JP2002174541A

JP2002174541A - 熱式流量測定装置

Info

Publication number: JP2002174541A
Application number: JP2000371473A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Sugaya; 菅家　　厚; Masamichi Yamada; 雅通山田; Keiichi Nakada; 圭一中田; Hiroshi Yoneda; 浩志米田
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Car Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Astemo Ltd
Priority date: 2000-12-06
Filing date: 2000-12-06
Publication date: 2002-06-21

Abstract

(57)【要約】【課題】熱式空気流量測定装置の計において、特別な回
路を付加することなくセンサ感度を改善する。【解決手段】発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの上流部
及び下流部に測温抵抗体２１１ｄ，２１１ｅを形成し、
この測温抵抗体の温度差から流体の流量を測定する。発
熱抵抗体は、２１１ａ，２１１ｂのように複数に分割さ
れる。この複数に分割された発熱抵抗体２１１ａ，２１
１ｂを上流,下流の位置関係で配置し且つ直列に接続す
る。この複数に分割された発熱抵抗体の中点電位の出力
特性により測温抵抗体２１１ｄ，２１１ｅの温度差信号
に基づく流量信号出力の感度を改善させている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば内燃機関等
の吸気量検出その他種々のガス流量検出に好適な流量測
定装置に係り、更に詳細には発熱抵抗体等の感温抵抗体
を使用して流体の流量を測定する熱式流量測定装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】自動車などの内燃機関の電子制御燃料噴
射装置に用いられる吸入空気流量測定装置としては、熱
式のものが質量空気量を直接検知できることから多数使
われている。

【０００３】この種の熱式流量測定装置に用いる発熱抵
抗体の態様としては種々のものがある。例えば、白金線
をボビンに巻きつけてガラスでコーティングするもの、
薄膜抵抗体をセラミック基板上やシリコン基板上に形成
するもの等がある。

【０００４】流量の検出方法としては、発熱抵抗体を吸
気温度に対して一定の温度差を保つように加熱制御し、
吸気通路に配置される発熱抵抗体に流れる電流より空気
流量を直接検出する方式と、発熱抵抗体の両側に測温抵
抗体（温度検出抵抗体）を配置し、測温抵抗体で検出す
る温度差により空気流量を検出する方式等が挙げられ
る。

【０００５】前者の方式は、低流量側よりも高流量側で
感度が良い傾向があり、また一方向のみの空気流量測定
を行うものである。

【０００６】後者の方式は、順流，逆流の双方向の空気
流量測定を可能にし、また、比較的感度が良いとされ
る。

【０００７】自動車において４気筒以下のエンジンの場
合には、低回転・高負荷時に吸入空気量の脈動振幅が大
きく一部逆流（脈動流）を伴うので、空気流量測定の精
度向上のためには、流れの方向に応じた出力が要求され
る。後者の方式、すなわち、発熱抵抗体の両側に配置し
た測温抵抗体の温度差により空気流量を測定する方式
は、順流，逆流の流れの方向に応じた出力が得られるた
め、上記要求に応えることができる。

【０００８】しかし、いずれの方式も用途に応じて一長
一短があるため、アナログ回路で組み合わせて使う方式
が特開平９-３１８４１２号公報、特開平１１-５１９５
４号公報等に記載されている。これは、後者の方式が比
較的感度の良い反面、測温抵抗体の温度差出力が高流量
側では感度が飽和して検出精度が低下するため、それを
補うために高流量側で感度の良い前者の方式を併用し
て、それらの出力を差動増幅器で加算して出力するよう
にしている。

【０００９】このような比較的感度の良い測温抵抗体
（温度検出抵抗体）の温度差出力を補償する方法として
は、上述した感度を補償する方法以外に、ヒータの上昇
温度により割り算して出力を補償する方法（特公平６−
６３８０１号公報）や、温度補償する方法（特公平６-
６４０８０号公報）が提案されている。

【００１０】その他に、特開平６-１６０１４２号公報
には、自動車用において、測温抵抗体の温度差出力を媒
体温度を検出して補償する方法が記載されている。

【００１１】一方、ＡＤ変換を用いたデジタル的なやり
方として、測温抵抗体の出力によりゼロ点を補正するや
り方が、特開平６-２３００２１号公報に記載されてい
る。また、デジタル的に温度を補正するやり方が、特開
平１１-９４６２０号公報に記載されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、熱式
空気流量測定装置において、特に後者（測温抵抗体によ
る温度差方式）では、測温抵抗体の温度差出力の精度を
補償するやり方として、種々の方式が提案されている。

【００１３】しかしながら、温度差出力の感度を補償す
るために後からアナログ回路を加える方式では、回路規
模が大きくなって小型化に向かない。また、デジタル的
にゼロ点を補償する方式や、温度補償する方式では、セ
ンサ全体の感度の調整に関してはあまり考慮されていな
かった。

【００１４】本発明の目的は、測温抵抗体の温度差出力
方式による熱式流量測定装置において、特別な回路を付
加することなくセンサ感度、特に従来の課題とされてい
た高流量域の感度を改善し得る測定装置を提供すること
にある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、発熱抵抗体の上流部及び下流部に測温抵
抗体を形成し、前記測温抵抗体の温度差から流体の流量
を測定する熱式流量測定装置において、前記発熱抵抗体
を複数に分割し、この複数に分割した発熱抵抗体を上
流,下流の位置関係で配置し且つ直列に接続し、この複
数に分割した発熱抵抗体の中点電位の出力特性により前
記測温抵抗体の温度差信号に基づく流量信号出力の感度
を改善させるようにした。

【００１６】その一態様として、発熱抵抗体間の中点電
位を前記測温抵抗体の電源として用いる流量測定装置を
提案する。

【００１７】他の態様として、前記発熱抵抗体同士の温
度差信号と、前記測温抵抗体同士の温度差信号とがデジ
タル回路に入力されて、これらの信号に基づき流量出力
信号が形成されるようにした流量測定装置を提案する。

【００１８】測定範囲の異なる用途（一方は発熱、もう
一方は測温）に用いる一方の信号を、他方の流れの方向
及び流量に応じて直接作用させることにより、容易に出
力感度を調整し、精度を向上するすることが可能とな
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面に基づき説
明する。

【００２０】図１は本発明の第１実施例に係る熱式流量
測定装置（例えば内燃機関の空気流量測定装置）の回路
図、図２は上記実施例に用いる空気流量測定素子の上面
図、図３はそのＡ−Ｂ線断面図、図４は上記空気流量測
定素子を使用したときの温度分布の一例を示す説明図、
図５はセンサ感度と流量との関係を示す線図である。

【００２１】図１において、空気流量測定装置は大別す
ると、ゲージ回路１と信号処理用のデジタル補正回路２
２０よりなる。

【００２２】電源１０１により駆動するゲージ回路１
は、発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂ,温度補償抵抗２１１
ｃ、抵抗１３、１４、１７からなるホイートストンブリ
ッジ回路２を備える。

【００２３】２つに分けられた発熱抵抗体２１１ａと２
１１ｂは直列に接続され、これらの発熱抵抗体と抵抗１
３との間をブリッジの一方の中点とし、温度補償抵抗２
１１ｃ,抵抗１７と調整抵抗１４との間をブリッジのも
う一方の中点とする。

【００２４】発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂや温度補償
抵抗２１１ｃは、温度依存特性を有する感温抵抗体によ
り構成される。直列に接続された発熱抵抗体２１１ａ、
２１１ｂは、例えば板型のガラスやセラミック基板上
に、発熱体として白金やタングステンの薄膜や厚膜を形
成したり、シリコンなどの半導体基板上に、発熱抵抗体
として白金やタングステンの薄膜や厚膜、ポリシリコン
抵抗体、単結晶シリコンのいずれかの抵抗体を形成して
なる。

【００２５】ホイートストンブリッジ回路２は、ブリッ
ジ中点の電位差がゼロになるように差動増幅器１５及び
トランジスタ１６によって発熱抵抗体２１１ａ,２１１
ｂに流れる電流を調整するように構成されている。

【００２６】ブリッジ回路２の発熱抵抗体２１１ａ，２
１１ｂ側の中点電位は差動増幅器１５のプラス側入力端
子に入力され、温度補償抵抗２１１ｃ側の中点電位は差
動増幅器１５のマイナス側入力端子に入力され、差動増
幅器１５の出力端子が加熱電流制御用のトランジスタ１
６のベースと接続されている。

【００２７】このブリッジ回路２は、発熱抵抗体２１１
ａ,２１１ｂの加熱温度と温度補償抵抗２１１ｃにより
感知する空気温度との差が所定の温度差になるように発
熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂに流れる加熱電流を制御す
る。

【００２８】すなわち、これらの発熱抵抗体２１１ａ，
２１１ｂを空気流路に配置した場合、空気流量に応じて
発熱抵抗体から奪われる熱量は変化する。空気流量（空
気流速）が増大して発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂの加
熱温度が低くなると、差動増幅器１５の出力が大きくな
り、発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂを更に加熱するよう
に（加熱温度と空気温度との温度差が所定温度差になる
ように）電流制御される。

【００２９】従来の発熱抵抗体は一個よりなり、この発
熱抵抗体と電位検出用の抵抗との中点電位（図１でいえ
ばＶｒ１）から空気流量を検出する方式が従来の発熱抵
抗体直接流量検出方式である。本実施例では、これに代
わり上記したように加熱電流制御用のホイートストンブ
リッジ回路２の発熱抵抗体を直列に接続された２個（複
数）の発熱抵抗体２１１ａ、２１１ｂにより構成する。
発熱抵抗体２１１ａは順流を基準にして上流側に配置さ
れ、２１１ｂは下流側に配置される。

【００３０】さらに、このブリッジ回路２に以下に述べ
るブリッジ回路に近い回路（以下、セミブリッジ回路と
称する）３を接続する。

【００３１】セミブリッジ回路３は、発熱抵抗体２１１
ａ,２１１ｂの上流,下流の温度を検出する測温抵抗体２
１１ｄ,２１１ｅ、空気温度に対する温度補償抵抗２１
１ｆ、調整抵抗１８、抵抗１９を有してなる。温度補償
抵抗２１１ｆ、抵抗１８、上流側の測温抵抗体（温度検
出抵抗体）２１１ｄは直列に接続され、また抵抗１９と
下流側の測温抵抗体２１１ｅとが直列に接続されてい
る。

【００３２】測温抵抗体２１１dおよび２１１eは、図２
および図３に示すように発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂ
と同じ基板２１１に配設される。

【００３３】測温抵抗体２１１ｄは、基板２１１に熱伝
達される発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂの上流側の基板
温度を検出し、測温抵抗体２１１ｅは、基板２１１に熱
伝達される発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂの下流側の基
板温度を検出する。なお、ここで、上流側,下流側と
は、測定対象となる空気流の順方向の流れを基準にして
そのように言っている。

【００３４】測温抵抗体２１１ｄ,２１１ｅは接地側を
共通として接続されている。他方、測温抵抗体２１１ｄ
の電源側（反接地側）は、抵抗１８及び温度補償抵抗２
１１fを介して前記トランジスタ（ＮＰＮトランジス
タ）１６のエミッタ電圧Ｖ２側（発熱抵抗体２１１ａの
高電圧側）に接続されている。また、もう一方の測温抵
抗体２１１ｅの反接地側は、抵抗１９を介して発熱抵抗
体２１１ａ,２１１ｂの中点に接続されており、発熱抵
抗体２１１ａ,２１１ｂの中間電圧Ｖｍが抵抗１９を介
して印加されるように構成されている。

【００３５】図２には、発熱抵抗体２１１ａ、２１１
ｂ、測温抵抗体２１１ｄ,２１１ｅ、温度補償抵抗２１
１ｃ,２１１ｆをシリコン半導体基板２１１上に薄膜で
形成した場合のパターンの一例を示している。

【００３６】発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂは、帯状の
薄膜抵抗により一連に形成され、その中間点で折り返さ
れるパターンにより形成され、上流,下流の位置関係で
互いに平行に配置されている。発熱抵抗体２１１ａの一
端２１１ａ′と発熱抵抗体２１１ｂの一端２１１ｂ′と
が接続端子となり、中間点から導体を介して引き出され
る端子２１１ｇが発熱抵抗体の中間電位Ｖｍを引き出す
端子になっている。

【００３７】測温抵抗体２１１ｄ及び２１１ｅは、発熱
抵抗体２１１ａ,２１１ｂを挟むようにして平行に配置
されており、それらの端子２１１ｄ′,２１１ｄ″,２１
１ｅ′,２１１ｅ″が導体を介して配設されている。

【００３８】シリコン基板２１１における発熱抵抗体２
１１ａ,２１１ｂと温度検出用の測温抵抗体２１１ｄ,２
１１ｅのある位置は、図３に示すように基板２１１が裏
面からエッチング（符号Ｓで示す箇所）されて熱容量が
小さなダイヤフラム４が形成されている。このダイアフ
ラム４上に発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂ,測温抵抗体２
１１ｄ,２１１ｅを配置することにより、測温抵抗体２
１１ｄ,２１１ｅは発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂに対す
る熱感度を良好にしている。

【００３９】一方、温度補償抵抗２１１c,２１１fは、
発熱抵抗体２１１a,２１１ｂの位置から遠ざかる場所
（加熱による温度影響が受けにくい場所）に配置されて
いる。基板２１１のうち、この温度補償抵抗２１１ｃ,
２１１ｆの抵抗パターンのある場所が最も厚みがある構
造となっている。

【００４０】温度補償抵抗２１１ｃ及び２１１ｆの抵抗
パターンも帯状に折り返し形成している。この折り返し
により、それらの端子２１１ｃ′,２１１ｃ″,２１１
ｆ′,２１１ｆ″や発熱抵抗体や測温抵抗体の端子２１
１ａ′,２１１ｂ′,２１１ｄ′,２１１ｄ″,２１１
ｅ′,２１１ｅ″,２１１ｇとを基板２１１の一辺に一列
に配設している。

【００４１】本実施例では、基本的には、測温抵抗体２
１１ｄで検出した温度と測温抵抗体２１１ｅで検出した
温度の差から空気流量を測定する方式を採用するもので
ある。

【００４２】この方式は、従来は一般に発熱用のホイー
トストンブリッジ回路と独立させて、もう一つの測温抵
抗用のブリッジ回路を構成し、これに定電圧電源Ｖｄｄ
を印加するものであったが、このような温度差検出方式
は、差動で検出するため低流量側の感度が良く、逆流を
含む双方向の流れの検出に適しているが、通常は定電圧
で駆動されるため高流量側の感度が落ちる（飽和する）
特性を有していた。

【００４３】本実施例ではこのような高流量側、特に順
流方向の感度を改善するために、上記したように２つの
発熱抵抗体２１１ａ,２１１ｂを直列に接続し、かつ空
気の流れ方向に対して発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂを
上流，下流の位置関係で配置する。さらに、上記した測
温用のセミブリッジ回路３を用いる。

【００４４】高流量側の感度改善の説明に先立ち本実施
例の温度差方式流量測定のゲージ回路１の動作及びその
後段に接続されるデジタル補正回路２２０の信号処理動
作について説明する。

【００４５】まず、ゲージ回路動作の詳細を図４により
説明する。

【００４６】図４は、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂと
測温抵抗体２１１d，２１１eに対する温度分布を示して
いる。流れは発熱抵抗体２１１ａ側を上流、発熱抵抗体
２１１ｂ側を下流としている。

【００４７】吸気流の流れのない場合は、各発熱抵抗体
２１１ａ，２１１ｂは同じ温度になり、測温抵抗体２１
１ｄ，２１１eも同じ温度になると考えられる。

【００４８】ここで、例えば上流から下流に流れが生じ
ると、上流側の測温抵抗体２１１ｄの温度が下がり下流
側の測温抵抗体２１１ｅの温度が上昇することになる。
これは、上流側の測温抵抗体２１１ｄは加熱されない空
気と熱交換するのに対して、下流側の測温抵抗体２１１
ｅは加熱された空気の熱的影響を受けるためである。

【００４９】特に測温抵抗体２１１ｄ，２１１eは、温
度変化の最も生じ易いところに配置されているため、流
れに応じた温度差ｄＴｍを感度よく検知することができ
る。

【００５０】一方、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂにお
いても、空気が流れた時には、上記同様の理由で、上流
側の発熱抵抗体２１１ａと下流側の発熱抵抗体２１１ｂ
とは温度差ｄＴｈＬＲが生じる。ただし、元々発熱抵抗
体２１１ａ、２１１ｂをまとめて定温度差制御するよう
にブリッジ回路が動作し、かつ温度変化の生じにくい温
度分布の頂点に対照的に配置されるため温度差の変動は
少ない。

【００５１】この発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの中間
電圧Ｖｍを測温抵抗体２１１ｅに印加し、一方、それよ
りも高電圧のエミッタ電位（高電圧側電位）Ｖ２を測温
抵抗体２１１ｄに印加することにより、後述のように流
れの方向および流量に応じて先の温度差ｄＴｍの感度を
自ずと改善することが可能となる。

【００５２】本実施例においては、測温抵抗体２１１ｄ
と抵抗１８、及び測温抵抗体２１１eと抵抗１９のブリ
ッジ中点の電位Ｖｂ１，Ｖｂ２を、デジタル補正回路２
２０に入力する。

【００５３】デジタル補正回路２２０は、２つのアナロ
グ・デジタル変換器２２１ａ，２２１ｂを有する。アナ
ログ・デジタル変換器２２１ａは、流量に応じた電圧値
Ｖｂ１，Ｖｂ２をデジタル値に変換して読み取る。アナ
ログ・デジタル変換器２２１ｂはデジタル補正回路２２
０の温度を温度検出回路２４１により検出する。

【００５４】これらの電圧値Ｖｂ１，Ｖｂ２及び温度検
出信号をデジタル量として演算により調整し、演算回路
２２２により電圧値Ｖｂ１とＶｂ２との出力電圧差（こ
の出力電圧差は、図４のｄＴｍ＝ｄＴｍＲ＋ｄＴｍＬ）
を求めて、デジタル・アナログ変換器２２４の出力電圧
（流量信号）Ｖoutとしてエンジンコントロールユニッ
ト等に信号を送るものである。

【００５５】ここでデジタル補正回路２２０は、ＣＰＵ
２２２a、ＲＡＭ２２２b、ＲＯＭ２２２cからなる演算
回路２２２と、発振器２２６、ＰＲＯＭ２２３等により
構成される。

【００５６】ＰＲＯＭ２２３は、個別センサの出力感度
のばらつき等を調整値として一回以上記録することがで
きるものであればよく、電気的な書き換え可能なＥＥＰ
ＲＯＭやフラッシュＲＯＭ等にのみ限定されるものでは
ない。

【００５７】また、外部から供給される電圧Ｖｃｃを電
源として内部の電源・保護回路２２８に入力し、外部電
圧Ｖｃｃに依存した電源電圧Ｖｒｅｆ１としてスイッチ
２２５ａを介し、デジタル・アナログ変換器２２４に接
続され基準として用いられている。

【００５８】スイッチ２２５ａは、デジタル補正回路２
２０の内部の基準電圧回路２２９で発生した電圧Ｖｒｅ
ｆ２と、先の外部電圧Ｖｃｃに依存した電源電圧Ｖｒｅ
ｆ１を切り替えるものである。

【００５９】アナログ・デジタル変換器２２１ａは、ブ
リッジ回路の出力Ｖｂ１、Ｖｂ２等を直接入力している
ため精度が必要となるが、精度を確保し、かつ回路規模
を小さくするには例えばΔΣ型のアナログ・デジタル変
換器を用いればよい。

【００６０】デジタル・アナログ変換器２２４は、スイ
ッチ２２５ａにより基準電圧を変えることが出来るよう
になっている。これは、アナログ値でインターフェイス
する場合の基準を自由に選択するためであり、接続され
るコントロールユニット側のアナログ・デジタル変換器
の基準電圧と、外部から供給される電圧Ｖｃｃが同様も
しくは、同期して変動する場合は電源電圧Ｖｒｅｆ１を
基準とし、コントロールユニット側とは関連性が無い場
合は独立した基準電圧Ｖｒｅｆ２を選択し、対応するコ
ントロールユニットによって対応が容易でアナログイン
ターフェイスのアンマッチングによる誤差の少ない構成
としたものである。

【００６１】本実施例では、先の直列に接続された発熱
抵抗体２１１ａ、２１１ｂの中点電圧を、測温抵抗体２
１１d、２１１eに対して別々に印加する事で、流れの向
きに及び流量に応じた温度差の感度を予め最適化を図る
ことができる。

【００６２】ここで、図５に基づき本実施例における空
気流量測定装置の流量センサ出力（センサ感度）が改善
される理由を説明する。

【００６３】図５において、横軸は空気流量であり中心
座標（流量零）を基準にして、向かって右側が順流、左
側が逆流の領域を示す。縦軸はセンサ出力電圧（センサ
感度）である。

【００６４】図５において、Ｖｑ２は従来の発熱抵抗体
直接流量検知方式（ブリッジ回路の発熱抵抗体に流れる
電流から空気流量を測定する方式）のセンサ出力特性で
あり、発熱抵抗体は一つであり、また温度差方式のよう
に空気流量の方向性はみていない。したがって、この場
合には、順流，逆流のセンサ出力特性が左右対称であ
る。

【００６５】Ｖｑ２′は、上記発熱抵抗体直接流量検知
方式の発熱抵抗体を２つに分けて直列に接続し、また、
本実施例の図２に示すように、その２つに分けた発熱抵
抗体（図２でいえば符号２１１ａ，２１１ｂの発熱抵抗
体に相当する）を上流，下流の位置関係で配置した場合
の出力特性である。

【００６６】出力特性Ｖｑ２′の場合には、出力特性Ｖ
ｑ２よりも、矢印に示すように順流の出力電圧の感度が
上がり、逆流の出力電圧の感度が下がる。この感度の変
化分（出力成分）を取り出したのが感度特性Ｖｑ４であ
る。Ｖｑ４は、図４でいえば発熱抵抗体２１１ａ，２１
１ｂを上流，下流に配置した場合の発熱抵抗体間の温度
差に基づくセンサ出力変動ｄＴｈＬＲに相当する。Ｖｑ
４の場合には、発熱抵抗体を上流、下流に配置するので
空気の順流，逆流によりその出力の方向性が変化する。

【００６７】出力特性Ｖｑ２′は、下式のように表すこ
とができる。

【００６８】

【数１】

【００６９】また、出力特性Ｖｑ１は、従来の温度差方
式の熱式空気流量センサの出力特性である。この場合に
は、発熱抵抗体は一つであり、その発熱抵抗体の上流，
下流に測温抵抗体を配置し、測温抵抗体は発熱抵抗体の
ブリッジ回路とは独立したブリッジ回路に組み込まれて
定電圧電源が印加される方式のセンサ出力特性である。
Ｖｑ１は、２つの測温抵抗体の出力差（温度差）に相当
する（図４でいえばｄＴｍに相当する）。この場合に
は、空気の順流，逆流によりその出力の方向性が変化す
る。

【００７０】出力特性Ｖｑ３′は、本実施例にかかるセ
ンサ出力特性である。この場合には、測温用のセミブリ
ッジ回路３の測温抵抗体２１１ｄにはエミッタ電圧Ｖ２
（発熱抵抗体２１１ａの高圧側の電位）が印加され、測
温抵抗体２１１ｆには発熱抵抗体２１１ａと２１１ｂと
の間の中点電位Ｖｍが印加されるので、発熱抵抗体２１
１ａ，２１１ｂの上流，下流の位置関係に基づく発熱抵
抗体の温度差出力感度Ｖｑ４＝ｄＴｈＬＲが影響するこ
とになり、測温用のセミブリッジ回路３の電源回路は図
５の出力特性Ｖｑ２′に相当する。

【００７１】したがって、出力特性Ｖｑ３′は、Ｖｑ３
に出力特性Ｖｑ２′のセンサ感度を加味したものであ
り、下式のように表すことができる。

【００７２】

【数２】

【００７３】これにより本実施例における空気流量測定
装置のセンサ出力特性Ｖｑ３′は、従来の温度差方式の
出力特性Ｖｑ１に較べて順流側，特に高流領域で大幅に
改善することができる。なお、本実施例では、逆流側の
センサ出力特性については高流領域側でさほどの特性改
善（感度改善）は望めないが、それにより何ら問題はな
い。すなわち、通常の自動車等に使われる空気流量計お
いては、一般的に逆流側よりも順流側の方がセンサとし
ても動作検出領域が広い場合が多い。これは、あくまで
も逆流がエンジンの吹き返しという特定の条件において
生じるためで、通常は順流側のみの検出すればよく逆流
側の動作領域を広くとる必要はない。

【００７４】出力特性Ｖｑ３は、本実施例に対する別の
比較例の出力特性であり、この比較例では、測温抵抗体
２１１ｄ，２１１ｅを組み込んだホイートストンブリッ
ジ回路を構成し、これに定電圧電源に代わってエミッタ
電位Ｖ２を印加した例（発熱抵抗体を２つに分けて中点
電圧を利用するものではない）である。

【００７５】この比較例の場合の出力特性は、次式によ
り表される。

【００７６】

【数３】

【００７７】この比較例の場合にも、センサ出力特性に
ついては改善されるが、順流領域の高流量側の出力特性
（感度特性）は、本実施例の出力特性Ｖｑ３′の方が優
れている。

【００７８】本実施例によれば、測温抵抗体を用いた温
度差方式の熱式空気流量計において、従来より改善が望
まれていた順流方向の高流量域の感度特性を簡単な回路
構成で、しかも測温回路（セミブリッジ）３の電源に発
熱側のブリッジ回路２の中点電位を利用することによ
り、低コストによりセンサ出力感度を向上させることが
できる。

【００７９】従来のセンサの感度は順流，逆流共に感度
が等しいため、センサの信号を直接アナログ・デジタル
変換器に入力すると、順流側の有効な分解能を一部損な
うことになる。この点については、例えば測温抵抗体２
１１d、２１１eの信号Ｖｂ１、Ｖｂ２を差動増幅器等
で、順流側の感度と逆流側の感度を変えて入力すること
でも達成できるが、差動増幅器と周辺回路が付加される
分だけ、小形化に適さずまたコストアップ要因もなる。
本発明では、このようなコストアップを回避することが
できる。

【００８０】以上のように、本実施例によれば測温抵抗
体２１１d、２１１eの電源に工夫することで、流れの方
向に応じたセンサ感度の最適化を図ることが可能とな
る。

【００８１】すなわち、複数に分割された発熱抵抗体
を、上流,下流の位置関係で配置し且つ直列に接続し、
この複数に分割された発熱抵抗体の中点電位の出力特性
により前記測温抵抗体の温度差信号に基づく流量信号出
力の感度を改善することができる。

【００８２】一例として感度の必要な順流側を大きく、
逆流側を小さくすることで、逆流に対応した自動車用の
空気流量計として良好な性能を得ることも可能となる。
本実施例によれば特に、特別な回路等を付加する事なく
感度の最適化がセンサのみで図れるという効果がある。
また、アナログ・デジタル変換器の感度の最適化を低コ
ストで実現できるといった効果がある。

【００８３】次に、本発明の第２の実施例を図６により
説明する。

【００８４】本実施例も流量測定のゲージ回路１は、発
熱抵抗体を組み入れたホイートストン回路２と測温抵抗
体を組み入れたセミブリッジ回路３よりなる。

【００８５】本実施例では、先の図１の実施例が２つの
発熱抵抗体を用いるのに対して、先に述べたホイートス
トンブリッジ２に組み込む発熱抵抗体２１３を、２１３
ａ，２１３ｂ，２１３ｃ，２１３ｄの４つに分割してブ
リッジ形２′に配置する。発熱抵抗体２１３は、図７に
示すように、基板２１２上に順流を基準にして上流側に
発熱抵抗体２１３ａ，２１３ｂが配置され、下流側に発
熱抵抗体２１３ｃ，２１３ｄが配置される。

【００８６】発熱抵抗体２１３の上流，下流に配置する
測温抵抗体２１４（図１の測温抵抗体２１１ｄ，２１１
ｅに相当する）については、２１４ａ，２１４ｂ，２１
４ｃ，２１４ｄの４つに分割して、図７に示すように順
流を基準にして上流側に測温抵抗体２１４ａ，２１４ｂ
が配置され、下流側に測温抵抗体２１４ｃ，２１４ｄが
配置される。これを次のようにセミブリッジ形に配置す
る。

【００８７】測温抵抗体２１４ａと２１４ｄは直列に接
続され、一方、測温抵抗体２１４ｃと２１４ｂが直列に
接続される。測温抵抗体２１４ａの高電位側（反接地
側）には、直列に接続された発熱抵抗体２１３ｃ，２１
３ｄ間の中点電圧が印加され、もう一方の測温抵抗体２
１４ｃの高電位側（反接地側）には、直列接続された発
熱抵抗体２１３ａ，２１３ｂ間の中点電位が印加され
る。

【００８８】測温抵抗体２１４ｄと２１４ｂは共通に接
地されている。

【００８９】また、本実施例では、差動増幅器１５にパ
ワートランジスタ相当の出力増幅機能を持たせて、その
出力をホイートストンブリッジ２に印加している。

【００９０】測温抵抗体２１４ａ、２１４ｂ、２１４
ｃ、２１４ｄで構成されたセミブリッジ２の出力ｄＶ
（測温抵抗体２１４ａ，２１４ｄの中点電位Ｖｂ１と測
温抵抗体２１４ｃ，２１４ｂ間の中点電位Ｖｂ１，Ｖｂ
２の差）は、デジタル補正回路２４０のアナログ・デジ
タル変換器２２１ａに入力される。

【００９１】ホイートストンブリッジ２は、発熱抵抗体
２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄと、温度補償
抵抗２１１ｃ、抵抗１３、１４、１７からなる。デジタ
ル補正回路２４０は、図１のデジタル補正回路２２０に
相当する信号処理回路である。

【００９２】本実施例のデジタル補正回路２４０は、ホ
イートストンブリッジ２を駆動する差増増幅器１５、抵
抗１４の値を調整して発熱抵抗体の加熱温度を設定する
調整回路２４２を内蔵している。

【００９３】また、バッテリ１０１から電源・保護回路
２２８に電源が供給される。各抵抗体、デジタル補正回
路２４０が全て同一の基板上に一体化されたものであ
る。

【００９４】これは、別々に形成されたパターンを最後
に基板上に結合しても良いし、始めから同一の基板上に
分けて、あるいは同時にパターンを形成しても良い。ま
た、発熱抵抗体２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３
ｄや測温抵抗体２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４
ｄは、基板が数μｍと薄くなっているダイヤフラム上に
構成されるが、これは裏面からエッチング等によって構
成したものでも、表面から犠牲層を用いて作製したもの
であっても構わない。

【００９５】デジタル補正回路２４０では、アナログ・
デジタル変換器２２１ｂで基板温度の検出を行い、セン
サの検出信号を温度補正する手段や、通常の電圧出力を
周波数に変換して出力するデジタル・周波数変換器２４
２等も備えている。

【００９６】図７に同一基板上に一体化された場合の配
置図を示す。例えば基板としてはシリコン基板を用い、
発熱抵抗体２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄや
測温抵抗体２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、
温度補償抵抗２１１ｃ、デジタル補正回路２４０が、厚
さ方向のデバイス構造は異なるが同一平面状にパターン
化されているものである。

【００９７】発熱抵抗体２１３は、４つに分割されてブ
リッジ状に接続されたもので、各接続点から端子を引き
出す構造としている。その結果、発熱抵抗体２１３ａ、
２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄは２度折り返したような
パターンとなっている。

【００９８】例えば発熱抵抗体２１３ａ、２１３ｃの接
続点は、端子２１３′を介して差動増幅回路１５の出力
端子と接続されている。発熱抵抗体２１３ａ、２１３ｂ
の接続点（中間点）は、端子２１３−１を介して測温抵
抗体２１４ｃの端子２１４ｃ′と外部で接続されてい
る。

【００９９】発熱抵抗体２１３ｃ、２１３ｄの接続点
（中間点）は、端子２１３−２、２１４ａ′を介して測
温抵抗体２１４ａの一端と外部で接続されている。

【０１００】また、測温抵抗体２１４ａの他端は、端子
２１４ａ″、端子２１４ｄ′を介して測温抵抗体２１４
ｄの一端と外部で接続されている。

【０１０１】測温抵抗体２１４ｃは、端子２１４ｃ″を
介して測温抵抗体２１４ｂと接続されている。

【０１０２】本実施例では、測温抵抗体のセミブリッジ
３の中点から取り出した出力ｄＶ（流量信号）をデジタ
ル補正回路２４０に入力して信号処理する。

【０１０３】本実施例のセンサ感度の改善について、図
８のセンサ出力動作特性図により説明する。

【０１０４】発熱抵抗体２１３ａ、２１３ｂ、２１３
ｃ、２１３ｄによって構成されるブリッジ回路の中点電
圧Ｖｍ１、Ｖｍ２の電位差ｄＶｍは、発熱抵抗体２１３
ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄに生じている温度分
布の差を示している。

【０１０５】４つに分割された発熱抵抗体２１３ａ〜２
１３ｄは、空気温度に対して所定温度を保つように制御
されるため、温度分布が生じにくい。しかし、本実施例
の様に複数の発熱抵抗体を用い、それらの上流,下流の
位置関係で配置することで微少な温度差が生じる。

【０１０６】その結果、電位差ｄＶｍは流れの方向に応
じて、基準電圧Ｖｑ０より大きくした出力となる。

【０１０７】測温抵抗体２１４ａ、２１４ｂ、２１４
ｃ、２１４ｄのセミブリッジ回路３の出力は、電圧Ｖｍ
１、Ｖｍ２が一定であると仮定すると、通常の定電圧で
ブリッジを駆動した場合の温度差出力特性ｄＶ‘とな
る。これは、既述したように高流量側で温度差が生じに
くく飽和するような特性になる。

【０１０８】これに対し、本実施例では、発熱抵抗体２
１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄによって構成さ
れるブリッジ回路の中点電圧Ｖｍ１、Ｖｍ２を測温用の
セミブリッジ回路３に印加することで、ｄＶｍがセミブ
リッジ回路３の温度差出力特性に影響を与えることにな
り、第１実施例同様のメカニズムにより温度差出力特性
の感度が符号ｄＶに示すように、流量の全領域にわたり
向上させることができる。同時に、流れの方向に対する
感度も向上することが可能となる。

【０１０９】温度差出力特性ｄＶは、次式にほぼ等価な
出力と考えることができる。

【０１１０】

【数４】

【０１１１】本実施例によれば、例えば発熱抵抗体のサ
イズが小さく測温抵抗体のみでは感度が得にくいような
場合であっても、流れの方向や流量に応じた感度を向上
できるといったメリットがある。

【０１１２】また、発熱部の熱容量を小さくすることで
抵抗体の部分と回路部分を一体化できるなど、小形化が
図りやすいといった効果がある。

【０１１３】次に本発明の第３の実施例を図９により説
明する。

【０１１４】本実施例において、ゲージ回路１における
発熱抵抗体駆動用のホイートストンブリッジ回路２は、
前述した図６の実施例同様に４つの発熱抵抗体２１３
ａ，２１３ｂ，２１３ｃ，２１３ｄよりなるブリッジ回
路２′と温度補償抵抗体２１３ｃ、抵抗１３、１４、１
７により構成される。また、測温用の回路も図６の実施
例同様に測温抵抗体２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ，２
１４ｄのセミブリッジ回路３により構成される。

【０１１５】図６の実施例と相違する点は、セミブリッ
ジ回路３への電圧印加が電源保護回路２２８により定電
圧を印加していることである。ただし、次に述べるよう
に発熱用のブリッジ回路２の中点電位差ｄＶｍ（＝Ｖｍ
１−Ｖｍ２）は、測温用のセミブリッジ回路３の温度差
出力ｄＶに、次に述べるようにデジタル補正回路２４０
を利用して反映するようにしてある。

【０１１６】すなわち、発熱用のブリッジ回路の中点電
圧Ｖｍ１、Ｖｍ２は、測温抵抗体へ直接接続せず、デジ
タル補正回路２４０のアナログ・デジタル変換器２２１
ｃに入力する。同様に、測温抵抗体２１４ａ、２１４
ｂ、２１４ｃ、２１４ｄの出力Ｖｂ１，Ｖｂ２も、アナ
ログ・デジタル変換器２２１ａに入力する。これを、先
の第２実施例で述べたと計算式同様の演算をデジタル補
正回路２４０内部で施し、同様の効果を得るものであ
る。

【０１１７】本実施例によれば、先の実施例に述べたデ
ジタル補正回路２４０に対して、アナログ・デジタル変
換器が余分に必要でかつ、演算も複雑となるが、パラメ
ータを用いての感度補正が容易になる等の特有の効果も
ある。ここで出力Ｖｏｕｔに対しての補正は一例として
次のような式により実現できる。

【０１１８】

【数５】

【０１１９】

【数６】

【０１２０】アナログ・デジタル変換器２２１ａ、２２
１ｃが差動入力可能なのもであれば、本演算は不要とな
る。出力補正は次のようになる。

【０１２１】

【数７】

【０１２２】その結果、出力特性ｄＶの基本的な感度の
傾向に対し、感度補正により高流量側でも良好な特性を
得ることができるようになる。または、数５式、数６式
を用いずに次のような式でも代用できる。

【０１２３】

【数８】

【０１２４】本式は、発熱抵抗体の温度差のみでなく、
流量感度も演算することで先の第２の実施例と同様な効
果を得ることができる。また、次のように流れの方向に
応じて先の数８式を条件分けにより変形し、より木目細
かい補正が可能となる。

【０１２５】

【数９】

【０１２６】これは、流量に応じた出力を順流側では感
度を高く、流量が逆流側では感度を低くしたものであ
る。センサからの出力時において、エンジンコントロー
ルユニット等とインターフェイスを電圧でとる場合に、
特別な信号圧縮等の変換手段を用いなくても容易に実現
できる。

【０１２７】本実施例では、例えば発熱抵抗体の熱容量
を小さくしても感度補正が可能となるので、発熱抵抗体
２１３を駆動する差動増幅器１５を含むデジタル補正回
路２４０は、例えばエンジンコントロールユニット等か
らの電圧信号Ｖｃｃのみで動作することができ、バッテ
リからの配線が不用になる等の効果がある。先の実施例
と同様に、抵抗体とデジタル補正回路２４０を同一基板
上に一体化する際には、バッテリからの電源を直接使わ
ないため、半導体回路全体の耐圧を下げることもでき、
コストの低減が図れるといった効果もある。

【０１２８】次に、本発明の第４の実施例を図１０によ
り説明する。

【０１２９】本実施例の構成は、基本的には、図１の実
施例と同様である。

【０１３０】相違する点は、発熱用のホイートストンブ
リッジ回路２と、それを駆動するトランジスタ１６との
間にスイッチ回路２５０を設け、このスイッチ回路２５
０をデジタル補正回路２２０のインターフェイス（Ｉ／
Ｏ）２５１により制御が可能な構成としたものである。
また、発熱抵抗体２１１ａ、２１１ｂに流れる電流を検
出するために抵抗１３の上部の電圧Ｖｒ１をアナログ・
デジタル変換器２２１ｂに入力している。

【０１３１】これは、例えばセンサの起動時においてブ
リッジに印加する電圧を、スイッチ２５０の切替により
デジタル補正回路２２０からの基準電圧Ｖｒｅｆ１とす
ることで、基準電圧Ｖｒｅｆ１が印加時における発熱抵
抗体２１１a、２１１ｂの加熱温度や、温度検出抵抗体
２１１d、２１１eと抵抗１８、１９、温度補償抵抗２１
１fを模擬的なでブリッジで構成し中点の電位Ｖｂ１、
Ｖｂ２の差を求める。流量がゼロの場合には本来電位差
が生じない様に調整されているが、抵抗の経時的な変化
等によってオフセット電圧が生じる場合がある。これ
は、抵抗体の温度が高いほど劣化しやすいと考えられる
ので、発熱抵抗体２１１a、２１１ｂの抵抗変化により
アンバランスが生じると、測温抵抗体２１１d、２１１e
の電位Ｖｂ１、Ｖｂ２も変動する。

【０１３２】そこで、予め調整時において基準電圧Ｖｒ
ｅｆ１を用いて短時間のスイッチ回路２５０の切替えに
よる発熱抵抗体の２１１a、２１１ｂの温度変化や、温
度検出抵抗体２１１d、２１１eの電位差（温度差）を記
録しておき、センサの起動時には、毎回再度計算をして
予め記録していた値との比較をする。その結果、例えば
発熱抵抗体の２１１a、２１１ｂに劣化が認められた
ら、予め用意した劣化補正データにより抵抗体の劣化補
償を施すものである。以上のような診断動作により、長
期的にも特性劣化の少ないセンサシステムを提供するこ
とが可能となる。本実施例によれば、特に経時変化の優
れたセンサを簡単な回路で提供できるといった効果があ
る。

【０１３３】以上のような発熱抵抗体や測温抵抗体とい
ったエレメントで感度を最適化したことにより、感度が
良好で精度の良い空気流量計を得、自動車のエンジン制
御における最適化が図られエンジンからの排ガスを低減
できるといった効果がある。

【０１３４】なお、これまでの実施例を用いた流量測定
装置は、燃料電池等の水素ガスのガス流検知等にに用い
ることができる。特徴としては、これまでの実施例にお
いて感度の最適化が容易で流量範囲を広げることができ
るという点と、抵抗体に水素による腐食に強い抵抗体を
用いることができるといった点が挙げられる。特に抵抗
体に例えばポリシリコン抵抗体を用い、加熱温度を下げ
る等の工夫をすることで、抵抗体に白金等を用いた場合
の腐食を防止し、信頼性を含め良好な特性を得ることが
できるといった優れた効果がある。

【０１３５】

【発明の効果】本発明によれば、温度差方式の熱式流量
測定装置において、流れの量や方向に応じたセンサ感度
の最適化を図ることが可能となるといった効果がある。
特に流量計として特別な回路等を付加することなく感度
の最適化がセンサのみで図れるという効果がある。アナ
ログ・デジタル変換器の感度の最適化を低コストで実現
できる。

【０１３６】デジタル調整手段によっては、流量の流れ
の向きに応じて感度補正、温度補正が容易となり性能が
向上するといった効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る回路図。

【図２】上記実施例に用いる空気流量測定素子の上面
図。

【図３】図２のＡ−Ｂ線断面図。

【図４】上記空気流量測定素子を使用したときの温度分
布の一例を示す説明図。

【図５】上記実施例におけるセンサ感度と流量との関係
を示す線図。

【図６】本発明の第２の実施例に係る回路図。

【図７】上記実施例に用いる空気流量測定素子の上面
図。

【図８】上記実施例に用いるセンサ感度と流量の関係を
示す線図。

【図９】本発明の第３の実施例に係る回路図。

【図１０】本発明の第４の実施例に係る回路図。

【符号の説明】

１…熱線駆動回路、１０１…電源、２１１…シリコン基
板、２１１a，２１１ｂ，２１３a，２１３ｂ，２１３
ｃ，２１３ｄ…発熱抵抗体、２１１c，２１１ｆ…温
度補償抵抗、２１１d，２１１e，２１４a，２１４ｂ，
２１４ｃ，２１４ｄ…測温抵抗体、１３，１４，１７，
１８，１９…抵抗、１５…差動増幅器、１６…トランジ
スタ、２２９…基準電圧、２２０，２４０…デジタル補
正回路、２２１ａ，２２１ｂ，２２１ｃ…アナログ・デ
ジタル変換器、２２２…演算回路、２２２ａ…ＣＰＵ、
２２２ｂ…ＲＡＭ、２２２ｃ…ＲＯＭ、２２３…ＰＲＯ
Ｍ、２２４，２２４ｂ…デジタル・アナログ変換器、２
２５ａ，２２５ｂ…スイッチ、２２６…発振器、２２７
…シリアルコミュニケーションインターフェイス、２２
８…電源・保護回路、３１１ａ，３１１ｂ…アナログデ
ジタル変換処理、２４２…調整回路、２５１…Ｉ／Ｏ、
２５０…スイッチ回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山田雅通茨城県日立市大みか町七丁目１番１号株式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者中田圭一茨城県ひたちなか市大字高場2520番地株式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者米田浩志茨城県ひたちなか市高場2477番地株式会社日立カーエンジニアリング内Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA05 EA08 EA09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発熱抵抗体の上流部及び下流部に測温抵
抗体を形成し、前記測温抵抗体の温度差から流体の流量
を測定する熱式流量測定装置において、前記発熱抵抗体は複数に分割され、この複数に分割され
た発熱抵抗体を上流,下流の位置関係で配置し且つ直列
に接続し、この複数に分割された発熱抵抗体の中点電位
の出力特性により前記測温抵抗体の温度差信号に基づく
流量信号出力の感度を改善させていることを特徴とする
熱式流量測定装置。
【請求項２】発熱抵抗体の上流部及び下流部に測温抵
抗体を形成し、前記測温抵抗体の温度差から流体の流量
を測定する熱式流量測定装置において、前記発熱抵抗体は複数に分割され、この複数に分割され
た発熱抵抗体を上流,下流の位置関係で配置し且つ直列
に接続し、これらの発熱抵抗体間の中点電位を前記測温
抵抗体の電源として用いていることを特徴とする熱式流
量測定装置。
【請求項３】前記複数に分割された発熱抵抗体は、温
度補償抵抗と共にブリッジ回路に組み入れられ、上流,
下流の位置関係をなす複数の前記測温抵抗体は、接地側
を共通に接続され、一方の測温抵抗体の反接地側は、前
記発熱抵抗体の高電圧側に接続され、他方の測温抵抗体
の反接地側は前記発熱抵抗体間の中点に接続されている
請求項１又は２記載の熱式流量測定装置。
【請求項４】前記複数に分割された発熱抵抗体は、ブ
リッジ回路に組み入れられ、このブリッジの各辺に発熱
抵抗体が配置され、上流,下流の位置関係をなす複数の
前記測温抵抗体は、接地側を共通に接続され、かつ一方
の測温抵抗体の反接地側は、前記ブリッジの一方の中点
に接続され、他方の測温抵抗体の反接地側は、前記ブリ
ッジのもう一方の中点に接続されている請求項１又は２
記載の熱式流量測定装置。
【請求項５】前記発熱抵抗体を組み入れるブリッジ回
路と、前記測温抵抗体を組み入れるブリッジ回路とを有
し、これらのブリッジ回路の電源が互いに独立してお
り、上流,下流の位置関係をなす前記発熱抵抗体同士の
温度差信号と、上流,下流の位置関係をなす前記測温抵
抗体同士の温度差信号とがデジタル回路に入力されて、
これらの信号に基づき流量出力信号が形成されるように
構成されている請求項１記載の熱式流量測定装置。
【請求項６】前記発熱抵抗体の経時変化による抵抗の
劣化を前記発熱抵抗体の加熱温度を調整することで補償
するようにしてなる請求項１ないし５のいずれか１項記
載の熱式流量測定装置。
【請求項７】前記発熱抵抗体の経時変化による抵抗の
劣化は、前記発熱抵抗体から求めた流れの方向に応じた
上流,下流の温度差もしくは流量に応じた電流値と、前
記測温抵抗体から求めた流れの方向に応じた上流,下流
の温度差を用いて検出している請求項６記載の熱式流量
測定装置。
【請求項８】前記発熱抵抗体の経時変化による抵抗の
劣化は、前記発熱抵抗体の駆動回路に印加する電流制御
用の電源から基準電圧電源に切り替えて検出する請求項
６又は７記載の熱式流量測定装置。
【請求項９】請求項１から８のいずれか1項記載の熱
式流量測定装置により構成されている内燃機関の熱式空
気流量測定装置。
【請求項１０】請求項１から８のいずれか1項記載の
熱式流量測定装置により構成されているガス流量計。