and silver particles in a phenol resin is formed, and the surface of the conductive resin layer is covered with solder.
対30〜55対1.5〜4であり、かつ少なくとも銅と
ニッケルと銀の粒子の粒径が1〜50μmの範囲の分布
を有している、請求項1に記載のコンデンサ。2. The weight ratio of copper, nickel and silver is 100
2. The capacitor according to claim 1, wherein the ratio is 30 to 55 vs. 1.5 to 4, and at least the copper, nickel, and silver particles have a distribution in the range of 1 to 50 μm.
面に金属を溶射して金属溶射層を形成し、次いで前記金
属溶射層上に、フェノール樹脂中に銅とニッケルと銀の
粒子が分散されてなる液状の樹脂を塗布、硬化して導電
性樹脂層を形成し、続いて前記導電性樹脂層を溶融はん
だめっきして、前記導電性樹脂層の表面をはんだで被覆
する、コンデンサの製造方法。3. A metal sprayed layer is formed by spraying a metal on the electrode lead end faces on both sides of the capacitor element, and then copper, nickel and silver particles are dispersed in a phenol resin on the metal sprayed layer. A method for manufacturing a capacitor, comprising applying and curing a liquid resin to form a conductive resin layer, subsequently subjecting the conductive resin layer to hot-dip solder plating, and coating the surface of the conductive resin layer with solder.
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| JP11015599A Division JP2000216049A (en) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | Manufacturing method of organic thin film capacitor |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=19071386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101744528B1 (en) * | 2015-03-25 | 2017-06-09 | 주식회사 아모텍 | Super Capacitor |
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-
2001
- 2001-08-08 JP JP2001240833A patent/JP2002100528A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101744528B1 (en) * | 2015-03-25 | 2017-06-09 | 주식회사 아모텍 | Super Capacitor |
| US10204746B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-02-12 | Amotech Co., Ltd. | Separation membrane for super capacitor, super capacitor comprising same, and manufacturing method therefor |
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