JP2002190556A - Automotive control and control unit and manufacturing method - Google Patents
Automotive control and control unit and manufacturing methodInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ICチップを実装した回路基板の小型化、接続
信頼性を向上した自動車用制御コントロールユニットの
提供。
【解決手段】マイコン,オペアンプ,ロジックなどの自
動車制御用半導体ICチップを、回路基板の導体パター
ンに電気的に接続,搭載し、ケースに装着された自動車
用制御コントロールユニットにおいて、前記半導体IC
チップは熱放散手段を有し、前記回路基板と半導体IC
チップ電極面側に形成した複数のバンプにより電気的に
接続した自動車用制御コントロールユニット。
(57) [Problem] To provide a control unit for a vehicle in which a circuit board on which an IC chip is mounted is reduced in size and connection reliability is improved. A vehicle control control unit mounted on a case, wherein a vehicle control semiconductor IC chip such as a microcomputer, an operational amplifier, and a logic is electrically connected to and mounted on a conductor pattern of a circuit board.
The chip has heat dissipating means, and the circuit board and the semiconductor IC
An automotive control and control unit electrically connected by a plurality of bumps formed on the chip electrode surface side.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、熱放散手段を備え
た半導体ICチップのダイレクト実装した自動車用制御
コントロールユニット(エンジンルームまたは車室内に
装着のエンジン制御コントロールユニット、AT制御コ
ントロールユニット、スロットルチャンバーモーター制
御コントロールユニット、並びに、エアコン制御コント
ロールユニット等)とその製法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automobile control control unit (an engine control control unit, an AT control control unit, an AT control control unit, or a throttle chamber mounted in an engine room or a vehicle interior) in which a semiconductor IC chip provided with heat dissipation means is directly mounted. Motor control unit, air conditioner control unit, etc.) and its manufacturing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体ICチップ(以下、単にICチッ
プと云う)等の実装の従来技術として、車室内装着用装
置(−30〜+85℃、4.4G仕様)は、樹脂系プリ
ント基板を用いてQFP、SOPパッケージによる実装
が採用されていた。2. Description of the Related Art As a conventional technology for mounting a semiconductor IC chip (hereinafter simply referred to as an IC chip), a device for mounting in a vehicle interior (-30 to + 85 ° C., 4.4G specification) uses a resin-based printed circuit board. Therefore, mounting by QFP and SOP packages has been adopted.
【0003】また、エンジンルーム内装着用装置(−4
0〜125℃、20G仕様)は、セラミック基板を用い
た厚膜混成集積回路基板にベアチップ(Auワイヤボン
ディング接続)実装が採用されていた。In addition, an engine room interior wearing device (-4)
(0-125 ° C., 20 G specification), a bare chip (Au wire bonding connection) mounting is adopted on a thick film hybrid integrated circuit board using a ceramic substrate.
【0004】後者は、回路基板にシリコンゲル等を塗布
することにより、はんだ接続部や導体間隙の絶縁抵抗の
劣化やマイグレーション防止等の信頼性向上を図ってい
る。なお、上記従来技術は一般に周知であるので公知例
等の例示は省略する。In the latter, by applying a silicon gel or the like to a circuit board, the reliability such as deterioration of insulation resistance of solder connection portions and conductor gaps and prevention of migration are improved. In addition, since the above-mentioned prior art is generally well-known, illustration of a well-known example etc. is omitted.
【0005】また、ICチップをインターポーザーを介
して回路基板に実装する方法は、ICチップにAuバン
プを付け、Au導体パターンが形成されたインターポー
ザー表面に加熱圧着して電気的接続を行う。導体パター
ンにはんだバンプが形成されたインターポーザー裏面部
を、多層回路基板に、はんだリフローにより接続する方
法がある。In a method of mounting an IC chip on a circuit board via an interposer, an Au bump is attached to the IC chip, and the IC chip is electrically connected to the surface of the interposer on which the Au conductor pattern is formed by heating and pressing. There is a method of connecting the back surface of an interposer in which solder bumps are formed on a conductor pattern to a multilayer circuit board by solder reflow.
【0006】また、前記インターポーザーにおいて、表
面のみAu導体パターンを形成してICチップを接着材
で取り付け、Auワイヤボンディングで電気的接続を行
うものもある。Further, among the interposers, there is an interposer in which an Au conductor pattern is formed only on the surface, an IC chip is attached with an adhesive, and electrical connection is made by Au wire bonding.
【0007】それらの技術は、PGA,BGA,CSP
等のパッケージ品に応用された実装品もある。[0007] Those technologies are PGA, BGA, CSP
There is also a packaged product applied to such packaged products.
【0008】インターポーザー仕様(BGA、CSP)
の従来技術として、特開平8−125062号公報に
は、回路パターンを有する絶縁性基板と、該絶縁性基板
の第一面に搭載し、前記回路パターンとAuワイヤボン
ディング線で電気的に接続した半導体素子と、前記絶縁
性基板の一部と前記半導体素子とを封止した樹脂封止部
と、前記絶縁性基板の第二の面にマトリックス状に配置
し前記回路パターンと導通させた複数のはんだボールと
を有し、前記複数のはんだボールは、少なくとも第一の
はんだボール群と、該第一のはんだボール群と前記絶縁
性基板からの高さが異なる第二のはんだボール群とを有
する半導体装置が開示されている。[0008] Interposer specification (BGA, CSP)
As a prior art, Japanese Patent Application Laid-Open No. H08-125062 discloses an insulating substrate having a circuit pattern, mounted on a first surface of the insulating substrate, and electrically connected to the circuit pattern by an Au wire bonding wire. A semiconductor element, a resin sealing portion that seals a part of the insulating substrate and the semiconductor element, and a plurality of conductive elements arranged in a matrix on the second surface of the insulating substrate and electrically connected to the circuit pattern. Having a solder ball, the plurality of solder balls have at least a first solder ball group, and a second solder ball group having a different height from the first solder ball group and the insulating substrate. A semiconductor device is disclosed.
【0009】また、特開平7−176684号公報に
は、スルーホールによって接続される回路パターンを、
第一および第二の面に有するインターポーザーと、前記
インターポーザーの回路パターンに接続される入出力部
を有するスティフナーベースとを備え、前記インターポ
ーザーの第一および第二の面に、第一および第二の半導
体チップを搭載して前記回路パターンに接続し、前記ス
ティフナーベースの入出力部を外部回路に接続し、前記
回路パターンは、半導体チップの端子に接続される接合
パターンと、スルーホールと接合パターンを接続する内
部伝送パターンと、前記スティフナーベースの入出力部
に接続されたスルーホールと、前記接合パターンを接続
する外部伝送パターンにより構成された前記半導体チッ
プは、ワイヤボンディングあるいはTAB法によって前
記インターポーザーへ搭載された半導体装置が記載され
ている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-176684 describes a circuit pattern connected by through holes.
An interposer having first and second surfaces, and a stiffener base having an input / output unit connected to a circuit pattern of the interposer, wherein first and second surfaces of the interposer have first and second surfaces. A second semiconductor chip is mounted and connected to the circuit pattern, the stiffener-based input / output unit is connected to an external circuit, and the circuit pattern has a bonding pattern connected to a terminal of the semiconductor chip, a through hole, The semiconductor chip composed of an internal transmission pattern for connecting the bonding pattern, a through hole connected to the input / output unit of the stiffener base, and an external transmission pattern for connecting the bonding pattern is formed by wire bonding or TAB. A semiconductor device mounted on an interposer is described.
【0010】その他、自動車のエンジンルームに搭載さ
れる制御装置として以下がある。[0010] In addition, there are the following control devices mounted in the engine room of an automobile.
【0011】防水コネクタとセラミック基板間のアルミ
ワイヤボンディング配置構造が特開平11−86933
号公報に、ケース一体型防水コネクタ構造が特開200
0−3753号公報に、そして、ゲル枠の構造が特開平
11−145338号公報に記載されている。An aluminum wire bonding arrangement between a waterproof connector and a ceramic substrate is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-86933.
Discloses a case-integrated waterproof connector structure disclosed in
No. 0-3753, and the structure of the gel frame is described in JP-A-11-145338.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】従来、自動車用制御コ
ントロールユニット、例えば、エンジンルーム装着のエ
ンジン制御コントロールユニットに使用されるICチッ
プ(ベアチップ)は、導電性接着剤を介して回路基板に
直接チップマウントされ、Auワイヤボンデイングによ
り回路基板への電気的接続を行っていた。Conventionally, an IC chip (bare chip) used in an automobile control control unit, for example, an engine control control unit mounted in an engine room, is directly mounted on a circuit board via a conductive adhesive. It was mounted and electrically connected to the circuit board by Au wire bonding.
【0013】このようにICチップは、Auワイヤボン
ディング等により回路基板に直接電気的に接続,搭載さ
れるために、(1) 接続に要する時間工数、(2)
基板組立て工程における歩留り、(3) ICチップの
実装面積、(4) 基板とチップの接続信頼性、(5)
ICチップの単品検査性、などが問題となっていた。As described above, since the IC chip is directly electrically connected and mounted on the circuit board by Au wire bonding or the like, (1) man-hour required for connection, (2)
Yield in substrate assembly process, (3) IC chip mounting area, (4) Connection reliability between substrate and chip, (5)
There has been a problem with, for example, the testability of individual IC chips.
【0014】また、エンジン制御コントロールユニット
はエンジンルーム内に装着されており、これらの対策を
行うに当っては、ICチップの温度上昇の影響を少なく
することが要求される。Further, the engine control unit is mounted in the engine room, and it is required to reduce the influence of a rise in the temperature of the IC chip in taking these measures.
【0015】半導体基板技術分野にあっては、スルーホ
ールを有するインターポーザーの表面側にI/Oチップ
を搭載し、裏面にはCPUチップを搭載することによっ
て、実装用プリント基板をコンパクト化することが提案
されている。また、インターポーザーの裏面にはんだボ
ールを搭載することも提案されている。In the field of semiconductor substrate technology, the mounting printed circuit board is made compact by mounting an I / O chip on the front side of an interposer having through holes and mounting a CPU chip on the back side. Has been proposed. It has also been proposed to mount a solder ball on the back surface of the interposer.
【0016】しかし、このような技術を直ちにエンジン
ルーム内装着のエンジン制御コントロールユニットに適
用することはできない。エンジン制御コントロールユニ
ットに適した構造、特に、エンジンルーム内装着に適し
た構造のものでなければならない。However, such a technique cannot be immediately applied to an engine control unit mounted in an engine room. The structure must be suitable for the engine control unit, especially for mounting in the engine compartment.
【0017】本発明の目的は、エンジンルーム内装着に
適した自動車用制御コントロールユニット(例えば、エ
ンジン制御コントロールユニット)において、回路基板
の小型化,低コスト化,接続信頼性の向上、基板組立工
程における歩留りの向上、トータルコストの低減が可能
なICチップ実装の自動車用制御コントロールユニット
およびその製法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a control unit for an automobile (for example, an engine control unit) suitable for mounting in an engine room, to reduce the size and cost of the circuit board, to improve the connection reliability, and to assemble the board. It is an object of the present invention to provide a control control unit for an automobile mounted with an IC chip capable of improving the yield and reducing the total cost of the vehicle, and a method of manufacturing the same.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の要旨は次のとおりである。The gist of the present invention to achieve the above object is as follows.
【0019】〔1〕 マイコン,オペアンプ,ロジック
などの自動車制御用半導体ICチップを、回路基板の導
体パターンに電気的に接続,搭載し、ケースに装着され
た自動車用制御コントロールユニットにおいて、前記半
導体ICチップは熱放散手段を有し、前記回路基板と半
導体ICチップ電極面側に形成した複数のバンプにより
電気的に接続したことを特徴とする自動車用制御コント
ロールユニットにある。[1] An automobile control and control unit mounted and mounted on a case, wherein a semiconductor IC chip for automobile control such as a microcomputer, an operational amplifier, and logic is electrically connected to and mounted on a conductor pattern of a circuit board. The control control unit for an automobile is characterized in that the chip has heat dissipating means and is electrically connected to the circuit board by a plurality of bumps formed on the electrode side of the semiconductor IC chip.
【0020】〔2〕 Auバンプを形成した半導体IC
チップと、回路基板のAu導体とを電気的接続する自動
車用制御コントロールユニットの製法において、前記A
uバンプはほぼ球状で電気特性検査用基板と同一形状に
配置し、前記半導体ICチップを電気特性検査用基板に
搭載して電気特性を検査し、次いで、半導体ICチップ
を前記回路基板のAu導体パターン部にマウント後、固
着することを特徴とする自動車用制御コントロールユニ
ットの製法にある。[2] Semiconductor IC with Au bump formed
In a method for manufacturing a control control unit for an automobile for electrically connecting a chip and an Au conductor of a circuit board,
The u-bump is substantially spherical and is arranged in the same shape as the substrate for electrical characteristic inspection. The semiconductor IC chip is mounted on the substrate for electrical characteristic inspection to inspect electrical characteristics. A method of manufacturing a control unit for a vehicle, wherein the control unit is mounted on a pattern portion and then fixed.
【0021】ここでは、エンジン制御コントロールユニ
ットを例に説明する。Here, an engine control unit will be described as an example.
【0022】 複数のICチップを回路基板にダイレ
クトに搭載,接続することによってその製造を容易にす
ると共に基板の小型化を図る。By mounting and connecting a plurality of IC chips directly to a circuit board, the manufacture thereof is facilitated and the size of the board is reduced.
【0023】 エンジン制御に使用されるICチップ
のうち、熱発生パワー系ICは、1つ以上の単位で回路
基板に搭載するものとする。そして、熱発生パワー系と
非パワー系とに分け、特に、熱発生パワー系は非パワー
系から離し1個所に纏め(非パワー系もできる限り纏め
る)て、1〜4個のグループにする。これにより熱放散
がし易く、非パワー系ICチップに与える熱の影響を少
なくすることが可能となる。Among the IC chips used for engine control, the heat-generating power ICs are mounted on the circuit board in one or more units. The heat-generating power system is divided into a non-power system and a heat-generating power system. In particular, the heat-generating power system is separated from the non-power system and collected into one place (the non-power system is also collected as much as possible) to form 1 to 4 groups. As a result, heat is easily dissipated, and the effect of heat on the non-power IC chip can be reduced.
【0024】 複数のICチップを密封型のケース内
に配置し、エンジン内装着を可能にするために、1〜約
30個のICチップを回路基板にダイレクトに搭載,接
続する。A plurality of IC chips are arranged in a sealed case, and 1 to about 30 IC chips are directly mounted and connected to a circuit board in order to enable mounting in an engine.
【0025】 エンジン内装着に当っては、125℃
でも影響がないエンジン制御コントロールユニットが要
求される。エンジン制御コントロールユニット自体によ
る部分的温度上昇を20℃以内に抑えるために、ICチ
ップは熱発生パワー系と非パワー系とは分離配置し、熱
発生パワー系には放熱または伝熱の手段を施して回路基
板に搭載する。For mounting in the engine, 125 ° C.
However, an engine control unit that has no effect is required. In order to suppress the partial temperature rise by the engine control unit itself within 20 ° C, the IC chip is separated from the heat-generating power system and the non-power system, and the heat-generating power system is provided with a means of heat dissipation or heat transfer. Mounted on the circuit board.
【0026】 AuバンプボンダーでAuバンプを形
成したICチップを、検査用基板に搭載して電気特性検
査を行う。検査に合格したICチップをコントロールユ
ニットの組立てに供する。An IC chip on which an Au bump is formed by an Au bump bonder is mounted on an inspection substrate, and an electrical characteristic test is performed. The IC chip that has passed the inspection is used for assembling the control unit.
【0027】本発明は、さらに、2〜10層の低温焼成
ガラスセラミック基板で構成された収縮誤差の少ない回
路基板上のAu導体パターン部に、Auバンプボンダー
を使用して、Auバンプを形成したICチップを接続,
搭載する。According to the present invention, an Au bump is formed on an Au conductor pattern portion on a circuit board having a small shrinkage error composed of two to ten low-temperature fired glass ceramic substrates by using an Au bump bonder. Connect IC chip,
Mount.
【0028】このAuバンプは、ICチップの回路基板
への接続,搭載に用いるが、ICチップの電気特性検査
のための検査用基板への搭載に用いる機能も有する。The Au bumps are used for connecting and mounting the IC chip on a circuit board, and also have a function for mounting on an inspection substrate for inspecting electrical characteristics of the IC chip.
【0029】回路基板表面にフォトエッチング法や印刷
法でファイン導体Ag−Pt+Ni+Auメッキ(最小
導体幅0.04mm,最小間隙0.04mm)を形成し
て、AuバンプボンダーされたICチップをマウント
し、超音波熱圧着装置や加熱圧着装置で圧着し、基板と
チップの電気的接続を行う。なお、回路基板であるセラ
ミック基板のICチップ実装部には、オーバーコートガ
ラスは形成しない。A fine conductor Ag-Pt + Ni + Au plating (minimum conductor width: 0.04 mm, minimum gap: 0.04 mm) is formed on the surface of the circuit board by a photo-etching method or a printing method, and an IC chip having an Au bump bonder is mounted thereon. Crimping is performed with an ultrasonic thermocompression device or a thermocompression device, and electrical connection between the substrate and the chip is performed. Note that no overcoat glass is formed on the IC chip mounting portion of the ceramic substrate which is a circuit substrate.
【0030】熱圧着時のAuバンプの最大径/バンプ高
さの比は、接続信頼性向上のため、1.5〜8が望まし
い。また、接続信頼性向上のためアンダーフィルの塗布
硬化を行う。The ratio of the maximum diameter of the Au bump to the height of the bump during thermocompression bonding is preferably 1.5 to 8 in order to improve the connection reliability. Further, underfill is applied and cured to improve connection reliability.
【0031】半導体ICチップの熱放散手段としては、
放熱フィンまたは熱伝導部材から成る熱放散手段をIC
チップ上に形成する。上記放熱フィンは有機樹脂、例え
ば、シリコン系,エポキシ系の樹脂から成る接着層によ
って固着し、上記熱伝導部材は有機樹脂、例えば、シリ
コン系,エポキシ系の樹脂から成る接着層によってIC
チップ上および基板下に設けたアルミベース間に固着す
る。The heat dissipation means of the semiconductor IC chip includes:
Heat dissipating means consisting of heat dissipating fins or heat conducting members
Formed on a chip. The radiating fins are fixed by an adhesive layer made of an organic resin, for example, a silicon-based or epoxy-based resin, and the heat conductive member is made of an organic resin, for example, an adhesive layer made of a silicon-based or epoxy-based resin.
It is fixed between the aluminum base provided above the chip and below the substrate.
【0032】前記回路基板としては、低温焼成ガラスセ
ラミック多層基板,高温焼成アルミナ多層基板、また
は、高耐熱性ガラスエポキシ多層基板が用いられる。As the circuit board, a low temperature fired glass ceramic multilayer substrate, a high temperature fired alumina multilayer substrate, or a high heat resistant glass epoxy multilayer substrate is used.
【0033】さらに、前記Auバンプを形成したICチ
ップは、有機樹脂、例えば、エポキシ系樹脂(アンダー
フィル)によって、その一部または全面が前記回路基板
に被覆される。また、シリコンゲルによって前記回路基
板に被覆しケース内に設置し、特に、エンジンルーム内
やエンジンに直接載置することができる。Further, the circuit board is partially or entirely covered with an organic resin, for example, an epoxy resin (underfill), on the IC chip on which the Au bumps are formed. Further, the circuit board can be covered with a silicone gel and installed in a case, and particularly, can be directly mounted in an engine room or an engine.
【0034】また、Auバンプを形成したICチップ
と、回路基板のAu導体パターンとを電気的に接続する
Auバンプは、ほぼ球状で電気特性検査面とほぼ同一形
状に形成することで、ICチップ検査用基板に直接搭載
して電気特性検査を行うことができる。The Au bump for electrically connecting the IC chip on which the Au bump is formed and the Au conductor pattern of the circuit board is formed in a substantially spherical shape and substantially the same shape as the electrical characteristic inspection surface. The electrical characteristics can be inspected by directly mounting it on the inspection substrate.
【0035】本発明は、エンジンルーム内装着(車室内
装着も含む)が可能である自動車用制御コントロールユ
ニット、例えば、エンジン制御コントロールユニット、
AT制御コントロールユニット、スロットルチャンバー
モーター制御コントロールユニット、エアコン制御コン
トロールユニット等に適用できるものである。According to the present invention, there is provided an automobile control and control unit which can be mounted in an engine room (including a vehicle interior), for example, an engine control and control unit.
It can be applied to an AT control control unit, a throttle chamber motor control control unit, an air conditioner control control unit, and the like.
【0036】[0036]
【発明の実施の形態】ここでは、エンジン制御コントロ
ールユニットの一実施例を図面に基づき説明する。図1
は、エンジン制御コントロールユニットの構成を示す概
略図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Here, an embodiment of an engine control unit will be described with reference to the drawings. FIG.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of an engine control unit.
【0037】エンジン制御コントロールユニット1は、
ケース2とケース一体型コネクタ3を有し、ケース2内
にはセラミック基板5(6層)、そのベースとなるアル
ミベース9を備えている。The engine control unit 1
A case 2 and a case-integrated connector 3 are provided. The case 2 includes a ceramic substrate 5 (six layers) and an aluminum base 9 serving as a base thereof.
【0038】セラミック基板5上には電子部品6が配設
され、ケース一体型コネクタ3のコネクタ(図示省略)
とセラミック基板5とは、Alボンディング4により接
続され、アルミベース9上のパワトラブクミ7とセラミ
ック基板5とはAlボンディング8により接続されてい
る。なお、この構成は従来周知の技術である。An electronic component 6 is provided on the ceramic substrate 5 and a connector (not shown) of the case-integrated connector 3.
The ceramic substrate 5 and the ceramic substrate 5 are connected by Al bonding 4, and the power bump 7 on the aluminum base 9 and the ceramic substrate 5 are connected by Al bonding 8. This configuration is a conventionally known technique.
【0039】本発明は、セラミック基板5上に載置され
るICチップ(熱放散手段含む)とセラミック基板5と
の接続手段に特徴を有する。即ち、図1に示すように、
ICチップ11,ICチップ12等がセラミック基板5
に載置,固着される。なお、ICチップの熱放散手段の
詳細は後述する。The present invention is characterized by a connecting means for connecting the IC chip (including heat dissipating means) mounted on the ceramic substrate 5 to the ceramic substrate 5. That is, as shown in FIG.
The IC chip 11, the IC chip 12, and the like are ceramic substrates 5.
And fixed. The details of the heat dissipation means of the IC chip will be described later.
【0040】エンジン制御のためのマイコン,オペアン
プ,ロジックなどのICチップと回路基板(図1におい
てはセラミック基板5)の導体パターンとを電気的に接
続して、エンジン制御コントロールユニット1が構成さ
れる。An engine control unit 1 is constructed by electrically connecting an IC chip such as a microcomputer, an operational amplifier, and a logic for engine control to a conductor pattern of a circuit board (the ceramic substrate 5 in FIG. 1). .
【0041】ICチップを配置するに当っては、熱発生
パワー系は非パワー系から離し1個所に纏める。非パワ
ー系も纏め1〜4個所のグループとする。同種のICチ
ップはある程度近くに纏めて配置することにより、加熱
圧着の工程数の低減を図ることができる。In arranging the IC chips, the heat-generating power system is separated from the non-power system and integrated into one place. The non-power system is also grouped into one to four places. By arranging the same kind of IC chips close to a certain extent, the number of steps of thermocompression bonding can be reduced.
【0042】また、0.8W,1W,2W,3Wと云っ
た熱発生パワー系のICチップは、熱伝導部材(後述)
を介して熱をセラミック基板5やアルミベース9に逃が
すことができる。The heat-generating power IC chips of 0.8 W, 1 W, 2 W, and 3 W are made of a heat conducting member (described later).
The heat can be dissipated to the ceramic substrate 5 and the aluminum base 9 via.
【0043】熱発生パワー系ICチップは、他の非パワ
ー系のICからはなるべく離してセラミック基板5に搭
載する。こうすることによって、セラミック基板5には
1〜30個のICチップを設けることができる。このよ
うにして全てのICチップをセラミック基板5上に配設
する。The heat-generating power IC chip is mounted on the ceramic substrate 5 as far as possible from other non-power ICs. By doing so, 1 to 30 IC chips can be provided on the ceramic substrate 5. Thus, all the IC chips are arranged on the ceramic substrate 5.
【0044】図2は、ICチップ11を回路基板(セラ
ミック基板5)上に実装した模式断面図である。ICチ
ップ11は、AUバンプ23、Au,Ni,Ag−Pt
層24を介してセラミック基板5に実装し、熱圧着,加
熱圧着もしくは超音波熱圧着により固定する。FIG. 2 is a schematic sectional view in which the IC chip 11 is mounted on a circuit board (ceramic substrate 5). The IC chip 11 includes AU bumps 23, Au, Ni, Ag-Pt.
It is mounted on the ceramic substrate 5 via the layer 24 and fixed by thermocompression, thermocompression or ultrasonic thermocompression.
【0045】セラミック基板5の上側面周囲には、アン
ダーフィル形成時の樹脂のダレ防止突起部29が設けら
れており、ICチップ11とセラミック基板5との間に
は、例えば、エポキシ系樹脂による層(アンダーフィル
30)が充填,硬化され、ICチップ11はセラミック
基板5に確実に固着される。なお、AUバンプ23の最
大径/高さの比は1.5〜8とする。Around the upper side surface of the ceramic substrate 5, there are provided protrusions 29 for preventing resin from dripping when an underfill is formed. Between the IC chip 11 and the ceramic substrate 5, for example, an epoxy resin is used. The layer (underfill 30) is filled and cured, and the IC chip 11 is securely fixed to the ceramic substrate 5. The ratio of the maximum diameter / height of the AU bump 23 is set to 1.5 to 8.
【0046】セラミック基板5は、6〜12層の多層構
造のものである。対象となるICチップが熱発生パワー
系の場合は、図3に示すような構造のものとする。図3
はICチップを回路基板に実装した模式断面図である。The ceramic substrate 5 has a multilayer structure of 6 to 12 layers. If the target IC chip is a heat-generating power system, the structure is as shown in FIG. FIG.
FIG. 2 is a schematic sectional view in which an IC chip is mounted on a circuit board.
【0047】図3(イ)は、ICチップ11上にAl放
熱フィン41を載置し、シリコン系またはエポキシ系の
接着層42により放熱フィン41をICチップ11に固
着し、ICチップ11が発生する熱を放散できるよう構
成されている。FIG. 3A shows an example in which an Al radiating fin 41 is mounted on the IC chip 11 and the radiating fin 41 is fixed to the IC chip 11 by a silicon-based or epoxy-based adhesive layer 42 to generate the IC chip 11. It is configured to dissipate heat.
【0048】図3(ロ)は、消費電力が高い場合で、放
熱フィンの替りに熱伝導部材43を形成している。熱伝
導部材43は、シリコン系またはエポキシ系の接着層4
4,45によってICチップ11とセラミック基板5に
それぞれ固着される。これによって、ICチップ11が
発生する熱を、熱伝導部材43を介してセラミック基板
5に伝熱される。FIG. 3B shows a case where the power consumption is high, in which a heat conducting member 43 is formed instead of the radiation fin. The heat conductive member 43 is made of a silicon-based or epoxy-based adhesive layer 4.
The IC chip 11 and the ceramic substrate 5 are fixed to the IC chip 11 and the ceramic substrate 5, respectively. Thereby, the heat generated by the IC chip 11 is transferred to the ceramic substrate 5 via the heat conducting member 43.
【0049】図3(ハ)は、さらに消費電力が高いIC
チップを用いた場合に好適な構造で、熱伝導部材43
は、シリコン系またはエポキシ系の接着層44,45に
よりICチップ11とアルミベース9にそれぞれ固着さ
れ、これにより熱放散性を一段と高めることができる。FIG. 3C shows an IC with higher power consumption.
With a structure suitable for using a chip, the heat conducting member 43
Is fixed to the IC chip 11 and the aluminum base 9 by silicon-based or epoxy-based adhesive layers 44 and 45, respectively, whereby the heat dissipation can be further enhanced.
【0050】上記により、エンジン室に取り付けた場合
でも、エンジン制御コントロールユニット1内の温度上
昇を125℃以下に抑えることが可能である。As described above, the temperature rise in the engine control unit 1 can be suppressed to 125.degree.
【0051】熱発生系パワーICによる部分的な温度上
昇分を、例えば、20℃以内に抑えるためには、放熱フ
ィン41あるいは熱伝導部材43のような熱放散手段を
採用することが望ましい。これによって許容上昇温度に
対するクリアランスを楽にすることができる。In order to suppress a partial temperature rise due to the heat generating system power IC to, for example, 20 ° C. or less, it is desirable to employ a heat dissipating means such as a radiation fin 41 or a heat conducting member 43. Thereby, the clearance with respect to the allowable rise temperature can be eased.
【0052】図4は、標準ロジックICあるいはオペア
ンプなど異種のICチップ12(a),12(b),1
2(c)を熱発生系パワーICから放してセラミック基
板5に載置,固着した模式断面図である。FIG. 4 shows a different type of IC chip 12 (a), 12 (b), 1 such as a standard logic IC or an operational amplifier.
FIG. 2C is a schematic cross-sectional view in which 2 (c) is released from the heat-generating power IC and placed on and fixed to the ceramic substrate 5.
【0053】載置方法は図2と同様で、複数のICチッ
プをある程度纏めてセラミック基板5に載置することに
より、組み立てが容易(加熱圧着工程数の低減)とな
る。The mounting method is the same as that shown in FIG. 2. By mounting a plurality of IC chips to a certain extent on the ceramic substrate 5, assembly becomes easier (reduction in the number of steps of thermocompression bonding).
【0054】ICチップにAuバンプを形成して専用基
板に搭載し、電気特性を検査して不良品は組み立て前に
排除することができるので、完成品のエンジン制御コン
トロールユニットを不良品とすることが無く、歩留りの
向上に有効である。An Au bump is formed on an IC chip, mounted on a dedicated substrate, and the electrical characteristics are inspected. Defective products can be eliminated before assembling. And is effective in improving the yield.
【0055】図5は、セラミック基板5の模式断面図の
一例である。セラミック基板5は多層基板から成る。こ
の場合は、7層の低温焼成ガラスセラミック基板でグリ
ーンシート61〜66を用いて成形されている。基板の
各層には、Au,Ni,Ag−Pt層24と、Ag−P
t層25とを結ぶVIA導体67が形成される。FIG. 5 is an example of a schematic sectional view of the ceramic substrate 5. The ceramic substrate 5 is composed of a multilayer substrate. In this case, the low-temperature fired glass ceramic substrate of seven layers is formed using green sheets 61 to 66. Each layer of the substrate includes an Au, Ni, Ag-Pt layer 24 and an Ag-P
A VIA conductor 67 connecting to the t layer 25 is formed.
【0056】図6は、セラミック基板5のICチップ実
装部分の導体パターン例を示す平面図である。基板の周
囲領域に所定の間隔で配列されたAu,Ni,Ag−P
t導体24が設けられる。FIG. 6 is a plan view showing an example of a conductor pattern of an IC chip mounting portion of the ceramic substrate 5. Au, Ni, Ag-P arranged at predetermined intervals in the peripheral region of the substrate
A t conductor 24 is provided.
【0057】図7は、図2または図4に示すセラミック
基板の製造工程の一例を示すフロー図である。工程S1
1〜S14によって、ICチップ+Auバンプ形成の組
み立てがなされる。即ち、ICチップ(S11)にAu
バンプボンダー装置を用いてAuバンプを形成(S1
2)する。そして、Auバンプの高さ整列(S13)を
行い、平坦性を向上させる。この段階でICチップの電
気特性検査を行う(S14)。検査に合格したICチッ
プのみが保管され、不良品は排除される。FIG. 7 is a flow chart showing an example of a manufacturing process of the ceramic substrate shown in FIG. 2 or FIG. Step S1
Through 1 to S14, the assembly of the IC chip + Au bump formation is performed. That is, Au is applied to the IC chip (S11).
Au bumps are formed using a bump bonder (S1
2) Do it. Then, the heights of the Au bumps are aligned (S13) to improve the flatness. At this stage, the electrical characteristics of the IC chip are inspected (S14). Only IC chips that pass the inspection are stored, and defective products are eliminated.
【0058】一方、セラミック基板(S1)にはんだ印
刷(S2)し、電子部品をチップマウント(S3)し、
はんだリフロー(S4)により電子部品を固着する。そ
して基板洗浄(S5)後、予め構成したICチップ(S
14:Auバンプ形成し、検査合格品)をマウント(S
6)後、熱圧着または超音波熱圧着(S7)を行う。On the other hand, solder printing (S2) is performed on the ceramic substrate (S1), and the electronic components are chip-mounted (S3).
The electronic component is fixed by solder reflow (S4). After cleaning the substrate (S5), the IC chip (S
14: Mount Au bumps and pass inspections) (S
6) Thereafter, thermocompression bonding or ultrasonic thermocompression bonding (S7) is performed.
【0059】次いで、アンダーフィル充填硬化(S8)
を行いセラミック基板とICチップの接続信頼性を向上
させる。そしてROMチェック書込み(S9)を行い、
高温ベーキング(S10)し、中間電気的特性試験(S
11)を行うことにより基板組み立て完成(S12)と
なる。Next, underfill filling and curing (S8)
To improve the connection reliability between the ceramic substrate and the IC chip. Then, a ROM check write (S9) is performed,
High-temperature baking (S10) and intermediate electrical property test (S10)
By performing 11), the substrate assembly is completed (S12).
【0060】上記のようにして組み立て完成品は、図8
に示すようにケース2に収納し、ICチップパッケージ
はゲル71により保護され、ケース2にカバー72が接
着されてエンジン制御コントロールユニット1が完成す
る。The finished product assembled as described above is shown in FIG.
As shown in (2), the IC chip package is protected by the gel 71, the cover 72 is adhered to the case 2, and the engine control unit 1 is completed.
【0061】図9は、完成したエンジン制御コントロー
ルユニット1をエンジンルームのインテークマニホール
ド81上にネジ4点で接続,設置した側面図である。な
お、82はエンジン本体、83はインジェクター、84
はディストリビュータを示す。FIG. 9 is a side view in which the completed engine control unit 1 is connected and installed at four points on an intake manifold 81 in an engine room. Incidentally, 82 is the engine body, 83 is the injector, 84
Indicates a distributor.
【0062】[0062]
【発明の効果】本発明によるエンジン制御コントロール
ユニットは、Auバンプを形成したICチップを回路基
板にダイレクトに搭載し、さらに熱放散手段を構成して
ケース内に配設しているのでエンジンルーム内装着を可
能にし、かつ、回路基板の小型化(Auワイヤボンデイ
ングの廃止によるICチップ実装面積の小型化),接続
信頼性の向上,基板組立の工程の省力化と歩留りの向上
(ICチップ単品検査可)を図ることができる。According to the engine control unit of the present invention, the IC chip on which the Au bumps are formed is directly mounted on the circuit board, and furthermore, the heat dissipating means is arranged in the case. Enables mounting and reduces the size of the circuit board (smaller IC chip mounting area due to the elimination of Au wire bonding), improves connection reliability, saves labor in the board assembly process, and improves the yield (IC chip single item inspection) Possible).
【0063】特に、ICチップのサイズが6mm角でピ
ン数が144、あるいは、10〜11mm角でピン数2
56と云った単位面積に対しバンプ数が多いICチップ
は、通常厚膜印刷、例えば、導体幅0.2mm、導体間
隙0.2mmと云う基板にAuワイヤボンデイング法で
は実装が困難であったが、本発明によれば、容易に実装
が可能となる。In particular, when the size of the IC chip is 6 mm square and the number of pins is 144, or when the size of the IC chip is 10 to 11 mm square, the number of pins is 2
An IC chip having a large number of bumps per unit area, such as 56, is usually difficult to mount on a substrate having a thick film printing, for example, a conductor width of 0.2 mm and a conductor gap of 0.2 mm by an Au wire bonding method. According to the present invention, mounting can be easily performed.
【図1】本発明のエンジン制御用コントロールユニット
の一例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of an engine control unit according to the present invention.
【図2】ICチップを回路基板に実装した模式断面図で
ある。FIG. 2 is a schematic sectional view in which an IC chip is mounted on a circuit board.
【図3】放熱,熱伝導手段を有するICチップ実装基板
の模式断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an IC chip mounting substrate having heat radiation and heat conduction means.
【図4】異種のICチップをセラミック基板に載置,固
着した模式断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view in which different types of IC chips are mounted and fixed on a ceramic substrate.
【図5】セラミック多層基板(回路基板)の模式断面図
である。FIG. 5 is a schematic sectional view of a ceramic multilayer substrate (circuit board).
【図6】セラミック基板のICチップ実装部分の導体パ
ターン例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing an example of a conductor pattern of an IC chip mounting portion of a ceramic substrate.
【図7】図2,4に示すセラミック基板の製造工程の一
例を示すフロー図である。FIG. 7 is a flowchart showing an example of a manufacturing process of the ceramic substrate shown in FIGS.
【図8】エンジン制御コントロールユニットの模式断面
図である。FIG. 8 is a schematic sectional view of an engine control unit.
【図9】エンジン制御コントロールユニットを搭載した
エンジンルームのインテークマニホールドの側面図であ
る。FIG. 9 is a side view of an intake manifold in an engine room equipped with an engine control unit.
1…エンジン制御コントロールユニット、2…ケース、
3…ケース一体型コネクタ、4,8…Alボンディン
グ、5…セラミック基板(回路基板)、6…電子部品、
7…パワトラブクミ、9…アルミベース、11,12…
ICチップ、23…Auバンプ、24…Au,Ni,A
g−Pt層、25…Ag−Pt層、29…タレ防止突起
部、30…アンダーフィル、41…Al放熱フィン、4
2,44,45…シリコンまたはエポキシ系接着層、4
3…熱伝導部材、67…VIA導体、61〜66…グリ
ーンシート、71…ゲル、72…カバー、81…インテ
ークマニホールド、82…エンジン本体、83…インジ
ェクター、84…ディストリビュータ。1 ... engine control unit, 2 ... case,
3: Case integrated connector, 4, 8: Al bonding, 5: Ceramic substrate (circuit board), 6: Electronic component,
7 ... power lab bumi, 9 ... aluminum base, 11, 12 ...
IC chip, 23: Au bump, 24: Au, Ni, A
g-Pt layer, 25: Ag-Pt layer, 29: anti-sagging projection, 30: underfill, 41: Al radiating fin, 4
2, 44, 45: Silicon or epoxy adhesive layer, 4
Reference numeral 3 represents a heat conductive member, 67 represents a VIA conductor, 61 to 66 represent a green sheet, 71 represents a gel, 72 represents a cover, 81 represents an intake manifold, 82 represents an engine body, 83 represents an injector, and 84 represents a distributor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 7/20 (72)発明者 江口 州志 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者 吉田 亨 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 5E322 AA01 AB06 EA10 FA04 5F036 AA01 BA04 BA28 BB01 BB21 BC05 5F044 KK07 LL11 LL15 RR10 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 7/20 (72) Inventor Shuji Eguchi 2520 Oji Takaba, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture Hitachi, Ltd. Within the equipment group (72) Inventor Tohru Yoshida 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture F-term in Hitachi, Ltd. Production Engineering Research Laboratory F-term (reference) RR10
Claims (10)
自動車制御用半導体ICチップを、回路基板の導体パタ
ーンに電気的に接続,搭載し、ケースに装着された自動
車用制御コントロールユニットにおいて、 前記半導体ICチップは熱放散手段を有し、前記回路基
板と半導体ICチップ電極面側に形成した複数のバンプ
により電気的に接続したことを特徴とする自動車用制御
コントロールユニット。An automobile control control unit mounted and mounted on a case, wherein a semiconductor IC chip for vehicle control such as a microcomputer, an operational amplifier, and logic is electrically connected to and mounted on a conductor pattern of a circuit board. A control control unit for an automobile, comprising: a heat dissipating means; and electrically connected to the circuit board by a plurality of bumps formed on the electrode side of the semiconductor IC chip.
する接続手段が半導体ICチップに形成されたAuバン
プと回路基板上のAu導体パターンである請求項1に記
載の自動車用制御コントロールユニット。2. The control unit for an automobile according to claim 1, wherein the connection means for connecting the circuit board and the semiconductor IC chip is an Au bump formed on the semiconductor IC chip and an Au conductor pattern on the circuit board.
1.5〜8である請求項2に記載の自動車用制御コント
ロールユニット。3. The control unit for an automobile according to claim 2, wherein a ratio of a maximum diameter / height of the Au bump is 1.5 to 8.
導部材で構成され、放熱フィンは有機樹脂系接着層によ
り半導体ICチップ上に固着され、熱伝導部材は有機樹
脂系接着層により半導体ICチップ上およびセラミック
基板間に固着され、さらに熱伝導部材は、有機樹脂系接
着層により半導体ICチップ上およびセラミック基板下
に設けたアルミベース間に固着されている請求項1に記
載の自動車用制御コントロールユニット。4. The heat dissipating means is composed of a heat radiating fin or a heat conductive member, the heat radiating fin is fixed on the semiconductor IC chip by an organic resin adhesive layer, and the heat conductive member is a semiconductor IC chip by an organic resin adhesive layer. 2. The control system according to claim 1, wherein the heat conductive member is fixed between the aluminum base provided on the semiconductor IC chip and below the ceramic substrate by an organic resin adhesive layer. unit.
と非パワー系とに分け、熱発生パワー系は非パワー系か
ら離して1個所に纏め、非パワー系は1〜4個所のグル
ープに纏めた請求項1に記載の自動車用制御コントロー
ルユニット。5. The semiconductor IC chip is divided into a heat-generating power system and a non-power system, and the heat-generating power system is separated from the non-power system into one place, and the non-power system is grouped into one to four places. The control unit for a vehicle according to claim 1.
ック多層基板,高温焼成アルミナ多層基板、または、高
耐熱性ガラスエポキシ多層基板である請求項1に記載の
自動車用制御コントロールユニット。6. The control unit according to claim 1, wherein the circuit board is a low-temperature fired glass ceramic multilayer substrate, a high-temperature fired alumina multilayer substrate, or a high heat-resistant glass epoxy multilayer substrate.
り、その一部または全面が前記回路基板に被覆されてい
る請求項1〜6のいずれかに記載の自動車用制御コント
ロールユニット。7. The vehicle control and control unit according to claim 1, wherein said semiconductor IC chip is partially or entirely covered with said circuit board by an organic resin.
によって前記回路基板に被覆されケースに装着され、自
動車の車室内、エンジンルーム内またはエンジンに直接
載置されている請求項1〜6のいずれかに記載の自動車
用制御コントロールユニット。8. The semiconductor IC chip according to claim 1, wherein said semiconductor IC chip is covered on said circuit board by silicon gel, mounted on a case, and directly mounted on a vehicle interior, an engine room or an engine. 3. The control unit for a vehicle according to claim 1.
と、回路基板のAu導体とを電気的接続する自動車用制
御コントロールユニットの製法において、 前記Auバンプはほぼ球状で電気特性検査用基板と同一
形状に配置し、 前記半導体ICチップを電気特性検査用基板に搭載して
電気特性を検査し、 次いで、半導体ICチップを前記回路基板のAu導体パ
ターン部にマウント後、固着することを特徴とする自動
車用制御コントロールユニットの製法。9. A method for manufacturing a control unit for an automobile, wherein the semiconductor IC chip on which an Au bump is formed and an Au conductor of a circuit board are electrically connected, wherein the Au bump is substantially spherical and has the same shape as the substrate for electrical characteristic inspection. And mounting the semiconductor IC chip on a board for testing electrical properties to test electrical properties, and then mounting the semiconductor IC chip on an Au conductor pattern portion of the circuit board and then fixing the automobile. Of the control unit for the control.
のAu導体パターン部にマウントした後、半導体ICチ
ップを回路基板に加熱圧着または超音波熱圧着して電気
的に接続する請求項9に記載の自動車用制御コントロー
ルユニットの製法。10. The circuit according to claim 9, wherein after mounting the semiconductor IC chip on the Au conductor pattern portion of the circuit board, the semiconductor IC chip is electrically connected to the circuit board by thermocompression bonding or ultrasonic thermocompression bonding. Manufacturing method of automotive control and control unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000388714A JP2002190556A (en) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | Automotive control and control unit and manufacturing method |
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Publications (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2002190556A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7697300B2 (en) | 2003-08-01 | 2010-04-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Electronic unit and method for manufacturing an electronic unit |
| JP2012114176A (en) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Citizen Electronics Co Ltd | Light emitting device |
| JP2015162516A (en) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 株式会社ジェイデバイス | Semiconductor device |
-
2000
- 2000-12-21 JP JP2000388714A patent/JP2002190556A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10236231B2 (en) | 2014-02-26 | 2019-03-19 | J-Devices Corporation | Semiconductor device |
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